DE2816101A1 - Pulsed power supply system - is for discharge equipment for treating workpieces and prevents glow discharge passing over into damaging arc discharge - Google Patents

Pulsed power supply system - is for discharge equipment for treating workpieces and prevents glow discharge passing over into damaging arc discharge

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DE2816101A1 DE19782816101 DE2816101A DE2816101A1 DE 2816101 A1 DE2816101 A1 DE 2816101A1 DE 19782816101 DE19782816101 DE 19782816101 DE 2816101 A DE2816101 A DE 2816101A DE 2816101 A1 DE2816101 A1 DE 2816101A1
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BLINOV VIKTOR NIKOLAEVITSCH
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Abstract

The power supply (100) for ion-nitriting and ion-coating equipment, produces pulses of variable frequency for applying to the glow-discharge path. The energy of each pulse is kept constant independently of the type of discharge and its parameters. The energy of each pulse is less than the minimum energy needed to cause an arc discharge -- which would damage the workpiece being treated. However, if an arc discharge does occur, the next pulse is delayed by a time interval greater than the de-ionising time of the discharge path.

Description

Anatolij Gdaljevitsch AizensteinAnatolij Gdaljevitsch Aizenstein

Viktor Nikolaevitsch Blinov Oleg Georgievitsch Bulatov Vladimir Vasiljevitsch Kiritschenko Vladimir Alexandrovitsch Labuncov Anatolij Ivanovitsch Carenko Vladimir Stepanovitsch Schlentov VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR STROMVERSORGUNG VON ANLAGEN ZUR WERKSTÜCKBEARBEITUNG UNTER ZUHILFENAHME DER GLIMMENTLADUNG Die erfindung bezieht sich auf Verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung und auf zinrichtungen zur Durchführung derselben, insbesondere auf Verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung und auf Einrichtungen zur Realisierung desseloen.Viktor Nikolaevitsch Blinov Oleg Georgievitsch Bulatov Vladimir Vasiljevitsch Kiritschenko Vladimir Alexandrovitsch Labuncov Anatolij Ivanovich Carenko Vladimir Stepanovitsch Schlentov PROCESS AND EQUIPMENT FOR THE POWER SUPPLY OF SYSTEMS FOR WORKPIECE PROCESSING WITH THE ASSISTANCE OF THE GLIME DISCHARGE The invention relates on processes for the power supply of systems for workpiece processing and on devices for carrying out the same, in particular on methods of power supply of systems for workpiece processing with the aid of the glow discharge and on Facilities for the realization of desseloen.

Die Erfindung kann mit Erfolg zur chemisch-thermischen Behandlung und Verfestigung von Werkstücken, die unter Zuhilfenahme der Glimmentladung durchgeführt werden, beispielsweise zur Ionennitrierung und lonenüberziehung verwendet werden. The invention can be used successfully for chemical thermal treatment and solidification of workpieces carried out with the aid of the glow discharge can be used, for example, for ion nitriding and ion plating.

Gegenwärtig gewinnen immer mehr an Bedeutung verschiedene Werkstückbearbeitungsverfahren unter Zuhilfenahme der Glimmentladung. Various workpiece machining processes are currently gaining in importance with the help of the glow discharge.

Jedoch ist die Glimmentladung bei Strömen von über einigen Ampere eine unstabile Form der Gasentladung, da sie unter dem einfluß verschiedener Einwirkungen in eine Bogenentladung umschlägt. Dies führt zu einer örtlichen Erwärmung der zu bearbeitenden Werkstücke, einer Zerstörung deren Oberfläche und einer Überlastung der Speisequelle. Deshalb erfordern die modernen Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung spezielle Stromversorgungsverfahren und -einrichtungen. However, the glow discharge is at currents of over a few amperes an unstable form of gas discharge, as it is under the influence of various influences turns into an arc discharge. This leads to local heating of the too processed workpieces, destruction of their surface and overloading the source of food. That is why the modern systems for workpiece processing require with the aid of the glow discharge, special power supply processes and devices.

