DE202011100939U1 - Einrichtung zur Hochgeschwindigkeits-Lasermaterialbearbeitung - Google Patents

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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • B23K26/0821Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head using multifaceted mirrors, e.g. polygonal mirror

Abstract

Einrichtung zur Hochgeschwindigkeits-Lasermaterialbearbeitung mit einer Steuereinrichtung, einem Laser, einer laserstrahlablenkenden Einrichtung für eine Positionsänderung des Laserstrahls und einer angetriebenen Spiegelvorrichtung mit wenigstens einem Spiegelabschnitt, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung eine verbindungsprogrammierte Steuerung mit einem hoch stabilen und genauen Taktgenerator für den Systemtakt der Steuereinrichtung ist und dass die angetriebene Spiegelvorrichtung eine in ihrer Lage frei bestimmbare Markierung für die Erzeugung eines Lagesignals als Indexpuls in der Steuereinrichtung aufweist, wobei – der geometrischen Länge der Spiegelvorrichtung für eine zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes eine ganzzahlige Zahl von Systemtakten zugeordnet wird, – der Indexpuls gleichzeitig der Trigger für eine Pixelausgabe zur Steuerung des Lasers zur Beaufschlagung des Gegenstandes mit Laserstrahlen ist, wobei die Pixel in ihrer Länge frei wählbar sind, und – die Steuereinrichtung die laserstrahlablenkende Einrichtung und damit den Laserstrahl nach Durchlauf der Spiegelvorrichtung als ganzzahlige Pulszahl des Systemtaktes mit dem darauffolgenden Takt für eine weitere zeilenförmige Bearbeitung des...

Description

  • Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur Hochgeschwindigkeits-Lasermaterialbearbeitung mit einer Steuereinrichtung, einem Laser, einer laserstrahlablenkenden Einrichtung für eine Positionsänderung des Laserstrahls und einer angetriebenen Spiegelvorrichtung mit wenigstens einem Spiegelabschnitt.
  • Bei der linienförmigen Bearbeitung von Gegenständen mit Laserstrahlen mit einer bewegten Spiegelvorrichtung erfolgt eine Verzerrung der beaufschlagten Oberfläche durch die Fokussieroptik oder durch die Bewegung der Spiegelvorrichtung, wobei sich bei Letzterem während der Bewegung der Abstand zwischen Spiegel und Gegenstand ändert.
  • Weiterhin kommt es bei einer konstanten Drehgeschwindigkeit eines Polygonspiegels oder der nichtlinearen Geschwindigkeitsfunktion eines Resonanzspiegels zu unterschiedlichen Geschwindigkeiten des Laserstrahls auf der Oberfläche des Gegenstandes. Daraus resultieren Unterschiede in der Bearbeitung des Gegenstandes.
  • Darüber hinaus sind bei der Bearbeitung von Gegenständen mit Laserstrahlen im μs-/ns-Bereich mit einer Auflösung von wenigen ns minimale Schaltzeiten zu beachten. Signallaufzeiten zwischen den Komponenten der Einrichtung zur Hochgeschwindigkeits-Lasermaterialbearbeitung und deren Reaktionsgeschwindigkeiten spielen mit steigender Schaltgeschwindigkeit eine entscheidende Rolle. Das gilt auch für die Datenverarbeitung in bekannten Datenverarbeitungssystemen, die bei bekannten Einrichtungen zur Lasermaterialbearbeitung zur Steuerung eingesetzt werden.
  • Der in dem Schutzanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Materialien mit einem Laser mit hoher Geschwindigkeit zu bearbeiten.
  • Diese Aufgabe wird mit den im Schutzanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.
  • Die Einrichtungen mit einer Steuereinrichtung, einem Laser, einer laserstrahlablenkenden Einrichtung für eine Positionsänderung des Laserstrahls und einer angetriebenen Spiegelvorrichtung mit wenigstens einem Spiegelabschnitt zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass Materialien mit hoher Geschwindigkeit bearbeitbar sind.
  • Dazu ist die Steuereinrichtung eine verbindungsprogrammierte Steuerung mit einem hoch stabilen und genauen Taktgenerator für den Systemtakt der Steuereinrichtung. Weiterhin weist die angetriebene Spiegelvorrichtung eine in ihrer Lage frei bestimmbare Markierung für die Erzeugung eines Lagesignals als Indexpuls in der Steuereinrichtung auf.
