DE2456072C2

DE2456072C2 - Method for representing the intensity of signals present in points distributed along a line uniformly scanned by a probe

Info

Publication number: DE2456072C2
Application number: DE19742456072
Authority: DE
Inventors: Karl-Heinz Dr.rer.nat 1000 Berlin Müller
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Filing date: 1974-11-25
Publication date: 1976-12-09

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Darstellung der Intensität von Signalen, die in längs einer gleichförmig mit einer Sonde abgetasteten Linie Verteilten Punkten vorliegen, durch einen Fernseh-Monitor. The invention relates to a method for displaying the intensity of signals in longitudinal a line uniformly scanned with a probe are distributed by a television monitor.

Ein derartiges Verfahren ist unter der Bezeichnung »Linienrasterung« (line-scanning) bei einem Raster-Elektronenmikroskop bekannt (vgl. ELEKTRONIK, 1972, Heft 12, Seiten 415 ff.). Der Elektronenstrahl des Mikroskops wird dabei entlang einer Geraden auf der Oberfläche einer Probe geführt. Synchron mit dem Elektronenstrahl wird auf einer Elektronenstrahlröhre die Horizontalablenkung, d.h. die Ablenkung in Richtung der Zeilen, betrieben. Die Vertikalablenkung des Elektronenstrahls der Röhre wird proportional zur Intensität der jeweils gemessenen Signale vorgenommen. Als Signale können dabei beispielsweise die Sekundärelektronen Verwendung finden. Auf der Elektronenstrahlröhre ergibt sich eine Kurve, deren Darstellung der üblichen Kurvendarstellung entspricht, d.h. die Intensität des Signals ist über der in horizontaler Richtung verlaufenden Abszisse aufgetragen. Such a method is known as "line scanning" in a scanning electron microscope known (see. ELEKTRONIK, 1972, issue 12, pages 415 ff.). The electron beam The microscope is guided along a straight line on the surface of a sample. In sync with that The electron beam is the horizontal deflection on a cathode ray tube, i.e. the deflection in the direction of the rows, operated. The vertical deflection of the electron beam of the tube becomes proportional made for the intensity of the respective measured signals. The signals can be, for example the secondary electrons are used. A curve is produced on the cathode ray tube, whose display corresponds to the usual curve display, i.e. the intensity of the signal is above the plotted in the horizontal direction running abscissa.

Verwendet man als Elektronenstrahlröhre einen handelsüblichen Fernsch-Monitor mit den festliegenden Normen für Zeilen- und Bildfrequenz (in Deutschland Zeilenfrequenz = 15 625 Hz, Bildfrequenz = 50 Hz für das 312.5zeilige Halbbild, bei demIf you use a conventional tele monitor with the fixed ones as the cathode ray tube Standards for line and image frequency (in Germany line frequency = 15 625 Hz, image frequency = 50 Hz for the 312.5 line field in which

nur jede zweite Zeile geschrieben wird), so ist man auch mit dem Elektronenstrahl-Ablenksys;em des Raster-Elektronenmikroskops an diese Normen gebunden; d. h., daß dei Elektronenstrahl lediglich während einer Zeit von 64 X 10"s inder beschriebenen Weise über das Präparat geführt wird. Eine derart schnei!" Abtastung ist jedoch nur dann möglich, wenn das durch die Elektronenbestrahlung des Objekts hervorgerufene Signal entsprechend schnell entsteht; das ist beispielsweise der Fall bei Verwertung der Se-only every second line is written), then one is also with the electron beam deflection system; em des Scanning electron microscope bound to these standards; d. that is, the electron beam is only during a time of 64 X 10 "s in the described Way is passed over the preparation. Such a quick scan is only possible if the signal caused by the electron irradiation of the object is generated correspondingly quickly; this is the case, for example, when the se-

kundärelektronen als Signal und bei nicht zu hohen Vergrößerungen.secondary electrons as a signal and at not too high magnifications.

