DE2706629B2

DE2706629B2 - Device for monitoring the position and spatial distribution of a high-energy electron beam

Info

Publication number: DE2706629B2
Application number: DE2706629A
Authority: DE
Inventors: Edward A. Heighway; Kenneth J. Hohban; Stanley O. Schriber
Original assignee: Atomic Energy of Canada Ltd AECL
Current assignee: Atomic Energy of Canada Ltd AECL
Priority date: 1976-03-02
Filing date: 1977-02-16
Publication date: 1979-11-08
Also published as: DE2706629A1; CA1032665A; DE2706629C3; JPS52115498A; AU2251277A; US4059763A; GB1538732A; FR2343260A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Überwachung der Position und der räumlichen Verteilung eines Elektronenstrahlbündels hoher Energie der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Gattung.The invention relates to a device for monitoring the position and the spatial distribution of a High energy electron beam of the type specified in the preamble of claim 1.

Es ist eine Strahlungsdetektor-Anordnung für eine Sekundärstrahlung bekannt, mit der die Position und das Profil eines Elektronenstrahls hoher Intensität und "> Energie festgestellt werden kann (Nuclear Instruments and Methods, Band 55, 1%7, Nr. 2, Seiten 339-343). Dabei sind zwei im rechten Winkel zueinander angeordnete, als Emitterkörper dienende Drähte vorgesehen, die sich gleichzeitig durch das Elektronen-A radiation detector arrangement for secondary radiation is known, with which the position and the Profile of an electron beam of high intensity and "> energy can be determined (Nuclear Instruments and Methods, Volume 55, 1% 7, No. 2, pages 339-343). There are two at right angles to each other arranged wires serving as emitter bodies are provided, which simultaneously run through the electron

ni strahlbündel bewegen; die Stromdichte der emittierten Sekundärelektroden ist proportional zu dem Teil des Drahtes, der mit dem Strahl zusammentrifft; sobald der Strahl in Bezug auf die Drähte zentriert worden ist, wird es möglich, aus dem Stromsignal direkt das Strahlprofüni move the beam; the current density of the emitted Secondary electrodes is proportional to the part of the wire that meets the beam; once the If the beam has been centered in relation to the wires, it is possible to directly determine the beam profile from the current signal

ι "> in einem mittleren Querschnitt zu erhalten.ι "> in a medium cross-section.

Eine Einrichtung zur Überwachung der Position und der räumlichen Verteilung eines Elektronensirahlbündels hoher Energie der angegebenen Gattung ist aus der US-PS 37 89 298 bekannt. Dabei wird die Sekundär-A device for monitoring the position and spatial distribution of an electron beam high energy of the specified type is known from US Pat. No. 3,789,298. The secondary

-"i strahlung, die beim Auftreffen der Elektronen des Elektronenstrahlbündels auf die Oberfläche eines Emitterkörpers erzeugt wird, benutzt, um die Position und die räumliche Verteilung des Elektronenstrahlbündels zu überwachen. Diese Sekundärstrahlung ist jedoch- "i radiation that occurs when the electrons hit the Electron beam is generated on the surface of an emitter body, used to determine the position and to monitor the spatial distribution of the electron beam. However, this secondary radiation is

->ϊ isotrop, d. h„ die als Strahlungsdetektor dienende Kollektorelektrode umgibt den Emitterkörper auf dem Umfang eines Kreises. Dies bedeutet wiederum, daß mit der bekannten Einrichtung nur jeweilj ein Elektronenstrahlbündel überwacht werden kann, da die Sekundär--> ϊ isotropic, d. h "the one serving as a radiation detector The collector electrode surrounds the emitter body on the Circumference of a circle. This in turn means that with the known device only one electron beam at a time can be monitored because the secondary

"· strahlung keine information über die Richtung des Elektroncnstrahlbündels enthält."· Radiation no information about the direction of the Contains electron beam.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde eine Einrichtung der angegebenen Gattung so auszubilden, daß gleichzeitig zwei, in entgegengesetzterThe invention is therefore based on the object of designing a device of the specified type in such a way that that at the same time two, in opposite

J' Richtung zueinander verlaufende Elcktronenstrahlbündel überwacht werden können.J 'Direction of electron beams running towards one another can be monitored.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs I angegebenen Merkmale gelöst.According to the invention, this object is achieved by what is stated in the characterizing part of claim I. Features solved.

