DE2350659A1 - DEVICE FOR USE IN THE TREATMENT OF ITEMS HAVING A VARIETY OF UNITS CONNECTED IN A SERIES - Google Patents

DEVICE FOR USE IN THE TREATMENT OF ITEMS HAVING A VARIETY OF UNITS CONNECTED IN A SERIES

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DE2350659A1
DE2350659A1 DE19732350659 DE2350659A DE2350659A1 DE 2350659 A1 DE2350659 A1 DE 2350659A1 DE 19732350659 DE19732350659 DE 19732350659 DE 2350659 A DE2350659 A DE 2350659A DE 2350659 A1 DE2350659 A1 DE 2350659A1
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Description

DR. MÖLLER-BOR^ DlPL1-PHVS-Dn-MANiFZ DIPL.-Clicr/.DR. DEUFEL DiPL-ING. FINSTERWaLD dipl.-ING ÜRSMKCW DR.MÖLLER-BOR ^ DlPL 1 -PHVS-Dn-MANiFZ DIPL.-Clicr / .DR. DEUFEL DiPL-ING. FINSTERWaLD dipl.-ING ÜRSMKCW

München, den ro r- -^ Hl/th - C 2777Munich, the ro r- - ^ Hl / th - C 2777

CEEMCUT CORPORATION 500 Science Park Eoad, State College, Pennsylvania, USACEEMCUT CORPORATION 500 Science Park Eoad, State College, Pennsylvania, USA

Vorrichtung zur·Benutzung bei der Behandlung von Gegenständen mit einer Vielzahl von in Reihe verbundenen EinheitenDevice for · use in the treatment of objects with a multitude of units connected in series

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Benutzung bei der Behandlung von Gegenständen mit einer Vielzahl von in Reihe verbundenen Bausteinen.The invention relates to a device for use in treating objects with a plurality of in series connected building blocks.

Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung zur chemischen Behandlung in Bausteinform bzw. Einheitenform, bei der die Einheiten sicher mitteinander verbindbar und in Fluchtung bringbar sind, wobei sicher verhindert ist, daß sich eine Einheitenseitenwand in bezug auf die andere in Querrichtung, Längsrichtung, vertikaler· Richtung oder in einer Verkantungsrichtung bewegt.The aim of the invention is to create a device for chemical treatment in the form of building blocks or units that the units can be securely connected to one another and are in alignment can be brought, whereby it is reliably prevented that one unit side wall with respect to the other in the transverse direction, longitudinal direction, vertical direction or in a tilting direction.

Jeder Typ einer chemischen Behandlung von verschiedenen Produkten und hergestellten Gegenständen, beispielsweise das Waschen, das Aufbringen einer Fotowiderstandsschicht, das Belichten und Entwickeln, Ätzen, das Entfernen einer Deckschicht, das Lackieren bzw«, Streichen, das Schützen von Oberflächen gegen Korrosion,Any type of chemical treatment of various products and manufactured items, such as washing, applying a photoresist layer, exposing and developing, etching, removing a top layer, painting or «, painting, protecting surfaces against corrosion,

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das Entfernen von Lösungsmitteln und das Trocknen werden üblicherweise in einem getrennten und besonderen Teil einer Vorrichtung ausgeführt, die für diese besondere Aufgabe ausgelegt oder modifiziert ist. Eine Vielzahl von Behandlungsschritten erfordert deshalb üblicherweise eine entsprechende Anzahl von Behandlungseinheiten. Es sind einzelne Einheiten, die für einen Prozeß, der mehr als einen Behandlungsschritt umfaßt, besonders ausgelegt sind, "gebaut und benutzt worden . Jedoch sind solche Einheiten unbrauchbar für die Durchführung irgendeines anderen Behandlungsprozesses, obgleich einige der gleichen Behandlungsschritte enthalten sein können. Es sind ebenfalls besondere Anordnungen vorgeschlagen worden, bei denen mehrere chemische Behandlungseinheiten kombiniert sind. Es ist für einen Atzprozeß beispielsweise bekannt, bei dem eine längere Ätzzeit oder größere Kapazität erforderlich ist, mehrere Ätzmaschinen in einer Produktionslinie in Reihe hintereinander anzuordnen, um eine Verlängerung von deren effektiven Kammerlänge zu erreichen. Jeder dieser Versuche der Anwendung herkömmlicher chemischer Behandlungseinheiten auf chemische Behandlungsprozesse im allgemeinen und chemische Behandlungsprozesse mit mehreren Schritten im besonderen weist eine bestimmte Unwirksamkeit, Unbrauchbarkeit oder Inflexibilität auf, die eine allgemeinere Benutzung behindern.solvent removal and drying usually carried out in a separate and special part of a device designed for this particular task or is modified. A large number of treatment steps therefore usually require a corresponding one Number of treatment units. There are individual units that are responsible for a process that involves more than one treatment step specially designed, built and used. However, such units are useless for the Performing any other treatment process, although some of the same treatment steps may be included. Special arrangements have also been proposed in which several chemical treatment units are combined are. It is known, for example, for an etching process in which a longer etching time or greater capacity is required is to arrange several etching machines one behind the other in a production line in order to extend their to achieve effective chamber length. Each of these attempts the application of conventional chemical treatment units to chemical treatment processes in general and chemical Treatment processes with several steps in particular have a certain ineffectiveness, uselessness or inflexibility that hinder more general use.

