DE202017007159U1

DE202017007159U1 - surface measuring instrument

Info

Publication number: DE202017007159U1
Application number: DE202017007159.2U
Authority: DE
Original assignee: Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Current assignee: Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Priority date: 2017-03-29
Filing date: 2017-03-29
Publication date: 2019-10-28
Anticipated expiration: 2027-03-30

Abstract

Oberflächenmessgerät (2) zur Vermessung einer Oberfläche eines Werkstücks,mit einem Taster, der einen Tastarm (4) aufweist, der einen Tastkörper (22) zur Antastung der Oberfläche des zu vermessenden Werkstücks trägt,mit einer Vorschubeinrichtung (6) zum Bewegen des Tastkörpers (22) relativ zu dem zu vermessenden Werkstück,wobei der Tastarm (4) über eine mechanische Schnittstelle (14) lösbar mit einem beweglichen Teil (16) der Vorschubeinrichtung (6) verbindbar oder verbunden ist,wobei die Schnittstelle (14) ein erstes Teil (18) und ein zweites Teil (20) aufweist, die in Montageposition des Tastarmes (4) an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung (16) statisch bestimmt miteinander verbunden sind,wobei eines der Teile (20, 18) dem Tastarm (4) und das andere Teil (18, 20) der Vorschubeinrichtung (6) zugeordnet ist,dadurch gekennzeichnet,dass an dem ersten Teil (18) als Montage-Ausrichthilfsmittel wenigstens ein Ausrichtvorsprung (42, 44) vorgesehen ist, der in Montageposition des Tastarms (4) kontaktlos oder annähernd kontaktlos in eine an dem zweiten Teil gebildete Ausrichtausnehmung (46, 48) eingreift.Surface measuring device (2) for measuring a surface of a workpiece, having a feeler, which has a feeler arm (4) carrying a feeler body (22) for probing the surface of the workpiece to be measured, with a feed device (6) for moving the feeler body (6). 22) relative to the workpiece to be measured, wherein the sensing arm (4) via a mechanical interface (14) detachably connected to a movable part (16) of the feed device (6) is connected or connected, wherein the interface (14) is a first part (14). 18) and a second part (20) which in the mounting position of the sensing arm (4) on the movable part of the feed device (16) are statically connected to each other, wherein one of the parts (20, 18) of the sensing arm (4) and the another part (18, 20) of the feed device (6) is assigned, characterized in that at least one alignment projection (42, 44) is provided on the first part (18) as mounting alignment aid, which in Montageposi tion of the sensing arm (4) contactless or approximately contactless in an alignment formed on the second part Ausrichtausnehmung (46, 48) engages.

Description

Die Erfindung betrifft ein Oberflächenmessgerät der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.The invention relates to a surface measuring device referred to in the preamble of claim 1 Art.

Derartige Oberflächenmessgeräte sind, beispielsweise in Form von Rauheitsmessgeräten, allgemein bekannt. Sie weisen einen Taster auf, der einen Tastarm aufweist, der einen Tastkörper zur Antastung einer Oberfläche eines zu vermessenden Werkstücks trägt. Die bekannten Oberflächenmessgeräte weisen ferner eine Vorschubeinrichtung zum Bewegen des Tastkörpers relativ zu dem zu vermessenden Werkstück auf. Um das Oberflächenmessgerät an unterschiedliche Messaufgaben anpassen zu können, ist der Tastarm auswechselbar. Hierzu ist der Tastarm über eine mechanische Schnittstelle lösbar mit einem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung verbindbar oder verbunden, wobei die Schnittstelle ein erstes Teil und ein zweites Teil aufweist, die in Montageposition des Tastarmes an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung statisch bestimmt miteinander verbunden sind, wobei das eine Teil dem Tastarm und das andere Teil der Vorschubeinrichtung zugeordnet ist.Such surface measuring devices are generally known, for example in the form of roughness measuring devices. They have a button, which has a sensing arm, which carries a probe body for probing a surface of a workpiece to be measured. The known surface measuring devices also have a feed device for moving the feeler body relative to the workpiece to be measured. In order to be able to adapt the surface measuring device to different measuring tasks, the measuring arm can be exchanged. For this purpose, the probe arm via a mechanical interface is detachably connected or connected to a movable part of the feed device, the interface having a first part and a second part, which are statically determined in the mounting position of the sensing arm on the movable part of the feed device connected to each other, said one part is associated with the sensing arm and the other part of the feed device.

Durch Auswahl und Einsatz eines entsprechenden Tastarmes kann das Oberflächenmessgerät damit an unterschiedlichen Messaufgaben angepasst werden.By selecting and using a corresponding scanning arm, the surface measuring device can thus be adapted to different measuring tasks.

