DE20221275U1

DE20221275U1 - Spectral selection and detection device for a light beam, especially for a scanning microscope, comprises a detector arranged perpendicular to a focal line and an adjustable shutter that is adjusted parallel to the focal line

Info

Publication number: DE20221275U1
Application number: DE20221275U
Authority: DE
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2002-08-21
Filing date: 2002-08-21
Publication date: 2005-08-11
Anticipated expiration: 2012-08-22

Abstract

Device for selection and detection of at least two spectral ranges of a light beam (27) has a prism (29) for spectral broadening of the light beam and focus (33) for focusing the light in a focal line (35). A detector (55) is arranged in a plane (57) perpendicular to the focal line, while adjustable shutter (39) is provided for cutting-off a first spectral range and reflecting a second spectral range and is adjustable parallel to the focal line. The invention also relates to a scanning microscope with an inventive device for selection and detection of at least two spectral ranges.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls mit einem Mittel zum spektralen Auffächern des Lichtstrahles, mit in ihrer Position veränderbaren Mitteln zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs und mit einer Detektionseinrichtung, die Mittel zur Detektion des ersten und Mittel zur Detektion des reflektierten Spektralbereichs umfasst.The The invention relates to a device for selection and detection at least two spectral regions of a light beam with a Spectral fanning means of the light beam, with means for fading out in position a first spectral range and for reflecting at least one Part of the non-hidden spectral range and with a detection device, the means for detecting the first and means for detecting the reflected spectral range.

Weiterhin betrifft die Erfindung ein Scanmikroskop mit einer Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls mit einem Mittel zum spektralen Auffächern des Lichtstrahles, mit in ihrer Position veränderbaren Mitteln zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion {evtl. verallgemeinern, z.B. ablenken) mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs und mit einer Detektionseinrichtung, die Mittel zur Detektion des ersten und Mittel zur Detektion des reflektierten Spektralbereichs umfasst.Farther The invention relates to a scanning microscope with a device for Selection and detection of at least two spectral ranges of a Light beam with a means for spectral fanning of the Light beam, with variable in position means for hiding a first spectral range and for reflection {possibly. generalize, e.g. distract) at least part of the non-hidden spectral range and with a detection device, the means for detecting the first and means for detecting the reflected spectral range includes.

Eine Vorrichtungen zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls ist aus der Deutschen Offenlegungsschrift DE 43 30 347 A1 bekannt. Die Vorrichtung mit einer Selektionseinrichtung und einer Detektionseinrichtung ist zur zuverlässigen gleichzeitigen Selektion und Detektion unterschiedlicher Spektralbereiche bei hoher Ausbeute und bei einfachster Konstruktion derart ausgestaltet, dass die Selektionseinrichtung Mittel zur spektralen Zerlegung des Lichtstrahles und Mittel einerseits zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und andererseits zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs und die Detektionseinrichtung einen im Strahlengang des ausgeblendeten ersten Spektralbereichs angeordneten ersten Detektor und einen im Strahlengang des reflektierten Spektralbereichs angeordneten zweiten Detektor umfasst.A device for the selection and detection of at least two spectral ranges of a light beam is known from the German Offenlegungsschrift DE 43 30 347 A1 known. The device with a selection device and a detection device is designed for reliable simultaneous selection and detection of different spectral regions with high yield and simple construction such that the selection device means for spectral decomposition of the light beam and means on the one hand to hide a first spectral range and on the other hand to reflect at least one Part of the non-hidden spectral range and the detection device comprises a first detector arranged in the beam path of the first spectral region and a second detector arranged in the beam path of the reflected spectral range.

DE 199 02 625 A1 ist eine Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls, insbesondere zur Detektion des Lichtstrahls eines Laserscanners im Detektionsstrahlengang eines Konfokalmikroskops, bekannt. Die Vorrichtung ist zur Realisierung eines einfachen Aufbaus bei geringer Baugröße und unter Vermeidung des Defokusiereffektes gekennzeichnet durch eine Anordnung (3) zum spektralen Auffächern des Lichtstrahls und eine Anordnung zur Aufspaltung des aufgefächerten Strahls aus der Dispersionsebene heraus in Spektralbereiche und anschließenden Detektion der aufgespaltenen Spektralbereiche. DE 199 02 625 A1 is a device for the simultaneous detection of multiple spectral regions of a light beam, in particular for the detection of the light beam of a laser scanner in the detection beam path of a confocal microscope, known. The device is to realize a simple construction with a small size and while avoiding the Defokusiereffektes characterized by an arrangement ( 3 ) for spectrally fanning out the light beam and an arrangement for splitting the fanned-out beam out of the dispersion plane into spectral regions and subsequent detection of the split spectral regions.

