DE2456734A1

DE2456734A1 - Mass spectrometer with evacuated chamber and separating system - has auxiliary fittings for beam passage to ionisation device

Info

Publication number: DE2456734A1
Application number: DE19742456734
Authority: DE
Inventors: Rudolf Dr Flueckiger; Gerhard Dr Rettinghaus
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1974-11-30
Filing date: 1974-11-30
Publication date: 1976-06-10

Abstract

Mass spectrometer consists of an evacuated chamber with a mass spectrometric separating system, an inlet for the gas mixture with a source of ions. The gas inlet and the auxiliary components are mounted in series. The gas inlet is in the form of a nozzle (1) which produces a beam of the gas mixture and is located on the opposite side of the auxiliary equipment (2, 3). The beam passes through the first auxiliary fitting (2) without touching the wall and enters directly into the second auxiliary fitting (3). The gas inlet nozzle, the ionisation device (2) and the detector are arranged in that sequence.

Description

Massenspektrometer Es ist eine Vorrichtung bekannt, (DT-AS 1 798 377) bestehend aus einem Kaltkathoden-Ionisationsmanometer, einem Massenspektrometer mit Glühkathoden-Ionenquelle, Analysator und Kollektor, sowie einem alle Teile umschliessenden Vakuumgefäss mit einem Gaseinlass, wobei zur Reinigung des Gases vor Eintritt in die Ionenquelle das Ionisationsmanometer im Gasstrom vor der Ionenquelle angeordnet ist. Diese bekannte Anordnung bezweckte, das Eindringen von Verunreinigungen, wie Fett und Oeldämpfe oder andere Kohlenwasserstoffe, die in einem zu analysierenden Gasstrom oft enthalten sind, in die Ionenquelle des Massenspektrometers zu verhindern. Die genannten Verunreinigungen können nämlich an der Glühkathode der IonenXuelle zersetzt werden und führen zu Kohleablagerungen, die zu Betriebsstörungen Anlass geben. Mass spectrometer A device is known (DT-AS 1 798 377) consisting of a cold cathode ionization manometer, a mass spectrometer with hot cathode ion source, analyzer and collector, as well as one that encloses all parts Vacuum vessel with a gas inlet, for cleaning the gas before it enters the ion source the ionization manometer is arranged in the gas flow in front of the ion source is. This known arrangement aimed to prevent the ingress of contaminants such as Fat and oil vapors or other hydrocarbons present in an to be analyzed Gas flows are often included to prevent the ion source of the mass spectrometer. The named impurities can namely on the hot cathode of the ion Xuelle are decomposed and lead to carbon deposits that lead to operational disruptions To give reason.

