DE2738220A1 - PIEZOELECTRIC ELEMENT AND METHOD OF ITS MANUFACTURING - Google Patents

PIEZOELECTRIC ELEMENT AND METHOD OF ITS MANUFACTURING

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DE2738220A1
DE2738220A1 DE19772738220 DE2738220A DE2738220A1 DE 2738220 A1 DE2738220 A1 DE 2738220A1 DE 19772738220 DE19772738220 DE 19772738220 DE 2738220 A DE2738220 A DE 2738220A DE 2738220 A1 DE2738220 A1 DE 2738220A1
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trifluoroethylene
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vinylidene fluoride
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Norimasa Honda
Toshiro Hoshino
Junichi Saku
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Description

KRAUS &VVEISERTKRAUS & VVEISERT

DR. WALTER KRAUS DIPLOMCHEMIKER · DR.-ING. ANNEKÄTE WEISERT DIPL.-ING. FACHRICHTUNa CHEMIE IRMGARDSTRASSE 1S · D-8OOO MÜNCHEN 71 · TELEFON O89/797O77-7g 7O78 · TELEX 05-212186 kpatdDR. WALTER KRAUS DIPLOMA CHEMIST DR.-ING. ANNEKÄTE WEISERT DIPL.-ING. SPECIALIZATION IN CHEMISTRY IRMGARDSTRASSE 1S D-8OOO MÜNCHEN 71 TELEPHONE 089 / 797O77-7g 7O78 TELEX 05-212186 kpatd

TELEGRAMM KRAUSPATENTTELEGRAM CRAUS PATENT

1612 WK/rm1612 WK / rm

MIKIN KOGYO COo, LTD. Osaka / JapanMIKIN KOGYO COo, LTD. Osaka / Japan

Piezoelektrisches Element und Verfahren zu seiner HerstellungPiezoelectric element and process for its manufacture

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1612 tfK/rm1612 tfK / rm

\ 273822U \ 273822U

B e s c h r e i b u η gB e s c h r e i b u η g

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Element, das aus einem Copolymeren aus Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen hergestellt ist. Die Erfindung betrifft auch die Herstellung dieses Elements.The invention relates to a piezoelectric element made from a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene. The invention also relates to Making this item.

Wenn ein Film aus einem polymeren Material in einem starken elektrischen Feld von erhöhter Temperatur abgekühlt wird, dann wird ein Elektret gebildet, d.h. beide Oberflächen des Films werden zu einer Positivelektrode und einer negativen Elektrode polarisiert, und der resultierende polarisierte Film hat piezoelektrische Eigenschaften. Damit dieser Film eine so hohe Piezoelektrizität erhält, wie es für praktische Zwecke zufriedenstellend ist, ist es erforderlich, zunächst den Film stark in einer Richtung zu verstrecken und sodann den verstreckten Film der Polarisation zu unterwerfen. Eine solche Verstärkung der Piezoelektrizität durch Verstrecken ist bei einem polymeren Material mit höherer Polarität, wie Polyvinylidenfluorid, Polyvinylfluorid oder Polyvinylchlorid, stärker ausgeprägt. Tatsächlich werden Filme aus diesen polymeren Materialien in weitem Umfang air; piezoelektrische Elemente verwendet. Diese polymeren Materialien haben Im allgemeinen ausgezeichnete Verformungseigenschaften und sie besitzen eine hohe Flexibilität, so daß sie leicht zu Filmen verformt werden können, die frei deformierbar sind. Nachteiligerweise haben jedoch Filme, die aus diesen polymeren Materialien hergestellt sind, nach dem Verstrecken bzw. Rekken eine Anisotropie.When a film made of a polymeric material is cooled in a strong electric field at an elevated temperature, then an electret is formed, i.e., both surfaces of the film become a positive electrode and a negative electrode Electrode polarizes, and the resulting polarized film has piezoelectric properties. So this film To obtain as high a piezoelectricity as is satisfactory for practical purposes, it is necessary first strongly stretching the film in one direction and then subjecting the stretched film to polarization. One such amplification of the piezoelectricity by stretching is with a polymeric material with higher polarity, such as Polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride or polyvinyl chloride, more pronounced. Indeed, films are made of these polymeric materials widely air; piezoelectric elements are used. These polymeric materials have Im generally excellent deformation properties and they have high flexibility so that they can be easily deformed into films which are freely deformable. Disadvantageously, however, have films made from these polymers Materials are produced, after stretching or Rekken an anisotropy.

