DE2737359C2

DE2737359C2 - Device for linearizing the movement of a vibrating system

Info

Publication number: DE2737359C2
Application number: DE19772737359
Authority: DE
Inventors: Georges Ramonville Thomin
Original assignee: Centre National dEtudes Spatiales CNES
Current assignee: Centre National dEtudes Spatiales CNES
Priority date: 1976-08-19
Filing date: 1977-08-18
Publication date: 1984-01-12
Also published as: GB1573330A; DE2737359A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur linearen Bewegung eines schwingenden Systems gemäß demThe invention relates to a device for the linear movement of an oscillating system according to the

Oberbegriff des Anspruches 1.Preamble of claim 1.

Bei derartigen Systemen ist es oft notwendig, daß in eimern Diagramm die Kurve der Auslenkung, aufgetragen gegenüber der Zeit, sägezahnförmig verläuft Eine derartige Kurve entspricht einer Schwingung, die mit einer konstanten Geschwindigkeit zwischen zwei äußeren Auslenkpunkten abläuft.With such systems it is often necessary that the curve of the deflection is plotted in buckets of a diagram versus time, sawtooth-shaped. Such a curve corresponds to an oscillation that with runs at a constant speed between two outer deflection points.

Ein Beispiel für die Notwendigkeit einer derartigen Linearisierung sind optische Abtastvorrichtungen mk einem Schwingspiegel, die an Bord eines Beobachtungssatteliten verwandt werden. Bei einer derartigen Vorrichtung ist ein Spiegel um eine seiner Achsen schwingend angebracht und es ist dafür gesorgt, daß die Änderung der Winkelstellung des Spiegels um diese Achse linear in Abhängigkeit von der Zeit erfolgt, damit die Spur über der Erde des Bildes eines funktionell dem Spiegel zugeordneten Detektors mit einer geraden Linie vergleichbar istAn example of the need for such a linearization are optical scanning devices mk an oscillating mirror that is used on board an observation satellite. With such a Device is a mirror attached swinging about one of its axes and it is ensured that the Change in the angular position of the mirror about this axis takes place linearly as a function of time, so the trace above the earth of the image of a detector functionally associated with the mirror with a straight line Line is comparable

Eine derartige Einrichtung erleichtert nämlich die Verarbeitung der durch das System beschafften Informationen.Indeed, such a facility facilitates the processing of those procured by the system Information.

Aus der DE-OS 19 48 397 ist eine Abtastvorrichtung der eingangs genannten Art bekannt Bei dieser bekannten Vorrichtung erfolgt die Umkehrung der Bewegungsrichtung mechanisch durch Anschläge. Bei einer in dieser Offenlegungsschrift angegebenen Ausführungsform ist das schwingende Teil mit permanenterregten Zähnen ausgebildet, die entsprechenden Zähnen des ruhenden Teils gegenüber stehen. Sobald sich bei einer Bewegung des schwingenden Teils dessen peramenterregte Zähne zumindest teilweise über die entsprechenden Zähne des ruhenden Teils hinaus bewegen, so wird aufgrund der dabei entstehenden Reluktanzänderung eine Kraft zwischen den jeweils zugeordneten Paaren von Zähnen ausgeübt. Diese Kraft wird dort ausgenutzt um das schwingende Teil, an dem ein Spiegel befestigt ist, in einer definierten Ausgangsstellung zu halten.From DE-OS 19 48 397 a scanning device of the type mentioned is known In this known device, the direction of movement is reversed mechanically by means of stops. at In one embodiment specified in this laid-open specification, the vibrating part is designed with permanently excited teeth, the corresponding Teeth of the resting part are opposite. As soon as there is a movement of the vibrating part of the paramedical teeth at least partially over the move the corresponding teeth of the resting part out, so due to the resulting Reluctance change exerted a force between the respectively assigned pairs of teeth. This force is used there around the oscillating part, to which a mirror is attached, in a defined starting position to keep.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, daß die Bewegungsumkehr berührungslos auf magnetischem Weg erfolgt.The invention is based on the object of providing a device of the type mentioned at the beginning to train that the reversal of movement takes place without contact by magnetic means.

Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst.This object is achieved by the features specified in the characterizing part of claim 1.

Die Erhöhung der Reluktanz an den beiden Enden der Schwingbewegung bewirkt das Auftreten einer Rückführkraft, die immer dazu neigt die Bewegungsrichtung des schwingenden Systems umzukehren. Das heißt mit anderen Worten, daß an den beiden Enden der Schwingbewegung die magnetischen Kräfte, die dank der obengenannten Einrichtung auftreten, einen Halteoder Anschlageffekt ohne Kontakt mit einer elastischen Rückführeinrichtung hervorrufen. Die bewegliche Magnetgruppe ist über den größten Teil der Schwingbewegung überhaupt keiner Kraft und an den Punkten der maximalen Auslenkung zwei Rückführkräften ausgesetzt. Das sich daraus ergebende Bewegungsgesetzt ist eine Auslenkung mit einer konstanten Geschwindigkeit zwischen zwei Haltepunkten. Diese Bewegung ist eine Lineare Schwingung.The increase in reluctance at the two ends of the oscillating movement causes a feedback force to occur, which always tends to reverse the direction of movement of the oscillating system. That means with In other words, that at the two ends of the oscillating motion the magnetic forces that thanks the above-mentioned device, a holding or stopping effect occur without contact with an elastic Create a return device. The moving magnet group is over most of the oscillating motion no force at all and exposed to two return forces at the points of maximum deflection. The resulting law of motion is a deflection with a constant speed between two breakpoints. This movement is a linear oscillation.

Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.Advantageous further developments result from the subclaims.

Im folgenden werden anhand der Zeichnung bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. In the following, preferred exemplary embodiments of the invention are explained in more detail with reference to the drawing.

Fig. 1 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, das einem schwingenden System zugeordnet ist, wobei die magnetische Einrichtung einen Aufbau aus zwei parallelen Ankern und eine von zwei coplanaren Platten gebildete Magnetgruppe aufweistFig. 1 shows schematically an embodiment of the Device according to the invention, which is associated with an oscillating system, the magnetic Establish a structure made up of two parallel anchors and one formed by two coplanar plates Has magnet group

F i g. 2 zeigt eine schematische Seitenansicht der in F i g. 1 dargestellten magnetischen Einrichtung.F i g. 2 shows a schematic side view of the FIG F i g. 1 illustrated magnetic device.

F i g. 3 zeigt eine Schnittansicht längs der Linie HI-III inFig.2.F i g. 3 shows a sectional view along the line HI-III in FIG.

Fig.4a, 4b und 4c zeigen in Ansichten einer Einzelheit von Fig.3 die magnetischen Feldlinien für4a, 4b and 4c show in views a Detail of Fig.3 the magnetic field lines for

κι drei Stellungen zwischen der Magnetgruppe und dem magnetischen Aufbau.κι three positions between the magnet group and the magnetic structure.

F i g. 5a, 5b, 5c zeigen die relativen Änderungen der Reluktanz des magnetischen Kreises, der von Magnetgruppe und dem magnetischen Aufbau gebildet wird, der Rückführkraft, die an der Magnetgruppe liegt und des Schwingungsgesetzes (lineare Schwingung) als Funktion der Auslenkung der Magnetgruppe.F i g. 5a, 5b, 5c show the relative changes in the Reluctance of the magnetic circuit formed by the magnet group and the magnetic structure, the return force applied to the magnet group and the law of oscillation (linear oscillation) as Function of the deflection of the magnet group.

F i g. 6 zeigt in einer abgewickelten Ansicht schematisch das schwingende System und den Stator bei einem Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Schwingvorrichtung. F i g. 6 shows, in a developed view, schematically the oscillating system and the stator in one Embodiment of the oscillating device according to the invention.

F i g. 7 zeigt eine perspektivische Teilansicht eines anderen Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Schwingvorrichtung.F i g. 7 shows a partial perspective view of another embodiment of the invention Oscillating device.

