DE2050125A1 - Process for the production of electrical fuse elements - Google Patents

Process for the production of electrical fuse elements

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DE2050125A1 DE19702050125 DE2050125A DE2050125A1 DE 2050125 A1 DE2050125 A1 DE 2050125A1 DE 19702050125 DE19702050125 DE 19702050125 DE 2050125 A DE2050125 A DE 2050125A DE 2050125 A1 DE2050125 A1 DE 2050125A1
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Description

Verfahren zur Herstellung von elektrischen SicherungselementenProcess for the production of electrical fuse elements

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrischen Si evenings element en.The invention relates to a method of manufacture of electrical safety elements.

Überraschenderweise wurde gefunden, daß elektrische Sicherungselemente entsprechend einer vorgenommenen äußeren Kontaktierung für unterschiedliche elektrische Geräte wirtschaftlich herstellbar sind, wenn gemäß der Erfindung in der Weise verfahren wird, daß durch Aufdampfen eines und/oder mehrerer elektrisch leitender Elemente und/oder Verbindungen im Vakuum Widerstandsbahnen mit geeigneter elektrischer Leitfähigkeit und geeignetem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes in geometrischen Abmessungen (Sicherungs-Surprisingly, it has been found that electrical fuse elements according to one made external contact for different electrical devices can be produced economically if is proceeded according to the invention in such a way that by vapor deposition one and / or more electrically conductive elements and / or connections in a vacuum resistance tracks with suitable electrical conductivity and suitable temperature coefficient of resistance in geometric dimensions (fuse

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bahnen) auf aus isolierenden Werkstoffen "bestehenden Trägern hergestellt werden.lanes) on made of insulating materials "existing Beams are made.

Die Aufdampfsubstanz aus einer physikalisch neutralen Grundsubstanz, bestehend aus Quarz und/oder Siliciummonoxid und/oder Metallborid und/oder Metallsilicid sowie von physikalisch aktiven Dotierung se lementen werden gemeinsam im Vakuum aufgedampt. Während die physikalisch neutrale Grundsubstanz vorzugsweise aus Quarz, Siliziummonoxid, Wolframborid und Wolframsilizid besteht, kommen als physikalisch aktive Elemente bzw. Verbindungen solche zur Anwendung, die beispielsweise schwache oder starke elektrische Leitfähigkeit, magnetische Eigenschaften, optische Eigenschaften, radioaktive Eigenschaften, lichtelektrische Eigenschaften oder halbleitende Eigenschaften aufweisen. Zusammen mit der Grundsubstanz können ein oder mehrere physikalisch aktive Elemente aufgedampft werden.The vapor deposition from a physically neutral Basic substance consisting of quartz and / or silicon monoxide and / or metal boride and / or Metal silicide and physically active doping elements are vaporized together in a vacuum. While the physically neutral basic substance is preferably made of quartz, silicon monoxide, Tungsten boride and tungsten silicide come as physically active elements or compounds those for use, for example weak or strong electrical conductivity, magnetic properties, optical properties, radioactive properties, have photoelectric properties or semiconducting properties. Together with the Basic substance, one or more physically active elements can be vapor-deposited.

Gleichzeitig mit den Sicherungsbahnen werden nach einem weiteren Merkmal der Erfindung an den beiden Enden der Sicherungsbahnen Flächen für eine Lötkontaktierung oder mechanische Kontaktierung, wie Steckkontaktierung, mitaufgedampft.According to a further feature of the invention, at the same time with the safety tracks on the two Ends of the securing tracks Areas for solder contact or mechanical contact, such as Plug contact, also vapor-deposited.

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Die Sicherungsbahnen werden in geeigneten geometrischen Abme-ssungen auf Substrate aus Glas, Keramik, Kunststoff, Hartpappe oder'anderen isolierenden Materialien aufgedampft. Hierbei ist es möglich, auf einen Träger mehrere Sicherungsbahnen mit/ohne Kontakte für getrennte Stromkreise und unterschiedlichen elektrischen Sicherung smerkmal en aufzudampfen.The safety tracks are placed in suitable geometrical dimensions on substrates made of glass, Ceramic, plastic, hard cardboard or other insulating Evaporated materials. Here it is possible to have several safety tracks on one carrier with / without contacts for separate circuits and different electrical fuses evaporation features.

Der isolierende. Werkstoff kann aus durch Aufdampfung hergestelltem dielektrischen Trägermaterial bestehen und eine Stärke bis 5 /u. aufweisen. Dieser isolierende Werkstoff wird dann mit entsprechenden Widerstandsbahnen und Kontakten bedampft.The isolating one. Material can be made of dielectric carrier material produced by vapor deposition exist and a strength up to 5 / u. exhibit. This insulating material is then fitted with appropriate resistance tracks and contacts steamed.