Es gibt jedoch Vorgänge, die eine so schnelle Abtastung des Objekts nicht gestatten, da zur Gewinnung eines signifikanten Signals der betreffende Objekt-However, there are processes which do not allow the object to be scanned as quickly as it is for the purpose of obtaining it a significant signal of the object in question

punkt für eine längere Dauer bestrahlt werden muß. Das ist beispielsweise der Fall, wenn man bei einem Raster-Elektronenmikroskop die sekundäre Röntgenstrahlung als Signal verwerten will. Das bedeutet, daß in diesem Fall bei dem bekannten Verfahren die Horizontalablenkung des Elektronenstrahls des Monitors erheblich verlangsamt werden muß.point must be irradiated for a longer period. This is the case, for example, when you are with a Scanning electron microscope wants to use secondary X-rays as a signal. That means, that in this case in the known method the horizontal deflection of the electron beam of the monitor must be slowed down considerably.

Dies ist jedoch bei einem handelsüblichen Fernseh-Monitor nur sehr beschränkt möglich. Die Schwingungskreise des Monitors zur Erzeugung der Ablenkspannungen sind nämlich zusammen mit den Ablenkspulen der Bildröhre auf die Normfrequenzen abgestimmt, so daß eine Verlangsamung der Horizontalablenkung zumindest ohne bauliche Eingriffe nicht in Betracht kommt. Eine solche Änderung erfordert vielmehr einen anderen, von vornherein mit langsamerer Horizontalablenkung versehenen Monitor, also einen erheblichen Aufwand.However, this is only possible to a very limited extent with a standard television monitor. the Oscillation circuits of the monitor for generating the deflection voltages are namely together with the Deflection coils of the picture tube matched to the standard frequencies, so that the horizontal deflection is slowed down at least not possible without structural interventions. Such a change requires rather another monitor, which was provided with a slower horizontal deflection from the start, that is a considerable effort.

Die vorliegende Erfindung befaßt sich bei einem Verfahren der eingangs genannten Art mit d_er Aufgäbe, die Darstellung des Verlaufs der Signalintensität bei langsam ablaufenden Vorgängen auf einem handelsüblichen Fernseh-Monitor zu ermöglichen.The present invention is concerned to enable monitor television in a method of the type mentioned with t _he gave up, the representation of the course of the signal intensity at slow running operations on a commercial.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Zeit, in der die Linie vollständig durchfahren wird (Linienzeit), gleich der Bildzeit des Fernseh-Monitors gewählt wird und daß die Zeilen des Fernseh-Monitors jeweils nur an einer Stelle hellgetastet werden, deren Abstand vom 2Leilenanfang oder von einer zu den Zeilen senkrechten Geraden dem Momentanwert der Signalintensität proportional ist. Bei diesem Verfahren ergibt sich der Verlauf der Signalintensität aus der Lage der in jeder der Zeilen hellgetasteten Punkte; die Abszisse der so auf dem Fernseh-Monitor gebildeten Kurve verläuft in vertikaier Richtung, d.h. senkrecht zu den Zeilen.According to the invention, this object is achieved in that the time in which the line is completely passed through is selected (line time), equal to the picture time of the television monitor and that the lines of the Television monitor should only be lighted at one point, the distance from the 2Leilen start or of a straight line perpendicular to the lines is proportional to the instantaneous value of the signal intensity. With this method, the course of the signal intensity results from the position of the in each of the lines light-keyed points; the abscissa of the curve thus formed on the television monitor is vertical Direction, i.e. perpendicular to the lines.