Bekannt ist ein verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfenahme der Gliamentladung, welches darin besteht, daß man an die Entladungsstrecke Speiseimpulse anlegt und deren Frequenz ändert (s.-beispielsweise GB-PS Nr. 125321, Klasse C23 c 11/00). A method for supplying power to systems for workpiece machining is known with the aid of the Gliament Charge, which consists in that you get to the discharge path Applies feed impulses and changes their frequency (see e.g. GB-PS No. 125321, Class C23 c 11/00).

jei der Bildung einer Bogenentladung wird der Grad der Beschädigung der zu bearbeitenden Werkstücke durch die in das Werkstück während der Bogenentladung eingeführte Energie bestimmt. Bei dem erwähnten Verfahren wird die durch Jeden Impuls in das Werkstück eingeführte Energie hicht Kontrolliert und in Abhängigkeit von den Parametern (Leitfähigkeit der Entladungsstrecke, Spanung) und der Art der Entladung (Glimmentladung oder @ogenentladung) nicht geändert. Aierbei steigt bei der Bildung einer Bogenentladung die energie des Speiseimpulses wegen der Zunahme des Entladungsstromes stark an, da der Bogenentladungsstrom um einige Größenordnungen den Glimmentladungsstrom übersteigt. Dies schafft Voraussetzungen für die Beschädigung der Werkstücke durch die bogenentladung. Außerdem wird die Löschung der Bogenentladung dadurch sustande gebracht, daß die Pause zwischen den Speise impulsen größer als die Entionisierungszeit der Entladungsstrecke unabhängig von der Bildung einer Bogenentladung gewählt wird. Dies ist nicht unbedingt notwendig. Wenn die Bogenentladung nicht während des nächstfolgenden Speiseimpulses entstanden ist, kann der nächste Impuls nach einer unter der Entionisierungszeit der Entladungsstrecke liegenden Zeit gegeben werden. Werden die intervalle zwischen den Impulsen größer als die Entionisierungszeit der Entladungsstrecke eingestellt, so führt dies zur Senkung der Leistung, da während der Pause keine Bearbeitung des Werkstückes erfolgt bzw. erfolgt mit wesentlich kleinerer Intensität. Each time an arc is formed, the degree of damage will be of the workpieces to be machined through the into the workpiece during the arc discharge introduced energy determined. In the case of the method mentioned, the through each pulse Energy introduced into the workpiece is not controlled and dependent on the parameters (conductivity of the discharge path, voltage) and the type of discharge (Glow discharge or @ogen discharge) not changed. Aierbei increases in education one Arc discharge the energy of the feed pulse because of the increase of the discharge current increases sharply, since the arc discharge current decreases by several orders of magnitude exceeds the glow discharge current. This creates conditions for the damage of the workpieces through the arc discharge. It will also extinguish the arc discharge brought about by the fact that the pause between the food pulses is greater than the deionization time of the discharge gap independent of the formation of an arc discharge is chosen. This is not absolutely necessary. If the arc does not was generated during the next feed pulse, the next pulse can given after a time below the deionization time of the discharge path will. Are the intervals between the pulses greater than the deionization time? the discharge path set, this leads to a reduction in power, as during During the break, no machining of the workpiece takes place or takes place with substantial lower intensity.

Es ist auch eine Einrichtung zur Stromversorgung von Anlagen zur Bearbeitung von Werkstücken unter Zuhilfenahine einer Glimmentladung, die das ooen beschrieBene \Terf allren realisiert, bekannt (s. bleiche Patentschrift). It is also a device for supplying power to systems Processing of workpieces with the aid of a glow discharge, which the ooen described \ Terf allren realized, known (see pale patent specification).

Diese Einrichtung enthalt eine drehstromgespeiste Gleichrichterbrücke, deren nichtgesteurete rulodenentilgruppe über einen Strombegrenzungswiderstand mit den in einer Entladungskammer eines Slektroofens untergebrachten Werkstücken verbunden ist, während die Katodenventilgruppe mit der Anode der Entladungskammer verbunden ist, die ihrerseits mit dem Eingang einer Steuereinheit, deren Ausgänge mit den Steuereingängen der Katodenventilgruppe verbunden sind, in Verbindung steht. This device contains a three-phase rectifier bridge, their non-controlled rulodenal valve group via a current limiting resistor the in housed in a discharge chamber of a slektroof Workpieces is connected, while the cathode valve group with the anode of the discharge chamber is connected, in turn, to the input of a control unit whose outputs are connected to the control inputs of the cathode valve group, is in communication.