In neuerer Zeit sind schon Versuche durchgeführt worden, um Massen, die dielektrische Keramiken in Pulverform und polymere Materialien mit hohen piezoelektrischen Eigenschaften enthalten, zur Herstellung von piezoelektrischen ElementenIn recent times attempts have been made to produce compounds containing dielectric ceramics in powder form and polymeric materials with high piezoelectric properties included, for the production of piezoelectric elements

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zu verwenden. Mit diesen Massen können zwar Elemente mit hoher Piezoelektrizität erhalten werden, doch sind diese hinsichtlich ihrer Verformungseigenschaften den polymeren Materialien selbst unterlegen. Somit können damit kaum dünne Filme erhalten werden.to use. With these masses, elements with high piezoelectricity can be obtained, but they are inferior to the polymeric materials themselves in terms of their deformation properties. Thus, thin films can hardly be obtained with it.

Es wurde nun gefunden, daß ein Copolymeres aus Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen in einem bestimmten Zusammensetzungsbereich zur Herstellung eines piezoelektrischen Elements ziemlich gut geeignet ist, da das Copolymere leicht verformt werden kann und das resultierende Formprodukt selbst, wenn es nicht verstreckt bzw. gereckt wird, eine hohe piezoelektrische Konstante zeigt. Es 1st insbesondere festzustellen, daß die piezoelektrische Konstante des Copolymeren erheblich höher ist als diejenige von Polyvinylidenfluorid, letzteres Material wurde bislang als das Material mit der höchsten piezoelektrischen Konstante unter verschiedenen polymeren Materialien angesehen, die in der Praxis zur Herstellung von piezoelektrischen Elementen verwendet werden.It has now been found that a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene in a certain composition range is quite suitable for making a piezoelectric element, since the copolymer is light can be deformed and the resulting molded product even if it is not stretched exhibits a high piezoelectric constant. In particular, it should be noted that the piezoelectric constant of the copolymer is considerably higher than that of polyvinylidene fluoride, the latter material has heretofore been considered to be the material with the highest piezoelectric constant among various polymeric materials that are used in practice for the manufacture of piezoelectric elements.

Gegenstand der Erfindung ist daher ein piezoelektrisches Element, das dadurch gekennzeichnet 1st, daß es ein Copolymeres, bestehend aus Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen, im Molverhältnis von etwa 95 : 5 bis 10 : 90, vorzugsweise von etwa 90 : 10 bis 35 : 65, enthält, wobei das Copolymere einer Polarisation unterworfen worden ist.The invention therefore relates to a piezoelectric element which is characterized in that it is a copolymer consisting of vinylidene fluoride and trifluoroethylene, in a molar ratio of from about 95: 5 to 10:90, preferably from about 90:10 to 35:65, the copolymer has been subjected to polarization.

Das erfindungsgemäße Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymere kann durch Polymerisation von Vinylidenfluorid mit Trifluoräthylen nach an sich bekannten Verfahren hergestellt werden. Da die Reaktivitätsverhältnisse von Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen bei der Copolymerisation beispielsweise bei Umgebungstemperatur 0,7 bzw. 0,5 sindThe vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymers according to the invention can be polymerized with vinylidene fluoride Trifluoroethylene can be produced by processes known per se. Since the reactivity ratios of vinylidene fluoride and trifluoroethylene in the copolymerization for example 0.7 and 0.5 at ambient temperature

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und da daher das Verhältnis dieser Verhältnisse nahe an 1 liegt, können diese Monomeren der Polymerisation in einem Molverhältnis unterworfen v/erden, das nahezu dem gewünschten Molverhältnis der Monomereinheiten in dem herzustellenden Copolymeren gleich ist.and, therefore, since the ratio of these ratios is close to 1, these monomers can polymerize in one Molar ratio subjected to nearly the desired molar ratio of the monomer units in the one to be produced Copolymers is the same.