In einer älteren Anmeldung (Patentanmeldung P 22 56 018.5) ist eine Vorrichtung beschrieben, die eine schnelle und wirkungsvolle Anordnung und Konstruktion eines chemischen Behandlungssystems, beispielsweise eines A*tzsystems auf einer genormten Basis ermöglicht, indem beispielsweise eine gewünschte Ätzkapazität, eine gewünschte Spül- bsw» Waschkapazität, eine gewünschte Trocknungskapazität durch Bausteine bzw, Einheiten vorgesehen wird, die in Anordnungen oder in Gruppen kombiniert werden können, um einen gewünschten Behandlungsablauf zu erreichen. Die Einheiten werden in gewöhnlicher Weise gefluchtetIn an older application (patent application P 22 56 018.5) is a device described, the quick and effective arrangement and construction of a chemical treatment system, for example an etching system on a standardized Basis enables by, for example, a desired etching capacity, a desired rinsing or washing capacity, a Desired drying capacity is provided by building blocks or units, which are combined in arrangements or in groups can be used to achieve a desired course of treatment. The units are aligned in the usual way

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und gemeinsam angetrieben, wobei Einrichtungen vorgesehen sind, die einen Antrieb einer Einheit mit dem Antrieb einer anderen richtig verbinden. Hierbei ist eine Verbindungseinrichtung erforderlich, wobei eine bevorzugte Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung in der älteren Patentanmeldung beschrieben ist. Erfindungsgemäß ist eine Vielzahl von anderen Verbindungs- und Fluchtungseinrichtungen vorgesehen, die nicht nur alle die /wünschten möglichen Eelativbewegungen zwischen aneinandergrenzenden Einheiten sicher verhindern, sondern zusätzlich sowohl das Verbinden als auch das Trennen solcher Einheiten für eine optimale Flexibilität beim Hinzufügen oder Wegnehmen von besonderen Bausteineinheiten zu dem System "bzw. von diesem erleichtern.and jointly driven, devices are provided which a drive of a unit with the drive of a Connect others properly. A connection device is required here, with a preferred connection and Alignment device is described in the earlier patent application. According to the invention, a variety of other connection and alignment devices are provided which not only have all the / desired possible relative movements between adjacent Safely prevent units, but also the connection and disconnection of such units for optimal flexibility when adding or removing special building blocks to the system "resp. of this facilitate.

Ziel der Erfindung ist somit die Schaffung einer einfachen und wirksamen Seitenwand-Verbindungs- und -Fluchtungseinrichtung für ein chemisches· Behandlungssystem in Bausteinform bzw. Einheitenform, bei dem die Gegenstände durch zahlreiche Behandlungsbereiche gefördert werden, in welchen die Gegenstände Chemikalien für irgendeinen Zweck ausgesetzt oder getrocknet, gewaschen, beschichtet, gegen Korrosion gesichert, gereinigt, geätzt werden, wobei diese Einrichtung leicht an die aneinanderstoßenden, zu verbindenden Seit'enwände befestigbar und von diesen ebenfalls leicht entfernbar ist, um das Zusammenbauen und-Auseinanderbauen von aneinandergrenzenden Einheiten zu erleichtern.The aim of the invention is thus to provide a simple and effective sidewall connecting and aligning device for a chemical treatment system in the form of modules or units, in which the objects are conveyed through numerous treatment areas in which the objects are chemicals exposed for any purpose or dried, washed, coated, protected against corrosion, cleaned, etched, whereby this device can easily be attached to the abutting side walls to be connected and by these likewise is easily removable for assembly and disassembly of adjacent units to facilitate.

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung in Einheitenform zum chemischen Behandeln von Gegenständen in einem Fördersystem, die Seitenwand-Verbindungs- und-FluchtungseinrxGhtungen umfaßt, die an entsprechende, aneinanderstoßende, in Längsrichtung verlängerte Seitenwände von aneinanderliegenden Einheiten befestigt sind und diese Seitenwände in gefluchteter und zusammengebauter Beziehung halten. Diese Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung besteht im allgemeinen aus einem Verbindungsglied,The invention relates to a device in unit form for chemically treating items in a conveyor system that includes side wall connection and alignment devices; the corresponding, abutting, longitudinally elongated side walls of adjacent units are attached and hold these side panels in aligned and assembled relationship. This connection and alignment device generally consists of a connecting link,

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das sich, zwischen den aneinanderstoßenden, verbundenen Seitenwänden erstreckt und mit diesen in einer solchen Weise verbunden ist, daß es über zumindest einer gemeinsamen, in Längsrichtung sich erstreckenden, vertikalen, ebenen Oberfläche der aneinanderstoßenden Seitenwände liegt und mit dieser in inniger Berührung gehalten wird.that between the abutting, connected side walls extends and is connected to these in such a way that it has at least one common, longitudinally extending, vertical, flat surface of the abutting side walls and with this in intimate touch is held.

Das Verbindungsglied kann ein getrenntes Glied umfassen, das sich zwischen den aneinanderstoßenden Seitenwänden erstreckt und mit diesen verbunden ist, während es mit besonderen Oberflächen und/oder geometrischen Konfigurationen der aneinanderstoßenden Seitenwände zusammenpaßt oder über diesen liegt, um deren unerwünschte Bewegungen zu verhindern. Zusätzlich kann das Verbindungsglied eine Verlängerung der aneinanderstoßenden Seitenwände umfassen, beispielsweise Abschnitte mit reduzierter Breite, die zusammenpassen und eingedrückte und nicht eingedrückte Bereiche aufweisen können. Außerdem können die aneinanderstoßenden Seitenwände Vorsprünge und dazupassende Aussparungen oder Sack-Aussparungen und. dazupassende Vorsprünge aufweisen, die sich in solche Aussparungen hineinerstrecken. In ähnlicher Weise können die aneinanderstoßenden Seitenwände Löcher aufweisen zur Aufnahme eines Verbindungsgliedes, das durch Feststellschrauben gehalten wird.The connecting member may comprise a separate member, the extends between and is connected to the abutting side walls while having special surfaces and / or geometric configurations of the abutting Sidewalls fits together or lies over them to prevent their undesired movements. Additionally can the connecting member comprise an extension of the abutting side walls, for example sections with reduced Widths that fit together and indented and indented Can have areas. In addition, the abutting side walls can have projections and matching recesses or sack recesses and. have matching projections, which extend into such recesses. In a similar way, the abutting side walls Have holes for receiving a connector which is held by set screws.