Bei der erwähnten Einrichtung ist die Katodenventilgruppe der Gleichrichterbrücke direkt mit dem Körper der Entladungskammer, die als Anode dient, verbunden und in Form von drei Ventilzweigen ausgeführt, von denen Jede eine Reihenschaltung einer Diode und eines Thyristors darstellt. Dies führt dazu, daß die in das Werkstück durch jeden Impuls eingeführte Energie bei Entstehung einer Bogenentladung wesentlich zunimmt, was zu einer Beschädigung der werkstücke führen kann. Außerdem vernindert der im Entladungskreis vorhandene Stromb egrenzun0swiderst and den Wirdkungsgrad der Anlage. In the device mentioned, the cathode valve group is the rectifier bridge connected directly to the body of the discharge chamber, which serves as the anode, and in Executed in the form of three valve branches, each of which is a series connection Diode and a thyristor. This leads to the in the workpiece energy introduced by each pulse when an arc discharge occurs increases, which can damage the workpieces. Also diminished the current in the discharge circuit is unresistive to the degree of efficiency the plant.

Der erfindung liegt die aufhabe zugrunde, ein Verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung anzugeben, bei welchem die Stromversorgun in Impulsform erfolgt und die Seschädigung der zu bearbeitenden Werkstücke beim Umschlagen der Glimmentladung in eine Sogenentladung verhinder wird, sowie eine Einrichtung zur Stromversorgung von Anlagen zur werkstuckbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung zu schaffen, die das erwähnte Verfahren realisiert und solche zusätzliche Elemente und Kopplungen besitzt, die eine Beschädigung der Werkstücke durch die Bogenentladung verhindern. The invention is based on the object of a method for power supply of systems for workpiece processing with the aid of the glow discharge, in which the power supply takes place in pulse form and the damage to the processed workpieces when the glow discharge changes into a suction discharge prevented, as well as a device for the power supply of systems for workpiece processing to create with the aid of the glow discharge that realizes the aforementioned method and such has additional elements and couplings that have a Prevent damage to the workpieces from the arc discharge.

Dies wird dadurch erreicht, daß man bei dem Verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung, bei dem man an die Entladungsstrecke Speiseimpulse anlegt und deren Frequenz ändert, gemäß der Erfindung die Energie jedes Impulses unabhängig von der Art und den Parametern der Entladung konstant hält. This is achieved by using the method for power supply of systems for workpiece processing with the aid of the glow discharge by applying feed pulses to the discharge path and changing their frequency, according to the invention the energy of each pulse regardless of the type and parameters the discharge keeps constant.

Es ist zweckmäßig, daß die Energie jedes Impulses klei ner ist als die minimale Energie des Bogenentladungsimpulses, der eine Beschädigung der zu bearbeitenden Werkstücke hervorruft. It is appropriate that the energy of each pulse be less than the minimum energy of the arc discharge pulse that can damage the machined Workpieces.

Es ist erwünscht, daX bei Entstehung einer Bogenentladung der nächste impuls nach einem Leitintervall, das größer als die Entionisierungszeit der Entladungsstrecke ist, folgt. It is desirable that when an arc discharge occurs, the next pulse after a lead interval that is greater than the deionization time of the discharge path is, follows.

