DE2023739A1 - - Google Patents
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Description
DR. M0LLER-BOR6 · DR. MANlTZ . DR. DlUf5IL DlPL-ING. RNSTERWALD · D1PL.-ING. GRÄMKOW — SMONCHEN 22, ROBERT-KOCH-STR. 1 — TELEFON 225110 - DR. M0LLER-BOR6 DR. MANlTZ. DR. DlUf 5 IL DlPL-ING. RNSTERWALD D1PL.-ING. GRÄMKOW - SMONCHEN 22, ROBERT-KOCH-STR. 1 - TELEPHONE 225 110 -
Ή. Mai 1970 Hl/th - C 2184Ή. May 1970 Hl / th - C 2184
COMPAGHIE GENERÄLE D'ELECTEICTTE
54-, Hue la Beetie ,
75 Paris 8 /FrankreichCOMPAGHIE GENERALS D'ELECTEICTTE 54-, Hue la Beetie,
75 Paris 8 / France
Vorrichtung zur Sammlung von Licht in einem ZylinderDevice for collecting light in a cylinder
Die Erfindung bezieht eich auf das Sammeln von Licht, entlang einem geradlinigen Abschnitt« Sie betrifft unter anderem das Bohren mittels eines Lasers von zylindrischen Löchern in durcheich tigen, besondere harten Materialien wie Diamant · oder Korund.The invention relates to the collection of light along a rectilinear section «It concerns, among other things, the drilling of cylindrical holes by means of a laser in translucent, particularly hard materials such as diamond or corundum.
Die Sammlung bzw· Konzentration von Licht erfolgt bekanntlich mittels Linsen oder gekrümmten Spiegeln und geht dabei von Lichtqueller. mit hoher Energiekonzentration auf einer äußerst eingeschränkten Oberfläche aue. Eb werden so Werkzeuge gebildet, die die Präzisionsbearbeitung bestimmter Teile aus dielektrischen Material gestatten, indem ein elektrischer Durchschlag erzeugt werden kann} ale Lichtquelle wird ein ausgelöster Laser verwendet. Der Durchschlag setzt ein, wenn eine bestimmte Schwelle von dem elektrischen Feld dea Licht©» erreicht wird, und läuft in einer sehr "beschränkten Zelt; ab·It is known that the collection or concentration of light takes place by means of lenses or curved mirrors and goes by Light source. with high energy concentration on an extremely limited surface aue. Eb so become tools that allow the precision machining of certain parts of dielectric material by an electrical Breakdown can be generated} A triggered laser is used as a light source. The breakthrough sets a when a certain threshold of the electric field dea light © »is achieved and runs in a very" restricted Time; away·
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Bine bekannte Vorrichtung? die die Sammlung von Lichtbündel gewährleistet, ist aas Cassegrain*=!? ernrohr ξ ein großer Konkavspiegel reflektiert die Lichtstrahlen auf einen Konvexspiegel, dsr die Strahlen durch eine Mittelöffnung des großen Spiegels reflektierts hinter des? eine Okular linse angeordnet ist» Diese Vorrichtung gestattet die Verminderung der Aberration»A known device ? which ensures the collection of light bundles is aas Cassegrain * = !? ernrohr ξ a large concave mirror reflects the light beams onto a convex mirror, dsr the rays through a central opening of the large mirror's reflected behind the? an eyepiece lens is arranged »This device allows the reduction of the aberration»
Bei der Sanai&lung "dzi/o Konsä eat ration der- Lieht lei stunIn the Sanai & lung "dzi / o Consumption of the Lieht
gen bilden die bekannten Vorrichtung©» ein konisches Snergiepaket => dessen Leistungsdichte im Bereich "des Brennpunktes sehr hoch ist, der dea Scheitel des KonusThe known devices © »form a conical Energy package => whose power density is very high in the area of the focal point, the vertex of the cone
Weaa ©s erwünscht ist, ein. "Loch mi-fe relativ großer 5?ief© zu 'bohren« miß der elektrisch© Dareteehlag nicht nux inWeaa © s is desired to be a. The electrical Dareteehlag does not measure "a hole to be drilled with a relatively large 5? Depth"