w Zweckmäßige Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben. w Advantageous embodiments are given in the subclaims.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile beruhen insbesondere auf der Ausnutzung der starken Richtungsabhängigkeit der erzeugten Bremsstrahlung, daThe advantages achieved with the invention are based in particular on the use of the strong directional dependency the bremsstrahlung generated, there

·> die Bremsstrahlung in der Richtung besonders intensiv ist. in der sich das die Bremsstrahlung erzeugende Elektronenstrahlbündel fortpflanzt. Durch die gleichzeitige Überwachung der Bremsstrahlung auf jeder Seite der Folie können also die relativen Intensitäten der·> The bremsstrahlung in that direction is particularly intense is. in which the electron beam generating the bremsstrahlung is propagated. Due to the simultaneous Monitoring the bremsstrahlung on each side of the film can therefore determine the relative intensities of the

¹⁽¹ Strahlen in beider Richtungen gemessen und dadurch entsprechende Informationen über die beiden Strahlen gewonnen werden. ^{1 (1} rays are measured in both directions and thus corresponding information about the two rays can be obtained.

Arbeitet man beispielsweise mit Elektronen von 20 MeV und verwendet Tantal-Folien mit einerFor example, if you work with electrons of 20 MeV and use tantalum foils with a

^ Abmessung d von etwa 0,1 cm in Strahlrichtung und einer Breite von etwa 0,002 cm, so ist die Strahlungsintensität in der Richtung, die entgegengesetzt zur Fortpflanzungsrichtung des Elektronenstrahlbündels ist. etwa 2OdB geringer als in der Vorwärtsrichtung. ^ Dimension d of about 0.1 cm in the beam direction and a width of about 0.002 cm, the radiation intensity is in the direction that is opposite to the direction of propagation of the electron beam. about 2OdB less than in the forward direction.

w Entsprechende Werte ergeben sich auch für den anderen Strahl, so daß bei Verwendung von entsprechend positionierten Sirahlungsdgieksoren getrennte Informationen über die beiden Strahlen gewonnen werden können.w Corresponding values also result for the other beam, so that when using separately positioned syrup cookers Information about the two rays can be obtained.

hi Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel anhand der Zeichnung erläutert; in dieser zeigthi The invention is illustrated below using an exemplary embodiment explained with reference to the drawing; in this shows

Fig. I eine schematischc Darstellung eines Eleklro-Fig. I a schematic representation of an electrical

nenbündelmonitors,bundle monitors,

Fig.2 einen Schnitt durch die in der Fig. I dargestellte Einrichtung und2 shows a section through the device shown in FIG

F i g. 3 eine Folie, die den Emitterkörper der Einrichtung bildet.F i g. 3 a foil which forms the emitter body of the device.

Der Eiektronenbündelmonitor ist in den F i g. 1 und 2 veranschaulicht, wobei die Fig.2 ein Schnitt entlang der Linie A-A in der Fig. I ist. Ein evakuiertes Rohr 1 mit Flanschen 2 an jedem Ende dient zum Anschluß des Monitors an ein Elektronenbündelsystem, so daß der Elektronenbündelweg 3 durch das Rohr 1 entlang seiner Längsausdehnung in der z-Richtung verläuft- Die Flansche 2 weisen öffnungen 4 auf, durch welche Befestigungselemente hindurchgeführt sind, um eine vakuumdichte Verbindung mit dem System zu gewährleisten. Ein Bündel 3a von Elektronen kann entlang dem Weg 3 in einer Richtung ,geführt werden, die durch den Pfeil 3a angedeutet ist, und/oder ein zweiies Bündel Zb kann in einer Richtung entgegengesetzt zu dem Bündel 3a geführt werden, wie es durch den Pfeil 3b angedeutet ist. Die Bündel 3a und 3b können entlang derselben Achse oder entlang verschiedener Achsen geführt werden und sie können auch verschiedene Querschnitte und verschiedene Abmessungen haben. So kann der Querschnitt des Bündels 3a und der Querschnitt des Bündels 36 entweder jeweils so ausgebildet sein, daß keine Überlappung, eine teilweise Überlappung oder eine vollständige Überlappung vorhanden ist.The electron beam monitor is shown in FIGS. 1 and 2, FIG. 2 being a section along the line AA in FIG. An evacuated tube 1 with flanges 2 at each end is used to connect the monitor to an electron beam system, so that the electron beam path 3 runs through the tube 1 along its length in the z-direction. The flanges 2 have openings 4 through which fastening elements are passed to ensure a vacuum-tight connection with the system. A bundle 3a of electrons can be guided along the path 3 in one direction, which is indicated by the arrow 3a, and / or a double bundle Zb can be guided in a direction opposite to the bundle 3a, as indicated by the arrow 3b is indicated. The bundles 3a and 3b can be guided along the same axis or along different axes and they can also have different cross-sections and different dimensions. Thus, the cross-section of the bundle 3a and the cross-section of the bundle 36 can each be designed in such a way that there is no overlap, a partial overlap or a complete overlap.