Ein typisches Beispiel für die Herstellungsweise des Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymeren wird nachfolgend angegeben (die Beziehung zwischen Volumen und Gewicht entspricht derjenigen zwischen ml und g);A typical example for the preparation of the vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymer is given below (the relationship between volume and weight corresponds to those between ml and g);

In ein druckbeständiges Reaktionsgefäß mit 200 Volumenteilen, das mit 40 Gewichtsteilen Trifluortrichloräthan und 0,16 Gewichtsteilen Di-(3,5,6-trichlorperfluorhexanoyl)-peroxid beschickt worden ist und das unterhalb 00C gehalten wird, werden 20,5 Gewichtsteile Trifluoräthylen und 17,5 Gewichtsteile Vinylidenfluorid unter Druck eingeführt. Das Reaktionsgefäß wird in einen Wassertank von 200C eingetaucht, wodurch die Polymerisation eingeleitet wird. Der Druck in dem Reaktionsgefäß wird maximal auf 20 atü erhöht und sodann 12 h nach Einleitung der Polymerisation auf 7,5 atü erniedrigt. Aus dem Reaktionsgemisch werden 29 Gewichtsteile eines Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymeren als weißer Klumpen gewonnen. Dieser wird mittels eines Mischers in Wasser pulverisiert und getrocknet, wodurch ein feines Granulat erhalten wird. Aus der Materialbilanz zwischen den Ausgangsmonomeren und dem erzeugten Copolymeren sowie auch durch die Elementaranalyse wird bestätigt, daß der Trifluoräthylengehalt in dem Copolymeren etwa 46 Mol-% beträgt. Die grundmolare Viskosität des Copolymeren, gemessen in seiner Dimethylformamidlösung, beträgt 1,8 (100 ml/g bei 35°C). Die Analyse durch ein Differential-Scanning-Kalorimeter (hergestellt von Rigaku Denki Co., Ltd.) zeigt, daß der KristallschmelzpunktIn a pressure-resistant reaction vessel with 200 parts by volume, which has been charged with 40 parts by weight of trifluorotrichloroethane and 0.16 parts by weight of di- (3,5,6-trichloroperfluorohexanoyl) peroxide and which is kept below 0 0 C, 20.5 parts by weight of trifluoroethylene and 17.5 parts by weight of vinylidene fluoride introduced under pressure. The reaction vessel is immersed in a water tank at 20 ° C., whereby the polymerization is initiated. The pressure in the reaction vessel is increased to a maximum of 20 atmospheres and then decreased to 7.5 atmospheres 12 hours after initiation of the polymerization. 29 parts by weight of a vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymer are obtained as a white lump from the reaction mixture. This is pulverized in water by means of a mixer and dried, whereby fine granules are obtained. From the material balance between the starting monomers and the copolymer produced, as well as from the elemental analysis, it is confirmed that the trifluoroethylene content in the copolymer is about 46 mol%. The intrinsic molar viscosity of the copolymer, measured in its dimethylformamide solution, is 1.8 (100 ml / g at 35 ° C.). Analysis by a differential scanning calorimeter (manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd.) shows that the crystal melting point

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162°C und die Initiierungstemperatur der thermischen Zersetzung 338°C beträgt. Das Copolymere ist in Aceton und Dimethylformamid leicht löslich und es kann aus seiner Lösung in solchen Lösungsmitteln filmgegossen werden.162 ° C and the initiation temperature of thermal decomposition is 338 ° C. The copolymer is easily soluble in acetone and dimethylformamide and it can be extracted from its solution be film cast in such solvents.

Das erfindungsgemäße Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymere ist ein thermoplastisches Harz, das gewöhnlich als durchscheinender Feststoff vorliegt. Es ist in vielen Arten von Lösungsmitteln löslich, in denen Polyvinylidenfluorid löslich ist.The vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymer of the present invention is a thermoplastic resin commonly known as translucent solid is present. It is soluble in many types of solvents, including polyvinylidene fluoride is soluble.

In der nachfolgenden Tabelle sind die Schmelzpunkte, die spezifischen Gewichte und die piezoelektrischen Konstanten von Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymeren mit verschiedenen Molverhältnissen von Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen im Vergleich zu den entsprechenden Werten von Polyvinylidenfluorid und Polytrifluoräthylen zusammengestelltfIn the table below are the melting points, specific gravity and piezoelectric constants of Vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymers with different molar ratios of vinylidene fluoride and trifluoroethylene compared to the corresponding values of polyvinylidene fluoride and polytrifluoroethylene compiled

