DE2411509A1

DE2411509A1 - Recording surface measuring appts. with sliding microscanner - has diamond stylus and electro-mechanical transducer feeding measuring amplifier

Info

Publication number: DE2411509A1
Application number: DE2411509A
Authority: DE
Inventors: Benatragt Nichtnennung
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1974-03-11
Filing date: 1974-03-11
Publication date: 1975-04-10
Also published as: DE2411509C2

Abstract

The diamond stylus is moved over the surface to be measured by a feed appts. and granulates a measured magnitude proportional to the surface profile, which is fed to the measuring amplifier, to which are connected computer circuits and a surface profile recorder, using inkless point for recording on an electrosensitive recording medium moving at constant velocity. Closely after the end of the enlarged profile recording a tert report in automatically written, containing all the preset data for the measuring process, computed results and surface profile configuration. For this purpose the recording point moves up and down transversely over the moving recording medium under voltage control, applied to the point.

Description

Dokumentarisierendes Oberflächenmeßgerät Gegenstand der Erfindung ist ein Oberflächenmeßgerät, das nicht nur die gesuchten Oberflächenmaßzahlen selbsttätig errechnet, sondern das die errechneten Meßwerte einschließlich aller zu ihrer Ermittlung vorgenommenen Einung/an dem Oberflächenmeßgerät selbstätig aufzeichnet und damit ein Prüfdokument unabhängig von dem Prüfpersonal liefert. Selbstverständlich ist dieses Verfahren nicht allein auf Oberflächenmeßgeräte begrenzt, sondern es kann in Verbindung mit jedem anderen Meßverfahren und Meßgerät angewandt werden. Documentary surface measuring device is the subject of the invention is a surface measuring device that not only automatically finds the surface dimensions you are looking for calculated, but the calculated measured values including all for their determination made agreement / automatically records on the surface measuring device and thus provides a test document independently of the test personnel. It goes without saying this method is not limited to surface measuring devices alone, but can can be used in conjunction with any other measurement method and instrument.

Bei der Oberflächenmessung ist aber eine besondere Häufung wichtiger Daten gegeben, sodaß hier ein besonders geeigneter Anwendungsfall vorliegt. Bei iha wird die Oberflächenfeingestalt mit einer Diamanttastspitze, die an dem beweglichen Teil eines elektr&mechanischen Meßwertwandlers mit sehr niedriger Meßkraft befestigt ist und der sich in einem Meßtastergehäuse befindet, das sich mit einer Stützkufe auf der Oberfläche selbst abstützt, dadurch abgetastet, daß dieser Mikrotaster mit seiner Diamantspitze durch einen Vorschubapparat mit konstanter Geschwindigkeit längs eines eingestellten Meßweges über die Oberfläche geführt wird. Die Diamantspitze folgt dabei den Höhen und Tiefen des Oberflächengebirges. Sie verstellt dabei den elektromechanischen Moßwertwandler, der seinerseits eine elektrische Meßgröße, in der Regel eine Meßspannung, erzeugt, die dem abgetasteten Oberflächenprofil proportionkl ist. Diese Meßspannung wird verstärkt und entweder einem Oberflächenprofilschreiber zur Aufzeichnung eines Profildiagrans zugeführt oder einem elektronischen Rechner, der aus dem Profil-Spannungsverlauf genormte Oberflächenmaße errechnet.With the surface measurement, however, there is a particular accumulation of important data, so that here a particularly suitable one Use case is present. At iha, the fine surface shape is scanned with a diamond probe tip, which is attached to the movable part of an electrical & mechanical transducer with very low measuring force and which is located in a probe housing, which is supported on the surface itself with a support runner, in that this micro-probe with its Diamond tip is guided by a feed apparatus at constant speed along a set measuring path over the surface. The diamond tip follows the ups and downs of the surface mountains. It adjusts the electromechanical measured value converter, which in turn generates an electrical measured variable, usually a measurement voltage, which is proportional to the surface profile being scanned. This measurement voltage is amplified and either fed to a surface profile recorder for recording a profile diagram or to an electronic computer that calculates standardized surface dimensions from the profile voltage curve.