Aus der Deutschen Offenlegungsschrift DE 100 06 800 A1 ist eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens eines Spektralbereichs eines spektral aufgefächerten Lichtstrahls, vorzugsweise im Strahlengang eines konfokalen Rastermikroskops bekannt, wobei der aufgefächerte Lichtstrahl in einer Fokallinie fokussierbar ist, ist zur überlappungsfreien Detektion des spektral aufgefächerten Lichtstrahls der selektierten Spektralbereiche bei einer erhöhten Anzahl von Detektoren und einer fehlertoleranten Anordnung dadurch gekennzeichnet, dass im aufgefächerten Lichtstrahl ein den Lichtstrahl zu einem Detektor reflektierendes und/oder brechendes optisches Bauteil angeordnet ist, dessen optisch wirksamer Bereich sich entlang der Oberfläche verkleinert oder vergrößert, so dass durch Ausrichtung des Bauteils zur Fokallinie und die sich daraus ergebende Überdeckung von Fokallinie und Oberfläche der zum Detektor gelangende Spektralbereich definierbar ist.From the German publication DE 100 06 800 A1 If a device for selection and detection of at least one spectral range of a spectrally fanned-out light beam, preferably in the beam path of a confocal scanning microscope, the fanned-out light beam can be focused in a focal line, is for overlap-free detection of the spectrally fanned out light beam of the selected spectral regions with an increased number of detectors and a fault-tolerant arrangement, characterized in that in the fanned-out light beam a light beam to a detector reflecting and / or refractive optical component is arranged, whose optically effective range is reduced or enlarged along the surface, so that by alignment of the component to the focal line and the the resulting coverage of the focal line and the surface of the spectral range reaching the detector can be defined.

In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.In scanning microscopy, a sample is illuminated with a light beam, around the reflection or fluorescent light emitted by the sample to observe. The focus of an illumination beam comes with Help of a controllable beam deflector, in general by tilting two mirrors, moving in an object plane, where the deflection axes are usually perpendicular to each other, so that a Mirror in x-, the other distracts in y-direction. The tilt The mirror, for example, with the help of galvanometer actuators accomplished. The power of the light coming from the object becomes dependent on measured from the position of the scanning beam. Usually, the control elements equipped with sensors for determining the current mirror position.

Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt idealer Weise einen Mäander beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position, diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise Bilddatennahme zu ermöglichen, wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht verschoben und so die nächste abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.Especially in confocal scanning microscopy, an object with the focus of a light beam is scanned in three dimensions. A confocal scanning microscope generally comprises a light source, a focusing optics with which the light of the source is focused on a pinhole - the so-called excitation diaphragm, a beam splitter, a beam deflector for beam control, a microscope optics, a detection diaphragm and the detectors for detecting the detection - or fluorescent light. The illumination light is coupled in via a beam splitter. The fluorescence or reflection light coming from the object passes back to the beam splitter via the beam deflector, passes through it, and is subsequently focused onto the detection aperture behind which the detectors are located. Detection light that does not come directly from the focus region takes a different light path and does not pass through the detection aperture, so as to obtain point information that results in a three-dimensional image by sequentially scanning the object. In most cases, a three-dimensional image is achieved by layered image data acquisition, wherein the path of the scanning light beam on or in the object is more ideal Way describes a meander. (Scanning a line in the x-direction at a constant y-position, then pause x-scan and swivel by y-adjustment to the next line to be scanned and then, at a constant y-position, scan this line in the negative x-direction, etc.). In order to enable a layered image data acquisition, the sample stage or the objective is displaced after the scanning of one layer and the next layer to be scanned is thus brought into the focal plane of the objective.

