DE2252060C3

DE2252060C3 - Machine for processing semiconductor blanks

Info

Publication number: DE2252060C3
Application number: DE19722252060
Authority: DE
Inventors: Anmelder Gleich
Original assignee: Dolgow, Walentin Michajlo witsch; Saweliew, Wjatscheslaw Wasiljewitsch; Krylow, Wladimir Konstantinowitsch; Tomaschewskij, Walentin Mitrofanowitsch; Salotarew, Jewgenij Iwanowitsch; Moskau
Filing date: 1972-10-24
Publication date: 1976-10-28

Description

Aus der US-PS 31 54 990 ist bereits eine Maschine zum Bearbeiten von Halbleiterrohlingen der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 beschriebenen Art bekannt. Bei dieser Maschine, deren Schneidkopf als offene Hohlspindel mit einer Innenlochsäge ausgebildet ist, wird zunächst der Halbleiterrohling auf einem Halter befestigt, der seinerseits am Support der Maschine befestigt wird. Danach wird der Halbleiterrohling in Scheiben zerschnitten, die darauf auf getrennten Maschinen geschliffen und poliert werden müssen.From US-PS 31 54 990 a machine for processing semiconductor blanks is already in the preamble of claim 1 described type known. With this machine, the cutting head as an open Hollow spindle is designed with an inner diameter saw, the semiconductor blank is first placed on a holder attached, which in turn is attached to the support of the machine. Then the semiconductor blank is in Slices cut up, which then have to be ground and polished on separate machines.

Bei dieser Verfahrensweise ist die Arbeitsproduktivität verhältnismäßig gering, weil große Zeitverluste durch Hilfsoperationen entstehen. So müssen die beim Zerschneiden entstehenden Plättchen gewaschen und zum Schleifen weitertransportiert werden. Vor dem Schleifen werden die Plättchen auf Scheiben geklebtWith this procedure, the labor productivity is relatively low because of the great loss of time arise from auxiliary operations. So the flakes produced during cutting have to be washed and be transported further for grinding. Before grinding, the plates are glued to discs

_r und dann geschliffen, um ihre eine Ebene zu glätten. Danach werden die Scheiben mit'cieri Plättchen gewaschen, um sie von Schleifteilchen und -spänen zu befreien. Ihre Dicke wird gemessen, und sie werden zum _r and then sanded to flatten its one level. The discs are then washed with cieri discs to free them from abrasive particles and chips. Their thickness is measured and they are used for

- nachsteh Arbeitsgang, zum Polieren, wekergeleitet. Das Polieren geschieht in mehreren Arbeitsschritten mit Hilfe von Schleif- und Polierscheiben mit sich vermindernder Korngröße der Schleifmittel und Schleife scheiben, wobei die Scheiben mit den Plättchen nach jedem Arbeitsgang gewaschen werden und die Dicke der von den Plättchen abgenommenen Schicht gemessen wird. Danach werden die Plättchen von den Scheiben gelöst und durch Waschen vom Klebstoff befreit.- The following process, for polishing, guided by weker. The polishing takes place in several steps with the help of grinding and polishing disks with reducing Grit size of the abrasive and grinding disks, with the disks with the platelets after washed in each operation and the thickness of the layer removed from the platelets measured will. The platelets are then detached from the panes and freed from the adhesive by washing.

