DE2111837A1

DE2111837A1 - Method and device for determining a linear dimension of a workpiece

Info

Publication number: DE2111837A1
Application number: DE19712111837
Authority: DE
Inventors: Binks Sidney David; William Hurton; Roy Shorrock
Original assignee: Davy and United Instruments Ltd
Current assignee: Davy and United Instruments Ltd
Priority date: 1970-03-12
Filing date: 1971-03-12
Publication date: 1971-09-23

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen-einer linearen abmessung eines Werkstücks Die Erfindung betrifft- ein Verfahren nebst Vorrichtung zum Bestimmen der linearen Abmessung eines sich bewegenden Werkstückes. Eine bevorzugte, jedoch nicht ausschießliche Anwendungsmöglichkeit der Erfindung besteht beim Messen des Durchmessers von Knüppeln o, -dgl., die aus einem Walzwerk kommen.Method and apparatus for determining a linear dimension of a Workpiece The invention relates to a method and a device for determining the linear dimension of a moving workpiece. A preferred one, however The invention can not be used exclusively when measuring the Diameter of billets or the like that come from a rolling mill.

Es ist bekannt, die bemessung eines Werkstückes, beispielsweise eines Knüppels, einer Stange o. dgl. dadurch zu messen, daß das Werkstück in Richtung parallel zu der zu bestimmenden Abmessung mittels eines Laserstrahles abgetastet wird. Dieser Laserstrahl wird mit Hilfe eines Drehspiegels, auf den er gerichtet ist, abgelenkt,und der sich -dadurch bewegende Strahl wird auf eine Photozelle geleitet. Solange dieser Strahl nicht von dem Werkstück abgedeckt ist, wird in der Photozelle einu serie ähnlicher Impulse erzeugt, und zwar ein Impuls pro Uberstrechung durch den Strahl. Wenn ein Werkstück so angeordnet wird, daß es von dem Laserstrahl überstrichen bzw. abgetastet wird, verhindert das Werkstück während eines Teils der Abtastbewegung, daß der Strahl auf die Photozelle auftrifft, wodurch die Form der von der Zelle abgegebenen Impulse verändert wird. Die Abmessung des Werkstückes wird dann dadurch bestimmt, daß die abgewandelten Impulse "START"- und "STOP"-Signale erzeugen, die abgeleitet werden, wenn die Vorderkante des abtastenden strahls die erste Kante des Werkstückes gerade berührt und wenn sie die Hinterkante des Werkstückes verläßt, wobei der Abstand dieser Kanten gemessen werden soll.It is known that the dimensioning of a workpiece, for example a Knüppels, a rod or the like. To measure that the workpiece in the direction scanned parallel to the dimension to be determined by means of a laser beam will. This laser beam is directed with the help of a rotating mirror onto which it is directed is deflected, and the beam moving through it is directed to a photocell. As long as this beam is not covered by the workpiece, the photocell will a series of similar impulses is generated, namely an impulse per overhaul through the beam. When a workpiece is placed so that it is exposed to the laser beam is passed over or scanned, prevents the workpiece during a part the scanning movement that the beam hits the photocell, creating the shape of the pulses emitted by the cell is changed. The dimension of the workpiece is then determined by the modified pulses "START" and "STOP" signals which are derived when the leading edge of the scanning beam dies first edge of the workpiece just touches and when it touches the rear edge of the workpiece leaves, whereby the distance between these edges is to be measured.

Diese bekannte Einrichtung ist dazu geeignet, ein Werkstück mit großer Genauigkeit auszumessen, erfordert allerdings, daß sich das Werkstück während der Messung nicht in einer Richtung bewegt, die parallel zu der zu bestimmenden Abmessung verläuft. Wenn sich das Werkstück nämlich in der Richtung parallel zu der zu bestimmenden Abmessung bewegt, dann kann die gemessene Größe einen erheblichen Fehler enthalten. Dieser Fehler hat die Eigenschaft, daß der Meßwert bei sich in Richtung der Abtastbewegung bewegendem Werkstück größer als die- tatsächliche Abmessung ist, während der Meßwert kleiner als die tatsächliche Größe ist, wenn sich das Werkstück entgegen der Abtastrichtung des Strahles bewegt.This known device is suitable for a workpiece with large To measure accuracy, however, requires that the workpiece during the Measurement does not move in a direction parallel to the dimension to be determined runs. If the workpiece is in the direction parallel to that to be determined Dimension moved, then the measured size may contain a significant error. This error has the property that the measured value is in the direction of the scanning movement moving workpiece is larger than the actual dimension, while the measured value is smaller than the actual size when the workpiece is against the scanning direction of the beam moves.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, bei der eine lineare Abmessung eines Werkstückes mit größerer Genauigkeit als bisher auch dann bestimmt werden kann,- wenn sich das Werkstück in einer Richtung bewegt, die weitgehend parallel zur Richtung der zu bestimmenden Abmessung bewegt.The invention is therefore based on the object of a method and to provide an apparatus in which a workpiece has a linear dimension greater accuracy than before can also be determined - if themselves the workpiece moves in a direction that is largely parallel to the direction of the to be determined dimension moved.

Bei einem Verfahren zum Bestimmen einer linearen Abmessung eines Werkstückes, das in einer weitgehend parallel zu der zu bestimmenden Abmessung bewegbar ist, besteht die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe darin, daß das Werkstück durch mindestens einen Energiestrahl wiederholt mit bekannter Geschwindigkeit abgetastet wird, daß die das Werkstück passierenden Energiestrahlen mindestens einem Energiewandler zugeführt und von diesem in elektrische Signale umgesetzt werden, welche für jeden Abtastvorgang ein Maß für die Zeitdauer enthalten, während welcher der Energiestrahl das Werkstück trifft, und daß die gesuchte bemessung dann aus zwei oder einem Vielfachen von zwei aufeinanderfolgenden Abtastungen errechnet wird.In a method for determining a linear dimension of a workpiece, which can be moved in a dimension that is largely parallel to the dimension to be determined, the inventive solution to this problem is that the workpiece through at least one energy beam is repeatedly scanned at a known speed that the energy beams passing through the workpiece have at least one energy converter fed and converted by this into electrical signals, which for each Sampling process contain a measure of the length of time during which the energy beam the workpiece hits, and the required dimensioning is then made up of two or a multiple is calculated from two consecutive scans.