Die bereits erwähnte Offenlegungsschrift DE 43 30 347 A1 offenbart, dass durch Kaskadierung der Vorrichtung eine Selektion und Detektion auch in mehr als zwei Spektralbereichen möglich ist. Die Vorrichtung, die aus der DE 199 02 625 A1 bekannt ist, gibt eine geschickte Anordnung der Spiegelblenden an, die eine Selektion und Detektion in vier Spektralbereichen ermöglicht. Eine weitere Kaskadierung dieser Vorrichtung ist aufwendig und nur mit Inkaufnahme einer Verschlechterung des spektralen Auflösungsvermögens möglich.The already mentioned publication DE 43 30 347 A1 discloses that by cascading the device a selection and detection in more than two spectral ranges is possible. The device coming out of the DE 199 02 625 A1 is known, indicates a clever arrangement of the mirror aperture, which allows selection and detection in four spectral ranges. A further cascading of this device is complicated and only possible with acceptance of a deterioration of the spectral resolution.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls anzugeben, die bei hoher mechanischer Stabilität und Zuverlässigkeit die Selektion und Detektion einer höheren Anzahl von Spektralbereichen eines Lichtstrahles ermöglicht.It is therefore an object of the present invention, a device for Selection and detection of several spectral regions of a light beam indicate that with high mechanical stability and reliability the selection and detection of a higher number of spectral regions a light beam allows.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass Fokussiermittel zum Fokussieren des spektral aufgespaltenen Lichtstrahles zu einer Fokuslinie vorgesehen sind und dass die Detektionseinrichtung in einer zur Fokuslinie senkrechten Ebene angeordnet ist, wobei die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs parallel zur Fokuslinie in ihrer Position veränderbar sind.These Task is solved by a device characterized is that focusing means for focusing the spectrally split Light beam are provided to a focus line and that the detection device is arranged in a plane perpendicular to the focus line, wherein the Means for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range can be changed in position parallel to the focus line.

Es ist außerdem Aufgabe der Erfindung ein Scanmikroskop anzugeben, mit dem es möglich ist, einen von der Probe ausgehenden Detektionslichtstrahl bei hoher mechanischer Stabilität und Zuverlässigkeit in einer höheren Anzahl von Spektralbereichen analysieren zu können.It is also Object of the invention to provide a scanning microscope, with which it is possible, a from the sample emanating detection light beam at high mechanical stability and reliability in a higher Number of spectral ranges.

Diese Aufgabe wird durch ein Scanmikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass Fokussiermittel zum Fokussieren des spektral aufgespaltenen Lichtstrahles zu einer Fokuslinie vorgesehen sind und dass die Detektionseinrichtung in einer zur Fokuslinie senkrechten Ebene angeordnet ist, wobei die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs parallel zur Fokuslinie in ihrer Position veränderbar sind.These Task is solved by a scanning microscope, which characterized is that focusing means for focusing the spectrally split Light beam are provided to a focus line and that the detection device is arranged in a plane perpendicular to the focus line, wherein the means for hiding a first spectral range and the Reflection of at least a part of the non-hidden spectral range can be changed in position parallel to the focus line.

Die Erfindung hat den Vorteil, dass bei reduzierter Baugröße die Selektion und Detektion in einer höhern Anzahl von Spektralbereichen bei großer mechanischer Zuverlässigkeit und Stabilität ermöglicht ist.The The invention has the advantage that, with a reduced size, the selection and detection in a higher Number of spectral ranges with high mechanical reliability and stability is possible.

In einer bevorzugen Ausgestaltung ist die Detektionseinrichtung ringförmig um die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs angeordnet.In a preferred embodiment, the detection device is annular to the means for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range arranged.

