DE2151781A1 - Optical light guide - made by depositing optically conductive copolymer on insulating substrate - Google Patents

Optical light guide - made by depositing optically conductive copolymer on insulating substrate

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Abstract

An optical light guide is produced by applying an optically conductive layer in the desired pattern configuration to the surface of an optically insulating substrate. The pattern can be formed by grooves in the latter which are filled out with an optical conductor by casting or growing. A prefd. method is rolling or pressing the pattern from a sandwich made up of a conductive and an insulating foil.

Description

Verfahren zur Herstellung von Lichtleitern und Lichtleiteranordnung Die Erfindung bezieht sich auf optische und elektronenoptische Nachrichtenmittel, insbesondere auf ein Verfahren zur Herstellung von Lichtleitern sowie auf eine Lichtleiter anordnung, die auf verschiedenen Gebieten der Optoelektronik, insbesondere bei der Herstellung von integrierenden optischen und optoelektronischen Einrichtungen wie z. P, verschiedenen logischen Systemen verwendet werden können, in denen die Informationsübertragung mit Hilfe von Lichtstrahlen erfolgt. Process for the production of light guides and light guide assemblies The invention relates to optical and electron-optical communication media, in particular a method for producing light guides and a light guide arrangement used in various fields of optoelectronics, especially in the Manufacture of integrating optical and optoelectronic devices such as z. P, different logical systems can be used in which the information transfer done with the help of rays of light.

Bekanntlich werden zur Informationsübertragung mittels eines Lichtsignals optische Systeme benutzt, die aus einzelnen optisch isolierten zylindrischen Fasern (optischen Elementen) gebildet werden, wobei die letzteren in einer vorher bestimmten Ordnung zu einem Lichtleiter verbunden werden0 Besonders in logischen Systemen wird es bei der Informationsübermittlung notwendig, einen Teil der Information tragenden Lichtstrahlung über verschiedene Kanäle seitwärts abzuleiten sowie den Abstand der Lichtleiter voneinander genau einzuhalten0 Für den Aufbau derartiger Systeme benutzt man ein Verfahren, bei dem an den Hauptlichtleiter zur Bildung einer Abzweigung an einer bestimmten Stelle ein Seitenlichtleiter angeschlossen wird. Der Anschluß erfolgt durch Ankleben oder Anschmelzen. Dabei kann aber kein hochwertiger optischer Kontakt gewährleistet werden; das Anschmelzen kann außerdem zur Verletzung der Lichtleiterstruktur führen. It is known that information is transmitted by means of a light signal optical systems made up of individual optically isolated cylindrical fibers (optical elements) are formed, the latter in a predetermined Order to be connected to a fiber optic cable0 Especially in logical systems it is necessary in the transmission of information to carry part of the information Derive light radiation sideways through different channels as well as the distance between the Optical fibers must be strictly observed from each other0 Used for the construction of such systems one a process in which the main light guide to form a branch a side light guide is connected at a certain point. The connection takes place by gluing or melting. But there can be no high-quality optical Contact will be guaranteed; the melting can also damage the light guide structure to lead.

Die eng begrenzte Gruppe von Stoffen, die zur Durchführung dieses Verfahrens geeignet sind (und dieses Verfahren setzt die Anwendung von ziehbaren Stoffen voraus), sowie das Unvermögen, veränderliche geometrische Formen oder verschiedenen Gehalt an Komponenten entlang der Lichtleiter zu erhalten, sind ebenfalls Mängel des erwähnten Verfahrens. The narrowly limited group of substances used to carry this out Method are appropriate (and this method implies the use of draggable Fabrics advance), as well as the inability to create changeable geometric shapes or different Maintaining component content along the light guide are also deficiencies of the procedure mentioned.

Schließlich bietet der Anschluß der Elemente mit Faserstrukturen an nichtfaserige Elemente wie Strahler, Empfänger, Modulatoren besondere-Herstellungsschwierigkeiten und wird zur Zeit praktisch von Hand ausgeführt. Finally, the connection of the elements with fiber structures offers to non-fibrous elements such as radiators, Receivers, modulators special manufacturing difficulties and is currently practically carried out by hand.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, unter Verringerung der erwähnten Mängel ein Verfahren zur Herstellung von Lichtleitern mit beliebigen vorher festgelegten Formen zu entwickeln und dabei die Gruppe der für die Herstellung der Lichtleiter geeigneten Werkstoffe zu erweitern, die Erzeugung von Lichtleitern mit veränderlichen geometrischen Formen oder mit verschiedenem Gehalt an Komponenten entlang der Lichtleiter zu ermöglichen und Voraussetzungen für die Mechanisierung der Herstellung von Lichtleiteranordnungen zu schaffen Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren zur Herstellung von Lichtleitern mit einem lichtleitenden Element, das von optisch isolierenden Elementen umgeben ist, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Herstellung des lichtleitenden Elements durch Auftragung einer lichtleitenden Schicht in der Art eines der vorgegebener Lichtleiterform entsprechenden verzweigten Musters auf die Innenfläche wenigstens einer von Schichten erfolgt, die als optisch isolierende Elemente dienen. The invention is based on the object while reducing the A method of making light guides with any of the above mentioned shortcomings to develop specified forms and thereby the group of responsible for the manufacture of the Light guides to expand suitable materials, the production of light guides with variable geometric shapes or with different content of components along the light guide to enable and requirements for mechanization to create the production of light guide assemblies This task is at a Process for the production of light guides with a light-guiding element that is surrounded by optically isolating elements, solved according to the invention by that the production of the light-guiding element by applying a light-guiding Layer in the manner of a branched corresponding to the predetermined light guide shape Pattern on the inner surface of at least one of layers takes place, which is considered to be optical insulating elements are used.

Bei der Herstellung von Lichtleitern können wenigstens-in einer optisch isolierenden Schicht Nuten entsprechend der vorgegebenen Lichtleiterform gebildet werden, die man nachher mit einem optisch leitenden Stoff füllt. When producing light guides, at least one can be optically insulating layer formed grooves corresponding to the predetermined shape of the light guide which are then filled with an optically conductive substance.

Bei der mechanischen Erzeugung von Lichtleitern werden wenigstens zwei durch eine optisch isolierende und eine lichtleitende Folie-gebildete Schichten mit einem Werkzeug eingedrückt, dessen Oberfläche ein der vorgegebenen Lichtleiterform entsprechendes Relief aufweist; Ein gesondert geformtes verzweigtes Lichtleitersy stem ist durch optisch isolierende Überzüge zu umgeben, Im Inneren des optisch isolierenden Werkstoffes sind Figurenhohlräume zu bilden, die nachher durch -lichtleitenden Werkstoff gefüllt werden0 Der aufzutragende lichtleitende Werkstoff kann seiner Länge nach oder huber seinen Querschnitt unterschreo che optische Kennwerte aufweisen0 Bei der Bildung von Nuten oder Hohlräumen in der optisch isolierenden Schicht wird die licht leitende Schicht als Folie ausgebildet, die die Oberflächen der Nuten n der optisch isolierenden Matrize bedeckt. In the mechanical production of light guides will at least two formed by an optically insulating and a light-conducting film Layers pressed in with a tool, the surface of which is one of the specified Light guide shape has corresponding relief; A separately shaped branched one The fiber optic system is to be surrounded by optically insulating coatings, inside of the optically insulating material, figure cavities are to be formed be filled by -light-guiding material0 The light-guiding material to be applied The length of the material or its cross-section may be less than optical Have characteristic values0 When forming grooves or cavities in the optically insulating Layer, the light-conducting layer is formed as a film that covers the surfaces of the grooves n of the optically isolating die.

