Claims (1)
Widerstandsschaltung mindestens einen druckabhän-Resistance circuit at least one pressure-dependent
Patentanspruch: gigen Metalloxidwiderstand mit niedrigem TemperaClaim: gigen metal oxide resistor with low tempera
turkoeffizienten aufweist, der dem im Druckraumhas turcoefficient that in the pressure chamber
Dmckmeßumfonner mit einem durch beweg- herrschenden statischen Druck ausgesetzt ist. Durch
liehe Wände abgeschlossenen Druckraum, in wel- 5 Zuschalten von Parallel- oder Seiienwiderständen
ehern sich Zweige einer Widerstandsmeßbrücke außerhalb des Druckraums kann so ein Netzwerk gebildende
Dehnungsmeßstreifen befinden, mit einer schaffen werden, welches die aus den Unsymmetrien
Störeinflüsse kompensierenden Widerstandsschal- des Meßsystems unter statischem Druck resultierentung,
dadurch gekennzeichnet, daß den Abweichungen des Nullpunkts in guter Nähedie
kompensierende Widerstandsschaltung min- xo rung kompensiert Die Verwendung handelsüblicher
destens einen druckabhängigen Metalloxidwider- Metalloxid-Schichtwiderstände als druckabhängige
stand (R 1) mit niedrigem Temperaturkoeffizien- Glieder der Brückenschaltung bietet den Vorteil beten
aufweist, der dem im Druckraum (D) herr- sonders geringen Aufwands. Die Wahl eines Widersehenden
statischen Druck ausgesetzt ist. Standsmaterials mit niedrigem Temperaturkoeffizien-Dmckmeßumfonner is exposed to a static pressure caused by moving. Pressure chamber closed by borrowed walls, in which there are branches of a resistance measuring bridge outside the pressure chamber, in which there are branches of a resistance measuring bridge, with one that can create a network of strain gauges that compensate for the disruptive effects of the asymmetries in the resistance of the measuring system under static conditions Pressure resultierentung, characterized in that the deviations of the zero point in good proximity the compensating resistance circuit minimizes the use of commercially available at least one pressure-dependent metal oxide metal oxide sheet resistors as a pressure-dependent stand (R 1) with low temperature coefficient members of the bridge circuit offers the advantage of praying has, which in the pressure chamber (D) is particularly low overhead. The choice of an opponent is subject to static pressure. Stand material with a low temperature coefficient
15 ten erbringt den weiteren Vorteil der Verringerung
des störenden Einflusses des Temperaturgangs.15 th brings the further advantage of reduction
the disruptive influence of the temperature curve.
Zur Erläuterung der Erfindung ist in der Figur einTo explain the invention is in the figure
Ausfuhrungsbeispiel einer derartigen Dehnungsmeßstreifenwiderstandsbrücke
schematisch dargestelltExemplary embodiment of such a strain gauge resistance bridge
shown schematically
Die Erfindung bezieht sich auf einen Druckmeß- *o und im folgenden beschrieben.The invention relates to a Druckmeß- * o and described below.
umformer mit einem durch bewegliche Wände ab- Eine in Differenzdruckmeßumformern verwendetetransducer with a movable wall A used in differential pressure transducers
geschlossenen Druckraum, in welchem sich Zweige Dehnungsmeßstreifenwiderstandsbrücke besteht im
einer Widerstandsmeßbrücke bildende Dehnungs- wesentlichen aus zwei Dehnungsmeßstreifen DMS,
meßstreifen befinden, mit einer Störeinflüsse korn- die in benachbarten Briickenzweigen geschaltet und
pensierenden Widerstandsschaltung. »5 innerhalb des Druckraums des Differenzdruckmeß-closed pressure space, in which there are branches of a strain gauge resistance bridge, the expansion essentially consisting of two strain gauges DMS, measuring strips, which form a resistance measuring bridge, with an interfering influence that is connected in adjacent branches of the bridge and pensing resistance circuit. »5 within the pressure chamber of the differential pressure
Bei Dehnungsmeßstreifen in Brückenschaltung Umformers auf einer von der Meßkraft beaufschlagenthaltenden
Meßschaltungen ist es bekannt, den von ten Biegefeder befestigt sind.In the case of strain gauges in a bridge circuit, the transducer is connected to one that is acted upon by the measuring force
It is known that measuring circuits are attached by the spiral spring.