Dies wird auch dadurch erreicht, daß bei der Sinrichtung zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstuckbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung, die eine von einem Drehstromnetz gespeiste Gleichrichterbrücke enthält, deren nichtsteuerbare Anodenventilgruppe mit den zu oearbeitenden Werkstücken, welche in der Entladungskammer eines b'lektroorens untergebracht sind und als katode rüi diese Entladungskammer dienen, verounden sind, während deren ixatodenventilgruppe mit der Anode der Entladungskammer verbunden ist, die ihrerseits mit dem Eingang einer Steuereinheit, aeren Ausgang mit den Steuereingängen der Katodenventilgruppe verbunden sind, in Verbindung steht, gemäß der Erfindung zusätzlich ein Kondensator und zumindest zwei Thyristoren, deren Katoden mit der anode der Entladungskammer verbunden sind, während die Steuereingänge mit den entsprechenden husgängen der Steuereinheit in Verbindung stehen, vorhanden sind, wobei die Katodenventilgruppe der Zleichricht erbrücke in Form von zwei steuerbaren Ventilgruppen, deren gemeinsame Eatoden an die entsprechenden Beläge des Kondensators und die Thyristoranoden gelegt sind, ausgeführt ist. This is also achieved by the fact that in the direction of the power supply of systems for workpiece processing with the aid of the glow discharge, the contains a rectifier bridge fed by a three-phase network, its non-controllable Anode valve group with the workpieces to be processed, which are in the discharge chamber a b'lektroorens are housed and as a cathode rüi this discharge chamber serve, are verounden, while their ixatodenventilgruppe with the anode of the discharge chamber is connected, which in turn is connected to the input of a Control unit, aeren output connected to the control inputs of the cathode valve group are, is in connection, according to the invention additionally a capacitor and at least two thyristors whose cathodes are connected to the anode of the discharge chamber, while the control inputs with the corresponding slips of the control unit in Connected, are present, with the cathode valve group of the Zleichricht bridge in the form of two controllable valve groups, their common eatodes the corresponding layers of the capacitor and the thyristor anodes are in place, is executed.

Solch eine Ausführung der Einrichtung zur Realisierung des erfindungsgemäßen Verfahrens ermöglicht die Konstanthaltung der Energie jedes Speiseimpulses bei änderung der Parameter und der Art der Entladung, was bei der iahl der Impulsenergie kleiner als die minimale iinergie des Bogenentladungsimpulses, der zu einer Beschädigung der Werkstücke führt, die Unversehrtheit der werkstücke bei einer Bogenentladung sichert. Such an embodiment of the device for realizing the invention Procedure enables the energy of each feed pulse to be kept constant in the event of a change the parameters and the type of discharge, which is smaller in the case of the pulse energy than the minimum energy of the arc pulse causing damage of the workpieces leads to the integrity of the workpieces in the event of an arc discharge secures.

Nachstehend wird die Erfindung durch die Beschreibung eines konkreten Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung erläutert. In the following, the invention will be made concrete through the description Embodiment explained with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen: Fig. 1 das Prinzipschaltoild einer erfindungsgemäßen Einrichtung zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkst@ckbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung; Fig. 2a, b, c die Funktionszeitdiagramme für die erfindungsgemäße Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. 1 shows the basic circuit diagram of a device according to the invention for the power supply of systems for workpiece processing under Using the glow discharge; 2a, b, c the function timing diagrams for the device according to the invention for carrying out the method according to the invention.

bas erfindungsgemäße Verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter zuhilfenahme der Glimmentladung besteht darin, daß man an die Entladungsstrecke Speiseimpulse anlegt, deren frequenz ändert und die Energie jedes Impulses unabhängig von der Art und den Parametern der Entladung konstant hält. bas inventive method for powering systems for Workpiece processing with the aid of the glow discharge consists in that one Applies feed pulses to the discharge path, the frequency of which changes and the energy of each pulse is constant regardless of the type and parameters of the discharge holds.

m eine ßeschädigung der zu bearbeitenden Werkstücke zu vermeiden, hält man die energie jedes Impulses unter.der minimalen Energie des Bogenentladungsimpulses, welches erade eine Verstärkung der zu bearbeitenden Werkstücken hervorruft. to avoid damage to the workpieces to be machined, the energy of each pulse is kept below the minimum energy of the arc discharge pulse, which causes a reinforcement of the workpieces to be machined.