Bei der maschinellen Bearbeitung der Halbleiterroh-Iinge auf den zur Zeit vorhandenen Vorrichtungen sind Materialverluste unvermeidlich, weil beim Zerschneiden der Rohlinge zu Plättchen Dickenabweichungen der abgeschnittenen Plättchen infolge des Schiagens des Schneidkopfes entstehen. Daher müssen die Platt-ίο chen zum Dickenausgleich geschliffen werden, wodurch teures Material in Form von Spänen verlorengeht. When machining the semiconductor blanks Loss of material is inevitable on the devices currently available, because during cutting of the blanks to platelets Deviations in thickness of the cut-off platelets as a result of hitting of the cutting head arise. Therefore the Platt-ίο surfaces are ground to compensate for the thickness, which means that expensive material is lost in the form of chips.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Maschine zum Bearbeiten von Halbleiterrohlingen anzugeben, bei deren Anwendung die Arbeitsproduktivitäi bei hoher Bearbeitungsgenauigkeit gegenüber der dei bekannten Maschine wesentlich erhöht wird.The invention is based on the object of specifying a machine for processing semiconductor blanks, in their application the work productivity with high machining accuracy compared to the dei known machine is increased significantly.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die vorr Patentanspruch 1 erfaßten Maßnahmen gelöst.
Da die erfindungsgemäße Maschine sämtliche zur Bearbeitung einer Fläche notwendigen Einrichtungen enthält, wobei die Anzahl der jeweils für die Bearbeitung einer Fläche notwendigen Gruppen von Bearbeitungseinrichtungen praktisch beliebig gewählt werden kann, wird die Arbeitsproduktivität gegenüber der der bekannten beträchtlich dadurch gesteigert, daß die Scheiben vor dem Abschneiden wenigstens einseitig geschliffen und poliert werden. Da hierbei die Rohlinge während der gesamten Bearbeitung in einem Halter gehalten werden, ist die Bearbeitungsgenauigkeit während der einzelnen Arbeitsgänge seiir hoch. Hierdurch können auch die Materialverluste wesentlich vermindert werden.According to the invention, this object is achieved by the measures described above.
Since the machine according to the invention contains all devices necessary for processing a surface, the number of groups of processing devices required in each case for processing a surface can be selected practically as desired, the labor productivity is considerably increased compared to that of the known in that the wafers are cut off before they are cut be ground and polished at least on one side. Since the blanks are held in a holder during the entire machining process, the machining accuracy during the individual work steps is high. In this way, the material losses can also be significantly reduced.

Bevorzugte Ausgestallungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche 2 bis 4.Preferred configurations and developments of the invention are the subject matter of subclaims 2 to 4.

Bei Verwendung einer erfindungsgemäßen Maschine mit drei Schneid- und sechs Polier- bzw. Schleifköpfen kann die Arbeitsproduktivität bei der maschinellen Bearbeitung beispielsweise von Siliciumrohlingen zur Herstellung von Sonnenfotoumformern bei gleichem Arbeitsprogramm ungefähr um das 20fache gesteigerl werden. Weiter ist die für den Maschinenpark erforderliche Fläche wesentlich geringer, und es kann Bedienungspersonal eingespart werden. So beträgt die Bearbeitungszeit von Siliciumrohlingen mit 45 bis 50 mm Durchmesser 35 Sekunden pro Plättchen, während sie bei den bekannten Maschinen etwa 10 Minuten beträgt. An Hand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels wird die Erfindung näher eriäutert. Es zeigtWhen using a machine according to the invention with three cutting and six polishing or grinding heads can improve labor productivity when machining, for example, silicon blanks Production of solar photo converters with the same work program increased by around 20 times will. Furthermore, the area required for the machine park is much smaller, and there can be operating personnel can be saved. The machining time for silicon blanks is 45 to 50 mm Diameter 35 seconds per plate, while it is about 10 minutes in the known machines. The invention will be explained in more detail using the exemplary embodiment shown in the drawing. It indicates

F i g. 1 den Grundriß einer Maschine zum Bearbeiter von Halbleiterrohlingen in schematischer Darstellung, F i g. 2 einen senkrechten Schnitt durch den Schleifkopf, F i g. 1 shows the plan of a machine for processing semiconductor blanks in a schematic representation, F i g. 2 a vertical section through the grinding head,

F i g. 3 einen senkrechten Schnitt durch den Schneidkopf undF i g. 3 shows a vertical section through the cutting head and

F i g. 4 das Blockschaltbild der Steuerschaltung.
Die Maschine besteht aus einem Bett 1 und einerr Drehtisch 2 (Fi g. 1), auf denen alle anderen Baugruppen der Maschine montiert sind. Die Führungen 3 (F i g. 2) des Drehtischs 2 sind durch Labyrinthdichtungen 4 geschützt. Auf dem Bett 1 sind Schleifköpfe 5 Polierköpfe 6 und Schneidköpfe 7, ihr Antrieb, der Anis trieb des Drehtisches 2 und Zahnstangen 8 (F i g. \ r, montiert.F i g. 4 shows the block diagram of the control circuit.
The machine consists of a bed 1 and a turntable 2 (Fig. 1) on which all the other assemblies of the machine are mounted. The guides 3 (FIG. 2) of the turntable 2 are protected by labyrinth seals 4. On the bed 1 are grinding heads 5, polishing heads 6 and cutting heads 7, their drive, the anise drive of the turntable 2 and racks 8 (Fig. \ R) mounted.