In F i g. 1 ist ein Arm B dargestellt der um eine Achse A schwingt wobei die Aufrechterhaltung der Schwingung durch bekannte und daher nicht dargestellte Einrichtunten erfolgt indem dem System außerhalb des benutzten linearisierten Bereiches jeweils ein elektro-In Fig. 1 shows an arm B which oscillates about an axis A, the oscillation being maintained by means of known and therefore not shown equipment by adding an electric

JO magnetischer Antriebsimpuls zugeführt wird. Das Antriebssystem ist nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung. An einem Ende des Armes B befindet sich das erfindungsgemäße System, bestehend aus den Magneten 111 — 114 und 122—124, die zwischen den feststehenden, konzentrisch zur Achse A angeordneten Ankerplatten 201,202 vorgesehen sind.JO magnetic drive pulse is supplied. The drive system is not the subject of the present invention. At one end of the arm B is the system according to the invention, consisting of the magnets 111-114 and 122-124, which are provided between the stationary anchor plates 201, 202 arranged concentrically to the axis A.

Es versteht sich, daß die kinematischen Verhältnisse zwischen der Magnetgruppe und den Ankerplatten auch umgekehrt sein können. Wesentlich ist, daß sie gegeneinander beweglich sind, und zwar in einer in bestimmter Weise geführten Relativbewegung, da eine genaue Führung notwendig ist, um die Luftspalte des mangetischen Kreises über den gesamten mittleren Teil der Schwingbewegung konstant zu halten.It goes without saying that the kinematic relationships between the magnet group and the anchor plates also can be reversed. It is essential that they can move relative to one another, namely in an in Relative movement guided in a certain way, since precise guidance is necessary in order to avoid the air gaps of the Mangetic circle to keep constant over the entire middle part of the oscillating movement.

Jeder Magnet der Magnetgruppe umfaßt zwei schmale senkrecht an den Ankerplatten angeordnete Polschuhe 111, 112 bzw. 121, 122 aus Weicheisen, die sich auf beiden Seiten eines Sockels 113 bzw. 123 befinden, in dessen Innerem ein Magnet 114 bzw. 124Each magnet of the magnet group comprises two narrow ones arranged vertically on the anchor plates Pole shoes 111, 112 or 121, 122 made of soft iron, which are located on both sides of a base 113 or 123 are located, inside a magnet 114 or 124

so mit hoher Koerzitivkraft, beispielsweise aus einem Ferrit oder aus Samariumkobalt angeordnet ist (F i g. 1, 2,3).so with high coercive force, for example from a Ferrite or samarium cobalt is arranged (Fig. 1, 2,3).

Aus F i g. 1 und 2 ist ersichtlich, daß die magnetischen Feldlinien der beiden Magnete 114 und 124 senkrecht zu den Ankerplatten 201 und 202 jedoch in umgekehrte Richtung zueinander verlaufen.From Fig. 1 and 2 it can be seen that the magnetic field lines of the two magnets 114 and 124 are perpendicular to the anchor plates 201 and 202, however, extend in the opposite direction to one another.

Aufgrund der Tatsache, daß der Luftspalt zwischen den Ankerplatten und den Magneten konstant bleibt, ändert sich die Reluktanz des Kreises während derDue to the fact that the air gap between the armature plates and the magnets remains constant, changes the reluctance of the circuit during the

t>o Schwingung der Magnete im Bereich der Ankerplatten 201 und 202 nicht.t> o vibration of the magnets in the area of the anchor plates 201 and 202 do not.

An den in F i g. 3 strichpunktiert dargestellten Stellen der Mr^netgruppe steigt die Reluktanz des Kreises abrupt an. Die F i g. 4a, 4b und 4c zeigen schematisch die Feldlinien des magnetischen Kreises in drei Stellungen der Magnetgruppe, die jeweils der Stellung ganz links außen, einer mittleren Stellung und der Stellung ganz rechts außen entsprechen. Es ist ersichtlich, daß sich inAt the in F i g. 3 points of the group of mr ^ net groups shown in dash-dotted lines, the reluctance of the circle increases abruptly. The F i g. 4a, 4b and 4c show schematically the field lines of the magnetic circuit in three positions the magnet group, each of the position on the far left, a middle position and the position all on the far right. It can be seen that in

den äußeren Stellungen die Feldlinien ändern, indem sie bezüglich der beweglichen Magnetgruppe unsymmetrisch werden.the external positions change the field lines by being asymmetrical with respect to the moving group of magnets will.

