DE2300958A1 - AN INTERFEROMETER WITH A COMMON PATH FOR REFERENCE BEAM AND MEASURING BEAM (COMMON PATH INTERFEROMETER) - Google Patents

AN INTERFEROMETER WITH A COMMON PATH FOR REFERENCE BEAM AND MEASURING BEAM (COMMON PATH INTERFEROMETER)

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DE2300958A1
DE2300958A1 DE19732300958 DE2300958A DE2300958A1 DE 2300958 A1 DE2300958 A1 DE 2300958A1 DE 19732300958 DE19732300958 DE 19732300958 DE 2300958 A DE2300958 A DE 2300958A DE 2300958 A1 DE2300958 A1 DE 2300958A1
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Description

Ein Interferometer mit emeinsamem eg für Referenzstrahl und Meßstrahl (Common Path Interferometer) Die Erfindung betrifft ein Interferometer mit gemeinsamem Weg für eßstrahl und Referenzstrahl, bei dem der Referenzstrahl nur einen Teil der zu prüfenden Apertur, kurz Prüfling genannt, ausleuchtet, insbesondere zum Prüfen optischer Systeme mit längerer Brennweite.An interferometer with a common eg for reference beam and measuring beam (Common Path Interferometer) The invention relates to an interferometer with common Path for eßstrahl and reference beam, in which the reference beam is only part of the The aperture to be tested, called the test object for short, illuminates, in particular for testing optical systems with longer focal lengths.

Derartige Interferometer werden wie alle Interferometer dazu verwandt, optische egdifferenzen quantitativ zu ermitteln.Such interferometers, like all interferometers, are used to to quantitatively determine optical egdifferences.

Sie haben gegenüber Michelson-Interferometern den Zweck, teuere Optikteile einzusparen und den erforderlichen Justieraufwand zu verringern. Gegenüber Schereninterferometern haben sie den Zweck, die Information über den Prüfling in einer einzigen Einstellung und in einfacherer Weise zu liefern. Anwendungsbeispiele sind Homogenitätsprüfungen an optischen Medien und Qualitätsprüfungen an astronomischen Optiken.Compared to Michelson interferometers, their purpose is to make expensive optical parts to save and to reduce the necessary adjustment effort. Compared to scissor interferometers they have the purpose of having the information about the examinee in a single setting and to deliver in an easier way. Application examples are homogeneity tests on optical media and quality tests on astronomical optics.

Es sind zwei Typen der genannten Interferorneterart bekannt.There are known two types of the interfering type mentioned.

Beide sind u.a. in £1 beschrieben: Burch verwendet für sein Interferometer zwei identische Streuplatten. Diese sind jedoch sehr schwierig herzustellen und zu justieren. Sie ergeben ein lichtschwaches Interferenzbild von durch Falschlicht verursachtem mäßigem Kontrast. Für das Interferometer nach Dyson benötigt man eine Linse aus doppelbrechendem Material, üblicherweise Kalkspat, und eine A/4-Platte. Die Kalkspatlinse ist nur als Sonderanfertigung und zu hohen Kosten erhältlich und kann wegen der geringen Brechzahldifferenz für den ordentlichen und außerordentlichen Strahl nur mit ungünstig langer Brennweite hergestellt werden.Both are described in £ 1, among others: Burch used for his interferometer two identical spreading plates. However, these are very difficult to manufacture and to adjust. They result in a faint interference image from false light caused moderate contrast. For the Dyson interferometer you need one Lens made of birefringent material, usually calcite, and an ¼ plate. The calcareous lens is only available as a custom-made product and at high costs and can be used for ordinary and extraordinary because of the small difference in refractive index Beam can only be produced with an unfavorably long focal length.