Die Erfindung betrifft somit eine chemische Behandlungsvorrichtung in Bausteinform bzw. Einheitenform mit Seitenwand-Verbindungs- und -Fluchtrungseinrichtungen, die ein Verbindungsglied umfassen,das an aneinanderstoßenden Seitenwänden befestigt ist und über einer in Längsrichtung sich erstreckenden, vertikalen ebenen überfläche liegt und in inniger Berührung mit dieser gehalten wird.The invention thus relates to a chemical treatment device in building block form or unit form with side wall connecting and evacuation devices that form a connecting link include, which is attached to abutting side walls and lies over and in intimate contact with a longitudinally extending, vertical planar surface is held.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beispielsweise beschrieben; in dieser zeigt:The invention is illustrated below with reference to the drawing, for example described; in this shows:

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Fig. 1 eine Aufsicht einer Vielzahl von Einheiten in einem chemischen Behandlungssystem der Bausteinform mit einer Seitenwand-Verbindungs- und -Fluchtungseinrichtung gemäß der Erfindung,1 shows a plan view of a plurality of units in a chemical treatment system of the building block form a side wall connection and alignment device according to the invention,

Pig. 2 eine vergrößerte perspektivische Ansicht der in Pig. 1 dargestellten Seitenwand-Verbindungs- und -Fluchtungseinrichtung undPig. Figure 2 is an enlarged perspective view of that shown in Pig. 1 side wall connection and alignment device shown and

Fig. 3 bis 8 perspektivische Ansichten weiterer Ausführungsformen der Erfindung. 3 to 8 perspective views of further embodiments of the invention.

In Jb'ig. 1p. st ein rezirkulierender Spül- "bzw, Wässerungsbaustein bzw. eine solche Einheit 10 mit zusätzlichen Wässerungseinheiten 12 und 14- dargestellt (wobei Teile der rezirkulierenden Wässerungseinheit 10 und der zusätzlichen Wässerungseinheit 16 weggelassen sind), die zu einem typischen chemischen Behandlungssystem gehören, in welchem die Erfindung enthalten ist. Alle' Bausteine bzw. Einheiten eines solchen Systems einschließlich der dargestellten Einheiten 10, 12 und 14· sind in Längsrichtung in Reihe angeordnet und jeö.e ist mit Fördergliedern 16 vorgesehen, die durch Kegelgetriebe bzw. Kegelzahnräder 18 angetrieben werden, die mit zugeordneten Zahnrädern auf in Reihe verbundenen Segmenten einer Antriebswelle 20 kämmen.In Jb'ig. 1p. st a recirculating rinsing "or washing module or such a unit 10 with additional washing units 12 and 14- shown (parts of the recirculating washing unit 10 and the additional washing unit 16 are omitted), which belong to a typical chemical treatment system in which the All of the building blocks or units of such a system including the illustrated units 10, 12 and 14 are arranged longitudinally in series and each is provided with conveyor members 16 driven by bevel gears 18 which mesh with associated gears on segments of a drive shaft 20 connected in series.

Die dargestellten Bausteineinheiten sind typisch für solche, wie sie in einem Baustein- bzw. Einheitensystem vorgefunden werden, in welchem Werkstücke aufeinanderfolgend geätzt, chemisch behandelt, gewaschen, getrocknet usw. werden und die Betriebsweise der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung wird mit Bezug auf ein solches Ätzsystem beschrieben* Für die Zwecke der Erläuterung der Erfindung sind die Funktionen der einzelnen Einheiten insoweit nicht von kritischer Bedeutung, als sie voneinander und von dem Einheiten-Behandlungssystem im allgemeinenThe building block units shown are typical of those found in a building block or unit system in which workpieces are successively etched, chemically treated, washed, dried, etc., and the operation of the apparatus shown in Fig. 1 is referred to described on such an etching system * For the purposes of explaining the invention, the functions of the individual units insofar as they are not critical of each other and of the unit treatment system in general

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abweichen mit der Ausnahme, daß alle Einheiten zusammenwirken müssen, um ein Behandlungssystem vorzusehen, das ein besonderes Erfordernis erfüllen soll. Beispielsweise kann es in einigen Fällen erwünscht sein, in einem Ätzsystem zahlreiche Ätzkammer-Einheiten zu benutzen, während in anderen Fällen nur eine solche Einheit erforderlich ist. Andererseits ist, wenn das System nicht als ein Ätzsystem sondern nur für irgendeine andere Behandlung, wie ein Reinigen, Beschichten, fotografisches Entwickeln usw. oder irgendeine Kombination solcher Behandlungen benutzt werden soll, keine Ätzkammer erforderlich.differ with the exception that all units must work together to provide a treatment system that is a special one To meet the requirement. For example, in some cases it may be desirable to have numerous in an etch system To use etching chamber units, while in other cases only one such unit is required. On the other hand, if the system is not used as an etching system but only for some other treatment, such as cleaning, coating, photographic processing, etc. or any combination of such treatments is to be used, no etching chamber necessary.

