DE2229825A1 - Apparatus and method for producing a curtain of high-energy electrons - Google Patents

Apparatus and method for producing a curtain of high-energy electrons

Info

Publication number
DE2229825A1
DE2229825A1 DE19722229825 DE2229825A DE2229825A1 DE 2229825 A1 DE2229825 A1 DE 2229825A1 DE 19722229825 DE19722229825 DE 19722229825 DE 2229825 A DE2229825 A DE 2229825A DE 2229825 A1 DE2229825 A1 DE 2229825A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electron
curtain
cathode
density
control grid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19722229825
Other languages
German (de)
Other versions
DE2229825B2 (en
DE2229825C3 (en
Inventor
Bertram S. Peabody Mass. Quintal (V.StA.). P
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Energy Sciences Inc
Original Assignee
Energy Sciences Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Energy Sciences Inc filed Critical Energy Sciences Inc
Publication of DE2229825A1 publication Critical patent/DE2229825A1/en
Publication of DE2229825B2 publication Critical patent/DE2229825B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE2229825C3 publication Critical patent/DE2229825C3/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06—Electron sources; Electron guns
    • H01J37/063—Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes

Description

Energy Sciences Inc.
Burlington, Mass. (Ver.St.A.)Energy Sciences Inc.
Burlington, Mass. (Ver.St.A.)

Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Vorhangs aus energiereichen ElektronenApparatus and method for producing a curtain of high-energy electrons

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung eines Vorhangs aus energiereichen Elektronen, insbesondere für die Bestrahlung von verhältnismäßig langen Werkstücken.The invention relates to a device and a method for generating a curtain of high-energy electrons, especially for the irradiation of relatively long workpieces.

Zur Ermöglichung der Elektronen-Bestrahlung von Gegenständen erheblicher Abmessungen hat man seine Zuflucht zum Abtasten längs dieser Abmessungen mittels eines fokussierten Strahls genommen, wie z.B. in der Firmenschrift der High Voltage Engineering Corporation 5/69 "The Industrial Electron Processing System" beschrieben. Solche Techniken erfordern nicht nur Abtast- oder Ablenkgeräte und Speisestromkreise für diese, sondern auch Kollimations- oder Fokussiergeräte zur Erzeugung eines abgegrenzten Strahls, der zum Abtasten benutzt werden kann. Ferner werden, obwohl das Abtasten schnell erfolgen kann, nicht alle Teile des Werkstücks tatsächlich gleichzeitig bestrahlt, und es werden wegen der verschiedenen Bahnlängen des Strahls Unterschiede der Elektro-In order to enable the electron irradiation of objects of considerable dimensions, one has recourse to scanning taken along these dimensions by means of a focused beam, as e.g. in the company pamphlet of High Voltage Engineering Corporation 5/69 "The Industrial Electron Processing System". Such techniques require not only scanning or deflection devices and supply circuits for these, but also collimation or focusing devices to create a delimited beam that can be used for scanning. Furthermore, although scanning can be done quickly, not all parts of the workpiece actually irradiated simultaneously, and because of the different path lengths of the beam, differences in the electrical

_ P_ P

209852/0856209852/0856

nendichte an unterschiedlichen Stellen der Abtastung bedingt. Es wurde demgemäß auch vorgeschlagen, einen Streifen oder eine Linie von Elektronen zu erzeugen, um Gleichzeitigkeit der Bestrahlung zu ermöglichen, wie z.B. aus der US-PS 2 887 599 ersichtlich. Jedoch haben sich diese Vorschläge nicht als praktikabel erwiesen, da dabei die Elektronenemission an verschiedenen Stellen der langen Kathode wegen der strukturell bedingten, unvermeidlichen Unterschiede an diesen Stellen, wegen der ebenso unvermeidlichen unterschiedlichen Temperaturen an diesen Stellen und wegen der starken Unterschiede der Stromdichte längs der Elektronenlinie stark variiert.conditional density at different points of the scan. It has accordingly also been proposed to use a strip or to create a line of electrons to allow simultaneity of irradiation, such as in U.S. Patent 2 887 599 can be seen. However, these proposals have not proven to be practical because of the electron emission at different points of the long cathode because of the structurally determined, inevitable differences these places, because of the inevitable different temperatures at these places and because of the strong ones Differences in current density along the electron line vary greatly.