auch, in einem bestimmten i'ostand "toh diasesi". erhalten werden. Bas erhaltene Loch weist dans ©ine allgemin konisch© form auf, die in der Fäh© &Θ& Brennpunktes eng und ia Abstand iron diesem "breit ist& Hun ist es· · oft wünschenswert» beispielsweise "b@£ der Bearbeitung von Düsen, ein im wesentlichen sylinäriachas- Loch au erhalten» . . . ;also, in a certain i'ostand "toh diasesi". can be obtained. Bas hole obtained has dans © ine allgemin conical © form on which "it is · often desirable is wide & Hun" example "in the Fäh © & Θ & focus narrow and ia distance iron this b @ £ machining nozzle, one in essential sylinäriachas hole au preserved ». . . ;
Ziel der Krfindumg ist dl© Beseitigimg des oben geaaant©ß ffachteils wA di© Schaffujog ©ia©s· Iasisg©®og©a.e3a Zons der Riergiekonseatratioas, d©r@a for® praktisch syliadriscb. ist und bei der die löergieclicht© praktisch einheitlich entlang der Syiinderactisö ist« Das Bolaren^ l'rlsen und Sctuieiden eines Materials kam mit erhöhter Präaision ausgeführt werden= 35s ie-t siöglichs eine 3Düs©The aim of the Krfindumg is the elimination of the above-mentioned section wA di © Schaffujog © ia © s Iasisg © ®og © a.e3a Zons of the Riergiekonseatratioas, d © r @ a for® practically syliadriscb. and in which the löergieclicht © practically uniform along the Syiinderactisö is "The Bolaren ^ l'rlsen and Sctuieiden a material came with increased Präaision be executed = 35s ie-t siöglich s a 3Düs ©
BADBATH
in einem sehr harten Material auszuführen wie in Diamant' oder Korund. Ber Durchschlag in dem dielektrischen Material wird mit einem ausgelösten Laser in. einer aehr kurzen Zeit entlang einem praktisch zylindrischen Kanal erhalten·to be carried out in a very hard material such as diamond ' or corundum. The breakdown in the dielectric material is triggered by a laser in a a very short time along a practically cylindrical Receive channel
Hierzu sieht die Erfindung eine Vorrichtung zur Sammlung von Lieht in dem einen Geradenabschnitt umgebenden Volumen vor, die eine Lichtquelle verwendet, die ein optisches System anstrahlt, da β koaxial mit dem Abschnitt liegt und das Licht in der Nachbarschaft des Abschnittes fokussiert und*sich dadurch kennzeichnet, daß das optische System eine Auetritt pupille bzw. Ausgangsblende umfaßt, die die Form eines zwischen einem inneren und einem äußeren koaxialen Kreis eingeschlossenen Binges aufweist, wobei der Brennpunkt dee Systeme jenseits des * Geradenabsclmittee vorgesehen ist« Ber Durchmesser des inneren Kreises ist eo gewählt, daß eine Begrensung d@e Bereiches der Tangentialkaustik und auf der Seite des Brennpunktes eine Begrenzung des Bereiches des Sagittalbrennpunktes erzeugt wird· Der Durchmesser des äußeren Kreises ist so gewählt, daß auf der Seite des optischen Systems eine Begrenzung des Bereiches des Sagittalbrennpunktes erzeugt wird· Die beiden Durchmesser sind noch so gewählt, daß sich die beiden oben erwähnten Bereiche-gegenseitig ausschließen. To this end, the invention provides a device for collecting von Lieht in the volume surrounding a straight line segment that uses a light source illuminating an optical system because β is coaxial with the portion and focuses the light in the vicinity of the section and * is characterized in that the optical system an exit pupil or exit aperture comprising the Has the shape of a bing enclosed between an inner and an outer coaxial circle, wherein the focal point of the systems beyond the straight line committee The diameter of the inner circle is chosen to limit the area of the Tangential caustic and on the side of the focal point a limitation of the area of the sagittal focal point is generated · The diameter of the outer circle is chosen so that a delimitation of the area of the sagittal focal point is produced on the side of the optical system is · The two diameters are chosen so that the two areas mentioned above are mutually exclusive.