Die Schleifköpfe 5, die Polierköpfe 6 und die Schneidköpfe 7 sind derart gebaut, daß das Arbeits-The grinding heads 5, the polishing heads 6 and the cutting heads 7 are constructed in such a way that the working

werkzeug (die Schleif-, Polier- oder Diamantschneidscheibe) über einen Keilriemen 9 (F i g. 2, 3) von einem ,Gleichstrommotor in Drehung angetrieben werden, während der Kopf über ein Kulissenwerk 10 von einem ^Gleichstrommotor mit Untersetzungsgetriebe in eine Schwenkbewegung versetzt wird.tool (the grinding, polishing or diamond cutting disc) are driven in rotation by a DC motor via a V-belt 9 (Fig. 2, 3), while the head over a link mechanism 10 of a ^ DC motor with reduction gear in a Pivoting movement is offset.

Die Schleifköpfe 5 und die Polierköpfe 6 bestehen iius einem Körper 11(Fi g. 2), welcher auf einen kegelförmigen Teil einer Hohlwelle 12 aufgesetzt ist und in einem Gleitlager 13, welches am Bett 1 angebracht ist, ,eine Schwenkbewegung ausführt.The grinding heads 5 and the polishing heads 6 consist iius a body 11 (Fi g. 2), which on a conical Part of a hollow shaft 12 is placed and in a plain bearing 13 which is attached to the bed 1, , performs a pivoting movement.

Der Körper 11 und die Hohlwelle 12 sind durch Stifte 14 miteinander verbunden und zwischen zwei Spur-Klägern 15, 16 durch eine mit einer Justierschraube versehene Mutter 17 befestigt.The body 11 and the hollow shaft 12 are through pins 14 linked together and between two track plaintiffs 15, 16 fastened by a nut 17 provided with an adjusting screw.

Das Kulissenwerk 10 ist an der Hohlwelle 12 durch Schrauben 18 befestigt. Durch die auf Radiallagern 19, 20 sitzende Hohlwelle 12 ist eine Welle 21 geführt, die über eine Riemenscheibe 22 und den Keilriemen 9 von einem Gleichstrommotor in Drehung versetzt wird.The link mechanism 10 is fastened to the hollow shaft 12 by screws 18. Due to the radial bearings 19, 20 seated hollow shaft 12, a shaft 21 is guided via a pulley 22 and the V-belt 9 of a DC motor is set in rotation.

Die Drehbewegung der Welle 21 wird über eine Riemenscheibe 23, einen Keilriemen 24, eine Spannrolle 25 und eine Riemenscheibe 26 auf eine Welle 27 übertragen, an der die Schleif- bzw. Polierscheibe 28 befestigt ist. Die Welle 27 sitzt in einem Gleitlager 29, welches wiederum im Körper 11 in Radiallagern 30,31 sitzt. Die Welle 27 und die an ihr befestigte Schleif- bzw. Polierscheibe 28 können infolge eines Bajonettwerks 32 und eines Friktionswerks 33 längs der Achse des Lagers 29 etwas verschoben werden.The rotary movement of the shaft 21 is controlled by a belt pulley 23, a V-belt 24 and a tensioning roller 25 and a pulley 26 is transferred to a shaft 27 to which the grinding or polishing wheel 28 is attached is. The shaft 27 is seated in a plain bearing 29, which in turn is seated in the body 11 in radial bearings 30,31. the Shaft 27 and the grinding or polishing wheel 28 attached to it, as a result of a bayonet mechanism 32 and a friction work 33 can be shifted somewhat along the axis of the bearing 29.

Die Schleif- bzw. Polierscheibe 28 mit dem zur Schleifbearbeitung dienenden Teil, der elastisch befestigt ist und einen Schleifmittelüberzug an der Stirnseite trägt, ist durch eine Schutzhaube 34 abgedeckt. Der ganze Kopf befindet sich unter einem Schutzblech 35.The grinding or polishing wheel 28 with the part used for grinding, which is attached elastically and has an abrasive coating on the front side, is covered by a protective hood 34. the whole head is under a protective plate 35.

Der Schneidkopf 7 (Fig.3) besteht aus einem auf den kegelförmigen Teil einer Hohlwelle 37 aufgesetzten Körper 36. Die Hohlwelle 37 führt in einem Gleitlager 38 Schwenkbewegungen, das seinerseits am Bett 1 angebracht ist.The cutting head 7 (Fig.3) consists of a the conical part of a hollow shaft 37 placed body 36. The hollow shaft 37 leads in a plain bearing 38 pivoting movements, which in turn is attached to the bed 1.