Daraus folgt, daß an den beiden Enden der Schwingbewegung eine Rückführkraft F_r auftritt, deren Wert proportional zum Differenzialquotienten der Reluktanz des Kreises ist.It follows from this that a return force F _r occurs at both ends of the oscillating movement, the value of which is proportional to the differential quotient of the reluctance of the circle.

Die F i g. 5a, 5b und 5c zeigen diesen Effekt als Funktion der Auslenkung bei der Schwingung zwischen den beiden Endpunkten E, die bezüglich des Mittelpunk- ι ο tes O symmetrisch liegen. F i g. 5a zeigt die Änderung der Reluktanz, und F i g. 5b zeigt die Änderung der Rückführkraft.The F i g. 5a, 5b and 5c show this effect as a function of the deflection during the oscillation between the two end points E, which are symmetrical with respect to the center point O. F i g. 5a shows the change in reluctance, and FIG. 5b shows the change in the return force.

Fig.5c zeigt die relativen Änderungen der Stellung der Magnetgruppe in Abhängigkeit von der Zeit. Wie ersichtlich, wird eine praktisch lineare Schwingung über den wesentlichsten Teil der Schwingbewegung erhalten.Fig.5c shows the relative changes in position of the magnet group as a function of time. As can be seen, there is a practically linear oscillation across get most of the oscillating motion.

Es versteht sich, daß die Schwingung statt über einen kreissegmentförmigen Weg auch über einen geradlinigen Weg verlaufen kann, vorausgesetzt, daß die Magnetgruppe und der Anker während ihrer Relativbewegung gut geführt sind.It goes without saying that the oscillation also takes place over a straight line instead of over a circular segment-shaped path Can run away, provided that the magnet group and the armature during their relative movement are well managed.

Weiter bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in F i g. 6 und 7 dargestellt.Further preferred exemplary embodiments of the invention are shown in FIG. 6 and 7 shown.

Das schwingende System 100 ist zwischen den Ankern 120 und 140, eines Stators angeordnet. Es bildet einen beweglichen Bausatz, der beispielsweise einen nicht dargestellten Spiegel trägt, dem eine so linear wie möglich verlaufende Schwingbewegung erteilt werden soll. Das System läuft abwechselnd in die Richtung der Pfeile 160 und 180, die in der abgewickelten Ansicht in F i g. 6 dargestellt sind.The oscillating system 100 is arranged between the armatures 120 and 140, a stator. It forms a movable kit that carries, for example, a mirror, not shown, to which an oscillating movement that is as linear as possible is to be imparted. The system runs alternately in the direction of arrows 160 and 180 shown in the developed view in FIG. 6 are shown.

Das schwingende System 100 wird von einer Vielzahl von Platten 200 aus magnetisch leitfähigem Material gebildet, die in regelmäßigen Abständen angeordnet sind. Diese Platten verlaufen vorzugsweise in den radialen Ebenen der Vorrichtung. Sie sind an einem Träger 220 aus einem Leichtmetall, beispielsweise aus Beryllium angebracht, das eine ausreichende Festigkeit aufweist, um den Gesamtaufbau der Platten in einer Stellung genau in der Mitte zwischen den Ankern 120 und 140 des Stators zu halten.The oscillating system 100 is formed by a plurality of plates 200 made of magnetically conductive material, which are arranged at regular intervals. These plates preferably run in the radial planes of the device. They are attached to a support 220 made of a light metal, for example beryllium, which has sufficient strength to hold the overall structure of the plates in a position exactly in the middle between the anchors 120 and 140 of the stator.

