DE2812786A1 - Equilibrating a piezoelectric resonator - by selectively screen-printing electrode zones with a metal oxide filled resin mixt. - Google Patents
Equilibrating a piezoelectric resonator - by selectively screen-printing electrode zones with a metal oxide filled resin mixt.Info
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Abstract
Description
Verfahren zum Abgleich eines piezoelek- Procedure for adjusting a piezoelectric
trischen Resonators Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abgleich eines piezoelektrischen Resonators gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. tric resonator The invention relates to a method for adjustment a piezoelectric resonator according to the preamble of claim 1.
Ein derartiges Verfahren ist aus der DE-AS 1 791 285 bekannt.Such a method is known from DE-AS 1,791,285.
Dort kann die Beschichtung aus Siliziummonoxid oder aus Aluminiumoxid oder Tantaloxid bestehen und aufgedampft oder anders aufgebracht werden. Die Abstimmung der Resonanzfrequenz geschieht durch Einstellung der Schichtdicke. Dies ist jedoch nur durch Wahl verschiedener Maschenweiten bei Siebdruckauftrag oder durch die Behandlungsdauer bei Aufdampfbeschichtung möglich.There the coating can be made of silicon monoxide or aluminum oxide or tantalum oxide and are vapor-deposited or otherwise applied. The vote the resonance frequency is done by adjusting the layer thickness. However, this is only by choosing different mesh sizes for screen printing or by the duration of the treatment possible with vapor deposition.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein einfaches Verfahren der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, bei dem der Auftrag der Beschichtung einfach durch eine Siebdruckvorrichtung durchgeführt wird, die mit einem einzigen Sieb auskommt Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Bevorzugte Verfahren sind in den u-nteransprüclien beschrieben Die mit der Erfindung erzielten Vorteile liegen insbesondere darin, daß die Beschichtung auf einer oder auf beiden Grundflächen des piezoelektrischen Plättchens mit einer einzigen Schichtdicke aufgetragen wird, wobei der Abgleich der Resonanzfrequenz durch den Füllgrad des Metalloxidpulvers im siebdruckfähigen Kunstharzgemisch definiert und durchgeführt wird. Als Metalloxidpulver kommen Nickeloxidpulver und/oder andere Schwermetalloxide in Betracht. Die Beschichtung muß möglichst hart sein, damit die Dämpfung der Resonanzfrequenz so klein wie möglich bleibt.The invention is based on the object of a simple method to make available the type mentioned, in which the application of the coating is easily done through a screen printing device using a single Sieve gets by. This object is achieved according to the invention by the characterizing features of claim 1 solved. Preferred methods are described in the subclaims the The advantages achieved by the invention are in particular that the coating on one or both bases of the piezoelectric plate with a single layer thickness is applied, the adjustment of the resonance frequency defined by the degree of filling of the metal oxide powder in the screen-printable synthetic resin mixture and is carried out. Nickel oxide powder and / or others can be used as the metal oxide powder Heavy metal oxides into consideration. The coating must be as hard as possible so that the Attenuation of the resonance frequency remains as small as possible.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Es zeigen Fig. 1a eine vergrößerte Darstellung eines 5,5 MHz-Filters, Fig. lb die gegenüberliegende Grundfläche des in Fig. 1 dargestellten Filters, Fig. 2 einen Schnitt entlang der Schnittlinie AB in Fig. Ib, Fig. 3 ein Filter mit Umhüllung und Drahtanschlüssen in natürlicher Größe, und Fig. 4 die Durchlaßdämpfung d in Abhängigkeit von der Frequenz.An embodiment of the invention is shown in the drawing. 1a shows an enlarged illustration of a 5.5 MHz filter, and FIG opposite base of the filter shown in Fig. 1, Fig. 2 a Section along the section line AB in Fig. Ib, Fig. 3, a filter with an envelope and wire connections in natural size, and FIG. 4 shows the transmission loss d in Dependence on the frequency.
Fig. la zeigt eine Seite eines piezoelektrischen Plättchens 1, auf dem zwei Elektrodenpaare 2a, 2b aufgedruckt sind. Die Elektroden 2a sind über einen aufgedruckten Leiterzug 3 miteinander verbunden.Fig. La shows one side of a piezoelectric plate 1 on on which two pairs of electrodes 2a, 2b are printed. The electrodes 2a are over a printed circuit 3 connected to each other.
Die Elektroden 2b sind über Zuleitungen 4 mit Anschlußflächen 5 an einem Rand des piezoelektrischen Plättchens 1 verbunden.The electrodes 2b are connected via leads 4 with pads 5 one edge of the piezoelectric plate 1 connected.
Fig. 1b zeigt die andere Seite eines piezoelektrischen Plättchens 1, entsprechend Fig. la.Fig. 1b shows the other side of a piezoelectric plate 1, according to Fig. La.