Der Körper 36 und die Hohlwelle 37, welche durch Stifte 39 miteinander verbunden sind, sind zwischen ,zwei Spurlagern 40, 41 durch eine mit einer Justierschraube 43 versehene Mutter 42 befestigt. Das Kulissenwerk 10 (F i g. 2, 3) ist an der Hohlwelle 37 durch Schrauben 44 befestigt. Durch die auf Radiallagern 45, 46 sitzende Hohlwelle 37 ist eine Welle 47 geführt, welche über die Riemenscheibe 48 des Keilriemens 9 von einem Gleichstrommotor in Drehung versetzt wird.The body 36 and the hollow shaft 37, which are connected to each other by pins 39, are between , two track bearings 40, 41 attached by a nut 42 provided with an adjusting screw 43. The scenery 10 (FIGS. 2, 3) is attached to the hollow shaft 37 by screws 44. Due to the radial bearings 45, 46 seated hollow shaft 37, a shaft 47 is guided, which over the pulley 48 of the V-belt 9 of a DC motor is set in rotation.

Die Drehbewegung der Welle 47 wird über eine Riemenscheibe 49, einen Flachriemen 50 und eine Spannrolle 51 auf eine Spindel 52 übertragen, an welcher eine Diamantscheibe 53 mit innenseitiger Schneidkante befestigt ist.The rotary movement of the shaft 47 is via a pulley 49, a flat belt 50 and a tensioning roller 51 transferred to a spindle 52 on which a Diamond disc 53 is attached with an inside cutting edge.

Ein Gleitlager 54 mit einstellbarem Spiel und die sich in ihm drehende Spindel 52 sind mit Hilfe einer Mutter 55 und eines Spurgleitlagers 56 im Körper 36 befestigt. Der Körper 36, das Lager 54 und die Spezialmulter 55 sind mit Labyrinthdichtungen 57,58 versehen.A slide bearing 54 with adjustable play and the spindle 52 rotating in it are with the aid of a nut 55 and a track slide bearing 56 are attached in the body 36. The body 36, the bearing 54 and the special nut 55 are provided with labyrinth seals 57,58.

Zum Schmieren der Reibflächen ist am Körper 36 ein Öler 59 angebracht. Zürn Abtransport der abgeschnittenen Plättchen aus der Bearbeilungszone befindet sich in der Spindel 52 eine Transporteinrichtung 60, welche unbeweglich über einen Kragarm 61 am Bett 1 (Fig. 1) befestigt ist. Die zum Abschneiden dienende Diamanischeibe 53 ist durch eine Schutzhaube 62 abgedeckt, während der ganze Kopf sich unter einem Schutzblech 63 (F i g. 3) befindet.An oiler 59 is attached to the body 36 to lubricate the friction surfaces. Zürn removal of the cut ones There is a transport device 60 in the spindle 52 for small plates from the processing zone, which is immovably attached to the bed 1 (Fig. 1) via a cantilever arm 61. The one used for cutting Diamond disk 53 is covered by a protective hood 62, while the whole head is under an apron 63 (Fig. 3).

Auf dem Drehtisch 2 sind mehrere Schlitten 64 mit den Rohlingen, ein Steuerblock 65 (F i g. 1,4) des Drehtisches und ein Öler 66 zum Schmieren der Tischführungen montiertOn the turntable 2 are several carriages 64 with the blanks, a control block 65 (Fig. 1,4) of the turntable and an oiler 66 is mounted for lubricating the table guides

Neben der Maschine befindet sich ein Steuerpult 67, in dem die Steuerblöcke für die Motoren der Köpfe und ein Wechselstromtransformator zum Speisen des Steuerblocks 65 untergebracht sind.Next to the machine is a control desk 67, in which the control blocks for the motors of the heads and an AC transformer for feeding the control block 65 are accommodated.

Der Drehtisch 2 wird durch einen Gleichstrommotor mit Untersetzungsgetriebe über ein Kurvengetriebe mit Triebstock in Drehung versetzt.The turntable 2 is driven by a DC motor with a reduction gear via a cam gear set in rotation with the headstock.

Der Schlitten 64 besteht aus folgenden Hauptbaugruppen und -teilen: einem Tragkörper 68 und einem Auflager 69, Führungen 70, einem Gehäuse 71 und einer Planscheibe 72 (F i g. 3).The carriage 64 consists of the following main assemblies and parts: a support body 68 and a Support 69, guides 70, a housing 71 and a face plate 72 (FIG. 3).