Der Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, einen sich in einer Längsrichtung erstreckenden Vorhang aus energiereichen Elektronen vorzusehen, der eine im wesentlichen gleichmäßige Dichte aufweist und den vorerwähnten Nachteilen nicht unterliegt.The invention is accordingly based on the object of providing a curtain that extends in a longitudinal direction from high-energy To provide electrons, which has a substantially uniform density and the aforementioned disadvantages not subject.

Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, auch eine neue Vorrichtung und ein neues Verfahren für die Erzeugung energiereicher Elektronen von allgemeinerer Verwendbarkeit anzugeben.Another object of the invention is to also provide a new apparatus and process for the generation of energetic electrons of more general utility to specify.

Weitere Merkmale der Erfindung werden nachstehend erläutert und sind Gegenstand der Ansprüche. Zusammengefaßt dient die Erfindung in einem ihrer weiten Aspekte der Formung einer raumladungsbegrenzten Linie von Elektronen zu einem Vorhang von im wesentlichen einheitlicher Elektronendichte, der Beschleunigung desselben längs den Vorhang ausbreitender Feldlinien und des anschließenden Hindurchführens des ausgebreiteten Vorhangs durch ein sich in einer Längsrichtung erstreckendes Fenster für Bestrahlungszwecke u. dgl.Further features of the invention are explained below and are the subject of the claims. In summary, the invention in one of its broad aspects serves to form a space-charge-limited line of electrons to a curtain of essentially uniform electron density, the acceleration the same along the curtain spreading field lines and the subsequent passing through of the spread Curtain through a window extending in a longitudinal direction for irradiation purposes and the like.

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert, deren einzige Abbildung eine perspektivischeThe invention is explained below with reference to the drawing, the only figure of which is a perspective

209852/0856209852/0856

22238232223823

Ansicht einer bevorzugten, nach dem erfindungsgemäßen Verfahren arbeitenden Vorrichtung zeigt, von der Teile, fortgebrochen sind, um Einzelheiten ihres Aufbaus zu veranschaulichen. Figure 3 shows a view of a preferred apparatus operating in accordance with the method of the invention, parts of which are broken away to illustrate details of its construction.

Gemäß der Zeichnung ist eine längliche Kathode 1 in Form eines Wolfram- oder anderen, Elektronen emittierenden, Iinienförmigen Drahtes oder indirekt geheizten Streifens o. dgl. vorgesehen, der an einer Kanone oder einem Kanal 3 aufgehängt ist. Dieser ist mit Wärmeabschirmwänden 5 versehen, wie sie, z.B. aus mehrschichtigem Wärmedämm-Material bestehend, von der Fa. Thermoelectron Corporation in WaI-tham, Mass. (Ver. St. A.), hergestellt und in deren Druckschrift vom Jahre 1970 "Multi-Foil Thermal Insulation" beschrieben werden. Der Kanal 3 ist an seinem Boden mit einem Steuergitter 7 versehen, das sich in Längsrichtung parallel zu der Kathode 1 und quer zu den Wänden des Kanals 3 erstreckt. Durch Steuerung des zwischen dem Steuer-Gitter 7 und der Kathode 1 angelegten Potentials, die leicht über Niederspannungssteuerverbindungen erreichbar ist, welche innerhalb des Hochspannungsverbindungs-Rohrs 20 entlanglaufen, und so geführt wird, daß das Steuer-Gitter negativ gegenüber der Kathode ist, werden die die verschieden temperierten Teile der Kathode 1 verlassenden Elektronen in der Weise raumladungsbegrenzt, daß ein im wesentlichen in Längsrichtung gleichmäßiger Strahl von einheitlicher Ladungsdichte über das Gitter 7 emittiert wird, der jedoch gewöhnlich eine nicht-gleichmäßige Ladungsdichte-Verteilung in Querrichtung aufweist, in der eine größere Dichte unter der Kathode 1 als quer dazu an ihren Seiten nahe den Wänden 5 des Kanals 3 besteht.According to the drawing, an elongated cathode 1 is in the form of a tungsten or other, electron-emitting, linear one Wire or indirectly heated strip or the like. Provided that on a cannon or a channel 3 is hung. This is provided with heat shielding walls 5, such as those made of multilayer heat insulating material consisting of Thermoelectron Corporation in WaI-tham, Mass. (Ver. St. A.), and described in their 1970 publication "Multi-Foil Thermal Insulation" will. The channel 3 is provided at its bottom with a control grid 7 which is parallel in the longitudinal direction to the cathode 1 and across the walls of the channel 3. By controlling the between the control grid 7 and the cathode 1, which is easily accessible via low voltage control connections, which run along within the high-voltage connection pipe 20, and is guided so that the control grid negative opposite is the cathode, the electrons leaving the different temperature parts of the cathode 1 are in the Space charge limited in a manner that is essentially a longitudinally uniform beam of uniform charge density is emitted via the grid 7, which, however, usually has a non-uniform charge density distribution in Has a transverse direction in which a greater density under the cathode 1 than transversely thereto on its sides near the walls 5 of channel 3 exists.