Ein Lichtleiter kann auf einer Unterlage durch Kristallzüchtung erzeugt werden0 Dabei kann man die Kristall schicht mit größerem Brechungsindex, aus der z. BG durch Ätzung ein verzweigter Lichtleiter geformt wird, mit einer optisch isolierenden Schicht überziehen. Kristalle die einen Lichtleiter bilden, können in Nuten- gezüchtet werden, die man vorher in der Unterlage erzeugt0 Zur Herstellung von Lichtleitern wird eine optisch leitende lichtempfindliche Schicht durch ein vorgegebenes Muster belichtet, entwickelt und fixiert, wobei unbelichtete Abschnitte einen durch optisch isolierende Schicht begrenzten Lichtleiter mit gewünschter Form bilden0 Eine mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens und seiner Abwandlungen hergestellte Lichtleiteranordnung weist einen profilierten verzweigten Lichtleiter auf, der eine einheitliche lichtleitende Schicht darstellt und von einem optisch isolierenden Stoff umgeben ist0 Bei einer solchen Lichtleiteranordnung können in die optisch isolierende Schicht Elektroden und Elemente einer elektrischen Schaltung eingebaut werden, die zusammen mit der Lichtleiteranordnung optoelektronische Einrichtungen bilden. A light guide can be produced by growing crystals on a base be0 You can use the crystal layer with a larger refractive index from which z. BG a branched light guide is formed by etching, with an optically insulating Cover layer. Crystals that form a light guide can be grown in grooves that are created in the base beforehand 0 For the production of light guides becomes an optical one conductive photosensitive layer by a predetermined one Pattern exposed, developed and fixed, with unexposed sections one through Form optically insulating layer limited light guide with the desired shape0 One produced by means of the method according to the invention and its modifications Light guide arrangement has a profiled branched light guide, the one represents uniform light-guiding layer and of an optically insulating Fabric is surrounded0 With such a light guide arrangement in the optically insulating layer built-in electrodes and elements of an electrical circuit which together with the light guide arrangement optoelectronic devices form.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einzelner Lichtleiter, verzweigter (profilierter) Lichtleiter und ganzer optischer und optoelektronischer Einrichtungen weist im Vergleich mit bekannten Verfahren eine Reihe von Vorteilen auf, da es die Herstellung ermöglicht, von Lichtleitern mit rechteckigem und spitzwinkliger Querschnitt sowie von Lichtleitfaser-Systemen, dartnter auch verzweigten Systemen ohne manuelle Bearbeitung und in beliebig großen Serien identischer Erzeugnisse Außerdem gestattet dieses Verfahren, für die Herstellung von Lichtleitern neue Gruppen von Werkstoffen zu benutzen (bisher wurden in der Glasfaseroptik nur ziehfähige Stoffe verwendet). Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist auch die Fig. 6 a, b und c verschiedene Herstellungsstufen von räumlichen Lichtleitern;-Fig. 7 a, b, c und-d eine andere Herstellungsvariante für räumliche Lichtlelter; Fig. 8 a, b und c verschiedene Stufen der Herstellung von Lichtleitern mit größerer Ausdehnung; Fig. 9, 10 und 11 verschiedene Varianten des Verfahrens zur Herstellung von Hohllichtleitern; Fig. 12 a und b einen mehrschichtigen Lichtleiter; Fig. 13 a und b ein Verfahren zur Herstellung von Lichtleitern mit Benutzung eines Modells; Fig. 14 und 15 ein Verfahren zur Herstellung von "gedruckten" Lichtleiteranordnungen. The inventive method for producing individual light guides, branched (profiled) light guide and whole optical and optoelectronic Equipment has a number of advantages compared to known methods on, as it enables the manufacture of light guides with rectangular and acute-angled Cross-section as well as optical fiber systems, and also branched systems without manual processing and in any large series of identical products In addition, this process allows new groups for the production of light guides of materials to use (previously only drawable Substances used). With the method according to the invention is also the Fig. 6 a, b and c different manufacturing stages of spatial light guides; -Fig. 7th a, b, c and -d another manufacturing variant for spatial light filters; Fig. 8 a, b and c different stages in the manufacture of light guides of larger dimensions; 9, 10 and 11 different variants of the method for producing hollow light guides; FIGS. 12 a and b show a multilayer light guide; 13 a and b show a method for the production of light guides using a model; Figs. 14 and 15 a Process for making "printed" light guide assemblies.

Ausführungsbeisniel 1 Auf eine dielektrische Platte 1 (Fig0 1 a) mit einem Brechungsindex nl und einem geringen Absorptionskoeffizienten (also mit Durchsichtigkeitsbedingungen) wird ein lichtleitendes Element 2 in der Form eines Streifens (einer Ader) aus durchsichtigem Stoff mit einem Brechungsindex n2 aufgetragen, wobei n2 > nl ist. Das aufgrund einer vorgegebenen Lichtleitungsskizze aufgetragene lichtieitende Element 2 bildet somit den gewunschten, gegebenenfalls einen verzweigten Lichtleiter. Embodiment 1 on a dielectric plate 1 (Fig0 1 a) with a refractive index nl and a low absorption coefficient (i.e. with Transparency conditions) becomes a light-guiding member 2 in the form of a Applied to a strip of transparent fabric with a refractive index n2, where n2> nl. The one applied on the basis of a given light pipe sketch light-conducting element 2 thus forms the desired, possibly branched one Light guide.

Herstellung von Lichtleitern mit einem beliebigen verändereichen Profil sowie mit nach Lichtlejterlänge oder -querschnitt veränderlichen optischen Eigenschaften möglich.Manufacture of light guides with any variable profile as well as with variable optical properties according to the length or cross-section of the light guide possible.

Eine weitere Möglichkeit ergibt sich für die Verbindung von Lichtleitungen mit nichtoptischen Elementen wie Strahlern, Empfängern, Deflektoren, Modulatoren usw0 In der nachstehenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen für die Herstellung der Lichtleiter und anhand der beiliegenden Zeichnung wird die Erfindung näher erläutert.Another possibility arises for the connection of light lines with non-optical elements such as emitters, receivers, deflectors, modulators etc. In the following description of exemplary embodiments for the production the light guide and with reference to the accompanying drawing, the invention is explained in more detail.

Hierbei zeigen: Fig. 1 a und b einen verzweigten Lichtleiter, der durch Auftragung eines lichtleitenden Stoffes auf eine Platte hergestellt wurde; Fig. 2 a, b, c und d den Querschnitt eines Licl-icleiters mit verbesserter optischer Isolation sowie verschiedene Stufen seiner Herstellung; Fig. 3 a, b, c und d verschiedene Stufen der Herstellung einer Lichtleiteranordnung durch Ätzung;-Fig. 4 a, b, c, d, e und f verschiedene Herstellungsstufen einer Lichtleitereinrichtung mit mehrschichtiger Anordnung der Lichtleiter; Fig. 5 a, b, c, und d verschiedene Herstellungsstufen - von Lichtleitern mit vorgegebenem Querschnitt; und der Methacrylreihe benutzen, nachdem die Stoffe nach ihren relativen Brechungsindizes gewählt worden sind0 Für das Überziehen der Oberfläche des Lichtleitermusters kann man den Stoff der Platte oder einen beliebigen anderen Werkstoff mit einem Brechungsindex benutzen, der kleiner als der des Lichtleiterstreifens ist.1 a and b show a branched light guide which produced by applying a photoconductive substance to a plate; Fig. 2 a, b, c and d show the cross section of a light-ic conductor with improved optical Isolation, as well as various stages of its manufacture; Fig. 3 a, b, c and d different Stages in the production of a light guide arrangement by etching; -Fig. 4 a, b, c, d, e and f different manufacturing stages of a light guide device with multilayer Arrangement of light guides; 5 a, b, c and d show different stages of manufacture - of light guides with a given cross-section; and the methacrylic series use after the substances have been chosen according to their relative refractive indices are0 For covering the surface of the light guide pattern one can use the fabric use the plate or any other material with a refractive index, which is smaller than that of the light guide strip.