Bevorzugt wird ein Verfahren, bei dem das Werkstück über die zu bestimmende Abmessung mit dem Energiestrahl beaufschlagt wird und bei dem mindestens ein Energiewandler mit bekannter Abtastgeschwindigkeit entweder von dem das Werkstück beaufschlagenden Energiestrahl oder von einem Abbild des Werkstückes übertrichen wird, bei dem erfindungsgemäß aufeinanderfolgende überstreichungen in entgegengesetzte Richtungen verlaufen und elektrische Signale erzeugen, die die Periode jeder Überstreichung, während der der Strahl das Werkstück trifft, anzeigen; und bei dem die gesuchte Abmessung dann aus zwei oder einem Vielfachen von zwei aufeinanderfolgenden Überstreichungen errechnet wird.A method is preferred in which the workpiece is to be determined Dimension is acted upon by the energy beam and in which at least one energy converter with known scanning speed either from the one acting on the workpiece Energy beam or from an image of the workpiece is passed over, in the case of the invention successive strokes run in opposite directions and generate electrical signals representing the period of each sweep during the the beam hits the workpiece, indicate; and in which the desired dimension then calculated from two or a multiple of two successive sweeps will.

Zur iiusführung des Verfahrens dient eine Vorrichtung -zum Bestimmen einer linearen Abmessung eines Werkstücks, das in einer Richtung bewegbar ist, die im wesentlichen parallel zu der zu bestimmenden Abmessung verläuft, mit einer Einrichtung zum Abgeben eines das Werkstück über die zu bestimmende Abmessung beaufschlagenden Energiestrahls, und mit mindestens einem Energiewandler, der elektrische, der Intensität und Dauer des auftreffenden Energiestrahls entsprechende elektrische Signale abgibt, und die sich auszeichnet durch eine Einrichtung zum wiederholten Überstreichen des bzw. der Wandler in aufeinanderfolgend entgegengesetzten Richtungen entweder durch den das Werkstück beaufschlagenden Energiestrahl oder ein Abbild des Werkstückes, und durch einen Rechner, der an den/die Wandler angeschlossen ist und die gesuchte bemessung aus den Signalen errechnet, die von zwei oder einem Vielfachen von zwei aufeinanderfolgenden Uberstreichungen erzeugt werden.A device for determining is used to carry out the method a linear dimension of a workpiece, that in one direction is movable, which runs essentially parallel to the dimension to be determined, with a device for delivering the workpiece over the dimension to be determined applied energy beam, and with at least one energy converter, the electrical, electrical energy corresponding to the intensity and duration of the incident energy beam Emits signals, and which is characterized by a device for repetitive Sweeping over the transducer or transducers in successively opposite directions either by the energy beam impinging on the workpiece or by an image of the workpiece, and by a computer that is connected to the converter (s) and the required dimensioning is calculated from the signals that are two or more multiples generated by two successive sweeps.

Vorzugsweise wird der Energiestrahl von einem Laserstrahl gebildet.The energy beam is preferably formed by a laser beam.

Die Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen anhand einiger ;usführungsbeispiele näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt: Fig. 1 eine schematische Darstellung einer in zwei Richtungen arbeitenden Abtasteinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung; Fig. 2 in schematischer Darstellung eine bevorzugte Ausführungsform eines Rechners zur Verarbeitung der von den Abtastvorrichtungen gemäß den Fig. 1, 3 oder 4 kommenden elektrischen Signale; Fig. 3 in schematischer Darstellung eine andere tusführungsform einer in zwei Richtungen arbeitenden Abtastvorrichtung; und Fig. 4 -eine weitere Ausführungsform der Abitastvorrichtung.The invention is described below with reference to the drawings explained in more detail on the basis of some exemplary embodiments. In the drawings: Fig. 1 is a schematic representation of a scanning device operating in two directions according to one embodiment of the invention; Fig. 2 in a schematic representation preferred embodiment of a computer for processing the data from the scanning devices 1, 3 or 4 coming electrical signals; 3 in schematic form Representation of another form of implementation of a scanning device operating in two directions; and 4 shows a further embodiment of the scanning device.

Gemäß Fig. 1 wird ein Lichtstrahl 1 von einem nicht gezeigten Laser auf einen Strahl-Teiler 2 gerichtet, der zwei identische Strahlen 3, 4 abgibt-. Der Lichtstrahl 4 wird von einem Spiegel 5 reflektiert und trifft auf die Oberfläche eines drehenden Spiegelkörpers 6 unter einem bestimmten Winkel -auf, während der Strahl 3 eine andere Spiegelfläche des Spiegelkörpers 6 ebenfalls unter einem bestimmten Winkel trifft. Der Spiegelkörper 6 besteht aus einem drehbaren zwölfflächigen Spiegel, der seinerseits aus einem Polygon-Körper aus rostfreiem Stahl besteht, dessen Oberflächen geschliffen und poliert sind. Die Winkel des Spiegelkörpers, unter denen die Lichtstrahlen 3, 4 auftreffen, sind so gewählt, daß die Lichtstrahlen aufeinanderfolgend abgelenkt werden, während der Spiegelkörper rotiert.According to FIG. 1, a light beam 1 is emitted from a laser (not shown) directed at a beam splitter 2, which emits two identical beams 3, 4. The light beam 4 is reflected by a mirror 5 and hits the surface a rotating mirror body 6 at a certain angle -on, during the Ray 3 another mirror surface of the mirror body 6 also under a certain one Angle meets. The mirror body 6 consists of a rotatable twelve-sided mirror, which in turn consists of a polygonal body made of stainless steel, its surfaces are sanded and polished. The angles of the mirror body at which the rays of light 3, 4 impinging are chosen so that the light beams are deflected successively while the mirror body is rotating.