Bei einem Wechsel des Tastarmes ist es erforderlich, denselben in einer vorbestimmten, definierten Position an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung zu montieren. Anderenfalls weicht die tatsächliche Geometrie des Tasters in undefinierter Weise von einer vorbestimmten und der Auswertung der Tasterausgangssignale zugrunde gelegten Geometrie ab. Eine zuverlässige Rekonstruktion der Oberfläche des zu vermessenden Werkstücks anhand der Tasterausgangssignale ist jedoch nur dann möglich, wenn die Geometrie des Tasters exakt bekannt ist.When changing the sensing arm, it is necessary to mount the same in a predetermined, defined position on the movable part of the feed device. Otherwise, the actual geometry of the probe differs in an undefined manner from a predetermined geometry based on the evaluation of the probe output signals. A reliable reconstruction of the surface of the workpiece to be measured on the basis of the button output signals, however, is only possible if the geometry of the probe is known exactly.

Insbesondere besteht die Gefahr, dass eine geringfügige Abweichung der tatsächlichen Position des Tastarmes von der vorbestimmten Position zu einer Beeinträchtigung der Messgenauigkeit führt, ohne dass dieser Fehler bemerkt wird. Die Gefahr einer nicht korrekten Montage des Tastarmes ist dadurch weiter erhöht, dass der Tastarm häufig durch Magnetkraft an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung gehalten wird und somit grundsätzlich eine Montage des Tastarmes in verschiedenen Positionen an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung möglich ist.In particular, there is a risk that a slight deviation of the actual position of the sensing arm from the predetermined position leads to a deterioration of the measurement accuracy, without this error is noticed. The risk of incorrect assembly of the sensing arm is further increased in that the probe is often held by magnetic force on the movable part of the feed device and thus basically a mounting of the sensing arm in different positions on the movable part of the feed device is possible.

Um eine Montage des Tastarmes in der vorgesehenen richtigen Position zu erleichtern, ist es bekannt, Ausrichthilfsmittel in Form von optischen Markierungen zu verwenden. Nachteilig ist hierbei jedoch, dass die Schnittstelle häufig nicht einsehbar ist. Außerdem ist insbesondere bei kleinen Bauteilen eine geringfügige Fehlstellung oftmals nicht erkennbar.In order to facilitate assembly of the sensing arm in the proper position provided, it is known to use alignment aids in the form of optical markings. The disadvantage here, however, that the interface is often not visible. In addition, a small misalignment is often not recognizable, especially for small components.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Oberflächenmessgerät der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art anzugeben, bei dem die Montage des Tastarmes in der vorgesehenen Position an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung erleichtert ist.The invention has for its object to provide a surface measuring device referred to in the preamble of claim 1, in which the assembly of the sensing arm is facilitated in the intended position on the movable part of the feed device.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst.This object is achieved by the invention defined in claim 1.

Die Erfindung sieht vor, dass an dem ersten Teil als Montage-Ausrichthilfsmittel wenigstens ein Ausrichtvorsprung vorgesehen ist, der in Montageposition des Tastarmes kontaktlos oder annähernd kontaktlos in eine an dem zweiten Teil gebildete Ausrichtausnehmung eingreift.The invention provides that at least one Ausrichtvorsprung is provided on the first part as a mounting Ausrichthilfsmittel which engages in the mounting position of the sensing arm contactless or approximately contactless in an alignment formed on the second part Ausrichtausnehmung.

Die erfindungsgemäß vorgesehene Kombination aus Ausrichtvorsprung und Ausrichtausnehmung erleichtert eine Montage des Tastarmes in der vorgesehenen Position, indem der Tastarm bei der Montage in diese Position geführt wird. Auf diese Weise ist die Gefahr einer fehlerhaften Montage des Tastarmes bei einem Tastarmwechsel verringert, so dass hierdurch hervorgerufene Messungenauigkeiten zuverlässig vermieden sind.The inventively provided combination of Ausrichtvorsprung and Ausrichtausnehmung facilitates installation of the sensing arm in the intended position by the sensing arm is guided during assembly in this position. In this way, the risk of incorrect assembly of the sensing arm is reduced in a Tastarmwechsel, so that caused by measurement inaccuracies are reliably avoided.

Ein Vorteil der Erfindung gegenüber optischen Markierungen als Montage-Ausrichthilfsmittel besteht darin, dass das erfindungsgemäße Montage-Ausrichthilfsmittel auch dann wirksam ist, wenn die Schnittstelle nicht eingesehen werden kann.An advantage of the invention over optical markers as mounting alignment aids is that the assembly alignment aid of the invention is effective even when the interface can not be viewed.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass das Vorsehen eines Ausrichtvorsprungs bzw. mehrerer Ausrichtvorsprünge mit zugeordneten Ausrichtausnehmungen die Herstellungskosten des erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes nicht in nennenswertem Maße erhöht. Damit ist mit einfachen und kostengünstigen Mitteln die Funktionssicherheit des Oberflächenmessgerätes erhöht.A further advantage of the invention is that the provision of an alignment projection or a plurality of alignment projections with associated alignment recesses does not increase the production costs of the surface measurement device according to the invention to any appreciable extent. This increases the reliability of the surface measuring device with simple and inexpensive means.