Temperaturschwankungen herrührenden Störeinfluß Die Widerstandsbrücke mit ihrer SpeisediagonalenInterference caused by temperature fluctuations The resistance bridge with its feed diagonal
durch in die Brücke eingeschaltete Dehnungsmeß- S, S1 und ihrer Meßdiagonalen M, M' wird vervollstreifen,
die der gleichen Temperatur, nicht aber 30 ständigt durch weitere Widerstände ft I, ft 2 und
einer Dehnung ausgesetzt sind, zu kompensieren. Bei ft 3. Der Widerstand ft 1 ist ein druckabhängiger
Druckmeßumformern der eingangs bezeichneten Art Metalloxidwiderstand, der ebenfalls innerhalb des
ist als weiterer Störeinfluß der von der Wirkung des durch eine gestrichelte Umrahmung angedeuteten
statischen Drucks herrührende Nullpunktfehler anzu- Druckraums D im Differenzdruckmeßumformer ansehen,
welcher auf Unsymmetrien der Meßvolumen, 35 geordnet und so dem dort herrschenden statischen
der Membranflächen oder der Federkonstanten zu- Druck ausgesetzt ist. Zu einem möglichst genauen
rückzuführen ist. Üblicherweise wird versucht, diesen Abgleich ist es dabei notwendig, dem Widerstand R1
Nullpunktfehler durch Aussuchen von Funktionscle- beispielsweise einen weiteren Festwiderstand ft 2
menten bezüglich ihrer Toleranzen in vertretbaren parallel zu schalten. Der Widerstand ft 2 kann dabe i
Grenzen zu halten. Dieses Verfahren ist jedoch rela- 40 außerhalb des DruckraumsD angeordnet werden,
tiv aufwendig. wie auch der im vierten Brückenzweig liegende by means of strain gauges S, S 1 and their measuring diagonals M, M ' connected to the bridge, which are constantly exposed to the same temperature, but not constantly due to further resistances ft 1, ft 2 and an expansion, to compensate. At ft 3. The resistance ft 1 is a pressure-dependent pressure transducer of the type described in the introduction, which is also within the pressure chamber D in the differential pressure transducer, which is to be seen as a further disruptive influence of the static pressure caused by the effect of the static pressure indicated by a dashed frame Asymmetries of the measurement volume, 35 in an orderly manner and thus exposed to the static pressure of the membrane surfaces or the spring constant prevailing there. Is to be traced back to as precise as possible. Usually an attempt is made, this adjustment, it is necessary to switch the resistor R 1 zero point error by looking for functional circuits, for example, another fixed resistor ft 2 elements with respect to their tolerances in a reasonable parallel. The resistance ft 2 can thereby keep i limits. This method, however rela- be arranged outside the pressure chamber 40 D, tiv consuming. as well as the one in the fourth branch of the bridge
Es besteht somit die Aufgabe, einen bekannten Widerstand ft 3, dessen Widerstandswert dem der
Druckmeßumformer in Richtung auf eine Kompen- Parallelschaltung von Widerstand ft 1 und Widersation
des vom statischen Druck herrührenden Null- stand ft 2 entspricht. Damit ist ohne großen Aufpunktfehlers
auf der elektrischen Seite zu verbessern. 45 wand in der Fertigung der vom statischen Druck in-AIs
Lösung der Aufgabe wird ein Druckmeßum- folge von Unsymmetrien im Meßsystem hervorgeruformer
der eingangs genannten Art angesehen, der fene Nullpunktfehler kompensierbar, da nunmehr
dadurch gekennzeichnet ist, daß die kompensierende das Aussuchen der Teile des Meßsystems entfällt.There is thus the task of a known resistor ft 3, whose resistance value that of the
Pressure transducer in the direction of a compensation parallel connection of resistance ft 1 and contradiction
corresponds to the zero level ft 2 resulting from the static pressure. This means that there are no major errors in the starting point
to improve on the electrical side. 45 wall in the manufacture of the static pressure in-AIs
The solution to the problem is a pressure measurement sequence caused by asymmetries in the measuring system
of the type mentioned, the fene zero point error can be compensated, since now
is characterized in that the compensatory search for the parts of the measuring system is omitted.