Solche Oberflächens aße sind beispielsweise die Gesamtprofiltiefe Pt,- die Wellentiefe W, die Rauhtiefe Rt, die gemittelte Rauhtiefe Rz, der Hittenrauhwert Ra, die Glättungstiefe Rp, der Traganteil tp mikro und tp makro. Um diese Meßwerte zu erhalten bedarf das Oberflächenmeßgerät in Abhängigkeit von der zu messenden Prüflingsoberfläche bestinter Einstellungen, nämlich des Vergrößerungsbereiches, der Länge der Meßstrecke, der Welligkeitstrennlänge (cut-off), der Schnittiefe beim Messen des Traganteile, des geeigneten Meßtasters und des Bezugssystems. Wird ein Profildiagraa aufgezeichnet, kommt es auf die Vergrößerungsmaßstäbe in vertikaler und horizontaler Richtung aa und ob das Diagramm ohne oder unter Einschaltung elektrischer Filter geschrie. ben wurde.Such surface ate are, for example, the total tread depth Pt, - the wave depth W, the roughness depth Rt, the mean roughness depth Rz, the Hitten roughness value Ra, the smoothing depth Rp, the contact ratio tp micro and tp macro. To these readings The surface measuring device needs to be obtained depending on the type of surface to be measured Test object surface with the best settings, namely the magnification range, the length of the measuring section, the waviness separation length (cut-off), the cutting depth at Measure the contact area, the appropriate probe and the reference system. Becomes a Profildiagraa recorded, it comes down to the magnification in vertical and horizontal direction aa and whether the diagram without or with the involvement of electrical Filter screamed. was ben.

Immer wieder zeigt sich, dass von dem Prüfer verabsäumt wurde und wird, alle diese Daten so zu vermerken, daß bei einer Benutzung der MeíSergebnisse zu einem späteren Zeitpunkt sie auch zur Hand sind. Fehlen aber auch nur einige, dann können aus den M ßerbebnissen nicht mit Sicherheit die richtigen Entschlüsse gezogen werden. Es gibt aber einzuhaltende Gütevorschriften, sodaß der Kontrollierende vor unrichtige? oder bewußt manipulierter Einstellung des Oberflächenmeßgerätes bei der Aufnahme der Kontrollmeßwerte gesichert *g seins.Again and again it is shown that the examiner missed and will note all these data in such a way that when using the measurement results they will also be at hand at a later date. But only a few are missing then the correct conclusions cannot be made with certainty from the results to be pulled. But there are quality regulations to be complied with, so that the controller in front of incorrect? or consciously manipulated setting of the surface measuring device when recording the control measured values, be sure of * g.

gegenstand der Erfindung ist daher eine Einrichtung, durch die alle Einstelldaten sowie die errechneten Meßwerte unabhängig von dem, der das Gerät bedient, von dem Gerät selbst aufgezeichnet werden. Grundsätzlich ist es möglich, an das OberflächenmeZgerät zu diesem Zweck einen Drucker oder eine steuerbare elektrische Schreibmaschine anzuschließen. Der weitergehende Erfindungsgedanke ist aber der, daß in der Regel ein messendes Oberflächenprüfgerät auch einen Oberflächenprofilschreiber besitzt, weil ein aufgezeichnetes Oberflächenprofil das Maximum an möglichen Informationen enthält1 und daß die sich sofort anschließende selbsttätige Aufzeichnung aller Meßdaten und Ergebnisse auf demselben Diagrammstreifen das zuverlässigste und konzentrierteste Prüfprotokoll ist.The subject of the invention is therefore a device through which all Setting data as well as the calculated measured values regardless of who operates the device, recorded by the device itself. In principle, it is possible to use the Surface measuring device for this purpose a printer or a controllable electrical Plug typewriter. The further idea of the invention is, however, that as a rule a measuring surface tester also has a surface profile recorder because a recorded surface profile has the maximum possible information contains1 and that the subsequent automatic recording of all measurement data and results on the same chart strip the most reliable and focused Test report is.