Dadurch, dass der Ausrichtvorsprung in Montageposition des Tastarmes kontaktlos oder annähernd kontaktlos in die zugeordnete Ausrichtausnehmung eingreift, ist das Montage-Ausrichthilfsmittel ausschließlich während der Montage des Tastarmes wirksam. Unter einem annähernd kontaktlosen Eingreifen des Ausrichtvorsprungs in die Ausrichtausnehmung wird erfindungsgemäß verstanden, dass der Ausrichtvorsprung in Montageposition des Tastarmes die statische Bestimmtheit der Verbindung des ersten Teiles mit dem zweiten Teil nicht beeinträchtigt.Characterized in that the alignment projection engages contactless or approximately contactless in the associated Ausrichtausnehmung in the mounting position of the sensing arm, the mounting alignment aid is effective only during assembly of the sensing arm. Under an approximately contactless engagement of Ausrichtvorsprungs in the Ausrichtausnehmung is understood according to the invention that the Ausrichtvorsprung in mounting position of the sensing arm does not affect the static certainty of the connection of the first part with the second part.

Form, Größe und Anzahl der Ausrichtvorsprünge und zugeordneten Ausrichtausnehmungen sind entsprechend den jeweiligen Anforderungen innerhalb weiter Grenzen wählbar. Shape, size and number of Ausrichtvorsprünge and associated Ausrichtausnehmungen can be selected according to the requirements within wide limits.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass das Montage-Ausrichthilfsmittel derart ausgebildet ist, dass bei der Montage des Tastarmes eine Ausrichtung des Tastarmes bezüglich seiner Längsmittelebene erzielt ist. Auf diese Weise findet bei der Montage des Tastarmes eine Vorzentrierung bezüglich seiner Längsmittelebene statt.An advantageous development of the invention provides that the mounting alignment aid is designed such that during assembly of the scanning arm alignment of the sensing arm is achieved with respect to its longitudinal center plane. In this way, a pre-centering with respect to its longitudinal center plane takes place during assembly of the sensing arm.

Um in Montageposition des Tastarmes mit einfachen Mitteln eine statisch bestimmte Verbindung zwischen dem ersten Teil und dem zweiten Teil herzustellen, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, dass das erste Teil und das zweite Teil in Montageposition des Tastarmes über eine Dreipunktauflage miteinander verbunden sind.In order to produce a statically determined connection between the first part and the second part in the assembly position of the sensing arm with simple means, provides an advantageous development of the invention that the first part and the second part are connected to each other in the mounting position of the sensing arm via a three-point support.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, dass die Dreipunktauflage an in Montageposition des Tastarmes an einander zugewandten Flächen des ersten und des zweiten Teils gebildet ist und an einem der Teile drei Auflagervorsprünge aufweist, die in Montageposition des Tastarmes berührend in im Wesentlichen komplementär geformte Auflagerausnehmungen eingreifen, die an dem anderen Teil gebildet sind.An advantageous development of the aforementioned embodiment provides that the three-point support is formed in the mounting position of the sensing arm on facing surfaces of the first and second part and on one of the parts has three Auflagervorsprünge, in the mounting position of the sensing arm touching substantially complementary shaped Auflagerausnehmungen engage, which are formed on the other part.

Bei den vorgenannten Ausführungsformen kann der oder jeder Auflagervorsprung einstückig mit dem zugeordneten ersten bzw. zweiten Teil ausgebildet sein. Es ist jedoch auch möglich und im Sinne einer Vereinfachung der Herstellung vorteilhaft, wenigstens einen Auflagervorsprung als separates Bauteil auszubilden. In diesem Zusammenhang sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, dass wenigstens ein Auflagervorsprung durch eine Kugel gebildet ist. Entsprechende Kugeln lassen sich mit geringen Kosten und hoher Präzision fertigen und ermöglichen gleichzeitig in der Montageposition des Tastarmes eine hochpräzise Positionierung des Tastarmes relativ zu dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung.In the aforementioned embodiments, the or each support projection may be formed integrally with the associated first and second part, respectively. However, it is also possible and advantageous in terms of a simplification of the production to form at least one support projection as a separate component. In this context, an advantageous development of the invention provides that at least one support projection is formed by a ball. Corresponding balls can be produced with low costs and high precision and at the same time allow in the mounting position of the sensing arm, a high-precision positioning of the sensing arm relative to the movable part of the feed device.

Um eine Ausrichtung des Tastarmes in Bezug zu seiner Längsmittelebene zu erleichtern, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, dass wenigstens ein Ausrichtvorsprung in der Längsmittelebene des ersten bzw. zweiten Teils angeordnet ist.In order to facilitate an alignment of the sensing arm with respect to its longitudinal center plane, an advantageous development of the invention provides that at least one alignment projection is arranged in the longitudinal center plane of the first or second part.