Bei Benutzung von geschmolzenen schwerschmelzbaren Stoffen (Glas, Quarz) müssen sowohl die Schmelztemperaturen abgestimmt (für die Platte nimmt man einen Stoff mit größerer Schmelztemperatur und/oder größerer Viskosität) als auch die Wärmeausdehnungskoeffizienten im ganzen Betriebstemperaturbereih in Übereinstimmung gebracht werden. Nimmt man Gläser mit annähernd gleichen Erweichungstemperaturen, so kann man auf den Werkstoff der Platte Streifen aus einem Stoff mit größerer Viskosität als beim Plattenwerkstoff auftragen, wodurch das Zerfließen des aufzutragenden Stoffes auf der Platte verhindert wird. When using melted, refractory materials (glass, Quartz) both the melting temperatures must be matched (for the plate one takes a substance with a higher melting temperature and / or higher viscosity) as well as the coefficients of thermal expansion in the entire operating temperature range are consistent to be brought. If you take glasses with approximately the same softening temperatures, so you can on the material of the plate strips of a substance with greater viscosity than with the panel material, which causes the material to be applied to flow away on the plate is prevented.

Dabei können sich die Lichtleiteradern je nach Viskosität und Dichte ganz oder zum Teil in den Werkstoff der Platte versenken.The fiber optic wires can vary depending on viscosity and density Countersunk completely or partially in the material of the plate.

Die vorprogrammierte Querschnittsänderung beim Lichtleiterstreifen (oder bei der Lichtleiterader) erfolgt durch Änderung der Gießkopfgeschwindigkeit. Eine Abzweigung kann entweder durch Aufteilung der einzupressenden Werkstoffströmung in zwei Zweige gebildet werden, indem z. B. The preprogrammed change in cross-section for the light guide strip (or in the case of the fiber optic cable) is carried out by changing the speed of the casting head. A branch can either be made by dividing the material flow to be injected be formed into two branches by e.g. B.

zwei Gießköpfe, die einen Streifen abgegossen haben, allmählich auseinanderlaufen, und in die Strömung von außen eine Trennvorrichtung eingeführt wird, die sie in vorge- Die Platte 1, die in dieser Weise hergestellte Lichtleiter (oder auch andere angeklebte, in Hohlräume eingesetzte oder anders befestigte Elemente) trägt, wird von oben ganz oder zum Teil mit einer durchsichtigen Schutzschicht 3 überzogen, deren Stoff einen Brechungsindexwn3 hat, wobei n3 < n2 ist.two watering heads that have poured a strip are gradually diverging, and a separation device is introduced into the flow from the outside, which it in presented The plate 1, the light guide produced in this way (or other glued, inserted into cavities or otherwise fastened elements) is completely or partially covered with a transparent protective layer 3 coated, the substance of which has a refractive index wn3, where n3 <n2.

Die Lichtleiter können auf die Platte wie folgt aufgetragen werden. Sie können aus einer Lösung oder einer Schmelze des zur Bildung eines lichtleitenden Streifens bestimmten Stoffes mittels eines nach einem festgelegten Programm geführten Gießkopfes eingedrückt oder gegossen werden. Die Dicke und die Höhe des Streifens hängt dabei ab von der Geschwindigkeit, mit der der Streifen eingepreßt und der Gießkopf geführt wird, von der Stoffviskosität, Aushärtungszeit und der AdhäsionskraftO Alle diese Kennwerte kann man in weiten Grenzen variieren und dadurch eine Lichtleiterdicke von einigen Mikrometern bis zu einigen Zentimetern erhalten. The light guides can be applied to the plate as follows. They can be made from a solution or a melt to form a light-conducting Strip certain material by means of a guided according to a fixed program Casting head can be pressed in or poured. The thickness and height of the strip depends on the speed with which the strip is pressed in and the Casting head is guided by the material viscosity, curing time and the adhesive forceO All of these parameters can be varied within wide limits and thus a light guide thickness obtained from a few micrometers to a few centimeters.

Für die Herstellung von Lichtleitern kann man eine aus dem Nischpolymer Polybutylmethacrylat (n1 = 1,47) hergestellte Platte von beliebiger Dicke und Form verwenden, wobei der lichtleitende Streifen-aus einer- ösung oder 1 einer Schmelze eines Styrol-Mischpolymers (n2 = 1,59) oder aus einer Hischung erzeugt wird, bei der die Gewichtsanteile von Komponenten die erforderliche Größe von n1 er geben. Für das beschriebene Verfahren sowie für die nachstehend erläuterten Verfahren zur Herstellung von optischen Einrichtungen kann man alle Polymere der Acrylgebenem Verhältnis und mit vorgegebener Geschwindigkeit teilt, oder man bildet einen Zweig-, indem man eine neue Ader an einer bestimmten Stelle des eingedrückten Lichtleiters einzupressen beginnt, Beim Einpressen kann die Zusammensetzung des Lichtleiterstreifens (bzw, -ader) geändert werden. Beispielsweise kann man die prozentuelle Zusammensetzung eines Gemisches von Styrol- und Methylmethacrylat-Oopolymeren ändern, in die Mischpolymere Chelate von Elementen der seltenen Erden zur Bildung von Lichtleiterabsohnitten einführen, die zur induzierten Emission fähig sind, ins Glas Neodymatome einbauen usw. For the production of light guides one can use one from the niche polymer Polybutyl methacrylate (n1 = 1.47) made sheet of any thickness and shape use, whereby the light-guiding strip is made of a solution or 1 of a melt of a styrene mixed polymer (n2 = 1.59) or from a mixture which give the weight fractions of components the required size of n1. For the method described and for the methods explained below for Manufacture of optical devices can be made from all acrylic polymers relationship and divides at a given speed, or one forms a branch by to press a new wire into a certain point of the pressed-in light guide begins, When pressing in, the composition of the light guide strip (or -ad) can be changed. For example, you can use the percentage composition of a mixture of styrene and methyl methacrylate copolymers change into the mixed polymers Chelates of rare earth elements to form fiber optic subsections introduce that are capable of induced emission, incorporate neodymium atoms into the glass etc.

Ausführungsbeispiel 2 Zur Verbesserung der optischen Isolation von L chtleitern und/oder zur Verkleinerung ihrer Apertur kann man die Lichtleiter mit zusätzlichen dielektrischen Hüllen herstellen, die einen Brechungsindex n' aufweisen, wobei nl < n' < n2 sein soll. Zum Beispiel wird aaf eine aus Polybutylmethacrylat hergestellte Platte 4 (n') nach Fig. Embodiment 2 To improve the optical isolation of The light guides can be used for light guides and / or to reduce their aperture produce additional dielectric sheaths which have a refractive index n ', where nl <n '<n2 should be. For example, aaf becomes one made of polybutyl methacrylate produced plate 4 (n ') according to Fig.