Dieser Strahl wird durch eine ihn vorzugsweise koaxial umgebende elektrostatische Abschirmung oder einen Faraday-This beam is surrounded by electrostatic shielding, preferably coaxially surrounding it, or by a Faraday

- 4 209852/0856 - 4 209852/0856

Käfig 11 geformt, der die Kathode 1 im wesentlichen axial enthält und ein weiteres Gitter 13 aufweist, das parallel zu der Kathode 1 und dem Steuer-Gitter 7 verläuft. Der Käfig 11 wird von einem aus dielektrischem Werkstoff bestehenden Teil getragen, wie z.B. der Vakuum-Anschluß-Buchse. Bei Anlegung eines geeigneten positiven Potentials an 11 gegenüber dem Steuer-Gitter 7 wird die nicht-gleichmäßige Ladungsdichte in Querrichtung in einen im wesentlichen gleichmäßigen Elektronen-Vorhang umgewandelt. Ein Anoden-Zylinder 15 umgibt koaxial den Käfig 11. Das ganze System ist bei 2 vakuumdicht abgeschlossen. Der Anoden-*Zylinder 15 enthält ein sich in Längsrichtung erstreckendes elektronendurchlässiges Fenster 17, z.B. aus Aluminium, das parallel zu den Gittern und 13 verläuft. Die Anoden-Einheit 15-17 wird auf einem Beschleunigungspotential gegenüber dem Käfig 11 gehalten, jedoch zwecks Vermeidung von elektrischen Schlag-Unfällen geerdet. Die radialen Spannungsgradienten- oder Feld-Linien, die so zwischen den Zylindern 11 und 15 (oder anderen etwa benutzten geometrischen Formen) erzeugt werden, lassen den Elektronen-Vorhang an dem weiteren Gitter 13 sich zwischen der Lücke oder dem Raum zwischen dem Käfig 11 und dem Zylinder 15 längs der radial verlaufenden Kraftlinien ausdehnen, indem so der Elektronen-Vorhang in der Weise verbreitert wird, daß er durch das Fenster 17 gleichmäßig und gleichzeitig alle Teile entsprechender länglicher oder sich in einer Richtung erstreckender, zu behandelnder Werkstücke (nicht * dargestellt) bestrahlt, die an dem Fenster 17 durch ein Förderband 19 oder eine andere Fördervorrichtung in der Pfeilrichtung vorbeibewegt, werden. Mit dieser Anordnung, bei der die Längsabmessung des Elektronen-Vorhangs sehr groß im Vergleich zu der Entfernung zwischen Kathode und Fenster ist, wird bei Aufbringung geeigneter Potentiale, wie noch erläutert werden wird, die gleichmäßige Stromdichte des ausgedehn-Shaped cage 11 of the cathode 1 substantially axially and has a further grid 13 which runs parallel to the cathode 1 and the control grid 7. The cage 11 is carried by a part made of dielectric material, such as the vacuum connection socket. at Applying a suitable positive potential to 11 across from the control grid 7 will result in the non-uniform charge density converted in the transverse direction into a substantially uniform curtain of electrons. An anode cylinder 15 surrounds the cage 11 coaxially. The entire system is vacuum-tight at 2. The anode * cylinder 15 contains a longitudinally extending electron-permeable window 17, e.g. made of aluminum, which is parallel to the grids and 13 runs. The anode unit 15-17 is on a Acceleration potential compared to the cage 11 held, but in order to avoid electric shock accidents grounded. The radial stress gradient or field lines that are so between the cylinders 11 and 15 (or other approximately used geometric shapes) are generated, the electron curtain on the further grid 13 can be between expand the gap or space between the cage 11 and the cylinder 15 along the radial lines of force, in that the electron curtain is widened in such a way that it passes through the window 17 uniformly and simultaneously all parts of corresponding elongated or unidirectional workpieces to be treated (not * shown) irradiated at the window 17 by a conveyor belt 19 or other conveyor device in the direction of the arrow be moved past. With this arrangement in which the longitudinal dimension of the electron curtain is very large in comparison to the distance between cathode and window is, when applying suitable potentials, as will be explained below the uniform current density of the expanded