Eine außerordentlich vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass wenigstens zwei in Längsrichtung des Tastarmes zueinander beabstandete Ausrichtvorsprünge vorgesehen sind. Auf diese Weise ist die Vorzentrierung des Tastarmes bezüglich seiner Längsmittelebene weiter verbessert.An extraordinarily advantageous embodiment of the invention provides that at least two aligned in the longitudinal direction of the sensing arm alignment protrusions are provided. In this way, the pre-centering of the sensing arm is further improved with respect to its longitudinal center plane.

Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass wenigstens ein Ausrichtvorsprung weiter über die zugeordnete Fläche des ersten Teils bzw. zweiten Teils vorspringt als die Auflagervorsprünge, derart, dass bei Annäherung des ersten Teiles an das zweite Teil bei der Montage des Tastarmes der Ausrichtvorsprung in Eingriff mit der zugeordneten Ausrichtausnehmung gelangt, bevor die Auflagervorsprünge in Eingriff mit den zugeordneten Auflagerausnehmungen gelangen. Bei dieser Ausführungsform gelangt bzw. gelangen bei der Montage des Tastarmes also zunächst der Ausrichtvorsprung bzw. die Ausrichtvorsprünge in Eingriff und sorgen dafür, dass sich der Tastarm in die richtige Position bewegt. Daran anschließend gelangen die Auflagervorsprünge in Eingriff mit den zugeordneten Auflagerausnehmungen, so dass dann in der gewünschten und erforderlichen Weise das erste Teil und das zweite Teil statisch bestimmt miteinander verbunden sind.Another advantageous development of the invention provides that at least one Ausrichtvorsprung further protrudes beyond the associated surface of the first part or second part as the Auflagervorsge, such that when approaching the first part to the second part during assembly of the sensing arm of Ausrichtvorsprung in Engage with the associated Ausrichtausnehmung passes before the Auflagervorsge engage with the associated Auflagerausnehmungen. In this embodiment, therefore, the alignment projection or the alignment projections first come into engagement during assembly of the sensing arm and ensure that the sensing arm moves into the correct position. Subsequently, the bearing projections come into engagement with the associated Auflagerausnehmungen so that then in the desired and required manner, the first part and the second part are statically determined connected to each other.

Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass wenigstens ein Ausrichtvorsprung als Ausrichtkugel und wenigstens ein Auflagervorsprung als Auflagerkugel ausgebildet ist und dass der Durchmesser der oder jeder Ausrichtkugel größer ist als der Durchmesser der oder jeder Auflagerkugel. Auf diese Weise gelangt bzw. gelangen bei der Montage des Tastarmes zunächst die Ausrichtkugel bzw. die Ausrichtkugeln in Eingriff und erst daran anschließend die Auflagerkugeln.Another advantageous development of the invention provides that at least one Ausrichtvorsprung as Ausrichtkugel and at least one Auflagervorsprung is designed as a support ball and that the diameter of the or each Ausrichtkugel is greater than the diameter of the or each support ball. In this way, the alignment ball or the alignment balls are engaged or engaged during the assembly of the sensing arm, and only then are the bearing balls engaged.

Grundsätzlich können die Auflagervorsprünge an dem dem Tastarm zugeordneten Teil (erstes oder zweites Teil) und die Auflagerausnehmungen an dem anderen Teil (zweites Teil oder erstes Teil) angeordnet sein. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht insoweit vor, dass das erste Teil an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung und das zweite Teil an dem Tastarm angeordnet ist. Auf diese Weise sind die Auflagervorsprünge an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung und die Auflagerausnehmungen an dem Tastarm angeordnet, so dass die Ausrichtvorsprünge nur einmal, nämlich an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung, vorgesehen sein müssen, während an jedem der austauschbaren Tastarme die Ausrichtausnehmungen vorgesehen sind. Auf diese Weise ist die Herstellung des erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes mit den zugeordneten Tastarmen weiter vereinfacht und damit noch kostengünstiger gestaltet.In principle, the bearing projections on the part associated with the sensing arm (first or second part) and the bearing recesses can be arranged on the other part (second part or first part). An advantageous development of the invention provides insofar as the first part is arranged on the movable part of the feed device and the second part on the probe arm. In this way, the bearing projections on the movable part of the feed device and the Auflagerausnehmungen are arranged on the sensing arm, so that the Ausrichtvorsprünge must be provided only once, namely on the movable part of the feed device, while at each of the interchangeable Tastarme the Ausrichtausnehmungen are provided. In this way, the production of the surface measuring device according to the invention with the associated scanning arms is further simplified and thus made even more cost-effective.

Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass in Montageposition der Tastarm per Magnetkraft an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung gehalten ist.Another advantageous embodiment of the invention provides that in the mounting position of the probe arm by magnetic force the movable part of the feed device is held.