Die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs sind vorzugsweise parallel zur Fokuslinie in ihrer Position veränderbar. Vorzugsweise ist hierzu zumindest ein motorischer Antrieb vorgesehen, der beispielsweise als Elektromotor ausgeführt sein kann. In einer besonders bevorzugen Ausgestaltung ist jedem Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs ein motorischer Antrieb zugeordnet. Ganz besonders vorteilhaft ist eine Ausgestaltung bei der die motorischen Antriebe in mindestens einer Ebene Angeordnet sind, die parallel zu der zur Fokuslinie senkrechten Ebene ist. Diese Ausgestaltung weist vorzugsweise eine Schichtstruktur auf, bei der die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs, die Mittel zur Detektion und die motorischen Antriebe in verschiednen Schichten angeordnet sind.The Means for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range are preferably parallel to the focus line in position variable. Preferably, at least one motor drive is provided for this purpose, which may for example be designed as an electric motor. In a special preferred embodiment is any means for hiding a first Spectral range and for reflection of at least a part of the not masked spectral range associated with a motor drive. Especially advantageous is an embodiment in which the motor Drives are arranged in at least one plane parallel to the plane perpendicular to the focus line. This embodiment preferably has a layer structure in which the means for hiding a first spectral range and for reflecting at least one Part of the non-hidden spectral range, the means for Detection and motor drives in different layers are arranged.

In einer Variante verschieben die motorischen Antriebe die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs über Antriebsstangen oder Antriebsrohre, die vorzugsweise gekröpft sind. Die gekröpfte Ausführung ermöglicht eine Anordnung der Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs in der Nähe der Fokallinie, ohne dass es bei der Anordnung der zugehörigen motorischen Antriebe zu Platzproblemen kommt. In einer bevorzugen Ausgestaltung dienen die Antriebsstangen oder Antriebsrohre gleichzeitig zur Führung. Es können auch reine Führungselemente vorgesehen sein.In In one variant, the motor drives shift the means for Hiding a first spectral range and reflecting at least one Part of the non-hidden spectral range via drive rods or drive tubes, the preferably cranked are. The cranked Execution allows one Arrangement of the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least a portion of the non-hidden Spectral range nearby the focal line without it being in the arrangement of the associated motor Drives to space problems comes. In a preferred embodiment serve the drive rods or drive tubes simultaneously for guidance. It can too pure guide elements be provided.

In einer anderen Variante sind Gewindespindeln zur Übertragung der Antriebsenergie vorgesehen.In another variant are threaded spindles for transmitting the drive energy intended.

Vorzugsweise sind die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs derart versetzt angeordnet, dass eine Kollision ausgeschlossen ist. In ein besonderen Ausführung sind die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs Spiegelblenden. Vorzugsweise sind diese als verspiegelte Halbzylinder ausgebildet, die in die Antriebsrohre einfügbar sind.Preferably, the means for hiding a first spectral range and for reflecting at least a part of the non-hidden spectral range are arranged offset in such a way that a collision is excluded. In a special Embodiment are the means for hiding a first spectral range and for reflecting at least a portion of the non-hidden spectral range mirror apertures. Preferably, these are designed as mirrored half-cylinder, which can be inserted into the drive pipes.

Die Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs sind vorzugsweise im Bereich der Fokuslinie angeordnet, wodurch eine hohe spektrale Auflösung gewährleistet ist.The Means for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range are preferably arranged in the region of the focal line, whereby a high spectral resolution guaranteed is.

Ganz besonders effizient ist eine Vorrichtung, die 26 Spiegelblenden 9 Mittel zur Detektion beinhaltet. Vorzugsweise sind die Mittel zur Detektion Photomultiplier.Especially efficient is a device that has 26 mirrors 9 Includes means for detection. Preferably, the means for detection are photomultipliers.

In einer besonders bevorzugten Ausführung sind die Mittel zur Detektion in einem ringförmigen Chassis angeordnet, das vorzugsweise senkrecht zur Rohrachse angeordnete Trägerböden aufweist, an denen die motorischen Antriebe befestigbar sind und das eine Öffnung für den Lichtstrahl aufweist.In a particularly preferred embodiment the means for detection are arranged in an annular chassis, the preferably perpendicular to the tube axis arranged carrier bottoms, to where the motor drives are fastened and that an opening for the light beam having.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich wirkende Bauteile mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigt:In the drawing of the subject invention is shown schematically and will be described with reference to the figures below, wherein the same acting components are provided with the same reference numerals. there shows:

1 ein erfindungsgemäßes konfokales Scanmikroskop und 1 a confocal scanning microscope according to the invention and

2 ein Ablaufschema des erfindungsgemäßen Verfahrens. 2 a flow chart of the method according to the invention.

1 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes konfokales Scanmikroskop. Das Scanmikroskop beinhaltet eine Lichtquelle 1, die als Laser 3 ausgeführt ist. Der von dem Laser 3 emittierte Beleuchtungslichtstrahl 5 wird nach dem Passieren einer Anregungsblende 27 von einem Hauptstrahlteiler 7 zu einer Strahlablenkeinrichtung 9, die einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 11 beinhaltet, reflektiert und von der Strahlablenkeinrichtung 9 durch die Scanoptik 13, die Tubusoptik 15 und das Objektiv 17 über bzw. durch die Probe 19 geführt. Der von der Probe 19 ausgehende Detektionslichtstrahl 21 gelangt auf demselben Lichtweg über die Strahlablenkeinrichtung 9 zurück zum Hauptstrahlteiler 7, passiert diesen und trifft nach Passieren der Detektionsblende 23 auf die Vorrichtung 25 zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche. In der Zeichnung ist der Beleuchtungslichtstrahl 5 mit einer durchgezogenen Linie dargestellt, während das von der Probe 19 ausgehende Detektionslichtstrahl 21 gestrichelt dargestellt ist. 1 schematically shows a confocal scanning microscope according to the invention. The scanning microscope includes a light source 1 that as a laser 3 is executed. The one from the laser 3 emitted illumination light beam 5 becomes after passing an excitation aperture 27 from a main beam splitter 7 to a beam deflector 9 holding a gimbal-mounted scanning mirror 11 includes, reflects and from the beam deflector 9 through the scanning optics 13 , the tube optic 15 and the lens 17 over or through the sample 19 guided. The one from the sample 19 outgoing detection light beam 21 arrives on the same light path via the beam deflection device 9 back to the main beam splitter 7 , passes this and hits after passing the detection aperture 23 on the device 25 for the selection and detection of at least two spectral ranges. In the drawing, the illuminating light beam 5 shown by a solid line while that of the sample 19 outgoing detection light beam 21 is shown in dashed lines.

2 zeigt eine Vorrichtung 25 zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls 27 mit einem Mittel 29 zum spektralen Auffächern des Lichtstrahles, das als Prisma 31 ausgeführt ist. Die Vorrichtung beinhaltet ein Fokussiermittel 33 zum Fokussieren des spektral aufgespaltenen Lichtstrahles zu einer Fokuslinie 35, die als Linsensystem 37 ausgestaltet ist. Im Bereich der Fokuslinie 35 sind Mittel 39 zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs angeordnet, die als Spiegelblenden 41 ausgeführt sind. Die Mittel 39 zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs sind parallel zur Fokuslinie 35 verschiebbar. Zum Verschieben sind motorische Antriebe 43 vorgesehen, die als Elektromotoren 45 ausgeführt sind, und die Spiegelblenden 41 über einen Spindeltrieb 47 und über Antriebsstangen 49 bewegen. Die Antriebsstangen 49 sind gekröpft und in Führungsplatten 51 geführt. Die Vorrichtung beinhaltet außerdem eine Detektionseinrichtung 53 mit Detektoren 55 in einer zur Fokuslinie 35 senkrechten Ebene 57 angeordnet sind. Die motorischen Antriebe sind in Parallelebenen 59, 61 angeordnet. Die Detektoren 55 sind in einem ringförmigen Chassis 63, in dem Trägerböden 65 vorgesehen sind, an denen die motorischen Antriebe 43 befestigt sind. 2 shows a device 25 for the selection and detection of at least two spectral regions of a light beam 27 with a means 29 for the spectral fanning of the light beam, as a prism 31 is executed. The device includes a focusing means 33 for focusing the spectrally split light beam to a focus line 35 as a lens system 37 is designed. In the area of the focus line 35 are means 39 for masking out a first spectral range and for reflecting at least a part of the non-masked spectral range arranged as mirror apertures 41 are executed. The means 39 for hiding a first spectral range and for reflecting at least a part of the non-hidden spectral range are parallel to the focus line 35 displaceable. To move are motorized drives 43 designed as electric motors 45 are executed, and the mirrors 41 via a spindle drive 47 and over drive rods 49 move. The drive rods 49 are cranked and in guide plates 51 guided. The device also includes a detection device 53 with detectors 55 in one to the focus line 35 vertical plane 57 are arranged. The motor drives are in parallel planes 59 . 61 arranged. The detectors 55 are in an annular chassis 63 , in the carrier bottoms 65 are provided, where the motor drives 43 are attached.