Um eine wiederholte Bogenentladung durcn die gestionisiertung der Entladungsstrecke zu vermeiden, legt man bei Entstehung einer Bogenentladung den hächsten Impuls nach einem Zeitintervall an, das größer als die Entionisierungszeit der @ntladungsstrecke is. A repeated arc discharge through the gestionization of the To avoid a discharge path, you put the when an arc discharge occurs next pulse after a time interval that is greater than the deionization time the @discharge distance is.

Es wird auch eine Einrichtung zur Stromversorgung von @nlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfehahme der Glimmentladung, die das vorstehend beschriebene Verfahren realisiert, vorgeschlagen. There will also be a device for the power supply of systems for Workpiece machining with the aid of the glow discharge which is described above procedure realized, proposed.

Die erfindungsgemäße Einrichtung soll am Beispiel einer Stromversorgungseinrichtung für Elektroofen zur Ionennitrierung von werkstücken erläutert werden. The device according to the invention is based on the example of a power supply device for electric furnace for ion nitriding of workpieces are explained.

Die erfindungsgemäße Einrichtung enthält eine Gleichrichterbrücke 1 (Fig. 1), die von einem Drehstomnetz 2 gespeist wird. Die nicht steuerbare Anodenventilgruppe 3 der Gleichrichterbrücke 1 ist mit Dioden 4, 5, 6 ausgeführt und mit den Phasen A, B, C des Netzes 2 und den zu bearbeitenden werkstücken 7 (in der Zeichnung ist nur ein werkstück gezeigt), die in einer Entladungskammer 8 eines Elektroofens 9 untergebracht sind und als Katode dieser Entladungskammer 8 dienen, verbunden. Letztere ist mittels eines Isolators 10 gegen die elektrische Einführung der Anodenventilgruppe 3 isoliert. Die Katodenventilgruppe 11 der Gleichrichterbrücke 1 ist in Form von zwei steuerbaren Ventilgruppen 12 und 13 mit den @h ristoren 14, 15, 16 und 17, 18, 19 ausge-@ührt, deren Eingange mit den entsprechenden Ausgängen einer Steuereinheit 20 verbunden sind. Der Eingang aer letzteren ist mit der Entladungskammer 8 verbunden. The device according to the invention contains a rectifier bridge 1 (Fig. 1), which is fed by a three-phase network 2. The non-controllable anode valve group 3 of the rectifier bridge 1 is designed with diodes 4, 5, 6 and with the phases A, B, C of the network 2 and the workpieces 7 to be machined (in the drawing it is only one workpiece shown), which is placed in a discharge chamber 8 of an electric furnace 9 are housed and serve as a cathode of this discharge chamber 8, connected. Latter is by means of an insulator 10 against the electrical introduction of the anode valve group 3 isolated. The cathode valve group 11 of the rectifier bridge 1 is in the form of two controllable valve groups 12 and 13 with the @h ristors 14, 15, 16 and 17, 18, 19 executed, their inputs with the corresponding outputs of a control unit 20 are connected. The input of the latter is connected to the discharge chamber 8.

Die Einrichtung @@@@al@ auch einen @ondensator 21 und zwei zusätzliche Thyristoren 22 und 23, deren Katoden mit dem @enäuse der Entladungskammer 8, das als Anode derselben dient, verbunden sind, während die Steuereingange an die entsprechenden Ausgange der @teuereinheit 20 gelegt sind. in die entsprechenden @eläge des Kondensators 21 und die Anoden der zusätzlichen Thyristoren 22 und 23 sind die gemeinsamen Katoden der steuerbaren Katodenventilgruppen 12 und 13 gelegt. Die Zahl der zusätzlichen Thyristoren kann je nach der Leistung der Anlage auah vier, sechs und so weiter betragen. The device @@@@ al @ also has a @condenser 21 and two additional ones Thyristors 22 and 23, the cathodes of which with the housing of the discharge chamber 8, the serves as the anode of the same, while the control inputs are connected to the corresponding Outputs of the control unit 20 are set. in the corresponding length of the capacitor 21 and the anodes of the additional thyristors 22 and 23 are the common cathodes of the controllable cathode valve groups 12 and 13 placed. The number the additional thyristors can be four or six, depending on the performance of the system and so on.