In einer ersten Position des Spiegelkörpers wird der Lichtstrahl 3 von einem der Spiegel des Körpers auf einen Pfad 7 abgelenkt, an dessen Ende er auf einen weiteren Spiegel 8 auftrifft. Dieser Spiegel ist gegenüber dem Pfad 7 geneigt, so daß der Lichtstrahl abgelenkt wird, durch zwei Linsen 9 hindurchtritt und auf einen weiteren Spiegel 10 auf trifft, der den Lichtstrahl in Richtung auf einen Energiewandler in Form einer Photozelle 11 ablenkt. Beim Drehen des Spiegelkörpers wird der Lichtstrahl bis zu einem Pfad 12 -abgelenkt, von dem aus er -- auf dem beschriebenen Weg - nach wie vor auf die Photozelle 11 auftrifft. Die Lasereinheit ist etwas unterhalb der Ebene des Spiegelkörpers angeordnet, während die Photozelle etwas oberhalb dieser Ebene liegt, so daß der Strahl stetig von der Laser-Lichtquelle bis zur Photozelle in einer Ebene ansteiqt, die senkrecht zur Ebene des in Fig. 1 gezeigten Lichtstrahls 3 verläuft. Beim Weiterdrehen des Spiegelkörpers tritt der Zeitpunkt ein, bei dem der Lichtstrahl 3 nicht mehr auf den Spiegel 8 auftrifft, und da der Körper weiterdreht, wird der Lichtstrahl 4 nach seiner Reflektion durch den Spiegelkörper 6 aUf einen Pfad 13 abgelenkt und fällt nach Ablenkung durch die Spiegel 10 und 8 auf eine weitere Photozelle 14. Während des Weiterdrehens des Spiegelkörpers 6 wird auch dieser Lichtstrahl weiter abgelenkt und gelangt schließlich auf den Pfad 15. Bei weiter fortgesetzter Drehung des Körpers wird der Lichtstrahl 3 von der nächsten Spiegelfläche reflektiert und folgt wiederum dem Pfad 7, worauf sich die Sequenz wiederholt.In a first position of the mirror body, the light beam 3 deflected by one of the mirrors of the body onto a path 7, at the end of which he hits another mirror 8. This mirror is across from path 7 inclined, so that the light beam is deflected, passes through two lenses 9 and hits a further mirror 10, which the light beam in the direction of an energy converter in the form of a photocell 11 deflects. When rotating the mirror body the light beam is deflected up to a path 12, from which it - on the described way - still impinges on the photocell 11. The laser unit is located slightly below the level of the mirror body, while the photocell lies slightly above this level so that the beam is steady from the laser light source until to the photocell in a plane that is perpendicular to the plane of the light beam 3 shown in Fig. 1 runs. When turning the mirror body further the point in time occurs at which the light beam 3 no longer hits the mirror 8 hits, and since the body continues to rotate, the light beam 4 after its reflection deflected by the mirror body 6 on a path 13 and falls through after deflection the mirrors 10 and 8 to a further photocell 14. While the further rotation of the Mirror body 6, this light beam is also deflected further and finally arrives on path 15. As the body continues to rotate, the ray of light becomes 3 is reflected by the next mirror surface and again follows path 7, whereupon the sequence repeats itself.

Das Werkstück, dessen Durchmesser bestimmt werden soll und das in dem dargestellten susführungsbeispiel die Form einer Stange 16 hat, wird durch den Zwischenraum zwischen den Linsen 9 hindurchbewegt. Diese Bewegung verläuft in einer Richtung parallel zur Werkstück länge und kann außerdem in einer (bezogen auf Fig. 1) vertikalen Richtung verlaufen. Das Werkstück wird aufeinanderfolgend in umgekehrten Richtungen abgetastet, das heißt, daß der Lichtstrahl 3 nach der Reflektion durch den Spiegelkörper das Werkstück in Richtung nach oben (Fig.The workpiece whose diameter is to be determined and which is in the illustrated susführungbeispiel has the shape of a rod 16 is through the Gap between the lenses 9 moved therethrough. This movement takes place in one Direction parallel to the workpiece length and can also be in a (referring to Fig. 1) run vertically. The workpiece is successively inverted Directions scanned, that is, that the light beam 3 after reflection through the mirror body the workpiece in an upward direction (Fig.

1) abtastet und auf die Photozelle 11 auf trifft, während der Lichtstrahl 4 das Werkstück nach unten abtastet und auf die Photozelle 14 auf trifft.1) scans and strikes the photocell 11 while the light beam 4 scans the workpiece downwards and hits the photocell 14.

Die Ausgangssignale der beiden Photozellen 11, 14 gelangen über getrennte Verstärker 17 in einen Additionsverstärker 18, der die der Auf- und Abwärtsabtastung entsprechenden -Impulsfolgen 19, 20 zusammenfaßt und eine einzige Impulsfolge abgibt, in der die ungeraden Impulse der nach oben verlaufenden Abtastung und alle geraden Impulse der nach unten gerichteten Abtastung entsprechen. Dieses Signal wird dann in die in Fig. 2 gezeigte Auswerteschaltung gegeben.The output signals of the two photocells 11, 14 arrive via separate ones Amplifier 17 in an addition amplifier 18, which the up and down sampling appropriate - Pulse sequences 19, 20 combined and a single one Emits pulse train in which the odd pulses of the upward scan and all even pulses correspond to the downward scan. This The signal is then fed into the evaluation circuit shown in FIG.

Die erste Komponente dieser Auswerteschaltung, in die das vom Additionsverstärker 18 kommende Signal gegeben wird, ist ein Impulsformer 21. Der Ausgang des Impulsformers 21 besteht aus einem Signal, daß sich aus einer Serie von rechteckigen bzw. quadratischen Impulsen 22 zusammensetzt, die auf ein Impulszähltor 23 gegeben werden. An das Impulszähltor 23 ist außerdem ein quarzgesteuerter Taktqenerator 24 angeschlossen, der ein Taktsignal mit 107 Bit pro Sekunde abgibt.The first component of this evaluation circuit, in which the addition amplifier 18 incoming signal is given is a pulse shaper 21. The output of the pulse shaper 21 consists of a signal that consists of a series of rectangular or square Composite pulses 22, which are given to a pulse counter 23. To the pulse counter gate 23 a crystal-controlled clock generator 24 is also connected, which a clock signal emits at 107 bits per second.

Die Rechteckimpulse 22 werden im Impulszähler 23 invertiert, und derjenige Teil der Impulse, der dem beim Auftreffen des Strahls auf das Werkstück entstehenden Signal entspricht, wird dazu benutzt, ein Impulssignal vom Taktgenerator 24 mit 10 Bit pro Sekunde durch zum steuern. An einem Ausgang des Impulszählers 23 werden 7 Impulsstöße 25 mit 10 Bit pro Sekunde abgenommen, wobei die Länge jedes Stoßes von der Breite des Durchsteuerimpulses abhängt, die proportional zur gemessenen Dimension des Werkstückes ist. Die Impulsstöße 25 werden über ein Steuertor 26 zu einer Steuereinheit 27 und über ein Tor 28 zu einer Anzeigeeinheit 29 geleitet.The square pulses 22 are inverted in the pulse counter 23, and that Part of the impulse that occurs when the beam hits the workpiece Signal corresponds, is used to a pulse signal from the clock generator 24 with 10 bits per second to control. At an output of the pulse counter 23 are 7 bursts of 25 pulses taken at 10 bits per second, the length of each burst depends on the width of the control pulse, which is proportional to the measured Dimension of the workpiece. The pulse pulses 25 are closed via a control gate 26 a control unit 27 and via a gate 28 to a display unit 29.