3 zeigt eine Vorrichtung 25 zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls 27 in einer Schnittzeichnung von oben durch die zur Fokuslinie 35 senkrechten Ebene 57 in der die Detektoren 55 angeordnet sind. Von den Mitteln 39 zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs sind aus Gründen der Übersichtlichkeit lediglich zwei schematisch eingezeichnet. Ebenso sind die Mittel 29 zum spektralen Auffächern des Lichtstrahles und das Fokussiermittel 33 zum Fokussieren des spektral aufgespaltenen Lichtstrahles zu einer Fokuslinie 35 schematisch eingezeichnet. 3 shows a device 25 for the selection and detection of at least two spectral regions of a light beam 27 in a sectional drawing from above through the to the focus line 35 vertical plane 57 in the the detectors 55 are arranged. From the means 39 For reasons of clarity, only two are shown schematically for masking out a first spectral range and for reflecting at least a part of the non-masked spectral range. Likewise, the means 29 for spectral fanning of the light beam and the focusing means 33 for focusing the spectrally split light beam to a focus line 35 schematically drawn.

Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.The The invention has been described in relation to a particular embodiment. It is, of course, that changes and modifications performed can be without departing from the scope of the following claims.

11: Lichtquellelight source
33: Laserlaser
55: BeleuchtungslichtstrahlIlluminating light beam
77: HauptstrahlteilerMain beam splitter
99: Spiegelblendenmirror covers
1111: Scanspiegelscanning mirror
1313: Scanoptikscan optics
1515: Tubusoptiktube optical system
1717: Objektivlens
1919: Probesample
2121: DetektionslichtstrahlDetection light beam
2323: Detektionsblendedetection aperture
2525: Vorrichtungcontraption
2727: Anregungsblendeexcitation pinhole
2929: Mittelmedium
3131: Prismaprism
3333: Fokussiermittelfocusing
3535: Fokusliniefocus line
3737: Linsensystemlens system
3939: Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und zur Reflexion mindestens eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichsmedium for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range
4141: Spiegelblendenmirror covers
4343: motorischer Antriebmotorized drive
4545: Elektromotorelectric motor
4747: Spindeltriebspindle drive
4949: Antriebsstangedrive rod
5151: Führungsplatteguide plate
5353: Detektionseinrichtungdetection device
5555: Detektordetector
5757: Ebenelevel
6161: Parallelebeneparallel plane
6363: Chassischassis
6565: Trägerbodensupport floor

Claims

Device for selecting and detecting at least two spectral regions of a light beam with a means for spectrally fanning out the light beam, with means whose position can be changed to hide a first spectral range and reflect at least a part of the non-hidden spectral range and with a detection device, the means for detecting the light first and means for detecting the reflected spectral range, characterized in that focusing means for focusing the spectrally split light beam are provided to a focus line and that the detection means is arranged in a plane perpendicular to the focus line, wherein the means for hiding a first spectral range and for reflection At least a portion of the non-hidden spectral range parallel to the focus line in position can be changed.

Device according to claim 1, characterized in that in that the detection device is annular around the means for fading out a first spectral range and for reflecting at least a part of the non-hidden spectral range is arranged.

Device according to one of claims 1 or 2, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least part of the non-hidden spectral range are rotatably mounted.

Device according to one of claims 1 to 3, characterized that at least one motor drive is provided with the Means for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range changeable in their position are.

Device according to one of claims 1 to 3, characterized that each means for hiding a first spectral range and for reflection of at least part of the non-hidden spectral range a motor drive is assigned.

Device according to one of claims 4 or 5, characterized that the motor drives are arranged in at least one plane, arranged parallel to the plane perpendicular to the focus line are.

