DE2044533A1 - Spiegel Mikroskop - Google Patents

Spiegel Mikroskop

Info

Publication number
DE2044533A1
DE2044533A1 DE19702044533 DE2044533A DE2044533A1 DE 2044533 A1 DE2044533 A1 DE 2044533A1 DE 19702044533 DE19702044533 DE 19702044533 DE 2044533 A DE2044533 A DE 2044533A DE 2044533 A1 DE2044533 A1 DE 2044533A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mirror
light
objective lens
opaque
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19702044533
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Montada Tokio Anmura Yoshi aki Kawasaki Abe Yasuaki Yokohama Kubo, (Japan)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Publication of DE2044533A1 publication Critical patent/DE2044533A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/06—Means for illuminating specimens
    • G02B21/08—Condensers
    • G02B21/082—Condensers for incident illumination only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
DE19702044533 1969-09-11 1970-09-09 Spiegel Mikroskop Pending DE2044533A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7161769 1969-09-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2044533A1 true DE2044533A1 (de) 1971-04-01

Family

ID=13465772

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19702044533 Pending DE2044533A1 (de) 1969-09-11 1970-09-09 Spiegel Mikroskop

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE2044533A1 (enrdf_load_html_response)
FR (1) FR2061657B1 (enrdf_load_html_response)
GB (1) GB1277979A (enrdf_load_html_response)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3126938A1 (de) * 1981-07-08 1983-01-27 Heinz-Wolfgang Dipl.-Ing. 8000 München Köhler Vorrichtung zur bild-auswertung
EP0285547A3 (en) * 1987-03-31 1990-09-26 Achim Dr.-Ing. Willing Illumination device for visually checking objects

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4561436A (en) * 1983-10-28 1985-12-31 Cooper Lasersonics, Inc. Optical system for surgical ophthalmic laser instrument
DE10311000C5 (de) 2003-03-06 2012-05-10 Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. Beleuchtungseinrichtung für ein Mikroskop

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3126938A1 (de) * 1981-07-08 1983-01-27 Heinz-Wolfgang Dipl.-Ing. 8000 München Köhler Vorrichtung zur bild-auswertung
DE3126938C3 (de) * 1981-07-08 1989-03-16 Köhler, Heinz-Wolfgang, Dipl.-Ing., 8000 München Vorrichtung zur Bild-Auswertung
EP0285547A3 (en) * 1987-03-31 1990-09-26 Achim Dr.-Ing. Willing Illumination device for visually checking objects

Also Published As

Publication number Publication date
FR2061657A1 (enrdf_load_html_response) 1971-06-25
FR2061657B1 (enrdf_load_html_response) 1974-05-24
GB1277979A (en) 1972-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2637375C3 (de) Optisches Oberflächenprüfgerät
DE2658239C3 (de) Vorrichtung zur Feststellung von Fehlern in einem Muster bzw. einer Schablone
DE2354141C2 (de) Optisches Meßverfahren zum Untersuchen von Oberflächen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102007006525B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von Defekten
EP0264404B1 (de) Vorrichtung zum selbsttaetigen fokussieren eines auflichtmikroskopes
DE3443728C2 (de) Mikroskop-Photometer
DE2051174B2 (de) Doppelmikroskop
DE3304780C2 (enrdf_load_html_response)
DE3406066A1 (de) Anordnung zur optischen erfassung raeumlicher unebenheiten in der struktur eines zu untersuchenden objekts
DE2602158B2 (enrdf_load_html_response)
DE102014222271B4 (de) Maskeninspektionssystem zur Inspektion von Lithographiemasken
DE10024135B4 (de) Mikroskop
DE2044533A1 (de) Spiegel Mikroskop
DE2021784B2 (de) Beleuchtungseinrichtung fuer auflichtmikroskope
DE69429959T2 (de) Optisches System für eine Reflexionsmessungsvorrichtung mit hoher Empfindlichkeit
EP0100442B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfüng von Linsen
DE10244767A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Abstands zwischen einer Referenzebene und einer inneren oder äußeren optischen Grenzfläche eines Objekts sowie Verwendung derselben zum Bestimmen eines Oberflächenprofils eines, inbesondere metallischen, Objekts, Autofokus-Modul, Mikroskop und Verfahren zum Autofokussieren eines Mikroskops
DE1473380B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Untersuchen und/oder Messen von Spannungen in einem durchsichtigen Körper nach dem Streulichtverfahren
DE202013003898U1 (de) Goniometer für optische Prismen
DE4231069A1 (de) Variabler Auflicht-Interferenzansatz nach Mirau
DE4343345A1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Messung der reflektiven bzw. transmittierenden optischen Eigenschaften einer Probe
DE19733775A1 (de) Verfahren zur Messung von Eigenschaften einer Materialoberfläche
DE102004012134B4 (de) Ellipsometer mit Blendenanordnung
DE102022123591B4 (de) Verfahren zum Ermitteln eines Brechungsindexes eines optischen Prüflings und Messsystem
DE10330716A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Eliminierung von Falschlicht