Um das Bündel 3a in der x-Richtung zu überwachen oder zu steuern, ist ein dünnes Folienclcment 5* auf einem Rahmen 6x angeordnet, der in einer Vakuumkammer 7.V angeordnet ist. Der Rahmen 6.v weist einen linearen Vakuumdurchführungsarm 8v auf, durch welchen der Rahmen 6x und die Folie 5ν in linearer Weise mit Hilfe einer mechanischen Aninebscinrichlung 9.V durch das Bündel 3a hin- und herbewegt werden können. Der Rahmen 6x sollte ausreichend groß sein, daß er mit dem Bündel nicht in Wechselwirkung tritt. wenn die Folie 5.v durch das Bündel 3.7 hindurchbewegl wird. Die Folie 5* ist aus einem herkömmlichen Material hergestellt, welches eine Bremsstrahlung erzeugt, wenn es mit Elektronen bombardiert wird, und welches eine Atomordnungszahl aufweist, welche derart gewählt ist, daß eine mit ihrem Maximum nach vorne verschobene Strahlung entsteht. Die in Jer F i g. 3 dargestellte Oberfläche der Folie 5x, welche dem Llektronenbündel zugewandt ist. welches sich in de /Richtung bewegt, hat eine Länge /1 und eine Dicke h,. Die Länge /1 is' derart gewählt, daß sie viel größer ist als die Breite des Bündels 3u. so daß nur ein Streifen über die gesamte Breite des Bündels 3a mit der Folie 5ν in Wechselwirkung tritt und das Bündel den Rahmen 6v selbst dann nicht trifft, wenn das Bündel 3.7 nicht innerhalb des Rohres I zentriert ist. Die Dicke h-ί der Folie 5x ist außerordentlich gering, und sie liegt in der Größenordnung von 1% der Breite des Bündels, um nur ein Minimum an Bündelwechselwirkung hervorzurufen, wenn die Folie 5x durch dar Bündel 3a hindurchbewegt wird, während zugleich ein ausreichender Querschnitt dem Bündel 3a für eine angemessene Bündelwechselwirkung zur Verfügung steht. Die Tiefe c/der Folie 5x in der ^-Richtung ist derart gewählt, daß eine optimale Intensität der Bremsstrahlung entsteht, insbesondere in der Vorwärtsrichtung, d. h. in Richtung auf die Strahlungsdetektoren 10a.In order to monitor or control the bundle 3a in the x direction, a thin film element 5 * is arranged on a frame 6x which is arranged in a vacuum chamber 7.V. The frame 6.v has a linear vacuum feed-through arm 8v, by means of which the frame 6x and the film 5ν can be moved back and forth through the bundle 3a in a linear manner with the aid of a mechanical suspension device 9.V. The frame 6x should be large enough that it does not interfere with the bundle . when the film 5.v is moved through the bundle 3.7. The foil 5 * is made of a conventional material which generates bremsstrahlung when it is bombarded with electrons, and which has an atomic number which is selected such that a radiation that is shifted forward at its maximum is produced. The in Jer F i g. 3 surface of the film 5x, which faces the electron beam. which moves in de / direction has a length / 1 and a thickness h ,. The length / 1 is chosen such that it is much greater than the width of the bundle 3u. so that only one strip over the entire width of the bundle 3a interacts with the film 5ν and the bundle does not hit the frame 6v even if the bundle 3.7 is not centered within the tube I. The thickness h-of the foil 5x is extremely small and is on the order of 1% of the width of the bundle in order to cause only a minimum of bundle interaction when the foil 5x is moved through the bundle 3a, while at the same time having a sufficient cross-section is available to the bundle 3a for adequate bundle interaction. The depth c / of the film 5x in the ^ direction is selected such that an optimal intensity of the bremsstrahlung is created, in particular in the forward direction, ie in the direction of the radiation detectors 10a.