Ui die zu verwirklichen werden alle Schalter und auswechselbaren Zubehörteiles beispielsweise die verschiedenen Mikromeßtaster mit Kontakten und herausgeführten Anschlüssen versehen, durch die sie bei der Protokollierung abgefragt und eindeutig gekennzeichnet werden können. Bei Schaltern wird nicht nur seine Aufgabe, sondern auch die von dem Prüfer vorgenommene Einstellung erkennbar gefacht Da in den meisten Fällen mehrere Oberflächenmaße errechnet werden, erfolgt dies vorzugsweise gleichzeitig bei einem einzigen lbtastvorgang, außer es müßte für eine sehr genaue Errechnung menrmale abgetastet werden. Die errechneten Meßwerte werden gespeichert, sodaß sie im Zuge der Protokollierung abgefragt werden können. Es gibt aber hier zwei Möglichkeiten. Der Meßwert wird analog gespeichert, d.h. beispielsweise wird ein Kondensator auf eine elektrische Spannungshöhe aufgeladen, die dem errechneten Meßwert proportional ist. Selbstverständlich kann auch ein anderer Änalogepeicher Verwendung finden. Wird nun dieser Speicherwert abgefragt, dann wird er zuerst einem inalog-Digital-Wandler zugeführt, der aus dem Spannungswert einen numerischen, digitalen Meßwert in entsprechender elektrischer Verschlüsselung bildet. In dieser Form steht dann der Meßwert zur Aufzeichnung zur Verfügung. Selbstverständlich könnte auch eine digitale Speicherung des Meßwertes vorgenommen werden, doch ist es zweckmässiger, sofort bei der Profilabtastung die elektrischen Spannungswerte für den Profilverlauf in kleinen Abständen, beispielsweise zwischen 0,ovo1 und O,o1 mm abzufragen, sofort über den Analog-Digital-Wand 1er in Digitalmeßwerte umzuformen und digital zu speichern. Am Ende des Abtastvorganges steht dann das Profildiagramm digital gespeichert zur Verfügung. Für die Errechnung jedes Oberflächenmaßes wird der Speicher abgefragt und das Maß errechnet. Anschliessend kann der Speicher gelöscht werden, damit er für die nächste Profilabtastung wieder zur Verfügung steht. Andererseits kann als Speicher auch ein Lochstreifen oder ein Magnetband benutzt werden, sodaß dieses tni Speicherprogramm aufgehoben werden kann.Ui which will be realized are all switches and interchangeable accessories for example, the various micro-probes with contacts and led out Connections are provided through which they are queried and unambiguous during logging can be marked. When it comes to switches, it is not just his job, but also the setting made by the examiner visibly increased as in most If several surface dimensions are calculated, this is preferably done at the same time in a single sampling operation, unless it is necessary for a very accurate calculation be scanned menrmal. The calculated measured values are saved so that they can be queried in the course of logging. But there are two options here. The measured value is stored in analog form, i.e. a capacitor is connected, for example an electrical voltage level is charged which is proportional to the calculated measured value is. Another analogue memory can of course also be used. If this memory value is now queried, it is first transferred to an analog-to-digital converter supplied, which from the voltage value a numerical, digital measured value in a corresponding electrical encryption forms. The measured value is then available for recording in this form to disposal. Of course, digital storage of the measured value could also be used be made, but it is more appropriate to immediately scan the profile electrical voltage values for the profile course at small intervals, for example between 0, ovo1 and 0, o1 mm can be queried immediately via the analog-digital wall 1 to convert into digital measured values and store it digitally. At the end The profile diagram is then available in digital form after the scanning process. For the calculation of each surface dimension, the memory is queried and the dimension calculated. The memory can then be erased so that it can be used for the next Profile scanning is available again. On the other hand, can also be used as a memory a punched tape or a magnetic tape can be used, so that this tni storage program can be canceled.

Die sofortige Profilaufzeichnung und die analoge Errechnung von Oberflächenmaßen hat den Vorteil, daß der Profilverlauf als zusammenhängende Kurve ausgewertet wird, während bei der Umwandlung in ein digital gespeichertes Profildiagramm je nach der Schrittlänge eine mehr oder weniger grobe Treppenkurve entsteht. Bei feinstbearbeiteten Oberflächen, die sehr viele Riefen aufweisen, können hierdurch Einzelheiten verloren gehen.The immediate profile recording and the analog calculation of surface dimensions has the advantage that the profile course is evaluated as a coherent curve, while when converting to a digitally stored profile diagram depending on the Stride length creates a more or less rough staircase curve. With precision machined Surfaces that have a lot of grooves can lose details as a result walk.