209852/nRKS209852 / nRKS

ten Vorhangs aus energiereichen Elektronen an dem Fenster 17 im wesentlichen durch die Elektronen-Verteilung an dem Strahlformungs-Gitter 13 bestimmt und ist im wesentlichen unabhängig von dem Beschleunigungspotential, dessen breites Feld lediglich zum Ausdehnen und Beschleunigen des Elektronen-Vorhangs dient.th curtain of high-energy electrons on the window 17 essentially by the electron distribution on the Beam shaping grating 13 is determined and is essentially regardless of the acceleration potential, its broad field is only used to expand and accelerate the electron curtain serves.

Als Beispiel für ein praktisch ausgeführtes Gerät dieser Art lassen sich Vorhänge von energiereichen Elektronen von gleichmäßiger Stromdichte von 200 bis 2 000 /U A/cm2 erhalten bei einem Steuergitter-Kathoden-Potential von etwa - 20 V, einem Strahlformungs-Gitter-Potential von etwa + 300 bis 1 000 V und einem Beschleunigungspotential zwischen der geerdeten Anode 15 und dem Fenster 17 (etwa 203 mm im Durchmesser) von etwa1 150 kV. Mit einer 152 mm langen Wolfram-Draht-Kathode 1, die sehr lang im Vergleich zu ihrer etwa 0,25 mm betragenden Dicke 'ist, einem 152 mm langen, etwa 6 mm breiten Steuergitter 7» einem 152 mm langen, etwa 13 mm breiten Strahlformungs-Gitter 13, einem 152 mm langen, breiteren Fenster 17 (etwa 25 mm breit) zur Aufnahme des ausgedehnten Vorhangs wurde eine Ladungsdichten-Gleichförmigkeit von - 10% und besser über eine 152 mm betragende Strahlbreite erhalten.As an example of a practically implemented device of this type, curtains of high-energy electrons with a uniform current density of 200 to 2,000 / UA / cm 2 can be obtained with a control grid cathode potential of about -20 V and a beam-shaping grid potential of about + 300 to 1,000 V and an acceleration potential between the grounded anode 15 and the window 17 (about 203 mm in diameter) of about 1 150 kV. With a 152 mm long tungsten wire cathode 1, which is very long compared to its approximately 0.25 mm thickness, a 152 mm long, approximately 6 mm wide control grid 7 »a 152 mm long, approximately 13 mm wide beam forming grid 13, a 152 mm long, wider window 17 (about 25 mm wide) for receiving the extended curtain has a charge density uniformity of - 10% and more over a 152 mm draw beam width.