  • Dabei wird der geometrischen Länge der Spiegelvorrichtung für eine zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes eine ganzzahlige Zahl von Systemtakten zugeordnet. Der Indexpuls ist gleichzeitig der Trigger für eine Pixelausgabe zur Steuerung des Lasers zur Beaufschlagung des Gegenstandes mit Laserstrahlen, wobei die Pixel in ihrer Länge frei wählbar sind. Darüber hinaus positioniert die Steuereinrichtung die laserstrahlablenkende Einrichtung und damit den Laserstrahl nach Durchlauf der Spiegelvorrichtung als ganzzahlige Pulszahl des Systemtaktes mit dem darauffolgenden Takt für eine weitere zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes auf eine nächste Zeile.
  • Der kollimierte Laserstrahl wird durch die laserstrahlablenkende Einrichtung für eine Positionsänderung des Laserstrahls, beispielsweise in Form eines bekannten Galvanometer-Scanners abgelenkt und trifft auf die angetriebene Spiegelvorrichtung als Facetten/Spiegelabschnitte eines rotierenden Polygonspiegels oder eines Resonanzspiegels mit einem Segment als Spiegelabschnitt. Der Laserstrahl kann weiterhin durch eine Fokussierungsoptik auf die Bearbeitungsstelle fokussiert werden.
  • Der Laser ist elektrisch schnell schaltbar (cw – continuous wave oder Einzelpulsanwahl) und/oder verfügt über einen schnellen optischen Schalter. Die Laserleistung oder Pulsenergie ist direkt durch die Laserleistungssteuerung oder indirekt über einen optische Schalter schnell änderbar. Gepulste Laser ohne Einzelpulsanwahl liefern ein Synchronisierungssignal.
  • Bei der Lasermaterialbearbeitung ist eine Verzerrung des Scanfeldes durch den sich ändernden Abstand zwischen dem Spiegelabschnitt während dessen Bewegung und/oder durch die Bearbeitungsoptik vorhanden. Weiterhin ist die Genauigkeit der Geschwindigkeit der angetriebenen Spiegelvorrichtung begrenzt, so dass es durch die konstante Drehgeschwindigkeit oder die nichtlineare Geschwindigkeitsfunktion des Resonanzspiegels zu unterschiedlichen Geschwindigkeiten des Laserstrahls auf dem Material in Bearbeitungsrichtung und damit zu Unterschieden in der Bearbeitung kommt. Darüber hinaus stellen auch Signallaufzeiten zwischen den einzelnen Komponenten und deren Reaktionsgeschwindigkeiten mit steigender Schaltgeschwindigkeit (MHz-Bereich) ein entscheidendes Problem dar.
  • Vorteilhafterweise wird mittels der Steuereinrichtung auf die direkte Abhängigkeit zwischen Positionssignal und Pixeltakt verzichtet. Entscheidend ist der Systemtakt der Steuereinrichtung.
  • Grundlage der Steuerung ist, dass der geometrischen Länge der Spiegelvorrichtung für eine zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes eine ganzzahlige Zahl von Systemtakten zugeordnet wird. Dazu weist die angetriebene Spiegelvorrichtung die in ihrer Lage frei bestimmbare Markierung für die Erzeugung eines Lagesignals als Indexpuls in der Steuereinrichtung auf.
  • Damit ist eine Hochgeschwindigkeits-Materialbearbeitung mit einer Bearbeitungsgeschwindigkeit über 10 m/s mit Strukturauflösungen im μm Bereich möglich.
  • Die Steuereinrichtung ist dabei in eine konfigurierbare Logik, zum Beispiel FPGA (Field Programmable Gate Array), oder in einen ASIC (Application Specific Integrated Circuit – anwendungsspezifische integrierte Schaltung) implementierbar, so dass alle Berechnungen parallel und innerhalb weniger ns ausführbar sind.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Schutzansprüchen 2 bis 7 angegeben.