S Oberfl-ächenprofilschreiber, der den elektrischen Strom- oder Spannungsverlauf des Profildiagrammes aufzeichnet, wird abhängig von Strom oder Spannung ein drehibewegliches Element, beispielsweise eine Drehspule gegen eine Rückstellfeder verdreht. Die Drehspule wirkt auf einen längeren Zeiger, der meist als- Lenkergeradführung ausgebildet ist und der am vorderen Ende eine Schreibfeder besitzt, die den Zeigerausschlag auf darunter liegendes und kontinuierlich fortbewegtes Registrierpapier aufzeichnet. Bei einem Oberflächenprofilschreiber steht diese Papiervorwärtsbewegung in einem einstellbaren festen Verhältnis zu der Geschwindigkeit, mit der die Diamantspitze das Iiktotasters die Oberfläche abtastet. Aus dem Verhältnis der konstanten Mikrotastergeschwindigkeit zu der ebenfalls konstanten Registrierpapiergeschwindigkeit ergibt sich dann die eingestellte Horizontalvergrößerung der Oberfläcnenprofilaufzeichnung.S surface profile recorder that records the electrical current or voltage curve of the profile diagram, it becomes a rotatable one depending on the current or voltage Element, for example a rotating coil, twisted against a return spring. The moving coil acts on a longer pointer, which is usually designed as a steering wheel guide and which has a pen at the front end that shows the pointer deflection records underlying and continuously moving recording paper. In the case of a surface profiler, this forward movement of the paper is all in one adjustable fixed ratio to the speed at which the diamond tip the Iiktotasters scans the surface. From the ratio of the constant micro-stylus speed for the recording paper speed, which is also constant, the set horizontal enlargement of the surface profile recording.

hls Registrierpapier wird im vorliegenden Fall ein elektrosensitives Papier verwendet, das unter der Einwirkung des elektrischen Stromes geschwärzt wird.In the present case, hls recording paper is an electrosensitive one Paper used, which is blackened under the action of the electric current.

Die am Schreib zeiger befindliche Schreibfeder ist daher an einen elektrischen Stromkreis angeschlossen, durch den ihr eine so bemessene Spannung zugeführt wird, daß sie auf dem hellen Registrierpapier dunkle Punkte oder Linien erzeugen kann. Das Registrierpapier wird als länglicher Streifen von einer Vorratsrolle abgewickelt und die Schreibfeder bewegt sich quer zu ihm, d.h. über seine Breite hinweg. Wenn also die Drehspule von einem in seiner Größe unterschiedlich hohen Strom bezw. Spannung durchflossen wird, bewegt sich durch die Auslenkung der Drehspule die Schreibfeder quer über den Diagrammstriefen und zeichnet so den Profilverlauf durch entsprechende elektriscne Schwärzung auf. Die Vergrößerung in dieser Querrichtung, d.h. also der Profiltiefen, muß durch entsprechende Eichung unter Beachtung der Einstellung de& Vergrößerungsschalters ermittelt werden.The pen located on the writing pointer is therefore on one connected to an electrical circuit through which you have such a measured voltage is fed so that they have dark points or lines on the light-colored recording paper can generate. The recording paper comes as an elongated strip from a supply roll unwound and the pen moves across it, i.e. across its width away. So if the moving coil of a different height in its size Electricity respectively Voltage is flowing through it, moves through the deflection of the moving coil the pen across the lines of the diagram and thus draws the profile by corresponding electrical blackening. The enlargement in this transverse direction, i.e. the tread depths must be calibrated accordingly, taking into account the Setting de & magnification switch can be determined.

Um mit einem derartigen Profilschreiber erfindungsgemäß Zeichen und Druckzeichen (Zahlen, Buchstaben usw.) schreiben zu können, muß die Scnreibfeder mit konstanter Geschwindigkeit über die ganze Breite des Registrierpapiers ausgelenkt werden. Da die Rückführung in die Ausgangslage sehr viel schneller erfolgen kann, ergibt sich eine sägezahnförmige Charakteristik der Auslenkungsgeschwindigkeiten und die erforderliche elektrische Größe zur Erzeugung der Auslegung erfolgt durch einen Sägezahngenerator.In order to use such a profile writer according to the invention characters and To be able to write printed characters (numbers, letters, etc.), the writing pen must be used deflected at a constant speed over the entire width of the recording paper will. Since the return to the starting position can take place much faster, the result is a sawtooth-shaped characteristic of the deflection speeds and the electrical quantity required to generate the design is carried out by a sawtooth generator.