Der Impulszähler 23 besitzt außerdem einen Ausgang für Ablenk-Zählimpulse, das heißt, daß ein Impuls jedesmal dann erzeugt wird, wenn der reflektierte Laserstrahl abgelenkt wird. In dem beschriebenen Beispiel mit einem zwölfflächigen Spiegel und einem antriebsmotor, der mit 1000 Umdrehungen pro Minute dreht, ergeben sich folglich 12 x 1000 = 12 000 Ablenk-Zählimpulse pro Minute.The pulse counter 23 also has an output for deflection counting pulses, that is, a pulse is generated every time the reflected laser beam is distracted. In the example described with a twelve-sided mirror and a drive motor that works with Turns 1000 revolutions per minute, this results in 12 x 1000 = 12,000 deflection counting pulses per minute.

Diese Ablenk-Zählimpulse werden verzögert und invertiert, sie gelangen dann sowohl zu einem Ablenkzähler 30 der Steuereinheit 27 und zu einem OblenkzShler 31 der Anzeigeeinheit 29.These deflection counting pulses are delayed and inverted, they get there then both to a deflection counter 30 of the control unit 27 and to an Oblenkzhler 31 of the display unit 29.

Der Ablenkzähler 31 wird auf 200 Zählungen voreingestellt, so daß nach jeweils 200 Zählungen ein Ausgangsimpuls erzeugt wird. Dieser Impuls wird zum Steuern des Anzeigen tores 28 benutzt, wodurch die von der Anzeigeeinheit 29 angezeigte Information etwa jede Sekunde auf den neusten Stand gebracht wird.The deflection counter 31 is preset to 200 counts so that an output pulse is generated after every 200 counts. This impulse becomes the Controlling the display gate 28 used, whereby the displayed by the display unit 29 Information is brought up to date about every second.

Die Anzeigeeinheit 29 besitzt weiterhin einen Zähler 35, der über eine Zählleitung 36 und eine Rückstell-Leitung 37 elektrisch mit dem Anzeigetor verbunden ist. Der Zähler 35 ist vorzugsweise ein binär kodierter Dezimal zähler. Die Ausgänge jeder Dekade des Zählers 35 sind mit entsprechenden Dekaden eines Speichers 38 verbunden, der seinerseits an eine numerische Anzeigevorrichtung 39 angeschlossen ist. Der Speicher 38 ist außerdem über eine Schaltimpulsleitung 40 mit dem Tor 28 verbunden.The display unit 29 also has a counter 35 that over a count line 36 and a reset line 37 electrically connected to the display gate connected is. The counter 35 is preferably a binary coded decimal counter. The outputs of each decade of the counter 35 are associated with corresponding decades of a memory 38 connected, which in turn is connected to a numerical display device 39 is. The memory 38 is also connected to the gate 28 via a switching pulse line 40 tied together.

Während des Betriebes und beginnend mit auf Null stehendem Ablenkzähler 31 und auf Null stehendem Zähler 35 werden die Impulse 25 jedes vom Tor 23 kommenden Impuls-Stoßes im Zähler 35 summiert. In der Zwischenzeit zählt der Ablenkzähler 31 die blenkimpulse, bis deren Anzahl gleich der Zahl ist, auf die der Ablenkzähler 31 eingestellt wurde, worauf ein Impuls vom Ablenkzähler 31 zum Tor 28 geht. Mit dem Eintreffen dieses Impulses verhindert das Anzeigetor 28, daß ein weiterer Impuls 25 über die Leitung 36 zum Zähler 35 gelangt, und gleichzeitig kommt vom Tor 28 ein Schaltimpuls über die Leitung 40, so daß die bis dahin im Speicher 38 befindliche Information gelöscht und der Inhalt des -Zählers 35 in der Einheit 38-eingespeichert und von der Anzeigevorrichtung 39 angezeigt wird. Vorzugsweise wird die Information vom Zähler 35 zum Speicher 38 in binär kodierter Dezimalform übertragen. Nach einem feststehenden Zeitintervall im Anschluß an jeden Schaltimpuls wird auf die Leitung 37 ein Rückstellimpuls gegeben, der den Zähler 35 auf Null stellt. Die Anzeigeeinheit 29'ist dann bereit für einen neuen Zyklus. Auf diese Weise wird die angezeigte Information regelmäßig auf den neuesten Stand gebracht, und zwar im vorliegenden Ausführunqsbeispiel etwa jede Sekunde. Im übrigen wird bevorzugt, die Information in Form von Einheiten des verwendeten Längenmaßsysterns anzuzeigen.During operation and starting with the deflection counter set to zero 31 and the counter 35 standing at zero, the pulses 25 each coming from the gate 23 are Impulse shock in the counter 35 is totaled. In the meantime the deflection counter is counting 31 the blenkimpulse until their number is equal to the number on which the deflection counter 31 has been set, whereupon a pulse from deflection counter 31 goes to gate 28. With the arrival of this pulse prevents the display gate 28, that another pulse 25 reaches counter 35 via line 36, and at the same time comes from gate 28 a switching pulse on line 40, so that by then in memory 38 located information is deleted and the content of the counter 35 in the unit 38 stored and displayed by the display device 39. Preferably the information from the counter 35 to the memory 38 is in binary coded decimal form transfer. After a fixed time interval following each switching pulse a reset pulse is given on the line 37, which the counter 35 to zero represents. The display unit 29 'is then ready for a new cycle. To this In this way, the information displayed is regularly updated, in the present exemplary embodiment about every second. Otherwise will preferably the information in the form of units of the length measurement system used to display.