Der Erfindung liegt die rufgabe zugrunde, diese Nachteile zu vermeiden, d. h. eine Interferometeranordnung zur Verfügung zu stellen, die mit einfachen Mitteln zu realisieren, und die einfach zu handhaben ist, deren Verwendung ferner nicht auf sehr lange Brennweiten beschränkt ist, die mit unpolarisiertem weißem Licht arbeitet und ein helles, kontrastreiches und von allerlei Falschlicht freies Interferenzbild liefert.The invention is based on the task of avoiding these disadvantages, d. H. to provide an interferometer arrangement with simple means to realize, and which is easy to handle, its use also not is limited to very long focal lengths, those with unpolarized white light works and a bright, high contrast and from all sorts of false light provides a free interference pattern.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zur Erzeugung der beiden kohärenten Teilstrahlen ein normaler Strahlteilerwürfel verwandt wird, dessen Teilerfläche parallel zum einfallenden Strahl steht - bei Schereninterferometern ist dies bereits bekannt (vgl.E2) -, und insbesondere dadurch, daß der Meßstrahl erst nach der Strahlteilung mit einer symmetrischen bikonvexen Sammellinse kurzer Brennweite divergent gemacht wird. Die Wirkungsweise der Erfindung geht aus der Skizze eines bevorzugten Ausführungsbeispiels und deren Beschreibung hervor (Abb.1).According to the invention, this object is achieved in that for the generation a normal beam splitter cube is used for the two coherent partial beams, whose splitter surface is parallel to the incident beam - in the case of scissor interferometers this is already known (see E2) - and in particular because the measuring beam only after the beam splitting with a symmetrical biconvex converging lens shorter Focal length is made divergent. The mode of operation of the invention is based on Sketch of a preferred embodiment and its description emerge (Fig.1).

Gemäß der weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind in Abänderung des in Abb.1 gezeichneten Ausführungsbeispiels 1 eine ganze Anzahl von Varianten möglich: 2) Statt des Strahlteilerwürfels 3 kann zur Strahlteilung auch ein Kösters-Prisma 6 verwandt werden (Abb.2).According to the further embodiment of the invention are in modification of the embodiment 1 shown in Figure 1 a number of variants possible: 2) Instead of the beam splitter cube 3, a Kösters prism can also be used for beam splitting 6 can be used (Fig.2).

3) Der Strahlteilerwürfel 3 kann auch in der üblichen Weise angeordnet werden. Der seitlich austretende reflektierte Strahl 13 0 wird dann mit dem 90 -Prisma 7 auf den Prüfling 5 gerichtet (Abb.3).3) The beam splitter cube 3 can also be arranged in the usual way will. The laterally exiting reflected beam 130 is then with the 90 prism 7 directed at the test item 5 (Fig.3).

4) Das 900-Prisia 7 kann mit der ihm benachbarten Hälfte des Strahlteilerwürfels 3 zu einem Parallelogramm-Prisma zusammengefaßt werden(Abb.3).4) The 900-Prisia 7 can with the adjacent half of the beam splitter cube 3 can be combined to form a parallelogram prism (Fig.3).

5) Das 900-Prisma kann durch einen Spiegel ersetzt werden.5) The 900 prism can be replaced with a mirror.

6) In Beispiel 3 und 5 kann der Strahlteilerwürfel 3 durch eine Strahlteilerplatte ersetzt werden.6) In example 3 and 5, the beam splitter cube 3 can be replaced by a beam splitter plate be replaced.

7) Statt des Strahlteilerwürfels 3 nach Beispiel 1 kann auch ein halber Strahlteilerwürfel 8 und eine gegen diesen verschiebbare Sammellinse 9 verwendet werden (Abb.4). Die Sammellinse 9 bildet den vom einfallenden Strahl 10 getroffenen Punkt der Teilerfläche auf die Apertur des Prüflings 5 ab.7) Instead of the beam splitter cube 3 according to Example 1, a half can also be used Beam splitter cube 8 and a converging lens 9 which can be displaced with respect to this are used (Fig.4). The converging lens 9 forms that struck by the incident beam 10 Point of the divider surface on the aperture of the test object 5.

8) Statt des Strahls 15 kann auch der Strahl 13 divergent gemacht werden.8) Instead of the beam 15, the beam 13 can also be made divergent will.

