DE2144571A1

DE2144571A1 - Process for the production of thick film resistors

Info

Publication number: DE2144571A1
Application number: DE19712144571
Authority: DE
Inventors: Robert Stephen Indianapolis Ind. Degenkolb (V.StA.); Allington, Trevor Richard, Hempstead, Hertfordshire (Großbritannien); Wang, Yin Huai; Oakes, Martin; Indianapolis, Ind. (V.StA.)
Original assignee: RCA Corp
Current assignee: RCA Corp
Priority date: 1971-04-01
Filing date: 1971-09-06
Publication date: 1972-10-05
Also published as: CA930481A; FR2133387A5; US3793717A; JPS5316518B1; NL7112417A; GB1342973A

Description

7278-71/Sch/Ba7278-71 / Sch / Ba

U.S. Ser.llo. 130,316
vom 1. April 1971US Ser.llo. 130.316
dated April 1, 1971

HCA Corporation, New York, N.Y. (V.St.A.)HCA Corporation, New York, N.Y. (V.St.A.)

Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-WiderständenProcess for the production of thick film resistors

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-Widerständen mit einem innerhalb eines prozentual vorgegebenen Toleranzbereiches liegenden Sollwiderstandswert, bei dem eine fortläufende Heine von gedruckten Widerstandseinheiten auf Isoliersubstraten abgelagert wird und durch Verdampfen des Lösungsmittels getrocknet wird und die getrockneten Einheiten in einem Ofen mit einer bestimmten Spitzentemperatur zur Ein- : stellung des gewünschten Sollwiderstandswertes gebrannt wer-The invention relates to a method for producing thick film resistors with a target resistance value lying within a specified tolerance range as a percentage which is a continuous line of printed resistance units deposited on insulating substrates and dried by evaporation of the solvent and the dried units be fired in a furnace with a certain peak temperature to set the desired target resistance value

Die sogenannten Dickfilm-Schaltungen in j?orm integrierter Hybridschaltungen enthalten normalerweise eine Anordnung von Leitern, welche auf einem isolierenden Substrat abgelagert ist, und passive Bauelemente wie Widerstände, Kondensatoren und Spulen', die in Dickfilmtechnik ebenso auf dem Substrat abgelagert und mit den Leitern verbunden sind. Aktive Bauelemente : wie Transistoren und Dioden und auch komplexere Schaltungsteile, die auf Halbleiterplättchen ausgebildet sind, werden normalerweise mit Anschlüssen der Dickfilm-Schaltung verbunden^The so-called thick film circuits in junction of hybrid integrated circuits normally contain an array of Conductors deposited on an insulating substrate and passive components such as resistors, capacitors and Coils', which are also deposited on the substrate using thick film technology and connected to the conductors. Active components: such as transistors and diodes and also more complex circuit parts that are formed on semiconductor wafers normally connected to terminals of the thick film circuit ^

Ein üblicher Widerstandstyp wird mit Hilfe einer viskosen j Tinte oder Druckfarbe hergestellt, welche Metallpartikel und/ oder Metalloxide, Glasfritten, organische oder nichtorganische Bindemittel und organische Lösungsmittel enthält. Ferner sind manchmal ölartige Bestandteile enthalten. Derartige Widerstände werden als "Oermef'-Widerstände bezeichnet.A common type of resistor is made using a viscous j ink or printing ink that contains metal particles and / or metal oxides, glass frits, organic or non-organic Contains binders and organic solvents. Furthermore, oily ingredients are sometimes included. Such resistances are referred to as "Oermef" resistors.

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Solche Cermet-Widerstände werden mit Hilfe von Siebdruckverfahren mit einer sorgfältig bestimmten Menge der "iiiderstandsdruckfarbe auf einen Keramikträger aufgebracht. Bei der Herstellung einer Charge von vielen tausend Einheiten druckt eine Maschine nacheinander die Widerstandseinheiten in einer Folge auf kleine Keramikplatten und zwar während einer zeitlichen Periode, die eine oder mehrere Produktionsspannen unfe-ßt.Such cermet resistors are made with the help of screen printing with a carefully determined amount of the "resistive ink" applied to a ceramic support. When producing a batch of many thousands of units, one prints Machine one after the other the resistance units in a sequence on small ceramic plates and that during a time Period that encompasses one or more production spans.

Nachdem die Widerstandseinheiten auf den Träger aufgedruckt sind, werden sie in Luft (üblicherweise bei erhöhter Temperatur) getrocknet, damit das lösungsmittel ausdampft. Dann werden sie einem Brennprozeß unterworfen, damit die Glasfritte schmilzt und das Bindemittel ausbrennt. Die meisten Cermet-Widerstand-Verbundmaterialien enthalten als metallischen Anteil Silber und Palladiumpartikel. Wenn das Verbundmaterial gebrannt wird, legiert ein Teil des Palladiums mit dem Silber und das überflüssige Palladium wird zu einem Zustand oxydiert, der von der Zeit und Temperatur der Brennbehandlung abhängt. Es gibt noch weitere Widerstandsverbundmaterialien, beispielsweise auf Rutheniumbasis. Der Brennprozeß kann ausgeführt werden, indem man die Keramikträger auf einem metallischen Forderband anordnet, welches sich mit einer geringen konstanten Geschwindigkeit durch den Brennofen bewegt, in dem ein bestimmtes Temperaturprofil herrscht. Wenn die Glasfritte schmilzt, unterbricht sie den Oxydationsvorgang des Palladiumoxids und stabilisiert auf diese Weise einen der wichtigsten Faktoren, welche den Widerstandswert des gebrannten Widerstandes bestimmen.After the resistance units have been printed on the carrier, they are placed in air (usually at an elevated temperature) dried so that the solvent evaporates. Then they are subjected to a firing process, so that the glass frit melts and the binder burns out. Most cermet resistor composite materials contain silver and palladium particles as metallic components. When the composite material is fired, a part of the palladium is alloyed with the silver and the excess palladium is oxidized to a state which depends on the time and temperature of the firing treatment. There are other resistor composite materials, for example based on ruthenium. The firing process can be carried out by placing the ceramic support on a metallic conveyor belt arranged, which moves at a low constant speed through the furnace, in which a certain temperature profile prevails. When the glass frit melts, it interrupts the oxidation process of the palladium oxide and in this way stabilizes one of the most important Factors that determine the resistance value of the fired resistor.

Der Entwicklungsingenieur kennt den Widerstandswert, den ein bestimmter Widerstand haben soll. Er kennt ferner den zulässigen Toleranzbereich als prozentuale Abweichung vom Sollwert. Mit der Kentnis der zur Verfügung stehenden Fläche für den Widerstand kann er die Druckmasse bestimmen, mit welcher der Widerstand gedruckt werden soll, der nach dem Brennen bei einer bestimmten Temperatur den gewünschten Widerstandswert habenThe development engineer knows the resistance value that a certain resistor should have. He also knows the permissible one Tolerance range as a percentage deviation from the target value. With the knowledge of the available space for the Resistance he can determine the printing mass with which the resistance should be printed, which after firing at a have the desired resistance value at a certain temperature

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soll. Es gibt nocli viele andere Faktoren, weiche für die Wahl der Druckmasse für bestimmte Schaltungsanwendungen mitbestim- . men. So sind elektrische Einflußgrößen zu bedenken, wie die Leistung, welche der Widerstand verarbeiten soll, die Spannungsverteilung über den Widerstand, der Rauschfaktor usw. Die Druckmasse muß so ausgewählt werden, daß der Widerstand bei der geforderten Leistung nicht verbrennt oder seinen Wert verändert, daß das Widerstandsrauschen unterhalb eines vorbestimmten Pegels bleibt und daß er bei dem anliegenden Spannungsgradienten das richtige Betriebsverhalten zeigt.target. There are nocli many other soft factors to choose from the pressure mass for certain circuit applications. men. Electrical influencing variables must be considered, such as the power that the resistor is supposed to process, the voltage distribution about the resistance, the noise factor, etc. The printing mass must be selected so that the resistance at the required power does not burn or changes its value that the resistance noise is below a predetermined level and that it remains at the applied voltage gradient shows the correct operating behavior.

Da in den Herstellungsprozeß so viele Variablen eingehen, läßt sich der letztlich erreichte Widerstandswert bei einer be- _; ™ stimmten Druckmasse, vorgegebenen Brenntemperatur und Brennzeit, vorgegebenen Schichtdicke und Siebmaschengröße, vorge- j gebener Druckkraft und vorgegebenem Drahtdurchmesser nur näherungsweise vorhersagen. Einige dieser Variablen sind: Weiten des Drucksiebes, Änderungen der Siebdrahtspannung, Abnutzung des Siebes, allmähliche Verdickung des Verbundmaterials infolge Verdampfung des Lösungsmittels und Unterschiede in der > Zusammensetzung und Reinheit des Druckmaterials zwischen einzelnen Packungen oder Flaschen. Wenn die Chargen zusammengestellt und gemessen sind, sind zusätzliche Einstellungen erforderlich, um den Widerstandswert des Vorlaufs einer Charge ! in den gewünschten Toleranzbereich zu bringen. jSince so many variables go into the manufacturing process, the ultimate resistance value can be set at one _; ™ only approximately predict the correct printing mass, specified firing temperature and firing time, specified layer thickness and screen mesh size, specified pressure force and specified wire diameter. Some of these variables are: screen widening, changes in screen wire tension, screen wear, gradual thickening of the composite due to evaporation of the solvent, and differences in the composition and purity of the print material between packs or bottles. Once the batches have been compiled and measured, additional settings are required to determine the resistance value of the lead of a batch! to bring it into the desired tolerance range. j

Bei Beachtung aller üblichen Vorsichtsmaßnahmen bei federn j Schritt des Herstellungsverfahrens treten doch immer noch zwei j verschiedene Effekte im Lauf der Produktion auf. Der eine liegt im Anfallen von Widerständen außerhalb des Toleranzbe- . reiches, welche aussortiert oder hinsichtlich des Widerstandswertes nachkorrigiert werden müssen. Widerstandswerte lassen sich normalerweise durch Entfernen eines Teils des Widerstandsmaterials erhöhen, eine Verringerung des Widerstandswertes erreicht man durch ein Kürzen eines Teils des Strompfades: Die* se Korrekturmaßnahmen werden jedoch bei derzeitigen Produktions-If all normal precautionary measures are observed with springs j In the next step of the manufacturing process, two different effects still occur in the course of production. The one lies in the occurrence of resistances outside the tolerance range. rich, which have to be sorted out or corrected with regard to the resistance value. Let resistance values usually increase by removing some of the resistor material, a decrease in the resistance value can be achieved by shortening part of the current path: However, these corrective measures are

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verfahren normalerweise nicht durchgeführt, da sie mühselig und teuer sind. Es wäre daher von Vorteil, die Notwendigkeit solcher Maßnahmen in so viel Schaltungen wie möglich auszuschalten. procedures are not normally carried out as they are cumbersome and are expensive. It would therefore be advantageous to eliminate the need for such measures in as many circuits as possible.