Das optische System kann einen mit einem Hittelloch versehenen Konkavspiegel aufweisen, durch das die von der Quelle ausgesendeten Strahlen gehen, die auf einen Konvexspiegel treffen, der die Strahler auf den Konkavspiegel reflektiert, der die reflektierten Strahlen zu dem Geradenabschnitt zurücksendeteThe optical system can have a concave mirror provided with a central hole through which the from The rays emitted by the source go to one Convex mirror, which reflects the emitters on the concave mirror, which the reflected rays to hit sent back the straight section
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Erfindung wird im folgenden altend €er Seicbnuiig beispielsweise beschrieben} in dieser E©igt4Invention becomes old in the following described for example} in this E © igt4
Pig» 1 schematisen den geometriechten Lichtstrafclen·- verlauf in einer Lichteammelvorriehtung mit zwei Spiegeln» einem Konvex- und einem Konkavspiegel, Pig »1 schematize the geometrical Lichtstrafclen · - run in a light receiver device two mirrors »one convex and one concave mirror,
Pig* 2 und 3 ein Detail der Befestigung der Schirme auf einem trän spar ent en (Präg er,Pig * 2 and 3 a detail of the attachment of the umbrellas on a tear saver (embossing,
Pig· 4· das Detail einer anderen Befestigungsart der' Bchinae mittels Stäben in Steraform undPig · 4 · the detail of another way of fastening the ' Bchinae by means of rods in steraform and
Pig«. 5^ eine Vergrößerung der Energiekonaeatrations«= zone.Pig «. 5 ^ an enlargement of the energy conaeation «= Zone.
In der in Pig» 1 geseigten Aaeftthaingsfosm wiid ein ©in«
fallendes Licbtbtt&del, deeeen Wellenlänge swieehen 0,1 u
und 200 u liegen kana,, d. 1bu das ultraviolett, siclitibar
oder infrarot ist, von einer Quelle mit parallelen
Bündeln wie einea Leser erseugt«, Dae als parallel angenommene Bündel tritt durch eine Kffeieöffnuiig 1, die in
einem sphärischem Konkavspiegel 2 mit ©ines Kruramußg®··
mittelpunkt Og vorgesehen, ist» Eb trifft' dann auf
sphärischen Konvexspiegel 3 mit einem punkt Q1^ und beispielsweise ei»'©r
parallel angenoseiene dlnfallomle
tiert, als ob es von dea Bre
kofflmen würde« Eb wird ein sgn
spiegel 2 reflektierteIn the Aaeftthaingsfosm sung in Pig "1 there is a light falling in", the wavelength of which is 0.1 u and 200 u lie kana ,, d. 1bu which is ultraviolet, siclitibar or infrared, absorbed by a source with parallel bundles like a reader «, the bundle assumed to be parallel passes through a kffeie opening 1, which is provided in a spherical concave mirror 2 with © ines Kruramussg® ·· center Og Eb then meets a spherical convex mirror 3 with a point Q 1 ^ and, for example, a parallel assumeddinfallomle tiert as if it were from dea Bre
would kofflmen «Eb is a so-called
mirror 2 reflected
Der Ort des KrümmungsmittelpuÄtee kann so festgelegt sein,, daß ten, bei 4· auf der Achs© desThe place of the center of curvature can be set so that th, at 4 · on the axis © des
trisch ist, auf dea Brennpunkt geriefetet®ais tric, grooved to the focal point®a
BAD ORIGINALBATH ORIGINAL
9Q48/12539Q48 / 1253
Strahlen beispielsweise in einem maximalen Abstand.ρ' von dem Konkavspiegel 2 erfolgt» der ungefähr zweimal dem Abstand ρ des Brennpunktes J'^ von dem Konkavspiegel 2 entspricht·For example, rays at a maximum distance. of the concave mirror 2 takes place approximately twice the distance ρ of the focal point J '^ from the concave mirror 2 corresponds to