Die Gegenelektroden 2c entsprechen in ihren Abmessungen den Elektrodenpaaren 2a, 2b in Fig. ia. Die Gegenelektroden 2c, vorzugsweise quadratischer Gestalt sind von je einer Ringelektrode 8 umgeben, die mit der Gegenelektrode und über eine Zuleitung 7 mit der Anschlußfläche 6 galvanisch verbunden sind. Je eine kreisrunde Beschichtung 9 aus einem Kunstharzgemisch und Metalloxidpulver bedeckt die Gegenelektrode 2c. Die flächenmäßige Größe der Beschichtung 9 und/oder die Schichtdicke der Beschichtung 9 hängen von der Differenz zwischen der Istresonanzfrequenz und der Sollresonanzfrequenz ab. The counter electrodes 2c correspond in their dimensions the electrode pairs 2a, 2b in Fig. ia. The counter electrodes 2c, preferably more square Shape are each surrounded by a ring electrode 8, which with the counter electrode and are galvanically connected to the pad 6 via a lead 7. One per circular coating 9 made of a synthetic resin mixture and metal oxide powder the counter electrode 2c. The areal size of the coating 9 and / or the layer thickness of the coating 9 depend on the difference between the actual resonance frequency and the target resonance frequency.
Fig. 2 zeigt einen Schnitt durch das piezoelektrische Plättchen 1.2 shows a section through the piezoelectric plate 1.
Auf der einen Hauptfläche ist die Gegenelektrode 2c zu erkennen, die in einem Abstand von einer Ringelektrode 8 umgeben ist. Eine harte Beschichtung 9 bedeckt die Elektrode 2c vollständig und die Ringelektrode 8 teilweise. Auf der gegenüberliegenden Hauptfläche des piezoelektrischen Plättchens 1 ist die Elektrode 2b und der Leiterzug 3 zu erkennen.The counter electrode 2c can be seen on one main surface is surrounded by a ring electrode 8 at a distance. A hard coating 9 covers the electrode 2c completely and the ring electrode 8 partially. On the opposite main surface of the piezoelectric plate 1 is the electrode 2b and the conductor track 3 can be seen.
Fig. 3 zeigt ein Vierkreisfilter der in den Fig. la und ib dargestellten Form mit einer Umhüllung 10, aus der nur die Drahtanschlüsse 11 herausragen, die an den Kontaktflächen 5 und 6 (in Fig. 1a und lb) angelötet sind.Fig. 3 shows a four-circuit filter of the one shown in Figs. La and ib Form with a sheath 10 from which only the wire connections 11 protrude, the are soldered to the contact surfaces 5 and 6 (in Fig. 1a and lb).
Fig. 4 zeigt den Verlauf der Durchlaßdämpfung d in Abhängigkeit von der Frequenz f. Mit f ist die Sollresonanzfrequenz bezeich-0 net. Die Istresonanzfrequenz f2 liegt über der Sollresonanzfrequenz f . Ein ganzes Fertigungslos wird nach 2 in Vorwert-0 gruppen eingeteilt und anschließend nach diesen Gruppen abgeglichen. Der Abgleich nach f geschieht durch Aufbringen der 0 harten Beschichtung auf die Gegenelektroden, wobei sowohl die flächenmäßige Größe der Beschichtung, als auch die Schichtdicke, als auch insbesondere der Füllgrad der Schwermetalloxide im Kunstharzgemisch der Beschichtung Parameter für den Abgleich sind.Fig. 4 shows the course of the transmission loss d as a function of the frequency f. The nominal resonance frequency is denoted by f. The Istrian resonance frequency f2 is above the target resonance frequency f. A whole production lot is produced after 2 divided into pre-value groups and then compared according to these groups. The adjustment according to f is done by applying the hard coating to the Counter electrodes, both the areal size of the coating, as well as the layer thickness and, in particular, the degree of filling of the heavy metal oxides in the synthetic resin mixture the coating are parameters for the adjustment.
Es ist jedoch auch möglich, ausgehend von Vorwertgruppen f2 durch die Beschichtung gezielt auf Werte fl abzugleichen, die unter der Sollresonanzfrequenz f liegen und anschließend 0 durch gezielten Materialabtrag von der Beschichtung die Frequenz auf f zu erhöhen.However, it is also possible, starting from pre-value groups f2 to adjust the coating specifically to values fl which are below the target resonance frequency f and then 0 through targeted material removal from the coating to increase the frequency to f.
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Claims (6)
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| DE19782812786 DE2812786A1 (en) | 1978-03-23 | 1978-03-23 | Equilibrating a piezoelectric resonator - by selectively screen-printing electrode zones with a metal oxide filled resin mixt. |
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| DE2812786A1 true DE2812786A1 (en) | 1979-09-27 |
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ID=6035316
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| DE19782812786 Withdrawn DE2812786A1 (en) | 1978-03-23 | 1978-03-23 | Equilibrating a piezoelectric resonator - by selectively screen-printing electrode zones with a metal oxide filled resin mixt. |
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Citations (3)
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1978
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