2 ein mindestens 2 bis 5 /um dicker Streifen 5 aus Polymethylmethacrylat (n1) aufgetragen, der etwas breiter als der Lichtleiter ist, darauf wird die lichtleitende Ader 2 aus dem Styrol-Mischpolymer (n2) oder aus einem Gemisch von Styrol-MethylmethacrylatCopolymeren gelegt, und diese Anordnung wird von oben und von den Seiten auf dieselbe Weise mit einem Methylmethacrylat-Mischpolymer vergossen.2 an at least 2 to 5 μm thick strip 5 made of polymethyl methacrylate (n1), which is slightly wider than the light guide, is applied to the light guide Core 2 made from the styrene mixed polymer (n2) or from a mixture of styrene-methyl methacrylate copolymers laid, and this arrangement is made from above and from the sides in the same way potted with a methyl methacrylate copolymer.

Damit ist die Bildung der Lichtleiterhülle beendet. Die ganze Anordnung kann von oben mit einem Butylmethacrylat-Mischpolymer vergossen werden, das einen äußeren Uberzug bildet.This ends the formation of the light guide sleeve. The whole arrangement can be poured from above with a butyl methacrylate mixed polymer, the one outer coating forms.

Ausführungsbeispiel 3 Auf eine dielektrische Platte 1 (Fig. 3 a) mit einem Brechungsindex n1 wird eine Folie aufgetragen, die einen Brechungsindex n2 und eine Dicke von mindestens mehreren Lichtwellenlängen des nachher zu benutzenden Spektralbereichs hat. Auf diese Folie wird eine Schablone gelegt oder eine Maske 7 (Fig. 3 b) aufgestäubt, und nicht notwendige Folienbereiche werden abgeätzt (Fig. 3 c). Die gebildete Lichtleiteranordnung wird von oben mit einer Schutzschicht 1' (Fig. 3 d) aus einem Stoff mit dem Brechungsindex n1 überzogen, Ähnlich kann man auch mehrschichtige Lichtleiter nach Fig. 4 a, b, c und d herstellen. Auf eine durch den Brechungsindex n1 gekennzeichnete Platte 1 wird eine Folie 6 mit dem Brechungsindex n2 aufgetragen, wobei n2 ? nl sein soll. Auf diese Folie wird dann eine Maske 7 aufgestäubt, und es wird geätzt. Die erhaltene Struktur wird darauf mit einer Folie 6 aus einem durch den Brechungsindex n3 gekennzeichnetgn Stoff überzogen, wobei n3 > n2 ist. Wiederum wird eine Maske 7 t aufgestäubt, und die Folie wird geätzt. Die erzeugte Lfohtleiteranordnung kann mit einer optisch isolierenden Schicht 1' z. B. aus dem gleichen Werkstoff wie bei der-Platte 1 bedeckt werden. Embodiment 3 On a dielectric plate 1 (Fig. 3 a) With a refractive index n1, a film is applied that has a refractive index n2 and a thickness of at least several light wavelengths of the one to be used afterwards Has spectral range. A stencil or mask is placed on this film 7 (Fig. 3 b), and unnecessary film areas are etched away (Fig. 3 c). The formed light guide arrangement is covered from above with a protective layer 1 ' (Fig. 3 d) coated from a substance with the refractive index n1, one can do a similar thing also produce multilayer light guides according to FIGS. 4 a, b, c and d. On one through The plate 1 marked with the refractive index n1 becomes a film 6 with the refractive index n2 plotted, where n2? nl should be. A mask 7 is then placed on this film dusted up, and it is etched. The structure obtained is then covered with a film 6 coated from a substance characterized by the refractive index n3, where n3> n2. Again a mask 7 t is sputtered and the foil is etched. The conductor arrangement produced can be coated with an optically insulating layer 1 ' z. B. made of the same material as in the plate 1 are covered.

Die Anfangsfolien kann man auf der Platte in Hochvakuum durch Gießen oder Aufstäuben von Stoffen herstellen, die in der Beschreibung des ersten AusfUhrungsbeispiels erwähnt wurden. Die zur Ätzung erforderliche Maske kann man aus Metall (z, Bo Silber, Aluminium) aufstäuben. The initial foils can be poured onto the plate in a high vacuum or dusting of substances that are described in the description of the first exemplary embodiment mentioned. The mask required for etching can be made of metal (e.g. silver, Aluminum).

Die Ätzung von Polymeren erfolgt mit Lösungsmitteln (Benzol, Toluol, Xylol, ihren Mischungen uswO) oder mit glaslösenden Säuren (z. Bo mit Flußsäure uswO) AusfUhrungsbeispiel 4 Lichtleiteradern aus allen erwähnten Stoffen kann man auf eine als Unterlage dienende Platte im Hochvakuum durch eine Schablone aufstäuben oder aus Öffnungen in der Schablone abgießen, wenn die erwähnten Stoffe keine Adhäsion mit dem Werkstoff der Schablone aufweisen, Durch eine andere Schablone können andere Stoffe aufgestäubt oder vergossen werden, mit denen man die Bildung des Lichtleitermusters fortsetzt. Auf ähnliche Weise kann man auf die Platte elektrisch leitende Elemente aufstäuben, die also gedruckte elektronische und optoelektronische Einrichtungen bilden. Eine auf diese Weise vorbereitete gedruckte Schaltung wird von oben mit optisch isolierenden Stoffen begossen.Polymers are etched with solvents (benzene, toluene, Xylene, their mixtures, etc.) or with glass-dissolving acids (e.g. with hydrofluoric acid etc.) AusfUhrungsbeispiel 4 fiber optic cores made of all the materials mentioned can be Dust on a plate serving as a base in a high vacuum through a stencil or pour from openings in the stencil if the substances mentioned do not adhere with the material of the stencil, by using a different stencil, other Substances can be dusted on or potted, with which one can form the light guide pattern continues. In a similar way, electrically conductive elements can be placed on the plate dust up, that is, printed electronic and optoelectronic devices form. A printed circuit prepared in this way is shown from above with doused optically insulating materials.