Es ist ferner eine Hochvakuum-Ionenquellenanordnung bekannt (DT-OS 1 698 533) mit einem Gaseiniasssystem, Einrichtungen zur Erzeugung örtlich konzentrierter lonisierungsenergien in getrennten Ionisierungszonen im Hochvakuumraum der Anordnung, Einrichtungen zur Erzeugung elektrischer Feldkräfte, die bis in die Ionisierungszonen wirksam sind, und getrennten Auffängersystemen fUr die durch die Feidkräfte aus den Ionisierungszonen herausgezogenen Ionen, wobei die Ionisierungseinrichtungen so ausgebildet sind, dass die lonisierungsenergien in zwei Ionisierungszonen so unterschiedlich gross bemessen sind, dass ihnen für bestimmte Komponenten der Gasmischung, insbesondere für die Komponente Helium und für die übrigen Gemischkomponenten, Ionisierungswahrscheinlichkeiten stark unterschiedlicher Höhe zugehören. Dieser bekannten Anordnung lag die Aufgabe zugrunde, eine Hochvakuumgasionenquelle zu schaffen, die eine Ionisierung des Analysengases mit verschiedenen lonisierungsenergien und eine getrennte Messung der dabei sich ergebenden unterschiedli chen Ionenströme ermöglicht. Sie kann in Verbindung mit einem Massenspektrometer zur Analyse des aus einer gaschromatographischen Trennsäule austretenden Gasgemisches dienen. Der Analysengasstrom wird hiebei durch eine sich verzweigende Einlassleitung in zwei Teilströme aufgespalten, wobei die beiden Zweigleitungen ab dem Verzweigungspunkt möglichst gleichartig ausgebildet und symmetrisch angeordnet werden müssen, damit die beiden Hälten je einer Gemischkomponente (peaks) die beiden Ionisationszonen annähernd gleichzeitig durchlaufen. Diese bekannte Anordnung hat åedoch den Nachteil, dass kaum möglich ist, die beiden Zweigleitungen wirklich gleichartig auszubilden, so dass sie die verschiedenen, in dem zu untersuchenden Gasgemisch enthaltenen Komponenten in genau gleicher Weise beeinflussen wUrden. Schon ein geringfügiger Unterschied z.B.A high vacuum ion source arrangement is also known (DT-OS 1 698 533) with a gas inlet system, facilities for generating locally concentrated ionization energies in separate ionization zones in the high vacuum space of the arrangement, Devices for generating electrical field forces that extend into the ionization zones are effective, and separate interception systems for those by the field forces Ions extracted from the ionization zones, the ionization devices are designed so that the ionization energies in two ionization zones so are of different sizes, so that for certain components of the gas mixture, especially for the helium component and for the remaining mixture components, ionization probabilities belong to very different heights. This known arrangement was the task based on creating a high vacuum gas ion source that ionizes the analysis gas with different ionization energies and a separate measurement of this resulting different ion currents allows. She can be in conjunction with a mass spectrometer for the analysis of the gas chromatographic separation column the escaping gas mixture. The analysis gas flow is here through a branching inlet line split into two streams, with the two branch lines are designed as similar as possible from the branch point and must be arranged symmetrically so that the two halves each have a mixture component (peaks) pass through the two ionization zones almost simultaneously. This well-known However, the arrangement has the disadvantage that it is hardly possible to use the two branch lines really similar, so that they are different in the one to be examined Gas mixture contained components in exactly the same way would affect. Even a slight difference e.g.

der Länge oder der Weite der beiden Zweigleitungen-oder eine geringfügig unterschiedliche Oberflächenbeschaffenheit der Innenwände, die sich im Laufe des Betriebes leicht ergeben kann, führt dazu, dass-die eine oder andere Komponente in der einen Leitung stärker als in der anderen adsorbiert wird, wodurch Messfehler entstehen. Dies wirkt sich besonders störend -beim Nachweis von Komponenten aus, die in dem Gasgemisch nur in sehr geringer Konzentration enthalten sind, was deren Nachweismöglichkeit (Nachweisgrenze) wesentlich beschränkt.the length or the width of the two branches - or one slightly different surface properties of the inner walls, which change over the course of the Operation can easily result in one or the other component is more strongly adsorbed in one line than in the other, causing measurement errors develop. This has a particularly disruptive effect - when detecting components, which are contained in the gas mixture only in a very low concentration, what their Possibility of proof (detection limit) significantly limited.

Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung anzugeben, bei welcher das zu untersuchende Gasgemisch nicht in zwei Teilströme aufgespalten werden muss und dennoch die lonisierung- des Gases in einer Ionenquelle und praktisch gleichzeitig dessen Nachweis mittels eines Detektors möglich sind, ohne dass die erwähnten Nachteile in Kauf genommen werden müssen. Die Erfindung strebt damit vor allem eine Erniedrigung der Nachweisgrenze für diejenigen Komponenten des zu untersuchenden Gasgemisches an, die nur in sehr geringer Konzentration vorhanden sind und deshalb an der Grenze der Nachweismöglichkeit liegen.The present invention is based on the object of an arrangement indicate in which the gas mixture to be examined does not split into two partial flows Must be split and still the ionization of the gas in an ion source and practical at the same time its detection by means of a detector are possible without having to accept the disadvantages mentioned. The invention thus primarily seeks to lower the detection limit for those Components of the gas mixture to be examined, which are only in very low concentration exist and are therefore at the limit of the possibility of proof.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäss gelöst mit einem Massenspektrometer mit einem in einer evakuierbaren Kammer angeordneten massenspektrometrischen Trennsystem, einem Einlass für das zu untersuchende Gasgemisch, sowie mit einer Ionenquelle und einem auf as; das Gasgemisch ansprechenden Detektor als Hilfseinrichtungen, wobei der Gaseinlass und die Hilfseinrichtungen in Reihe hinter-und einander angeordnet sind,/ist dadurch gekennzeichnet, dass der Gaseinlass als Einlassdüse zur Formung eines Strahles des Gasgemisches ausgebildet und gegenüber den Hilfseinrichtungen derart angeordnet ist, dass der Strahl eine erste Hilfseinrichtung ohne Wandberührung durchqueren und unmittelbar in die zweite Hilfseinrichtung eintreten kann.The object is achieved according to the invention with a mass spectrometer with a mass spectrometric separation system arranged in an evacuable chamber, an inlet for the gas mixture to be examined, as well as with an ion source and one on as; the gas mixture responsive detector as auxiliary equipment, wherein the gas inlet and the auxiliary devices are arranged in series one behind the other are / is characterized in that the gas inlet acts as an inlet nozzle for shaping a jet of the gas mixture and opposite the auxiliary equipment is arranged such that the beam is a first auxiliary device without touching the wall can traverse and directly enter the second auxiliary facility.

Dadurch dass der Strom des Analysengases die erste Hilfseinrichtung ohne Wandberührung als Molekularstrahl durchqueren kann, werden die bekannten nachteiligen Effekte einer solchen Wandberührung völlig ausgeschaltet. Gleichzeitig gewährleistet die hohe Geschwindigkeit der Gasmoleküle im Strahl (einige hundert Meter pro Sek.), dass die Beeinflussung der zweiten Hilfseinrichtung durch eine nachzuweisende Komponente praktisch ohne zeitliche Verzögerung erhalten wird. Im Gegensatz dazu verursacht bei der eingangs erwähnten Reihenanordnung eines Kaltkathoden-Ionisationsmanometers und einer Glühkathoden-Ionenquelle die wesentlich geringere Geschwindigkeit des Analysengasstromes (höchstens einige Meter pro Sek) eine kaum vermeidbare zeitliche Verzögerung, die sich besonders bei der gaschromatographischen Analyse mit schnellem Trägergasstrom nachteilig bemerkbar macht.Because the flow of the analysis gas is the first auxiliary device can traverse as a molecular beam without touching the wall, the known disadvantageous Effects of such a wall contact completely turned off. Simultaneously ensures the high speed of the gas molecules in the jet (several hundred Meters per second) that the influence of the second auxiliary device by a component to be detected is obtained with practically no time delay. in the In contrast to this, caused by the series arrangement of a cold cathode ionization manometer mentioned at the beginning and a hot cathode ion source the much lower speed of the Analysis gas flow (at most a few meters per second) a hardly avoidable temporal Delay, which is particularly evident in gas chromatographic analysis with rapid Makes carrier gas flow disadvantageously noticeable.

Im nachfolgenden soll an Hand der anliegenden Zeichnung die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.In the following, the invention will be based on the attached drawing are explained in more detail using an exemplary embodiment.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.Further advantageous refinements of the invention are set out in the subclaims described.

