DE2254692A1

DE2254692A1 - ELECTRIC CONVERTER

Info

Publication number: DE2254692A1
Application number: DE19722254692
Authority: DE
Inventors: Elmer Victor Carlson; Mead Clifford Killion; Thomas Harold Schmitt
Original assignee: Industrial Research Products Inc
Current assignee: Knowles Electronics LLC
Priority date: 1971-11-08
Filing date: 1972-11-08
Publication date: 1973-05-10
Also published as: NL166835C; SE378500B; JPS5148067B2; JPS4859824A; FR2159372B1; NL166835B; DK140578C; CH556628A; GB1398171A; NL7214357A; FR2159372A1; DE2254692B2; DK140578B

Description

■betreffend:■ concerning:

"Elektret-Wanaier" "Electret-Wanaier "

Die Erfindung betrifft einen Elektret-Wandler mit einer als Elektrode ausgebildeten Heabrananordnung und mit einer plattenförmigen, durchgehende Löcher aufweisenden Gegenelektrode. . · , ,The invention relates to an electret transducer with a designed as an electrode Heabran arrangement and with a plate-shaped, through holes having counter-electrode. . ·,,

Es sind bereits Elektret-Wandler vorgeschlagen worden, bei denen der richtige Abstand zwischen der Membran und der Gegenelektrode dadurch* eingehalten wird, daß die Membran am Hand an getrennten Stützelementen befestigt und ihr mittlerer Abschnitt daran gehindert wird, sich, an die Gegenelektrode, anzulegen. In der Praxis entsteht daraus eine Schwierigkeit in so fern, als sich die relativen Abmessungen der Membran in Abhängigkeit von der Temperatur, der !Feuchtigkeit und dem Alter ändern und die Spannung der Membran eine entsprechende ihinktion der genannten Parameter ist. Da unter and er οία von der Spannung der Membran die Steifheit ihrer Abschnitte zwi-Electret transducers have already been proposed in which the correct distance between the membrane and the counter-electrode is maintained by attaching the membrane to the hand on separate support elements and preventing its central portion from resting against the counter-electrode. In practice, it is a difficulty arises in so far as, the relative dimensions of the membrane depending on the temperature, the! Moisture change and the age and the voltage of the membrane is a corresponding ihinktion of said parameters. Since among other things he οία from the tension of the membrane the stiffness of its sections between

sehen den getrennten Stützelementen abhängig ist, ist die Spannung der Membran eine wichtige Einflußgröße, die in das akustische Verhalten des Wandlers eingeht»see the separate support elements is dependent, is the Tension of the diaphragm is an important factor influencing the acoustic behavior of the transducer »

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Elektret-Wandler mit einem stabilen, von Temperatur- und feuchtigkeit sänderung en sowie von Alterungserscheinungen unabhängigen Ansprechverhalten zu schaffen. Dabei soll dieser Wandler in einfacher Weise und preiswert herzustellen sein.The invention is based on the object of an electret transducer with a stable, of temperature and humidity to create changes and responses that are independent of signs of aging. This converter should be simple and inexpensive to manufacture.