Gemäß einer anderen vorteilhaften Weiterbildung ist der Tastarm in Montageposition hängend an dem beweglichen Teil der Vorschubeinrichtung gehalten.According to another advantageous development of the sensing arm is held in the mounting position hanging on the movable part of the feed device.

Grundsätzlich ist das erfindungsgemäße Oberflächenmessgerät für unterschiedliche Messaufgaben in der Oberflächenmesstechnik geeignet. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht insoweit vor, dass das Oberflächenmessgerät als Rauheitsmessgerät ausgebildet ist.In principle, the surface measuring device according to the invention is suitable for different measuring tasks in surface metrology. An advantageous development of the invention provides insofar as the surface measuring device is designed as a roughness measuring device.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert, in der ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes dargestellt ist. Dabei bilden alle beschriebenen, in der Zeichnung dargestellten und in den Patentansprüchen beanspruchten Merkmale für sich genommen sowie in beliebiger geeigneter Kombination miteinander den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen und deren Rückbezügen sowie unabhängig von ihrer Beschreibung bzw. Darstellung in der Zeichnung.The invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawing, in which an embodiment of a surface measuring device according to the invention is shown. All described, illustrated in the drawings and claimed in the claims features taken alone and in any suitable combination with each other the subject of the invention, regardless of their summary in the claims and their back references and regardless of their description or representation in the drawing ,

Es zeigt:

1 eine Perspektivansicht eines erfindungsgemäßen Messplatzes mit einem Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes in Form eines Rauheitsmessgerätes,
2 in einer Perspektivdarstellung und in gegenüber 1 vergrößertem Maßstab ein mit einem beweglichen Teil einer Vorschubeinrichtung des Oberflächenmessgerätes gemäß 1 verbundenes erstes Teil einer Schnittstelle zur Montage eines Tastarmes,
3 in gleicher Darstellung wie 2 einen Tastarm mit einem zweiten Teil der Schnittstelle,
4 in gegenüber 2 vergrößerten Maßstab das erste Teil der Schnittstelle,
5 in gegenüber 3 vergrößertem Maßstab das zweite Teil der Schnittstelle,
6 in einer Perspektivansicht den Tastarm in Montageposition und
7 eine Seitenansicht des Tastarmes in Montageposition.

It shows:

1 3 a perspective view of a measuring station according to the invention with an exemplary embodiment of a surface measuring device according to the invention in the form of a roughness measuring device,
2 in a perspective view and in opposite 1 enlarged scale with a moving part of a feed device of the surface measuring device according to 1 connected first part of an interface for mounting a sensing arm,
3 in the same representation as 2 a sensing arm with a second part of the interface,
4 in opposite 2 enlarged scale the first part of the interface,
5 in opposite 3 enlarged scale the second part of the interface,
6 in a perspective view of the sensing arm in mounting position and
7 a side view of the sensing arm in mounting position.

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die 1 bis 7 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes näher erläutert.The following is with reference to the 1 to 7 An embodiment of a surface measuring device according to the invention explained in more detail.

In 1 ist ein Messplatz mit einem Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes 2 in Form eines Rauheitsmessgeräts dargestellt, das einen Taster 3 mit einem Tastarm 4 aufweist, der einen in 1 nicht erkennbaren Tastkörper zur Antastung einer Oberfläche eines zu vermessenden Werkstücks trägt. Das Oberflächenmessgerät 2 weist eine Vorschubeinrichtung 6 auf, deren feststehender Grundkörper 8 höhen- und neigungsverstellbar an einer Messsäule 10 angeordnet ist, die an einer Grundplatte 12 montiert ist. Der Tastarm 4 ist über eine mechanische Schnittstelle 14 (vgl. 6), die weiter unten anhand der 2 bis 5 näher erläutert wird, mit einem beweglichen Teil 16 der Vorschubeinrichtung 6 verbunden.In 1 is a measuring station with an embodiment of a surface measuring device according to the invention 2 presented in the form of a roughness meter, which has a button 3 with a probe arm 4 having one in 1 unrecognizable probe bears for probing a surface of a workpiece to be measured. The surface measuring device 2 has a feed device 6 on, whose fixed body 8th height and tilt adjustable on a measuring column 10 is arranged on a base plate 12 is mounted. The probe arm 4 is via a mechanical interface 14 (see. 6 ), which are described below on the basis of 2 to 5 is explained in more detail, with a moving part 16 the feed device 6 connected.