Die Zeichnung zeigt in vereinfachter schematischer Darstellung unter den angegebenen Bezugszeichen die folgenden Teile: 1 Gaseinlass; 2 Ionenquelle eines Massenspektrographen als erste Hilfseinrichtung; 3 Detektor für das Analysengas als zweite Hilfseinrichtung (z,B. Totaldruckmessröhre zur Registrierung des Totalionenstromverlaufes oder eine weitere Ionenquelle mit Massenfilter zur Registrierung des Total- oder Partialdruckverlaufs); 4 Verstärker; 5 Schreiber für das Detektorsignal; 6 Verstärker; 7 Schreiber fUr das Massenspektrum; 8 massenspektrometrisches Trennsystem, z.B. Quadrupolanalysator; 9 Sekundärelektronenvervielfacher; 10 Vakuumpumpsystem; 11 Glühkathode des Massenspektrometers (senkrecht zur Zeichnungsebene stehender Glühfaden).The drawing shows a simplified schematic representation under the following parts are given the reference numerals: 1 gas inlet; 2 ion source one Mass spectrograph as a first auxiliary device; 3 detector for the analysis gas as a second auxiliary device (e.g. total pressure gauge for registration the course of the total ion current or another ion source with a mass filter for Registration of the total or partial pressure curve); 4 amplifiers; 5 clerks for the detector signal; 6 amplifiers; 7 writers for the mass spectrum; 8 mass spectrometry Separation system, e.g., quadrupole analyzer; 9 secondary electron multiplier; 10 vacuum pump system; 11 Hot cathode of the mass spectrometer (perpendicular to the plane of the drawing Filament).

Der Gaseinlass ist, wie erwähnt, als Einlassdüse 1 ausgebildet.As mentioned, the gas inlet is designed as an inlet nozzle 1.

Das Analysengas tritt durch diese Düse in den beim Betrieb auf Unterdruck zu pumpenden Raum der Ionenquelle 2 ein und bildet dabei einen gerichteten Gasstrahl (Molekularstrahl). Die Einlassdüse ist gegenüber der Ionenquelle so angeordnet, dass der Strahl diese ohne wesentliche Behinderung, vor allem möglichst ohne WandberUhrung durchqueren kann. Man muss also eine entsprechend ausgebildete (sogenannte offene) Ionenquelle verwenden.The analysis gas enters the underpressure during operation through this nozzle to be pumped space of the ion source 2 and thereby forms a directed gas jet (Molecular beam). The inlet nozzle is arranged opposite the ion source so that that the jet can do this without any significant hindrance, especially if possible without touching the wall can traverse. So you have to have an appropriately trained (so-called open) Use ion source.

Zweckmässigerweise wird man darauf achten, dass eine eventuelle Glühkathode der Ionenquelle (deren Schnitt durch die Zeichnungsebene durch den Punkt 11 angedeutet ist) ausserhalb des Strahles steht. Für die erfindungsgemässe Verwendung sind alle bekannten Ionenquellen geeignet, welche das Hindurchschiessen mit einem Molekularstrahl zulassen. (Wird dagegen der Detektor als erste Hilfseinrichtung im Sinne des Patentanspruchs verwendet, gilt entsprechendes für diesen. Eine solche Anordnung, bei der Ionenquelle und Detektor vertauscht sind, ist möglich, aber meist weniger zweckmässig, weil das empfindliche Volumen der Ionenquelle im allgemeinen klein ist und sich deshalb an einer Stelle kleinen Strahlquerschnitts, also nahe -dem Gaseinlass, befinden sollte).It is advisable to ensure that a possible hot cathode the ion source (whose section through the plane of the drawing is indicated by point 11 is) is outside the beam. For the use according to the invention are all known ion sources suitable, which allow shooting through with a molecular beam allow. (If, on the other hand, the detector is the first auxiliary device within the meaning of the patent claim is used, the same applies to this. Such an arrangement at the ion source and detector are swapped, is possible, but usually less useful because the sensitive volume of the ion source is generally small and therefore at a point with a small jet cross-section, i.e. close to the gas inlet should).