Der Tragkörper 68 und die Auflager 69 sind starr am Tisch 2 (F i g. 1) befestigt. In den Tragkörper 68 ist eine Gewindebuchse 73 eingesetzt, in der mit dem einen ihrer Enden eine Spindel 74 (F i g. 3) befestigt ist. Auf das andere Ende der Spindel 74 ist mittels eines Federkeils ein Kegelrad 75 aufgesetzt, welches sich in einem Gleitlager 76 dreht, das in das Auflager 69 eingebaut ist. Das Kegelrad 75 ist durch ein Schutzblech 77 abgedeckt. Die Spindel 74 ist hohl und ist an ihrer Innenseite mit einem Gewinde versehen, dessen Steigung geringer als die des Außengewindes ist. In die Spindel 74 ist eine Spindel 78 eingesetzt, deren eines Ende ein Gewinde für die Hin- und Herverschiebung der Buchse 73 aufweist. Das andere Ende der Spindel 78 ist glatt ausgeführt und sitzt in einer Buchse 79, die im Tragkörper 68 befestigt ist.The support body 68 and the supports 69 are rigidly attached to the table 2 (FIG. 1). In the support body 68 is a Threaded bushing 73 is used, in which one of its ends a spindle 74 (FIG. 3) is attached. On the The other end of the spindle 74 is fitted with a bevel gear 75 by means of a spring wedge, which is located in a plain bearing 76 rotates, which is built into the support 69. The bevel gear 75 is covered by a protective plate 77. The spindle 74 is hollow and is provided on its inside with a thread, the pitch of which is less than that of the external thread. A spindle 78 is inserted into the spindle 74, one end of which is threaded for moving the bushing 73 back and forth. The other end of the spindle 78 is smooth and is seated in a socket 79 which is fastened in the support body 68.

Am glatten Ende der Spindel 78 ist ein Federkeil befestigt, während in der Buchse 79 sich eine Keilnut befindet, um eine etwaige Drehung der Spindel 78 zu verhüten. A spring wedge is attached to the smooth end of the spindle 78, while there is a keyway in the socket 79 to prevent any rotation of the spindle 78.

An der Spindel 78 ist eine Kegelbuchse 80 befestigt, welche durch eine Mutter 81 festgezogen wird. Am Tragkörper 68 sind starr die Führungen 70 befestigt, in denen das Gehäuse auf Rollen 82,83 verschiebbar ist.A conical bushing 80, which is tightened by a nut 81, is fastened to the spindle 78. At the Carrying body 68 are rigidly attached to guides 70, in which the housing can be displaced on rollers 82, 83.

Die Rolle 83 ist so gebaut, daß das vorhandene Spiel beseitigt werden kann.The roller 83 is constructed so that the existing play can be eliminated.

Das Gehäuse 71 ist mit Hilfe einer Sonderkegelschraube 84 mit der Kegelbuchse 80 verbunden.The housing 71 is connected to the conical bushing 80 with the aid of a special conical screw 84.

In das Gehäuse 71 ist ein Gleichstrommotor 85 mit Untersetzungsgetriebe und elektrischer Bremse eingebaut. Dieser Motor versetzt die Planscheibe 72 in Drehung. A DC motor 85 with a reduction gear and an electric brake is built into the housing 71. This motor sets the face plate 72 in rotation.

Die Planscheibe 72 läuft in Radiallagern 86, 87, welche im Gehäuse 71 sitzen. An der Innenseite der Planscheibe ist eine mit Bohrungen versehene Hülse 88 befestigt. Innerhalb der Hülse 88 ist gegenüber den Boh rungen am Gehäuse 71 ein Fotowiderstand 89 (F i g. 2 3) befestigt, während auf der Außenseite der Hülse 8f eine Lampe 90 angebracht ist.The face plate 72 runs in radial bearings 86, 87 which are seated in the housing 71. On the inside of the faceplate a sleeve 88 provided with holes is attached. Inside the sleeve 88 is opposite the Boh A photoresistor 89 (F i g. 2 3) attached to the housing 71, while on the outside of the sleeve 8f a lamp 90 is attached.