Darüber hinaus sieht die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von sehr flinken Sicherungselementen vor, bei dem auf ein geeignetes Trägermaterial, beispielsweise aus Glas, eine chemische lösbare Schicht, beispielsweise eine Lackschicht, aufgetragen wird, die mit einer dielektrischen anorganischen Schicht bedampft wird. Anschließend werden die Widerstandsbahnen und Kontakte aufgedampft, danach wird das Trägermaterial mit derIn addition, the invention provides a method for producing very nimble fuse elements before, in which on a suitable carrier material, for example made of glass, a chemical detachable layer, for example a lacquer layer, is applied, which is connected to a dielectric inorganic layer is vaporized. Then the resistance tracks and contacts are vapor-deposited, then the carrier material with the

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Schicht und den Aufdampfschichten in ein die Schicht lösendes Lösungsmittel getaucht. Auf diese Weise werden der Glasträger und die dielektrische Trägerfolie mit den Widerstandsbahnen voneinander getrennt. Hierauf wird die erhaltene dielektrische Folie mit den Widerstandsbahnen und Anschlußkontakten durch Zerschneiden parallel zu den Sicherungsbahnen zerteilt. Um die Wärmekapazität des Trägermaterials möglichst klein zu machen, wird das dielektrische Trägermaterial in Form einer Aufdampfschicht mit einer Stärke von vorzugsweise 1 /u bis 5/U· mi entsprechenden Sicherungsbahnen bedampft. Die auf diese Weise erhaltenen Sicherungsbahnen sind sehr flexibel, sie lassen sich zwischen zwei festen Endpunkten elektrisch kontaktieren und weisen eine sehr geringe Masse auf.Layer and the vapor deposition layers in a die Dipped in a layer of dissolving solvent. In this way, the glass slide and the dielectric carrier film with the resistance tracks separated from one another. Then the obtained dielectric film with the resistance tracks and connection contacts by cutting divided parallel to the safety tracks. About the heat capacity of the carrier material To make it as small as possible, the dielectric carrier material is in the form of a vapor deposition layer with a strength of preferably 1 / u to 5 / U · mi corresponding safety tracks steamed. The security tracks obtained in this way are very flexible, they can be electrically contacted between two fixed endpoints and have a very low mass.

Auf die auf den Träger aufgedampften Sicherungs-Schichten On the security layers vapor-deposited on the carrier

bahnen werden zusätzlich dielektrische/zur elektrischen, mechanischen und chemischen Abdeckung der Widerstandsbahnen aufgedampft. Ferner können die Sicherungsbahnen für getrennte Stromkreise und unterschiedliche elektrische Sicherungsmerkmale zwei- oder auch mehrfach nebeneinander oder übereinander aufgedampft werden. Durch einen me-tracks are additionally dielectric / for electrical, mechanical and chemical covering of the resistance tracks vapor-deposited. Furthermore can the safety tracks for separate circuits and different electrical safety features vaporized two or more times next to each other or on top of each other. Through a me-

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chanischen und/oder automatischen Schalter können die so hergestellten Sicherungsbahnen in Betrieb genommen werden. Außerdem kann eine zweifache oder mehrfache Aufdampfung von Sicherungsbahnen, die unabhängig voneinander sind, in der Weise ausgenutzt werden, daß beim Durchbrennen einer Sicherungsbahn bzw. eines Sicherungselementes durch eine mechanische oder elektrische Umschaltung das gesamte zweite Sicherungsnetzwerk in Betrieb genommen werden kann. Diese Ausführungsform von Sicherungselementen eignet sich besonders vorteilhaft im Automobilbau, wo eine Sicherungskate je nach Kontaktierung für die unterschiedlichsten Automobiltypen "Verwendung finden kann.The safety tracks produced in this way can be mechanical and / or automatic switches be put into operation. In addition, a double or multiple vapor deposition of security sheets, which are independent of each other, are exploited in such a way that when they burn through a safety track or a safety element by a mechanical or electrical Switching the entire second backup network can be put into operation. This embodiment of fuse elements is particularly advantageous in the automotive industry, where a Fuse card depending on the contact for the most varied types of automobiles "use Can be found.

Patentansprüche:Patent claims:

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Claims (1)