Biese Aufgabe ist mit dem In Anspruch 1 gekennzeichneten Elektret-Wandler nach der Erfindung gelost. Bei dem neuen Wandler umfaßt die Membrananordnung eine relativ unbiegsame Platte, wobei mit den zwischen der Membran und der Gegenelektrode angeordneten Stützelementen eine geeignete Steifigkeit der schwingenden Abschnitte erzielt wird, ohne daß die Verwendung einer strammen oder gespannten Membran notwendig ist. Die flexible und nachgiebige Einfassung, welche am Rand der Membran-Platte ausgebildet ist, stellt sicher, daß sich in der Membran-Platte keine nennenswerten Spannungen ausbilden. Die Einfassung bildet eine nachgiebige Zone, durch die der Einfluß irgend welcher relativer Dimensionsänderungen zwischen der Membran und der Gegenelektrode aufgrund von Temperatur- und Feuchtigkeitsänderungen sowie von Alterung der Werkstoffe auf ein Minimum herabgesetzt wird. Die nachgiebige Einfassung bewirkt auch eine selbsttätige Einstellung der richtigen Lage von Membran und Gegenelektrode, ohne daß in bezug auf die Abmessungen der Gegenelektrode, des Elektrets und der Membran eine besonders hohe Genauigkeit eingehalten werden muß. Dadurch, daß der Film aus dielektrischem Material auf die feste Gegenelektrode aufgebracht ist, lassen sich auch dessen Lage, Abmessungen und sonstige Eigenschaften ohne großen Aufwand ge-This task is characterized by what is claimed in claim 1 Solved electret transducer according to the invention. With the new one Transducer, the diaphragm assembly comprises a relatively rigid plate, with the between the diaphragm and the Counter electrode arranged support elements a suitable rigidity of the vibrating sections is achieved without that the use of a tight or stretched membrane is necessary. The flexible and resilient edging, which is formed on the edge of the membrane plate, ensures that there are no noteworthy in the membrane plate Develop tensions. The enclosure forms a resilient zone through which the influence of any relative Dimensional changes between the membrane and the counter electrode due to changes in temperature and humidity as well as aging of the materials is reduced to a minimum. The resilient edging also does one automatic adjustment of the correct position of the membrane and counter electrode, without regard to the dimensions of the Counter electrode, the electret and the membrane a particularly high accuracy must be maintained. Because the Film made of dielectric material is applied to the fixed counter electrode, its position can also be determined, Dimensions and other properties can be achieved without great effort

. 3 30Q819/0919 . 3 30Q819 / 0919

-.3-.3

nau einhalten. Die zusätzliche Fixierung des Films, die dadurch erreicht ist,^sdaß der Film durch die in bekannter Weise für den Durchtritt der Schallwellen dienenden Löcher hindurch bis über die Kante der Löcher auf der anderen Seite der Gegenelektrode reicht, ist besonders bei solchen dielektrischen Materialien wichtig, die von Natur aus nicht besonders gut auf dem Material der Gegenelektrode haften» Die normalerweise von dem dielektrischen Film mitüberzogenen Stützvorsprünge auf der Gegenelektrode legen einen bestimmten Abschnitt zwischen der Membranplatte und der Gegenelektrode fest, was in Verbindung mit der Steifigkeit der Membranplatte zu einem besonders guten Frequenzgang des Wandlers beiträgt.adhere exactly. The additional fixation of the film, which is achieved, ^s that the film passes beyond the edge of the holes passing through the serving in known manner for the passage of the sound waves holes on the other side of the counter electrode is particularly important for such dielectric materials, which by nature do not adhere particularly well to the material of the counter electrode »The support projections on the counter electrode, which are normally also covered by the dielectric film, define a certain section between the membrane plate and the counter electrode, which in connection with the stiffness of the membrane plate results in a particularly good frequency response of the converter contributes.

Die nachgiebige Einfassung kann, wie die Membrariplatte, mit einem metallischen Überzug versehen sein, durch welchen der Anschluß der als. Elektrode wirkenden Membrananordnung an, die nachfolgende Schaltung besonders leicht wird.The flexible enclosure can, like the membrane plate, with be provided with a metallic coating through which the connection of the as. Electrode acting membrane assembly the following circuit will be particularly easy.

Die Erfindung betrifft ferner ein besonders zweckmäßiges und leicht durchführbares Verfahren zur Herstellung der mit einem Elektret versehenen und durchgehende Löcher aufweisenden Gegenelektrode für den neuen Wandler. Dieses Verfahren nach der Erfindung ist im Anspruch 9 gekennzeichnet. Mit diesem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich, den dielektrischen Film in einem Arbeitsgang auf die eine Seite der Gegenelektrode und gleichzeitig auf die Innenwand der darin vorgesehenen Löcher derart aufzubringen, daß der Film bis über die Kante der Löcher auf der anderen Seite der Gegenelektrode reicht.The invention also relates to a particularly expedient and easy to carry out method for producing the counter electrode provided with an electret and having through holes for the new transducer. This method according to the invention is characterized in claim 9. With this method according to the invention it is possible to apply the dielectric film in one operation to one side of the counter electrode and at the same time to the inner wall of the holes provided therein in such a way that the film extends over the edge of the holes on the other side of the counter electrode.

Zweckmäßige und bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind inAppropriate and preferred embodiments of the invention are shown in

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den übrigen Unterensprächen gekennzeichnet.the other sub-talks.