Molverhältnis von
VdF/TrFE1J
Molar ratio of
VdF / TrFE 1 year

Schmelzpunkt (0C) Pulver FilmMelting point ( 0 C) powder film

spezifisches Gewichtspecific weight

piezoelektrische Konstantepiezoelectric constant

(d31> λ (C?N)3) (d 31> λ (C? N) 3)

O (PVdf)O (PVdf)

100/ 98/ 90/ 10 85/ 15 60/ 40
54/ 46
44/ 56
36/ 64
20/ 80 0/100 (PTrFE)
100/98/90/10 85/15 60/40
54/46
44/56
36/64
20/80 0/100 (PTrFE)

176,2176.2

159,3 142,1 149,6 155,5 161,5 161,6 167,6 175,2 198,3159.3 142.1 149.6 155.5 161.5 161.6 167.6 175.2 198.3

175,8 159,9 146*7 149,4 155,2 160,2 163,8 165,7 175,9 199,4175.8 159.9 146 * 7 149.4 155.2 160.2 163.8 165.7 175.9 199.4

1,7665 1,7852 1,8206 1,8663 1,8947 1,8947 1,9233 1,9296 1,9435 1,99051.7665 1.7852 1.8206 1.8663 1.8947 1.8947 1.9233 1.9296 1.9435 1.9905

1,09 x 1,23 x 1,85 x 3,33 x 7,50 χ1.09 x 1.23 x 1.85 x 3.33 x 7.50 χ

6,33 x 6,83 x 2,43 χ 2,80 χ 4,64 χ6.33 x 6.83 x 2.43 χ 2.80 χ 4.64 χ

10 10" 10 1010 10 "10 10

,-13, -13

-12-12

-12-12

10"10 "

1010

1010

1010

10"10 "

-12-12

-13-13

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Fußnoten: 1) Die Copolymeren und die Homopolymeren wurden in ähnlicher Weise, wie oben angegeben, hergestellt. VdF - Vinylidenfluorid; TrFE = Trifluoräthylen; PVdF = Polyvinylidenfluorid (die in der Literatur angegebenen Schmelzpunkte sind 162 bis 182°C); PTrFE = Polytrifluorethylen.Footnotes: 1) The copolymers and the homopolymers were in in a similar manner as indicated above. VdF - vinylidene fluoride; TrFE = trifluoroethylene; PVdF = polyvinylidene fluoride (the melting points given in the literature are 162 to 182 ° C); PTrFE = polytrifluoroethylene.

2) Die Schmelzpunkte wurden durch ein Differential-Scanning-Kalorimeter gemessen. Der Film wurde durch Kompression hergestellt, indem das Pulver bei 2200C und einem Druck von 100 kg/cm zu einem Film mit 0,3 mm Dicke verformt wurde und der Film einachsig zu einem Film mit einer Dicke von 0,17 mm verstreckt bzv/. gereckt wurde.2) The melting points were measured by a differential scanning calorimeter. The film was produced by compression, in that the powder was deformed at 220 ° C. and a pressure of 100 kg / cm to form a film with a thickness of 0.3 mm and the film was uniaxially stretched to form a film with a thickness of 0.17 mm /. was stretched.

3) Die piezoelektrische Konstante wurde bei einem Film bestimmt, der durch Druckverformen des Copolymeren oder des Homopolymeren bei 270°C und unter einem Druck von 100 kg/cm und durch anschließende Polarisation, wie im Beispiel 1, hergestellt worden war. Die Messungen erfolgten mit einer Meßvorrichtung fUr die piezoelektrische Konstante MPiezotron-Tn (hergestellt von Toyo Seiki Co., Ltd.).3) The piezoelectric constant was determined on a film prepared by compression molding the copolymer or the homopolymer at 270 ° C and under a pressure of 100 kg / cm and then polarizing it as in Example 1. The measurements were made with a piezoelectric constant measuring device M Piezotron-T n (manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.).