Device according to one of claims 4 to 6, characterized that the motor drives are the means of hiding a first Spectral range and for reflection of at least a part of the not hidden spectral range over Move drive rods or drive tubes.

Device according to claim 7, characterized in that that the drive rods or drive tubes are cranked.

Device according to claim 7, characterized in that that the drive rods or drive tubes serve to guide.

Device according to one of claims 7 to 9, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least part of the non-hidden spectral range are designed as mirrored half-cylinder, in the drive pipes are insertable.

Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least part of the non-hidden spectral range are arranged offset so that a collision is avoided.

Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflecting at least a portion of the not ausge blended spectral range mirror apertures are.

Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least part of the non-hidden spectral range are arranged in the region of the focus line.

Device according to claim 13, characterized in that that 26 mirror covers are provided.

Device according to one of claims 1 to 14, characterized that 9 means are provided for detection.

Device according to one of claims 1 to 15, characterized the means for detection are photomultipliers.

Device according to one of claims 1 to 16, characterized in that the means for detection are arranged in an annular chassis.

Device according to claim 17, characterized in that that the means for detection parallel to the focus line in the annular chassis can be introduced.

Device according to one of claims 17 or 18, characterized that in the annular Chassis carrier floors provided are, to which the motor drives are fastened.

Device according to one of claims 17 to 19, characterized that the chassis has an opening for the Has light beam.

Scanning microscope with a device for selection and detecting at least two spectral regions of a light beam with a means for spectral fanning of the light beam, with changeable in their position Means for hiding a first spectral range and for reflection at least part of the non-hidden spectral range and with a detection device, the means for detecting the first and means for detecting the reflected spectral range characterized in that focusing means for focusing the spectrally split light beam to a focus line provided are and that the detection device in one to the focus line vertical plane is arranged, with the means for hiding a first spectral range and for reflecting at least one Part of the non-hidden spectral range parallel to the focus line changeable in their position are.

Scanning microscope according to claim 21, characterized in that the light beam is a detection light beam.

Scanning microscope according to claim 21, characterized in that in that the detection device is annular around the means for fading out a first spectral range and for reflecting at least a part of the non-hidden spectral range is arranged.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 23, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least one part the non-hidden spectral range are rotatably mounted.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 24, characterized in that at least one motor drive is provided with the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least part of the non-hidden spectral range changeable in their position are.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 25, characterized in that each means for hiding a first spectral range and for reflection of at least one part of the non-hidden spectral range, a motor drive assigned.

Scanning microscope according to one of claims 25 or 26, characterized in that the motor drives in at least a plane that is parallel to the one to the focus line vertical plane are arranged.

Scanning microscope according to one of claims 25 to 27, characterized in that the motor drives the means for hiding a first spectral range and for reflecting at least one Part of the non-hidden spectral range via drive rods or drive tubes move.

Scanning microscope according to claim 28, characterized in that that the drive rods or drive tubes are cranked.

Scanning microscope according to claim 28, characterized in that that the drive rods or drive tubes serve to guide.

Scanning microscope according to one of claims 28 to 30, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least one part of the non-hidden spectral range as mirrored half cylinders are formed, which are insertable into the drive pipes.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 31, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least one part the non-hidden spectral range arranged offset in such a way are that a collision is avoided.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 32, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least one part of the non-hidden spectral range are mirror apertures.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 33, characterized in that the means for hiding a first spectral range and for reflection of at least one part of the non-hidden spectral range in the area of the focus line are arranged.

Scanning microscope according to Claim 34, characterized that 26 mirror covers are provided.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 35, characterized in that 9 means for detection provided are.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 36, characterized in that the means for detecting photomultiplier are.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 37, characterized in that the means for detection in a annular Chassis are arranged.

Scanning microscope according to claim 38, characterized that the means for detection parallel to the focus line in the annular chassis can be introduced.

Scanning microscope according to one of claims 38 or 39, characterized in that provided in the annular chassis carrier floors are, to which the motor drives are fastened.

Scanning microscope according to one of claims 38 to 40, characterized in that the chassis has an opening for the light beam having.

Scanning microscope according to one of claims 21 to 41, characterized in that the scanning microscope is a confocal Scanning microscope is.