In einem solchen Fall ist der von dem reflektierten Strahl mit der Syetemachse gebildete Winkel &bei F^ im wesentlichen gleich dem vierfachen Einfallswinkel i* Der von der normalen des Konkavspiegels 2 mit der Syetemachse bei Qg gebildete Winkel ß ist dann im wesentlichen gleich dem dreifachen Einfallswinkel i. Ebenfalls in dem Λ gleichen Fall ist der von den fokusßierten, reflektierten ™ Strahlen mit der Syetemachse bei 4 gebildete Anstellbzw. Schnittwinkel X im wesentlichen gleich dem zweifachen Einfallswinkel i. Es ist folglich (λ ar 41, ß * 31, tfSf Se handelt eich dabei um Vereinfachungen, die die Erklärungen erleichtern. Die die Winkel verbindende genaue Relation lautet <*« β + i » Γ + 2i, wobei « und ß im allgemeinen Fall kompilierte Funktionen von i sind.In such a case, the angle & formed by the reflected beam with the system axis at F ^ is essentially equal to four times the angle of incidence i * The angle β formed by the normal of the concave mirror 2 with the system axis at Qg is then essentially equal to three times the angle of incidence i . Also in the Λ same case, the angle of incidence formed by the focussed, reflected rays with the system axis at 4 is. Cutting angle X essentially equal to twice the angle of incidence i. It is therefore (λ ar 41, ß * 31, tfSf Se is a matter of simplifications that facilitate the explanations. The exact relation connecting the angles is <* «β + i» Γ + 2i, where «and ß in the general case are compiled functions of i.
Da für den Konvexspiegel 5 eine öffnung f/1,4 vorausgesetzt ist, ist der maximale Winkel t*. im wesentlichen gleich 18°. Darau» kann ein maximaler Einfallswinkel i von im wesentlichen gleich 4,5° abgeleitet werden» Die diesem Winkel ent*prech«aa«n reflektierten Strehlen werden auf der Syetenachse auf einem Funkt fokussiert, dar dem Scheitel des Spiegele näher liegt als die Punkte der anderen, kleineren öffnungen entsprechenden Strahlen· Ein äußerer Schirm 5 blendet die äußeren Strahlen aus und begrenzt so die Sammlung der Strahlen auf der spiegelseitigen Syetemachse« Diese äußere Position entspricht einem Schnittwinkel von im wesentlichen gleich 9°. Da.s paraxiale Bild derSince an opening f / 1.4 is required for the convex mirror 5, the maximum angle is t *. substantially equal to 18 °. From this, a maximum angle of incidence i of essentially equal to 4.5 ° can be derived. The rays reflected at this angle are focused on the axis of the syete on a point that is closer to the vertex of the mirror than the points of the other rays corresponding to smaller openings. An outer screen 5 fades out the outer rays and thus limits the collection of rays on the mirror-side system axis. This outer position corresponds to an angle of intersection of essentially 9 °. The paraxial image of the
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fokußaierten Licht strahl en ist um so weiter yqb dem
Spiegel entfernt,, Je kleiaei? die Einfallswinkel sind«
Ein innerer Schirm 6 blendet die Strahlen auej--jdie der
'kleinsten Öffnung eateprechea «ad in der Iah© des Brennpunktes fokussiert sind» Dies© äußerste Position
entspricht eimern Schnittwinkel ei toja i® wesentlichen
gleich 6° und ein«© Einfallswinkel i auf dem loaksir«
spiegel 2.von im wesentlichen gleich 3°« B®3? reflektierende
Teil des Konkavspiegels 2 entspricht einer Kugel sone,. die
zwischen zwei Winkeln eingeschlossen ist, di© im wesentlichen