Das erfindungsgemäße Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymere kann durch herkömmliche Schmelzverformungstechniken (z.B. Druckverformung, Extrusionsverformung, Spritzverformung) zu verschiedenen Gestalten verformt werden. Alternativ kann es in einem flüssigen Medium von Raumtemperatur oder erhöhter Temperatur aufgelöst oder dispergiert werden, worauf die resultierende Lösung oder Dispersion auf ein Substratmaterial zu einem Film aufgebracht wird. Gemäß einem weiteren alternativ möglichen Weg kann es auf die OberflächeThe vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymer of the present invention can be formed by conventional melt molding techniques (e.g. compression deformation, extrusion deformation, injection deformation) can be deformed into different shapes. Alternatively, it can be in a liquid medium at room temperature or elevated temperature are dissolved or dispersed, whereupon the resulting solution or dispersion on a Substrate material is applied to a film. According to a further alternative possible way, it can be applied to the surface

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eines Substratmaterials als Pulver aufgeschichtet v/erden, wodurch eine Überzugsschicht erhalten wird.of a substrate material as powder, thereby obtaining a coating layer.

Zur Herstellung des piezoelektrischen Elements der Erfindung wird das Copolymere aus Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen in eine geeignete Gestalt verformt und sodann einer Polarisation unterworfen. So kann z.B. das Copolymere unter Erhitzen (z.B. auf etwa 2800C) zu einem Filia bzw. einer Platte oder einem Blatt gepreßt werden. Der Film wird mit Elektroden kontaktiert. Ein elektrisches Gleichstromfeld wird bei einer Temperatur oberhalb von Raumtemperatur über einen bestimmten Zeitraum (z.B. etwa 1h) angelegt, worauf die Temperatur auf Raumtemperatur erniedrigt wird. Der so polarisierte Film bzw. die so polarisierte· Platte hat eine genügend hohe Piezoelektrizität, daß sie in der Praxis als piezoelektrisches Element verwendet werden kann. Sie besitzt keine Anisotropie. GewUnschtenfalls kann dor Film bzw. die Platte zuvor verstreckt bzw. gereckt und sodann der Polarisation, wie oben beschrieben, unterworfen werden. In einem solchen Falle kann das resultierende polarisierte Produkt eine höhere piezoelektrische Konstante zeigen., Anstelle, daß man, wie oben beschrieben, eine Druckverformung durchführt, kann man das Copolymere auch in einem geeigneten Lösungsmittel, wie Aceton oder Dimethylformamid, auflösen und zu einem dünnen Film gießverformen, der sodann einer Polarisation unterworfen wird, wodurch ein polarisierter Film erhalten wird.To produce the piezoelectric element of the invention, the copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene is molded into a suitable shape and then subjected to polarization. For example, the copolymer can be pressed with heating (for example to about 280 ° C.) to form a filia or a plate or a sheet. The film is contacted with electrodes. An electric direct current field is applied at a temperature above room temperature for a certain period of time (eg about 1 hour), after which the temperature is lowered to room temperature. The film or plate polarized in this way has a sufficiently high piezoelectricity that it can be used in practice as a piezoelectric element. It has no anisotropy. If desired, the film or the plate can be stretched or stretched beforehand and then subjected to polarization, as described above. In such a case, the resulting polarized product may show a higher piezoelectric constant. Instead of performing compression deformation as described above, the copolymer can also be dissolved in a suitable solvent such as acetone or dimethylformamide and formed into a thin film molding, which is then subjected to polarization, whereby a polarized film is obtained.

Das bei der Polarisierung angelegte elektrische Gleichstromfeld kann niedriger sein als das Potential, das von dem Formprodukt aus dem Copolymeren toleriert wird. Ein höheres elektrisches Feld ist besser. Für praktische Zwecke ist es zweckmäßig, etwa 8 bis 15 KV/mm, vorzugsweise etwaThe DC electric field applied during polarization can be lower than the potential generated by the Molded product from the copolymer is tolerated. A higher electric field is better. For practical purposes it is appropriate to about 8 to 15 KV / mm, preferably about

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10 bis 12 KV/mm, zu verwenden. Die Temperatur bei der Polarisation kann gewöhnlich 80 bis 130°C betragen.10 to 12 KV / mm, to be used. The temperature at the polarization can usually be 80 to 130 ° C.

Das polarisierte Formprodukt aus dem Copolymeren aus Vinylidenfluorid und Trifluorethylen ist als piezoelektrisches Element für elektromechanische Anwendungszwecke geeignet.The polarized molded product made of the vinylidene fluoride copolymer and trifluoroethylene is suitable as a piezoelectric element for electromechanical applications.