Eine Anzahl von miteinander verbundenen Bremsstrahlungsdetektorcn 10a sind um den Umfang des Rohres I herum in der Vorwärtsrichtung von der Folie 5* aus angeordnet, um eine Strahlung zu messen, welche durch die Folie 5* erzeugt wird, wenn sie mit Elektronen des Bündels 3a bombardiert wird. Die Detektoren 10a können beliebiger geeigneter Art sein, es werden jedoch vorzugsweise Halbleiterdioden verwendet, welche Ausgangsströme erzeugen, die der auftreffenden Strahlung proportional sind, da derartige Dioden keine Vorspannung benötigen und da weiterhin nur eine Einrichtung mit einer hohen Impedanz wie ein Oszilloskop oder einA number of interconnected bremsstrahlung detectors 10a are around the circumference of the tube I in the forward direction of the foil 5 * arranged to measure radiation, which is generated by the foil 5 * when using electrons of bundle 3a is bombed. The detectors 10a can be of any suitable type, but will preferably semiconductor diodes are used, which generate output currents that of the incident radiation are proportional, since such diodes do not require any bias and there is still only one device with a high impedance like an oscilloscope or a

in entsprechendes Strommeßgerät erforderlich ist, um die Ausgangssignale zur Anzeige zu bringen. Die Anzahl der erforderlichen Dioden als Detektoren 10a hängt von der gewünschten Empfindlichkeit ab.in appropriate ammeter is required to the Bring output signals to the display. The number of required diodes as detectors 10a depends on the desired sensitivity.

Im Betrieb der Einrichtung bewegt die Antriebsein-When the device is in operation, the drive unit moves

ii richtung 9x die Folie 5x in Querrichtung durch das Bündel 3a. Wenn die Folie 5x in das Bündel 3a eintritt, wird eine Bremsstrahlung erzeugt. Die Strahlungsintensität ist dem abgefangenen Bündel 3a oder dem entsprechenden Strom proportional, und ihre Winkelverteilung ist stark in Vorwärtsrichtung verschoben. Die Detektoren 10a ermitteln die vorwärts gerichtete Strahlung und liefern ein Aus^üngssignal an die Schaltung 11. Eine Messung der Brem:strahlungsintensität als Funktion der Position der Foiie 5x entlang derii direction 9x the film 5x in the transverse direction through the bundle 3a. When the film 5x enters the bundle 3a, bremsstrahlung is generated. The radiation intensity is proportional to the intercepted beam 3a or the corresponding current, and its angular distribution is greatly shifted in the forward direction. The detectors 10a determine the forward radiation and supply an output signal to the circuit 11. A measurement of the radiation intensity as a function of the position of the foil 5x along the

-'"' x-Achse liefert ein genaues Bündelprofil in der x- Richtung.- '"' x-axis provides an exact bundle profile in the x- direction.

Die Detektoren 10a können alle parallel mit einer Meßschaltung 11 verbunden sein, vorzugsweise sind die Detektoren 10a jedoch elektrisch in vier gleicheThe detectors 10a can all be connected in parallel to a measuring circuit 11, preferably they are Detectors 10a, however, electrically in four equal

κι Quadranten A, B, C und D geteilt, wie es in der F i g. 2 dargestellt ist. Der Quadrant, der näher ?n dem Bündel liegt, empfängt eine höhere Bremsstrahlung, und auf diese Weise kann die Position des Bündels in bezug auf die Mitte des Rohres 1 bestimmt werden. Zusätzlichκι quadrants A, B, C and D divided as shown in FIG. 2 is shown. The quadrant, the closer? N is the bundle receives a higher braking radiation, and thus the position of the beam can in relation to the center of the tube 1 can be determined. Additionally

>"> liefert die Summation des Gesarntausgangssignals von den vier Detektorgruppen 10a ein Maß für den Bündelgesamtstrom. Eine Kalibrierung dieses Ausgangssignals als Funktion eines Stroms durch unabhängige Strommessungen unter Verwendung eines Fara- >"> Provides the summation of the Gesarntausgangssignals of the four detector arrays 10a, a measure of the total current bundle. A calibration of this output signal as a function of a current through independent power measurements using a Faraday

·"· day-Käfigs ermöglicht quantitative Messungen der Bündelslröme.· "· Day-cage allows quantitative measurements of the Bundle currents.