MiX Hilfe des Zählers 30 der Steuereinheit 27 besteht die Möglichkeit, eine von zwei voreingestellten Anzahlen von Abtastungen bzw. Ablenkungen auszuwählen, und zwar vorzugsweise entweder zweiAbtastungen, so daß in dem erläuterten Beispiel die Information alle 10 msek. erneuert wird, oder aber 20-Abtastungen, so daß die Information alle 100 msek. auf den neuesten Stand gebracht wird. Ein der Zahl der voreingestellten btastungen entsprechender Ausgangsimpuls gelangt vom Abtast- bzw.MiX using the counter 30 of the control unit 27 there is the possibility of select one of two preset numbers of scans or deflections, preferably either two scans, so that in the illustrated example the information every 10 msec. is renewed, or 20 samples, so that the Information every 100 msec. is brought up to date. One of the number of The output pulse corresponding to the preset sampling arrives from the sampling or

Ablenkzähler 30 über eine Leitung 45 zum-Steuertor 26.Deflection counter 30 via line 45 to control gate 26.

Auch die Steuereinheit 27 besitzt einen Zähler 46, der über Zähl- bzw. Rückstell-Leitungen 47, 48 elektrisch mit dem Tor 26 verbunden ist. Der Zähler 46 ist vorzugsweise ein binär kodierter Dezimalzähler, dessen einzelne Dekaden an entsprechende dekaden eines Speichers 49 angeschlssen sind. Vom Tor 26 führt eine Schaltimpulsleitung 60 zum SpeicHer 49. Dic der Informationserneuerung im Spelcher 49 ähnelt derjenigen innerhalb der Anzeigeeinheit 29, so daß sie tier nicht näher beschrieben zu werden braucht.The control unit 27 also has a counter 46, which uses counting or reset lines 47, 48 is electrically connected to the gate 26. The counter 46 is preferably a binary coded decimal counter whose individual decades are on corresponding decades of a memory 49 are connected. One leads from gate 26 Switching pulse line 60 to the memory 49. Dic of the information renewal in the memory 49 is similar to that within the display unit 29 so that they animal does not need to be described in detail.

Zum Zwecke der Steuerung der Größe bzw. der Abmessung des Werkstücks 16, während dieses beispielsweise in einem nicht gezeigten Walzwerk produziert wird, ist es nötig, ein Analog-Signal der Größen-Abweichung von der benötigen Größe zu erzeugen. Zu diesem Zweck ist eine Analog-Differenzeinheit 51 vorgesehen und an die entsprechenden Dekadenausgänge des Speichers 49 angeschlossen.Die Einheit 51 hat eine Anzahl von Dekadenschaltern, beispielsweise sieben Schalter, die manuell verstellbar sind und in die Einheit 51 ein Referenzsignal in digitaler Form, entsprechend der benötigten Soll-Abmessung, eingeben.For the purpose of controlling the size or dimension of the workpiece 16, while this is being produced, for example, in a rolling mill, not shown, it is necessary to add an analog signal to the size deviation from the required size produce. For this purpose, an analog difference unit 51 is provided and on the corresponding decade outputs of the memory 49 are connected. The unit 51 has a number of decade switches, for example seven switches that are manual are adjustable and in the unit 51 a reference signal in digital form, accordingly the required nominal dimension.

Im Betrieb wird die auf den neusten Stand gebrachte und mit Hilfe des Schaltimpulses vom Zähler 46 in den Spei cher 49 übertragene Information in binär kodierter Dezimalform in die Einheit 51 weiter übertragen; hierzu dient der. Ruckstell-Impuls auf der Leitung 48, die eine zur Einheit 51 gehende Abzweigung 52 besitzt. In der Einheit 51 wird das in digitaler Form vorliegende Referenzsignal mit der vom Speicher 49 übertragenen; in binär kodierter Dezimalform vorliegenden Information verglichen. Mit Hilfe eines nicht gezeigten Digital/Analog-Umsetzers wird ein Digital-Signalt das dem Fehler bzw. der Differenz zwischen der gemessenen und der benötigten Größe entspricht, in eine Gleichspannung umgewandelt, deren Größe die Abweichung von der Soll-Abmessung reprisentiert und die dazu verwendet werden kann, das Walzwerk so zu steuern, daß das Fehlersignal auf Null reduziert wird.In operation, the is brought up to date and with the help of the switching pulse from the counter 46 in the memory 49 transferred information in further transmitted in binary coded decimal form to the unit 51; the. Reset pulse on line 48, which is a branch going to unit 51 52 owns. The reference signal, which is present in digital form, is stored in the unit 51 with the transferred from memory 49; in binary coded decimal form Information compared. With the help of a digital / analog converter (not shown) becomes a digital signal indicating the error or the difference between the measured and the required size, converted into a DC voltage, corresponds to its size represents the deviation from the target dimensions and which are used for this purpose can control the rolling mill so that the error signal is reduced to zero.

Die Drehzahl eines 2-Phasen-Synchronmotors 65, der den Spiegelkörper 6 antreibt, wird vorzugsweise vom Taktgenerator 24 gesteuert. Zu diesem Zweck ist der Generatorausgang an einen Frequenzteiler 60 angeschlossen, in dem die Taktimpulse von 107 Bit pro Sekunde zunächst um den Faktor zehn in einem Dekadenteiler heruntergeteilt wird, um die Zählgeschwindigkeit auf 106 Bit pro Sekunde zu reduzieren. Dieses Signal wird dann über Torschaltungen auf zwei Dual-Dekaden-Vergleichskreise gegeben. Die Vergleichskreise werden als Rückzählteiler mit einem variablen Teilverhältnis von 1 : 10 000 verwendet. Das benötigte Teilverhältnis wird zwischen diesen Grenzen beispielsweise mit Hilfe von vier binär dezimalkodierten Schaltern 61 manuell eingestellt.The speed of a 2-phase synchronous motor 65, the mirror body 6 drives, is preferably controlled by the clock generator 24. To that end is the generator output is connected to a frequency divider 60 in which the clock pulses of 107 bits per second initially divided down by a factor of ten in a decade divider to reduce the counting speed to 106 bits per second. This signal is then given to two dual decade comparison circuits via gates. the Comparison circles are used as countdown dividers with a variable division ratio of 1: 10,000 used. The required dividing ratio is between these limits manually set for example with the aid of four binary decimal-coded switches 61.