Während der durch diese Einrichtung bewirkten Querbewegung der Schreibfeder über das Registrierpapier wird der an der Schreibfederspitze anliegende Strom ein- und ausgeschaltet und zwar in solcher Steuerung, daß in einem bestimmten Raster Schwärzungepunkte entstehen. Vorzugsweise wird ein aus 5 Spalten und 7 Zeilen bestehender 5 x 7 Punktraster zu Grunde gelegt, zu dessen Erzeugung ein Zeichengenerator vorgesehen ist. Abbildung 1 verdeutlicht dies.During the transverse movement of the pen caused by this device The current at the nib tip is applied via the recording paper. and switched off in such a control that in a certain grid Black spots arise. It is preferable to use one with 5 columns and 7 lines Based on 5 x 7 dot matrix, a character generator is provided for its generation is. Figure 1 illustrates this.

Der Zeichengenerator 1 besitzt 6 Eingänge 2, mit denen 26 64 Zeichen ausgewählt werden können. Für die Zeilenauswahl 3 sind drei binär codierte Eingänge vorhanden. Fünf Ausgänge 4 geben dann die Punktrerteilung in den Zeilen ab. Das darüber dargestellte Raster 5 lässt erkennen, wie beispielsweise die Zahl 4 geschrieben wird.The character generator 1 has 6 inputs 2, with which 26 64 characters can be selected. There are three binary coded inputs for line selection 3 available. Five outputs 4 then give the points in the rows. That The grid 5 shown above shows how the number 4 is written, for example will.

Die Ablaufgeschtindigkeit des Registrierpapiers muß bei jeder Protokollaufzeichnung dieselbe Größe haben, da anderenfalls das Raster verzerrt aufgezeichnet wird. Da aber zur Registrierung des Oberflächenprofils nicht dieselbe Registriergeschwindigkeit eingestellt werden kann, wie für die Protokollierung, ist erfindungsgemäß Vorsorge getroffen, daß vor Durchführung der Protokollierung auch die hierfür rorgeaehene Papierablaufgeschwindigkeit eingeschaltet wird Hierzu sind in dem Getriebe, mit dem die Papiergeschwindigkeit eingestellt wird, elektrisch steuerbare Kupplungen oder ähnliche Mittel eingebaut, durch die unabhängig von der für die Profilregistrierung eingestellten Geschwindigkeit die für die Protokollierung erforderliche Geschwindigkeit eingeschaltet werden kann und zwar nur für die Dauer der Protokollierung.The running speed of the recording paper must be used every time a protocol is recorded have the same size, otherwise the raster will be recorded in a distorted manner. There but not the same registration speed for registering the surface profile can be set, as for the logging, according to the invention is a precaution agreed that before the logging is carried out, the rorgeaehene Paper run-off speed is switched on. This is done in the gearbox with which the paper speed is adjusted, electrically controllable clutches or similar means incorporated by independent of the profile registration set speed the speed required for logging can be switched on and only for the duration of the logging.

Abbildung 2 gibt einen Geaamtüberblick über das Oberflächenmeßgerät nach der Erfindung. Die Oberfläche 10 wird durch die Diamantepitze 11 abgetastet, die sich in dem Mikrotastsystem 12 am beweglichen Teil des eingebauten Meßwertwandlers befindet. Die gleichmäßige Bewegung über die Oberfläche besorgt der Vorschubapparat 13. Das Tastsystem 12 ist am Vorschubapparat auswechselbar und mit Kontakten versehen, durch die es bezüglich seiner Art und vor allem seines Tief enmeßbereiches durch das Protikollgerät identifiziert werden kann. Durch Kabel ist der Meßkopf 13 mit dem Oberflächenmeßgerät 14 verbunde. In seinem Inneren befindet sich der Meßverstärker 15 für die vom Mikrotaster 12 bezw. dessen Neßwertwandler gelieferten elektrischen Spannungen, die dem Oberflächenprofil proportional sind.Figure 2 gives a general overview of the surface measuring device according to the invention. The surface 10 is scanned by the diamond tip 11, which are located in the micro-scanning system 12 on the movable part of the built-in transducer is located. The feed device ensures the uniform movement over the surface 13. The probe system 12 can be exchanged on the feed unit and is provided with contacts, through which it with regard to its type and above all its depth measurement range the log device can be identified. The measuring head 13 is connected by cables the surface measuring device 14 connected. The measuring amplifier is located inside 15 for the micro switch 12 respectively. whose Neßwertwandler supplied electrical Stresses proportional to the surface profile.