Eine Variante der Erfindung, die auf dem gleichen Grundgedanken beruht und die ebenfalls zur Lösung der bereits genannten Aufgabe dient, besteht bei dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß darin, daß die Zeit zur Aufnahme des Signals eines Punktes (Punktzeit), gleich der Bildzeit des Fernseh-Monitors oder einem ganzzahligen Vieifachen davon gewählt wird und daß das Bild des Fernseh-Monitors jeweils nur an einer Steile hellgetastet wird, deren Abstand vorn Zeilenanfang oder von einer zu den Zeilen senkrechten Geraden dem Momentanwert der Signalintensität und deren Koordinate senkrecht zu den Zeilen der Koordinate des zugeordneten Punktes pro-A variant of the invention which is based on the same basic idea and which is also used to solve it serves the purpose already mentioned, consists in the above-mentioned method according to the invention in that the time to pick up the signal of a point (point time) equals the picture time of the television monitor or an integer multiple thereof is chosen and that the picture of the television monitor is only lighted at one point, the distance from the beginning of the line or from one to the lines vertical straight line the instantaneous value of the signal intensity and its coordinate perpendicular to the Lines of the coordinate of the assigned point pro

portional ist. Bei diesem Verfahren ist eine weitere Herabsetzung der Geschwindigkeit zum Durchfahren der Linie möglich. Die Punkte können aus einem so kleinen Teil der Linie bestehen, bei dem es noch möglich isudas Signal von dem eines benachbarten Punktes zu unterscheiden. Die Abmessungen des Punktes können beispielsweise durch den Querschnitt des Elektronenstrahls eines Raster-Elektronenmikroskops gegeben sein.is portional. With this procedure there is one more It is possible to reduce the speed to drive through the line. The points can come from one like that consist of a small part of the line at which it is still possible to receive the signal from that of an adjacent point to distinguish. The dimensions of the point can, for example, by the cross section of the Be given electron beam of a scanning electron microscope.

Die Anwendung der Erfindung ist beispielsweise möglich zur Wiedergabe der Strahlungsintensität an der Körperoberfläche eines Patienten, dem ein radioaktives Präparat zu diagnostischen Zwecken eingegeben wurde. Ferner kommt die Anwendung der Erfindung bei einem Wärmestrahlungsmeßgerät in Frage, mit dem das Wärmeprofil eines zu untersuchenden Körpers gemessen werden soll. Die Strahlungsintensität bzw. das Wärmeprofil ist dabei längs einer Linie aufgenommen.The invention can be used, for example, to reproduce the radiation intensity the body surface of a patient who has received a radioactive preparation for diagnostic purposes would. Furthermore, the application of the invention in a thermal radiation measuring device comes into question, with which the heat profile of a body to be examined is to be measured. The radiation intensity or the heat profile is recorded along a line.

Mit besonderem Vorteil kann die Erfindung bei einer Rastervorrichtung angewendet werden, die ein Objekt in Form von mehreren Rasterzeilen abtastet; dabei ist es möglich, die Signalintensität senkrecht zu den Rasterzeilen ohne Eingriff in den Rastervorgang darzustellen. Außer bei dem bereits genannten Wärmestrahlungsmeßgerät, das neben der obengenannten linearen Abtastung auch rasterförmig über die Körperoberfläche hinweggeführt werden kann, ist diese Anwendung der Erfindung z.B. auch bei einem Raster-Elektronenmikroskop möglich. Da die Ausgangsinformation dieses Mikroskops in der Regel ohnehin auf einem Fernseh-Monitor wiedergegeben wird, dient das erfindungsgemäße Verfahren beispielsweise zur Wiedergabe eines Überblicks über die zu erwartende Signalintensität. Auf diese Weise ist eine Einstellung der Bestrahlungsstärke vor bzw. während der rasterförmigen Abtastung des Präparats möglich.The invention can be used with particular advantage in a raster device that has a Scans object in the form of multiple raster lines; it is possible to make the signal intensity perpendicular to display the raster lines without interfering with the raster process. Except for the already mentioned thermal radiation measuring device, in addition to the above-mentioned linear scanning, it also does this in a grid pattern over the body surface can be carried away, this application of the invention is, for example, also in a scanning electron microscope possible. Since the output information from this microscope is usually reproduced on a television monitor anyway, the inventive method is used, for example, to reproduce an overview of the expected Signal intensity. In this way, the irradiance can be adjusted before or during the raster-shaped scanning of the specimen is possible.