Nach dem Passieren der Teilerschaltung gelangt das Signal auf zwei bi-stabile Elemente, die untereinander in Form eines verdrehten Ringes verbunden sind. Jedes bistabile Element dieses Ringpaares wechselt seinen Zustand bei jedem zweiten Taktimpuls, der dem Ring vom Rückstellteiler zugeführt wird. Durch die Kombination der beiden bi-stabilen Elemente wird die Impuls zählung durch den Faktor vier geteilt, und jeder Ausgang der beiden bi-stabilen Elemente ist um einen Impuls je vier Impulse versetzt. Diese Anordnung wird dazu benutzt, um zwei um 90 Grad phasenverschobene Signale für die Zwei-Phasen-Wicklungen 62 des Motors 65 zu gewinnen. Bevor die Signale den Wicklungen 62 zugeleitet werden, werden sie in Verstärkern 63 verstärkt.After passing the divider circuit, the signal gets to two bi-stable elements that are connected to each other in the form of a twisted ring are. Each bistable element of this ring pair changes its state with each second clock pulse fed to the ring from the reset divider. By combining of the two bi-stable elements, the pulse count is divided by a factor of four, and each output of the two bi-stable elements is around one pulse every four pulses offset. This arrangement is used to make two 90 degrees out of phase To obtain signals for the two-phase windings 62 of the motor 65. Before the signals are fed to the windings 62, they are amplified in amplifiers 63.

Um das Verständnis dessen zu erleichtern, was in der Frequenz-Teiler-Einheit stattfindet, sei folgendes Beispiel gegeben: Wenn man die Abtastgeschwindigkeit in Umdrehungen pro Minute des Abtastmotors mit 1000 annimmt,- so würde die zur Erzeugung dieser Geschwindigkeit benötigte Frequenz einen Wert von 50 Hz haben. Die Original-Taktfrequenz bzw. Zählgeschwindigkeit sei 107 Bit pro Sekunde. Durch die erste Dekadenteilung würde dieser Wert auf 106 Bit pro Sekunde reduziert werden. Wenn die Vergleichskreise auf eine Division durch 5000 eingestellt sind, folgt: 106 - 200 Hz.To make it easier to understand what is going on in the frequency divider unit takes place, the following example is given: If you consider the scanning speed in revolutions per minute of the scanning motor assumes 1000, - so would the generation The frequency required for this speed must have a value of 50 Hz. The original clock frequency or counting speed is 107 bits per second. Through the first division of the decade this value would be reduced to 106 bits per second. If the comparison circles are set to divide by 5000, it follows: 106 - 200 Hz.

5 x 10³ Beim Ansteuern des RingeS aus den bi-stabilen Elementen mit einer Signalfrequenz von 200 Hz erhält man einen Ausgang von 50 Hz, wobei die Phasen der beiden Ausgangssignale um 1 : 4 bzw. 90 Grad gegeneinander verschoben sind. 5 x 10³ When activating the RingS from the bi-stable elements with a signal frequency of 200 Hz gives an output of 50 Hz, with the phases of the two output signals are shifted 1: 4 or 90 degrees from one another.

Die nachstehend geschilderten Vorteile werden besonders deutlich, wenn man sich vergegenwärtigt, daß das Taktsignal mit 10 Bit pro Sekunde des Taktgenerators 24 als Taktgeber für die Werkstückmessung verwendet wird: Erstens ist die Abtastgeschwindigkeit, das heißt die Drehzahl des Spiegelkörpers 6 auf die Taktfrequenz des Generators 24 eingerastet und wird von diesem gesteuert Zweitens ist es durch Einstellen des Rückzählverhältnisses wegen der direkten Relation zwischen der dem Motor zugeführten Signalfrequenz und der Motordrehzahl möglich, die Abtastgeschwindigkeit des Laserstrahls so einzustellen, daß die für eine feste Abtastlänge, beispielsweise 2500 cm, benötigte Zeit exakt gleich der Zeit für eine feste Anzahl, beispielsweise 5000 Impulse vom Taktgenerator wird. Hierdurch erhält man eine direkte Relation zwischen der Anzahl der Impulse pro vorgegebener Abtastlänge.The advantages outlined below become particularly clear, if one realizes that the clock signal with 10 bits per second of the clock generator 24 is used as a clock generator for workpiece measurement: First, the scanning speed, that is, the speed of the mirror body 6 to the clock frequency of the generator 24 engages and is controlled by this.Second, it is by setting the Countdown ratio because of the direct relation between the one fed to the motor Signal frequency and motor speed possible, the scanning speed of the laser beam set so that the required for a fixed scanning length, for example 2500 cm Time exactly the same as the time for a fixed number, for example 5000 pulses from Clock generator will. This gives a direct relation between the number of the pulses per specified scanning length.

Es ist darauf hinzuweisen, daß die in dem Ausführungsbeispiel erwähnte Taktfrequenz des Generators von 10 Bit pro Sekunde nur als Beispiel zu verstehen ist und daß in anderen Anwendungsfällen auch andere Impuls-Wiederholfrequenzen verwendet werden können. Die Auf lösung bei der Messung steigt mit zunehmender Frequenz.It should be noted that the mentioned in the embodiment The generator clock frequency of 10 bits per second is only to be understood as an example and that other pulse repetition frequencies are also used in other applications can be. The resolution in the measurement increases with increasing frequency.