  • Die angetriebene Spiegelvorrichtung ist nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 2 ein Polygonspiegel mit Segmenten als Spiegelabschnitte oder ein Resonanzspiegel mit einem Segment als Spiegelabschnitt jeweils für eine Zeile der Beaufschlagung mit Laserstrahlen. Weiterhin sind der Abstand zwischen der Markierung und dem Spiegelabschnitt und die Längen sowohl der Spiegelvorrichtung als auch des Spiegelabschnitts jeweils eine ganzzahlige Anzahl von Systemtakten sind.
  • Nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 3 ist der Laser
    • – entweder ein kontinuierlich strahlender Laser mit einem externen Schalter zur zeitlich freien Pulswahl ist, wobei der Laser entsprechend einem Pixel oder mehreren Pixeln geschalten und/oder in seiner Leistung jeweils über die Länge des Spiegelabschnitts gesteuert wird,
    • – oder ein gepulster Laser mit Einzelpulsen ist, wobei ein Pixel durch den Lasertakt bestimmt ist.
  • Die Steuereinrichtung weist nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 4 einen Segmenttreiber für die Pixelausgabe auf, der sich n – 1 mal beim nächsten Spiegelsegment neu startet, wobei n die Anzahl der Spiegelsegmente pro Umdrehung des Polygonspiegels oder die Schwingungsperiode des Resonanzspiegels ist.
  • Die Steuereinrichtung weist nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 5 einen durch den Segmenttreiber gestarteten Pixeltakt-Generator auf, der den Takt mit dem die Pixel ausgegeben werden generiert und deren Anzahl zählt, wobei dieser nach jeder Zeile stoppt und durch ein Signal des Segmenttreibers gestartet wird.
  • Die Steuereinrichtung und die Steuerung des Lasers sind nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 6 zur Konstanthaltung der Länge der Pixel trotz optischer Verzerrung innerhalb einer Zeile so miteinander verbunden,
    • – dass die Zeitbasis für die Taktgenerierung bei cw-Lasern und bei gepulsten Lasern mit freier Pulswahl entweder der Systemtakt der Steuereinrichtung oder ein auf dem Systemtakt basierender Sweep eines Sweep-Generators als Bestandteil der Steuereinrichtung ist oder
    • – dass die Zeitbasis für die Taktgenerierung bei gepulsten Lasern mit fester Frequenz wenigstens die einfache Pulsfrequenz des Lasers ist oder
    • – dass die Zeitbasis für die Taktgenerierung bei cw-Lasern und bei gepulsten Lasern mit freier Pulswahl über eine Lookup-Tabelle oder eine mathematische Funktion angepasst wird.
  • Dem Taktgenerator ist nach der Weiterbildung des Schutzanspruchs 7 eine den Systemtakt erhöhende PLL-Schaltung (PLL – Phase-locked loop) als ein Bestandteil der Steuereinrichtung nach-geschaltet, wobei die Pixelausgabe in Verbindung mit einem gepulsten Laser und der wie ein PID-Regler gedämpft wirkenden Spiegelvorrichtung entsprechend der frei wählbaren Länge der Pixel erfolgt.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im Folgenden näher beschrieben.
  • Eine Einrichtung zur Hochgeschwindigkeits-Lasermaterialbearbeitung besteht im Wesentlichen aus einer Steuereinrichtung, einem Laser, einer laserstrahlablenkenden Einrichtung für eine Positionsänderung des Laserstrahls und einer angetriebenen Spiegelvorrichtung mit wenigstens einem Spiegelabschnitt.
  • Der Laser ist
    • – entweder ein kontinuierlich strahlender Laser mit einem externen Schalter zur zeitlich freien Pulswahl ist, wobei der Laser entsprechend einem Pixel oder mehreren Pixeln geschalten und/oder in seiner Leistung jeweils über die Länge des Spiegelabschnitts gesteuert wird,
    • – oder ein gepulster Laser mit Einzelpulsen, wobei ein Pixel durch den Lasertakt bestimmt ist.
  • Ein Pixel ist dabei der kleinste benötigte Abtastwert, dessen Breite der Abstand des X-Rasters und dessen Höhe der Abstand des Y-Rasters ist. Der Pixeltakt ist dabei die Frequenz mit der die einzelnen Pixel ausgegeben werden.