Bei Betrieb des Oberflächenmessgerätes 2 bewegt sich das bewegliche Teil 16 der Vorschubeinrichtung 6 relativ zu dem Grundkörper 8, so dass mittels des an den Tastarm 4 angebrachten Tastkörpers ein zu vermessendes Werkstück abgetastet wird. Der grundsätzliche Aufbau eines entsprechenden Oberflächenmessgerätes einschließlich Taster und Vorschubeinrichtung ist allgemein bekannt und wird daher nicht näher erläutert.During operation of the surface measuring device 2 the moving part moves 16 the feed device 6 relative to the main body 8th , so by means of the to the probe arm 4 mounted Tastkörpers a workpiece to be measured is scanned. The basic structure of a corresponding surface measuring device including probe and feed device is well known and will therefore not be explained in detail.

2 zeigt ein erstes Teil 18 der Schnittstelle 14, das bei diesem Ausführungsbeispiel mit dem beweglichen Teil 16 der Vorschubeinrichtung 6 verbunden ist. 2 shows a first part 18 the interface 14 in this embodiment, with the movable part 16 the feed device 6 connected is.

3 zeigt ein zweites Teil 20 der Schnittstelle 14, das bei diesem Ausführungsbeispiel mit dem Tastarm 4 verbunden ist, der an seinem den zweiten Teil 20 abgewandeten Ende einen Tastkörper 22 trägt. 3 shows a second part 20 the interface 14 in this embodiment, with the probe arm 4 connected to his second part 20 remote end a probe body 22 wearing.

In Montageposition des Tastarmes 4 an dem beweglichen Teil 16 der Vorschubeinrichtung 4 (vgl. 6 und 7) sind das erste Teil 18 und das zweite Teil statisch bestimmt miteinander verbunden, wodurch der Tastarm 4 in der vorgesehenen definierten Position an dem beweglichen Teil 16 der Vorschubeinrichtung 6 montiert ist.In mounting position of the sensing arm 4 on the moving part 16 the feed device 4 (see. 6 and 7 ) are the first part 18 and the second part is statically connected to each other, which makes the sensing arm 4 in the intended defined position on the movable part 16 the feed device 6 is mounted.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Tastarm 4 in seiner Montageposition (vgl. 6 und 7) hängend an dem beweglichen Teil 8 der Vorschubeinrichtung 6 gehalten, und zwar bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel mittels Magnetkraft. Hierzu ist an dem ersten Teil 18 ein Magnet 24 angeordnet, während das zweite Teil 20 der Schnittstelle 14 aus einem ferromagnetischen Material besteht.In the illustrated embodiment, the sensing arm 4 in its mounting position (cf. 6 and 7 ) hanging on the moving part 8th the feed device 6 held, in the illustrated embodiment by means of magnetic force. This is on the first part 18 a magnet 24 arranged while the second part 20 the interface 14 made of a ferromagnetic material.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind in Montageposition des Tastarmes 4 das erste Teil 18 und das zweite Teil 20 über eine Dreipunktauflage miteinander verbunden. Hierzu sind an dem ersten Teil 18 (vgl. 2) drei Auflagervorsprünge 26, 28, 30 vorgesehen, die bei diesem Ausführungsbeispiel durch Auflagerkugeln gebildet sind. Die Auflagerkugeln 26, 28 ,30 sind als separate Präzisionskugeln ausgebildet und in eine Fläche 32 des ersten Teiles 18 eingesetzt, die in Montageposition einer Fläche 34 des zweiten Teiles 20 (vgl. 3) zugewandt ist.In the illustrated embodiment are in mounting position of the sensing arm 4 the first part 18 and the second part 20 connected via a three-point support. These are the first part 18 (see. 2 ) three bearing projections 26 . 28 . 30 provided, which are formed in this embodiment by bearing balls. The bearing balls 26 . 28 . 30 are formed as separate precision balls and in a surface 32 of the first part 18 used in the mounting position of a surface 34 of the second part 20 (see. 3 ) is facing.

In der Fläche 34 des zweiten Teiles 20 sind zu den Auflagerkugeln 26, 28, 30 komplementär geformte Auflagerausnehmungen 36, 38, 40 vorgesehen. In Montageposition des Tastarmes 4 greifen die Auflagerkugeln 26, 28, 30 in die zugeordneten Auflagerausnehmungen 36, 38, 40 ein, so dass das erste Teil 18 und das zweite Teil 20 statisch miteinander verbunden sind, wobei das zweite Teil 20 über den Magneten 24 an dem ersten Teil 18 gehalten wird.In the area 34 of the second part 20 are to the bearing balls 26 . 28 . 30 complementary shaped Auflagerausnehmungen 36 . 38 . 40 intended. In mounting position of the sensing arm 4 grab the support balls 26 . 28 . 30 in the associated Auflagerausnehmungen 36 . 38 . 40 one, so the first part 18 and the second part 20 statically connected to each other, the second part 20 over the magnet 24 at the first part 18 is held.