Patentansprüche - 6 - Claims - 6 -

209852/0856209852/0856

Claims (7)

PatentansprücheClaims Verfahren zur Bestrahlung von Gegenständen mit energiereichen Elektronenstrahlen, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig Elektronen längs einer Linie emittiert werden, daß die emittierten Elektronen durch Raumladung begrenzt werden und ein sich in einer Längsrichtung erstreckender und darin im wesentlichen gleichmäßige, in Querrichtung jedoch ungleichmäßige Dichte aufweisender Elektronenstrahl erzeugt wird, daß der sich in Längsrichtung erstreckende Elektronenstrahl so geformt wird, daß seine in Querrichtung ungleichmäßige Dichte in einen im wesentlichen gleichmäßige Dichte aufweisenden Elektronen-Vorhang umgewandelt wird, daß dieser Vorhang in ein elektrisches Beschleunigungs-Feld gelenkt und längs seiner Feldlinien ausgedehnt wird und daß der ausgedehnte Vorhang mit einer Stromdichtenverteilung, die im wesentlichen durch die Elektronenverteilung unmittelbar vor der Ausdehnung bestimmt ist, ausgebracht wird.Method for irradiating objects with high-energy electron beams, characterized in that, that at the same time electrons are emitted along a line, that the emitted electrons are limited by space charge and one extending in a longitudinal direction and substantially uniform therein, but in the transverse direction The electron beam having uneven density is generated that the one extending in the longitudinal direction Electron beam is shaped so that its transverse non-uniform density in a substantially An electron curtain with a uniform density is converted, so that this curtain is converted into an electrical curtain Acceleration field is directed and extended along its field lines and that the extended curtain with a current density distribution, which is essentially determined by the electron distribution immediately before the expansion is intended to be applied. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beschleunigenden elektrischen Feldlinien als radial verlaufende Linien zwischen zylindrischen Flächen in der Weise angeordnet werden, daß der Elektronen-Vorhang sich längs dieser radial verlaufenden Linien ausbreitet.2. The method according to claim 1, characterized in that the accelerating electrical Field lines are arranged as radial lines between cylindrical surfaces in such a way that that the electron curtain spreads along these radial lines. 3. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine sich in einer Längsrichtung erstreckende, Elektronen emittierende Kathode (1), ein Steuer-Gitter (7), das auf einer Seite3. Apparatus for performing the method according to claim 1, characterized by an in a longitudinally extending, electron-emitting cathode (1), a control grid (7) on one side - 7 209857/0856 - 7 209857/0856 der Kathode (1) angeordnet ist und sich in Längsrichtung an ihr entlang und quer zu ihr erstreckt, Mittel zur Zufuhr eines raumladungsbegrenzenden Potentials zwischen der Kathode (1) und dem Steuergitter (7) zur Erzeugung eines sich in Längsrichtung erstreckenden Elektronenstrahls am Ausgang des Steuergitters, der in Längsrichtung eine im wesentlichen gleichmäßige Dichte aufweist, die jedoch in der Querrichtung ungleichmäßig ist und eine im wesentlichen größere Dichte in der Mitte als in Querrichtung an den Seiten aufweist, einen Faraday-Käfig (11), der die Kathode (1) und das Steuergitter (7) umgibt und mit einem weiteren Gitter (13) versehen ist, das im wesentlichen parallel zu der Kathode (1) und dem Steuergitter (7) so angeordnet ist, daß es die in Querrichtung ungleichmäßige Elektronenstrahldichte in einen im wesentlichen gleichmäßige Dichte aufweisenden Vorhang umwandelt, eine Anode (15), die den Faraday-Käfig (11) umgibt und ein elektronendurchlässiges Fenster (15) aufweist, das im wesentlichen parallel zu den Gittern (7 und 13) verläuft, und durch Mittel zur Erzeugung eines Beschleunigungs-Spannungsgradienten-Feldes zwischen dem weiteren Gitter (13) und dem Fenster (15) in der Weise, daß der im wesentlichen