Ist folgenden 1st die Erfindung mit weiteren vorteilhaften Einzelheiten anhand schematisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert.The following is the invention with further advantageous Details based on schematically shown exemplary embodiments explained in more detail.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine isometrische und teilweise geschnittene Aneicht eines Elektret-Wandlers nach der Erfindung;Fig. 1 is an isometric and partially sectioned view an electret transducer according to the invention;

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Membrananordnung des Wandlers nach Fig. 1;Figure 2 is a top plan view of the transducer diaphragm assembly according to Fig. 1;

Fig. 5 einen aueschnittsweisen Querschnitt durch die Hern- brananordnung; 5 shows a partial cross-section through the hernia arrangement;

Fig. 4 einen ausschnittsweisen Querschnitt durch eine andere Membrananordnung;4 shows a partial cross section through another membrane arrangement;

Fig. 5 einen ausschnittsweisen Querschnitt durch eine dritte Membrananordnung;Fig. 5 is a partial cross section through a third membrane arrangement;

Fig. 6 einen ausschnittsweisen Querschnitt durch eine vierte Membrananordnung;6 shows a partial cross section through a fourth membrane arrangement;

Fig. 7 einen Längsschnitt durch ein Materialstück zur Herstellung der Gegenelektrode für den Wandler nach Fig. 1;Fig. 7 is a longitudinal section through a piece of material for Production of the counter electrode for the converter according to FIG. 1;

Fig. 8 einen Fig. 7 gleichenden Längsschnitt durch das Materialstück mit auf einer Seite aufgelegten dielektrischen Film;FIG. 8 shows a longitudinal section, similar to FIG. 7, through the Piece of material with dielectric film laid on one side;

1-9/09 1 9-1-9 / 09 1 9-

Fig. 9 eine Draufsicht zu Fig. 8, bei welcher der dielektrische Film das Materialstück nur teilweise bedeckt 5 .FIG. 9 is a plan view of FIG. 8, in which the dielectric film only partially covers the piece of material covered 5.

Fig. 10 einen Fig. 7 und 8 gleichenden Längsschnitt durch das Materialstück mit fertig aufgebrachtem dielektrischen Film; . 10 shows a longitudinal section similar to FIGS. 7 and 8 the piece of material with the dielectric film already applied; .

Fig. 11 eine Uhtersicht unter die Gegenelektrode des Wandlers nach Fig. 1 (die Lage der Gegenelektrode, in Fig. ist also gegenüber der Darstellung in den Fig. 1, 3, 4 .und 6 bis 10 um 180° gedreht).11 shows a view under the counter electrode of the transducer according to Fig. 1 (the position of the counter electrode, in Fig. is therefore compared to the representation in Fig. 1, 3, 4 and 6 to 10 rotated by 180 °).

Der in Fig. 1 dargestellte Elektret-Wandler 11 nach der Erfindung umfaßt ein Gehäuse 13» das eine ungefähr rechteckige Gestalt hat. Das Gehäuse umfaßt zwei Gehäuseteile 16 und 18, von denen eines oder beide nicht gezeigte, geeignete öffnungen für den Eintritt des Schalls von außen aufweisen.The electret transducer 11 shown in Fig. 1 according to the Invention comprises a housing 13 'which is approximately rectangular in shape. The housing comprises two housing parts 16 and 18, one or both of which have suitable openings (not shown) for the entry of the sound from the outside.

Die eigentliche Wandler-Anordnung 12 ist auf einer im Gehäuse 13 angeordneten Zwischenwand 15 angebracht. Die Zwischenwand 15 besteht aus einem geeigneten Material und weist mindestens einen durchgehenden akustischen Kanal 30 auf, welcher eine Verbindung zu einer ersten inneren Schall-.kammer 25 herstellt, die zwischen der Zwischenwand 15 und dem Gehäuseteil 18 gebildet ist. Eine zweite Schallkammer 27 ist zwischen der Oberseite einer schwingfähigen Membrananordnung 19 und dem Gehäuseteil 16 gebildet.The actual transducer arrangement 12 is on one in the housing 13 arranged partition 15 attached. The partition 15 is made of a suitable material and has at least one continuous acoustic channel 30, which is connected to a first inner sound chamber 25 produces that between the partition 15 and the housing part 18 is formed. A second sound chamber 27 is between the top of an oscillatable membrane arrangement 19 and the housing part 16 is formed.