In dem in Fig. 3 gezeigten alternativen Ausführungsbeispiel der Erfindung wird das zu vermissende Werkstück, daS die Form eines Knüppels 100 hat und dessen Durchmesser gemessen werden soll, oberhalb von zwei Spiegeln 102, 104 angeordnet, die weitgehend vertikal stehen und deren durch die Spiegelflächen gehende Ebenen unter einem Winkel zueinander verlaufen, der sich dem Wert 90 Grad nähert. Zwischen den beiden Spiegeln und unterhalb des Werkstückes ist ein Prisma 106 mit dreieckigem Querschnitt angeordnet. Dieses Prisma ist symmetrisch mit Bezug auf.die Spiegel,und seine Achse 108 halbiert den Winkel zwischen den erwähnten, die Spiegelflächen der Spiegel 102, 104 aufnehmenden, Ebenen. Ein von einer Lichtquelle 110, beispielsweise dem rotierenden Spiegelkörper, kommender Lichtstrahl wird über einen Winkel e abgelenkt, so daß er zunächst auf den einen und dann auf den anderen Spiegel auf trifft. Nimmt man an, daß die Ablenkrichtung entgegen dem Uhrzeiger verläuft, dann trifft der Lichtstrahl A auf die Spiegel 102 auf, wird von diesem auf das Prisma 106 reflektiert und wird von dort nach oben in einerEbene verlaufen, die senkrecht zur Zeichenebene verläuft. Beim Ablenken des Lichtstrahls aus der Bahn A über die Bahn B zur Bahn C bewegt sich der aus dem Prisma austretende Lichtstrahl in Richtung des Pfeiles 112. Bei weiterer Verlagerung des Strahls auf den Pfad D trifft er auf den Spiegel 104 auf, von wo er auf die gegenüberliegende Prismaseite reflektirt- und dann vom Prisma nach oben in die zur -Zeichenebene senkrechtstehende Ebene umgelenkt wird. Bei weiterer Ablenkung des Strahles über E nach F bewegt sich der aus dem Prisma austretende Strahl in Richtungdes Pfeiles 114. Es ist damit erkennbar, daß der Strahl bei einer Verdrehung um den Winkel i nach dem Verlassen des Prismas zunächst in die eine und dann in die entgegengesetzte Richtung~wandert. Da sich das Werkstück 100 oberhalb des Prismas im Weg des von diesem ausgehenden Lichtstrahls befindet, wird das Werkstück von dem Licht in einer zu der zu messenden Größe des Werkstückes parallelen Richtung abgetastet. Das Werkstück kann sich dabei sowohl in Richtung seiner Längsachse als auch quer dazu bewegen. Das aus dem Prisma austretende und nicht vom Werkstück abgedeckte Licht gelangt in eine nicht dargestellte Photozelle, die oberhalb des Werkstücks liegt.In the alternative embodiment of the invention shown in FIG becomes the workpiece to be missed that has the shape of a billet 100 and its Diameter is to be measured, arranged above two mirrors 102, 104, which are largely vertical and their planes going through the mirror surfaces run at an angle to each other that approaches 90 degrees. Between the two mirrors and below the workpiece is a prism 106 with a triangular Cross-section arranged. This prism is symmetrical with respect to the mirrors, and its axis 108 bisects the angle between the aforementioned, the mirror surfaces of the Mirrors 102, 104 receiving, planes. One from a light source 110, for example the rotating mirror body, incoming light beam is deflected over an angle e, so that it hits one mirror first and then the other. Takes if you assume that the direction of deflection is counterclockwise, then the Light beam A hits the mirror 102, is reflected by this onto the prism 106 and from there it will run upwards in a plane that is perpendicular to the plane of the drawing runs. When deflecting the light beam from path A via path B to the path C the light beam emerging from the prism moves in the direction of the arrow 112. As the ray moves further onto path D, it hits the mirror 104 on, from where it reflects on the opposite side of the prism - and then from Prism up into the drawing plane perpendicular plane is diverted. If the beam is deflected further via E to F, the will move ray emerging from the prism in the direction of arrow 114. It can thus be seen that that the beam is rotated by the angle i after leaving the prism first in one direction and then in the opposite direction ~. That I the workpiece 100 above the prism in the path of the light beam emanating from it is located, the workpiece is from the light in a size to be measured Scanned workpiece parallel direction. The workpiece can be both move in the direction of its longitudinal axis as well as transversely to it. The one emerging from the prism and light not covered by the workpiece reaches a photocell, not shown, which lies above the workpiece.

Die von der Photozelle abgegebenen Signale gelangen in eine Schaltung gemäß Fig. 2, in der aus aufeinanderfolgenden und gemäß den Pfeilen 112, 114 entgegengesetzt gerichteten Abtastungen eine exakte Wiedergabe der Werkstückabmessung erzeugt wird.The signals emitted by the photocell are fed into a circuit according to FIG. 2, in the sequence of successive and opposite arrows 112, 114 directed scans an exact reproduction of the workpiece dimensions is generated.

In der in Fig. 4 gezeigten weiteren Ausführungsform der Erfindung wird ein Werkstück 120 durch weitgehend parallele Lichtstrahlen 122 über dessen auszumessende Dimension angestrahlt. Die nicht vom Werkstück zurückgehaltenen Strahlen werden von einer Linse 124 gesammelt und auf einen Spiegel 126 gerichtet. Der Schatten des Werkstückes wird durch den Spiegel optisch fokussiert und erzeugt auf einem durchscheinenden Schirm 128 mit einem Schlitz 130 ein Abbild des Werkstückes. Der Spiegel 126 ist über ein Koppelglied 132 mit einem Exzenter verbunden, der von einem Motor 134 angetrieben wird, so daß der Spiegel beim Drehen des Motors geschwenkt bzw. gekippt wird, wodurch das Bild des WerkstUckes in aufeinanderfolgend entgegengesetzten Richtungen quer zum-Schlitz 130 abgetastet wird. Auf der dem Spiegel abgekehrten Seite des Schirms 128ist eine Photozelle 136 vorgesehen, die das durch den Schlitz hindurchtretende Licht aufnimmt. Die von der Photozelle. beim Kippen des Spiegels abgegebenen Signale werden dem Rechner gemäß Fig.In the further embodiment of the invention shown in FIG is a workpiece 120 by largely parallel light beams 122 over it dimension to be measured illuminated. The rays not retained by the workpiece are collected by a lens 124 and directed onto a mirror 126. The shadow of the workpiece is optically focused by the mirror and generated on a translucent screen 128 with a slot 130 an image of the workpiece. Of the Mirror 126 is connected via a coupling member 132 to an eccentric of a Motor 134 is driven so that the mirror is pivoted as the motor rotates or is tilted, whereby the image of the workpiece in successively opposite directions Directions across the slot 130 is scanned. On the mirror On the opposite side of the screen 128, a photocell 136 is provided, which through the picks up light passing through the slit. The one from the photocell. when tilting The signals emitted by the mirror are transmitted to the computer as shown in FIG.

2 zugeführt.2 supplied.

In einer weiter abgewandelten, nicht dargestellten, Ausführungsform der Erfindung wird das Werkstück durch einen Lichtstrahl hindurchbewegt, und der dabei vom Werkstück nicht abgedeckte Teilstrahl fällt auf eine Fernsehkamera. Der Abtaststrahl der Kamera ist so eingerichtet, daß er das auftreffende Licht zunächst in der einen und dann in der entgegengesetzten Richtung abtastet. Die von dem lichtempfindlichen Wandler innerhalb der Kamera erzeugten elektrischen Signale können'dazu verwendet werden, aus den Ergebnissen von zwei oder einem Vielfachen von zwei aufeinanderfolgenden Abtastungen die Werkstück abmessung anzuzeigen.In a further modified, not shown, embodiment the invention, the workpiece is moved through a beam of light, and the Part of the beam not covered by the workpiece falls on a television camera. Of the The camera's scanning beam is set up in such a way that it initially detects the incident light in one direction and then in the opposite direction. The one from the photosensitive Electric signals generated by transducers within the camera can be used for this will be, from the results of two or a multiple of two consecutive Scans to display the workpiece size.