Bei einem Ätzsystem, in welchem die -a-ke- in Fig. 1 dargestellten Wässerungseinheiten enthalten sind, kann ein Fluid-Wiedergewinnungsbaustein bzw. eine Fluid-Wiedergewinnungseirslieit vorgesehen sein und kann eine oder können beide zusätzlichen Wässerungseinheiten weggelassen oder zusätzliche Wässerungseinheiten eingesetzt sein. In an etching system in which the -a-ke- shown in FIG Irrigation units are included, a fluid recovery module or a fluid recovery system be provided and one or both of the additional washing units can be omitted or additional washing units can be used.

Diese Systeme werden im allgemeinen so betrieben, daß zu ätzende oder anders zu behandelnde Gegenstände auf einem Eingangs-Fördererbaustein bzw. einer Eingangsförderereinheit angeordnet und entlang diesem durch ein geeignetes Fördersystem geförwerden ο ο «οThese systems are generally operated so that items to be etched or otherwise treated on an input conveyor module or an input conveyor unit and conveyed along this by a suitable conveyor system ο ο «ο

dert/ das in Querrichtung angeordnete sich drehende Stangen umfaßt, an denen sich drehende Räder angeordnet sind; das Förderersystem wird nachfolgend als Förder er einrichtung 16 bezeichnet.changes / the transversely arranged rotating rods includes, on which rotating wheels are arranged; The conveyor system is hereinafter referred to as conveyor device 16 designated.

üCypischerweise sind geeignete Abschnitte der zu behandelnden Gegenstände (die beispielsweise, wenn es gedruckte Schaltungsplatten sind, geätzt werden) vorher maskiert oder mit einem "Deckmittel (resist)" versehen worden, so daß nur unmaskierte Abschnitte frei für eine Behandlung oder ein Ätzen sind, während die maskierten Abschnitte-nicht geätzt ocer behandelt werden.üCypically suitable sections are to be treated Objects (which, for example, if they are printed circuit boards, are etched) beforehand masked or with a "Resist" has been provided so that only unmasked portions are free for treatment or etching while the masked sections-not etched ocer are treated.

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In dem Fall von gedruckten Schaltungsplatten können die unmaskierten Abschhit,te solcher Gegenstände mit Ferricchlorid oder einem anderen geeigneten Ätzmittel geätzt werden, dasIn the case of printed circuit boards, the unmasked sections of such items with ferric chloride or another suitable etchant that

durch Düsen, Strahlen oder andere geeignete Ätzmittel-Lieferwird systeme in einer Ätzkammereinheit aufgebracht / , wenn sie durch die Einheit gefördert werden. Solche Gegenstände werden kontinuierlich dann zu einer Ätzmittel-Wiedergewinnungskammereinheit geliefert, in der Luftstrahlen oder dergleichen benutzt werden, das Ätzmittel wieder zu gewinnen für eine Rücklieferung durch eine geeignete Einrichtung zurück zu der Ätzkammer. Die Gegenstände werden dann kontinuierlich "beispielsweise zu einer Reihe von Spül- bzw. Wässerungseinheiten, wie sie beispielsweise in Fig. 1 dargestellt sind, geliefert, wo Wasser oder ein anderes geeignetes Spülfluid auf die Gegenstände aufgebracht wird, um restliches Ätzmittel von diesen abzuspülen.by nozzles, jets or other suitable etchant delivery systems applied in an etching chamber unit / if they be promoted by the unit. Such items then continuously become an etchant recovery chamber unit delivered, are used in the air jets or the like to recover the etchant for a return delivery back to the etching chamber by suitable means. The objects then become "continuously" for example into one Series of rinsing or washing units, as shown for example in Fig. 1, where water or another suitable flushing fluid is applied to the articles to rinse off residual etchant from them.

Die Maske oder "Deckschicht" wird von den Gegenständen durch Aufbringen eines geeigneten Lösungsmittels oder dergleichen entfernt, wobei die Gegenstände dann zu einer Trocknungsstationseinheit geliefert werden, in der heiße Luft oder dergleichen benutzt wird, um die Gegenstände zu trocknen für eine nachfolgende Auslieferung zu einer Ausgangsstation oder Ausgangseinheit.The mask or "topcoat" is removed from the articles by applying a suitable solvent or the like removed, the items then being taken to a drying station unit in which hot air or the like is used to dry the items for a subsequent delivery to an exit station or Output unit.

Wie oben ausgeführt worden ist, kann jede Zahl von Bausteinen oder Einheiten des beschriebenen Typs in den Systemen des Typs benutzt werden, mit dem sich die Erfindung befaßt.As stated above, any number of building blocks or units of the type described can be used in the systems of Of the type with which the invention is concerned.

Bei irgendeinem besonderen chemischen Behandlungssystem kann eine "Vielzahl von Bausteinen bzw. Einheiten gewünschtenfalls benutzt werden. In jedem Fall umfaßt jedoch jede Einheit gemeinsame Terbindungs- und Fluchtungs-Mittel, Antriebssysteme usw. Die Fördereinrichtung wird durch einen geeigneten Elektromotor oder eine andere Antriebseinrichtung angetrieben, die mit den in Reihe verbundenen Segmenten der Antriebswelle 20 verbunden ist. Die Antriebsquelle kann einer einzigen EinheitIn any particular chemical treatment system, a plurality of building blocks or units can be used, if desired to be used. In any case, however, each unit comprises common connection and alignment means, drive systems etc. The conveyor is driven by a suitable electric motor or other drive device which is connected to the segments of the drive shaft 20 connected in series. The drive source can be a single unit