Das Copolymere aus Vinylidenfluorid und Trifluorethylen kann weiterhin mit beliebigen anderen organischen oder anorganischen piezoelektrischen Materialien (z.B. Polyvinylidenfluorid) vor der Verformung oder der Polarisation vermischt oder kombiniert werden.The copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene can furthermore with any other organic or inorganic piezoelectric materials (e.g. polyvinylidene fluoride) are mixed or mixed prior to deformation or polarization be combined.

Die Erfindung wird in den Beispielen erläutert. Beispiel 1 The invention is illustrated in the examples. example 1

Pulverförmiges Vinylidenfluorid/Trifluoräthylen-Copolymere (Trifluoräthylengehalt 40 Mol-%), hergestellt durch Suspensionspolymerisation, wird auf eine flache Form aufgebracht, die in eine Erhitzungspresse gebracht wird, welche bei 2700C gehalten wird. Nachdem diese Temperatur 30 min lang aufrechterhalten wird, wird 10 min lang ein Druck von 100 kg/cm angelegt. Die Form wird rasch mit Wasser abgekühlt und das Formprodukt wird aus der Form herausgenommen, wodurch ein Film mit einer Dicke von 0,3 nun erhalten wird. Der Film wird mit Aluminium auf beiden Oberflächen metallisiert, an die Aluminiumfolien mit einer Breite von 1 mm mittels einer elektroleitenden Farbe Dotite (hergestellt von Fujikura Chemical Co., Ltd.) angeschlossen sind. Der Film wird 30 min auf 100°C erhitzt, während ein elektrisches Gleichstromfeld von 10 KV/mm angelegt wird, und bei dieser Temperatur 2 h lang gehalten. Danach wird auf Raumtemperatur abgekühlt. DerPowdered vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymers (Trifluoräthylengehalt 40 mol%) prepared by suspension polymerization is applied to a flat shape, which is brought into a heating press, which is held at 270 0 C. After maintaining this temperature for 30 minutes, a pressure of 100 kg / cm is applied for 10 minutes. The mold is rapidly cooled with water and the molded product is taken out of the mold, whereby a film with a thickness of 0.3 is now obtained. The film is metallized with aluminum on both surfaces to which aluminum foils with a width of 1 mm are connected by means of an electroconductive paint Dotite (manufactured by Fujikura Chemical Co., Ltd.). The film is heated to 100 ° C. for 30 minutes while applying a direct current electric field of 10 KV / mm, and held at this temperature for 2 hours. It is then cooled to room temperature. Of the

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rfrf

so polarisierte Film hat eine piezoelektrische Konstante Cd^1) von 7,5 x 10 C/N, gemessen mit einer Meßvorrichtung für die piezoelektrische Konstante "Piezotron-T" (hergestellt von Toyo Seiki Co., Ltd.).film thus polarized has a piezoelectric constant Cd ^ 1 ) of 7.5 × 10 C / N as measured by a piezoelectric constant measuring device "Piezotron-T" (manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.).

Beispiel 2Example 2

Das gleiche Copolymere wie im Beispiel 1 wird in Methyläthylketon aufgelöst und die resultierende Lösung wird auf die Oberfläche einer Aluminiumplatte aufgebracht, um einen gegossenen Film mit einer Dicke von 90 herzustellen* Der Film wird in der gleichen Weise, vrie im Beispiel 1 beschrieben, polarisiert. Der polarisierte Film zeigt eine piezoelektrische Konstante (d,^) von 21,5 χ 10 C/N.The same copolymer as in Example 1 is dissolved in methyl ethyl ketone and the resulting solution is up applied to the surface of an aluminum plate to make a cast film 90 thick * The film is described in the same way as in Example 1, polarized. The polarized film shows a piezoelectric constant (d, ^) of 21.5 χ 10 C / N.

Beispiel 3Example 3

D%s gleiche Copolymere wie im Beispiel 1 wird wie im Beispiel 1 druckverformt, wodurch ein Film mit einer Dicke von 0,3 mm hergestellt wird. Der Film wird einachsig mit einem VerStreckungsverhältnis von etwa 2 bei Raumtemperatur verstreckt, wodurch ein Film mit, einer Dicke von 0,17 mm erhalten wird. Der verstreckte Film wird wie im Beispiel 1 polarisiert. Der polarisierte Film zeigt eine piezoelektrische Konstante Cd^1) von 19,2 χ 10"12 C/N.The same copolymers as in Example 1 are compression-molded as in Example 1, whereby a film with a thickness of 0.3 mm is produced. The film is uniaxially stretched at a stretching ratio of about 2 at room temperature, thereby obtaining a film having a thickness of 0.17 mm. The stretched film is polarized as in Example 1. The polarized film shows a piezoelectric constant Cd ^ 1 ) of 19.2 χ 10 " 12 C / N.