AusfUhrungsbeispiel 5 Optische Anordnungen mit genau einzuhaltenden Lichtleiterquerschnitten, z. B mit quadratischen, dreieckigen, sechseckigen oder runden Lichtleitern (Fig. 5 a), kann man wie folgt herstellen: In der als Substrat dienenden Platte 1 werden Nutensysteme 8 mit gewünschter Form und vorgegebenem Profil (Fig. 5 b) gebildet. Die Platte wird dann mit dem Stoff für Lichtleiteradern begossen (Fig. 5 c), der die Nuten füllt. Nach Erhärtung wird der überflüssige Stoff entfernt, und man erhält somit die fertige optische Anordnung (Fig. 5 c), die von oben mit einem optisch isolierenden Überzug 3 bedeckt werden kann (Fig0 5 d)o Die Nutensyieme können durch beliebige Verfahren hergestellt werden (Abguß von Platten mit Nuten, Eindrücken, Abätzen, Fotolithographie, Ausschneiden usw0), wobei man für die Nutenbildung Platten aus Stoffen verwendet, die in der Beschreibung des Ausführungsbeispiels 1 erwähnt wurden. Das Füllen von Nuten erfolgt je nach gewählten Stoffen durch Begießen in einer Edelgasatmosphäre, in Vakuum usw., durch Aufstäubung usw. AusfUhrungsbeispiel 5 Optical arrangements with exactly to be observed Light guide cross-sections, e.g. B with square, triangular, hexagonal or round light guides (Fig. 5 a), can be produced as follows: In the as a substrate Serving plate 1 are groove systems 8 with the desired shape and predetermined profile (Fig. 5 b) formed. The plate is then doused with the material for light guide veins (Fig. 5 c), which fills the grooves. After hardening, the superfluous material is removed, and one thus obtains the finished optical arrangement (FIG. 5 c), which from above with an optically insulating coating 3 can be covered (Fig0 5 d) o The Nutensyieme can be produced by any process (casting of plates with grooves, Impressions, etching, photolithography, cutting out, etc. Plates made of materials used in the description of the exemplary embodiment 1 were mentioned. The grooves are filled by watering, depending on the selected substances in a noble gas atmosphere, in a vacuum, etc., by sputtering, etc.

Ausführungsbeisniel 6 Für die Fertigung von räumlichen Lichtleitern benutzt man eine Matrize 9 (Fig. 6 a), deren Werkstoff keine Adhäsion mit dem Stoffes lichtleitenden Elements aufweisen darf. In der Matrize 9 werden Nuten 10 vom gewünschten Profil-ausgefUhrt. Für die Herstellung der Matrize kann man z. 3. einen unter dem Handelsnamen "Ftoroplast" (Fluoroplast) bekannten Stoff oder Glas verwenden. In die-Nuten 10 werden beliebige Copolymermischungen der Acryl- oder der Methacrylreihe oder Styrol-Mischpolymere eingegossen und mittels eines Preßstempels i1 gepreßt. Die in der Matrize gebildete Struktur (Fig. 6 b) wird dann-herausgenommen und durch Eintauchenuin eine Mischpolymerlösung mit einer dünnen Hülle überzogen. Die Struktur wird darauf in eine -entsprechende Lage im Raum gebracht und zur Bildung einer optisch isolierenden Schicht mit einem lichtisolierenden Stoff überzogen. Somit erhält man eine räumliche Lichtleiteranordnung. Example 6 For the production of spatial light guides a die 9 is used (FIG. 6 a), the material of which does not adhere to the substance light-conducting element may have. In the die 9 grooves 10 are desired Profile executed. For the production of the die you can, for. 3. one under the Trade name "Ftoroplast" (fluoroplastic) use known fabric or glass. In The grooves 10 are any copolymer blends of the acrylic or methacrylic series or poured styrene copolymers and by means of a press ram i1 pressed. The structure formed in the die (FIG. 6 b) is then removed and coated with a thin shell by immersion in a mixed polymer solution. The structure is then brought into an appropriate position in space and formed an optically insulating layer covered with a light-insulating substance. A spatial light guide arrangement is thus obtained.

Einen Lichtleiter oder eine Lichtleiteranordnung kann man auch nach Fig. 7 herstellen. Ein aus einem Werkstoff mit dem Brechungsindex n2 hergestelltes Band 13 wird mittels einer Matrize 14 und eines Stanzstempels 15 bei erforderlicher Erwärmung gestanzt, um das gewünschte Profil zu erhalten. Das fertige Profilband 13' wird herausgenommen und z. B. durch Eintauchen in eine Mischpolymerlösung mit einer dünnen Hülle überzogen, um die anfängliche Steifigkeit des Bandes zu erreichen Darauf wird das Band zur Bildung eines optischen Isolators 16 mit einem lichtisolierenden Stoff vergossen, der einen Brechungsindex n2 hat, wobei n2> n1 sein soll, Ausführungsbeispiel 7 Bei Erzeugung von Lichtleiteranordnungen und Lichtleitern mit großer Länge sowie beim Übergang zu einem kontinuierlichen Verfahren der Lichtleiterherstellung kann man wie folgt vorgehen: Aus einem lichtleitenden und einem optisch isolierenden Werkstoff werden Bänder mit geforderter Dicke hergestellt. A light guide or a light guide arrangement can also be used according to Fig. 7 produce. One made from a material with the refractive index n2 Band 13 is by means of a die 14 and a punch 15 when necessary Heating punched to get the profile you want. The finished profile tape 13 'is removed and z. B. by immersion in a mixed polymer solution with covered with a thin sheath to achieve the initial stiffness of the tape Then the tape is used to form an optical isolator 16 with a light isolating Shed substance that has a refractive index n2, where n2 should be> n1, exemplary embodiment 7 When producing light guide arrangements and light guides with great length as well as in the transition to a continuous process of fiber optic production proceed as follows: From a light-conducting and an optically isolating one material strips with the required thickness are produced.

Diese Bänder werden so zusammengelegt, daß das aus einem lichtleitenden Stoff mit dem Brechungsindex n2 gefertigte Band 17 auf dem Band 18 aus einem optisch isolierenden Stoff mit dem Brechungsindex n1 bei n2> n1 liegt oder zwischen den Bändern 18 und 19 angeordnet wird, die aus Stoffen mit Brechungsindizes n1 bzwo n3 hergestellt sind und als äußere Hülle dienen. Der auf diese Weise gebildete 11Sandwich" (Fig. 8 a) wird zwischen nicht eingezeichneten Profilwalzen mit einem Reliefmuster gewalzt, das in den Bändern die gewünschten Lichtleitersysteme (Fig. 8 b, c) eindrückt, oder wird mit einem Profilstempel gepreßt.These ribbons are put together in such a way that the one light-conducting Fabric with the refractive index n2 fabricated tape 17 on the tape 18 from an optical insulating material with the refractive index n1 at n2> n1 or between the Ribbons 18 and 19 is arranged, which are made of substances with refractive indices n1 or respectively n3 are made and serve as an outer shell. The 11 sandwich formed in this way " (Fig. 8 a) is between not shown profile rollers with a relief pattern rolled, which presses the desired light guide systems (Fig. 8 b, c) into the strips, or is pressed with a profile punch.

Die Bänder mit der Dicke von 2 bis 5 /um und mehr kann man aus Stoffen herstellen, die im Ausführungsbeispiel 1 erwähnt wurden.The tapes with the thickness of 2 to 5 / um and more can be made of fabrics produce, which were mentioned in embodiment 1.

Der anfängliche Sandwich kann auch aus jedem optisch durchsichtigen und in einem Lösungsmittel gelösten Polymer oder aus einem Vorpolymerisat durch Begießen einer nicht anhaftenden Oberfläche, z. B. einer folienartigen Unterlage aus Ftoroplast oder Polyäthylenterephtalat, durch eine flache Düse und durch Wechsel der zum Beguß bestimmten Stoffe hergestellt werden. Einen Sandwich kann man auch durch Zentrifugieren eines Polymers auf derselben Unterlage herstellen. The initial sandwich can also be made from each optically transparent and polymer dissolved in a solvent or from a prepolymer Pouring a non-adherent surface, e.g. B. a film-like base made of Ftoroplast or polyethylene terephthalate, through a flat nozzle and by changing the substances intended for casting are produced. You can also have a sandwich by centrifuging a polymer on the same support.