Der zweite Effekt liegt in einer allmählichen Drift des durchschnittlichen oder normalen Widerstandswertes sämtlicher produzierter Einheiten in Richtung vom gewünschten Widerstandswert weg. Dieses Abweichen ergibt sich infolge der vorerwähnten Produktionsvariablen.The second effect is a gradual drift of the average or normal resistance value of all units produced in the direction of the desired resistance value path. This deviation is due to the aforementioned production variables.

Es ist häufig zeitraubend und teuer, den Widerstandswert auf den Optimalwert zu bringen, indem man den oder die Eaktoren korrigiert, welche für die Abweichungen verantwortlich sind. Eine Abnutzung des Drucksiebes würde beispielsweise ein häufiges Auswechseln gegen ein neues Drucksieb erfordern. Ein Verdampfen des Lösungsmittels würde eine genaue Messung des Lösungsmittelverlustes und ein häufiges Nachgießen erfordern, wobei das Lösungsmittel sorgfältig mit dem Verbundmaterial ver* mischt werden müßte.It is often time consuming and expensive to bring the resistance value to the optimum value by adjusting the actuator or actuators corrected, which are responsible for the deviations. For example, screen wear would become frequent Require replacement with a new screen. Evaporation of the solvent would provide an accurate measure of solvent loss and require frequent refills, carefully mixing the solvent with the composite material. would have to be mixed.

Zur Verringerung der Produktionsprobleme hat man beträchtliche Anstrengungen gemacht, Druckmassen zu entwickeln, bei welchen ein Minimum von Änderungen des letztlich erhaltenen Widerstandswertes mit der Brennzeit und Brenntemperatur auftritt. Man hat geglaubt, daß dies der beste Weg wäre, Widerstandsabweichungen gering zu halten, welche im Endprodukt auftreten. Es hat sich jedoch herausgestellt, daß sich auf diese Weise die Probleme nicht befriedigend lösen lassen. Um hohe Ausbeuten brauchbarer Einheiten zu erhalten, hat man die Widerstände zunächst so ausgelegt, daß die Istendwerte nach der Behandlung unter den Sollendwerten liegen. Die Widerstände wurden dann auf den gewünschten Sollwert gebracht, indem man soviel Widerstandsmaterial wie nötig entfernt hat. Die vielen anderen oben erwähnten Variablen im Herstellungsprozeß und Material haben die Widerstandsabweichungen, welche im normalen Brenn-In order to reduce the production problems, considerable efforts have been made to develop printing compositions in which a minimum of changes in the final resistance value obtained occurs with the burning time and temperature. It was believed that this would be the best way to avoid resistance deviations to keep low, which occur in the end product. However, it has been found to work this way fail to solve the problems satisfactorily. In order to get high yields of usable units, one has the resistors initially designed so that the actual end values after the treatment are below the target end values. The resistances were then brought to the desired setpoint by removing as much resistor material as necessary. The many others The above-mentioned variables in the manufacturing process and material have the resistance deviations, which in normal firing

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prozeß infolge geringer Änderungen der Brennzeit und Brenntemperatur auftreten, weit überwogen.process as a result of minor changes in the firing time and firing temperature occur, far outweighed.

Es ist andererseits wünschenswert, Prozeßvariable zu kennen, welche sich leicht und schnell steuern lassen, um den durch das Brennen entstehenden Widerstandswert um einen bekannten und genauen Wert zur Kompensation der Widerstandsdrift beein-. flüssen lassen. Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung einer solchen Beeinflussungsmöglichkeit.On the other hand, it is desirable to know process variables which can be easily and quickly controlled by a known resistance value caused by the burning and the exact value to compensate for the resistance drift. let flow. The object of the invention is to create such a possibility of influencing.

Die Erfindung ist im folgenden anhand der Darstellungen näher erläutert. Es zeigt:The invention is explained in more detail below with reference to the representations. It shows:

i'ig. 1 ein Temperaturprofil zwischen Eingang und Ausgang eines Irörderbandofens in Laborgröße zur Verwendung bei der Herstellung von PrüfChargen zum Testen des Verfahrens;i'ig. 1 is a temperature profile between the inlet and outlet of a laboratory-size conveyor belt furnace for use in the Production of test batches for testing the process;

I'ig. 2 eine Darstellung des spezifischen Widerstandes einer bestimmten gebrannten Cermet-Widerstandsdruckmasse über der Spitzenbrenntemperatur bei konstanter Brennzeit in einem Brennofen, welcher das in i'ig. 1 dargestellte Temperaturprofil aufweist;I'ig. 2 shows a representation of the specific resistance a specific fired cermet resistive printing compound above the peak firing temperature with constant firing time in a kiln that has the i'ig. 1 shown Has temperature profile;

fig. 5 eine Darstellung des normierten Widerstandes (^) über der Zeit im Brennofen mit einem konstanten Temperaturprofil für Cermet-Wiaerstände einer bestimmten Masse unter Verwendung eines Ofens mit einem Temperaturprofil gemäß Fig. 1;fig. 5 shows the normalized resistance (^) over the time in the kiln with a constant temperature profile for cermet resistances of a certain mass using an oven with a temperature profile according to FIG. 1;

Pig. 4 eine Darstellung des Widerstandes über der i'örderband- ^! geschwindigkeit für sechs verschiedene Materialien, welche bei der gleichen Temperatur gebrannt worden sind;Pig. 4 shows the resistance across the conveyor belt ^! speed for six different materials which have been fired at the same temperature;

JB'ig. 5 ein Blockschaltbild einer Schaltung zur Rechner steuerung der ii'örderbandgeschwindigkeit beim Brennen von Dickfilm-7iaeratänden; undJB'ig. 5 is a block diagram of a circuit for computer control the conveyor belt speed when burning thick film materials; and

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JPig. 6 ein Teinperaturprofil eines Produktionsbreniiofens für die Herstellung von PrοduktionsChargen von Hybridschaltungen unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens.JPig. 6 a temperature profile of a production furnace for the manufacture of production batches of hybrid circuits using the method according to the invention.

Us sei nun ein Beispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens beschrieben. Hierbei wird die Spitzenbrenntemperatur des Ofens und/oder die Brennzeit, während deren sich der widerstand im Brennofen befindet, gesteuert, damit V/iderstände erzeugt werden, deren Widerstandswert innerhalb eines gewünschten Temperaturbereiches liegt. Änderungen des ividerstandswertes vom gewünschten Bereich infolge der vielen oben erwähnten Verfahrensvariablen lassen sich durch Änderungen der IPörderbandgeschwindigkeit oder der Brenntemperatur, oder beider Variablen, um einen bekannten Betrag verändern.Us will now be described an example of the method according to the invention. The peak firing temperature of the furnace and / or the firing time during which the resistance in the Kiln is located, controlled so that V / iderstands are generated, the resistance value of which is within a desired temperature range lies. Changes in the dividend value from the desired The range due to the many process variables mentioned above can be adjusted by changing the conveyor belt speed or the firing temperature, or both variables, by a known amount.

Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zunächst wünschenswert, eine Widerstandsdruckmasse zu wählen, deren Kennliniezeit/Temperatur über dem spezifischen Widerstand eine Neigung (entweder positiv oder negativ) aufweist, welche nahezu linear innerhalb des Brenntemperaturbereichs der Druckmasse verläuft. Unter dem Ausdruck Widerstand ist hier der Flächenwiderstand zu verstehen, welcher in Ohm pro i'lächenquadrat gemessen wird. Der Temperaturbereich ist derjenige Bereich von Brenntemperaturen, in welchem die Glasfritte schmilzt und der Metalloxidanteil auf einen gewünschten Wert stabilisiert wird. Der Brenntemperaturbereich kann innerhalb von 30⁰G schwanken.When carrying out the method according to the invention, it is initially desirable to select a resistance printing compound whose characteristic curve time / temperature over the specific resistance has a slope (either positive or negative) which runs almost linearly within the firing temperature range of the printing compound. The term resistance is to be understood here as the sheet resistance, which is measured in ohms per square of area. The temperature range is that range of firing temperatures in which the glass frit melts and the metal oxide content is stabilized to a desired value. The firing temperature range can vary within 30 ⁰ G.

Der Erfindung liegt die .Feststellung zugrunde, daß die oben erwähnte Neigung der Charakteristik innerhalb eines Bereiches von 1 bis 5 yö liegen soll, damit sich diese Neigung des Verlaufs der Spitzenbrenntemperatur über dem ICiderstcnd viricungsvoll zur Prozeßsteuerung ausnutzen läßt. Das bedeutet, daß sich mit jedem G-rad Temperaturänderung der in ühni pro ü'lächenquadrat gemessene Widerstand sich um 1 bis 5 Ά ändert. Ist die Neigung geringer als 1 /■>, dann ist sie zu flach, uci alsThe invention is based on the determination that the above-mentioned inclination of the characteristic should be within a range of 1 to 5 y0 so that this inclination of the course of the peak firing temperature over the ICiderstcnd can be used effectively for process control. This means that with every degree of change in temperature, the resistance measured in hni per area square changes by 1 to 5 Ά. If the slope is less than 1 / ■>, then it is too shallow, uci than

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beeinflussende Steuergröße brauchbar zu sein, da man dann einen zu großen Temperaturbereich benötigt, um eine vorbestimmte Widerstandsänderung zu bewirken. Ist die Ueigung dagegen großer als 5 ■;·■>, dann verursacht eine Temperaturänderung von 1° eine so große Widerstandsänderung, daß eine genaue Steuerung nicht mehr gut möglieh ist. Vorzugsweise soll die Neigung der Kurve 2 bis 2,5 ^CJ> betragen.influencing control variable to be useful, since you then need too large a temperature range to cause a predetermined change in resistance. If, on the other hand, the inclination is greater than 5 ■; · ■>, then a temperature change of 1 ° causes such a large change in resistance that precise control is no longer possible. The slope of the curve should preferably be 2 to 2.5 ^C J> .

Jfigur 1 zeigt ein typisches Temperaturprofil in einem !Förderbandofen in Laborgröße, welches so ausgewählt ist, daß es zum Brennen einer bestimmten Y/iderstandsdruckmasse geeignet ist. Der Ofen ist etwa 2,4 m lang. ¥enn die Druckmasse vom Hersteller verkauft wird, ist zur Herstellung eines gewünschten Widerstandswertes ein bevorzugtes Brenntemperaturprofil anzuwenden. Die einzelnen Druckmassen unterscheiden sich in diesem Brenntemperaturprofil. JB¹Ur die hier im Rahmen von Beispielen beschriebenen Druckmassen beträgt die vom Hersteller empfohlene normale Brennzeit etwa 50 Minuten vom Eintritt in den Ofen bis zum Austritt aus ihm gerechnet.Figure 1 shows a typical temperature profile in a laboratory-size conveyor belt furnace selected to be suitable for firing a particular resistance compressive mass. The furnace is about eight feet long. If the printing compound is sold by the manufacturer, a preferred firing temperature profile must be used to produce the desired resistance value. The individual printing materials differ in this firing temperature profile. JB ¹ For the printing materials described here in the context of examples, the normal burning time recommended by the manufacturer is around 50 minutes from entering the furnace to leaving it.

Bei der Entwicklung muß zunächst entschieden werden, welche Druckmasse im speziellen Fall aus dem Angebot ausgewählt werden soll, damit das gewünschte Resultat erreicht wird. Die Druckmasse wird so gewählt, daß die Geometrie des Widerstandes in einen bestimmten Formen- oder Abmessungsbereich fällt, wobei ferner Einschränkungen infolge der gewünschten elektrischen Eigenschaften wie zulässiger Rauschfaktor, Spannungsgradient und Leistung zu beachten sind. Man wählt den spezifi-' sehen Widerstand in Übereinstimmung mit einer durch andere ' Einflußgrößen bestimmten Geometrie so, daß der Widerstand mit diesen Abmessungen im Endeffekt den gewünschten Viert haben wird.During development, it must first be decided which printing material should be selected from the offer in a specific case should, so that the desired result is achieved. The printing mass is chosen so that the geometry of the resistor falls within a certain range of shapes or dimensions, with further restrictions due to the desired electrical Properties such as permissible noise factor, voltage gradient and power must be taken into account. One chooses the specific ' see resistance in agreement with one through another ' Influencing variables determined the geometry in such a way that the resistance with these dimensions ultimately have the desired fourth will.

Nach dem hier beschriebenen Verfahren soll ferner die Druckmasse so ausgewählt werden, daß die Neigung der die Spitzenbrenntemperatur über dem Widerstand darstellenden Kurve die vorerwähnte Größe hat.According to the method described here, the printing material should also be selected so that the slope of the peak firing temperature above the curve representing resistance has the aforementioned size.

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Beim Drucken der Widerstandsmasse auf den Substrat müssen noch andere Faktoren berücksichtigt werden, wie die Maschenweise des Drucksiebes, der beim Drucken aufgewendete Druck und die Siebdicke. Bei den hier beschriebenen Beispielen betrug die Dicke des getrockneten aber noch nicht gebrannten 3?ilms 33 bis 39 Mikron, nach dem Brennen dagegen etwa 24 bis 30 Mikron. Der Siebdruck erfolgte unter Verwendung eines 165iger Siebes (165 mesh screen).When printing the resistor mass on the substrate still need other factors are taken into account, such as the mesh size of the printing screen, the pressure used in printing and the Sieve thickness. In the examples described here, the thickness of the dried but not yet fired 3 μm was 33 bis 39 microns, compared to around 24 to 30 microns after firing. The screen printing was done using a 165 mesh screen (165 mesh screen).

Wenn eine Charge von Widerständen hergestellt wird, dann können die Widerstandswerte τοη gedruckten und gebrannten Widerständen infolge der oben erwähnten zahlreichen Einflußgrößen von dem zulässigen Bereich wegdriften, so daß sich schließlich eine Widerstandsverteilung außerhalb des Toleranzbereiches ergibt. Gemäß dem in den Ansprüchen gekennzeichneten Verfahren läßt sich die Spitzenbrenntemperatur so einstellen, daß die Widerstände auf einen gewünschten Wert zurückgebracht werden. Dies sei nun unter Zuhilfenahme der in Fig. 2 dargestellten Kurve näher erläutert. Diese Kurve stellt den Widerstand in Ohm pro llächenquadrat über der Spitzenbrenntemperatur dar, welche beim Brennen von 25- Proben aus einer Widerstandsdruckmasse "duPont resistor ink Nr. 8023" bei Spitzenbrenntemperaturen von 725, 740 bzw.- 750° G erhalten worden ist. Wenn als anfängliche Spitzentemperatur bei der Herstellung der Gharge beispielsweise eine Temperatur von 740° C gewählt worden ist, dann ergibt sich bei dieser Temperatur und einer Brenndauer von 50 Minuten ein mittlerer Widerstandswert von 9,700 0hm pro Flächenquadrat für die hergestellten Widerstände. Wenn "die Herstellung fortschreitet und das Sieb sich abnutzt und andere Änderungen eintreten, dann kann sich der mittlere Widerstandswert ändern und beispielsweise 11,000 Ohm/ELächenquadrat annehmen. Zur Kompensation dieser Änderung liest man von der Kurve die zum Zurückbringen des Widerstands auf 9,700 Ohm/Flächenquadrat erforderliche Temperaturänderung ab und führt die entsprechenden Einstellungen durch. In diesem Pail ist eine Temperaturänderung um 10° 0 erforderlich.If a batch of resistors is made then the resistance values τοη can be printed and fired resistors drift away from the permissible range as a result of the numerous influencing variables mentioned above, so that finally results in a resistance distribution outside the tolerance range. According to the method characterized in the claims the peak firing temperature can be adjusted so that the resistances are brought back to a desired value. This will now be explained in more detail with the aid of the curve shown in FIG. This curve represents the resistance in Ohms per square meter above the peak firing temperature, which is obtained when firing 25 samples from a resistive printing mass "duPont resistor ink No. 8023" at peak firing temperatures of 725, 740 and -750 ° G, respectively. If as initial peak temperature in the manufacture of the batch, for example, a temperature of 740 ° C has been selected, then at this temperature and a burning time of 50 minutes there is an average resistance value of 9.700 ohms per square of the area for the resistors produced. When "manufacturing proceeds and the screen wears out and others If changes occur, the mean resistance value can change and assume, for example, 11,000 Ohm / E square. To compensate for this change, read the curve to bring the resistance back to 9.700 ohms / square required temperature change and make the appropriate settings. There is a temperature change in this pail required by 10 ° 0.

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Obgleich die Änderung der Spitzenbrenntemperatur eine Möglichkeit zur Rejustierung von Widerstandsdriften ist, wenn eine große Charge von Einheiten hergestellt wird, hat es sich in der Praxis gezeigt, daß diese Einflußgröße sich auch sehr bequem zur Durchführung relativ großer Widerstandsänderungen heranziehen läßt. Für kleinere Widerstandsänderungen ist es bequemer, die Förderbandgeschwindigkeit zu ändern. Es hat sich, herausgestellt, daß die Widerstände von Cermet-Widerstandsmas-, sen nach dem Brennen regelmäßig mit der Brennzeit variieren und daß unter Ausnutzung dieser einzigen Einflußgröße eine Kompensation nahezu aller Widerstandsabweichungen möglich ist,.Although changing the peak burning temperature is a possibility to readjust resistance drifts is when a If a large batch of units is produced, it has been shown in practice that this influencing variable is also very convenient can be used to carry out relatively large changes in resistance. For minor changes in resistance it is more convenient to change the conveyor belt speed. It has been found that the resistances of cermet resistance mas- sen after firing regularly vary with the firing time and that using this single influencing factor Compensation of almost all resistance deviations is possible.

welche normalerweise* infolge der erwähnten Einflüsse auftre- jwhich normally * occur as a result of the influences mentioned- j

ten können. ! Ith can. ! I.

ι Ein Beispiel dafür, wie sich der in Ohm gemessene Widerstand vnn aus einer besonderen Widerstandsmasse hergestellten Widerständen mit der Brennzeit verändert, ist in Pig. 3 dargestellt,. Die Zeitachse zeigt von links nach rechts abnehmende Zeiten. Die Kurve veranschaulicht, daß für eine Zusammensetzung der Widerstandsmasse mit abnehmender Brennzeit der Widerstand sich mit einer Änderungsrate verringert.ι An example of how the resistance measured in ohms In Pig. 3 shown. The time axis shows decreasing times from left to right. The curve illustrates that for a composition of Resistance mass with decreasing burning time the resistance decreases with a rate of change.

Eine große Anzahl von Experimentierchargen wurde mit einer Anzahl unterschiedlicher duPont-Widerstandsmassen erprobt, um ; zu bestimmen, wie die Förderbandgeschwindigkeit den Flächen- ' M widerstand gebrannter Germet-Widerstände beeinflußt. Die Ergebnisse dieser Versuchsreihen sind in Fig. 4 dargestellt. Man erkennt die Kennlinien für sechs verschiedene Widerstandsmassen für unterschiedliche Widerstandsbereiche.- Sämtliche Brennvorgänge wurden in demselben Ofen durchgeführt, der auf eine Spitzenbrenntemperatur von 730° C eingestellt war. Die Förderbandgeschwindigkeiten betrugen 8,9 bzw. 9,52 bzw. 10,16 bzw. 10,8 cm/sek. Es handelt sich um die Widerstandsmassen duPont 7822, 7823, 8022, 8023, 8024 und 8025.A large number of experimental batches have been tried with a number of different duPont resistor masses in order to; to determine how the conveyor speed resisted by area 'M fired Germet resistors affected. The results of this series of tests are shown in FIG. The characteristic curves for six different resistance masses for different resistance ranges can be seen. All firing processes were carried out in the same furnace, which was set to a peak firing temperature of 730 ° C. The conveyor belt speeds were 8.9, 9.52, 10.16 and 10.8 cm / sec, respectively. These are the resistance masses duPont 7822, 7823, 8022, 8023, 8024 and 8025.

Die Darstellung zeigt, daß für alle sechs Widerstandsmassen |The illustration shows that for all six resistance masses |

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der Widerstand mit zunehmender jförderbandgesehwindigkeit (kürzere Brennzeit) abnimmt. Für eine Korrektur der Förderbandgeschwindigkeit zur Kompensierung relativ kleiner Änderungen des Durchschnittswiderstandes während einer Produktionscharge betrachtet man für jede Widerstandsmasse die Originalkurve und liest die G-eschwindigkeitskorrektur ab, welche für die gewünschte Widerstandsänderung erforderlich ist und erniedrigt bzw. erhöht dann die Drehzahl des fförderbandantriebsmotors entsprechend. Dieses Verfahren läßt sich allerdings nur anwenden, wenn die ursprüngliche Probecharge und die ProduktiönsChargen zeitlich dicht beieinanderliegen.und die Produktionscharge nur klein ist..the resistance with increasing conveyor belt speed (shorter Burning time) decreases. For a correction of the conveyor belt speed considered to compensate for relatively small changes in average resistance during a production batch the original curve for each resistance mass and read off the speed correction which corresponds to the desired one Change in resistance is required and then decreases or increases the speed of the conveyor belt drive motor accordingly. However, this procedure can only be used if the original test batch and the production batches close together in time. and the production batch only is small ..

Ist die Produktionscharge groß, dann ändert sich die Neigung der über der Förderbajidgeschwindigkeit aufgetragenen Widerstandskurve erheblich. In diesem lalle läßt sich die Originalkurve nicht zur Bestimmung der erforderlichen Förderbandgeschwindigkeit benutzen, um eine bestimmte Änderung des Durchschnittswiderstandes zu bewirken. Es muß vielmehr die neue Kurvenneigung ermittelt werden.If the production batch is large, the inclination changes the resistance curve plotted against the conveyor bayid speed considerable. In this lalle the original curve cannot be used to determine the required conveyor belt speed to cause a certain change in the average resistance. Rather, it must be the new one Curve inclination can be determined.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung hat sich herausgestellt, daß der Verlauf des Widerstandes über der Förderbandgeschwindigkeit einer Kurve der allgemeinen J?orm y (Widerstand) = a + bx + ex folgt, wobei χ die Förderbandgeschwindigkeit ist und a, b und c Konstanten sind, welche sich nach Auftragen der Verteilung einer Anzahl von Proben für mehrere unterschiedli- > ehe Förderbandgeschwindigkeiten berechnen lassen. Für kleinere' Geschwindigkeitsänderungen läßt sich die Kurve durch eine ge- i rade linie annähern, so daß für schnelle Überschlagsrechnungen eine lineare Interpolation oder Extrapolation mögliGh ist. Es kann ferner angenommen werden, daß die Änderungsgeschwindigkeiten klein sind, wenn das Verfahren unter einer genauen Kontrolle steht.In the context of the present invention it has been found that the course of the resistance over the conveyor belt speed follows a curve of the general junction y (resistance) = a + bx + ex, where χ is the conveyor belt speed and a, b and c are constants which, after plotting the distribution of a number of samples, are different for several different ones before having the conveyor belt speeds calculated. For smaller ' Changes in speed can be approximated to the curve by a straight line, so that for quick rough calculations linear interpolation or extrapolation is possible. It can also be assumed that the rates of change are small when the process is under close control.

{ Stellt sich während der Produktion heraus, daß der mittlere{It turns out during production that the middle

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Widerstand, wie er aus einer Anzahl von Einzelwiderständen errechnet worden ist, sich nennenswert verändert hat, dann läßt sich diese Information zur Bestimmung eines Punktes der neuen Kurve heranziehen. Man kann dann die Pörderbandgeschwindigkeit um einen bekannten Betrag verändern und eine neue Probecharge fahren und die neue Durchschnittsgeschwindigkeit für die neue Förderbandgeschwindigkeit berechnen. Zwischen diesen beiden Punkten kann man eine geradlinige Kurve ziehen, welche die neue ' Neigung erkennen läßt. Mit Hilfe dieser neuen Kurve läßt sich j ermitteln, welche Pörderbandgeschwindigkeit für den tatsäeh- ^! lieh gewünschten durchschnittlichen Widerstand erforderlich ist.Resistance, as calculated from a number of individual resistances, has changed significantly, then this information can be used to determine a point on the new curve. You can then change the conveyor belt speed by a known amount and run a new test batch and calculate the new average speed for the new conveyor belt speed. A straight curve can be drawn between these two points, which shows the new inclination. With the help of this new curve it can be determined which conveyor belt speed for the actual ^! borrowed desired average resistance is required.

Bei diesen Verfahren läßt sieh ein Rechner mit großem Vorteil verwenden. Er kann kontinuierlich den mittleren Widerstandswert sämtlicher erzeugter Widerstände berechnen und nach Um-Wandlung einer Spannungsänderung in eine Binärzahl eine Anderung des mittleren Widerstandes feststellen und die erforder- \ liehe Änderung der Pörderbandgeschwindigkeit berechnen, mit . welcher der mittlere Widerstand wieder auf den gewünschten WertIn these methods, a calculator can be used to great advantage. It can continuously calculate the average resistance value of all produced resistors and to order conversion of a voltage change in a binary number notice a change in mean resistance and the necessary \ Liehe change of Pörderbandgeschwindigkeit calculate with. which the mean resistance back to the desired value

{ gebracht wird. Die Pörderbandgesehwindigkeit kann entweder von{is brought. The conveyor belt speed can either be from

Hand oder automatisch geändert werden.Can be changed manually or automatically.

j Die Spitzentemperatur und die Brennzeit lassen sich beide zur j Steuerung der Widerstandswerte bei der Herstellung von Wider- ! ständen in Hybridschaltungen heranziehen. Die Temperatur kann ' für Grobeinstellungen herangezogen werden. Zusammen können diese Einstellungen zum Ausgleich von Änderungen der Widerstands-j masse von Vorratsmenge zu Vorratsmenge oder zu Änderungen der \ Druckdicke auf einer langen, zeitkonstanten Basis herangezogen! werden. So können Änderungen der Druckabmessungen infolge von j Siebabnutzungen oder anderen Siebänderungen, infolge von Umspringeffekten durch Änderung der Siebdrahtspannungen und infolge vieler anderen Variablen, welche in langen, konstanten Zeitabschnitten im Zusammenhang mit dem Siebdruckverfahren auftreten, in Realzeit während des Prozesses durch entsprechende Steuerung kompensiert werden.j The peak temperature and the burn time can both be used to j control the resistance values in the manufacture of resistors! stand in hybrid circuits. The temperature can be used for rough settings. Together, these settings can used by storage quantity to storage quantity or changes to the \ print thickness on a long, time-constant basis to compensate for changes in resistance j masse! will. Changes in the print dimensions as a result of screen wear or other screen changes, as a result of jumping effects due to changes in the screen wire tension and as a result of many other variables that occur in long, constant periods of time in connection with the screen printing process, can be compensated in real time during the process by means of appropriate controls.

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1 O_- 1 O _-

I (L-I (L-

Das hier beschriebene Verfahren vermeidet nicht völlig die Notwendigkeit einer Sohlußkorrektur der Widerstandswerte durch naterialentfernung oder Kürzung der Widerstandslänge, aber es vermindert diese Arbeit v/es entlich.The procedure described here does not entirely avoid the need a correction of the resistance values material removal or shortening of the resistance length, but it diminishes this work publicly.

Ls ist bereits erläutert worden, daü die Viiderstandswerte gebrannter Oermet-'Jiderstaiidsmassen, welche Palladium, Palladiumoxid und Silber enthalten, über der i'örderbandgeschwindigkeitIt has already been explained that the resistance values are fired Oermet-Jiderstaiidsmassen, which palladium, palladium oxide and contain silver, above the conveyor belt speed

ρ aufgetragen eine Eurve vom Typ y = a + bx + ex ergeben. Diese kurve stellt ein Pol3mom zweiter Ordnung dar. Wird eine genaue Steuerung des mittleren Widerstandes gewünscht, dann kann die vorausberechnete Kurve für eine bestimmte Widerstandsdruekmasse aufgezeichnet werden und anstelle einer linearen Approximation zur Korrektur der I'ö'rderbandgesehwindigieeit herangezogen werden. Die Koeffizienten a, b und c lassen sich durch Aufzeichnung der Widerstände für jede Einheit einer recht großen Anzahl von Proben (ca. 100 Einheiten) für mehrere verschiedene Förderbandgeschwindigkeiten bei einer bestimmten Temperatur und Eingabe dieser Informationen in einen Rechner bestimmen. Eür jede i'örderbandgeschwindigkeit variieren die Widerstandswerte innerhalb eines beträchtlichen Bereiches.ρ plotted results in a Eurve of the type y = a + bx + ex. These curve represents a Pol3mom of the second order. Becomes an exact one If you want to control the mean resistance, you can use the pre-calculated curve for a specific resistance pressure mass can be recorded and used instead of a linear approximation to correct the speed of the conveyor belt. The coefficients a, b and c can be obtained by recording the resistances for each unit of quite a large number of Samples (approx. 100 units) for several different conveyor belt speeds at a certain temperature and entering this information into a computer. For each The resistance values vary within the conveyor belt speed of a considerable area.

Um praktisch interessante Produktionsgeschwindigkeiten ohne Unterbrechung zu erreichen, während diese Prüfung und Berechnung erfolgt, ist eine automatisch arbeitende Prüfeinrichtung und eine Speicherung der Meßdaten sowie eine Computerberechnung des Durchschnittswiderstandes und der zum Einhalten der Driftparameter innerhalb des zulässigen Toleranzbereiches erforderlichen Geschwindigkeitsänderung sehr erwünscht. Sin Beispiel, wie dies durchgeführt werden kann, ist im folgenden beschrieben. To achieve practically interesting production speeds without interruption during this test and calculation takes place, is an automatically working test device and a storage of the measurement data as well as a computer calculation the average resistance and that required to maintain the drift parameters within the permissible tolerance range Change of speed very desirable. An example of how this can be done is described below.

Die in Fig. 5 dargestellte Anordnung kann eine Widerstandsmeßvorrichtung 2 enthalten, welche Sätae von nicht dargestellten Prüfsonden enthält, die zu Kontaktpaaren aus Metallflächen absenkbar sind, die ihrerseits mit den Enden aller WiderständeThe arrangement shown in Fig. 5 can be a resistance measuring device 2 contain, which contains seeds of test probes, not shown, which can be lowered to contact pairs made of metal surfaces are, for their part, with the ends of all resistances

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BAD ORIGINAl.BATHROOM ORIGINAL.

der Schaltung verbunden sind. Ein ebenfalls nicht dargestellter Abtaster icann zürn Ablesen des jeweiligen Wertes der einzelnen /Widerstände benutzt v/erden, nachdem diese einzeln auf dem i'örderband 6 aus dem Ofen 4 herauskommen, und ein ebenfalls nicht dargestelltes Digitalwider standsnießgerät läßt sich zur umwandlung der abgelesenen Werte in Ohm verwenden.connected to the circuit. One that is also not shown The scanner can be used to read the respective value of each / Resistors used v / earth after they come out of the oven 4 one by one on the conveyor belt 6, and also one Not shown Digitalwider stand usufruct can be used for Use conversion of the readings into ohms.

Me Anordnung kann weiterhin zwei Rechner enthalten, von denen einer, der nicht dargestellt ist, die Daten auf Hagnetband speichert. Der andere iiechner 8 erhält die Meßdaten von dem Widerstandsineßgerät während der Produktion und gibt oteuernommandos zur G-ut-Annahme oder 3chiecht-Ausscheidung der Einhexten und - gegebenenfalls - zur Änderung der Geschwindigkeit des Förderbandes 6.Me arrangement can also contain two computers, one of which one, not shown, stores data on magnetic tape. The other iiechner 8 receives the measurement data from the Resistance measuring device during production and gives control commands to the acceptance of goodness or 3chiecht-elimination of the enchanted and - if necessary - to change the speed of the conveyor belt 6.

Vor dein Anlauf einer tatsächlichen Produktionscharge für eine bestimmte Einheit, werden gewisse Werte festgehalten und in ein Pa pi erb an G. eingestanzt, i'ür ,jeden Widerstand gibt es einen anzustrebenden Durchschnittswiderstandswert mit einer oberen und einer unteren Toleransgrenze. Damit die Charge brauchbar wird, muß der durchschnittliche Widerstand innerhalb dieser Toleranzgrenzen liegen.Before starting an actual production batch for a certain unit, certain values are recorded and in a pa pi erb stamped on G., i'ür, there is one for every resistance Target average resistance value with an upper and a lower tolerance limit. So that the batch is usable the average resistance must be within these tolerance limits.

IHt Kenntnis der zulässigen Abweichungen für einen bestimmten Anwendungsfall lassen sich die obere und die untere Toleranzgrenze festsetzen. Befindet sich ein einzelner Widerstand außer halb des Toleranzbereiches, dann ist die gesamte Schaltung, in· der dieser Widerstand enthalten ist, auszuscheiden.I have knowledge of the permissible deviations for a particular Use case, the upper and the lower tolerance limit fix. If a single resistor is outside the tolerance range, then the entire circuit, in which this resistance is contained to be eliminated.

Aus Erfahrung weiß man, bis zu welchem G-rad man den Wert eines Widerstandes nach dem Brennen verändern kann, um den Widerstand in den Toleranzbereich zurückzuholen. Dieser Justierwert muß aufgezeichnet werden.From experience you know up to what degree you can assess the value of one Resistance can change after firing in order to bring the resistance back into the tolerance range. This adjustment value must to be recorded.

i^?erner muiä der Rechner Informationen über die Mummer der in einer Jchaltung enthaltenen Widerstände und die Zahl des Steu-i ^? The computer must also provide information on the number of resistors contained in a circuit and the number of control

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2U45712U4571

erwiderstandes, welcher zur Bestimmung der !''örderbandgeschwindigkeitsänderungen verwendet wird, erhalten. Der gewählte Steuerwiderstand sollte derjenige mit den geringsten Toleranzen sein.resistance, which is used to determine the! '' conveyor belt speed changes is used. The selected control resistor should be the one with the lowest tolerances be.

Da eine typische Schaltung viele Widerstände mit sehr verschiedenen Widerstandswerten enthalten kann, verwendet man üblicherweise mehr als nur eine einzige /fiaerstandsmasse. Vorzugsweise sollten sämtliche Widerstandsmassen, welche in dex- gleichen Schaltung verwendet werden, gleiche Charakteristiken haben. D.h., die aus ihnen hergestellten'Widerstände sollen Viderstandsänderungen in der gleichen .Richtung und etwa im gleichen Ausmaß bei Änderungen der Spitz'enbrenntemperatur und Änderungen der Brennzeit- aufweisen. Dies ist wünschenswert, demit Messungen an einem der Widerstände sich zur Steuerung der 1,'erte aller Widerstände heranziehen lassen.As a typical circuit has many resistors with very different ones Can contain resistance values, one usually uses more than a single resistance mass. Preferably all resistance masses, which are used in the same circuit, should have the same characteristics. That is, the resistors made from them should resist changes in the same direction and approximately to the same extent with changes in the peak firing temperature and changes the burning time. This is desirable with measurements at one of the resistors to control the 1, erte allow all resistances to be used.

Die Konstanten, welche für die Förderbandgeschwindigkeit i'^:ir den Steuerwiderstand erforderlich sind, sollten ebenso auf deia lochstreifen aufgezeichnet werden wie die maximale Anzahl der außerhalb der Toleranz liegenden Schaltungen, welche bei der betreffenden Probe zu akzeptieren ist.The constants which are required for the conveyor belt ^{speed i ':} ir the control resistor should be recorded on the perforated strips as well as the maximum number of circuits lying outside the tolerance that can be accepted for the sample in question.

ferner ist für jeden Widerstand der Schaltung eine Bereichskonstante einzugeben, welche den Bereich angibt, in welchen die Digitalmeßanordnung einzustellen ist.there is also a range constant for each resistor in the circuit which indicates the range in which the digital measuring arrangement is to be set.

Der bei der Herstellung von Hybridschaltungschargen verwendete Hechner enthielt zwei Kerngruppen, Grupjje liull und Gruppe Dins. Jede Kerngruppe war in 40»Oktalseiten zu 177 Oktalworten unterteilt. Es handelte sich um einen 12 Bit-Wortrechner, und daher war eine indirekte Adressierung für den 'übergang zwischen Seitenbegrenzungen und zur Verknüpfung der Gruppen erforderlich. The one used in the manufacture of hybrid circuit batches Hechner contained two core groups, Grupjje liull and Gruppe Dins. Each core group was divided into 40 »octal pages of 177 octal words. It was a 12 bit word calculator, and therefore Indirect addressing was required for the transition between page boundaries and to link the groups.

209841/057 9209841/057 9

BAD ORtGiNALBAD LOCAL

-15- . 2UA571-15-. 2UA571

Gruppe O - die Systerngruppe war folgendermaßen aufgebaut :Group O - the system group was structured as follows :

a) Unterbrechung des Normal/programmesa) Interruption of the normal / program

b) Fortran ruft arithmetische und I/O Programme aufb) Fortran calls arithmetic and I / O programs

c) Anwendungsprogramme, welche ermöglichen, daß ürortran periphere Geräte über Unterprogramme adressiertc) Application programs which enable ürortran peripheral devices via subroutines addressed

Gruppe 1 - die Benutzungsgruppe enthielt:Group 1 - the usage group contained:

a) Anlauf der Programmea) Start of the programs

b) V/arteverzeichnis für den Brennvorgangb) V / arte directory for the burn process

c) l'ernschreiberserviceprogrammc) the narrator service program

d) arithmetische und Berechnungsprogramme für Messung, Abtastung und VorherbeStimmung von Produktionsände- * rungend) arithmetic and calculation programs for measurement, Scanning and prediction of production conditions * struggles

e) UatenGpeicherprograiiinie für die Verfahrensanalyse,e) Data storage program for process analysis,

das Meßsystem anlaufen zu lassen, wird ein Kommande geschrieben, welches das Verfahren einleitet und anzeigt, daß eine neue Charge von Schaltungen, möglicherweise mit einer anderen Schaltungsausbildung, zum Messen bereit ist. Dann wird die Schaltungsnummer und die Chargennummer eingeschrieben und der gelochte Papierstreifen mit den Schaltungskonstanten eingegeben. to start the measuring system, a command is written, which initiates the procedure and indicates that a new batch of circuits, possibly with another Circuit training, ready to measure. Then the circuit number and the batch number are written in and the punched paper strip entered with the circuit constants.

Inzwischen durchlaufen die Schaltungen den Ofen auf einem S¹Or- μ derband, und beim Austreten aus dem Ofen werden Proben in Kontakt mit den Kontaktflächen abgesenkt, welche mit jedem Wider-· stand jeder Schaltung nacheinander verbunden werden. Der Ab- [ taster liest die Spannung über jedem Widerstand, und das Digi-' talwiderstandsmeßgerät wandelt diese Ablesung in Ohm um.Meanwhile, the circuits passing through the oven on a S ¹ or- derband μ, and upon exiting the furnace, samples are lowered into contact with the contact surfaces, which are to each resistance · stand each circuit are connected in succession. The ex [taster reads the voltage across each resistor, and the digi 'talwiderstandsmeßgerät converts this reading in ohms.

Der Rechner druckt dann die gemessenen Werte jedes Widerstandes aus. Wenn alle Widerstände der Schaltung innerhalb des Toleranzbereiches liegen, wird die Schaltung als gut klassifiziert und in den Gut-Behälter geleitet. Liegt der Wert eines einzelnen V/icierstandes unterhalb der unteren oder oberhalb derThe computer then prints out the measured values for each resistor. When all resistors in the circuit are within the If the tolerance range lies, the circuit is classified as good and directed into the good container. Is the value of a individual v / icierstandes below the lower or above the

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BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

oberen Toleranzgrenze, dann wird die gesamte -Schaltung in den Sohleclit-Behälter geleitet, liegt der Wert eines einzelnen Widerstandes unterhalb des Einjustier-Wertes aber' oberhalb der unteren Toleranzgrenze, dann wird diese Schaltung in den Einjustier-Behälter geleitet. Die Ablesewerte für jeden Widerstand werden zur Berechnung des mittleren Widerstandswertes für jede Schaltung aus einer vorbestimmten Anzahl aufeinanderfolgender Schaltungen angesammelt.upper tolerance limit, then the entire circuit is in the Headed sole clit container, the value of an individual lies Resistance below the adjustment value but 'above the lower tolerance limit, then this circuit is in the adjustment container directed. The readings for each resistor are used to calculate the mean resistance value accumulated for each circuit from a predetermined number of consecutive circuits.

Wenn nach Messung des Kontrollwiderstandes der durchschnittliche Widerstandswert einer bestimmten Menge von Schaltungen sich aus dem Toleranzbereich herausbewegt, dann erfolgt eine maschinengeschriebene Anzeige der erforderlichen Förderbandgeschwindigkeitsänderung. Zu diesem Zweck muß dem Rechner die aufzuaddierende Zahl von Schaltungen zum Zwecke der Abtastung und der Häufigkeit der Abtastung eingegeben werden.If, after measuring the control resistance, the average resistance value of a certain set of circuits moves out of the tolerance range, then there is a typewritten display of the required change in conveyor belt speed. For this purpose, the computer must add the number of circuits for the purpose of scanning and the frequency of the scan.

Ferner muß der Rechner zur Bewirkung der Pörderbandgeschwindigkeitsänderung zusätzliche Daten enthalten:Furthermore, the computer must be used to effect the change in conveyor belt speed additional data include:

1) Periodische Messung der Standardkomponenten zur Prüfung der Genauigkeit der Meßbrücke.1) Periodic measurement of the standard components for testing the accuracy of the measuring bridge.

2) Anfangsgeschwindigkeit des Förderbandes - diese wird zunächst geschätzt auf der Grundlage der Proben der vorhergehenden Produktionscharge.2) Initial speed of the conveyor belt - this will be first estimated on the basis of samples from the previous production batch.

Wenn die erforderliche Anzahl von Ablesungen für die Abtastung angesammelt ist, dann wird der mittlere Widerstandswert für jeden Widerstand berechnet und die Gesamtzahl der Meßproben wird ausgeschrieben. - .When the required number of readings for the scan is accumulated, then the mean resistance for each resistance is calculated and the total number of test samples is written out. -.

Liegt der Mittelwert des Kontrollwiderstandes außerhalb der Grenzen, dann läßt'sich die erforderliche Änderung der Pörderbandgeschwindigkeit in folgender Weise berechnen:If the mean value of the control resistance is outside the limits, then the required change in the conveyor belt speed can be made calculate in the following way:

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-π- 21U571-π- 21U571

Geschwindigkeit = -?-· ¹ + eine KonstanteSpeed = -? - · ¹ + a constant

neuenew

wobei XlT = der anzustrebende Widerstand χ = der durchschnittliche Widerstandswert der Probenwhere XIT = the resistance to be aimed for χ = the average resistance value of the samples

■jjj~ = der Änderungskoeffizient des Widerstandes mit der■ jjj ~ = the coefficient of change of the resistance with the

i'örderbandgeschwindigkeit
Sn = die Augenblicksgeschwindigkeit des .Förderbandes ist.i'conveyor speed
Sn = the instantaneous speed of the conveyor belt.

Die Änderung der Eörderbandgeschwindigkeit kann automatisch durchgeführt werden. Die Ausgangsinformation des Heehners 8 wird einem Digital-Analog-Konverter 10 zugeführt, welcher die Motorspannung des Förderbandantriebs 12 erhöht oder erniedrigt. IJach der änderung der Förderbandgesehwindigkeit läßt man eine Zeit vergehen, damit die Schaltungen, welche unter den geänderten Brennbedingungen bearbeitet worden sind, bis zu der Prüf- , position wandern können. :The change of the conveyor belt speed can be done automatically be performed. The output information of the Heehners 8 is fed to a digital-to-analog converter 10, which the Motor voltage of the conveyor belt drive 12 increased or decreased. After changing the speed of the conveyor belt, one can leave a Time goes by for the circuits that have been processed under the changed firing conditions to be tested, position can hike. :

Ein kleiner Anteil der tatsählichen Produktionscharge ist ; nachfolgend als ein Arbeitsbeispiel beschrieben. Die Schaltung hatte acht Widerstände mit sehr unterschiedlichen Werten. Die Widerstände hatten die Nummern 1 bis 6 und bestanden aus demselben widerstandsmaterial. Das Widerstandsmaterial war eine i'Iischung zu gleichen Teilen von.duPont Dir· 8279 und 8281, wobei das erste Material 8279 einen Nominalwert des Flächenwiderstsndes von 0,5 kOhm/lFläehenquadrat bei einer Brenntemperatur ^: von 740° C und einer Dicke von 25 Mikron ergibt, während das zweite Material 8281 einen Nominalwert von etwa 1,8 kOhm/Flächenquadrat unter den gleichen Bedingungen ergibt. Die Widerstände ITr. 7 und 8 bestanden aus einem Widerstandsmaterial, welches einen Ji'lächenwiderstand von etwa 100 kOhm/]?lächenquadrat: ergibt.A small fraction of the actual production batch is; described below as a working example. The circuit had eight resistors with very different values. The resistors were numbered 1 to 6 and were made of the same resistor material. The resistor material was a i'Iischung equally von.duPont you · 8279 and 8281, wherein the first material 8279 a nominal value of 0.5 kOhm Flächenwiderstsndes of / lFläehenquadrat at a firing ^temperature: 740 ° C and a thickness of 25 microns results in , while the second material 8281 gives a nominal value of about 1.8 kOhms / square under the same conditions. The resistances ITr. 7 and 8 consisted of a resistance material, which results in a surface resistance of approximately 100 kOhm / surface square.

Tabelle I zeigt die Werte und Toleranzen für jeden Widerstand.Table I shows the values and tolerances for each resistor.

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2UA5712UA571

Table I. Resistance Ir.

SollwertSetpoint

ToleranzbereichTolerance range

^L7' ^L 7 '

39003900 Ohmohm + 20 >o+ 20> above ΊοΊο kOhiükOhiü ± 5 ;i± 5; i 100100 Ohmohm + 30 h
- 4-0 Y-- + 30 h
- 4-0 Y-- 180180 Ohmohm + 10 ^+ 10 ^ 100100 Ohmohm + 20 >;+ 20>; 220220 Ohmohm (Verhältnis -ö— = 0,02
"'"2(Ratio -ö- = 0.02
"'" 2 2,22.2 mOhnimOhni + 20 ρ + 20 ρ 220220 kOhrakOhra + 20 ·ρ + 20 ρ

Die meisten dieser Widerstände waren in der Präzis als Widerstandspaar jeweils gleichen Wertes entworfen und zur Bildung der oben angeführten Vierte entweder in Reihe oder parallel 'geschaltet. Jedoch waren die Widerstände Mr. 1 und Hr. 6 einfache Rechtecke mit den folgenden Dimensionen:Most of these resistors were in the precision as a pair of resistors each designed with the same value and connected either in series or in parallel to form the fourth mentioned above. However, the resistors were Mr. 1 and Mr. 6 simple Rectangles with the following dimensions:

Nr. 1 2,3 x 8,5 mm Mr. 6 2,1 χ .9,6 mmNo. 1 2.3 x 8.5 mm Mr. 6 2.1 χ .9.6 mm

Die Widerstände waren auf einen Substrat in einer solchen Dicke aufgetragen, daß die Enddicke nach dem Brennen 23 ±2,5 Mikron betrug. Die Dicke nach dem Trocknen, aber vor dem Brennen, war etwa 30 # größer. Alle Widerstände bestanden aus demselben Widerstandsmaterial und waren in einem einzigen Durchgang gedruckt worden. In diesem Beispiel wurden die Widerstände 7 und 8 zuerst gedruckt und mit einem fünfminutigen Durchlauf durch einen Infrarottrockner getrocknet. Dann wurden die isiiüerstände 1 und 6 gedruckt und der Trockenvorgang· wurde wiederholt. Bei dem Trockenvorgang, werden praktisch sämtliche Lösungsmittel aus' der Druckmasse entfernt. Die Zeit und Temperatur sollte ausreichend läng sein, so daß eine vollständige Durchtrociaiun^ erfolgt.The resistors were coated on a substrate to a thickness such that the final thickness after firing was 23 ± 2.5 microns fraud. The thickness after drying but before firing was about 30 # larger. All resistances consisted of the same Resistance material and had been printed in a single pass. In this example the resistors 7 and 8 printed first and dried with a five minute pass through an infrared dryer. Then the resistances became 1 and 6 were printed and the drying process was repeated. During the drying process, practically all solvents are removed removed from 'the printing mass. The time and temperature should be long enough so that a complete throughtrociaiun ^ he follows.

209841/0S7d209841 / 0S7d

Dann wurden die Einheiten in einem Produktionsοfen gebrannt. Der Ofen hatte eine Länge von etwa 10,5 m und ein Temperaturprofil gemäß l?ig. 6. Der Verlauf des Teniperaturprofils in den letzten 2 "bis 3 m ist nicht kritisch, da hier die Temperatur abnimmt und in den Brennvorgang praktisch, nicht mehr eingeht.Then the units were fired in a production furnace. The furnace was approximately 10.5 meters long and had a temperature profile according to lengthy. 6. The course of the temperature profile in the last 2 "to 3 m is not critical, as this is the temperature decreases and practically no longer goes into the burning process.

Tabelle "II gibt eine Zusammenstellung von werten für eine den Ofen durchlaufende Charge von TOO Einheiten.Table "II gives a compilation of values for a batch of TOO units running through the furnace.

jj Nr.No. niedriglow justierenadjust Heuhay Tabelle IITable II KK hochhigh erheblichconsiderable Durchs chnittAverage 0101 11 00 11 A = 61A = 61 00 zu- hochtoo high 0,3702 E0.3702 E. 0101 ii 22 00 6565 gutWell 11 11 0,9258 E0.9258 E. -01-01 33 00 00 9898 00 00 0,9555 10.9555 1 0000 44th 00 1919th 3434 00 00 0,1716 E0.1716 E. -01-01 55 11 1010 100100 00 11 0,9114 S0.9114 S. 0000 66th 00 00 8080 00 22 0,2110 E0.2110 E. 0404 77th 00 1111 8787 3 .3. 00 0,2002 E0.2002 E. 0303 jj 88th 00 33 100100 55 ■0■ 0 0,2129 E0.2129 E. BSBS = 12504= 12504 8686 1222812228 00 [[ OKTOCT G = 28G = 28 9292 = 1= 1 TS *=TS * = R = 10R = 10

Die vorstehend angegebene Tabelle IT ist eine Kopie einer vom Reeimer ausgedruckten Liste. Die erste Spalte enthält die Wi- . λ derstandsnummer. Die zweite Spalte enthält die Anzahl der Wi- ·The table IT given above is a copy of a list printed out by the Reeimer. The first column contains the Wi-. λ serial number. The second column contains the number of wi-

derstände, deren Werte zu niedrig waren, um durch eine Justie-; rung in den Toleranzbereich gebracht zu werden. Hierbei ist ; festzustellen, daß nur eine Schaltung einen Widerstand (Nr.5) aufwies, der in dieser Hinsicht aus dem Rahmen fiel. Die Schal+ tung mit diesem Widerstand mußte als Ausschuß ausgeschieden werden.resistances whose values were too low to go through an adjustment; tion to be brought into the tolerance range. Where is; determine that only one circuit has a resistor (# 5) which was out of the ordinary in this regard. The circuit with this resistor had to be eliminated as a committee will.

Spalte 5 gibt die Anzahl der jeweiligen Widerstände an, welche nach dem Brennen so wenig aus dem Toleranzbereich herausfielen^ daß sie naclijustiert werden konnten.Column 5 indicates the number of the respective resistors, which so little fell out of the tolerance range after firing ^ that they could be readjusted.

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BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

Spalte 4 gibt die Anzahl der nach dem Brennen innerhalb des Toleranzbereiches liegenden widerstände an, welche Iceine Justierung erforderten.Column 4 gives the number of after burning within the Resistance within the tolerance range, which is an adjustment required.

Spalte 5 gibt die Anzahl der oberhalb des Toleranzbereiches liegenden Widerstände an, die nicht mehr justiert werden konnten, so daß die betreffenden Schaltungen zum Ausschuß gezählt werden müssen.Column 5 gives the number of above the tolerance range lying resistors that could no longer be adjusted, so that the circuits concerned are counted as rejects Need to become.

Spalte β gibt die Anzahl derjenigen Widerstände an, deren Werte viel zu hoch lagen. Die betreffenden Schaltungen waren ebenfalls Ausschuß.Column β gives the number of those resistors whose values were much too high . The relevant circuits were also rejected.

Spalte 7 gibt den statistischen Durchschnittswiderstandswert in kOhm für alle 100 gemessenen Widerstände an. Mach dem "E" ist die Stellenzahl angegeben, um welche das Komma verschoben werden muß, um den Warenwert In kOnm zu erhalten. Im !falle der Widerstände Hr. 3 und Nr. 5 handelt es sich um eine negative Kommaverschiebung; Das .Komma muß also nach links verschoben werden, während es in den anderen Fällen nach rechts verschoben werden muß. Column 7 gives the statistical average resistance value in kOhm for all 100 measured resistances. Do the "E" the number of digits is indicated by which the comma must be shifted in order to obtain the goods value In kOnm. In case of Resistors Mr. 3 and 5 is a negative decimal point shift; The comma has to be shifted to the left while in the other cases it has to be shifted to the right.

Unten in der Tabelle sind die Gesamtwerte angegeben. Daraus ist ersichtlich, daß die Gesamtanzahl der Gut-Schaltungen 28 betrug. 61 Schaltungen hatten Widerstände mit außerhalb des Toleranzbereiches liegenden Werten, die sich aber justieren ließen. Eine Schaltung (Kategorie K) war Ausschuß, weil das Verhältnis der Widerstände 2 und 6 außerhalb des Toleranzber^siches lag. 10 Schaltungen mußten ausgeschieden werden, da einer oder mehrere Widerstände zu niedrig oder zu hoch lagen.The table below shows the total values. It can be seen from this that the total number of OK shifts is 28 fraud. 61 circuits had resistors with values outside the tolerance range, but they adjust let. A circuit (category K) was rejected because that Ratio of resistors 2 and 6 outside the tolerance range lay. 10 circuits had to be eliminated because one or more resistors were too low or too high.

Der Widerstand jtfr. 2 wurde als Kontrollwiderstand benutzt, da bei ihm die engsten Toleranzgrenzen von + 5 yt> (Tabelle I) vorlagen. Bei dieser Charge lag der Durchschnittswert des Kontrollwiderstandes außerhalb der Toleranzgrenzen.The resistance jtfr. 2 was used as a control resistor since with him the narrowest tolerance limits of + 5 yt> (Table I). The average value of the control resistance was found for this batch outside the tolerance limits.

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Λ »ir.T=OΛ »ir.T = O

-unten In Tabelle II angegebene Wert "BS = 12304" ist ein "für die tatsächliche S'örderbandgeschwinai^iceit. Diese Anzahl stellt die Zahl der Getrieberäderzähne dar, welche in einer vorgegebenen Zeiteinheit (hier 10 Sekunden) an einem Wandler vorbeilaufen. Die tatsächliche Bandgeschwindigkeit betrug 66 em/ain. Ua, der Kontrollwiderstand außerhalb des Toleransbereichs lag, bestimmte der Rechner, daß die Bandgeschwindigkeit geändert werden sollte, und zwar zur neuen Bandgeschwindigkeit "TS = 1222U", damit der mittlere Wert des Kontrollviderstandes dichter beim Sollwert von 10 kOhm liegen soll.- The value "BS = 12304" given below in Table II is a "for the actual conveyor belt speed. This number represents the number of gear wheel teeth which pass a transducer in a given time unit (here 10 seconds). The actual Belt speed was 66 em / ain. Among other things, the control resistor was outside the tolerance range, the computer determined that the belt speed should be changed to the new belt speed "TS = 1222U", so that the mean value of the control resistor was closer to the nominal value of 10 kOhm should lie.

■ In diesem Beispiel wurde die Korrektur der 3?ö'rderbandgeschwindigkeit von Hand durchgeführt. Hierbei wurde nicht genau die vom Rechner bestimmte Änderung durchgeführt, weil in"diesem Produktionsstadium zusätzliche Faktoren zu berücksichtigen waren, welche nicht im Rechner programmiert waren.■ In this example the correction of the conveyor belt speed done by hand. The exact change determined by the computer was not carried out, because in "this Production stage additional factors to consider which were not programmed in the computer.

Aus Tabelle II ist zu ersehen, daß die Gesamtzahl der Ausschußischaltungen R am Tabellenende nicht die Summe der Zahlen der Spalten "niedrig", "hoch" und "viel zu hoch" ist. Der Grund liegt darin, daß manche Widerstände in mehreren Kategorien gleichzeitig auftauchen, da beispielsweise die viel zu hohen Widerstände gleichzeitig bei den zu hoch liegenden Widerständen aufgeführt sind. Eine Schaltung, bei der mehr als ein Widerstand in der Ausschußkategorie aufgeführt ist, erscheint in der Ge- ! samtzahl der Ausschußschaltungen natürlich nur einmal.From Table II it can be seen that the total number of committee calls R at the bottom of the table is not the sum of the numbers in the "low", "high" and "far too high" columns. The reason lies in the fact that some resistances fall into several categories appear at the same time, because, for example, the much too high resistances at the same time as the too high resistances are listed. A circuit where more than one resistor is listed in the reject category appears in the listing! the total number of rejects only once, of course.

Die im folgenden angeführte Tabelle III ist eine.Kopie des Ausdrucks für die die nächsten 100 Schaltungen umfassende i Charge nach der Änderung der IPörderbandgesehwindigkeit gegen-¹ über Tabelle II. 'Table III mentioned in the following is eine.Kopie of the expression for the next 100 circuits comprising i batch after the change of IPörderbandgesehwindigkeit counter ¹ through Table II. '

2 0 9 8 Λ 1 /0B79 BAD 2 0 9 8 Λ 1 / 0B79 BAD

2UA5712UA571

,Nr.,No. niedriglow TabelleTabel gutWell K =K = IIIIII erheblichconsiderable Durchs chnittAverage E 01E 01 [
■
¹ [
■
¹ .1.1 OO 9797 zu hochtoo high ■0,3990■ 0.3990 Ä 01Ä 01 22 OO justierenadjust 9595 hochhigh ■ 3■ 3 0,98780.9878 !•J OO! • J OO 33 OO OO 100100 00 11 0,10620.1062 B 00B 00 44th OO 44th 9393 00 00 0,18730.1873 E 00E 00 55 OO OO 9999 00 11 0,10020.1002 E 00E 00 6 ■6 ■ . O. O 11 9999 55 11 0,21380.2138 jj 04yy 04 77th 11 OO 7777 00 11 0,22890.2289 J. 03 J. 03 88th OO OO 7878 00 1010 0,23250.2325 BSBS = 12255= 12255 11 Neu TS =New TS = 1111 99 CKTCKT α = 56 .α = 56. 11 A = 5A = 5 .12.12 1211712117 = 39= 39 0 E0 E

Hier ist zunächst festzustellen, daß die tatsächliche bandgeschwindigkeit "BS" etwas höher als die vom lie eimer bestimmte liegt. Die Abnahme der Bandgeschwindigkeit (Erhöhung der üreniizeit), die bei dieser Charge vorlag, führte zu einer Erhöhung der Durchschnittswerte aller Widerstände. Der Durchschnittswert des Kontrollwiderstandes (Hr. 2) wurde enger an den in kOhm angegebenen Sollwert gebracht und lag nun i innerhalb der Toleranzgrenzen. ■First of all, it should be noted that the actual belt speed "BS" is slightly higher than that determined by the lie bucket. The decrease in the belt speed (increase in the initial time) that was present in this batch led to an increase in the average values of all resistors. The average value of the control resistance (Mr. 2) was brought closer to the nominal value given in kOhm and was now i within the tolerance limits. ■

Eine bedeutende Verbesserung wurde bei den G-ut-Schaltungen von 28 auf 56 erreicht. Das ist eine sehr erwünschte Änderung, da die G-ut-Schaltungen nicht nachjustiert zu werden brauchen. Dieser Vorteil ist höher zu werten als lediglich eine Verminderung der Produktionskosten. Schaltungen, welche nicht durch Entfernen eines Teils des Widerstandsmaterials nachjustiert werden müssen, zeigen ein geringeres Rauschen, sind stabiler und verhalten sich bei Betriebstests günstiger als Schaltungen, welche nachjustiert worden sind.A significant improvement was made in the G-ut circuits of Reached 28 to 56. This is a very desirable change as the G-ut circuits do not need to be readjusted. This advantage is to be valued more than just a reduction in production costs. Circuits, which are not through Removal of part of the resistor material readjusted need to be, show less noise, are more stable and behave more favorably in operational tests than circuits, which have been readjusted.

Eine unerwünschte Änderung infolge der Änderung der i'örderbandgeschwindigkeit war die Vergrößerung der AusschußschaltungenAn undesirable change as a result of the change in the conveyor belt speed was the enlargement of the committee circuits

209841/0579209841/0579

BADBATH

-23- 21U571-23- 21U571

von 10 auf 39. Der Grund hierfür liegt hauptsächlich darin, daß die Widerstände 4> 7 und 8 in ihren Werten über den Durchschnittssollwert angehoben worden sind. Wegen dieser Gefahr ist die jj'örderbanägeschwindigkeit nicht so weit herabgesetzt worden, wie es der liechner bestimmt hatte.from 10 to 39. The main reason for this is that the resistances 4> 7 and 8 have been raised in their values above the average setpoint. Because of this danger the speed of the conveyor belt is not reduced that much as the liecher had determined.

Wegen Einflüssen, die in Schwierigkeiten am Meßplats und der Bildung sauberer Jbergangskontakte beim Messen der Widerstände begründet sind, sind einige Schaltungen als Ausschuß deklariert worden, die tatsächlich kein Ausschuß sind. Bei einer nochmaligen Überprüfung der Ausschußschaltungen erscheinen diese dann als akzeptabel.Because of influences that caused difficulties at the measuring site and the Formation of clean junction contacts when measuring the resistances are justified, some circuits are declared as rejects which are actually not a committee. With a repeated Review of the committee circuits these appear then as acceptable.

209841/Q57S209841 / Q57S

Claims

Process for the production of thick-film ^T .fiderstands with a nominal value for the average resistance value lying within a predetermined tolerance range, at which a continuous line of printed resistance units is deposited on insulating substrates. and drying by evaporation of the solvent and firing the dried units in an oven with a specific peak temperature to set the desired setpoint, characterized by the following steps:

Burning a batch of resistor units in an oven,

Measure the resistance values of at least one Statistics sufficient number of resistors after removal from the oven and determination of the actual value the average resistance value of this batch,

Determination of the deviation of the actual value of the batch from the target value and

Readjust at least the burning time and peak temperature of the furnace in such a way that the average resistance value of the fired units is brought to the target value.

2. The method according to claim 1, characterized in that the characteristic curve of the peak burning temperature compared to the voiderstand for a certain resistance mass has an instruction of 1 fo to 5 ίο.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that that at least the burning time is varied to adjust the resistance to a desired value.

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4. Method according to one of the preceding. Claims, thereby characterized in that the peak burning temperature is 720 ° and the burn time is about 50 minutes.

Method according to claim 1, characterized in that according to measuring the average resistance of the fired resistors emerging from the furnace at a known conveyor belt speed exit, and the measurement of the deviation of the actual resistance from the target resistance, the conveyor belt speed is set so that the resistors have the desired setpoint.

Method according to claim 1, characterized in that a series of resistors is printed and fired in a furnace, the relationship between the resistance value of the fired resistors and the firing time is established that the value of at least one statistical sample number of. Resistances are measured when leaving the furnace so that the average value of the fired resistances is automatically compared with the desired average value; and that the conveyor belt speed in the furnace is readjusted in accordance with the relationship by an amount such that the average resistance of the subsequently fired resistors is brought to the desired average resistance ^. ■. . '

Method according to Claim 1, characterized in that a number of test resistors are fired in the furnace at different conveyor belt speeds and the relationship between resistance value and conveyor belt speed is determined from the measurement results, that a series of production resistances in the furnace It is fired that the values of at least a statistical number of resistance samples of the production resistances are measured after exiting the furnace and the average resistance of the production resistances is determined that the size of the deviation >

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21U571

of the -./wert of the sat production resistances of the desired resistance is determined and that in accordance with the previously established relationship between Resistance and Conveyor belt speed reduce the burning time in such a way readjusted so that the average value of the subsequently fired resistors the desired .Average value occupies.

8. Process for the production of thick film resistors according to Claim 1, wherein the resistors are deposited on a plurality of hybrid integrated circuits, each of which a plurality of oermet resistors with different Average resistances with different percentage tolerance ranges and different resistance masses containing the circuits by printing a continuous series of the individual resistors in a ii'sequence. on insulating substrates, evaporating the solvent from the printed resistors and passing through the dried ones Resistors with a known conveyor belt speed through a kiln with a certain temperature profile and a certain peak temperature -, characterized in that the resistor with the tightest tolerances is used as a control resistor is used that all resistors one and the same circuit unit from resistance masses with the same characteristic in terms of burning speed and resistance after firing at the furnace temperature * profile can be formed that the relationship between the value of the fired resistors and the burning time for the Control resistance is determined that a series of resistances in the kiln with a certain i'conveyor belt speed It is fired that the resistance values of at least one statistical sample of the control resistances at When leaving the furnace, the average resistance of the fired control resistors can be measured with the desired value. Average resistance compared automatically

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and that the conveyor belt speed through the furnace is automatically changed in accordance with the relationship by such an amount that the average value is the following fired "resistors to the desired average resistance is adjusted.

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