In den Figuren sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt.Exemplary embodiments of the invention are shown in the figures.

Fig. 1 zeigt ein Raster-Elektronenmikroskop 1, dessen Ausgangsinformation auf einem Fernseh-Monitor 2 wiedergegeben wird. Bei dem Raster-Elektronenmikroskop 1 wird ein Elektronenstrahl 3 durch eine Elektronenquelle erzeugt und durch ein nicht dargestelltes Linsensystem als feine Eüektronensonde auf ein Objekt 4 fokussiert. Durch zwei Ablenksysteme 5, 6 kann der Strahl 3 rasterförmig über ein Feld des Objektes 4 geführt werden.Fig. 1 shows a scanning electron microscope 1, the output information on a television monitor 2 is played. In the scanning electron microscope 1, an electron beam 3 is through an electron source is generated and a lens system (not shown) is used as a fine electron probe focused on an object 4. By means of two deflection systems 5, 6, the beam 3 can be in the form of a grid over a Field of the object 4 are performed.

Es sei zunächst der normale Betriebsfall der Anordnung beschrieben. Das Raster-Elektronenmikroskop 1 und der Fernseh-Monitor 2 sind synchron durch einen Raster-Generator RG betrieben. Dieser besteht im wesentlichen aus zwei Sägezahngeneratoreii, nämlich einem Zeilengenerator 7 (λ- bzw. x-Richtunt») und einem Zeilenvorschubgenerator 8 (y- bzw. y'-Richtung). Der Zeilenvorschubgenerator 8 kann beispielsweise durch das Versorgungsnetz 9 getriggert werden, so daß er mit 50 Hz läuft; die Rasterzeit des Mikroskops 1 bzw. die Bildzeit des Fernseh-Monitors 2 beträgt dann also T₁ = 20 ms. Der Zeilengenerator 7 läuft üblicherweise mit einer Zeilenzeit 7\ = 64 ßs. The normal operating case of the arrangement will first be described. The scanning electron microscope 1 and the television monitor 2 are operated synchronously by a raster generator RG . This essentially consists of two sawtooth generators, namely a line generator 7 (λ or x direction) and a line feed generator 8 (y or y 'direction). The line feed generator 8 can, for example, be triggered by the supply network 9 so that it runs at 50 Hz; the raster time of the microscope 1 or the image time of the television monitor 2 is then T ₁ = 20 ms. The line generator 7 usually runs with a line time 7 \ = 64 ßs.

Bei der Bestrahlung des Objektes 4 werden beispielsweise Sekundärelektronen ausgelöst, von denen ein Teil auf einen Halbleiterdetektor 10 fällt und dort Spannungsimpulse ausiöst, die einem Integrationsverstärker 11 zugeführt werden. Die Ausgangsspannune U. des Verstärkers 11 ist der Intensität / der Sekundärelektrontn, d.h. ihrer in den Detektor 10 fallenden Zahl proportional.When the object 4 is irradiated, secondary electrons, for example, are triggered, some of which fall on a semiconductor detector 10 and there trigger voltage pulses which are fed to an integration amplifier 11. The output voltage U. of the amplifier 11 is proportional to the intensity / of the secondary electrons, ie their number falling into the detector 10.

Die Ausgangsspannung U₁ des Verstärkers 11 wird über eine elektrische Leitung 12 als Hellsteuersignal auf die Elektronenkanone 13 des Fernseh-Monitors 2 gegeben. Auf dem Fernseh-Monitor 2 ergibt sich damit ein Bild, dessen Helligkeitsverteilung ein direktes Abbild der Intensitätsverteilung des abgerasterten Präparatfeides ist.The output voltage U _{1 of} the amplifier 11 is sent as a light control signal to the electron gun 13 of the television monitor 2 via an electrical line 12. An image is thus produced on the television monitor 2, the brightness distribution of which is a direct image of the intensity distribution of the scanned specimen field.