Die erfindungsgemäße Einrichtung für die Stromversorgung von Elektroöfen zur Ionennitrierung von Werkstücken funktioniert wie folgt. The device according to the invention for the power supply of electric furnaces for ion nitriding of workpieces works as follows.

Die Steuereinheit 20 (Fig. 1) sichert eine gleichzeitige Zündung des Thyristors 22 bzw. 23 und desjenigen Thyristors der Katodenventilgruppe 13 oder 12, an dessen Anode im betreffenden Augenblick die höhere positive Phasenspannung des Netzes 2 liegt. The control unit 20 (FIG. 1) ensures simultaneous ignition of the thyristor 22 or 23 and that thyristor of the cathode valve group 13 or 12, at the anode of which the higher positive phase voltage at the moment in question of the network 2 lies.

In Fig. 2a, b, c ist auf der Abszisse die Zeit t aufgetragen. Auf der Ordinate in Fig. 2a sind die Werte der Phasenspannungen U1 des Speisenetzes, in Fig. 2b die Werte der Spannung U2 am Kondensator 21 und in Fig. In Fig. 2a, b, c, the time t is plotted on the abscissa. on the ordinate in Fig. 2a are the values of the phase voltages U1 of the supply network, in Fig. 2b the values of the voltage U2 across the capacitor 21 and in Fig.

2c die Werte der Momentanspannung U3 an der Entladungskammer 8 und der mittleren Spannung U4 an der Entladungskammer 8 aufgetragen; to,t1, t2g t3, t4 sind feste Zeitpunkte.2c the values of the instantaneous voltage U3 at the discharge chamber 8 and the mean voltage U4 applied to the discharge chamber 8; to, t1, t2g t3, t4 are fixed times.

Nehmen wir an, daß zum Zeitpunkt t die Thyristoren 0 14, 23 zünden und der Kondensator 21, der auf die lineare Spannung UAB (Fig. 2a) im vorangehenden Zeitintervall mit einer in Fig. 1 gezeigten Polyrität. aufgeladen wurde, sich über den positiven Pol des Kondensators 21, den Thyristor 23, die Entladungskammer 8, die Diode 5, die Speisequelle in Form der linearen Spannung UAB, den Thyristor 14, und den negativen Pol des Kondensators 21 umlädt. Die Anderung der Spannung U2 am Kondensator 21 zeigt Fig. 2b. Hierbei entsteht an der Entladungsstrecke ein Spannungsimpuls U3 (Fig. 2c), dessen Form von den Parametern der Einrichtung und der Entladung abhängt, während die Impulsenergie nur durch die Kapazität des Kondensators 21 und den Wert der Speisespannung bestimmt wird: W2C1 U2 AB worin C1 die Kapazität des Kondensators 21 ist. Zum Zeitpunkt t1 wird der Kondensator 21 auf die Sperrspannung (Fig. 2b) umgeladen, während an der Entladungsstrecke die Spannung bis auf Null zurückgeht (Fig. 2c). Zum Zeitpunkt t1 zünden die Thyristoren 17, 22 und in die Entladungskammer 8 wird wieder die vorgegebene Energiemenge eingegeben. Hierbei wird an die Thyristoren 14, 23 die Sperrspannung auf die für die Wiederherstellung ihrer Steuerfähigkeit benötigte Zeit angelegt. Wird zum Zeitpunkt t4 die Spannung der Phase B größer als die Spannung der Phasen A und e, so zündet das Thyristorenpaar 15, 23 oder 18, 22, je nach der Polarität der Spannung am Kondensator 21 zu diesem Zeitpunkt. Auf gleiche Weise arbeiten in dem Zeitintervall, in dem die Spannen.g der Phase C einen höheren positven Wert hat (Fig. 2a), die Thyristoren 16, 19 zusammen mit den Thyristoren 22,23.Let us assume that the thyristors 0, 14, 23 fire at time t and the capacitor 21, which is based on the linear voltage UAB (Fig. 2a) in the preceding Time interval with a polyrity shown in FIG. has been charged, themselves Via the positive pole of the capacitor 21, the thyristor 23, the discharge chamber 8, the diode 5, the supply source in the form of the linear voltage UAB, the thyristor 14, and the negative pole of the capacitor 21 recharges. The change in tension U2 on capacitor 21 is shown in FIG. 2b. This creates a at the discharge path Voltage pulse U3 (Fig. 2c), the shape of which depends on the parameters of the device and the discharge depends, while the pulse energy only depends on the capacitance of the capacitor 21 and the value of the supply voltage is determined: W2C1 U2 AB where C1 is the capacitance of the capacitor 21 is. At time t1, the capacitor 21 is at the reverse voltage (Fig. 2b) reloaded, while on the discharge path the voltage down to zero goes back (Fig. 2c). At time t1, the thyristors 17, 22 and 12 fire Discharge chamber 8 is again entered the predetermined amount of energy. Here the reverse voltage is applied to the thyristors 14, 23 for the restoration the time required for their controllability. If at time t4 the voltage of phase B is greater than the voltage of phases A and e, the pair of thyristors ignites 15, 23 or 18, 22, depending on the polarity of the voltage on the capacitor 21 to this Time. Work in the same way in the time interval in which the Spannen.g phase C has a higher positive value (Fig. 2a), the thyristors 16, 19 together with the thyristors 22, 23.