Fig. 3 zeigt im Schnitt einen vergrößerten Ausschnitt aus der Membrananordnung 19, wobei die Dicke der Teile zur Verdeutlichung der Konstruktion übertrieben dargestellt ist. Die Mem-Fig. 3 shows in section an enlarged detail from the Diaphragm assembly 19, the thickness of the parts being exaggerated to clarify the construction. The meme

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brananordnung 19 umfaßt eine Membran-Platte 20, vgl. Fig. 2, welche aus Polyethylenterephthalat (geschlitzter ,Handelsname Mylar) oder einem ähnlichen Material bestehen kann. Die Membran-Platte 20 ist auf ihrer (in bezug auf die Fig. 1 und 3) Unterseite mit einem metallischen und daher leitenden Überzug 24 versehen, der beispielsweise im Vakuum aufgedampft sein kann. Am Umfang der Membran-Platte ist eine Einfassung 29 ausgebildet. Die Einfassung 29 ist ebenfalls metallisiert und bildet dadurch einen elektrischen Anschluß, welcher in geeigneter Weise über Leitungen mit einer bekannten, geeigneten elektrischen Schaltung 37 in Verbindung steht, vgl. Fig. 1. Die elektrische Schaltung 37 kann in bekannter Weise an der Unterseite der Zwischenwand 15 befestigt sein.branch arrangement 19 comprises a membrane plate 20, see. Fig. 2, which are made of polyethylene terephthalate (slotted, trade name Mylar) or a similar material. The membrane plate 20 is on its (with respect to the 1 and 3) the underside is provided with a metallic and therefore conductive coating 24, which is for example in a vacuum can be vaporized. An enclosure 29 is formed on the circumference of the membrane plate. The enclosure 29 is also metallized and thereby forms an electrical one Connection, which in a suitable manner via lines with a known, suitable electrical circuit 37 in connection 1. The electrical circuit 37 can be attached to the underside of the partition 15 in a known manner be.

Es wird ein polarisierter dielektrischer Film bzw. ein Elektret 28 verwendet. Das Elektret 28 besteht aus Polytetrafluorethylen (üblicher geschützter Handelsname Teflon) oder einem ähnlichen Material. Das Elektret 28 ist auf einer metallischen, plattenförmigen Gegenelektrode 23 befestigt. Die Gegenelektrode 23 umfaßt geeignete Erhebungen oder Stütz vor sprünge 4-4-, auf welchen die Membran-Platte 20 ruht. Sie dienen dadurch zur Festlegung der richtigen Lage der Membran-Platte 20 relativ zum Elektret In der Gegenelektrode 23 sind durchgehende Löcher 34- vorgesehen, durch welche hindurch die Schallwellen in die Schallkammer 25 eintreten können.It becomes a polarized dielectric film or a Electret 28 used. The electret 28 is made of polytetrafluoroethylene (common protected trade name Teflon) or a similar material. The electret 28 is on a metallic, plate-shaped counter-electrode 23 attached. The counter electrode 23 comprises suitable elevations or support before jumps 4-4, on which the membrane plate 20 rests. They thereby serve to determine the correct position of the membrane plate 20 relative to the electret Through holes 34- are provided in the counter electrode 23, through which the sound waves can enter the sound chamber 25.

Die Gegenelektrode 23 umfaßt ferner einen nach unten reichenden Flansch 42, mit welchem die Gegenelektrode auf der Zwischenwand 15 befestigt ist. Die elektrische Schaltung 37 ist über die Leitung 32 mit der Einfassung 29 und überThe counter electrode 23 further comprises a downwardly extending flange 42 with which the counter electrode the partition 15 is attached. The electrical circuit 37 is on line 32 with skirt 29 and over

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die Leitung 36 mit der Gegenelektrode 23 in bekannter Weise verbunden.the line 36 with the counter electrode 23 in a known manner tied together.