In Verbindung mit dem Me,3verstärker 15 stehen der Schalter 16 für die Einstellung der Meßbereiche bezw. der Vergrößerung, der Schalter 17 für die Wahl der Welligkeitstrennlänge (cut-off) und der Schalter 19 für die abzutastende Meßstrecke. Der Ausgang des Meßverstärkers 15 ist verbunden sowohl mit dem Oberflächenprofilschreiber 31 als auch mit den Recheneinrichtungen 20 für die Errechnung der verschiedenen Oberflächenmaßs. Diese werden zunächst analog gespeichert und durch den Schalter 19 abgefragt, der mit dem Analog-Digitalwandler 22 in Verbindung steht, sodaß der Meßwert numerisch auf dem Ziffernfeld 23 erscheint. Gleichzeitig steht der Ausgang des Analog-Digital-Wandlers mit dem Steuergerät 32 in Verbindung über 41. Die im Oberflächenmelsgerät 14 eingebaute Steuerung 24, die den Meßvorgang durch Sinschalten des Vorschubapparates 13 bewirkt, wird durch eine Starttaste ausgelöst. Sie steht über 44 sowohl mit dem Steuergerät für die Protokollierung 32, als auch mit dem Profilschreiber 31 in Verbindung.In connection with the measuring amplifier 15, the switch 16 stands for the setting of the measuring ranges respectively. the magnification, the switch 17 for the Choice of the ripple separation length (cut-off) and the switch 19 for the one to be scanned Measuring section. The output of the measuring amplifier 15 is connected to both the surface profile recorder 31 as well as with the computing devices 20 for calculating the various Surface dimension. These are first saved in analog form and activated by the switch 19 interrogated, which is connected to the analog-to-digital converter 22, so that the The measured value appears numerically on the number field 23. The exit is at the same time of the analog-digital converter with the control unit 32 in connection via 41. The im Surface measuring device 14 built-in control 24, which the measuring process by Sinschalt of the feed apparatus 13 is triggered by a start button. she stands over 44 both with the control unit for logging 32 and with the Profile recorder 31 in connection.

Dieser Profilschreiber 31 enthält das Schreibsystem 25, beispielsweise in der Form eines sehr schweren Drehspulmeßwerkes, mit der Schreibfeder 28, die ihrerseits an eine zu- und abschaltbare Schreibspannungsquelle 27 angeschlossen ist. Die Aufzeichnung erfolgt auf das Registrierpapier 29, dessen Vorschub durch den Antriebsteil 30 bewirkt wird. Durch den steuerbaren Schalter 26 wird die Drehspule des Schreibsystems entweder an den Ausgang des Meßverstärkers 15 zur Aufzeichnung des Profildiagramms oder an die Sägezahnspannung aus 36 angeschlossen, wenn das Meßergebnis protokolliert werden soll.This profile writer 31 contains the writing system 25, for example in the form of a very heavy moving coil measuring mechanism, with the pen 28, the in turn connected to a write voltage source 27 that can be switched on and off is. The recording is made on the recording paper 29, which is fed through the drive part 30 is effected. By the controllable switch 26, the moving coil of the writing system either to the output of the measuring amplifier 15 for recording of the profile diagram or to the sawtooth voltage from 36, if the Measurement result is to be recorded.

In dem Protokollsteuergerät 32 befindet sich ir Sägezahngenerator 36, der die Schreibfeder ständig quer über das Diagrammband pendeln lässt. Durch eine schrittweise schaltende Abfrage- und Ablaufsteuerung 37 , die über die Verbindung 44 eingeschaltet wird, erfolgt über 43 der Abruf der Einstelldaten 16;17;18 (und selbstverständlich noch weiterer, die hier nicht dargestellt sind) sowie der errechneten Oberflächenmaß-Meßwerte. Die Einstelldaten werden über 42, die Meßwerte über 41 dem ersten Multiplexer 33 im Protokollgerät 32 zugeführt, der seinerseits zur Zeidhenauswahl über 38 mit der Steuerung verbunden ist. Auf 33 folgt der Zeichengenerator 34, der zur Zeichenauswahl über 39 gesteuert wird und an diesen schließt sich der Multiplexer 35 an zur Steuerung der Spaltenauswahl über 40 Die Ausgangsleitung dieses Multiplexer 35 bewirkt dann im Profilschreiber das Ein- und Ausschalten 27 der Schreibspannung. Selbstverständlich muß dies mit dem Sägezahngenerator koordiniert werden, sodaß dieser ebenfalls von 37 gesteuert wird.In the protocol control device 32 there is a sawtooth generator 36, which lets the pen oscillate across the chart tape. By a step-by-step switching query and sequence control 37, which over the connection 44 is switched on, setting data 16; 17; 18 (and Of course, there are others that are not shown here) and the calculated ones Surface measurement values. The setting data are over 42, the measured values over 41 fed to the first multiplexer 33 in the protocol device 32, which in turn is used to select the time is connected to the control via 38. 33 is followed by the character generator 34, the for character selection is controlled via 39 and this is followed by the multiplexer 35 to control the column selection via 40 The output line of this multiplexer 35 then causes the recording voltage to be switched on and off 27 in the profile recorder. Of course, this must be coordinated with the sawtooth generator so that this is also controlled by 37.