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oder einer getrennten Leistungsquelleneinheit zugeordnet sein. Nach Fig. 1 sind insbesondere in bezug auf die Anordnung eines Systems mit Wässerungseinheiten 10, 12 und 14 erfindungsgemäß Einrichtungen vorgesehen, zum Verbinden der Seitenwände solcher Einheiten, so daß die in Längsrichtung versetzten Einheiten 12 und 14 und insbesondere deren Seitenvrände 15 und 15 untereinander verbunden und durch eine besondere Einrichtung gefluchtet sind, die eine Relativbewegung von diesen verhindert. Diese umfassen ein Verbindungsglied 21, das mit den Seitenwänden 13 und 15 durch Bolzen 22 und dazu passende Bolzenlöcher 23 befestigt sind, was mehr im einzelnen in der vergrößerten perspektivischen Ansicht der Fig. 2 zu ersehen ist. Es können andere Befestigungseinrichtungen wie Dübel, Stifte, Clips usw. anstelle der Bolzen 22 verwendet werden.or associated with a separate power source unit. According to FIG. 1, in particular with regard to the arrangement of a system with washing units 10, 12 and 14 are according to the invention Means are provided for connecting the side walls of such units so that the longitudinally displaced units 12 and 14 and in particular their side edges 15 and 15 with one another connected and aligned by a special facility that prevent relative movement of these. These comprise a connecting member 21 which is connected to the side walls 13 and 15 are fastened by bolts 22 and matching bolt holes 23, which is more detailed in the enlarged perspective View of Fig. 2 can be seen. Other fasteners such as dowels, pins, clips, etc. can be used in place of the bolts 22 can be used.

Nach Fig. 2 liegt das Verbindungsglied 21 über zwei wechselweise zueinander senkrechten ebenen Oberflächen der Seitenwände 13 und 155 wird mit diesen in inniger körperlicher Berührung gehalten und ist an diese mit Bolzen 22 angebolzt. Nach Fig. 2 hält das Verbindungsglied 21 die Seitenwände 13 und 15 fest aneinander stoßend, wobei es diese sowohl miteinander verbindet als auch in fester Fluchtung hält.According to FIG. 2, the connecting member 21 lies over two mutually mutually alternating flat surfaces of the side walls 13 and 15. 5 is held in intimate physical contact with them and is bolted to them with bolts 22. According to Fig. 2, the connecting member 21 holds the side walls 13 and 15 firmly abutting one another, both connecting them to one another and also holding them in fixed alignment.

Bei der in Fig. 2· dargestellten besonderen Ausführungsform wird die Wirksamkeit der Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung gesteigert durch die Tatsache, daß das Verbindungsglied 21 mit jeder der Seitenwände 13 una 15 an einer Vielzahl von in Längsrichtung versetzten Stellen fest verbunden ist.In the particular embodiment shown in FIG. 2, the effectiveness of the connection and alignment device increased by the fact that the connecting member 21 with each of the side walls 13 and 15 on a plurality of is firmly connected in the longitudinal direction staggered points.

Ein ähnlicher Effekt wird auf verschiedene Weisen in jeder der anderen Ausführungsformen der Verbindungs- und Fluchtungsein— richtung der erfindungsgemäßen Vorrichtung hervorgerufen. In jedem Fall werden die aneinander stoßenden Seitenwände daran gehindert, sich außer Fluchtung voneinander oder sich vertikalA similar effect is achieved in various ways in each of the other embodiments of the connection and alignment. caused direction of the device according to the invention. In any case, the abutting side walls are attached to it prevented from being out of alignment with one another or moving vertically

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oder in (Querrichtung zu bewegen und ebenfalls daran gehindert, verkantet oder winklig zueinander angeordnet zu werden.or in (transverse direction and also prevented from to be canted or angled to each other.

Nach Fig. 3 umfaßt bei einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung ein Verbindungsglied 24-einen in Längsrichtung verlängerten Vorsprung 25» der in zugeordnete Längsaussparungen 26 und 27 von aneinander anstoßenden Seitenwänden 13a und 15a paßt. Ein zweiter Teil des Verbindungsgliedes 24 ist ein ebenes Glied 28, das mittels Bolzen 29 und Bolzenlöchern 30 an. den gemeinsamen, in Längsrichtung verlaufenden, vertikalen Oberflächen der aneinander stoßenden Seitenwände 13a und 15a befestigt und in Berührung mit diesen Oberflächen gehalten wird.Referring to Fig. 3, in a further embodiment, one includes Connecting and alignment device a connecting member 24 - a longitudinally elongated projection 25 »the associated with FIG Longitudinal recesses 26 and 27 of abutting side walls 13a and 15a fit. A second part of the link 24 is a planar member 28 that is attached by means of bolts 29 and bolt holes 30. the common, lengthways extending vertical surfaces of the abutting side walls 13a and 15a and in contact therewith Surfaces is held.

Bei der in J1Xg. 4- dargestellten Ausführungsform passen rechtwinklig gestaltete Sack-Aussparungen 31 und 32 mit durch diese hindurchgehende Bolzenlöchern 33 und 34- in der Anordnung aneinander stoßender Seitenwände 13b und 15b zueinander, wobei die zueinander passenden Aussparungen von einem Verbindungsglied 35 eingenommen werden, das zugeordnete Bolzenlöcher 36 aufweist, so daß bei einem Zusammensetzen der aneinander stoßenden Seitenwände 13b und 15b und einem Befestigen des Befestigungsgliedes 35 an den Seitenwänden 13b und 15"b mittels Bolzen 37 durch die Berührung der sich über den gleichen Umfang erstreckenden Oberflächen des Verbindungsgliedes 35 mit den Oberflächen der Sack-Aussparungen y\ und 32 eine effektive und wirksame Verbindungsund tfluchtungs-Einrichtung vorgesehen ist.In the case of the in J 1 Xg. 4- illustrated embodiment fit right-angled bag recesses 31 and 32 with bolt holes 33 and 34 going through them in the arrangement of abutting side walls 13b and 15b, the matching recesses being occupied by a connecting member 35 which has associated bolt holes 36 so that when the abutting side walls 13b and 15b are assembled and the fastening member 35 is fastened to the side walls 13b and 15''b by means of bolts 37 through the contact of the surfaces of the connecting member 35 extending over the same circumference with the surfaces of the sack Recesses y \ and 32 an effective and effective connection and alignment device is provided.