Wenn es gewünscht wird, den Durchmesser beispielsweise einer Stange in zwei anstatt einer Richtung zu bestimmen, so Kann man dies durch Aufteilen des Lichtstrahles beispielsweise durch Verwendung von Glasfaseroptiken und durch Verdoppeln der in Fig. 2 gezeigten Schaltung erreichen, wobei sogar nur ein Taktgenerator benötigt wird.If desired, the diameter of a rod, for example in two rather than one direction, one can do this by dividing the Light beam, for example, by using fiber optics and by doubling achieve the circuit shown in Fig. 2, even requiring only one clock generator will.

Claims

EXPECTATIONS

) Method for determining a linear dimension of a workpiece, which can be moved in a dimension that is largely parallel to the dimension to be determined, characterized in that the workpiece is repeated by at least one energy beam is scanned at a known speed that the workpiece is passing Energy beams fed to at least one energy converter and converted from this into electrical ones Signals are converted, which for each scanning process a wet for the duration contain during which the energy beam hits the workpiece, and daA the one sought Dimension then from two or a multiple of two consecutive samples is calculated.

2. The method according to claim 1 in which the workpiece is to be determined Dimension is acted upon by the energy beam and in which at least one energy converter with known scanning speed either from the one acting on the workpiece Energy beam or is swept over by an image of the workpiece, characterized in that that successive sweeps run in opposite directions and generate electrical signals representing the period of each sweep, during indicate where the beam hits the workpiece; and that the dimension you are looking for then calculated from two or a multiple of two successive sweeps will.

3. The method according to claim 1 model 2, dadurcli gekennzeicli net that ttS workpiece several times in succession from an EneLgieFt-ralll rrI t known Scanning speed is scanned across the dimension to be determined, whereby successive scans are in opposite directions, and that the energy beam before and after its coverage by the workpiece at least one Energy converter is fed, which emits the electrical signals.

4. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the Energy beam is a laser beam.

5. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the Energy ray is a ray of light.

6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in, that the signals coming from the transducer (s) initiate bursts of impulses, within whose number of pulses is a measure of the period of each sampling process, during which the beam hits the workpiece.

7. The method according to claim 5, characterized in that the number of pulses in two consecutive or a multiple of two consecutive Impulse pulses are added to each other and compared with a signal that is representative for the number of impulses is that the comparison signal is a measure of the average Number of pulses per pulse burst, and that from this signal the wanted one Dimension is calculated.

8. The method according to any one of claims 1 - 7, characterized in that that a signal corresponding to the calculated value of the dimension with another Signal is compared, which in turn. r4presentatLv is for a target dimension, and that an error signal is thereby generated.

9. Device for determining a linear dimension of a workpiece, which is movable in a direction substantially parallel to that to be determined Dimension runs to carry out the method according to any one of claims 1 - 7, with a device for delivering the workpiece over the dimension to be determined applied energy beam, and with at least one energy converter, the electrical, electrical energy corresponding to the intensity and duration of the incident energy beam Emits signals, characterized by a device (2, 5, 6, 8, 10) for repeating Brushing of the transducer or transducers (1X, 14) in successively opposite directions Directions either through the energy beam impinging on the workpiece (16; 10Ca, 120) (1 ...) or an image of the workpiece, and by a computer (21 - 66) that is connected to the converter (s) and the dimensions you are looking for from the signals calculated, -that of two or a multiple of two consecutive UL deletions be generated.

10. Apparatus according to claim 9, characterized in that the device for generating and emitting the energy beam is a laser and a beam splitter C2) which is arranged in the path of the beam and divides it into two Splits rays; that the device continues to have a rotatable multi-faceted mirror (6), the various mirror surfaces are arranged so that they record two separate beams (3, 4) and turn them into move opposite directions; that devices (8, 9, 10) for alternating Alignment of the moving beam over the dimension of the workpiece to be determined and that two photoelectric cells (22, 12) are provided and arranged so that they follow one or both rays painting over the workpiece take up.

11. Apparatus according to claim 9 or 10, characterized in that the multi-surface .Spiegel (6) from a stainless steel polygon is formed, which is rotatable about 5a axis of symmetry.

12. The device according to claim 9, characterized in that the energy beam from a liner light source (110), which is used for the purpose of a scanning beam movement is pivotable over an angle e; that further two mirrors (sol, 104) are provided are whose reflective surfaces enclose an angle of largely 90 degrees, whose one reflection or mirror surface is arranged so that it the light beam picks up or reflects during the first part of the scanning or pivoting movement, while the other, mirror surface bends the beam during a second part of the scanning movement reflected; that between the two mirror surfaces and symmetrically to these one Prism <106) is arranged, which deflects the reflected rays by 90 degrees and about the desired dimension of the workpiece (100); and that at least a photocell o. the like - is provided and arranged so that it the rays picks up after scanning the workpiece.

13. Apparatus according to claim 9, characterized in that the energy beam generator a light source and the energy converter is part of a television camera, and that this Camera that impinges on you after illuminating the desired dimension of the workpiece Receives light and scans it in consecutive opposite directions.

14. The device according to claim 9, characterized in that that the energy beam generator is a light source that illuminates the workpiece (120), that optical means including a pivotable mirror (126) are provided which shows an image of the workpiece on a screen provided with a slit (130) (128) that the mirror (126) focuses a drive (132, 134) for forward and backward Moving the workpiece image over the slot (130), and that on the Mirror (126) facing away from the screen (128) a photoelectric cell (136) is arranged to receive the light passing through the slot.

15. Device according to one of claims 9-14, - characterized in that that the signals from the or each transducer are passed to a device (21-66) which generates a pulse burst for each incoming pulse, where the number the pulses in each burst is representative of each sample during which it is sampled the beam hits a workpiece.

16. The device according to claim 15, characterized in that further pulse counting means (35; 46) for counting the number of pulses per pulse burst as well an adder is provided which divides the number of in two or a multiple of two impulses added to incoming pulses, and that a device is provided which generates a signal representative of the number of pulses received is, whereby the mean number of pulses per pulse can be calculated.

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