gleichmäßige Dichte aufweisende Elektronen-Vorhang längs der Feldlinien ausgedehnt wird und durch das Fenster (17) mit einer an diesem herrschenden Stromdichtenverteilung hindurchgeht, die im wesentlichen durch die Elektronenverteilung an dem weiteren Gitter (13) bestimmt ist.the cathode (1) is arranged and extends in the longitudinal direction along it and transversely to it, means for supplying a space charge-limiting potential between the cathode (1) and the control grid (7) to Generation of a longitudinally extending electron beam at the output of the control grid, which is shown in Has a substantially uniform density in the longitudinal direction, but which is non-uniform in the transverse direction and has a substantially greater density in the center than in the transverse direction on the sides, a Faraday cage (11), which surrounds the cathode (1) and the control grid (7) and is provided with a further grid (13), which is arranged substantially parallel to the cathode (1) and the control grid (7) so that it is the transverse direction uneven electron beam density in a substantially uniform density curtain converts, an anode (15) which surrounds the Faraday cage (11) and has an electron-permeable window (15), which runs essentially parallel to the grids (7 and 13), and by means for generating a Acceleration voltage gradient field between the further grid (13) and the window (15) in such a way that that the electron curtain, which has an essentially uniform density, is extended along the field lines and passes through the window (17) with a current density distribution prevailing thereon which is substantially is determined by the electron distribution on the further grid (13). 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Zufuhr des raumladungsbegrenzenden Potentials das Steuergitter (7) negativ gegenüber der Kathode (1) halten und daß die Anode (15) geerdet ist, jedoch an einem positiven Poten-4. Apparatus according to claim 3, characterized in that that the means for supplying the space charge-limiting potential is the control grid (7) hold negative with respect to the cathode (1) and that the anode (15) is grounded, but at a positive potential - 8 2098S2/D856 - 8 2098S2 / D856 tial gegenüber dem weiteren Gitter (13) liegt.tial opposite the other grid (13). 5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Faraday-Käfig (11) und die ihn umgebende Anode (15) zylindrisch ausgebildet und im wesentlichen koaxial angeordnet sind.5. Apparatus according to claim 3, characterized in that the Faraday cage (11) and the anode (15) surrounding it are cylindrical and are arranged essentially coaxially. 6. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorrichtung (19) vorgesehen ist, die Werkstücke mit Längsabmessungen trägt, die denen des Fensters (17) entsprechen, an dem die Werkstücke vorbeibewegt werden, um eine im wesentlichen gleichmäßige und gleichzeitige, in Längsrichtung sich erstreckende Bestrahlung mit energiereichen Elektronen dturch den Elektronen-Vorhang zu erhalten.6. Apparatus according to claim 3, characterized in that a device (19) is provided, the workpieces with longitudinal dimensions carries, which correspond to those of the window (17) through which the workpieces are moved, by one substantially uniform and simultaneous, longitudinally extending irradiation with high-energy Getting electrons through the electron curtain. 7. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Längsabmessung des Elektronen-Vorhangs groß ist im Vergleich zu dem Abstand zwischen dem Steuergitter (7) und der Anode.. (15).7. Apparatus according to claim 3, characterized in that that the longitudinal dimension of the electron curtain is large compared to that Distance between the control grid (7) and the anode .. (15). Wb/Pe - 22 965Wb / Pe - 22,965
DE2229825A 1971-06-16 1972-06-15 Method and device for generating a high-energy electron beam Expired DE2229825C3 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15376971A 1971-06-16 1971-06-16