ίο Um einen Überblick über den Verlauf der Signalintensität senkrecht zu den Rasterzeilen des Elektronenmikroskops lzu erhalten, ist die in Fig. la dargestellte Anordnung in folgender Weise modifizierbar: Durch zwei in gleicher Weise betätigte Umschaltkontakte 14, 15 wird der Integrationsverstärker 11 mit einem Komparator K₁ verbunden, das Ablenkelement 6 vom Zeilengenerator 7 getrennt und an eine regelbare Spannung (Regelwiderstand 16) angeschlossen. Durch einen Auslöser 17 kann der Zeilen-ίο In order to get an overview of the course of the signal intensity perpendicular to the raster lines of the electron microscope l, the arrangement shown in Fig. la can be modified in the following way: The integration amplifier 11 with a comparator K ₁ connected, the deflection element 6 separated from the line generator 7 and connected to a controllable voltage (control resistor 16). By means of a trigger 17, the line

ao vorschub gestartet und gestoppt werden. Der Elektronenstrahl 3 des Raster-Elektronenmikroskops 1 fährt das Objekt 4 entlang der Linie L in der Zeit 7', = 20 ms mit konstanter Geschwindigkeit ab. Die Linie L verläuft senkrecht zu den Zeilen des Rasterfeldes; ihre Länge ist der Höhe des normalerweise zellenförmig abgerasterten Objektfeldes gleich, während ihr Abstand vom Zeilenanfang durch den Regelwiderstand 16 einstellbar ist.ao feed can be started and stopped. The electron beam 3 of the scanning electron microscope 1 moves the object 4 along the line L in the time 7 ′, = 20 ms at a constant speed. The line L runs perpendicular to the lines of the grid field; its length is equal to the height of the normally scanned object field, while its distance from the beginning of the line can be adjusted by means of the variable resistor 16.

Die entlang der Linie L gemessene Signalintensitat, d.h. die Anzahl der in den Detektor eintretenden Sekundärelektronen, wird in Form der Spannung U₁ auf den Komparator K_} gegeben. Dieser ist ferner mit dem Zeilengenerator 7 verbunden. Stimmt nun die Spannung U₁ mit dem Wert der Zeilenablenkspannung überein, so liefert der Komparator K₁ an seinem Ausgang einen Impuls, der zur Helltastung eines Punktes P in einer Zeile Z des Fernseh-Monitors 2 führt. Die y'-Koordinate des Punktes P ist durch den Zeilenvorschubgenerator 8 bestimmt. Sie entspricht der y-Koordinate des zugeordneten, auf der Linie L gelegenen Rasterpunktes. Dies ergibt sich aus der Synchronisation der y- bzw. der y'-Ablenkung der Elektronenstrahlen von Elektronenmikroskop 1 und Fernseh-Monitor 2. Die x'-Koordinate des Punktes, d.h. sein Abstand vom Zeilenanfang A, ist der Signalintensität des zugeordneten Rasterpunktes proportional, wie sich sofort aus der beschriebenen Wirkungsweise des Komparators /C₁ ergibt.The signal intensity measured along the line L , ie the number of secondary electrons entering the detector, is applied to the comparator K _} in the form of the voltage U ₁ . This is also connected to the line generator 7. If the voltage U ₁ now agrees with the value of the line deflection voltage, the comparator K ₁ supplies a pulse at its output, which leads to a point P in a line Z of the television monitor 2 being illuminated. The y 'coordinate of the point P is determined by the line feed generator 8. It corresponds to the y-coordinate of the assigned grid point located on the line L. This results from the synchronization of the y or y 'deflection of the electron beams from electron microscope 1 and television monitor 2. The x' coordinate of the point, ie its distance from the beginning of the line A, is proportional to the signal intensity of the assigned raster point, as follows immediately from the described mode of operation of the comparator / C ₁ .