Um gleichzeitig ein Elektronenbündel 36 überwachen zu können, welches in der entgegengesetzten Richtung zu dem Bündel 3a geführt ist, ist ein zweiter Salz vonIn order to be able to simultaneously monitor a beam of electrons 36 which is in the opposite direction led to the bundle 3a is a second salt of

-t"> Detektoren 106. welche ähnlich aufgebaut sind wie die Detektoren 10a. auf Abstand um den Umfang des Rohres 1 herum in der Vorwärtsrichtung von de; Folie 5x für das Bündel 36 vorgesehen, um diejenige Strahlung zu ermitteln, welche durch die Folie 5v mittels-t "> detectors 106, which are constructed similarly to the detectors 10a. at a distance around the circumference of the pipe 1 in the forward direction of the foil 5x provided for the bundle 36 in order to determine the radiation which passes through the foil 5v by means of

">" Elektronen im Bündel 36 erzeugt wird. Im Hinblick auf das oben beschriebene Bündel 3a ist die Winkelverteilung der Strahlunp, welche durch das Bündel 36 erzeugt wird, stark nach vorn gerichtet. Da die vorwärts gerichtete Strahlung so wesentlich stärker ist als die in">" Electrons in the bundle 36 are generated. With regard the bundle 3a described above is the angular distribution of the radiation generated by the bundle 36 is directed strongly forward. Since the forward radiation is so much stronger than that in

'■>'· "ntt-^>t"eⁿg^ese<^zter Richtung gerichtete Strahlung, empfängt der Detektor 10a nur einen bestimmten geringen Bruchteil derjenigen Strahlung, welche durch das Bündel 36 erzeugt wird und von den Detektoren 10ö aufgenommen wird, und in ähnlicher Weise empfangen '■>' · ^"NTT> t" e ⁿ g ^ese ^<zter direction directed radiation, receives the detector 10a only a specific small fraction of that radiation, which is generated through the bundle 36 and is received by the detectors 10ö, and in received similarly

w> die Detektoren 106 nur den g'eichen kleinen Bruchteil derjenigen Strahlung, welche durch ein Bündel 3a erzeugl wird und von den Detektoren 10a aufgenommen wird. Da der Bruchteil gering ist, können die zwei Bündel gleichzeitig überwacht werden. Um eine höhereThe detectors 106 only have the same small fraction that radiation which is generated by a beam 3a and recorded by the detectors 10a will. Since the fraction is small, the two bundles can be monitored at the same time. To a higher one

<>"> Genauigkeit zu erreichen, können die Ausgangssignale von den Detektoren 10a und 106 dadurch eingestellt werden, daß der bestimmte Bruchteil des Ausgangssignals der Detektoren 10a von dem Ausgangssignal der<> "> To achieve accuracy, the output signals can are adjusted by the detectors 10a and 106 in that the determined fraction of the output signal of the detectors 10a from the output of the

Detektoren iOb subtrahiert wird und in dem weiterhin ein der gleiche Bruchteil von dem Ausgangssignal der Detektoren 10b von dem Ausgangssignal der Detektoren 10a subtrahiert wird.Detectors iOb is subtracted and in which furthermore the same fraction of the output signal of the detectors 10b is subtracted from the output signal of the detectors 10a.