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2229825A1 true DE2229825A1 (en) 1972-12-21
DE2229825B2 DE2229825B2 (en) 1975-12-04
DE2229825C3 DE2229825C3 (en) 1980-11-06

Family

ID=22548668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2229825A Expired DE2229825C3 (en) 1971-06-16 1972-06-15 Method and device for generating a high-energy electron beam

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3702412A (en)
JP (1) JPS5710542B1 (en)
CA (1) CA963182A (en)
DE (1) DE2229825C3 (en)
GB (1) GB1356861A (en)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4048534A (en) * 1976-03-25 1977-09-13 Hughes Aircraft Company Radial flow electron gun
DE2823205C2 (en) * 1978-05-25 1986-05-22 Energy Sciences Inc., Bedford, Mass. Device for generating longitudinal strips of high-energy electron beams
FR2428913A1 (en) * 1978-06-15 1980-01-11 Energy Sciences Inc Appts. generating longitudinal strips of energetic electron beams - has slotted conductive cylinders concentrically mounted around cathode for electrostatic shielding and aperture lens focusing
US4273831A (en) * 1978-09-01 1981-06-16 Kemtec, Inc. Powdered polymer compositions produced by electron beam polymerization of polymerizable compositions
US4246297A (en) * 1978-09-06 1981-01-20 Energy Sciences Inc. Process and apparatus for the curing of coatings on sensitive substrates by electron irradiation
US4367412A (en) * 1978-11-03 1983-01-04 Tetra Pak Developpement Sa Process of and apparatus for cold-cathode electron-beam generation for sterilization of surfaces and similar applications
US4305000A (en) * 1978-11-03 1981-12-08 Tetra Pak Developpement Ltd. Process of and apparatus for cold-cathode electron-beam generation for sterilization of surfaces and similar applications
FR2471043A1 (en) * 1979-11-28 1981-06-12 Inst Elektrofizicheskoi Appa Electron irradiation device for webs - protected by curved housing covering drum opposite electron beam window
US4439686A (en) * 1980-09-16 1984-03-27 Tetra Pak Developpement Ltd. Electron beam-irradiating apparatus with conical bushing seal-support
US4382186A (en) * 1981-01-12 1983-05-03 Energy Sciences Inc. Process and apparatus for converged fine line electron beam treatment of objects
US4410263A (en) * 1982-03-01 1983-10-18 Eastman Kodak Company Sheet handling device for image transfer in an electrographic copier
US4490409A (en) * 1982-09-07 1984-12-25 Energy Sciences, Inc. Process and apparatus for decorating the surfaces of electron irradiation cured coatings on radiation-sensitive substrates
FI70346C (en) * 1983-05-03 1986-09-15 Enso Gutzeit Oy ANORDNING FOER AOSTADKOMMANDE AV EN ELEKTRONRIDAO
US4559102A (en) * 1983-05-09 1985-12-17 Sony Corporation Method for recrystallizing a polycrystalline, amorphous or small grain material
US4592799A (en) * 1983-05-09 1986-06-03 Sony Corporation Method of recrystallizing a polycrystalline, amorphous or small grain material
US4703256A (en) * 1983-05-09 1987-10-27 Sony Corporation Faraday cups
US4591756A (en) * 1985-02-25 1986-05-27 Energy Sciences, Inc. High power window and support structure for electron beam processors
US4652763A (en) * 1985-03-29 1987-03-24 Energy Sciences, Inc. Electron-beam irradiation sterilization process
US4642244A (en) * 1986-03-03 1987-02-10 Energy Sciences Inc. Method of and apparatus for electron beam curing coated, porous and other web structures
FI84961C (en) * 1989-02-02 1992-02-10 Tampella Oy Ab Method for generating high power electron curtain screens with high efficiency
US4983849A (en) * 1989-06-05 1991-01-08 Radiation Dynamics, Inc. Apparatus and method for promoting uniform dosage of ionizing radiation in targets
US5120972A (en) * 1990-12-11 1992-06-09 Energy Sciences, Inc. Method of and apparatus for improved nitrogen inerting of surfaces to be electron beam irradiated
GB2251631B (en) * 1990-12-19 1994-10-12 Mitsubishi Electric Corp Thin-film forming apparatus
US5126633A (en) * 1991-07-29 1992-06-30 Energy Sciences Inc. Method of and apparatus for generating uniform elongated electron beam with the aid of multiple filaments
US5254911A (en) * 1991-11-22 1993-10-19 Energy Sciences Inc. Parallel filament electron gun
US5236159A (en) * 1991-12-30 1993-08-17 Energy Sciences Inc. Filament clip support
US5194742A (en) * 1992-01-21 1993-03-16 Energy Sciences Inc. Method of and apparatus for shielding electron and other particle beam accelerators
DE4227873A1 (en) * 1992-08-22 1994-02-24 Leybold Ag Process and device for the continuous coating of non-conductive films in a vacuum
CA2126251A1 (en) 1994-02-18 1995-08-19 Ronald Sinclair Nohr Process of enhanced chemical bonding by electron beam radiation
US5962995A (en) † 1997-01-02 1999-10-05 Applied Advanced Technologies, Inc. Electron beam accelerator
US7931787B2 (en) * 2002-02-26 2011-04-26 Donald Bennett Hilliard Electron-assisted deposition process and apparatus
US20090156079A1 (en) 2007-12-14 2009-06-18 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Antistatic breathable nonwoven laminate having improved barrier properties
US20100159195A1 (en) * 2008-12-24 2010-06-24 Quincy Iii Roger B High repellency materials via nanotopography and post treatment
CN102196655B (en) * 2010-03-11 2013-05-01 嘉兴兆泓科技有限公司 Multi-filament wide-beam electronic curtain
CN103620695B (en) * 2011-07-04 2017-08-01 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 Electron beam device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2887599A (en) * 1957-06-17 1959-05-19 High Voltage Engineering Corp Electron acceleration tube
US3099762A (en) * 1962-01-15 1963-07-30 Hertz Michael Cathode ray tube using replaceable cathode