Erfindungsgemäß ist an dem ersten Teil 18 als Montage-Ausrichthilfsmittel wenigstens ein Ausrichtvorsprung vorgesehen, der in Montageposition des Tastarmes 4 kontaktlos oder annähernd kontaktlos in eine an dem zweiten Teil gebildete Ausrichtausnehmung eingreift. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiels ist das Montage-Ausrichthilfsmittel derart ausgebildet, dass bei der Montage des Tastarmes 4 eine Ausrichtung des Tastarmes 4 bezüglich seiner Längsmittelebene erzielt ist. In 7 verläuft die Längsmittelebene des Tastarmes 4 parallel zur Zeichenebene und durch den Durchmesser des Tastarmes 4.According to the invention is on the first part 18 provided as a mounting alignment aid at least one Ausrichtvorsprung, in the mounting position of the sensing arm 4 contactless or approximately contactless engages in an alignment formed on the second part Ausrichtausnehmung. In the illustrated embodiment, the mounting alignment aid is designed such that during assembly of the sensing arm 4 an orientation of the sensing arm 4 is achieved with respect to its longitudinal center plane. In 7 runs the longitudinal center plane of the sensing arm 4 parallel to the drawing plane and through the diameter of the sensing arm 4 ,

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind zwei in Längsrichtung zueinander beabstandete Ausrichtvorsprünge 42, 44 vorgesehen (vgl. 2), die bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel durch Ausrichtkugeln gebildet sind. Die Ausrichtkugeln 42, 44 sind als separate Bauteile ausgebildet und in die Fläche 32 des ersten Teiles 18 eingesetzt.In the illustrated embodiment, two longitudinally spaced alignment projections 42 . 44 provided (cf. 2 ), which are formed by Ausrichtkugeln in the illustrated embodiment. The alignment balls 42 . 44 are designed as separate components and in the area 32 of the first part 18 used.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Durchmesser der Ausrichtkugeln 42, 44 größer als der Durchmesser der Auflagerkugeln 26, 28, 30, so dass die Ausrichtkugeln 42, 44 weiter über die Fläche 42 vorspringen als die Auflagerkugeln 26, 28, 30 (vgl. 2).In the illustrated embodiment, the diameter of the alignment balls 42 . 44 greater than the diameter of the bearing balls 26 . 28 . 30 so that the alignment balls 42 . 44 continue over the area 42 to project as the bearing balls 26 . 28 . 30 (see. 2 ).

Entsprechend der Anordnung der Ausrichtkugeln 42, 44 an den ersten Teil 18 sind an dem zweiten Teil 20 Ausrichtausnehmungen 46, 48 vorgesehen (vgl. 3). Die Ausrichtkugeln 42, 44 sind auf der Längsachse des ersten Teiles 18 angeordnet, während die Ausrichtausnehmungen 46, 48 auf der Längsachse des zweiten Teiles 20 und damit des Tastarmes 4 angeordnet sind. Dementsprechend ist in der Montageposition des Tastarmes 4 dessen Längsachse in der gewünschten Weise zu der Längsachse des ersten Teiles 18 ausgerichtet.According to the arrangement of the alignment balls 42 . 44 to the first part 18 are at the second part 20 aligning recesses 46 . 48 provided (cf. 3 ). The alignment balls 42 . 44 are on the longitudinal axis of the first part 18 arranged while the Ausrichtausnehmungen 46 . 48 on the longitudinal axis of the second part 20 and thus the probe arm 4 are arranged. Accordingly, in the mounting position of the sensing arm 4 its longitudinal axis in the desired manner to the longitudinal axis of the first part 18 aligned.

Bei der Montages des Tastarmes 4 wird das zweite Teil 20 (vgl. 3) mit seiner Fläche 34 an die Fläche 32 des ersten Teiles 18 (vgl. 1) angenähert, wobei sich zunächst die Ausrichtkugeln 42, 44 in die zugeordneten Ausrichtausnehmungen 46, 48 hineinbewegen. Auf diese Weise ist bei der Montage des Tastarmes 4 eine Vorzentrierung hinsichtlich seiner Längsachse bzw. Längsmittelebene erzielt. Bei einer weiteren Annäherung des Teiles 20 an das Teil 18 gelangen die Auflagerkugeln 26, 28, 30 in Eingriff mit den Auflagerausnehmungen 36, 38, 40, wobei das zweite Teil 20 mittels des Magneten 24 an dem ersten Teil 18 gehalten ist. In Montageposition des Tastarmes 4 sind die Ausrichtkugeln 42, 44 kontaktlos in den Ausnehmungen 46, 48 aufgenommen, so dass das erste Teil 18 und das zweite Teil 20 über die Auflagerkugeln 26, 28, 30 und die Auflagerausnehmungen 36, 38, 40 in der gewünschten Weise statisch bestimmt miteinander verbunden sind.At the assembly of the probe arm 4 becomes the second part 20 (see. 3 ) with its surface 34 to the surface 32 of the first part 18 (see. 1 ), wherein first the alignment balls 42 . 44 in the associated Ausrichtausnehmungen 46 . 48 inside move. In this way is during assembly of the sensing arm 4 achieved a pre-centering with respect to its longitudinal axis or longitudinal center plane. At a further approach of the part 20 to the part 18 arrive the bearing balls 26 . 28 . 30 in engagement with the Auflagerausnehmungen 36 . 38 . 40 , where the second part 20 by means of the magnet 24 at the first part 18 is held. In mounting position of the sensing arm 4 are the alignment balls 42 . 44 contactless in the recesses 46 . 48 recorded, so the first part 18 and the second part 20 over the bearing balls 26 . 28 . 30 and the Auflagerausnehmungen 36 . 38 . 40 statically determined in the desired manner are interconnected.