Zur Verbesserung der Adhäsion und zur erforderlichen Erweichung kann man die Bänder bei ihrer Bearbeitung durch Wärmeeinwirkung behandeln0 Einzelne Schichten können voneinander durch eine Metallfolie abgeschirmt, durch Auf stäubung oder chemisch (auf elektrolytischem Wege mit AgN03 usw.) metallisiert werden0 Ausführungsbeispiel 8 Wenn die lichtleitende Ader und ihre Hülle aus Polymeren hergestellt sind, erfolgt bei der Wärmebehandlung eine gegenseitige partielle Diffusion der Ader- und der Hüllenstoffe. Auf diese Weise werden Lichtleiter hergestellt, die im Querschnitt Zonen mit kontinuierlicher Brechungsindex-Änderung aufweisen; Eine derartige Brechungshülle vergrößert die Lichtdurchlässigkeit des Systems, da dabei die Anzahl der Reflexionen von der Grenze zwischen dem Kernstoff und der Hülle mit unvermeidlichen Lichtverlusten vermindert wird. Can be used to improve adhesion and the necessary softening the tapes are treated with heat when they are processed0 individual layers can be shielded from each other by a metal foil, by on dusting or chemically (electrolytically with AgN03, etc.) metallized0 embodiment 8 If the light-conducting wire and its sheath are made of polymers, it takes place a mutual partial diffusion of the core and the Shell fabrics. In this way, light guides are produced that have a cross-section Have zones with continuous refractive index change; Such a refractive cladding increases the light transmission of the system, as it increases the number of reflections from the boundary between the core material and the shell with inevitable light losses is decreased.

Ausfdhrungsbeispiel 9 Eine Möglichkeit zur Verbesserung der Lichtdurchlässigkeit von Lichtleitern und Lichtleiteranordnungen sowie zu ihrer Kühlung ergibt sich durch Herstellung von hohlen Lichtleitern. Die Lichtdurchlässigkeit wird bei diesen Lichtleitern verbessert, weil das Licht einen Teil seines Weges im Lichtleiter nicht im absorbierenden Medium zurücklegt.-Die Hohllichtleiter können gekühlt werden, indem man ein Kältemittel, z. B. Helium wegen seiner geringen Viskosität, die Hohlräume dieser Lichtleiter durchfließen läßt. Exemplary embodiment 9 One way of improving the light transmission of light guides and light guide arrangements as well as their cooling results from Manufacture of hollow light guides. The light transmission is with these light guides improved because the light part of its way in the light guide not in the absorbing - The light guides can be cooled by using a refrigerant, z. B. helium because of its low viscosity, the cavities of these light guides can flow through.

Derartige Lichtleitersysteme werden wie folgt hergestellt: Auf die Platte 20 (Fig0 9 a) mit einem Brechungsindex n1 wird ein Folienüberzug aufgetragen, der einen Brechungsindex n2 aufweist. Man drückt Rillen ein, die der Anordnung der Lichtleiter entsprechen (Fig. 9 b), und die überflüssigen äußeren Folienbereiche werden z B. durch Polieren entfernt (Fig. 9 c)O Die erzeugte Lichtleiteranordnung wird mit aufeinander folgenden Schichten 22 und 23 (Fig. 9 d) überzogen, deren Brechungsindizes n2 und n3 betragen. Such light guide systems are produced as follows: On the Plate 20 (Fig0 9 a) with a refractive index n1, a film coating is applied, which has a refractive index n2. One presses grooves that correspond to the arrangement of the Optical fibers correspond (Fig. 9 b), and the superfluous outer film areas are removed, for example, by polishing (FIG. 9 c) O The light guide arrangement produced is coated with successive layers 22 and 23 (Fig. 9 d), their refractive indices n2 and n3.

In einer anderen Ausführungsvariante des erfindungsgemäß entwickelten Verfahrens (Fig. 10 a, b, c und d) werden in der Platte 24, deren Werkstoff einen Brechungsindex n1 ergibt, Rillen erzeugt. Auf die Wandungen und auf den Boden der Rillen wird eine dünne lichtleitende Schicht 25 mit einem Brechungsindex n2 (n2>n1) aufgestäubt0 Die unnötigen, außerhalb der Rillen liegenden Teile dieser Schicht werden dann entfernt, und die hergestellte Struktur wird mit Schichten 22 und 23 bedeckt, deren Brechungsindizes entsprechend n2 und n1 betragen, wobei n2> n1 ist. In another embodiment of the inventively developed Method (Fig. 10 a, b, c and d) are in the plate 24, the material of which a Refractive index results in n1, grooves created. On the walls and on the bottom of the Grooves a thin light-guiding layer 25 with a refractive index n2 (n2> n1) dusted on0 The unnecessary parts of this layer lying outside the grooves are then removed and the fabricated structure becomes with layers 22 and 23 covered, whose refractive indices are respectively n2 and n1, where n2> n1 is.

Die lichtleitende Folie kann man auch in die Rillen der Platte eindecken, wie dies in Fig. 11 a, b und c dargestellt ist. Zu diesem Zweck wird eine ebene Folie 25 auf die Oberfläche der Platte 24 gelegt und durch einen Druck bei entsprechender Erwärmung in die Rillen eingedrückt. The light-conducting film can also be covered in the grooves of the plate, as shown in Fig. 11 a, b and c. For this purpose, a plane is used Foil 25 placed on the surface of the plate 24 and a pressure at the appropriate Warming pressed into the grooves.

Darauf wird die überflüssige Folie außerhalb der Rillen entfernt, und man überdeckt die erzeugte Struktur, wie oben beschrieben wurde, mit den Schichten 22 und 23.Then the superfluous film is removed outside the grooves, and you cover the generated structure, like has been described above, with layers 22 and 23.

Nach der Auftragung der Stoffe auf Platten muß die hergestellte mehrschichtige Struktur in allen erwähnten Fällen einer Wärmebehandlung in einem Ofen oder einem Thermostaten unterzogen werden Je nach Behandlungsdauer oder Temperaturänderung erfolgt die Erkaltung der Schmelze oder die Entfernung von flüchtigen Komponenten aus Lösungen verschieden schnell und von verschiedenen Tiefen des Werkstoffes0 Wird in irgendeiner Bearbeitungsstufe die Einstellung der Stoffdiffusion eines Bestandteils des Systems zu einem anderen notwendig, so kann dies erreicht werden, indem man die Erzeugnisse in eine Lösungsmittelatmosphäre bringt, Alle in den Ausführungsbeispielen 1 bis 9 beschriebenen Verfahren kann man für die Herstellung von Lichtleiteranordnungen in Metallmatrizen anwenden. Wenn die Lichtleiter aber keine zusätzliche Hülle aufweisen, ist die Lichtdurchlässigkeit derartiger Systeme auch bei gerichteter Reflexion niedrig. After the substances have been applied to panels, the multilayer must be produced Structure in all mentioned cases of heat treatment in a furnace or a Thermostats are subjected to depending on the duration of treatment or temperature change the melt is cooled or volatile components are removed solutions become at different speeds and from different depths of the material in some processing stage the adjustment of the substance diffusion of a constituent of the system necessary to another, this can be achieved by one brings the products into a solvent atmosphere, all in the working examples 1 to 9 described methods can be used for the production of light guide assemblies use in metal matrices. However, if the light guides do not have an additional cover, the light permeability of such systems is low even with directional reflection.

Solche Hüllen sind aber leicht herzustellen, wenn man die in den Ausführungsbeispielen 2, 4, 7, 9 beschriebenen Verfahren benutzt. Such cases are easy to manufacture if you put them in the Embodiments 2, 4, 7, 9 described method used.

Ausführungsbeispiel 10 Beim Zusammenlegen der hergestellten Lichtleiterplatten mit den in Fig0 12 durch Strichlinien angedeuteten lichtleitenden Elementen oder bei Herstellung neuer Lichtleitersysteme auf Überzügen der bereits hergestellten Systeme erhält man mehrschichtige optoelektronische Einrichtungen. Dreidimensionale optische.Systeme kann man wie folgt herstellen: a) In einem zusammengelegten Satz flacher Systeme werden Übergangslichtleiter gebildet, indem man zO B. durch Bohren, Durchschmelzen usw. im Satz Hohlräume herstellt, die nachher mit einem lichtleitenden Stoff gefüllt werden. Embodiment 10 When the produced light guide plates are put together with the light-conducting elements indicated by dashed lines in FIG. 12 or at Production of new light guide systems on coatings of the systems already produced multilayer optoelectronic devices are obtained. Three-dimensional optical systems can be made as follows: a) In a merged set of flat systems Transition light guides are formed, for example by drilling or melting through etc. in the set produces cavities, which are then filled with a light-conducting substance will.

b) Mit Hilfe eines beispielsweise im Ausführungsbei spiel 6 beschriebenen Verfahrens werden einzelne Lichtleitersysteme hergestellt. Diese Systeme werden dann im Raum verteilt und mit einem optisch isolierenden Stoff mit niedrigerer Schmelztemperatur vergossen. b) With the help of a game 6 described for example in Ausführungsbei Process, individual light guide systems are produced. These systems will then distributed in the room and covered with an optically insulating material with a lower melting temperature shed.

c) Es wird ein räumliches Modell (Fig. 13 a) hergestellt, das der gewünschten Lichtleiterform entspricht. c) A spatial model (Fig. 13 a) is produced, which the corresponds to the desired shape of the light guide.

Das Modell wird mit einem am Modellwerkstoff nicht anhaftenden Stoff mit einem Brechungsindex n1 vergossen. Darauf wird das Modell entfernt, und die entstandenen Hohlräume werden mit einem Stoff gefüllt (Fig. 13 b), der durch einen Brechungsindex n2 gekennzeichnet ist.The model is made with a substance that does not adhere to the model material encapsulated with a refractive index n1. The model is then removed and the resulting cavities are filled with a substance (Fig. 13 b), which by a Refractive index n2 is characterized.

Bei der Durchführung dieses Verfahrens unter Anwendung eines- Modells kann man folgende Stoffe verwenden: a) Ftoroplast- oder Polyäthylenterephtalat-Fasern mit genauer zylindrischer Form oder mit geringer Konizität werden mit Buthylmethacrylat-Mischpolymeren vergossen. Darauf werden die Fasern entfernt und die Hohlräume mit Methylmethacrylat vergossen. When performing this method using a model the following materials can be used: a) Ftoroplast or polyethylene terephthalate fibers with an exact cylindrical shape or with a slight conicity will Cast with butyl methacrylate copolymers. The fibers are then removed and potted the cavities with methyl methacrylate.

b) Polyvinylalkoholfasern werden mit demselben Stoff vergossen und nachher im Wasser gelöst, c) Zur Vermeidung von Adhäsion mit Graphitpaste eingeriebene Metallfäden werden mit Glas vergossen Große Metallschrumpfung erleichtert das Entfernen der Fäden, die auch abgeätzt werden können0 Ausführungsbeispiel 11 Lichtleiteranordnungen kann man auch im Inneren eines Kristallstoffes herstellen. Zu diesem Zweck werden im Kristall Bereiche mit vorgeschriebenen Abmessungen und mit einem anderen (größeren) Brechungsindex gebildet und dadurch Bedingungen für die Lichtfortpflanzung geschaffen. b) Polyvinyl alcohol fibers are potted with the same substance and afterwards dissolved in water, c) rubbed with graphite paste to avoid adhesion Metal threads are encapsulated with glass. Large metal shrinkage makes removal easier of the threads, which can also be etched off. Embodiment 11 Light guide arrangements can also be produced inside a crystalline substance. Be for this purpose in the crystal areas with prescribed dimensions and with another (larger) Refractive index formed and thereby created conditions for the propagation of light.

Ausführungsbeispiele derartiger Anordnungen werden im folgenden betrachtet: a) Es erfolgt die Epitaxie einer Kristallschicht einer Verbindung auf einem Kristall einer anderen Verbindung. Embodiments of such arrangements are considered below: a) A crystal layer of a compound is epitaxial on a crystal another connection.

Beispielsweise wird auf einen NaCl-Kristall eine Epitaxialschicht von NaBr aufgetragen, deren Brechungsindex größer als von NaCl ist. In der NaBr-Schicht werden Bereiche mit vorgegebenen Formen abgeä-tzt, so daß nur Lichtleiteradern bleiben. Dieser Rohling wird von oben mit einer Epitaxialschicht aus NaCl bedeckt.For example, an epitaxial layer is applied to an NaCl crystal of NaBr, whose refractive index is greater than that of NaCl. In the NaBr layer areas with predetermined shapes are etched away so that only fiber optic wires remain. This blank is covered from above with an epitaxial layer made of NaCl.

b) Der mit erforderlichem Oberflächenmuster versehene Rohling aus NaCl wird in eine übersättigte Lösung von NaBr (oder NaCl mit-Zusätzen zur Gewährleistung eines unterschiedlichen Brechungsindexes n) gebracht. Der erzeugte Monolith mit ausgeschnittenen und mit NaBr gefüllten Figuren (Lichtleiteradern) wird in eine übersättigte NaCl-Lösung zur Bildung eines Oberflächenüberzuges mit kleinerem n getaucht. b) The blank provided with the required surface pattern NaCl is made into a supersaturated solution of NaBr (or NaCl with additives to ensure of a different refractive index n). The monolith created with cut out and filled with NaBr figures (fiber optic veins) is in a supersaturated NaCl solution to form a surface coating with a smaller n submerged.

Die übrigen Zusätze, die zur Erzeugung anderer Elemente der Lichtleiteranordnung notwendig sind, können bei Benutzung der Planar- und der Dünnfilmtechnologie eingeführt werden. The remaining additions that are used to create other elements of the light guide assembly are necessary can be introduced using planar and thin film technology will.

Zur Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen und Einrichtungen kann man im Inneren des gleichen Kristalls folgende Bereiche bilden: 1) Bereiche mit aktiven Zusätzen, um Laser oder ähnliche Elemente in diesen Gebieten der Monolithschaltung zu erzeugen; 2) Bereiche mit pn-Übergängen und ähnlichen Strukturen, wenn der Monolithblock aus Halbleiterstoffen hergestellt ist; 3) Bereiche mit Zusätzen, die eine geforderte elektrische Leitfähigkeit gewährleisten; 4) Bereiche mit Zusätzen, die Elektrolumineszenzstrahler usw. bilden. For the production of microelectronic circuits and devices the following areas can be formed inside the same crystal: 1) areas with active additives to lasers or similar elements in these areas of the monolith circuit to create; 2) Areas with pn junctions and similar structures if the monolith block is made of semiconductor materials; 3) Areas with additions that a requested ensure electrical conductivity; 4) Areas with accessories that use electroluminescent lamps etc. form.

Ausführungsbeispiel 12 Das einfachste Verfahren zur Herstellung von "gedruckten" Lichtleiteranordnungen besteht in folgendem: Man benutzt-eine aus Polymeren oder aus Glas hergestellte Platte 26 (Fig. 14 a) mit einer aufgetragenen lichtempfindlichen Schicht 27. Nach Belichtung der-Platte durch eine Maske 28 sowie nach Entwicklung und Fixierung bleiben auf der Platte durchsichtige Bereiche, Ist der Brechungsindex der Platte kleiner als der Brechungsindex der entwickelten durchsichtigen Schicht, so können diese durchsichtigen Bereiche. Embodiment 12 The simplest method for producing "Printed" light guide assemblies consists of the following: One uses one made of polymers or plate made of glass 26 (Fig. 14 a) with an applied photosensitive layer 27. After exposure of the plate through a mask 28 as well transparent areas remain on the plate after development and fixation the refractive index of the plate is less than the refractive index of the developed clear Layer so these see-through areas can be.

der Fotoschicht bei entsprechender Wahl ihrer geometrischen Formen als Lichtleiteranordnungen dienen0 Die lichtempfindliche Schicht kann von oben mit einem optischen Isolator 29 (Fig. 14 c) überzogen werden0 Wenn man als lichtempfindliches Element dicke Emulsionsschichten 30 (Fig. 15) benutzt, kann die Glasunterlage entfallen. Nach der erwähnten Behandlung wird das lichtempfindliche Element in einem optischen Isolator eingebettet.the photo layer with the appropriate choice of its geometric shapes serve as light guide arrangements0 The light-sensitive layer can be used from above with an optical isolator 29 (Fig. 14c) are coated0 If one is considered to be photosensitive If element-thick emulsion layers 30 (FIG. 15) are used, the glass substrate can be omitted. After the mentioned treatment, the photosensitive element is in an optical Embedded insulator.

Ein Mangel derartiger Einrichtungen besteht darin, daß ihre Lichtdurchlässigkeit gering ist, da die Refelxion nur vom oberen und vom unteren lichtisolierenden Überzug 29 (Fig. 15 c) erfolgt. One shortcoming of such devices is their light transmission is low, since the reflection only from the upper and lower light-insulating coating 29 (Fig. 15 c) takes place.

Claims (12)

PatentansprücheClaims 1. Verfahren zur Herstellung von Lichtleitern mit einem lichtleitenden Element, das von optisch isolierenden Elementen umgeben ist, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Herstellung des lichtleitenden Elements durch Auftragung einer lichtleitenden Schicht in der Art eines der vorgegebener Lichtleiterform entsprechenden verzweigten Musters auf die Innenfläche wenigstens einer von Schichten erfolgt, die als optisch isolierende Elemente dienen. 1. Process for the production of light guides with a light-guiding Element that is surrounded by optically isolating elements, thereby g e k e n n z e i c h n e t that the manufacture of the light-guiding element by application a light-guiding layer in the manner of one of the predetermined light guide shape corresponding branched pattern takes place on the inner surface of at least one of layers, which serve as optically isolating elements. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens in einer optisch isolierenden Schicht entsprechend der geforderten Lichtieiterform Rillen gebildet werden, die man nachher mit einem lichtleitenden Stoff füllt. 2. The method according to claim 1, characterized in that at least in an optically insulating layer corresponding to the required light conductor shape Grooves are formed, which are then filled with a light-conducting substance. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Lichtleiter durch mechanisches Einpressen wenigstens zweier Folienschichten (17, 18) eines optisch isolierenden und eines lichtleitenden Stoffes mit einem Werkzeug hergestellt werden, dessen Oberfläche ein der vorgegebenen Lichtleiterform entsprechendes Relief aufweist0 3. The method according to claim 1, characterized in that light guide by mechanically pressing in at least two film layers (17, 18) one optically insulating and a light-conducting substance are produced with one tool, the surface of which has a relief corresponding to the predetermined shape of the light guide0 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein gesondert hergestelltes, verzweigtes Lichtleitersystem von optisch isolierenden Deckschichten eingeschlossen wird.4. The method according to claim 1, characterized in that a separately produced, branched light guide system enclosed by optically insulating cover layers will. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Inneren eines optisch isolierenden Stoffes Hohlräume mit Figurprofilen gebildet werden, die man darauf mit einem lichtleitenden Stoff füllt, 5. The method according to claim 1, characterized in that inside an optically insulating material cavities with figure profiles are formed, which are then filled with a light-conducting material, 6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der aufgetragene lichtleitende Stoff entlang des Lichtleiters oder in seinem Querschnitt unterschiedliche optische Eigenschaften aufweist.6. Procedure according to one of the preceding claims, characterized in that the applied light-conducting Material along the light guide or in its cross-section different optical Has properties. 7. Verfahren nach den Ansprüchen 2 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die aus lichtleitendem Stoff bestehende Schicht eine Folie (25) darstellt, die die Nutenflächen einer optisch isolierenden Matrize bedeckt0 7. The method according to claims 2 and 5, characterized in that that the layer consisting of light-conducting material is a film (25) which covers the groove surfaces of an optically isolating die0 8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Unterlage durch Kristallzüchtung eine Kristallschicht mit einem großen Brechungsindex gebildet wird, aus der, insbesondere durch Ätzung, ein verzweigter Lichtleiter geformt wird, dessen Oberfläche mit einer optisch isolierenden Schicht überzogen werden kann.8. The method according to claim 1, characterized in that a crystal layer is grown on a base by growing crystals is formed with a large refractive index, from which, in particular by etching, a branched light guide is formed, the surface of which is coated with an optically insulating Layer can be coated. 9. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die einen Lichtleiter darstellenden Kristalle in Rillen gezüchtet werden, die man vorher in einer Unterlage erzeugt hat. 9. The method according to claims 1 and 8, characterized in that that the crystals constituting a light guide are grown in grooves which has been created in a document beforehand. 10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine lichtleitende und lichtempfindliche Schicht (27) durch ein vorbestimmtes Muster belichtet und dann entwickelt und fixiert wird, wobei unbelichtete Bereiche einen Lichtleiter mit gewünschten Formen bilden,- der durch optisch isoliegende Schichten (29) begrenzt ist. 10. The method according to claim 1, characterized in that a light-conducting and photosensitive layer (27) through a predetermined pattern exposed and then developed and fixed, with unexposed areas a Form light guides with the desired shapes - by optically insulating layers (29) is limited. w Lichtleiteranordnung, hergestellt durch das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein aus einheitlicher lichtleitender Schicht gebildeter verzweigter Lichtleiter mit einem Figurenprofil sich im Inneren eines optisch isolierenden Stoffes befindet. w light guide assembly manufactured by the method of a of claims 1 to 9, characterized in that a single light-conducting Layer of branched light guides formed with a figure profile inside an optically insulating material. 12. Lichtleiteranordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß in den Werkstoff eines optisch isolierenden Überzuges Elektroden und Elemente einer elektrischen Schaltung eingebaut sind, die zusammen mit der Lichtleiteranordnung optoelektronische Einrichtungen bilden. Leerseite 12. Light guide arrangement according to claim 11, characterized in that that in the material of an optically insulating coating electrodes and elements an electrical circuit are built in, which together with the light guide assembly Form optoelectronic devices. Blank page
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