Also Published As

Publication number Publication date
CA963182A (en) 1975-02-18
DE2229825B2 (en) 1975-12-04
US3702412A (en) 1972-11-07
JPS5710542B1 (en) 1982-02-26
GB1356861A (en) 1974-06-19
DE2229825C3 (en) 1980-11-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2229825A1 (en) Apparatus and method for producing a curtain of high-energy electrons
DE2628076C2 (en) Electron gun for irradiating an area arranged outside the electron gun with an electron beam
DE2254904C2 (en) Electron emitting device for irradiating an area arranged outside the device with an electron beam
DE1589773A1 (en) Support for electron window
DE3429591A1 (en) ION SOURCE WITH AT LEAST TWO IONIZATION CHAMBERS, IN PARTICULAR FOR THE FORMATION OF CHEMICALLY ACTIVE ION RAYS
DE1920300A1 (en) Device for inducing nuclear fusions
DE2314681B2 (en) METHOD AND DEVICE FOR GENERATING A BEAM BEAM OF ENERGY-RICH, CHARGED PARTICLES
DE3833604A1 (en) Pulsed particle source on the basis of rapidly repolarisable ferroelectrics
EP3642861B1 (en) Apparatus for generating accelerated electrons
EP3590125B1 (en) Apparatus for generating accelerated electrons
DE1808719A1 (en) Method and device for treating surface layers by irradiating with charge carrier beams
DE2349302A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING PARTICLES WITHIN A PLASMA
DE2040158B2 (en) Process and its application to achieve a low loss of intensity when exiting an electron accelerator
DE1597897B2 (en) METHOD AND DEVICE FOR UNIFORM NEGATIVE CHARGING OF A SURFACE BY A CORONA DISCHARGE
DE2016038A1 (en) Ion source
DE2064273A1 (en) Method for controlling the intensity of an electron beam and Vornch device for this
DE3511141C2 (en)
DE2502524A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR THERMAL TREATMENT OF OBJECTS USING HIGH FREQUENCY ELECTRIC FIELD
DE2712829C3 (en) Ion source
DE2521427C3 (en) Electron beam processing system with several beam generation systems that can be operated at the same time
DE1772154C3 (en) Method and device for charging an electrically insulating surface by corona discharge with negative charge carriers
DE4305524C2 (en) Device for removing ions
DE1614934A1 (en) Circuit arrangement and device for electron irradiation devices, in particular for the irradiation of fruits or material surfaces
DE1950872C (en) Electron gun
DE1539127B2 (en) Ion getter pump

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee