DE2431507C3

DE2431507C3 - Device for handling a thin-walled substrate having a surface that is sensitive to touch

Info

Publication number: DE2431507C3
Application number: DE19742431507
Authority: DE
Inventors: August Ing.(Grad.) 8000 Muenchen Braidt
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1974-07-01
Filing date: 1974-07-01
Publication date: 1979-03-29
Also published as: DE2431507B2; DE2431507A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Handhaben eines dünnwandigen, eine gegen Berührung empfindliche Oberfläche aufweisenden Substrates, bestehend aus einem zylindrischen, topfförmigen Gehäuse, in dem das Substrat aufnehmbar und mittels radial verlaufender Zungen haltbar ist.The invention relates to a device for handling a thin-walled, one against contact sensitive surface having substrate, consisting of a cylindrical, pot-shaped housing, in which the substrate can be received and held by means of radially extending tongues.

Dünnwandige und zerbrechliche Bauteile, insbesondere Halbleiter-Substrate, z. B. Siliziumscheiben, die ein- oder mehrmals verschiedenen Prozessen unterworfen werden, dürfen nach Vollzug dieses Prozesses nicht mehr einseitig, d. h. auf der behandelten Fläche berührt werden. Derartige Prozesse sind z. B. die Oxydation, das Ätzen, die Diffusionsbehandlung, das Belacken der Oberfläche bzw. auch das Beschichten usw. Die einzelnen Arbeitsgänge werden oft mehrfach wiederholt So ist es z. B. üblich, bei der Herstellung von Dünn- und Dickschichtschaltungen eine Siliziumscheibe (wafer) zur Durchführung aufeinanderfolgender Arbeitsgänge mehrmals mit einem Fotolack zu beschichten. Das Beschichten der Scheiben bzw. Substrate geschieht in einer Lackschleuder. Das Umsetzen eines Substrates von einer Vorbehandlungsstation auf den Saugteller der Lackschleuder muß zentrisch zur Drehachse des Schleudertellers erfolgen, wobei die zu beschichtende Fläche nicht berührt werden darf. Liegt das Substrat auch nur geringfügig exzentrisch auf der Schleuderscheibe, so wird nicht nur der Schichtauftrag ungleichmäßig, sondern es gelangt auch Lack auf die Unterseite der Scheibe; dadurch wird sie unbrauchbar. Zum Handhaben solcher Substrate, insbesondere im Laborbetrieb, verwendet man mit Vorzug sogenannteThin-walled and fragile components, especially semiconductor substrates, e.g. B. silicon wafers that be subjected to different processes one or more times, may not after completion of this process more one-sided, d. H. touched on the treated area. Such processes are e.g. B. the oxidation, that Etching, diffusion treatment, lacquering of the surface or coating, etc. The individual operations are often repeated several times. B. common in the production of thin and thick-film circuits to coat a silicon wafer several times with a photoresist in order to carry out successive operations. The panes or substrates are coated in a spin coater. Moving a substrate from a pretreatment station to the suction plate of the spin coater must be centric to the axis of rotation of the Centrifugal plate, whereby the surface to be coated must not be touched. Is the substrate Even if it is only slightly eccentric on the centrifugal disk, not only does the layer application become uneven, but paint also gets onto the underside the disc; this makes it unusable. So-called substrates are preferably used for handling such substrates, especially in the laboratory

Saugpinzetten.Suction tweezers.

Zum Überziehen von Substrat-Oberflächen mit einem Fotolack bedient man sich z, B. eines Automaten, wie ein solcher in der GB-PS 12 99 138 beschrieben ist Hier werden die Substrate nacheinander und ohne Berührung von Hand über eine Luftführungsschiene einem Schleuderteller einer Lackschleuder zugeführt sowie mittels eines Rundschalttellers nacheinander in die verschiedenen Behandlungsstationen gestelltFor coating substrate surfaces with a photoresist, an automatic machine is used, for example, as such is described in GB-PS 12 99 138. Here the substrates are sequentially and without Touching by hand via an air guide rail fed to a spinner plate of a spinner and placed one after the other in the various treatment stations by means of a rotary indexing table

ίο Aus der DE-OS 22 61595 ist ein staul dichtes Gehäuse als Träger für Substrate bekannt Dieses staubdichte Gehäuse dient als Träger für die Substrate, insbesondere für solche Substrate, auf denen in einem Vakuum dünne Schichten aufgebracht werden sollen.ίο From DE-OS 22 61595 is a dammed-up Housing known as a carrier for substrates This dust-tight housing serves as a carrier for the substrates, especially for those substrates on which thin layers are to be applied in a vacuum.