Die Ionenquelle ist meist als Glühkathoden-Ionisationseinrichtung ausgebildet und liefert-in bekannter Weise die Ionen für die massenspektrometrische Untersuchung. Die Ionen treten durch die Blenden der Ionenquelle direkt in das Quadrupolstabsystem ein, wobei jeweils nur eine Ionensorte mit bestimmtem Ladungs/Masse-Verhältnis das Massenfilter passieren kann, während die Ionen mit. anderem Landungs/Masse-Verhältnis durch Neutralisation ausgeschieden werden. Die das Massenfilter durchlaufenden Ionen werden sodann mittels eines Sekundärelektronenvervielfachers 9 nachgewiesen, dessen jeweiliger Signalstrom nach Ver-6 stärkung im Verstärker/durch den Schreiber 7 aufgezeichnet wird. Wird die Einstellung des Massenfilters über einen bestimmten e/m-Bereich hinweg geändert, so dass der entsprechende Anteil Ionen dieses e/m-Verhältnisses in Abhängigkeit von der Zeit aufgezeichnet wird, erhält man ein Massenspektrum; hinsichtlich der näheren Einzelheiten betreffend die Funktionsweise und den Betrieb eines Quadrupolmassenfilters s. die einschlägige Literautr. Natürlich können auch andere Typen von Massenspektrometern bei der Anordnung nach der Erfindung verwendet werden, doch hat sich das Quadrupolmassenfilter wegen seiner Zuverlässigkeit besonders bewährt.The ion source is usually a hot cathode ionization device formed and delivers the ions for the mass spectrometric in a known manner Investigation. The ions pass through the diaphragms of the ion source directly into the quadrupole rod system one, whereby only one type of ion with a certain charge / mass ratio is the Mass filters can pass while the ions are using. different landing / mass ratio be eliminated by neutralization. The ions passing through the mass filter are then detected by means of a secondary electron multiplier 9, its respective signal stream after amplification in the amplifier / recorded by the recorder 7 will. Is the setting of the mass filter over a certain e / m range changed so that the corresponding proportion of ions of this e / m ratio is recorded as a function of time, a mass spectrum is obtained; regarding the further details regarding the functionality and operation of a quadrupole mass filter, see the relevant liter author. Of course you can too other types of mass spectrometers are used in the arrangement according to the invention However, the quadrupole mass filter has become particularly popular because of its reliability proven.

Der erwähnte auf das Analysengas ansprechende Detektor kann ebenfalls von verschiedener Art sein. Es kann sich um ein Ionisationsmanometer zur Messung des Totalionenstromes handeln oder um eine Einrichtung zur Messung eines bestimmten Anteiles der Ionen. Z.B. ist es bei Verwendung der Anordnung in Verbindung mit einer gaschromatographischen Trennsäule zweckmässig, einen Detektor zu verwenden, der nur auf die aus den Komponenten des zu analysierenden Stoff gebildeten Ionen anspricht, dagegen nicht auf das Trägergas. Dies kann z.B. mit einem GlUhkathoden-Ionisationsdetektor erreicht werden, dessen Betriebsspannung so niedrig gewählt wird, dass das Helium wegen seines verhältHsmässig hohen Auftrittspotentials von 24.5 Volt nicht mehr ionisiert wird, wohl aber die nachzuweisenden Stoffe, die meist ein wesentlich geringeres Auftrittspotential aufweisen.The mentioned detector which responds to the analysis gas can also be of various kinds. It can be an ionization manometer for measurement act of the total ion current or a device for measuring a certain Proportion of ions. E.g. when using the arrangement in connection with a gas chromatographic separation column expedient to use a detector that only responds to the ions formed from the components of the substance to be analyzed, on the other hand not on the carrier gas. This can be done, for example, with a glow cathode ionization detector can be achieved whose operating voltage is chosen so low that the helium no longer because of its relatively high occurrence potential of 24.5 volts is ionized, but the substances to be detected, mostly a have significantly lower performance potential.