Ist zum Zeitpunkt t2 die Glimmentladung in eine Bogenentladung umgeschlagen, so fällt die Spannung U3 an der Entladungsstrecke ab, die Geschwindigkeit der Umladung des Kondensators steigt wegen der Zunahme des Entladungsstromes stark an, während die Impulsdauer vermindert wird. Demzutolge bleibt ungeachtet der Erhöhung der Leistungsaufnahme die Impulsenergie konstant. Durch entsprechende Wahl der Eapazität des Kondensators 21 und des viertes der Speisespannung kann man die Impulsenergie kleiner als die minimale energie des Bogenentladungsimpulses, der eine Beschädigung der zu bearbeitenden Werkzeuge hervorruft, machen. If the glow discharge has changed into an arc discharge at time t2, so the voltage U3 drops at the discharge path, the speed of the charge reversal of the capacitor increases sharply because of the increase in the discharge current, while the pulse duration is reduced. As a result, regardless of the increase in power consumption the pulse energy constant. By choosing the capacitance of the capacitor accordingly 21 and the fourth of the supply voltage can make the pulse energy smaller than that minimum energy of the arc discharge pulse that can damage the to be machined Tools evokes, make.

Nach Ablauf der Bogenentladung (Zeitpunkt t3 in Fig. After the arc discharge (time t3 in Fig.

2c) erzeugt die Steuereinheit eine zur Entionisierung der Entladungsstrecke benötigte Verzögerung t3 - t4.2c) the control unit generates one for deionizing the discharge path required delay t3 - t4.

Durch Regelung der Umladungsfrequenz des Kondensators 21 mit Hilfe der Steuereinheit 20 kann man den mittleren ert der Spannung an der Entladungsstrecke ändern, wie dies die Spannungskurve U4 im Fig. 2c zeigt. By regulating the charge reversal frequency of the capacitor 21 with the aid the control unit 20 can be used to determine the mean value of the voltage at the discharge path change, as shown by the voltage curve U4 in FIG. 2c.

Die erfindungsgemäße Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens beitet die Möglichkeit, die Beschädigung der zu bearbeitenden Teile durch die @ogenentladung zu verhindern, den Wirkungsgrad der Einrichtung zu erhöhen und die mittlere Entladungsspannung mit einem guten cos @ zu regeln. The device according to the invention for carrying out the method offers the possibility of damage to the parts to be processed by the @ogen discharge to prevent, increase the efficiency of the device and reduce the mean discharge voltage to settle with a good cos @.