In welcher Form die Protokollierung erfolgt, ist abhängig von dem in dem Protokollsteuergerät getriebenen Aufwand. Es können Buchstaben, Zahlen und Zeichen geschrieben werden, aber natürlich auch längere Texte, wenn diese in Form von Programmspeichern eingebaut sind und abgerufen werden können.The form in which the logging takes place depends on the effort driven in the protocol controller. It can be letters, numbers and Characters are written, but of course also longer texts if they are in the form are built in from program memories and can be called up.

Abbildung 3 stellt das Protokollsteuergerät 32 noch etwas eingehender dar, vor allem bezüglich der Abfrage- und Ablaufsteuerung 37. Sobald die Oberfläche nach Auslösen des Startknopfes abgetastet, die Meßwerte errechnet und der Profilverlauf geschrieben sind wird in der Ahlaufsteuerung der Taktgemv nerator 45 in Gang gesetzt , das erste Zeichen über 41/42 über den Muttiplexer 33 dem Zeichengenerator 34 zur Verfügung gestellt. In 33 können für eine Zeile 12 Zeichen gespeichert werden. Nunmehr tastet der Spaltenzähler 46 in Verbindung mit dem Multiplexer 35 die 5 Ausgänge des Zeilengenerators 34 ab, die die Punktbelegung in der ersten Zeile darstellen und zur Steuerung der Schreibspannung dienen. Selbstverständlich bewegt sich die Schreibfeder gleichzeitig quer über das Registrierpapier. Infolgedessen wird die erste 40 Zeile des ersten Zeichens geschrieben. Der Spaltenzähler besitzt in dieser beispielsweisen Ausführung 7 Stellungen, davon 5 für die eigentlicne Sp£ltenabtastung und 2 freie Stellungen für die Zeichentrennung. Sobald der Spaltenzähler von 6 auf 0 schaltet, wird der Zeichenzänler 47 eine Stellung weitergeschaltet und das zweite Zeichen wird dem Zeichengeneratr zugefuhrt.Figure 3 shows the protocol control device 32 in more detail especially with regard to the query and sequence control 37. As soon as the surface scanned after the start button has been released, the measured values are calculated and the profile progression are written, the clock generator 45 is set in motion in the sequence control , the first character via 41/42 via the multiplexer 33 to the character generator 34 Provided. In 33, 12 characters can be stored for one line. Now the column counter 46 in connection with the multiplexer 35 scans the 5 outputs of the line generator 34, which represent the point occupancy in the first line and serve to control the writing voltage. Of course it moves Pen at the same time across the recording paper. As a result, the first 40 lines of the first character written. The column counter has in this for example execution 7 positions, 5 of them for the actual column scanning and 2 free positions for character separation. As soon as the column counter goes from 6 to 0 switches, the character counter 47 is switched one position and the second Character is fed to the character generator.