awischen J χ 5° · 9° uM 3 χ 4,5° s 13?5° lie-geao Ber
reflektiereade feil dos SosFessp
Kugel zÄnef die Bwis©h@a sw@i Wi^k«
s€ai ißt, die im w©e©atlich©a/2 κ 5s
liegen»focused light is the farther yqb away from the mirror, Je kleiaei? the angles of incidence are "An inner screen 6 blinds the rays auej - the 'smallest opening eateprechea" ad in the Iah © of the focal point are focused "This © outermost position corresponds to an angle of intersection ei toja i® essentially equal to 6 ° and a« © Angle of incidence i on the loaksir mirror 2. of essentially equal to 3 ° B®3? reflective part of the concave mirror 2 corresponds to a sphere sone. which is enclosed between two angles, that is essentially Avian J χ 5 ° · 9 ° uM 3 χ 4.5 ° s 13 ? 5 ° lie-geao Ber reflexiereade feil dos SosFessp
Ball teeth for the Bwis © h @ a sw @ i Wi ^ k «
s € ai eats that lie in the w © e © atal © a / 2 κ 5 s »
Sa der im de» Flg« 2 g 5
Bind der äußere Schina 5 1S^d d©r lsae^e Schirm 6 auf Höh©
dee Konvexspiegels 3 angeordseto Blase Schirm© werden auf
einem (JlassMIck 7 oder dergleichea g©tragea.s -das ein©
geringe Bick© aufweist s für das verwendete Meht durehlEeeig
ist und nur ein© schwache Bree&umg d@s Xiichtbündels
hervorruft» Me Schime beatehen aus undurchlässigen Hingen,
die mit dem Konvexspiegel .5 ia angeordnet ei&d, daB sie eine
bilden. In Fig* 4 ist «ine suader·
Stangen 8 geringer Bicke geseigti die io Foi»
armigen Stem» angeordnet Bein' köiaiia<i Xh dieBea fall int
der Olastrttger nicht mehr erforderlich·»Sa the in de »Flg« 2 g 5
Bind der outer Schina 5 1 S ^ dd © r lsae ^ e screen 6 at height © dee convex mirror 3 angeordseto bubble screen © are on a (JlassMck 7 or the like a g © tragea. S -that has a © low view © s for the The flour used is permeable and only provokes a weak bundle of lightness
form. In Fig. 4 is «ine suader ·
Rods 8 low bend geseigti the io Foi »armed stem» arranged leg 'köiaiia <i Xh dieBea fall int the Olastrttger no longer required · »
Indessen ist die Position der zwei Schirme k«indsnr®g@~'Yon Bedeutung. Sie können auf einem oder/und dem anderen derMeanwhile, the position of the two screens is k "indsnr®g @ ~ 'yon Meaning. You can click on one or / and the other of the
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Spiegel oder an jedem zwischen der Lichtquelle und der Zone der EnergieSammlung gelegenen Ort angeordnet sein. (Tatsächlich weißen der maximale und minimale Schnittwinkelf, beispielsweise mit 9° und 6°, als Scheitel die Enden des Geraaenabeehnitieß der EnergieSammlung auf und gestatten, die Abmessung der öffnung des äußeren Schirmes 5 bzw. die Abmessung des inneren Schirmes 6 zu erhalten.Mirror or at each between the light source and the Be located in the area of the energy collection. (In fact, the maximum and minimum cutting angles white, for example with 9 ° and 6 °, the ends of the Geraaenabeehnitieß the energy collection and allow, the dimension of the opening of the outer screen 5 or the Dimensions of the inner screen 6 to be obtained.
Die Schirme können abnehmbar und austauschbar mit anderen Schirmen sein, die mit berechneten Abmessungen hergestellt sind, um verschiedene Schnittwinkel und Längen des Geraden- Abschnittes der Energie Sammlung zu erhalten.The umbrellas can be detachable and interchangeable with others Umbrellas that are made with calculated dimensions to different cutting angles and lengths of the straight section to get the energy collection.