Wenn die Membrananordnung 19 nach Maßgabe einer auftreffenden Schallwelle schwingt, wird ein elektrisches Signal an die elektrische Schaltung 37 abgegeben» In umgekehrter Weise bringt ein von der elektrischen Schaltung 37 erzeugtes und über die Leitungen 32 und 36 der Wan'dleranordnung 12 zugeführtes elektrisches Signal die Membran-Platte 20 zum schwingen, so daß Schall hörbar.wird.When the membrane assembly 19 in accordance with an impinging When the sound wave vibrates, an electrical signal is sent to the electrical circuit 37 »In reverse Way brings a generated by the electrical circuit 37 and via the lines 32 and 36 of the converter assembly 12 supplied electrical signal causes the membrane plate 20 to vibrate so that sound becomes audible.

Da die Membran-Platte 20 zwischen den Stützvorsprüngen 44· schwingt, umfaßt das System im Ergebnis eine Membran, die aus vielen kleinen Membran-Segmenten zusammengesetzt ist, welche mechanisch steif sind*Since the membrane plate 20 between the support projections 44 vibrates, the system comprises a membrane that is composed of many small membrane segments, which are mechanically stiff *

Die Einfassung 29 bildet einen nachgiebigen Rand am Umfang der Membran-Platte 20. Die Einfassung 29 hat im wesentlichen die gleiche Dicke wie die Membran-Platte 20 und ist an deren Umfang angeformt. Sie hat einen gewölbten oder gewellten Abschnitt 38, welche sich aus der Ebene der Membran-Platte nach oben und von dort anschließend nach unten erstreckt und in einen Fuß oder Verbindungsflansch 40 übergeht, welcher an der Zwischenwand 15 befestigbar ist. Die Einfassung 29 verhindert einen unmittelbaren Durchtritt des Schalls von der Schal !kammer 27 in die SchallkammerThe enclosure 29 forms a resilient edge on the periphery the membrane plate 20. The enclosure 29 has essentially the same thickness as the membrane plate 20 and is on their Molded in circumference. It has a curved or corrugated section 38 which extends out of the plane of the membrane plate upwards and then downwards from there and merges into a foot or connecting flange 40, which can be attached to the partition 15. The enclosure 29 prevents the immediate passage of the Sound from the sound chamber 27 into the sound chamber

Bei den älteren Wandlern ist das richtige Spannen einer rechteckigen Folien-Membran aufgrund der geometrischen Form des Rechtecks sehr schwierig. Bei der erfindungsgemäßen Konstruktion ist diese Schwierigkeit beseitigt, da die richtige Lage der Membran-Platte 20 durch die Einfassung festgelegt wird und ein Spannen der Membran-Platte nicht not-With the older converters, correct tensioning is one rectangular foil membrane due to the geometric shape of the rectangle very difficult. In the construction according to the invention, this difficulty is eliminated because the correct position of the membrane plate 20 is determined by the border and tensioning of the membrane plate is not necessary

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wendig ist.is agile.

Bei der in Fig. 4 gezeigten Membrananordnung 19A ist die Membran-Platte sowohl auf der Unter- als auch auf der Oberseite mit je einem metallischen Überzug 24 bzw. 24A versehen. Dadurch ergibt sich eine zusätzliche Stabilisierung gegenüber schädlichen Einflüssen von Temperatur, Feuchtigkeit und Alterung. Es wurde festgestellt, daß eine nur einseitig metallisierte Membran-Platte 20 bei Temperatur- und Feuchtigkeitsänderungen sowie mit zunehmendem Alter zu Verwerfungen neigt. Hingegen haben die Dimensionsänderungen von auf beiden Seiten der Membran-Platte 20 aufgebrachten metallischen Überzügen eine kompensierende Wirkung, welche die Membran-Platte in ihrer ursprünglichen Ebene zu halten sucht. Die Einfassung 29A nach Fig. 4 gleicht der Einfassung 29 nach Fig. 3 und umfaßt einen gewellten Abschnitt 38A sowie einen Verbindungsflansch 4OA.In the diaphragm assembly 19A shown in FIG the membrane plate both on the underside and on the top with a metallic coating 24 or 24A Mistake. This results in additional stabilization against harmful effects of temperature, Moisture and aging. It was found that a membrane plate 20 metallized only on one side at temperature and changes in humidity and tends to warp with age. However, the dimensional changes have metallic coatings applied to both sides of the membrane plate 20 have a compensating effect, which tries to keep the membrane-plate in its original plane. The enclosure 29A of Fig. 4 is similar to that Enclosure 29 of Fig. 3 and comprises a corrugated portion 38A and a connecting flange 40A.