Der Detektor 3 für die erfindungsgemässe Anordnung könnte auch als Oberflächenionisationsdetektor ausgebildet sein oder als eine zweite massenspektrometrische Trennanordnung, mit der die Summe der Ionen eines interessierenden e/m-Bereiches erfasst werden kann. In letzterem Falle könnte das Teil 3 der Zeichnung die Ionenquelle dieser zweiten massenspektrometrischen Trennanordnung darstellen.The detector 3 for the inventive arrangement could also be used as Be designed surface ionization detector or as a second mass spectrometric Separation arrangement with which the sum of the ions of an e / m area of interest can be captured. In the latter case, part 3 of the drawing could be the ion source represent this second mass spectrometric separation arrangement.

Andere geeignete Detektoren sind die in der Vakuumaufdampftechnik zur Schichtdickenmessung viel verwendeten Schwingquarzmesseinrichtungen. Um kondensierbare Bestandteile des Analysengases nachzuweisen, können diese auf einer Fläche des Schwingquarzes niedergeschlagen werden, wodurch sich dessen Frequenz verändert, die laufend gemessen wird. Es kommen im Prinzip alle Arten von Detektoren in Frage, die unter den gegebenen Vakuumbedingungen arbeiten können. Im Ionisationsraum der Ionenquelle 2 muss beim Betrieb Unterdruck (Vakuum) herrschen und dementsprechend auch im Messraum des Detektors 3. Vorzugsweise wird ein Detektor verwendet, der einen Unterdruck erlaubt, bei dem die Teilchen des aus der Düse 1 austretenden Gasstrahles nicht oder nur verhältnismässig selten mit Teilchen des Restgases zusammenstossen (Molekularstrahlen). Andererseits muss allerdings die Gasdichte im Strahl so hoch sein, dass eine genügende Zahl von Ionen für den Betrieb des Massenspektrometers gebildet werden kann.Other suitable detectors are those used in vacuum evaporation technology Oscillating quartz measuring devices that are widely used for coating thickness measurement. To be condensable Detecting components of the analysis gas can be done on a surface of the quartz oscillator be precipitated, which changes its frequency, which is continuously measured will. In principle, all types of detectors come into consideration, those under the given Vacuum conditions can work. In the ionization space of the ion source 2 must be at Operation negative pressure (vacuum) prevail and accordingly also in the measuring room of the detector 3. Preferably, a detector is used that allows a negative pressure at which the particles of the gas jet emerging from the nozzle 1 are not or only proportionally rarely collide with particles of the residual gas (molecular beams). on the other hand must, however, the gas density be so high in the beam that one A sufficient number of ions can be formed for the operation of the mass spectrometer can.

Die Zeichnung zeigt, dass das vom Detektor 3 (gleich welcher Art) gebildete Signal an ein Verarbeitungsgerät 4, meistens an einen Verstärker weitergeleitet wird, an welches ein Schreiber 5 zur Aufzeichnung des Signalverlaufes angeschlossen sein kann.The drawing shows that the detector 3 (of whatever type) formed signal to a processing device 4, mostly forwarded to an amplifier is to which a recorder 5 is connected to record the signal curve can be.