Venn hingegen die Schnittwinkel und die IÄnge ein für alle Mal festgelegt sind, ist es möglich, die Begrenzung der Pupillen durch eine Bearbeitung der optischen Flächen des Konkavspiegels 2 und des Konvexspiegels 3 auszuführen. Die optischen Flächen werden dann auf die Abmessungen des äußeren bzw. des inneren Schirmes festgelegt» die an dem Ort der Spiegel positioniert würden. In diesem Fall sind die Schirme nicht mehr erforderlich.Venn, however, the cutting angle and the length one for everyone Once set, it is possible to limit the pupils by machining the optical surfaces of the Execute concave mirror 2 and the convex mirror 3. The optical surfaces are then based on the dimensions of the outer and the inner screen are defined »the would be positioned at the location of the mirrors. In this case the screens are no longer required.
In Fig. 5 ißt eine Vergrößerung der entlang einem Geraden-Abschnitt 4 gemäß dem oben ausgeführten Beispiel erhaltenen (^ Sammlungszone gezeigt. 5 shows an enlargement of the (^ collection zone obtained along a straight line section 4 according to the example set out above.
Man erhält eine Sagittalsammlung entlang einem Geraden ~ *bschnitt 4, wobei die (Tangentialkaustik 9 auf der Höhe der Sagittalebene aufgrund des Vorhandenseins des inneren Schirms 6 unterdrückt ist.A sagittal collection is obtained along a straight line ~ * Section 4, with the (tangential caustic 9 at the height the sagittal plane is suppressed due to the presence of the inner screen 6.
Somit würde, wenn beispielsweise ρ « 240 mm und p1 ·« 2p * 460 mm ist, der Krümmungsradius R2 des Konkavspiegels 2Thus, if, for example, ρ «240 mm and p 1 ·« 2p * 460 mm, the radius of curvature R 2 of the concave mirror would be 2
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ungefähr 360 mm betragen. Die Einfallswinkel i iron 3° und 4,5° entsprechen einer Pupille bzw«. BXende des-Konkavspiegels 2 mit einem Radius von imgefäin? 5 ^» und 8 cm» Ia diesen Fall wird die HingcSffnune der· gemäß dm Fig* 2, 3 und 4 angeordneten Schirm® wischen Bßdien iros ungefthr 28 ram und 44 rain eingefaßt. Man erhält in bezug auf «inen Punkt P, dar sehr geringen Einfallswinkel i entspricht und für den p* « 480 mm ist, einen Geraö&aabschnitt AB, dessen Abftzisso' näherungsweise zwischen 1,3 »Ε und 3*3 sam in besug auf den Punkt F liegt·be approximately 360 mm. The angles of incidence i iron 3 ° and 4.5 ° correspond to a pupil or «. BXend of concave mirror 2 with a radius of imgefäin? 5 ^ »and 8 cm» In this case, the slope of the 3 and 4 arranged screen® wipe the basement iros approximately 28 ram and 44 rain bordered. One obtains in relation to inen Point P, which corresponds to a very small angle of incidence i and for which p * «480 mm, is a straight section AB, its Abftzisso 'approximately between 1.3 »Ε and 3 * 3 sam in is on point F
Nach Fig. 5 legt dor'Berührungspunkt 10 der Tangentialkaustik ^" mit dem reflektierten Strahl, dessen Sehnittwinkel 6° beträgt, di® Tangentialkaustik feet, da der innere ßcfeirm 6 die Strahlen mit kleineren, ßchnittwinkeln zurückhält. Derselbe Schirm schneidet den Sagittalbereich bei B ungefähr 1,3 saa vor F ab» Der äußer® Schirm 5 begrenzt den Sagittalbereich bei A»According to FIG. 5, the point of contact 10 is the tangential caustic ^ "with the reflected ray, its angle of intersection 6 °, di® tangential caustic feet, since the inner ßcfeirm 6 the rays with smaller, ßchnittwinkel holding back. The same screen intersects the sagittal area at B about 1.3 saa before F from »The outer® screen 5 limits the sagittal area at A »
Bei großen Einfallswinkeln sind für eine gleiche Änderung dieses Winkels die fokuasierten reflektierten Strahlen iramer mehr voneinander entfernt; jedoch v/erden die den Lichtßtrom reflektierenden optischen Flächen auch größer. Diese zwei Effekte kompensieren eich und die Efaergiekon«antration erfolgt mit einer praktisch konstanten Dichte über die gesamte Läng© dee Oevodenebechalttäe, d· Iu in einem praktisch zylindrischen Voltwsea^ dessen. Lunge wenig« stone zehnmal größer al® der Durchmesser iet«At large angles of incidence, the same change is in favor of this angle the focused reflected rays iramer more distant from each other; however, they v / ground the Luminous flux reflecting optical surfaces are also larger. These two effects compensate for the calibration and the energy contamination takes place with a practically constant density over the entire length of the Oevodenebechalttäe, d · Iu in a practically cylindrical Voltwsea ^ that. Lungs little " stone ten times larger than the diameter iet «
Bei der erfindungegemäßen Vorrichtung können bestimmte Anordnungen geändert oder bestimmte Sinrlchtungen durch gleichwertige Einrichtungen ereetsst werden,,In the device according to the invention, certain Arrangements changed or certain arrangements made equivalent facilities are to be erected,
π α ? ι*.; 8 /12 ο 3π α? ι * .; 8/12 ο 3
Die Lichtquelle kann eine quaci punktförmige Quelle wie ein Lichtbogen sein.The light source can be a quaci point source like be an arc.
Anstelle der oben beschriebenen zwoi Spiegel, deB Konkav- und des Konvexspiegels« können ebenso zwei Linsen, eine Zerstreuungs- und eine Sammellinse, deren Ausgangepupillen eine Ringform aufweisen, ebenso eine praktisch konstante Energiekonzentration entlang einen Geradena^ßchnitt erzeugen. Instead of the two mirrors described above, the concave and the convex mirror can also have two lenses, a diverging and a converging lens, their exit pupils have a ring shape, also produce a practically constant energy concentration along a straight line section.
Im Fay. einer Punktquelle gestattet es ebenso ein einfacher Konkavspiegel mit großer Öffnung, der eine Auegangspupille in Ringform aufweist, dasselbe Resultat zu"erhalten.In the Fay. a point source allows a simple one as well Concave mirror with a large opening, which has an outer pupil in the shape of a ring, to obtain the same result.
Die Erfindung ist anwendbar zum Bohren mittels eines Lasers von transparenten und harten Materialien wie Diamant» Sie ist insbesondere von Bedeutung in Bereichen) wo die Regelmäßigkeit einer Bohrung in bezug auf die Tiefe gewährleistet sein muß. Diese Regelmäßigkeit ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die eine Energiekonzentration mit konstanter Dichte verwirklicht, gewährleistet·The invention is applicable to drilling by means of a laser of transparent and hard materials like diamond »It is particularly important in areas where the Regularity of a hole with respect to the depth must be guaranteed. This regularity is with the invention Device that realizes a concentration of energy with constant density ensures
-Fatentaneprüche--Fatentan claims-
- 9.-009848/1263 SAO- 9.-009848/1263 SAO
Claims (3)
009848/1253 - 10 ~
009848/1253
gebildet ist, wobei der Umfang der Scheibe und die Öffnung die Ränder der Ringlachßcheibe definieren und die Platte und die Scheibe mittels starren radialen Stäben feet verbunden »ind.Device according to claim 1, characterized in that the annular aperture diaphragm is made up of an opaque circular disk and an opaque plate perforated by a circular hole
is formed, the circumference of the disc and the opening defining the edges of the annular disc and the plate and the disc connected by means of rigid radial rods feet "ind.
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