Nunmehr wird, genau wie vorher bei dem ersten Zeichen beschrieben, die erste Zeile des zweiten Zeichens geschrieben. Dies setzt sich fort bis zum 1v.eichen, bei dem die Schreibfeder einmal quer über das Registrierpasier sic bewegt hat. Ist das 12. Zeichen geschrieben, kehrt die Schreibfeder wieder in die Ausgangslage zurück und der Zeilenzähler 48 schaltet nuner auf d zweite Zeile weiter. Dies setzt sich fort, bis die 7. Zeile geschrieber ist, womit also das gesamte Zeichen in seiner Höhe aufgezeichnet wur-le. i Es also jetzt quer über das Registrierpapier in einer Reihe 12 Zeichen geschrieben worden, falls solche aus dem Oberflächenmeßgerät ausgegeben wurden. Dies War also die 1. Zeichenreihe, sodaß nunmehr die nächste Zeichenreine geschrie ben werden kann. Um einen entsprecnenden Abstand zwischen diesen Reinem zu 48 erhalten, hat der Zeilenzähler nicht nur 7 Stellungen, wie sie für das Zeichen gebraucht werden, sondern 12 Stellungen. Diese 12 Stellungen sind so verteilt, daß vor dem Zeichen zllOchst eine Zeile blind geschrieben wird, dann folgen die 7 Zeichenzeilen und an diese schließen sich rocnmals - Dlinde Zeilen an. Zwischen jeder Zeichenreihe sind also 5 Zeilen Zwischenraum Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß nicht 12 einfache Zeilen, sondern 12 Doppelzeilen, d.h. also insgesamt 24 Zeilen pro Zeichenhöne geschrieben werden. Die im vorhergehenden Abschnitt angesprochenen Zeilen sind also stets Doppelzeilen gewesen. Durch die Doppelzeile wird erreicnt, da;5 das Zeichen dichter, also lesbarer geschrieben wird. AulSerde2 würde bei einem auftretenden Zufallsfehler dieser weniger in Erscheinung treten. Die bescnrie bene Art der Protokollierung ist hier eine beispielsweise. Sie kann auftretenden Notwendigkeiten angepRit, erweitert oder verringert werden.Sie ist selbstverständlich nicht auf ein Oberflächenseljgerät beschrankt, soda sie auch in Verbindung mit anderen registrierenden Meßgeräten anwendbar istNow, exactly as previously described for the first character, the first line of the second character is written. This continues until the 1st calibration, in which the pen has moved across the registration pasier once. is When the 12th character is written, the nib returns to its original position and the line counter 48 now advances to the second line. This continues continues until the 7th line is written, which means that the entire character is in his Height was recorded. i So now across the recording paper in one Row 12 characters have been written, if output from the surface measuring device became. So this was the first row of symbols, so that now the next pure symbol can be written. About an appropriate distance between these purities To get 48, the line counter not only has 7 positions, as it is for the character are needed, but 12 positions. These 12 positions are distributed so that Before the character zllOchst a line is written blindly, then the 7 character lines follow and this is followed by rocnmals - Dlinde lines. Between each string of characters So there are 5 lines space. According to the invention it is provided that not 12 simple Lines, but 12 double lines, i.e. a total of 24 lines per character tone will. The lines mentioned in the previous section are therefore always double lines been. The double line makes the character denser, i.e. more legible is written. AulSerde2 would be less if a random error occurred appear. The type of logging described here is an example. It can be adapted, expanded or reduced as needs arise is of course not limited to a surface selector, so it is can be used in conjunction with other recording measuring devices

Claims

Claims 1. Documentarizing surface measuring device consisting from one guided by a feed device over the surface to be tested Micro probe system, which has a diamond probe tip and an electromechanical transducer and the one that is proportional to the surface profile scanned by the diamond tip electrical measurand of a measuring amplifier located in the surface measuring device feeds to the both computing circuits for. Calculation of measured values for surface dimensions as well as a surface profile marker are connected, through a writing system a pen nib inksensitive electrosensitive through applied electrical voltage, Chart paper moving at a constant, adjustable speed blackens and thereby records the enlarged surface profile, characterized in, that following the completion of this profile recording runs automatically a test report containing all the setting data selected for this measurement of the surface measuring device 11k as well as the numerical recording of the calculated Measured values for those built into the surface measuring device and by the profile scanning to give surface measurements is written by using the nib, while the Recording paper runs out, back and forth movements across the strip of graph and the voltage at the writing tip is controlled accordingly. and is turned off.

2, documentarizing a surface measuring device according to claim 1 thereby characterized in that all to be actuated and set for the determination of the measured value Switches or components are provided with contacts in such a way that the type and setting the switch and the component queried from the outside by the protocol control, identified and written on the chart strip.

3. Documentarizing surface measuring device according to claim 1, characterized characterized in that measured values initially calculated analogously for the surface dimensions stored in analog, after query in an analog-digital converter in suieriache Values converted and recorded numerically using the protocol control will.

4. Documentarizing surface measuring device according to claim 1 characterized in that a paper flow rate provided for this purpose in the protocol recording is automatically switched on and off again regardless of the profile recording set Geachwindighit

5. Documentarizing surface measuring device according to claim 1 and 4, characterized in that double lines are written instead of single lines will.

L e r s e i t e