In die Planscheibe sind mehrere Gleitlager 91 einge preßt, in denen eine Achse 94 unter Einwirkung vor Federn 92 und eines Elektromagnetstößels 93 eine Hin und Herbewegung ausführt.In the faceplate several plain bearings 91 are pressed, in which an axis 94 under action Springs 92 and an electromagnetic plunger 93 performs a reciprocating motion.

Auf der Achse 94 sitzen schnell abnehmbare Ver Schlüsse mit den zu bearbeitenden Rohlingen 95.Quickly removable connectors with the blanks 95 to be machined sit on the axis 94.

Zum Schmieren der Achse 94 sind in die Planscheib 72 Fettpressen 96 eingepreßt.To lubricate the axle 94, grease guns 96 are pressed into the faceplate 72.

Die elektrische Blockschaltung besteht aus einer Eingangsblock 97 (F i g.4) mit einem Leistungstransfoi mator und einer Kurzschlußsicherung aus Thyristoi gleichrichtern 98, 99, 100, 101 einer Umrechnungsvoi richtung 102 für zwölf Stellungen, einer Umrechnung; vorrichtung 103 Für sechs Stellungen und einem MiThe electrical block circuit consists of an input block 97 (FIG. 4) with a power transformer mator and a short-circuit fuse from Thyristoi rectifiers 98, 99, 100, 101 a conversion voi direction 102 for twelve positions, a conversion; device 103 for six positions and one Wed

gnetanlasser 104 mit einer Einrichtung zum Anlegen einer Spannung an den Drehtischmotor und an den Steuerblock 65 (F Ί g. 1,4).magnetic starter 104 with a device for applying a voltage to the turntable motor and to the Control block 65 (Fig. 1,4).

Der Steuerblock 65 des Drehtisches 2 besteht aus einem Gleichrichter 105, einem Zähler 106 für zv/ölf Stellungen längs des Kreisumfahgs, einem Zähler 107 für vier Stellungen längs des Kreisumfangs und aus Triggerblöcken 108, 109, 110, Hl, 112, 113, 114, 115 (F ig. 4). , ;,The control block 65 of the turntable 2 consists of a rectifier 105, a counter 106 for zv / öl Positions along the circumference, a counter 107 for four positions along the circumference and off Trigger blocks 108, 109, 110, Hl, 112, 113, 114, 115 (Fig. 4). ,;,

Die oben beschriebene Maschine arbeitet folgendermaßen. Die zur Bearbeitung bestimmten Rohlinge 95 werden in die Verschlüsse eingelegt, die dann an der Achse 94 geschlossen werden. Hiernach wird Spannung an den F.ingangsblock 97 und die Gleichrichter 98, 99. 100. 101 gelegt. Von den Gleichrichtern 98, 99 gelangt die Spannung an die Motoren der Schneidköpfe 7.The machine described above operates as follows. The blanks 95 intended for processing are inserted into the closures, which are then attached to the Axis 94 are closed. After this, voltage is applied to the input block 97 and the rectifiers 98, 99. 100, 101 laid. The voltage reaches the motors of the cutting heads 7 from the rectifiers 98, 99.

Gleichzeitig wird über den Anlasser 104 (F i g.4) Spannung an den Block 65 gelegt, während von den Gleichrichtern 105 Spannung über den Zähler 107 für die Kreisumfangsstellungen an die Trigger 108, 112 gelangt. Die Trigger sprechen an und der Elektromagnet stößt, indem er die Feder 92 zusammendrückt, die Achse 94 mit dem Verschluß, in dem der Rohling 95 befestigt ist, in die Bearbeitungszone des Schneidkopfes 7 heraus.At the same time, voltage is applied to block 65 via starter 104 (FIG. 4), while the Rectifiers 105 voltage reaches the triggers 108, 112 via the counter 107 for the circumferential positions. The triggers respond and the electromagnet pushes by compressing the spring 92, which Axis 94 with the closure in which the blank 95 is fastened into the machining zone of the cutting head 7 out.

Der eine Schwenkbewegung ausführende Schneidkopf schneidet ein Plättchen vom Rohling ab. welches auf die Transporteinrichtung 60 (F i g. 3) fällt und aus der Bearbeitungszone abtransportiert wird. Nach Beendigen des Schneidvorgangs nimmt der Schneidkopf seine Ausgangsstellung ein und betätigt den Endschalter, der über den Zähler 106 für die Kreisumfangsstellungen die Trigger 108,112 veranlaßt anzusprechen. Letztere wiederum schalten die Elektromotoren 85, ein, die in den Schlitten 64 angeordnet sind, welche sich gegenüber den Schneidköpfen 7 befinden.The cutting head, which performs a pivoting movement, cuts a small plate from the blank. which falls onto the transport device 60 (FIG. 3) and is transported away from the processing zone. To When the cutting process is finished, the cutting head assumes its starting position and actuates the limit switch, which causes the trigger 108, 112 to respond via the counter 106 for the circumferential positions. The latter in turn turn on the electric motors 85, which are arranged in the carriage 64, which are located opposite the cutting heads 7.