  • Die angetriebene Spiegelvorrichtung ist ein Polygonspiegel mit Segmenten als Spiegelabschnitte oder ein Resonanzspiegel mit einem Segment als Spiegelabschnitt, um jeweils eine Zeile mit Laserstrahlen zu beaufschlagen. Die angetriebene Spiegelvorrichtung weist eine in ihrer Lage frei bestimmbare Markierung für die Erzeugung eines Lagesignals als Indexpuls in der Steuereinrichtung auf. Der Abstand zwischen der Markierung und dem Spiegelabschnitt und die Längen sowohl der Spiegelvorrichtung als auch des Spiegelabschnitts wird in der Steuereinrichtung jeweils eine ganzzahlige Anzahl von Systemtakten zugeordnet.
  • Die laserstrahlablenkende Einrichtung dient der Positionsänderung des Laserstrahls und ist beispielsweise ein bekannter Galvanometer-Scanner. Die Positionsänderung führt dabei zu einer Verschiebung der Zeile der Beaufschlagung des Materials mit Laserstrahlen.
  • Die Steuereinrichtung ist eine verbindungsprogrammierte Steuerung mit einem hoch stabilem und genauen Taktgenerator beispielsweise in Form eines Quarzoszillators für den Systemtakt der Steuereinrichtung. Dabei wird in der Steuereinrichtung der geometrischen Länge der Spiegelvorrichtung für eine zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes eine ganzzahlige Zahl von Systemtakten zugeordnet. Der Indexpuls ist dabei gleichzeitig der Trigger für eine Pixelausgabe zur Steuerung des Lasers zur Beaufschlagung des Gegenstandes mit Laserstrahlen, wobei die Pixel in ihrer Länge frei wählbar sind. Darüber hinaus steuert die Steuereinrichtung die laserstrahlablenkende Einrichtung nach Durchlauf der Spiegelvorrichtung als ganzzahlige Pulszahl des Systemtaktes mit dem darauffolgenden Takt für eine weitere zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes an.
  • Der Systemtakt wird mittels dem Taktgenerator und einer nachgeschalteten PLL-Schaltung gewonnen. Dabei ist eine Frequenz >> 100 MHz als Systemtakt in der Steuereinrichtung erzeugbar. Darüber hinaus wird ein optionaler Takt aus dem Synchronisierungssignal des gepulsten Lasers gewonnen. Aus den Systemtakt und dem optionalen Takt ist ein Sweep erzeugbar, der die Geschwindigkeitsänderung des Laserstrahles innerhalb einer Zeile kompensiert.
  • Grundlage der Steuerung ist, dass der geometrischen Länge der Spiegelvorrichtung für eine zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes eine ganzzahlige Zahl von Systemtakten zugeordnet wird. Dazu weist die angetriebene Spiegelvorrichtung die in ihrer Lage frei bestimmbare Markierung für die Erzeugung eines Lagesignals als Indexpuls in der Steuereinrichtung auf.
  • Die Steuereinrichtung besitzt einen Segmenttreiber für die Pixelausgabe, der sich n – 1 mal beim nächsten Spiegelsegment neu startet, wobei n die Anzahl der Spiegelsegmente pro Umdrehung des Polygonspiegels oder die Schwingungsperiode des Resonanzspiegels ist. Weiterhin ist ein durch den Segmenttreiber gestarteter Pixeltakt-Generator vorhanden, der den Takt mit dem die Pixel ausgegeben werden generiert und deren Anzahl zählt, wobei dieser nach jeder Zeile stoppt und durch ein Signal des Segmenttreibers gestartet wird.
  • Bei einem Polygonspiegel wird mit einem Regler die Drehzahl des Polygonspiegels auf den gewünschten Wert eingestellt und gehalten. Das kann beispielsweise über einen bekannten PID-Regler erfolgen. Durch Multiplikation und Addition mit Systemkonstanten wird eine Wartezeit bis zum nächsten Start der Pixel-Ausgabe errechnet. Durch Multiplikation mit Systemkonstanten wird die grundlegende Dauer eines Pixels berechnet. Ein Pixel ist dabei der kleinste benötigte Abtastwert, dessen Breite der Abstand des X-Rasters und dessen Höhe der Abstand des Y-Rasters ist. Der Pixeltakt ist dabei die Frequenz mit der die einzelnen Pixel ausgegeben werden. Zur Steigerung der Genauigkeit kann die Dauer eines Pixels gebrochene Werte annehmen, welche durch eine Logik in eine Sequenz von ganzen Zahlen umgewandelt wird, wobei die Dauer der gesamten Zeile oder Teile dieser immer mit einer Genauigkeit von kleiner ±1 Systemtakt ausgegeben wird.
