DE2228298A1

DE2228298A1 - ARRANGEMENT FOR OBSERVING AND ADJUSTING COMPONENTS OR TOOLS IN SEMI-CONDUCTOR MANUFACTURING

Info

Publication number: DE2228298A1
Application number: DE19722228298
Authority: DE
Inventors: Joachim Pauls
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1972-06-09
Filing date: 1972-06-09
Publication date: 1973-12-20

Description

Anordnung zum Beobachten und Justieren von Bauteilen oder Hilfsmittel der Halbleiterfertigung Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Beobachten und Justieren von Bauteilen oder Hilfsmitteln der Halbleiterfertigung mit einem Mikroskop. In der Fertigung -von Halbleiterelementen werden bei mehreren Arbeitsgängen, z.B.Arrangement for observing and adjusting components or aids The invention relates to an arrangement for observation and Adjustment of components or aids in semiconductor production with a microscope. In the manufacture of semiconductor elements, several operations, e.g.

beim Zusammensetzen von Bauteilen oder beim Justieren von Hilfsmitteln, wie Masken, Mikroskopegzur Beobncbtung verwendet. Die Wellenläge des zur Beobachtung verwende#ten Lichtes soll nur möglichst wenig von der Wellenlänge des Lichtes abweichen, mit dem die durch die Masken teilweise abgedeckte fotoempfindliche Deckschicht belichtet wird.when assembling components or adjusting tools, such as masks, microscopes, etc. used for observation. The wave length of the observation The light used should deviate as little as possible from the wavelength of the light, with which the photosensitive cover layer partially covered by the masks is exposed will.

Dabei ist man in der Intensität des Beobachtungslichtes begrenzt, da sonst Fehlbelichtungen auftreten können. Dem Einsatz von Fernsehanlagen, deren Kamera mit einer normalen Vidiconröhre bestückt ist, steht entgegen, daß die geringe Intensität des zur Verfügung stehenden Beobachtungslichtes und die verwendete Schmalbandigkeit der spektralen Empfindlichkeit der Fotoschicht keine ausreichend kontrastreichen Bilder ergibt.One is limited in the intensity of the observation light, otherwise incorrect exposures can occur. The use of television systems, their The camera is equipped with a normal vidicon tube, is contrary to the fact that the low Intensity of the available observation light and the narrow band used the spectral sensitivity of the photo layer is not sufficiently high in contrast Images.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zu schaffen, mit der das Beobachten und Justieren von Bauteilen oder Hilfsmitteln der Halbleiterfertigung vereinfacht und erleichtert wird.The present invention is based on the object of an arrangement to create, with which the observation and adjustment of components or aids semiconductor manufacturing is simplified and facilitated.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mit dem Mikroskop eine Fernsehkamera mit einer Aufnahmeröhre vom SE idicontyp verbunden ist, an die ein Sichtgerät angeschlossen ist, auf dessen vom Bedienungsplatz aus beobachtbaren Bildschirm das von der Kamera auBgenommene Bild wiedergegeben wird.According to the invention this object is achieved in that with the microscope a television camera is connected to a SE idicon type pickup tube to which a viewing device is connected to its from the operator station the image recorded by the camera is reproduced from the observable screen will.

Da in manchen Fällen Details des entstehenden Halbleiterelementes besser erkennbar sind, wenn das von der Kamera aufgenommene Bild als Negativbild wiedergegeben wird, in anderen Fällen aber die Erkennbarkeit auf Positivbildern besser ist, ist vorteilhaft in den Videosignalweg eine Vorrichtung eingeschaltet, mit der die Darstellung auf dem Bildschirm als Positiv-oder als Negativbild wählbar ist.In some cases there are details of the resulting semiconductor element are easier to see if the image captured by the camera is a negative image is reproduced, but in other cases the recognizability on positive images is better, a device is advantageously switched into the video signal path, with which the display on the screen can be selected as a positive or negative image is.

Ferner ist es günstig, wenn zur Anpassung an unterschiedliche Bauteile oder Hilfsmittel, vor allem, wenn deren Grauwerte verschieden sind, die Fotokathodenspannung der Aufnahmeröhre regelbar ist. Damit kann die Empfindlichkeit der Aufnahmerbhre auf die verschiedenen Grauwerte der beobachteten Gegenstände eingestellt werden.It is also advantageous if for adaptation to different components or aids, especially if their gray values are different, the photocathode voltage the pickup tube is adjustable. This can reduce the sensitivity of the receiving tube can be adjusted to the different gray values of the observed objects.