Beim Drehen der Planscheibe 72 und der an ihr befestigten mit Bohrungen versehenen Hülse 88 werden die Bohrungen der Hülse 88 verschoben. Sobald das Licht der Lampe 90 über eine Bohrung auf den Fotowiderstand 89 fällt, sprechen die Trigger 108, 112 wiederum an und der Motor 85 wird angehalten, während der Stößel 93 des Elektromagnets den folgenden Rohling 95 zum Abschneiden desselben herausstößt.When rotating the faceplate 72 and that attached to it Sleeve 88 provided with bores, the bores of the sleeve 88 are shifted. As soon as the light When the lamp 90 falls through a hole onto the photoresistor 89, the triggers 108, 112 speak again on and the motor 85 is stopped, while the plunger 93 of the electromagnet the following blank 95 pushes out to cut it off.

In dieser Reihenfolge zerschneidet die Maschine alle auf die Planscheibe aufgesetzten Rohlinge. Hiernach spricht die Umrechnungsvorrichtung 102 für 12 Stellungen an und ein Signal wird dem Anlasser 104 für die Drehung des Tischs 2 zugeführt. Letzterer führt i/s einer vollen Umdrehung aus.The machine cuts them all in this order blanks placed on the faceplate. The conversion device 102 then speaks for 12 positions on and a signal is supplied to the starter 104 for rotating the table 2. The latter leads i / s one full turn.

Nach Beendigung der Drehung des Tischs 2 gelangt ein Signal an die Umrechnungsvorrichtung 103 und die Elektromotoren der Schleifköpfe 5 werden eingeschaltet. Gleichzeitig werden die Elektromotoren 85 der Schlitten 64 eingeschaltet, welche in diesem Augenblick gegenüber den Schlcifköpfen 5 stehen. Die erwähnten Motoren versetzen die Planscheibe 72 in Drehung.After the rotation of the table 2 has ended, a signal is sent to the conversion device 103 and the Electric motors of the grinding heads 5 are switched on. At the same time, the electric motors 85 are Carriages 64 switched on, which are at this moment opposite the grinding heads 5. The mentioned Motors set the faceplate 72 in rotation.

Die Schleifscheibe 28 beginnt sich zu drehen und sich gleichzeitig im Gleitlager 29 vorwärtszubewegen,, da das Friklionswerk 33 auf eine bestimmte Anpreßkraft der Schleifscheibe an die Stirnseiten der Rohlinge, die aus zu bearbeitendem Material bestehen, berechnet ist.The grinding wheel 28 begins to rotate and at the same time move forward in the slide bearing 29, there the Friklionswerk 33 to a certain contact pressure of the grinding wheel on the end faces of the blanks, which consist of material to be processed, is calculated.

Nachdem diese Kraft erreicht ist, beginnt das Gleitlager 29 sich in den Radiallagern 30 zu drehen. Der Schleifprozeß beginnt. Gleichzeitig hiermit wird über die Trigger 109. 113 der Elektromagnet mit dem Stößel 93 betätigt und die Rohlinge auf den Schlitten 64 (F i g. 3), welche gegenüber den Schneidköpfen 7 stehen, werden der Reihe nach in die Bearbeitungszone herausgestoßen, abgeschnitten und auf oben beschriebene Weise abtransportiert.After this force has been reached, the sliding bearing 29 begins to rotate in the radial bearings 30. the The grinding process begins. Simultaneously with this, the electromagnet with the plunger is activated via the triggers 109, 113 93 actuated and the blanks on the carriage 64 (Fig. 3), which are opposite the cutting heads 7, are successively ejected into the processing zone, cut off and on described above Transported away.