Das Gehäuse ist topf- bzw. napfförmig gebildet und auf einen Deckel aufsetzbar. Der Topfrand ist mit einer Nut versehen, in der eine Ringdichtung eingelegt ist Die Substrate werden in den Topfraum eingelegt und mittels radial verlaufenden Stegen innerhalb des TopfesThe housing is pot-shaped or cup-shaped and can be placed on a cover. The edge of the pot is with a groove provided, in which a ring seal is inserted. The substrates are inserted into the pot space and by means of radially extending webs within the pot gehalten. In diesem Zustand wird der Topfrand auf den plan abgerichteten Deckel aufgesetzt und der Topfraum evakuiert Die Substrate sind nunmehr gegen Staub geschützt und auch transportierbar. Eine derartige Vorrichtung eignet sich indessen nicht zum Handhabenheld. In this state, the edge of the pot is placed on the The flat, trued lid is put on and the pot space is evacuated. The substrates are now protected from dust protected and also transportable. However, such a device is not suitable for handling und Ausrichten der Substrate, wie beispielsweise zum Aufsetzen, Ausrichten u.dgl. auf und von einem Schleuderteller einer Lackschleuder.and aligning the substrates, such as for Placing, aligning and the like on and from a spin plate of a spin coater.

Diese bekannten Vorrichtungen sind zum Zwecke der Handhabung eines Substrates, z. B. in einem LaborbeThese known devices are used for the purpose of handling a substrate, e.g. B. in a Laborbe trieb, nicht dienlich. Für die manuelle Handhabung des Substrates ist es erforderlich, einerseits das Substrat an einem beliebigen Ort leicht und ohne Berührung mit den Händen aufzugreifen, z. B. zu einer Lackschleuder zu bringen und dort zentrisch zur Drehachse derselbendrove, not useful. For manual handling of the It is necessary, on the one hand, to place the substrate at any location easily and without contact with the substrate To pick up hands, e.g. B. to bring a spin coater and there centrically to the axis of rotation of the same abzulegen.to discard.

Ausgehend vom vorgenannten Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Handhaben von Substraten der vorgenannten Art zu schaffen, mittels der es möglich ist,Based on the aforementioned prior art, the invention is based on the object of providing a To create a device for handling substrates of the aforementioned type, by means of which it is possible ein Substrat ohne Berührung der zu behandelnden bzw. behandelten Oberflächen von einer Bearbeitungsstation zu einer anderen zu führen und auch zur Drehachse des Schleudertellers einer Lackschleudermaschine abzulegen, auszurichten und wieder aufzunehmen. Diesea substrate from a processing station without touching the surfaces to be treated or treated to lead to another and also to deposit, align and resume to the axis of rotation of the centrifugal plate of a coater centrifugal machine. These Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß das topfförmige Gehäuse mittels einer Handhabe betätigbare, das Substrat aufnehmende, haltende und ablegende sowie das Substrat zentrisch zur Zylinderachse des topfförmigen Gehäuses ausrichtende Zentrier-The object is achieved according to the invention in that the cup-shaped housing by means of a handle actuatable, the substrate receiving, holding and laying down as well as the substrate centric to the cylinder axis of the cup-shaped housing aligning centering

so backen aufweist, wobei der Antrieb dieser Zentrierbakken mittels unter der Last von Federn stehender Stößel erfolgt, welche gegen eine mit der Handhabe verbundene, die Bewegung der Zentrierbacken steuernde Nockenscheibe lasten.so bake, the drive of these centering jaws by means of plungers which are under the load of springs takes place, which is against a connected to the handle, controlling the movement of the centering jaws Load the cam disk.

Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird die Handhabung des Substrates, z. B. das Verbringen des Substrates von einer Bearbeitungsstation zu einer anderen sowie da3 zentrisch genaue Auflegen des Substrates auf den Schleuderteller einer Lackschleuder maschine ohne Berührung der empfindlichen, der Behandlung unterliegenden Oberfläche erleichtert und verbessert. By means of the device according to the invention, the handling of the substrate, for. B. the transfer of the substrate from one processing station to another as well as the centrically accurate placing of the substrate on the spinning plate of a spin coater without touching the sensitive surface underlying the treatment and improved.

Während des Schließens der Handhabe dienen die Zentrierbacken dazu, das Substrat innerhalb desDuring the closing of the handle, the centering jaws serve to position the substrate within the topfförmigen Gehäuses zentrisch zur Zylinderachse des Topfraumes auszurichten. Die Zentrierbacken sind mit Zungen versehen, derart, daß die Zungen bei nach unten gekehrtem Topfraum und in der SchließstellungAlign the pot-shaped housing centrically to the cylinder axis of the pot space. The centering jaws are with Tongues provided in such a way that the tongues with the pot area facing down and in the closed position

gestellter Handhabe das Substrat nur auf den Zungen liegend lose halten. In der Öffnungsstellung der Handhabe ist das Substrat von den Klemmbacken und Zungen frei. Bedingt dadurch, daß die Zungen der Zentrierbacken das Substrat nur im nahen Bereich des Stirnrandes untergreifen, wird jede Berührung der zu behandelnden oder behandelten Oberflächt: des Substrates vermieden. Die Zentrierbacken werden mittels der Handhabe gleichzeitig betätigt; hierzu ist mit der Handhabe eine Nockenscheibe verbunden, wobei gegen diese Nockenscneibe unter Federdruck stehende Stößel lasten; das Widerlager für die Federn ist in den Zentrierbacken gelegen. Die Stößel steuern somit nicht unmittelbar die Zentrierbacken, sondern unter Zwischenschaltung von Druckfedern. Die Andruckkraft dieser Druckfedern ist einstellbar, derart, daß sie untereinander eine nahezu gleiche Federkraft aufweisen und andererseits den Andruck der Zentrierbacken gegen die Nocken in Grenzen halten.With the handle provided, only hold the substrate loosely lying on the tongues. In the open position of the Handle, the substrate is free from the jaws and tongues. Due to the fact that the tongues of the Centering jaws reach under the substrate only in the near area of the front edge, every contact of the is too treated or treated surface: of the substrate avoided. The centering jaws are by means of the handle operated at the same time; for this purpose, a cam disk is connected to the handle, whereby against this cam disk is loaded by spring-loaded plungers; the abutment for the springs is in the Centering jaws located. The rams do not control the centering jaws directly, but with the interposition of compression springs. The pressing force of these compression springs is adjustable so that they have almost the same spring force as one another and, on the other hand, the pressure of the centering jaws keep against the cams within limits.

Eine Ausgestaltung der Erfindung stellt eine Ablageplatte dar, weiche einen Schlitz zum Einführen eines das Substrat haltenden Sauggreifers aufweist. Diese Ablageplatte ist schalenförmig gebildet und besitzt mittig eine Erhöhung zum Ablegen des Substrates. Zum Ergreifen eines Substrates wird die Vorrichtung zum Handhaben des Substrates auf die Abiageplatte gestülpt; die Handhabe befindet sich dabei in der Offenstellung. Beim Schließen der Handhabe kommen die Zentrierbacken zum Anschlag mit dem Stirnrand des Substrates, derart, daß sie bei fortsetzender Schließbewegung das Substrat zentrisch innerhalb des topfförmigen Gehäuses ausrichten.One embodiment of the invention is a shelf, soft a slot for inserting a Has substrate holding suction cup. This shelf is cup-shaped and has a central elevation for placing the substrate. To the Grabbing a substrate is the device for handling the substrate on the display plate everted; the handle is in the open position. Come when closing the handle the centering jaws to the abutment with the front edge of the substrate, such that they continue with Closing movement align the substrate centrally within the cup-shaped housing.

In den Zeichnungen ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung nebst zugehöriger Einzelheiten teilweise scheniatisch dargestelltIn the drawings, an embodiment of the invention and associated details are partially Scheniatisch represented

F i g. 1 zeigt einen Diametralschnitt gemäß der Schnittlinie F-I der Fig.2, wo hingegen Fig.2 eine Ansicht von oben gemäß der Schnittlinie H-II der F i g. 1 darstelltF i g. 1 shows a diametrical section along the section line F-I of FIG. 2, whereas FIG. 2 shows a View from above along the section line H-II of FIG. 1 represents

In Fig. 1 ist die Vorrichtung — allgemein mit 2 bezeichnet — zum Handhaben eines scheibenförmigen Substrates 1 — wie gestrichelt dargestellt — auf das Mantelgehäuse 3 einer Lackschleudermaschine mit einem Schleuderteller 4 aufgesetzt Die Vorrichtung besteht aus einem topfförmigen Gehäuse S, welches zylinderisch gebildet und bündig über den Stirnrand 6 des zylinderischen Mantels 3 der Larkschleuder setzbar ist In der gezeigten Darstellung liegt das Substrat auf dem Schleuderteller, wobei die Zentrierbacken 7 das Substrat 1 zentrisch zur Drehachse 19' des Schleudertellers halben. Letztere Zentrierbacken sind Teil der Positioniervorrichtung — im allgemeinen mit 8 bezeichnet: sie besteht aus einer Handhabe 9 und einer damit verbundenen Nockenscheibe 10, gegen welche Stößel 11 lasten. Die Zentrierbacken 7 sind hier zweiteilig gebildet und bestehen aus den Greifern 12 und dem Führungsteil 13. In einem Gewinde 14 eines jeden Führungsteiles ist jeweils ein Stößel 11 eingeschraubt Die Führungsteile 13 der Zentrierbacken 7 sind im Topfboden 16 radial geführt; sie stehen jeweils unter der Last einer Druckfeder 17, deren Andruckkraft mittels einer Justier= und Widerlagerschraube 18 einstellbar ist. Bei einer Drehung der Handhabe 9 um die Topfachse 19 wird auch die Nockenscheibe 10 gedreht, so daß beim Auflaufen der Stößel 11 auf die Nocken, die Zentrierbacken 7 mit ihren Greifern 12 in Richtung des Pfeiles 20 verschoben werden. Beim Drehen der Handhabe 19 wird rom.it das Substrat 1 von den Zentrierbacken 7 frei, wobei bei fortschreitender Drehung auch die Zungen 21 außerhalb des Bereiches des Substrates gelangen. Nach erfolgtem Auflegen des Substrates auf den mit einer Saugvorrichtung versehcnen Schleuderteller wird ein Vakuum angelegt, so daß das Substrat nunmehr auf dem Schleuderteller festliegt. Die Vorrichtung kann nunmehr in Richtung des Pfeiles 22 abgehoben werden.In Fig. 1 the device - generally denoted by 2 - for handling a disc-shaped substrate 1 - as shown in dashed lines - placed on the casing 3 of a paint spinner with a centrifugal plate 4. The device consists of a pot-shaped housing S, which is formed cylindrically and flush the end edge 6 of the cylindrical jacket 3 of the Lark sling can be set. In the illustration shown, the substrate lies on the sling plate, with the centering jaws 7 halving the substrate 1 centered on the axis of rotation 19 'of the sling plate. The latter centering jaws are part of the positioning device - generally denoted by 8: it consists of a handle 9 and a cam disk 10 connected to it, against which the plunger 11 bears. The centering jaws 7 are formed in two parts here and consist of the grippers 12 and the guide part 13. A plunger 11 is screwed into a thread 14 of each guide part. The guide parts 13 of the centering jaws 7 are guided radially in the pot bottom 16; they are each under the load of a compression spring 17, the pressure force of which can be adjusted by means of an adjustment and abutment screw 18. When the handle 9 is rotated about the top axis 19, the cam disk 10 is also rotated, so that the centering jaws 7 with their grippers 12 are displaced in the direction of arrow 20 when the plunger 11 hits the cams. When the handle 19 is rotated, the substrate 1 is freed from the centering jaws 7, with the tongues 21 also moving outside the area of the substrate as the rotation progresses. After the substrate has been placed on the centrifugal plate provided with a suction device, a vacuum is applied so that the substrate is now firmly attached to the centrifugal plate. The device can now be lifted off in the direction of arrow 22.

Wie insbesondere aus Fig.2 hervorgeht, sind die Führungsteile 13 der Klemmbacken 7 in Leisten 23 im Boden »6 des topfförmigen Gehäuses 5 geführt. Im vorliegenden Beispiel ist der Boden 16 mit radialen Schlitzen 24 versehen, in welchen die Führungsteile 13 sowie die Widerlager 25 eingesetzt sind. Mittels derAs can be seen in particular from Figure 2, the Guide parts 13 of the clamping jaws 7 are guided in strips 23 in the bottom »6 of the cup-shaped housing 5. in the In the present example, the base 16 is provided with radial slots 24 in which the guide parts 13 and the abutments 25 are used. Using the

Justierschrauben 26 sind die Druckfedern 17 hinsichtlich ihrer Andruckkraft einstellbar. Im vorliegenden Beispiel besitzt die Vorrichtung drei Zentrierbacken, welche um 120 Grad versetzt zueinander im Boden 16 angeordnet sind. Die Greifer 12 der Zentrierbacken 7 sind derart angeordnet, daß während des Schließvorganges der Positioniervorrichtung bei exzentrisch liegendem Substrat die betreffenden Zentrierbaclu-n mit dem Stirnrand 1' des Substrates zum Anschlag kommen und das Substrat in die Mittellage schieben. Die Nockenscheibe 10 trägt drei Nocken 28, welche derart ausgelegt sind, daß bei aufgelaufenen Stößeln 11 die Zungen 21 vom Substnv: frei sind.Adjusting screws 26, the compression springs 17 are adjustable with regard to their pressing force. In this example the device has three centering jaws, which are arranged in the base 16 offset from one another by 120 degrees are. The grippers 12 of the centering jaws 7 are arranged such that the during the closing process Positioning device with the substrate lying eccentrically the relevant centering baclu-n with the front edge 1 'of the substrate come to the stop and push the substrate into the middle position. The cam disc 10 carries three cams 28, which are designed such that when the tappets 11 have run up, the tongues 21 from Substnv: are free.

Eine zur Vorrichtung zum Handhaben für ein dünnwandiges Substrat zugehörige Auflage- und AUageplatte ist in den F i g. 3 und 4 dargestellt Das Substrat 1 wird mittels eines Sauggreifers 30, bestehend aus einer Handhabe 31 und einem Halter 32, an welchem sich ein Saugknopf 33 befindet, ergriffen. Der Sauggreifer wird in einem in der Aufnahmeplatte 35 eingebrachten, nach oben offenen (U-förmigen) Schlitz 34 abgesenkt, derart, daß das Substrat zwischen den Positionierstiften 36 liegt Nunmehr wird die Vorrichtung gemäß den F i g. 1 und 2 auf die Ablageplatte gelegt wobei der Rand 38 gemäß F i g. 2 bündig über den Stimrand 39 greift. Dabei sind die Zentrierbacken 7 nach außen gestellt, so daß die Zungen 21 an der Stirnkante Γ der Substratscheibe ohne Berührung vorbeigehen. Nunmehr wird der Sauggreifer 30 belüftet und in Richtung des Pfeiles 37 aus dem Schlitz 34 herausgezogen. Darauffolgend legenA support and support plate belonging to the device for handling a thin-walled substrate is shown in Figs. 3 and 4 shown The substrate 1 is by means of a suction gripper 30, consisting of a Handle 31 and a holder 32 on which a suction button 33 is located, gripped. The suction pad will in an upwardly open (U-shaped) slot 34 introduced into the receiving plate 35, in such a way that that the substrate lies between the positioning pins 36. The device according to FIGS. 1 and 2 placed on the shelf, the edge 38 according to FIG. 2 engages flush over the front edge 39. Included the centering jaws 7 are placed outwards so that the tongues 21 on the front edge Γ of the substrate disc pass without touching. The suction gripper 30 is now ventilated and in the direction of arrow 37 pulled out of the slot 34. Lay on top

■»5 sich beim Drehen der Handhabe 19 die ZenJrierbacken 7 gegen den Stimrand des Substrates und richten es zentrisch zum topfförmigen Gehäuse aus. Das topfförmige Gehäuse kann nunmehr abgenommen und mit der Substratscheibe zur Lackschleuder gebracht werden. InWhen the handle 19 is turned, the ZenJrier jaws move 7 against the front edge of the substrate and align it centrally to the cup-shaped housing. The cup-shaped The housing can now be removed and taken to the spin coater with the substrate disc. In

so entsprechender Weise ist es möglich, das Substrat wiederum in die Ablageplatte zu verbringen. Der Sauggreifer wird sodann wiederum in den Schlitz 34 eingeführt und ein Vakuum angelegt, worauf nach dem Abnehmen des topfförmigen Gehäuses mit dem Sauggreifer das Substrat entnommen und zu einem anderen Bearbeitungsort verbracht werden kann. Es versteht sich, daß die dem Sauggreifer zugekehrte Fläche des Substrates stets die von der bearbeiteten Fläche abgekehrte Fläche ist.so in a corresponding manner it is possible to use the substrate in turn to spend in the shelf. The suction gripper is then again inserted into the slot 34 introduced and a vacuum applied, whereupon after removing the cup-shaped housing with the Suction gripper, the substrate can be removed and taken to another processing location. It it goes without saying that the surface of the substrate facing the suction gripper is always that of the processed Face is turned away from the face.

fco Wie insbesondere aus Fig.4 hervorgeht, ist die Ablageplatte mittig mit einer Erhöhung 40 versehen, wobei der Durchmesser dieser Erhöhung kleiner als der Durchmesser des Substrates ist. Dadurch wird bewerkstelligt, daß die Zungen 21 in jedem Falle — also auchAs can be seen in particular from FIG. 4, the storage plate is provided in the center with an elevation 40, the diameter of this elevation being smaller than the diameter of the substrate. This ensures that the tongues 21 in any case - that is, too

"'■ bei aus der Vorrichtung entferntem Sauggreifer — stets unter die Substratsrheibe greifen und die Zentrierbakken 7 beim Schließen der Handhabe das Substrat zentrisch zum topfförmigen Gehäuse ausrichten."'■ with the suction pad removed from the device - always reach under the substrate wheel and the centering jaws 7 hold the substrate when the handle is closed Align centrally to the cup-shaped housing.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Vorrichtung zum Handhaben eines dünnwandigen, eine gegen Berührung empfindliche Oberfläche aufweisenden Substrates, bestehend aus einem zylindrischen, topfförmigen Gehäuse, in dem das Substrat aufnehmbar und mittels radial verlaufender Zungen haltbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß das topfförmige Gehäuse (2) mittels einer Handhabe (9) betätigbare, das Substrat (1) aufnehmende, haltende und ablegende sowie das Substrat zentrisch zur Zylinderachse (19') des topfförmigen Gehäuses ausrichtende Zentrierbacken (7) aufweist, wobei der Antrieb dieser Zentrierbacken mittels unter der Last von Federn (13) stehender Stößel (11) erfolgt, weiche gegen eine mit der Handhabe verbundene, die Bewegung der Zentrierbacken steuernde Nockenscheibe 10 lasten.1. Device for handling a thin-walled surface that is sensitive to touch having substrate, consisting of a cylindrical, pot-shaped housing in which the Substrate can be received and held by means of radially extending tongues, characterized in that the pot-shaped housing (2) by means of a Handle (9) actuatable, the substrate (1) receiving, holding and laying down as well as the substrate has centering jaws (7) aligning centrally to the cylinder axis (19 ') of the cup-shaped housing, the drive of these centering jaws by means of plungers (11) which are under the load of springs (13) takes place, soft against one connected to the handle, the movement of the centering jaws controlling cam disk 10 loads.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung auf eine Ablageplatte (35) aufse&bar ist, wobei diese einen radial verlaufenden Schlitz (34) zum Einlegen eines das Substrat (1) aufnehmenden Sauggreifers (30) aufweist2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the device is on a tray (35) is aufse & bar, which has a radially extending slot (34) for inserting a das Has substrate (1) receiving suction gripper (30)

3. Vorrichtung nach Ansprächen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablageplatte (3S) eine Vertiefung (41) besitzt, in der mittig eine Erhöhung (40) angeordnet ist, deren Durchmesser kleiner als der des Substrates (1) ist3. Device according to claims 1 and 2, thereby characterized in that the storage plate (3S) has a recess (41) in the middle of an elevation (40) is arranged, the diameter of which is smaller than that of the substrate (1)

4. Vorrichtung nach Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Vertiefung (41) der Ablageplatte (35) Positionierstifte (36) angeordnet sind.4. Device according to claims 1 and 3, characterized in that in the recess (41) of the Storage plate (35) positioning pins (36) are arranged.