Die gleichzeitige Untersuchung des Analysengases mit Hilfe eines Massenspektrometers und eines weiteren Detektors ist ansich bekannt. Durch die Kombination der beiden Messresultate lassen sich weitergehende Schlüsse bezüglich des zu analysierenden Gases ziehen. Für Zwecke der Gaschromatographie wird, wie erwähnt, ein gaschromatographischer Detektor verwendet, der in bekannter Weise das Gaschromatogramm der Probe liefert. Gleichzeitig kann jede der gaschromatographisch getrennten Komponenten für sich einer massenspektrometrischen Untersuchung unterworfen werden. Dabei ist es für eine sichere Zuordnung des jeweiligen Massenspektrogramms zur entsprechenden gaschromatographischen Komponente (Peak) sehr wichtig, dass möglichst keine unbestimmte zeitliche Verzögerung zwischen den beiden Messungen eintritt.The simultaneous examination of the gas to be analyzed with the help of a mass spectrometer and another detector is known per se. By combining the two Measurement results allow further conclusions to be drawn regarding the to be analyzed Pull the gas. As mentioned, gas chromatography is used for gas chromatography purposes Detector used, which supplies the gas chromatogram of the sample in a known manner. At the same time, each of the components separated by gas chromatography can be used for itself be subjected to a mass spectrometric analysis. It is for a reliable assignment of the respective mass spectrogram to the corresponding gas chromatographic Component (peak) is very important that there is no indefinite time delay if possible occurs between the two measurements.

Noch schlimmer als eine feste zeitliche Verzögerung, die, wenn sie erkannt wird, bei der Auswertung berücksichtigt werden könnte, ist eine unterschiedliche Verzögerung der einzelnen Komponenten, wie sie bei den bekannten Verzweigungsleitungen infolge differenzieller Oberflächenadsorption leicht eintreten kann. Diese Gefahr ist bei der erfindungsgemässen Anordnung ausgeschaltet, Dabei erhält man noch den Vorteil, dass die Geschwindigkeit, mit welcher eine Analysengasprobe durchgemessen werden kann, bei der Erfindung nur durch die elektronische Verarbeitung der Signale bestimmt wird und nicht mehr durch die Strömungsgeschwindigkeit des Gases in den Verzweigungsleitungen. Die Erfindung ermöglicht deshalb in Verbindung mit entsprechenden elektronischen Messgeräten eine schnellere DurchfUhrung einer Analyse.Worse than a fixed time lag that if she is recognized that could be taken into account in the evaluation is different Delay of the individual components, as is the case with the known branch lines can easily occur due to differential surface adsorption. This danger is switched off in the arrangement according to the invention Advantage that the speed with which an analysis gas sample is measured can only be achieved in the invention by the electronic processing of the signals is determined and no longer by the flow rate of the gas in the Branch lines. The invention therefore enables in connection with corresponding electronic measuring devices enable an analysis to be carried out more quickly.

Claims

P A T E N T A N S P R U E C tI E

1. Mass spectrometer with a arranged in an evacuable chamber mass spectrometric separation system, an inlet for the gas mixture to be examined, as well as with an ion source and a detector responsive to the gas mixture as auxiliary equipment, with the as inlet and auxiliary equipment in series are arranged one behind the other, d u r c h g e n n n z e i c h n e t that the gas inlet is designed as an inlet nozzle (1) for forming a jet of the gas mixture and is arranged opposite the auxiliary devices (2,3) in such a way that the beam cross a first auxiliary device (2) without touching the wall and directly into the second auxiliary device (5) can enter.

2. Mass spectrometer according to claim 1, d a d u r ch g e -k e It is noted that the inlet nozzle (1), ionization device (2) and detector (3) are arranged one after the other in the order given.

3. Mass spectrometer according to claim 1, d a d u r c h g e -k It is noted that the ionization device (2) is used as a hot-cathode ion source is trained.

4. Mass spectrometer according to claim 1, d a d u r c h g e -k It is noted that the detector (3) is used as a hot-cathode ionization detector is trained.

5. Mass spectrometer according to claim 1, d a d u r c h g e -k It is noted that the detector (3) is used as a sound source of a second mass spectrometric Separation arrangement is formed.

6. Mass spectrometer according to claim 1, d a d u r c h g e -k It is noted that the detector (3) is used as an oscillating quartz measuring device Measurement of components of the condensed on a surface of the quartz crystal gas mixture to be examined is formed.

7. mass spectrometer according to claim 1. d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t that the mass spectrometric Separating device is designed as a quadrupole mass spectrometer (8).

L e r s e i t e