Beim Durchfahren der Linie L auf dem Präparat entsteht somit auf dem Fernseh-Monitor eine Folge von hellgetasteten Punkten P, die jeweils in einer Zeile Z des Monitors 2 liegen und aus deren Lage die Intensität der Sekundärelektronen zu erkennen ist. Die Punkte ergeben eine Kurve K. When the line L is traversed on the specimen, a sequence of light-scanned points P is thus produced on the television monitor, each of which lies in a line Z of the monitor 2 and from the position of which the intensity of the secondary electrons can be seen. The points result in a curve K.

Bei der in Fig. 1 a dargestellten Anordnung ist die Geschwindigkeit, mit der die Linie L durchfahren wird, gering. Damit ergibt sich die Möglichkeit, an Stelle eines schnell entstehenden Signals (Sekundärelektronen) ein langsames Signal aufzunehmen. Darunter ist z.B. die bereits erwähnte sekundäre Röntgenstrahlung zu verstehen. Es ist dann lediglich ein geeigneter Detektor einzusetzen; im Falle der sekundären Röntgenstrahlung ist z.B. ein energiedispersiver Halbleiterdetektor zu verwenden.In the arrangement shown in Fig. 1 a, the speed at which the line L is traversed is low. This makes it possible to record a slow signal instead of a signal that develops quickly (secondary electrons). This is to be understood as meaning, for example, the already mentioned secondary X-ray radiation. All that is required is to use a suitable detector; in the case of secondary X-rays, an energy-dispersive semiconductor detector, for example, should be used.

Fig. 1 a zeigt ferner eine Möglichkeit, die Kurve K in Richtung der Zeilen Z zu verschieben, so daß die Abszisse der Kurve K durch eine Gerade A' gegeben ist; die Gerade A' verläuft senkrecht zu den Zeilen Z.Fig. 1a also shows a possibility of shifting the curve K in the direction of the lines Z , so that the abscissa of the curve K is given by a straight line A ' ; the straight line A ' runs perpendicular to the lines Z.

Die Verschiebung kann dabei ein Maß für den Abstand der Linie L vom Zeilenanfang des Rasterfeldes sein. Dazu ist es lediglich erforderlich, die am Widerstand 16 abgegriffene Spannung über eine SummationseinrichtunglSauf die .v-Ablenkelcmente 19des Fernseh-Monitors 2 zu geben.The shift can be a measure of the distance between the line L and the beginning of the line of the grid field. For this purpose, it is only necessary to apply the voltage tapped at resistor 16 to the .v-deflection elements 19 of television monitor 2 via a summation device IS.

Das in Fig. Ib gezeigte Ausführungsbeispiel stellt eine Variante zu der in Fig. la gezeigten Anordnung dar. Die in Fig. Ib gezeigte Schaltung ermöglicht es, ohne Eingrifl in den üblichen Rastervorgang des Elektronenmikroskops 1 die Signalintensität längs der Linie L wiederzugeben. Der Zeilengencrator 18 ist dazu mit einem Komparator K₂ verbunden, der zusätzlich mit dem regelbaren Widerstand 16 in Verbindung steht. Stimmt die an diesem Widerstand abgegriffene Spannung mit der Ausgangsspannung des Rastergenerators 18 überein, so gibt der Komparator K₂ einen Impuls S an einen Momentanwertspeicher 20 (sample and hold-Schaltung) weiter. Der Momentanwertspeicher 20 ist in der gezeigten Weise zwischen den Integrationsverstärker 11 und den Komparator Ki eingeschaltet. Er hält die bei Auftreten des Impulses S am Ausgang des Integrationsverstärkers 11 auftretende Spannung U₁ fest und gibt sie an den Komparator K₁ weiter. Stimmt die festgehaltene Spannung U₁ mit der Zeilenablenkspannung überein, so wird der Fernseh-Monitor in derselben Weise wie an Hand von Fig. la dargestellt, hellgetastet.The in Fig. Ib shown embodiment shows a variant to the embodiment shown in Fig. La arrangement. The circuit shown in Fig. Ib makes it possible without Eingrifl in the usual scanning operation of the electron microscope 1, the signal intensity along the line L to be reproduced. For this purpose, the line generator 18 is connected to a comparator K ₂ , which is also connected to the controllable resistor 16. If the voltage tapped at this resistor agrees with the output voltage of the raster generator 18, the comparator K ₂ forwards a pulse S to an instantaneous value memory 20 (sample and hold circuit). The instantaneous value memory 20 is connected in the manner shown between the integration amplifier 11 and the comparator Ki . It records the voltage U ₁ occurring at the output of the integration amplifier 11 when the pulse S occurs and forwards it to the comparator K ₁ . If the recorded voltage U ₁ agrees with the line deflection voltage, the television monitor is scanned in the same way as shown on the basis of FIG.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist ein Korpuskular-Strahlungsmeßgerät 21, z.B. ein Zählrohr mit nachgeschaltetem Integrationsverstärker, vorgesehen, das mittels eines mechanisch gesteuerten Abtastsystems 22 eine zu untersuchende Fläche F rasterförmig abtasten kann. Bei dieser Fläche F handelt es sich z.B. um einen Teil der Körperoberfläche eines Patienten, dem ein radioaktives Präparat (z.B. J-131) zu diagnostischen Zwecken zugeführt wurde.In the embodiment according to FIG. 2, a corpuscular radiation measuring device 21, for example a counter tube with a downstream integration amplifier, is provided, which can scan an area F to be examined in a raster-like manner by means of a mechanically controlled scanning system 22. This area F is, for example, a part of the body surface of a patient to whom a radioactive preparation (for example J-131) has been supplied for diagnostic purposes.

Zur Bestimmung der Intensität der längs einer Linie L ausgesandten radioaktiven Strahlung und Darstellung des Intensitätsverlaufs auf einem handelsüblichen Fernseh-Monitor 2 ist die in Fig. 2 gezeigte Anordnung folgendermaßen gestaltet: Das Abtastsystem ist bei festgehaltener λ-Auslenkung (einzustellen durch den Widerstand 16) durch einen Sägezahngenerator 23 entlang der Linie L gleichförmig über die Fläche F geführt. Der Sägezahngenerator 23 kann durch eine Startvorrichtung 17 gestartet und nach einmaligem Durchfahren der Linie L gestoppt werden. Die Eigenzeit 7'des Sägezahngenerators ist ein Vielfaches der Eigenzeit T, des Zeilenvorschubgeneiators 8des Fernseh-Monitors 2. Sie ergibt sich aus dem Produkt der Anzahl N der Punkte der Linie L, deren Intensitäten gemessen werden, und der Zeit τ zur Be-Stimmung der Intensität eines Punktes. Die Zeit τ ist dabei gleich der Zeit T_x bzw. einem ganzzahligcn Vielfachen davon.To determine the intensity of the radioactive radiation emitted along a line L and to display the intensity profile on a commercially available television monitor 2, the arrangement shown in FIG a sawtooth generator 23 is guided uniformly over the surface F along the line L. The sawtooth generator 23 can be started by a starting device 17 and stopped after the line L has been passed through once. The proper time 7 'of the sawtooth generator is a multiple of the proper time T of the line feed generator 8 of the television monitor 2. It results from the product of the number N of points on the line L, the intensities of which are measured, and the time τ for determining the Intensity of a point. The time τ is equal to the time T _x or an integral multiple thereof.

Der Verlauf der Intensität der von den einzelnen Punkten der Linie L ausgesandten radioaktiven Strahlung kann entsprechend den Ausführungsbeispielen der Fig. 1 a und 1 b auf dem Fernseh-Monitor 2 wiedergegeben werden. Dazu ist der Strahlungsdetektor 21 mit einem Komparator K₁ verbunden, der die am Ausgang des Detektors 21 auftretende Spannung mit der Zeilenablenkspannung des Fernseh-Monitors 2 vergleicht. Stimmen die beiden Spannungen überein, so liefert der Komparator K₁ an seinem Ausgang einen Impuls, der auf ein UND-Gatter 24 gegeben wird. An das UND-Gatter 24 ist ferner ein Komparator K^ angeschlossen, der bei Übereinstimmung der Ausgangsspannungen des Sägezahngenerators 23 und des Zeilenvorschubgenerators 8 an seinem Ausgang ebenfalls einen Impuls abgibt. Das UND-Gatter 24 gibt an seinem Ausgang dann ein Hellsteuersignal an die Elektronenkanone 13 des Fernseh-Monitors 2 ab, wenn die beiden Komparatoren K_: und K₂ gleichzeitig einen Impuls auf den Eingang des UND-Gatters geben. Auf diese Weise wird der Fernseh-Monitor während seiner Bildzeit T₁ (= 20 ms) ein einziges Mal hellgetastet. Die HelUastung erfolgt an einer Stelle, deren x'-Koordinate ein Maß für die Intensität der radioaktiven Strahlung und deren /-Koordinate ein Maß für die y-Auslenkung des Abtastsystems ist. Damit ist es möglich, einen sehr langsam ablaufenden Vorgang auf einem Fernseh-Monitor mit den üblichen genormten Ablenkfrequenzen darzustellen. Unter Vorgang ist dabei der Verlauf der Intensität der radioaktiven Strahlung längs der Linie L zu verstehen. The course of the intensity of the radioactive radiation emitted by the individual points of the line L can be reproduced on the television monitor 2 in accordance with the exemplary embodiments in FIGS. For this purpose, the radiation detector 21 is connected to a comparator K ₁ , which compares the voltage occurring at the output of the detector 21 with the line deflection voltage of the television monitor 2. If the two voltages match, the comparator K ₁ supplies a pulse at its output, which is sent to an AND gate 24. A comparator K ^ is also connected to the AND gate 24, which when the output voltages of the sawtooth generator 23 and the line feed generator 8 also emits a pulse at its output. The AND gate 24 then emits a light control signal at its output to the electron gun 13 of the television monitor 2 when the two comparators K _: and K ₂ simultaneously give a pulse to the input of the AND gate. In this way, the television monitor is scanned a single time during its image time T ₁ (= 20 ms). The load takes place at a point whose x 'coordinate is a measure of the intensity of the radioactive radiation and whose / coordinate is a measure of the y-deflection of the scanning system. This makes it possible to display a very slow process on a television monitor with the usual standardized deflection frequencies. The process is to be understood as the course of the intensity of the radioactive radiation along the line L.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. A method for displaying the intensity of signals which are present in points distributed uniformly along a line scanned with a probe, by a television monitor, characterized in that the time (τ,) in which the line is completely traversed (line time ), is selected equal to the image time of the television monitor (2) and that the lines (Z) of the television monitor (2) are only light-scanned at one point (P) , the distance from the beginning of the line (A) or from one to the lines (Z) vertical straight lines (A) is proportional to the instantaneous signal intensity (/).

2. A method for displaying the intensity of signals which are present in points distributed uniformly along a line scanned with a probe by a television monitor, characterized in that the time (τ) for recording the signal of a point (point time) is the same the image time (T ₁ ) of the television monitor (2) or an integral multiple thereof is selected and that the image of the television monitor (2) is only scanned at one point, the distance (x ') from the beginning of the line or from a straight lines perpendicular to the lines are proportional to the instantaneous value of the signal intensity and its (y ') coordinate perpendicular to the lines (Z) of the (_y) coordinate of the assigned point.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized by application to a raster device, which scans an object (4) in the form of several raster lines to display the signal intensity perpendicular to the grid lines.

4. The method according to claim 3, characterized by application to a scanning electron microscope (1) as a raster device.