Schließlich ist zweckmäßig das optische System des Mikroskops und der Fernsehkamera für die Wellenlänge des verwendeten Lichtes korrigiert.Finally, the optical system of the microscope and is useful corrected by the television camera for the wavelength of the light used.

Anhand der Zeicklung werden im folgenden die Erfindung sowie weitere Vorteile und Ergänzungen näher beschrieben und erläutert.Based on the drawing, the invention and others are described below Advantages and additions described and explained in more detail.

Auf dem Objekttisch eines Mikroskops 1 liegt das entstehende Halbleiterelement, auf dem z.B. eine Maske justiert werden soll. Die Justiervorrichtung sowie das Halbleiterelement und die Maske sind nicht dargestellt. Das von dem Mikroskop 1 erzeugte Bild wird mittels eines Projektionsobjektives mit den Linsen 2 und 3 die sich in einem Tubus 4 befinden, auf die Fotokathode 6 einer BildauSnahmerdhre 7 vom SEC-Vidicontyp projiziert. Die Aufnabmeröhre 7 ist Bestandteil einer Fernsehaufnahmekamera 8, in der sich alle zur Impulsaufbereitung und zur Impulsherstellung erforderlichen Teile einer Ferneehanlage befinden. Ferner enthält die Kamera 8 einen Videoverstärker sowie eine Impulsmischstufe, so daß sie an ihrem Ausgang ein sogenanntes BAS-Signal einer gebräuchlichen Norm abgibt. In der Kamera 8 ist ferner in den Videosignalweg eine Vorrichtung eingeschaltet, mit der das Videosignal derart verändert werden kann, daß auf dem Bildschirm entweder. ein Positiv oder ein Negativ des aufgenommenen Bildes erscheint. Zur Umschaltung von der einen auf die andere Darstellungsart dient ein Schalter 9. Eine solche Umschaltmöglichkeit ist erwünscht, weil häufig Markierungen oder andere Deteils in der einen oder anderen Darstellungsart besser zu erkennen sind.The resulting semiconductor element lies on the stage of a microscope 1, on which e.g. a mask is to be adjusted. The adjustment device and the semiconductor element and the mask are not shown. The image generated by the microscope 1 becomes by means of a projection objective with lenses 2 and 3 which are in a tube 4 are projected onto the photocathode 6 of an image-recording device 7 of the SEC-Vidicon type. The pick-up tube 7 is a component a television recording camera 8, in which all necessary for pulse preparation and for pulse production Parts of a television system are located. The camera 8 also contains a video amplifier and a pulse mixer, so that it has a so-called BAS signal at its output a common standard. In the camera 8 is also in the video signal path switched on a device with which the video signal are changed in this way can do that on the screen either. a positive or a negative of the recorded Image appears. Used to switch from one type of display to the other a switch 9. Such a switchover option is desirable because markings are often used or other details can be better recognized in one way or another are.

Die Kamera 8 enthält ferner einen Hochspannungsteil 11 für die Erzeugung der Fotokathodenspannung. Mittels eines Reglerknopfes 10 kann die Hochspannung verändert werden und die Empfindlichkeit der Aufnahmeröhre an das jeweils aufgenommene Bild angepaßt werden.The camera 8 also contains a high-voltage part 11 for generation the photocathode voltage. The high voltage can be changed by means of a control button 10 and the sensitivity of the pick-up tube to the picture taken be adjusted.

4. Patentansprüche 1 Figur4. Claims 1 figure

Claims

Claims 0 Arrangement for observing and adjusting components or auxiliary means of semiconductor production with a microscope, characterized in that with the microscope a television camera (8) with a receiving tube (7) of the SEC-Vidicon type is connected, to which a display device is connected, on its from the operator station the image recorded by the camera (8) is reproduced from the observable screen will.

2. Arrangement according to claim 1, characterized in that in the Video signal path a device is switched on, with which the representation on the Screen can be selected as a positive or negative image.

3. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the photocathode voltage to adapt to different components or aids the pickup tube is adjustable.

4. Arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that that the optical system of the microscope and the television camera for the wavelength of the light used is corrected.