In Fig. 5 ist eine dritte Membrananordnung gezeigt, welche aus mehreren flachen Materialschichten aufgebaut ist, im übrigen aber der Konstruktion nach den Fig. 3 und 4 gleicht. Nach Fig. 5 umfaßt die Einfassung 29B laminierte dünne Materialschichten 50 und einen metallischen Überzug 51· Die Einfassung 29B ist dünner als die Membran-Platte, welche mindestens eine zusätzliche laminierte Materialschicht 5? aufweist. Die Material, schicht 50 kann aus Polyethylenterephthalat und die Materialschicht 52 aus Metall bestehen. Wie bei den zuvor erläuterten Membrananordnungen umfaßt die Einfassung 29B einen gewellten Abschnitt $8B und einen Verbindungsflansch 4OB. Die Einfassung 29B nach Fig. 5 wird dort angewandt, wo eine relativ größere Flexibilität der Einfassung gewünscht wird.In Fig. 5, a third membrane arrangement is shown, which from several flat layers of material is built up, moreover but the construction according to FIGS. 3 and 4 is the same. 5, the bezel 29B comprises laminated thin layers of material 50 and a metallic coating 51 · The surround 29B is thinner than the membrane plate, which has at least one additional laminated material layer 5? having. The material layer 50 can be made of polyethylene terephthalate and the material layer 52 are made of metal. As with the diaphragm assemblies previously discussed, the skirt 29B includes a corrugated portion $ 8B and a connecting flange 4OB. The enclosure 29B of FIG. 5 is used where there is a relatively greater flexibility of the Edging is desired.

— 9 -- 9 -

j (I 9 8 19/0919j (I 9 8 19/0919

In Fig. 6 ist eine weitere MembrananOrdnung 19B mit einem Elektret 2OB gezeigt, das gleichzeitig als Membran wirkt* Der dielektrische Film, oder das Elektret 2OB ruht auf den lagehaltenden Stützvorsprüngen 44. Der metallische Überzug 24B ist auf die Oberseite des Elektret» 2OB aufgebracht. Die Membrananordnung 19B umfaßt eine Einfassung 29C, welche der Einfassung 29 gleicht und einen gewellten Ab- - schnitt 38C sowie einen Verbindüngsflansch 4OB umfaßt. Wie bei der Membrananordnung nach den Fig. 3 und 4 hat die Einfassung 290 praktisch die gleiche Dicke wie die Membran-Platte. In Fig. 6 is a further membrane assembly 19B with a Electret 2OB shown, which also acts as a membrane * The dielectric film, or electret 20B, rests the positional support projections 44. The metallic Coating 24B is applied to the top of the electret 20OB. The diaphragm assembly 19B includes a bezel 29C, which resembles the enclosure 29 and has a wavy end - Includes section 38C and a connecting flange 4OB. As in the membrane arrangement according to FIGS. 3 and 4, the border has 290 practically the same thickness as the membrane plate.

Die für den Elektret-Wandler nach Fig. 1 verwendete Gegenelektrode 23 ist in Fig. 11 gezeigt. Die Gegenelektrode 23 hat eine Perforation aus Löchern--34, durch welche Schall schwingungen, die durch die Bewegung der Membrananordnung 19 erzeugt werden, hindurchtreten können. Die Gegenelektrode 23 umfaßt den Band oder Flansch 42 an ihrem Umfang, mit welchem sie auf der Zwischenwand 15 aufliegt, so daß ein Kaum zwischen der Unterseite 230 der Gegenelektrode und der Oberseite der Zwischenwand 15 freibleibt. Die Oberseite 23B--der Gegenelektrode 23 umfaßt die diskreten Stützvorsprünge 44, vgl, Fig. 7 Ms 10, die zur Einhaltung eines genauen, ausgewählten Ab Standes zwischen der eigentlichen Oberfläche der Gegenelektrode 23 und der Unterseite der Membran-Platte 20 dienen.The counter electrode 23 used for the electret transducer according to FIG. 1 is shown in FIG. The counter electrode 23 has a perforation of holes - 34 through which Sound vibrations caused by the movement of the membrane assembly 19 are generated, can pass through. the Counter electrode 23 includes tape or flange 42 on its Extent with which it rests on the partition 15, so that a barely between the underside 230 of the counter electrode and the top of the partition 15 remains free. The top 23B - the counter electrode 23 comprises the discrete support projections 44, see, Fig. 7 Ms 10, the to maintain an exact, selected starting point between the actual surface of the counter electrode 23 and the underside of the membrane plate 20 are used.

Zur Herstellung der Gegenelektrode 23 wird zuerst ein Blech, Streifen-oder eine Platte 23A aus Metall auf Maß geschnitten und in die in Fig. 11 gezeigte Form " der Gegenelektrode 23 gebracht. Dann wird der Film 28 aus dielektrischem Material auf die Gegenelektrode gelegt und mit dieser verbunden. Alternativ kann der Film auch zuerstTo produce the counter electrode 23 is first a Sheet metal, strip or plate 23A made of metal Measure cut and in the form shown in Fig. 11 " the counter electrode 23 brought. Then the film 28 is out dielectric material placed on the counter electrode and connected to it. Alternatively, you can watch the film first

.,■; - 10 -., ■; - 10 -

auf das Metallblech oder die Metallplatte 23A gelegt und mit dieser verbunden und dann die Anordnung auf MaS geschnitten und zur Gegenelektrode 23 nach Fig. 11 geformt werden.placed on and connected to the metal sheet or metal plate 23A, and then the assembly MaS cut and formed into the counter electrode 23 according to FIG. 11.

In beiden Fällen wird zum Aufbringen des Filmes wie folgt vorgegangen: Ausgangspunkt für die Herstellung der Gegenelektrode 23 nach Fig. 11 sei das Metallblech 23A mit den regelmäßig angeordneten Löchern 34 darin. Die regelmäßig angeordneten Stützvorsprünge 44 werden beispielsweise durch Prägung des Metallbleches 23A erzeugt und liegen zwischen den Löchern 34.In both cases the procedure for applying the film is as follows: Starting point for the production of the Counter electrode 23 according to FIG. 11 is the metal sheet 23A with the regularly arranged holes 34 therein. the Regularly arranged support projections 44 are produced, for example, by stamping the metal sheet 23A and lie between the holes 34.

Der dielektrische Film 28 wird auf die Oberseite 23B des Metallbleches 23A aufgelegt, indem man Druckluft mit einem Druck in der Größenordnung von 1/100 bis 3/100 at auf den Film richtet. Der Film 28 setzt sich dann auf der Oberseite fest und paßt sich den Stützvorsprüngen 44 und der allgemeinen Gestalt der Oberseite 23B an.The dielectric film 28 is on top 23B of the Metal sheet 23A is applied by applying compressed air at a pressure of the order of 1/100 to 3/100 at directs the film. The film 28 then sets on the top and conforms to the support projections 44 and the general shape of the top 23B.

Fig. 9 zeigt links die Oberseite 23B des Metallbleches 23A und rechts den auf der Oberseite angeordneten dielektrischen Film 28.9 shows the upper side 23B of the metal sheet 23A on the left and the dielectric arranged on the upper side on the right Movie 28.

Ea folgt der nächste Arbeitsschritt, bei welchem ein Druckluftstrahl mit hohem Druck von beispielsweise 7 at auf den Film 28 gerichtet wird. Der Formvorgang wird durch Vorwärmung der Luft unterstützt. Das Filmmaterial wird im Bereich der Löcher 34 durchrissen und gezwungen, durch die Löcher 34 zu fließen und dabei die Innenwände 46 der Löcher zu bedecken, wie dies in Fig. 10 gezeigt ist. .Ein Teil des fließenden Materials gelangt dabei bis über die Kanten der Löcher auf der Unterseite 23C der Gegenelektrode 23,Ea follows the next work step, in which a A jet of compressed air with a high pressure of, for example, 7 atm is directed onto the film 28. The molding process is through Preheating of the air is supported. The film material is torn through in the area of the holes 34 and forced through the holes 34 to flow and thereby the inner walls 46 of the Cover holes as shown in FIG. Part of the flowing material reaches over the Edges of the holes on the underside 23C of the counter electrode 23,

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vgl. Pig- 10.see Pig- 10.