Patentansprüche :Patent claims: .!Verfahren zur Herstellung von elektrischen Sicherungselementen, dadurch gekennzeichnet, daß durch Aufdampfen eines und/oder mehrerer elektrisch leitender Elemente und/oder Verbindungen im Vakuum Widerstandsbahnen mit geeigneter elektrischer Leitfähigkeit und geeignetem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes in geometrischen Abmessungen (Sicherungsbahnen) auf aus isolierenden Weistoffen bestehenden Trägern hergestellt werden..! Process for the manufacture of electrical Fuse elements, characterized in that one and / or more by vapor deposition electrically conductive elements and / or connections in a vacuum with resistance tracks suitable electrical conductivity and suitable temperature coefficient of the Resistance in geometric dimensions (safety tracks) on from insulating White fabrics are made of existing carriers. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufdampfsubstanz aus einer physikalisch neutralen Grundsubstanz, bestehend aus Quarz und/oder Siliciummonoxid und/oder Metallborid und/oder Metallsilizid sowie von physikalisch aktiven Dotierungselementen gemeinsam im Vakuum aufgedampft wird.2. The method according to claim 1, characterized in that that the vapor deposition consists of a physically neutral basic substance made of quartz and / or silicon monoxide and / or metal boride and / or metal silicide as well as of physically active doping elements evaporated together in a vacuum will. 5. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß mit den Sicherungsbahnen an5. The method according to claim 1 and 2, characterized in that that with the safety tracks 209817/0377209817/0377 deren beiden Enden Flächen für eine Lötkontaktierung oder mechanische Kontaktierung mitaufgedampft werden.both ends of which are surfaces for solder contact or mechanical contact are also vaporized. 4. Verfahren nach Anspruch 1 "bis 35 dadurch gekennzeichnet, daß der isolierende Werkstoff aus durch Aufdampfung hergestelltem dielektrischem Trägermaterial mit einer Stärke bis 5/U mit entsprechenden Widerstandsbahnen und Kontakten bedampft wird«4. The method according to claim 1 "to 35 thereby characterized in that the insulating material is made of vapor-deposited dielectric Carrier material with a thickness of up to 5 / U with corresponding resistance tracks and Contacts is steamed " 5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4-, dadurch gekennzeichnet, daß auf ein geeignetes Trägermaterial eine chemisch lösbare Schicht, z.B. Lackschicht, aufgetragen wird, diese mit einer dielektrischen, anorganischen Schicht bedampft wird, anschliessend die Widerstandsbahnen.und Kontakte aufgedampft werden, danach das Trägermaterial mit der Schicht und den Aufdampfschichten in ein die Schicht lösendes Lösungsmittel getaucht wird, und die erhaltene dielektrische Folie mit den Widerstandsbahnen undAnschlußkontakten durch Zerschneiden parallel zu den Sicherungsbahnen zerteilt wird. 5. The method according to claim 1 to 4-, characterized in that that a chemically releasable layer, e.g. lacquer layer, on a suitable carrier material, is applied, this is vaporized with a dielectric, inorganic layer, then The resistance tracks and contacts are vapor-deposited, followed by the carrier material the layer and the vapor deposition layers are immersed in a solvent which dissolves the layer and the dielectric film obtained with the resistance tracks and connection contacts is divided by cutting parallel to the safety tracks. 6. Verfahren nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet,6. The method according to claim 5 »characterized in that 2 09817/037 72 09817/037 7 daß die erhaltene dielektrische Folie mit den Widerstandsbahnen und den Anschlußkontakten durch Zuerschneiden parallel zu den Sicherungsbahnen zerteilt wird. that the dielectric film obtained with the resistance tracks and the connection contacts is divided by cutting parallel to the safety strips. 7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf einen Träger mehrere Sicherungsbahnen mit/ohne Kontakte für getrennte Stromkreise und mit unterschied-7. The method according to claim 1 to 6, characterized in that several on a carrier Safety tracks with / without contacts for separate circuits and with different P liehen elektrischen Sicherungsmerkmalen auf-P borrowed electrical safety features gedampft werden.be steamed. β. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7» dadurch gekennzeichnet, daß auf die auf den Träger aufgedampften Sicherungsbahnen zusätzlich dielektrische Schichten zur elektrischen, mechanischen und chemischen Abdeckung der Viderstandsbahnen aufgedampft werden.β. Method according to Claims 1 to 7 »characterized in that on the carrier vapor-deposited security tracks additionally dielectric layers for electrical, mechanical and chemical covering of the resistive tracks are vapor-deposited. 9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8, dadurch9. The method according to claim 1 to 8, characterized gekennzeichnet, daß die auf einem Träger aufgedampften Sicherungsbahnen für getrennte Stromkreise und unterschiedliche elektrische Sicherungsmerkmale zwei- oder mehrfach nebeneinander oder übereinander aufgedampft werden.characterized in that the safety tracks for separate circuits, which are vapor-deposited on a carrier and different electrical safety features two or more times next to each other or vaporized on top of each other. 209817/0377209817/0377 ORIGINAL INSPECTEDORIGINAL INSPECTED 1ο. Verfahren nach Anspruch 9i dadurch gekennzeichnet, daß mehrere nebeneinander oder übereinander aufgedampfte Sicherungsbahnen für getrennte Stromkreise und unterschiedliche elektrische Sicherungsmerkmale mit mechanischen und/oder automatischen Schaltern verbunden und nacheinander in Betrieb nehmbar sind.1ο. Method according to claim 9i, characterized in that that several security tracks for separate circuits and different ones, which are vapor-deposited next to each other or on top of each other electrical safety features with mechanical and / or automatic switches are connected and can be operated one after the other. 203817/0377203817/0377
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