Der Gesamtaufbau des Systems, der Träger 220 und der Platten 200 ist in einem nicht dargestellten Lager angeordnet. Die Platten 200 sind vorzugsweise durch eine Schraubverbindung zwischen Trägerplatten 240 befestigtThe overall structure of the system, the carrier 220 and the plates 200 are arranged in a warehouse (not shown). The plates 200 are preferably fastened between carrier plates 240 by a screw connection

Die Platten 200 bestehen vorzugsweise aus einem schwer sättigbaren Material, wie einer Eisen-Kobalt-Legierung. The plates 200 are preferably made of a material that is difficult to saturate, such as an iron-cobalt alloy.

es wifu Somit ein scnw'ifigcnucs system nut geringer Trägheit erhalten, das linear mit einer relativ hohen Geschwindigkeit schwingen kann und das insbesondere mit einer wesentlich höheren Frequenz schwingen kann als das vorhergehend beschriebene System. Die Platten 200 können an ihren Enden, die den Polen der Anker des Stators gegenüberliegen, abgeschrägt sein, um den durch die Magnete des Stators erzeugten magnetischen Fluß auf der Höhe der Enden zu konzentrieren.It is thus possible to obtain a low inertia system which can oscillate linearly at a relatively high speed and which in particular can oscillate at a significantly higher frequency than the previously described system. The ends of the plates 200 , which are opposite the poles of the armatures of the stator, can be beveled in order to concentrate the magnetic flux generated by the magnets of the stator at the level of the ends.

Tatsächlich erhöht sich auf diese Weise die Induktion an diesen Enden und es wird somit die Rückführungskraft, die proportional dem Magnetfluß und der Induktion ist und die die Platten zwischen den Polen des Stators zurückführt, wenn diese dabei sind, aus dem Stator herauszulaufen, erhöht.In fact, in this way the induction at these ends increases and there is thus the return force which is proportional to the magnetic flux and the Induction and which returns the plates between the poles of the stator when they are at it, out of the Running out of the stator increases.

Der erste Anker 120 des Stators weist eine Vielzahl von Magneten 260 auf, die mit dem gleichen Abstand wie die Platten des schwingenden Systems verteilt , angeordnet sind.The first armature 120 of the stator has a plurality of magnets 260, which are at the same distance how the plates of the vibrating system are distributed, arranged.

Jedem Magneten 260 ist ein ferromagnetisches Polstück 280 zugeordnet, das eine ebene Fläche 300 am Luftspalt aufweist.Each magnet 260 is assigned a ferromagnetic pole piece 280 which has a flat surface 300 at the air gap.

Ein Joch 320 ist an der bezüglich der Polstücke 280 anderen Seite der Magnete 260 angebracht. Vorzugsweise haben die Polstücke 280 einen lameliierten Aufbau, um Wirbelstromverluste herabzusetzen. Zwischen den Blechpaketen sind Formstücke 340 aus Aluminium oder einem anderen nicht magnetischen Leichmetall angebracht.A yoke 320 is attached to the other side of the magnets 260 with respect to the pole pieces 280. Preferably, the pole pieces 280 are laminated to reduce eddy current losses. Formed pieces 340 made of aluminum or another non-magnetic light metal are attached between the laminated cores.

Der Anker 140 kann in der gleichen Weise aufgebaut sein, d. h. gleichfalls Magnete und Polstücke aufweisen. Wie es in F i g. 6 dargestellt ist, kann er auch nur aus magnetisch leitfähigem Material bestehen, welches den Polen 280 des Ankers 120 gegenüberliegend, Vorsprünge 360 aufweist. <The anchor 140 can be constructed in the same manner; H. also have magnets and pole pieces. As shown in FIG. 6 is shown, it can also consist only of magnetically conductive material, which the Poles 280 of the armature 120, opposite one another, have projections 360. <

In diesem Fall kann der Anker 140 auch aus einer Blechbandrolle bestehen, die einen lamellierten Anker bildet. Zwischen den vorstehenden Teilen, die die Pole 360 bilden, sind Nuten ausgespart. Die Polstücke können gegebenenfalls aus einem sättigbaren magnetischen Material, beispielsweise aus einer Eisen-Nickel-Legierung oder aus Mu-Metall bestehen, um die Stärke der in Richtung der Pfeile 170 und 190 wirkenden instabilen Rückführkräfte zu vermindern.In this case, the armature 140 can also consist of a roll of sheet metal, which forms a laminated armature. Grooves are made between the protruding parts that form the poles 360. The pole pieces can optionally consist of a saturable magnetic material, for example an iron-nickel alloy or mu-metal, in order to reduce the strength of the unstable return forces acting in the direction of arrows 170 and 190.