Durch diese Konstruktion und Herstellungsweise wird der PiIm 28 sicher auf der Gegenelektrode 23 verankert. Das über die Kanten der Löcher auf der Unterseite 25C geflossene Material "bildet Finger oder Verankerungslaschen 26, die besonders wichtig für bestimmte Filmarten, z.B. für Filme aus bestimmten Fluorkohlenstoffen sind, welche nicht ohne weiteres auf der metallischen Oberfläche der Gegenelektrode 23 haften.With this construction and manufacturing method, the PiIm 28 is securely anchored on the counter electrode 23. That flowed over the edges of the holes on bottom 25C Material "forms fingers or anchoring tabs 26 which are particularly important for certain types of film, e.g. for films made from certain fluorocarbons that do not readily adhere to the metallic surface of the Counter electrode 23 adhere.

Außerdem bedeckt der Film 28 alle Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche der Gegenelektrode 23» z.B. bei der Herstellung entstandene Grate. Wegen.der geringen Abmessungen aller Teile des Wandlers 11 wurden solche Un-In addition, the film 28 covers any irregularities the surface of the counter electrode 23 », for example at the Production of resulting ridges. Because of the small dimensions of all parts of the transducer 11, such un-

regelmäßigkeiten auf der Gegenelektrode zu unerwünschten Effekten führen.regularities on the counter electrode become undesirable Lead effects.

ANSPRÜCHE:EXPECTATIONS:

30 9 8 H/0930 9 8 H / 09

Claims

EXPECTATIONS

Electret transducer with one designed as an electrode Membrane arrangement and with a plate-shaped counter-electrode having through holes, characterized in that the membrane arrangement (19) has a central one Membrane plate (20) comprises which by means of a resilient enclosure (29) at the edge in a position opposite the Counter electrode (23) is held, in which it rests on support projections (44) which the counter electrode with mutual Distance on one side (23B), and that on the counter electrode on the side of the stanchion protrusions a PiIm (28) made of dielectric material is applied, which also covers the inner wall (46) of the holes (34) and through them to over the edge of the holes the other side (230) of the counter electrode is sufficient.

2) transducer according to claim 1 with at least two main sound chambers, characterized in that the enclosure (29) the sound chambers (25 »27) acoustically isolated from each other.

Converter according to claim Λ or 2, characterized

g e k e η η - 2 -

3 O 9 8 1 9 / O 93 O 9 8 1 9 / O 9

22648 92

shows that the border (2'9) has a corrugated Section (58) which extends up and then down out of the plane of the membrane plate (20) and one Includes connecting flange (40) on the hand.

4) converter according to claim 1, 2 or 3 »characterized in that the membrane plate (20) is a thin one Dielectric comprises, on the adjacent to the support projections (44) Side is provided with a metallic coating (24).

5) converter according to claim 4, characterized in that g e k e η η ζ e i c h η e t, that the dielectric is also on the other side is provided with a metallic coating (24A).

6) converter according to one of claims 1 to 5, characterized

g e k e η η ζ e i c h η ^ e t. -. That the membrane plate (20) and layers of the skirt (29) are made of a plurality of flat materials (50) are constructed, with the bezel being thinner Has cross section than the membrane plate.

7) converter according to one of claims Λ to 6> thereby

g e k e η η ze 1 c h η et that the PiIm (28) over the edge of the holes (34) on the other side (25G) of the Counterelectrode (23) is sufficient that thereby fixed anchoring lugs (2 &) are formed for the secure anchoring of the pilm on the counter electrode. .

8) converter according to one of claims 1 to 7 »characterized thereby that the PiIm (28) also has any irregularities on the surface of the counter electrode (23) and their quivers (34) are covered, - '/

3 03 8 1 3 / Ö91 9>

9) Method of manufacturing the electret-provided, through-hole counter electrode for a transducer according to one of Claims 1 to 8, characterized in that a film of dielectric material on one side of the uncoated counter electrode, heats the film and settles on the The side and then directing air under pressure at the film and the counter electrode until the film tears in the area of the holes and the protruding material into the holes and up over their edges on the other Side of the counter electrode flows.

10) Method according to claim 9> characterized in that the film is on one side the counter-electrode is fixed with air at low pressure and then air at a comparatively high pressure to tear the film Pressure used.

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L e e r s e i t eL e r s e i t e