Es besteht eine ganze Reihe von Möglichkeiten, wie der Meßstrahl - in der Abb.1 der Strahl 15 - divergent gemacht werden kann: 9) Statt der symmetrischen Sammellinse 4 nach Beispiel 1 kann auch eine symmetrische Zersteuungslinse verwandt werden.There is a whole range of possibilities how the measuring beam - in Fig. 1 the beam 15 - can be made divergent: 9) Instead the symmetrical converging lens 4 according to example 1 can also be a symmetrical diverging lens be used.

10) Statt einer symmetrischen Linse 4 kann auch eine Linse- mit verschiedenen Krümmungsradien, also z.B. mit einer Planfläche, verwandt werden. Hierbei darf der Prüfling 5 kein zu großes Öffnungsverhältnis haben.10) Instead of a symmetrical lens 4, a lens with different Radii of curvature, e.g. with a plane surface, can be used. The Test specimen 5 do not have an aperture ratio that is too large.

11) Soll das beanspruchte Bildfeld des Prüflings 5 auf wenige mm reduziert werden, so ist die Linse 4 bis nahe ihrem Zentrum anzuschleifen, wodurch sich der Abstand der Punkte t4 und 16 entsprechend verringern läßt.(Abb.5).11) Should the claimed field of view of the test object 5 be reduced to a few mm the lens 4 is to be ground to near its center, whereby the The distance between points t4 and 16 can be reduced accordingly (Fig.5).

12) Anstelle der Linse 4 kann auch eine beugende Lochblende verwandt werden.-13) Anstelle der Linse 4 kann auch ein Kreuzgitter oder Lochraster verwandt werden.12) Instead of the lens 4, a diffractive pinhole diaphragm can also be used -13) Instead of the lens 4, a cross grating or breadboard can also be used will.

14) Anstelle der Linse 4 kann auch eine Streuscheibe geeigneter Körnung - z.B. eine Mattscheibe - verwandt werden, in Verbindung mit einem Doveprisma, das in der Nähe des Autokollimationsfokus 18 so in einem der beiden Strahlen 13 oder 15 angebracht wird, daß seine reflektierende Fläche senkrecht zur Teilerfläche des die Strahlteilung bewi:kenden Elementes - in Abb.1 der Strahlteilerwürfel 3 - zu stehen kommt.14) Instead of the lens 4, a diffusing screen of suitable grain size can also be used - E.g. a ground glass - can be used in connection with a dove prism, the in the vicinity of the autocollimation focus 18 so in one of the two beams 13 or 15 is attached so that its reflective surface is perpendicular to the divider surface of the the beam splitting causing element - in Fig. 1 the beam splitter cube 3 - to stand comes.

Soll maximale Helligkeit des Interferenzbildes bei gleichzeitig hohem Kontrast erreicht werden, so sind die folgenden Maßnahmen zu ergreifen: 15) Als Lichtquelle ist ein Laser zu verwenden.The aim is to achieve maximum brightness of the interference image while at the same time being high Contrast are achieved, the following measures must be taken: 15) As Light source is to use a laser.

16) Der Strahlteilerwürfel 1 wird weggelassen, es wird der Ausgang 12 benutzt.16) The beam splitter cube 1 is omitted, it becomes the exit 12 used.

17) Es wird ein nicht oder kaum polarisierendes Element zur Strahlteilung benutzt.17) It becomes a non-polarizing or hardly polarizing element for beam splitting used.

18) Das zur Strahlteilung benutzte Element hat ein Teilungsverhältnis von 50 : 50.18) The element used for beam splitting has a splitting ratio from 50:50.

19) In Abänderung zu Beispiel 17 wird ein teilweise oder vollständig polarisierendes Element zur Strahlteilung benutzt sowie eine linear polarisierte einfallende Lichtwelle 10 mit geeigneter Polarisationsrichtung.19) In modification of example 17, a partial or complete polarizing element used for beam splitting and a linearly polarized one incident light wave 10 with a suitable polarization direction.

20) Der Meßstrahl wird mit einer Linse divergent gemacht.20) The measuring beam is made divergent with a lens.

21) Die Linse nach 20 wird bzgl. ihrer Brennweite so bemessen, daß der sie verlassende Lichtkegel den Prüfling 5 nurwenig überstrahlt.21) The lens according to 20 is dimensioned with regard to its focal length so that that the light cone leaving it only slightly outshines the test object 5.

22) Für das Interferometer werden Optikteile verwandt, die für die jeweilige Laserwellenlänge entspiegelt sind.22) Optical parts are used for the interferometer that are used for the respective laser wavelength are anti-reflective.

23) Soll eine erhöhte Helligkeit des Interferenzbildes bei gleichzeitig hohem Kontrast erreicht werden, so sind eine oder mehrere der Maßnahmen 15 bis 22 zu ergreifen.23) Should an increased brightness of the interference image at the same time high contrast are achieved, one or more of the measures 15 to 22 are to take.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile betreffen A) den Aufbau, B) den Gebrauch und C) die Verwendbarkeit des Interferometers: A) Der Aufbau Die Erfindung ist mit einfachsten handelsüblichen Bauteilen zu realisieren. An die Qualität der einzelnen Elemente sind nur geringe Anforderungen zu stellen. Speziell werden bei der symmetrischen Linse 4 deren sämtliche Fehler kompensiert, so daß es überflüssig ist, sie durch ein korrigiertes System zu ersetzen.The advantages achieved with the invention relate to A) the structure, B) the use and C) the usability of the interferometer: A) The structure Die Invention can be realized with the simplest of commercially available components. The quality The requirements for the individual elements are low. Be special in the case of the symmetrical lens 4, all of its errors are compensated for, so that it is superfluous is to replace it with a corrected system.

Aufbau, Justierung und das Auffinden der Interferenzmuster sind erheblich einfacher als bei den meisten anderen Interferometern.The setup, adjustment and finding of the interference patterns are significant easier than most other interferometers.

B) Der Gebrauch Es kann weißes unpolarisiertes Licht verwandt werden. Dank der großen Helligkeit des Interferenzbildes ist Projektion möglich.B) Use White unpolarized light can be used. Thanks to the great brightness of the interference image, projection is possible.

Dies gilt insbesondere bei Beachtung der Bedingungen 15 bis 22, wodurch eine Lichtausbeute von bis zu 50 erreicht wird.This is especially true when observing conditions 15 to 22, whereby a light output of up to 50 is achieved.

Gleichzeitig mit dem hellen Interferenzbild liefert die Erfindung einen hohen Kontrast, der am Ausgang 11 stets 100% beträgtl Die beiden Ausgänge 11 und 12 liefern komplementäre Interferenzbilder, man kann also wählen, ob man den Interferenzring bzw.The invention delivers simultaneously with the bright interference image a high contrast, which is always 100% at the output 11. The two outputs 11 and 12 provide complementary interference images, so you can choose whether to the interference ring or

-streifen nullter Ordnung hell oder dunkel haben will. Die Erfindung liefert ein Interferenzbild, das frei von Falschlicht ist.- stripe of the zeroth order wants to have light or dark. The invention provides an interference image that is free from stray light.

Außerdem lassen sich sämtliche störenden Reflexe aus dem Interferenzbild entfernen.In addition, all disturbing reflections can be removed from the interference image remove.

C) Die Verwendbarkeit Die Erfindung läßt sich für Prüflinge mit Brennweiten bis zu ca.C) The usability The invention can be used for test objects with focal lengths up to approx.

10 cm herab verwenden. Das Öffnungsverhältnis des Prüflings 5 kann groß sein, sein ausnutzbares Bildfeld braucht nur wenige mm Durchmesser zu haben.Use 10 cm down. The aperture ratio of the test object 5 can be large, its usable field of view only needs to be a few mm in diameter.

Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels (abt.1): Die Teile 1 und 3 sind Strahlteilerwürfels 4 eine kleine kurzbrennweitige symmetrische Bikonvexlinse, 5 das hier der Einfachheit halber als Kugelspiegel gezeichnete zu prüfende optische System, kurz Prüfling genannt.Description of a preferred embodiment (abt.1): The parts 1 and 3 are beam splitter cube 4 a small short focal length symmetrical biconvex lens, 5 the optical to be tested, drawn here as a spherical mirror for the sake of simplicity System, called the test item for short.

10 bezeichnet den einfallenden Strahl, der bei 17 ein Bild der Lichtquelle erzeugt. Der eintretende Strahl 10 wird durch den Strahlteilerwürfel 3 in die kohärenten Teilstrahlen 13 und 15 zerlegt. Der Strahl 13 ist Referenzstrahl. Er erzeugt das genannte Bild der Lichtquelle bei 17 und nach Reflexion und Durchgang durch die Linse 4 eine ungestörte Referenzkugelwelle mit dem Zentrum 14. Strahl 15, der meßstrahl, tritt bereits auf dem Hinweg durch die Linse 4 und erfüllt als Kugelwelle die Apertur des Prüflings 5. Bei der Reflexion wird die Kugelwelle 15 durch die Fehler des Prüflings 5 deformiert und ergibt die gestörte Meßkugelwelle 15' mit dem Zentrum 16 Die beiden Kugelwellen mit den Zentren 14 und 16 werden durch den Strahlteilerwürfel 3 wieder zusammengesetzt, so daß an den Ausgängen 11 und 12 ihre Interferenz beobachtet werden kann. 18 ist der Autokollimationsfokus des Prüflings 5.10 denotes the incident beam, which at 17 is an image of the light source generated. The incoming beam 10 is through the beam splitter cube 3 in the coherent Partial beams 13 and 15 split. The beam 13 is the reference beam. He creates that called image of the light source at 17 and after reflection and passage through the Lens 4 an undisturbed reference spherical wave with the center 14th beam 15, the measuring beam, occurs on the way out through the lens 4 and fills the aperture as a spherical wave of the test specimen 5. During the reflection, the spherical wave 15 is caused by the defects of the test specimen 5 deforms and results in the disturbed measuring ball shaft 15 'with the center 16 The two Spherical waves with the centers 14 and 16 are returned by the beam splitter cube 3 assembled so that their interference can be observed at the outputs 11 and 12 can. 18 is the autocollimation focus of the test item 5.

Claims (23)

Patentansprüche: 1) Snterferometer mit gemeinsamem Weg für meßstrahl und Referenzstrahl, bei dem der Referenzstrahl nur einen Teil der zu prüfenden Apertur ausleuchtet, insbesondere zum Prüfen optischer Systeme mit längerer Brennweite, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der beiden-kohärenten Teilstrahlen ein normaler Strahlteilerwürfel verwandt wird, dessen Teilerfläche parallel zum einfallenden Strahl steht,Claims: 1) Interferometer with a common path for measuring beam and reference beam, in which the reference beam is only part of the aperture to be tested illuminates, especially for testing optical systems with longer focal lengths, characterized in that one for generating the two coherent partial beams normal beam splitter cube is used, the splitter surface of which is parallel to the incident one Beam stands, und insbesondere dadurch, daß der Meßstrahl 15 erst nach der Strahlteilung mit einer symmetrischen bikonvexen Sammellinse 4 kurzer Brennweite divergent gemacht wird (Abb 1). and in particular in that the measuring beam 15 only after the beam splitting made divergent with a symmetrical biconvex converging lens 4 short focal length will (Fig 1). 2) Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß statt des Strahlteilerwürfels 3 ein Kösters-Prisma 6 verwandt wird (Abb.2).2) interferometer according to claim 1, characterized in that instead of the beam splitter cube 3 a Kösters prism 6 is used (Fig.2). 3) Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteilerwürfel 3 in der üblichen Weise angeordnet wird, und der seitlich austretende reflektierte Strahl 13 mit einem 900-Prisma 7 wieder auf den Prüfling 5 gerichtet wird (Abb.3).3) interferometer according to claim 1, characterized in that the Beam splitter cube 3 is arranged in the usual way, and the laterally exiting The reflected beam 13 is directed back onto the test object 5 with a 900 prism 7 becomes (Fig.3). 4) Interferometer nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, 0 daß das 90 -Prisma 7 mit der ihm benachbarten Hälfte des Strahlteilerwürfels 3 zu einem Parallelogramm-Prisma zusammengefaßt wird (Abb.3).4) interferometer according to claim 1 and 3, characterized in that 0 that the 90 prism 7 with the adjacent half of the beam splitter cube 3 to a parallelogram prism is summarized (Fig.3). 5) Interferometer nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, 0 daß das 90 -Prisma 7 durch einen Spiegel ersetzt wird.5) interferometer according to claim 1 and 3, characterized in that 0 that the 90 prism 7 is replaced by a mirror. 6) Interferometer nach Anspruch 1, 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteilerwürfel 3 in Abb.3 durch eine Strahlteilerplatte ersetzt wird.6) interferometer according to claim 1, 3 and 5, characterized in that that the beam splitter cube 3 in Fig.3 is replaced by a beam splitter plate. 7) Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß statt des Strahlteilerwürfels 3 ein halber Strahlteilerwürfel 8 und eine gegen diesen verschiebbare Sammellinse 9 ersetzt wird (Abb.4), die den vom einfallenden Strahl 10 getroffenen Punkt der Teilerfläche auf die Apertur des Prüflings 5 abbildet.7) interferometer according to claim 1, characterized in that instead of of the beam splitter cube 3 a half beam splitter cube 8 and one against this displaceable converging lens 9 is replaced (Fig.4), which is affected by the incident beam 10 hit point of the splitter surface on the aperture of the test object 5. 8) Interferometer nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß statt des Strahles 15 der Strahl 13 als Meßstrahl divergent gemacht wird.8) interferometer according to claim 1 to 7, characterized in that instead of the beam 15, the beam 13 is made divergent as a measuring beam. 9) Interferometer nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß statt der symmetrischen bikonvexen Sammellinse 4 eine symmetrische bikonkave Zersteuungslinse kurzer Brennweite verwandt wird.9) interferometer according to claim 1 to 8, characterized in that instead of the symmetrical biconvex converging lens 4, a symmetrical biconcave diverging lens short focal length is used. 10) Interferometer nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß statt einer symmetrischen Linse 4 eine Linse mit verschiedenen Krümmungsradien, also z.B. mit einer Planfläche, verwandt wird.10) interferometer according to claim 1 to 9, characterized in that that instead of a symmetrical lens 4 a lens with different radii of curvature, e.g. with a plane surface. -7- 11) Interferometer nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Reduktion des beanspruchten Bildfeldes des Prüflings 5 auf wenige mm Durchmesser der Abstand der Punkte 14 und 16 dadurch verringert wird, daß man die Linse 4 bis nahe ihrem Zentrum anschleift. (Abb.5). -7- 11) interferometer according to claim 1 to 10, characterized characterized in that to reduce the claimed field of view of the test object 5 on a few mm in diameter, the distance between points 14 and 16 is reduced, that one grinds the lens 4 to near its center. (Fig.5). 12) Interferometer nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß statt der Linse 4 eine beugende Lochblende verwandt wird.12) interferometer according to claim 1 to 11, characterized in that that instead of the lens 4, a diffractive pinhole is used. 13) Interferometer nach Anspruch 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß statt der Linse 4 ein Kreuzgitter oder Lochraster verwandt wird.13) interferometer according to claim 1 to 12, characterized in that that instead of the lens 4, a cross grating or perforated grid is used. 14) Interferometer nach Anspruch 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß statt der Linse 4 eine Streuscheibe geeigneter Körnung -z.B. eine Mattscheibe - verwandt wird, in Verbindung mit einem Dove-Prisma, das in der Nähe des Autokollimationsfokus 18 so in den Referenz- oder Meßstrahl gebracht wird, daß seine reflektierende Fläche senkrecht zur Teilerfläche des die Strahlteilung bewirkenden Elementes - in Abb.1 der Strahlteilerwürfel 3 - zu stehen kommt.14) interferometer according to claim 1 to 13, characterized in that that instead of the lens 4 a diffusing screen of suitable grain size -z.B. a screen - is used in conjunction with a Dove prism that is close to the autocollimation focus 18 is brought into the reference or measuring beam so that its reflective surface perpendicular to the splitter surface of the element causing the beam splitting - in Fig.1 the beam splitter cube 3 - comes to a standstill. 15) Interferometer nach Anspruch 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung maximaler Helligkeit des Interferenzbildes bei gleichzEitig hohem Kontrast als Lichtquelle ein Laser verwandt wird 15) interferometer according to claim 1 to 14, characterized in that that to achieve maximum brightness of the interference image at the same time high Contrast as a light source a laser is used 16) Interferometer nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteilerwürfel 1 weggelassen wird, und daß der Ausgang 12 benutzt wird.16) interferometer according to claim 15, characterized in that the beam splitter cube 1 is omitted, and that output 12 is used. 17) Interferometer nach Anspruch 15 und 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein nicht oder kaum polarisierendes Element zur Strahlteilung benutzt wird.17) interferometer according to claim 15 and 16, characterized in that that a non-polarizing or hardly polarizing element is used for beam splitting. 18) Interferometer nach ,Anspruch 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Strahlteilung benutzte Element ein Teilungsverhältnis von 50 : 50 aufweist.18) interferometer according to claim 15 to 17, characterized in that that the element used for beam splitting has a splitting ratio of 50:50. 19) Interferometer nach Anspruch 15 und 1G, dadurch gekennzeichnet, daß ein teilweise oder vollständig polarisierendes Element zur Strahlteilung benutzt wird sowie eine linear polarisierte einfallende Welle 10 mit geeigneter Polarisationsrichtung.19) interferometer according to claim 15 and 1G, characterized in that that a partially or fully polarizing element is used for beam splitting and a linearly polarized incident wave 10 with a suitable polarization direction. 20) Interferometer nach Anspruch 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßstrahl mit einer Linse divergent gemacht wird.20) interferometer according to claim 15 to 19, characterized in that that the measuring beam is made divergent with a lens. 21) Interferometer nach Anspruch 15 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse 4 nach Anspruch 20 bzgl. ihrer Brennweite so bemessen wird, daß der sie verlassende Lichtkegel den Prüfling 5 nur wenig überstrahlt.21) interferometer according to claim 15 to 20, characterized in that that the lens 4 according to claim 20 with respect to. Its focal length is dimensioned so that the they leaving the cone of light only slightly outshines the test object 5. 22) Interferometer nach Anspruch 15 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die verwendeten Optikteile für die jeweilige Laserwellenlänge entspiegelt sind.22) interferometer according to claim 15 to 21, characterized in that that the optical parts used are anti-reflective for the respective laser wavelength. 23) Interferometer nach Anspruch 15 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß zur erzielung einer erhöhten Helligkeit des Interferenzbildes bei gleichzeitig hohem Kontrast eine oder mehrere der in Anspruch 15 bis 22 genannten Bedingungen erfüllt sind.23) interferometer according to claim 15 to 22, characterized in that that to achieve an increased brightness of the interference image at the same time high contrast one or more of the conditions mentioned in claims 15 to 22 are fulfilled. In Betracht gezogene Druckschriften: [i) W.H. Steel, Progr. Optics (ed. E. Wolf) 5 (1966) 175.References considered: [i) W.H. Steel, Progr. Optics (ed. E. Wolf) 5 (1966) 175. dz J.W. Gates, Nature 176 (1955) 359.dz J.W. Gates, Nature 176 (1955) 359. [3] K.-L.-Bath, Optik 36 (1972) 349.[3] K.-L.-Bath, Optik 36 (1972) 349.
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