Vergleichsbeispiel 1Comparative example 1

Polyvinylidenfluorid wird wie imBeispiel 1 druckverformt, jedoch wird bei 220°C gearbeitet, wodurch ein Film mit einer Dicke von 0,3 mm erhalten wird. Der Film wird in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 polarisiert. Der polarisierte Film zeigt eine piezoelektrische Konstante (d,^) von 1,09 x 10~13 C/N.Polyvinylidene fluoride is compression molded as in Example 1, but working at 220 ° C, whereby a film with a thickness of 0.3 mm is obtained. The film is polarized in the same manner as in Example 1. The polarized film shows a piezoelectric constant (d, ^) of 1.09 x 10 ~ 13 C / N.

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Claims (6)

PATENTANWÄLTEPATENT LAWYERS DR. WALTER KRAUS DIPLOMCHEMIKER - DR.-ING. ANNEKÄTE WEISERT DIPL-ING. FACHRICHTUNG CHEMIE IRMGARDSTRASSE 15 · D-8OOO MÜNCHEN 71 · TELEFON 089/797077-79 70 78 ■ TELEX O5-212156 kpat dDR. WALTER KRAUS DIPLOMA CHEMIST - DR.-ING. ANNEKÄTE WEISERT DIPL-ING. SPECIALIZATION CHEMISTRY IRMGARDSTRASSE 15 · D-8OOO MUNICH 71 · TELEPHONE 089 / 797077-79 70 78 ■ TELEX O5-212156 kpat d TELEGRAMM KRAUSPATENTTELEGRAM CRAUS PATENT 1612 WK/rm1612 WK / rm P a t e η t a η s ρ r ü c h eP a t e η t a η s ρ r ü c h e \J\ J Piezoelektrisches Element, dadurch gekennzeichnet, daß es ein Copolymeres, bestehend aus Vinylidenfluorid und TrIfluoräthylen im Molverhältnis von etwa 95 : 5 bis 10 : 90, enthält, wobei das Copolymere einer Polarisation unterworfen worden ist.Piezoelectric element, characterized in that it consists of a copolymer Vinylidene fluoride and trifluoroethylene in a molar ratio of about 95: 5 to 10:90, the copolymer having been subjected to polarization. 2. Piezoelektrisches Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das Copolymere aus Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen im Molverhältnis von etwa 90 : 10 bis 35 : 65 besteht.2. Piezoelectric element according to claim 1, characterized in that the copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene in a molar ratio of about 90:10 to 35:65. 3. Piezoelektrisches Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß man die Polarisation in der Weise durchführt, daß man ein elektrisches Gleichstromfeld an das Copolymere bei einer Temperatur von etwa 80 bis 130°C anlegt und sodann abkühlt.3. Piezoelectric element according to claim 1, characterized in that the polarization is in in such a way that a direct current electric field is applied to the copolymer at a temperature of about 80% up to 130 ° C and then cools down. 4. Piezoelektrisches Element nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß das elektrische Gleichstromfeld etwa 8 bis 15 KV/mm aufweist.4. Piezoelectric element according to claim 3, characterized in that the electric direct current field has about 8 to 15 KV / mm. 5. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Elements, dadurch gekenn zeichnet, daß man5. A method for producing a piezoelectric element, characterized in that one 809810/0780809810/0780 ein Copolymeres, bestehend aus Vinylidenfluorid und Trifluoräthylen im Hol verhältnis von etwa 95 : 5 bis 10 : 90, polarisiert, indem man an dieses ein elektrisches Gleichstromfeld bei einer Temperatur von etwa 80 bis 1300C anlegt und sodann abkühlt.a copolymer consisting of vinylidene fluoride and trifluoroethylene in a Hol ratio of about 95: 5 to 10:90, polarized by applying an electric direct current field to this at a temperature of about 80 to 130 0 C and then cooling. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch g e k e η η zei chnet, daß das Copolymere in gestalteter Form vorliegt.6. The method according to claim 5, characterized in that the copolymer is in a shaped form is present. 809810/0780809810/0780
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