Bei einer anhand der Fig. 5 dargestellten Ausführungsform sind Sei-oenwände 1^c und 15c mit in Längsrichtung verlängerten Abschnitten 38 und 39 reduzierter Breite vorgesehen. Sich über den gleichen Umfang erstreckende überflächen der in Längsrichtung verlängerten Abschnitte 38 und 39 niit verringerter Breite sind übereinander gelegt und durch nicht dargestellte BolzenIn an embodiment illustrated with reference to FIG. 5, side walls 1 ^ c and 15c are elongated in the longitudinal direction Sections 38 and 39 of reduced width are provided. Get over the same circumference extending surfaces of the longitudinally elongated sections 38 and 39 with reduced width are placed on top of each other and by bolts, not shown

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fest miteinander verbunden, die in Bolzeniöcher 40 eingesetzt sind, um eine effektive Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung vorzusehen, die eine, unerwünschte Bewegung des oben menr im einzelnen beschriebenen Typs verhindert. Zusätzlich sind' die äußeren Oberflächen der in Längsrichtung verlängerten Abschnitte 58 und 39 mi-c reduzierter Breite Isoplanar mit den äußeren Oberflächen der anstoßenden Seitenwände 13c una 1i?c (und von gleicher Gesamtbreite,), so daß eine kontinuierliche Seitenwandoberf lache vorgesehen ist.firmly connected to one another, which are inserted into bolt holes 40 are to be an effective connection and alignment device to provide the one, undesirable movement of the above menr im individual described type prevented. In addition, they are outer surfaces of the longitudinally elongated portions 58 and 39 mi-c of reduced width isoplanar with the outer surfaces of the abutting side walls 13c and 1i? c (and of the same Total width,), so that a continuous side wall surface is provided.

In Pig. 6 ist eine Modifikation der in Fig. 5 dargestellten Ausführungsform gezeigt, bei der die in Längsrichtung verlängerten Abschnitte mit reduzierter Breite mit eingedrückten bzw. verringerten Bereichen 41 und nicht verringerten Bereichen 42 vorgesehen sind, die mit eingedrückten bzw. verringerten Abschnitten 43 bzw. nicht verringerten Abschnitten 44 von sich über den gleichen Umfang erstreckenden, darüber liegenden Oberflächen der Abschnitte mit reduzierter Breite der aneinander stoßenden Seitenwände zusammenpassen und in Eingriff stehen. Der Paßeingriff der eingedrückten und nicht eingedrückten Teile der Abschnitte mit reduzierter Breite steigert, wie es aus Fig. 6 ersichtlich ist, die Festigkeit der Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung gemäß der Erfindung, wie es bei dieser Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht ist, um einer Bewegung in Längsrichtung von in Längsrichtung aneinander stoßenden Einheiten zu widerstehen und ebenfalls ein Neigen oder Kanten von Einheiten in bezug auf eine andere Einheit zu verhindern.In Pig. 6 is a modification of that shown in FIG Embodiment shown in which the longitudinally elongated sections with reduced width are also depressed or reduced areas 41 and non-reduced areas 42 are provided which are depressed or reduced Sections 43 or non-reduced sections 44 of overlying surfaces extending over the same circumference of the reduced width portions of the abutting side walls mate and engage. The mating engagement of the indented and non-indented portions of the reduced width sections increases as it does Fig. 6 shows the strength of the connection and alignment device according to the invention, as is the case with this one Embodiment of the invention illustrated is longitudinal movement from longitudinal one to another to withstand abutting units and also tilting or edging of units with respect to another unit to prevent.

Eine weitere Ausführungsform einer Verbindungs- und Fluchtungseinrichtung gemäß der Erfindung ist in Fig. 7 dargestellt. Bei der in Fig. 7 dargestellten Ausführungsform sind aneinander stoßende Seitenwände 13d und 15d mit Löchern 45 und 46 und Feststellschrauben bzw. Stiftschrauben 4? und 48 darin zurAnother embodiment of a connection and alignment device according to the invention is shown in FIG. In the embodiment shown in Fig. 7 are against each other butting side walls 13d and 15d with holes 45 and 46 and Locking screws or studs 4? and 48 in it for

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Aufnahme und zum Festhalten von Vorsprüngen 49 und 50 eines Verbindungsgliedes 51 vorgesehen, dessen Körper in inniger körperlicher Berührung mit den vertikalen ebenen Oberflächen der Seitenwände 13d und 15d gehalten wird. Ein weiteres Verbindungsglied 52 ist zum Verbinden der aneinander stoßenden Seitenwände 13d und 15d mit einer Vielzahl von in Längsrichtung versetzten Bolzenlöchern 53 vorgesehen zum Halten des Verbindungsgliedes 52 in inniger körperlicher Berührung mit den verbundenen aneinander stoßenden Seitenwänden 13d und 15d.Receiving and holding projections 49 and 50 one Link 51 is provided, the body in intimate physical contact with the vertical flat surfaces of the side walls 13d and 15d is maintained. Another one Link 52 is for connecting the abutting Side walls 13d and 15d with a plurality of longitudinally offset bolt holes 53 provided for holding of the link 52 in intimate physical contact with the connected abutting side walls 13d and 15d.

Die Gesämtwirksamkeit der in Fig. 7 dargestellten Fluchtungs- und Verbindungseinrichtung wird gesteigert aufgrund der Tatsache, daß die Verbindungsglieder die Seitenwände an zwei vertikal versetzten Stellen auf den Seitenwänden 13d und 15d verbinden. Dieses Ergebnis kann in gleich guter Weise erreicht werden durdadie Benutzung identischer Verbindungseinrichtungen an der Oberseite und der Bodenseite der Seitenwände Λ^α. und 15d anstelle der dargestellten voneinander verschiedenen Verbindungseinrichtungen.The overall effectiveness of the alignment and connecting means shown in Figure 7 is increased due to the fact that the connecting members connect the side walls at two vertically offset locations on the side walls 13d and 15d. This result can be achieved equally well by using identical connecting devices on the top and bottom of the side walls Λ ^ α. and 15d instead of the connection devices shown which are different from one another.

Eine weitere Ausfuhrungsform ist in Fig. 8 dargestellt, bei der eine Seitenwand 13e mit einem in Längsrichtung verlängerten Vorsprung 54- vorgesehen ist, während die anstoßende Seitenwand 15e eine entsprechende dazu passende Aussparung 55 zur Aufnahme des Vorsprunges 54· umfaßt, wenn die Seitenwände 13e und 15e sich in ihren aneinander stoßenden zusammengebauten Stellungen befinden. Ein solcher Vorsprung und eine entsprechende passende Aussparung sind bei dieser Ausführungsform mit einer Anordnung kombiniert, bei der ein Verbindungsglied 56, das entlang einer vertikalen Oberfläche von diesem an der anstoßenden Seitenwand 1-5e (beispielsweise durch einen Klebstoff oder eine Schweißung) angebracht ist und über einer entsprechenden ebenenAnother embodiment is shown in Fig. 8, in which a side wall 13e with a lengthened in the longitudinal direction Protrusion 54- is provided, while the abutting side wall 15e a corresponding matching recess 55 for Receiving the projection 54 · includes when the side walls 13e and 15e in their butting together assembled Positions. Such a projection and a corresponding matching recess are in this embodiment with a Combined arrangement in which a connecting member 56, the along a vertical surface of this to the abutting side wall 1-5e (for example by an adhesive or a Weld) is attached and above a corresponding level

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Oberfläche der anstoßenden Seitenwand 13e liegt, mit einem Bolzenloch 57 zum Befestigen der Seitenwand 13e an dem Verbindungsglied 56 vorgesehen.Surface of the abutting side wall 13e is, with a Bolt hole 57 for attaching the side wall 13e to the Link 56 is provided.

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Claims (11)