Nach jedem Signal zur Drehung des Tischs 2 wird von der Umrechnungsvorrichtung 102 über die Umrechnungsvorrichtung 103 den Elektromotoren der Köpfe 5,6 ein Befehl gegeben. Die Elektromotoren dieser Köpfe werden umgesteuert und die Schleif- bzw. Polierscheibe 28 wird durch das Bajonettwerk 32 und das Friktionswerk 33 von der Planscheibe 72 fortgeführt, so daß der Tisch 2 sich drehen kann.After each signal for the rotation of the table 2, the conversion device 102 via the conversion device 103 given a command to the electric motors of the heads 5, 6. The electric motors of this Heads are reversed and the grinding or polishing wheel 28 is through the bayonet mechanism 32 and the friction mechanism 33 continued from the faceplate 72 so that the table 2 can rotate.

Beim Drehen des Tischs um '/3 seiner vollen Umdrehung greift das Kegelrad 75 in die Zahnstange 8 ein, welche in Drehungsrichtung des Tischs 2 vor dem Schneidkopf 7 auf das Bett aufgesetzt ist, und dreht sich um einen bestimmten Winkel. Hierbei treibt das Kegelrad 75 die in der Buchse 73 laufende Spindel 74 an, wobei gleichzeitig die Spindel 78 verschoben wird.When rotating the table 1/3 of its full turn the bevel gear 75 engages in the rack 8, which in the direction of rotation of the table 2 before Cutting head 7 is placed on the bed and rotates through a certain angle. The bevel gear drives here 75 the spindle 74 running in the bushing 73, the spindle 78 being displaced at the same time.

Bei ihrer Vorwärtsbewegung verschiebt die Spindel 78 das Gehäuse 71 des Schlittens 64 in den Führungen 70 um einen Wert, welcher gleich der Differenz der Steigungen der Spindeln 74, 78 ist. Das Verhältnis dieser Werte wird durch die erforderliche Dicke der abzuschneidenden Plättchen bestimmt und ist regelbar.As it moves forward, the spindle 78 displaces the housing 71 of the slide 64 in the guides 70 by a value which is equal to the difference in the pitches of the spindles 74, 78. The ratio of these Values is determined by the required thickness of the platelets to be cut and can be regulated.

Die übrigen Köpfe und Schlitten werden analog der Reihe nach eingeschaltet.The other heads and slides are switched on one after the other in the same way.

Beginnend mit dem Augenblick, in dem alle Köpfe und Schlitten gleichzeitig arbeiten, beginnt die Maschine, im automatischen Betrieb zu funktionieren.Starting with the moment when all heads and slides work at the same time, the machine begins to to function in automatic mode.

Wenn die Rohlinge vollkommen aufgebraucht sind, fährt der Schlitten 64 auf den Endschalter und gibt das Signal zum Ausschalten der Maschine. Die Maschine wird in derselben Reihenfolge ausgeschaltet, in der sie eingeschaltet wurde.When the blanks are completely used up, the carriage 64 moves to the limit switch and releases it Signal to switch off the machine. The machine will turn off in the same order in which it was was switched on.

Das Gehäuse 71 des Schlittens 64 wird mit Hilfe einer abnehmbaren Einrichtung in die Ausgangsstellung zurückgeführtThe housing 71 of the carriage 64 is in the starting position with the aid of a removable device returned

Hierzu 4 Blatt ZeichnungenFor this purpose 4 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Machine for processing semiconductor blanks, which are mounted on a carriage that is in Direction of a rotatable cutting head and is movable in a direction perpendicular thereto, thereby characterized in that several carriages (34) are radially displaceable at equal intervals are arranged on a step-wise rotatable table (2) that around the turntable (2) in corresponding Distances in front of the cutting heads (7) grinding and polishing heads (5, 6) are arranged, and that the cutting heads (7) are designed to be displaceable in the machining plane.

2 Machine according to Claim 1, in which the cutting head is an open hollow spindle with an internal cheek saw is formed, characterized in that a transport device (6) is arranged in the hollow spindle (52) so that the The cut part of the blank (95) falls onto the transport device (60).

3. Machine according to claim 1, characterized in that on the bed (1) has a rack (8) is attached, and that a spindle (78) with a toothed wheel (75) is attached to each slide (64), which engages in the rack (8) when the turntable (2) rotates and when the spindle rotates (78) the carriage (64) with the blanks (95) in the direction of the cutting heads (7) around the specified Moves the size of the part to be cut.

4. Machine according to one of the preceding claims, characterized in that in the bed (1) Hollow shafts (37) are arranged on which the processing heads and link mechanisms (10) for pivoting of the heads are fixed, and that the shaft (47) of the drive of these heads in the hollow shaft (37) is arranged.