4 und 5 zeigen das erste Teil 18 und das zweite Teil 20 gegenüber 2 und 3 in vergrößertem Maßstab. 4 and 5 show the first part 18 and the second part 20 across from 2 and 3 on an enlarged scale.

6 und 7 zeigen den Tastarm 4 in seiner Montageposition in einer Perspektivansicht bzw. einer Seitenansicht. 6 and 7 show the probe arm 4 in its mounting position in a perspective view and a side view, respectively.

Die Erfindung verhindert zuverlässig Fehlstellungen bei der Montage des Tastarmes 4, so dass hierdurch verursachte Messfehler bzw. Beeinträchtigungen der Messgenauigkeit zuverlässig vermieden sind. Die Erfindung erhöht damit mit sehr einfachen und kostengünstigen Mitteln die Funktionssicherheit von Oberflächenmessgeräten.The invention reliably prevents misalignments during assembly of the sensing arm 4 , so that measurement errors caused thereby or impairments of the measurement accuracy are reliably avoided. The invention thus increases the reliability of surface measuring devices with very simple and inexpensive means.

Claims

Surface measuring device (2) for measuring a surface of a workpiece, having a feeler, which has a feeler arm (4) carrying a feeler body (22) for probing the surface of the workpiece to be measured, with a feed device (6) for moving the feeler body (6). 22) relative to the workpiece to be measured, wherein the sensing arm (4) via a mechanical interface (14) releasably connected to a movable part (16) of the feed device (6) is connected or connected, wherein the interface (14) a first part ( 18) and a second part (20) which in the mounting position of the sensing arm (4) on the movable part of the feed device (16) are statically connected to each other, wherein one of the parts (20, 18) of the sensing arm (4) and the other part (18, 20) of the feed device (6) is associated, characterized in that at least one alignment projection (42, 44) is provided on the first part (18) as a mounting alignment aid, which in Mon days position of the sensing arm (4) contactless or approximately contactless in an alignment formed on the second part Ausrichtausnehmung (46, 48) engages.

Surface measuring device after Claim 1 , characterized in that the mounting alignment aid is designed such that during assembly of the sensing arm (4) alignment of the sensing arm (4) is achieved with respect to its longitudinal center plane.

Surface measuring device after Claim 1 or 2 , characterized in that the first part (18) and the second part (20) in the mounting position of the sensing arm (4) via a three-point support are interconnected.

Surface measuring device after Claim 3 , characterized in that the three-point support is formed on surfaces (32, 34) of the first part (18) and the second part (20) which face one another in the mounting position of the sensing arm (4) and on one of the parts (18) three bearing projections (26 , 28, 30) which, in the mounting position of the sensing arm (4), engage in contact with substantially complementarily shaped bearing recesses (36, 38, 40) formed on the other part (20).

Surface measuring device after Claim 4 , characterized in that at least one Auflagervorsprung (26, 28, 30) is designed as a support ball.

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one alignment projection (42, 44) in the longitudinal center plane of the first part (18) and second part (20) is arranged.

Surface measuring device after Claim 6 , characterized in that at least two in the longitudinal direction of the sensing arm (4) spaced-apart alignment projections (42, 44) are provided.

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one alignment projection (42, 44) projects further beyond the associated surface (32) of the first part (18) or second part than the bearing projections (26, 28, 30), in such a way in that, when the first part (18) approaches the second part (20), the alignment projection or alignment projections (42, 44) engage with the associated alignment recess (46, 48) during assembly of the sensing arm (4). arrive before the Auflagervorsprünge (26, 28, 30) engage with the associated Auflagerausnehmungen (36, 38, 40).

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one Ausrichtvorsprung (42, 44) as Ausrichtkugel and at least one Auflagervorsprung (26, 28, 30) is designed as a support ball and that the diameter of the or each Ausrichtkugel larger than the diameter of or every support ball is.

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the first part (18) with the movable part (16) of the feed device (6) and the second part (20) with the sensing arm (4) is connected.

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that in the mounting position of the scanning arm (4) by magnetic force on the movable part (16) of the feed device (6) is held.

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the sensing arm (4) in the mounting position is suspended from the movable part (16) of the feed device (6).

Surface measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the surface measuring device (2) is designed as a roughness measuring device.