Es ist auch möglich, einen zusätzlichen Luftspalt, d. h. einen zu den Luftspalten zwischen den Platten 200 und den Polen 280 und 360 zusätzlichen Luftspalt vorzusehen, der in der Mitte der Platten des schwingenden Systems vorgesehen sein sollte, das in diesem Fall dann aus zwei getrennten Teilen besteht Ein derartiger Luftspalt hat den Vorteil, daß gleichfalls die instabile Steifigkeit in Richtung de; Pfeile 170 und 190 vermindert wird.It is also possible to provide an additional air gap, ie one to the air gaps between the plates 200 and the poles 280 and 360, which should be provided in the middle of the plates of the oscillating system, which in this case then consists of two separate parts Such an air gap has the advantage that the unstable rigidity in the direction de; Arrows 170 and 190 is decreased.

Der Rotor ist so genau wie möglich zwischen den Ankern des Stators mit einem kleinen Luftspalt in der Größenordnung von beispielsweise 0,3 mm zentriertThe rotor is as accurate as possible between the anchors of the stator with a small air gap in the Centered on the order of, for example, 0.3 mm

Bei dem in F i g. 7 dargestellten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung weisen die Anker 120,140 des Stators Platten 380 auf, die sich in Richtung auf das schwingende System erstrecken. Das schwingende System weist Magnete 420 auf, deren Magnetfeld in der Schwingungsebene verläuft Die Magnetfelder sind abwechselnd zueinander entgegengesetzt gerichtet Zwischen den Magneten 420 befinden sich Teile 440 aus einem ferromagnetischen Material, die den gleichen Abstand wie die Platten 380 der Anker 120, 140 aufweisen. Der Magnetfluß der Magnete schließt sich quer über die Teile 440 und quer über die Platten 380, wobei ein kleiner Luftspalt zwischen den Platten und den Teilen aus ferromagnetischem Material vorgesehen sein kann.In the case of the FIG. 7 illustrated embodiment of the device according to the invention, the armatures 120, 140 of the stator plates 380, which extend in the direction of the oscillating system. The oscillating system has magnets 420, the magnetic field of which runs in the plane of oscillation.The magnetic fields are alternately directed opposite one another. Between the magnets 420 there are parts 440 made of a ferromagnetic material, which are the same distance as the plates 380 of the armatures 120, 140 . The magnetic flux of the magnets closes across the parts 440 and across the plates 380, it being possible for a small air gap to be provided between the plates and the parts made of ferromagnetic material.

Man~kann gegebenenfalls dafür sorgen, das schwingende System durch magnetische Kräfte zu lagern. Bei ^! der in Fig.7 dargestellten Ausführungsform der ; erfindungsgemäßen Vorrichtung kann eine Lagerung / mittels magnetischer Kräfte dadurch erfolgen, daß die Platten 380 mit Spulen 420 umgeben werden. Die Spulen 400 werden mit einem derartigen elektrischen Strom versorgt, daß sie inuHinblick auf die Richtung des durch die Magnete erzeugten Magnetflusses das schwingende System halten. Hierfür werden die Spulen, die einander zugewandt sind, mit Strömen einer solchen Richtung durchflossen, daß magnetische Felder in derselben Richtung erzeugt werden, während benachbarte Spulen am selben Anker von Strömen im entgegengesetzten Richtungssinn durchflossen werden.If necessary, you can ensure that the oscillating system is supported by magnetic forces. At ^! the embodiment shown in Figure 7 of the ; The device according to the invention can be supported by means of magnetic forces in that the plates 380 are surrounded by coils 420. The coils 400 are supplied with an electric current such that they keep the oscillating system in view of the direction of the magnetic flux generated by the magnets. For this purpose, the coils facing each other are traversed by currents in such a direction that magnetic fields are generated in the same direction, while currents in opposite directions flow through adjacent coils on the same armature.