Um die Bündel 3a und 3f> weiter zu definieren, ist eine zweite Folie 5y, die ähnlich aufgebaut ist wie die Folie 5.V, linear hin und her durch die Bündel 3a und 3h bewegbar, und zwar in der y-Richtung, so daß ihre Länge in der Ar-Richtung und ihre Dicke in der >■-Richtung verläuft. Ebenso wie die Folie 5x kann die Folie 5v auf einem Rahmen b\ angebracht sein, der innerhalb einer Vakuumkammer 7\ ungeordnet ist und der einen linearen Vakuumdurchführungsarm 8r aufweist, welcher mit einer mechanischen Antriebseinrichtung verbunden ist. Die mechanische Antriebseinrichtung ist elektrisch mit der MeBschaltung 11 verbunden.In order to further define the bundles 3a and 3f>, a second film 5y, which is constructed similarly to the film 5.V, can be moved linearly back and forth through the bundles 3a and 3h , namely in the y- direction, so that their length is in the Ar direction and their thickness is in the> ■ direction. Just like the film 5x , the film 5v can be attached to a frame b \ which is disordered within a vacuum chamber 7 \ and which has a linear vacuum feed-through arm 8r which is connected to a mechanical drive device. The mechanical drive device is electrically connected to the measuring circuit 11.

Die mechanischen Anlriebscinrichtungcn 9x und die entsprechenden für die v-Richtung werden derart gesteuert. daU sie die Folien 5v und 5y nacheinander durch die Bündel 3;/ und 3b hindurchbewegen. WährendThe mechanical drive devices 9x and the corresponding ones for the v-direction are controlled in this way. that they move the foils 5v and 5y one after the other through the bundles 3; / and 3b . While

ί dieses Vorganges liefern die Detektoren 10a aufeinanderfolgende Sätze von Signalen aufgrund der Strahlung, welche durch die Folien 5v und 5y an die Schaltung 11 geliefert werden, um die Bündel 3a zu definieren, und die Detektoren !Oft liefern aufeinanderfolgende Sätze von During this process, the detectors 10a deliver successive sets of signals due to the radiation delivered through the foils 5v and 5y to the circuit 11 to define the beams 3a, and the detectors! Often times deliver successive sets of

ίο Signalen, aufgrund der Strahlung, welche durch die Folien 5* und 5>-an die Schaltung 11 geliefert werden, um das Bündel 3/> zu definieren. Diese Signale können aufgeschrieben oder einer kathodenstrahlröhre zugeführt werden, um eine visuelle Anzeige des Stroms, desίο signals, due to the radiation emitted by the Foils 5 * and 5> - are delivered to circuit 11, to define the bundle 3 />. These signals can written down or fed to a cathode ray tube for a visual indication of the current flowing through the

i'> Profils und der Positionen der Bündel Ja und 3/> zu liefern.i '> Profile and the positions of the bundles Yes and 3 /> to deliver.

Hierzu 2 HIaIt ZeichnungenFor this 2 HIaIt drawings

Claims

Patent claims:

I. Device for monitoring the position and the spatial distribution of a high energy electron beam with an emitter body that can be moved transversely through the electron beam, the length of which is larger and the width perpendicular to the direction of the electron beam smaller than the transverse dimension of the electron beam and that when the electrons are picked up of the electron beam generates secondary radiation on its surface, with a radiation detector arrangement which is responsive to the secondary radiation and extends around the electron beam at a distance from the emitter body and with a device connected to the radiation detector arrangement for displaying the intensity of the secondary radiation as a function the respective position of the emitter body in the electron beam, characterized in that the emitter body is a bremsstrahlung when the electrons of the tin electron beam are picked up Eugende film (5v, Sy) is provided. that the radiation detector arrangement has a first radiation detector (ΙΟ;) / ¹ for the bremsstrahlung generated by a first electron beam (3; i) , which is arranged in the direction of movement of this electron beam (3n) behind the film (5 \, 5y) . and a second radiation detector (10b) for the bremsstrahlung generated by a second electron beam (3b) running in the opposite direction to the first electron beam (3; i) , which in the movement density of the second electron beam (3öjhinier of the film (5v. Sy ) is arranged.

2. Device according to claim!. Characterized in that two separately movable films (5v. 5y) are provided at an angle of 90 to one another.

3. Device according to one of the claims! or 2. characterized in that the film or films (5 \ .5y) are each in a movable frame (f> .x, 6y) .

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the radiation detectors (10, -f, \ 0b) have several, symmetrically spaced, electrically interconnected detector elements.

5. Device according to claim 4, characterized in that that the detector elements are semiconductor diodes.

6. Device according to one of claims 4 or 5, characterized in that the detector elements electrically form four equal quadrant groups are interconnected.

7. Device according to one of claims I to 6, characterized in that the width (w) of each film (5 *, 5y) perpendicular to the beam direction is approximately 1% of the width of the electron beam.