Claims (4)

P A T E N T A N S P R Ü C H E 1. Verfahren zur Stromversorgung von Anlagen zur Werkstückbearbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung, bei dem man an die Entladungsstrecke Speiseimpulse anlegt und deren frequenz ändert, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t, daß man die Energie jedes dieser Impulse unabhängig von der Art und den Parametern der Entladung konstant hält. P A T E N T A N S P R Ü C H E 1. Procedure for supplying power to Systems for workpiece processing with the aid of the glow discharge, in which feed pulses are applied to the discharge path and their frequency is changed, d a it is clear that one can use the energy of each of these impulses keeps constant regardless of the type and parameters of the discharge. 2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t, daß die Energie jedes dieser Impulse kleiner als die minimale Energie des dogenentladungsimpulses, aer eine Zerstörung der zu bearbeitenden Werkstücke hervorruft, ist. 2. The method of claim 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c n e t that the energy of each of these pulses is less than the minimum energy of the dogen discharge pulse, which causes destruction of the workpieces to be machined, is. 3. Verfahren nach anspruch 1, 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß bei Entstehung einer dogenenwladung der hachste Impuls nach einem Zeitintervall, das größer als dei Entionisierungszeit der Entladungsstrecke ist, folgt. 3. The method according to claim 1, 2, d a d u r c h e k e n n z e i c h n e t that when a dogenen load arises the highest impulse after a Time interval that is greater than the deionization time of the discharge path, follows. 4. Einrichtung zur Stromversorgung von Anlagen zur werkstück@earbeitung unter Zuhilfenahme der Glimmentladung, die eine von einem Drehstromnetz gespeiste Gleichrichterbrücke enthält, deren nichtsteuerbare Anodenven@ilgruppe mit den zu bearbeitenden @erkstücken, welche in der Entladungskammer eines Elextroofens untergebracht sind und als Katode für diese Entladungskammer dienen, verbunden sind, während deren Katodenventilgruppe mit der Anode der Entladungskammer verounden ist, die ihrerseits mit dem Singang einer Steuereinneit, deren Ausgänge mit den Steuereingängen der Katodenventilgruppe verbunden sind, in VerDindung steht, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß sie zusätzlich einen Kondensator (21) und zumindest zwei Thyristoren (22, 23), deren Katoden mit der Anode der Entladungskammer (d) verbunden sind, während die Steuereingänge mit den entsprechenden Ausgängen der Steuereinheit (20) in Verbindung stehen, enthält, wobei die katodenventilgruppe (11) der Gleichrichterbrücke (1) in Form von zwei steuerbaren Ventilgruppen (12, 13), deren gemeinsame Katoden an die entsprechenden ßeläge des Kondensators (21) und die Anoden der Thyristoren (22, 23) gelegt sind, ausgeführt ist. 4. Device for the power supply of systems for work piece processing with the help of the glow discharge, one of which is fed by a three-phase network Rectifier bridge contains whose non-controllable anode valve group with the to to be processed, which in the Discharge chamber one Elextroofens are housed and serve as a cathode for this discharge chamber, are connected, while their cathode valve group with the anode of the discharge chamber is verounden, which in turn with the Singang of a control unit, whose outputs are connected to the control inputs of the cathode valve group, d u r c h e k e n n n z e i c h n e t that they also have a capacitor (21) and at least two thyristors (22, 23), the cathodes of which are connected to the anode of the discharge chamber (d) are connected, while the control inputs are connected to the corresponding outputs the control unit (20) in communication, the cathode valve group (11) the rectifier bridge (1) in the form of two controllable valve groups (12, 13), whose common cathodes are connected to the corresponding ßeläge of the capacitor (21) and the anodes of the thyristors (22, 23) are laid.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CH386584A (en) * 1953-12-09 1965-01-15 Berghaus Elektrophysik Anst Process for creating an electric glow discharge of great intensity
DE1912114B2 (en) * 1968-03-11 1976-12-16 Lucas Industries Ltd., Birmingham (Grossbritannien) SURFACE DIFFUSION METHOD USING ELECTRIC GLIME DISCHARGES

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH386584A (en) * 1953-12-09 1965-01-15 Berghaus Elektrophysik Anst Process for creating an electric glow discharge of great intensity
DE1912114B2 (en) * 1968-03-11 1976-12-16 Lucas Industries Ltd., Birmingham (Grossbritannien) SURFACE DIFFUSION METHOD USING ELECTRIC GLIME DISCHARGES

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