PatentansprücheClaims Λ.)Vorrichtung zur Benutzung bei der Behandlung von Gegenständen mit einer Vielzahl von in Reihe verbundenen Einheiten, dadurch gekennzeichnet, daß jede Einheit einen Einheitenkörper umfaßt mit mit Abstand voneinander angeordneten, parallelen Seitenwänden, einer Einrichtung zum Fördern von Gegenständen und zur Bestimmung einer Bewegungsbahn für die Gegenstände in Längsrichtung durch den Körper und einer Antriebseinrichtung für die Fördereinrichtung im Antriebseingriff mit dieser, daß eine Seitenwand-Verbindungs- und -IFIuchtungseinrichtung an zumindest einem Ende von jeder der mit Abstand voneinander angeordneten parallelen Seitenwände der Körper getragen wird für eine Verbindung der mit Abstand voneinander angeordneten, parallelen Seitenwände der Einheit mit den mit Abstand voneinander angeordneten, parallelen Seitenwände einer in Längsrichtung benachbarten Einheit und für ein Fluchten der ersten Einheit in Querrichtung zu der in Längsrichtung benachbarten Einheit, daß die Verbindungsund Fluchtungseinrichtung von zumindest einer der mit Abstand voneinander angeordneten, parallelen Seitenwände ein Verbindungsglied umfaßt, das an einer Seitenwand der Einheit und an einer dazu passenden und anstoßenden Seitenwand der in Längsrichtung benachbarten Einheit befestigt ist, und daß das Verbindungsglied zumindest über einer in Längsrichtung verlaufenden, vertikalen, ebenen Oberfläche der in Längsrichtung benachbarten Seitenwände liegt und in inniger Berührung mit dieser gehalten wird. Λ.) Device for use in the treatment of objects with a plurality of units connected in series, characterized in that each unit comprises a unit body with parallel side walls arranged at a distance from one another, a device for conveying objects and for determining a path of movement for the articles longitudinally through the body and drive means for the conveyor in driving engagement therewith that side wall connection and alignment means is supported at at least one end of each of the spaced apart parallel side walls of the body for connection of the spaced apart mutually arranged, parallel side walls of the unit with the spaced apart, parallel side walls of a longitudinally adjacent unit and for an alignment of the first unit in the transverse direction to the longitudinally adjacent unit that the connection and the alignment device of at least one of the spaced-apart, parallel side walls comprises a connecting member which is attached to a side wall of the unit and to a matching and abutting side wall of the longitudinally adjacent unit, and that the connecting member is at least over a longitudinally extending, vertical, flat surface of the longitudinally adjacent side walls and is kept in intimate contact with this. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichne t, daß das Verbindungsglied über zumindest zwei wechselweise zueinander rechtwinkligen, koplanaren Oberflächen der in Längsrichtung aneinander grenzenden Seitenwände liegt und mit diesen in inniger Berührung gehalten wird.2. Apparatus according to claim 1, characterized marked t that the connecting member has at least two mutually mutually mutually perpendicular, coplanar surfaces of the in the longitudinal direction adjoining side walls and is held in intimate contact with them. 40982 1/07 4 540982 1/07 4 5 3. Vorrichtung nacli Anspruch. 1, dadurch, gekennz eichn e t, daß das Verbindungsglied einen Teil umfaßt, der in Paßsitz in dazu passende, in Längsrichtung verlängerte Aus-' sparungen in den in Längsrichtung aneinander stoßenden Seitenwänden angeordnet werden kann.3. Device according to claim. 1, thereby, marked e t that the connecting member comprises a part which is in a snug fit in matching, elongated in the longitudinal direction ' Savings can be arranged in the longitudinally abutting side walls. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsglied in der Gestalt und der Größe zu dazu passenden, in Längsrichtung verlängerten Sack-Aussparungen in den in Längsrichtung aneinander grenzenden Seitenwänden entspricht und in Paßsitz in diese einsetzbar ist.4. Apparatus according to claim 1, characterized in that that the connecting member in shape and size to matching, elongated in the longitudinal direction bag recesses corresponds in the longitudinally adjoining side walls and can be used in a snug fit in these is. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsglied einen in Längsrichtung verlängerten Abschnitt mit reduzierter Breite von einer der Seitenwände umfaßt, daß ein zweites Verbindungsglied vorgesehen ist, das einen in Längsrichtung verlängerten Abschnitt mit reduzierter Breite einer in Längsrichtung angrenzenden, dazu passenden und anstoßenden Seitenwand umfaßt, daß die Abschnitte mit reduzierter Breite die gleiche Länge aufweisen, daß die Gesamtbreite der Abschnitte mit reduzierter Breite gleich der der Seitenwände ist und daß die Abschnitte mit reduzierter Breite im Paßsitz zueinander passen und übereinander liegen, so daß die äußeren Oberflächen der übereinander gelegten Abschnitte koplanar zu den äußeren Oberflächen der in Längsrichtung angrenzenden Seitenwände sind.5. Apparatus according to claim 1, characterized in that that the connecting member has a longitudinally elongated portion of reduced width from one of the Sidewalls comprise that a second link is provided which has a longitudinally elongated portion with a reduced width of a longitudinally adjacent, matching and abutting side wall that the Sections with reduced width have the same length that the total width of the sections with reduced Width is the same as that of the side walls and that the reduced width portions are snugly fitted and superimposed so that the outer surfaces of the laid sections are coplanar with the outer surfaces of the longitudinally adjoining side walls. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennz eichn e t, daß die in Längsrichtung verlängerten Abschnitte reduzierter Breite in sich über den gleichen Umfang erstrekkendöiBereichenübereinander liegen und daß' eingedrückte und nicht eingedrückte Teile in dem sich über den gleichen Umfang erstreckenden Bereich eines der Abschnitte zu in entsprechender Weise gestalteten und bemessenen nicht eingedrückten bzw. eingedrückten Teilen in dem sich über den gleichen Umfang6. Apparatus according to claim 5, characterized marked eichn e t that the longitudinally elongated sections of reduced width extend over the same circumference in areas one above the other lie and that 'indented and non-indented parts in which are about the same circumference Extending area of one of the sections to correspondingly designed and dimensioned non-indented or indented Share in which is about the same scope 409821/0745409821/0745 erstreckenden Bereich des anderen der Abschnitte passend vorgesehen sind. -extending area of the other of the sections are provided. - 7. Vor richtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsglied einen in Längsrichtung verlängerten Träger umfaßt, der an jede der aneinander stoßenden Seitenwände an zumindest zwei in Längsrichtung versetzten Punkten angebolzt ist. ·7. Before device according to claim 1, characterized in that that the connecting member comprises a longitudinally elongated support which is attached to each of the one another abutting side walls is bolted to at least two longitudinally offset points. · 8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennz eichn e t, daß das Verbindungsglied an jeder der aneinander stoßenden Seitenwände an einer vertikalen Stelle befestigt ist und daß ein zweites ähnliches Verbindungsglied an jeder der aneinander stoßenden Seitenwände an einer zweiten vertikalen Stelle befestigt ist.8. Apparatus according to claim 1, characterized marked eichn e t that the connector is attached to each of the abutting side walls at a vertical location and that a second similar link is on each of the abutting side walls on a second vertical one Is attached. 9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch, gekennz eichn e t, daß das Verbindungsglied mit jeder der aneinander stoßenden Seitenwände an zumindest zwei vertikal versetzten Stellen verbunden ist.9. Apparatus according to claim 1, characterized in that it is marked e t that the link with each of the to each other butting side walls on at least two vertically offset Bodies connected. 10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsglied Vorsprünge umfaßt, die in Löcher im Paß sit ζ passen, die für diesen Zweck in jeder der aneinander stoßenden Seitenwände vorgesehen sind, und darin durch Feststellschrauben bzw. Stiftschrauben befestigbar sind.10. The device according to claim 1, characterized in that that the connecting member comprises projections which sit in holes in the passport, which for this purpose in each of the butting side walls are provided, and can be fastened therein by locking screws or studs. 11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennz eichn e t, daß eine der aneinander stoßenden Stirnwände einen in Längsrichtung verlängerten Vorsprung und die andere der aneinanderstoßenden Stirnwände eine dazu passende Aussparung umfaßt, die in der Gestalt und der Größe dem Vorsprung entspricht und den Vorsprung aufnehmen kann.11. The device according to claim 1, characterized marked eichn e t that one of the abutting end walls has a longitudinally elongated projection and the other of the abutting end walls includes a matching recess, the shape and size of the projection corresponds and can take up the lead. 4 0982 1/07454 0982 1/0745 LeerseifeEmpty soap
DE19732350659 1972-11-02 1973-10-09 Arrangement for treating, in particular for etching objects, with a large number of individual treatment stations Expired DE2350659C2 (en)

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