Hierzu 4 Blatt ZeichnungenFor this purpose 4 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Device for the linear movement of an oscillating system that moves in a non-drive manner relative to a stator and within an area thereof, with at least one permanent magnet on the stator and opposite at least one ferromagnetic element on the oscillating system, or with at least one ferromagnetic element the stator and the opposing at least one magnet on the oscillating system, the air gap between the magnet and the ferromagnetic element remaining constant, characterized in that at least one pole piece (113, 123) is attached to the magnet (114, 124) the magnetic flux is concentrated on a pole flux with small expansion in the direction of movement, and that the ferromagnetic element is an armature plate (201, 202) extending in the direction of movement, along which the magnet moves and from whose area it exits at the reversal points

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that two mutually parallel anchor plates (201 and 202) are provided, between which the oscillating system is arranged, and that the oscillating system has two pairs of pole pieces (111, 112 and 121, 122) , between each of which a magnet (114 or 124) is arranged, whose oppositely directed magnetic fields run essentially perpendicular to the armature plates (201, 202) , whereby a rectangular magnetic circuit running perpendicular to the direction of oscillation can be formed.

3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the anchor plates (201, 202) are flat.

4. Apparatus according to claim 2, characterized in that the anchor plates (201, 202) are cylindrical and are arranged concentrically to one another.

5. Device for the linear movement of an oscillating system, which moves relative to a stator and within an area of the same without drive, with at least one permanent magnet on the stator and opposite at least one ferromagnetic element on the oscillating system, or with at least one ferromagnetic element the stator and the opposite at least one magnet on the oscillating system, wherein the air gap between the magnet and the ferromagnetic element remains constant, characterized in that the ferromagnetic element is a perpendicular to the direction of movement extending plate (200) which the magnetic flux on a Pole face with a small extent concentrated in the direction of movement, and that at least one pole piece (280) extending in the direction of movement is arranged on the magnet (260) , along which the ferromagnetic element moves and from whose area it exits at the reversal points.

6. Apparatus according to claim 5, characterized in that the oscillating system (100) has a plurality of spaced apart, perpendicular to the direction of movement extending plates (200), that the stator comprises two armatures (120, 140) , each of which has a plurality of magnets (260) with pole pieces (280) , and that the magnets (260) of the two armatures (120, 140) are arranged in a circle with opposing magnetic poles which are at the same distance from one another as the plates (200) , wherein the oscillating system (100) is arranged between the anchors (120,140)

ίο

7. Apparatus according to claim 5 or 6, characterized

characterized in that the plate (s) (200) is (are) arranged on a carrier (220) of light weight.

8. Apparatus according to claim 7, characterized in that the carrier (220) made of a light metal, for. B. consists of beryllium

9. Device according to one of claims 5 to 7, characterized in that the plates (200) consist of a hard-to-saturate, ferromagnetic material.

10. The device according to at least one of claims 6,7 or 9, characterized in that the plates (200) at their ends opposite the pole pieces (z. B. 280) of the magnets (z. B. 260) of the armature (120,140) of the Stator are beveled.

11. The device according to at least one of claims 6, 7, 9 or 10, characterized in that the plates (200) are provided in the form of two parts with a central air gap.

12. The device according to claims, characterized in that one of the armatures (120, 140) of the stator is formed from a sheet metal roll, in which grooves are provided between the protruding parts which form the pole shoes ('.. B. 280) .

13. Apparatus according to claim 5, characterized in that the ferromagnetic element stands still and the magnet moves

14. The device according to claim 1, characterized in that several in the direction of movement

• »ο consecutive and alternately magnetized magnets in one and the other direction of movement are provided, between which the pole shoes are, and that the stable part has two armatures (120, 140) with a plurality of plates (380) , which in the direction of the oscillating system and up to close to the pole pieces, the oscillating system being arranged between the two anchors

15. The device according to at least one of claims 1 to 6, characterized in that the vibrating component is connected to an optical scanning mirror.

16. Vibrating assembly according to claim 15, characterized in that an excitation device to maintain the oscillation through which one pulse per oscillation cycle, preferably outside the linear range used, transferable to the vibrating component is.

17. Vibrating structural unit according to claim 15 or 16, characterized in that a plurality of such devices regularly on a circumference is arranged distributed, which surrounds the oscillation axis of the vibrating component.