  • Wird kein Sweep benutzt, kann die Dauer der Pixel über eine Lockup-Tabelle oder Berechnung in Abhängigkeit der Lage in der Zeile durch eine Multiplikation als mathematische Funktion zusätzlich skaliert werden, um die unterschiedlichen Geschwindigkeiten des Laserstrahls innerhalb der Zeile der optischen Verzerrung auszugleichen. Basierend auf dem Systemtakt oder dem auf dem Systemtakt basierenden Sweep werden die Pixel aus einem Bitmap-RAM ausgelesen und über eine Schiebelogik ausgegeben, um den Strahl auf der Probe zu schalten.
  • Durch Multiplikation und Addition mit Systemkonstanten wird die Wartezeit zwischen den einzelnen Spiegelsegmenten berechnet.
  • Bei einem Resonanzspiegel wird durch Multiplikation und Addition mit Systemkonstanten eine Wartezeit bis zum nächsten Start der Resonanzspiegel-Bewegung errechnet (Start-Timer). Durch Multiplikation mit Systemkonstanten werden die Startzeitpunkte für die Bewegung des Resonanzspiegels für den Zeilensprung errechnet. Über eine Lockup-Tabelle oder Berechnung wird die Korrekturbewegung innerhalb der Zeile in Abhängigkeit der Position in der Zeile ermittelt, welche die Verzerrung kompensiert. Der Resonanzspiegel wird mittels einer ein Signal generierenden Logik positioniert. Analog zur Bewegung des Polygonspiegels wird ein Signal zur Steuerung der Laserleistung (oder Pulsleistung) generiert um die Streckenenergie innerhalb einer Zeile konstant zu halten, die Leistung kann der Einfachheit halber analog zum Pixeltakt über den Sweep gesteuert werden.
  • Mit der Steuereinrichtung wird damit
    • – einer der Periodendauer entsprechenden Anzahl von Systemtakten nBasis pro Umdrehung/Schwingung der angetriebenen Spiegelvorrichtung ein- oder mehrmalig bestimmt,
    • – die Dauer für die Start-Timer mit tTimer = kStart·nBasis – kVerzögerung ermittelt, wobei der Wert kVerzögerung eine konstante Zeit und die Verzögerungen im System darstellende Zeit ist sowie der Wert kStart eine Prozesskonstante ist, welche die zeitliche Ausrichtung zur Stellung der Spiegelvorrichtung beschreibt.
  • Bei der Berechnung für die Timer der Position in der Zeile wird kStart durch kPeriode ersetzt, welche die Zeit zwischen den Spiegelabschnitten repräsentiert, wobei die Verzögerung nicht abgezogen wird.
  • Die Länge des Pixels kann auch einen gebrochenen Teil des Systemtaktes annehmen. Dieser Wert wird durch eine Festkommazahl repräsentiert. Der Wert wird beim Start der Zeile in einen Zähler geladen. Der Zähler zählt den ganzzahligen Anteil und generiert dann ein Signal zur Pixelausgabe (Pixeltakt). Der Wert der Pixellänge wird dann mit dem gebrochenen Rest im Zähler addiert und in den Zähler geladen. Der Zählvorgang wird von neuem gestartet. Das wird bis zum Ende der Zeile wiederholt. Beispielsweise ist der Inhalt des Zählers bei einer Länge des Pixels von 7,25; 7,25; 7,50; 7,75; 8,00; 7,25; 7,50; ... das zu einem Pixeltakt der Folge: 7; 7; 7; 7; 8; 7; 7; ... führt, im Schnitt also 7,25. Der absolute Lagefehler innerhalb einer Zeile ist so immer auf maximal eine Länge entsprechend eines Systemtaktes begrenzt.

Claims (7)

  1. Einrichtung zur Hochgeschwindigkeits-Lasermaterialbearbeitung mit einer Steuereinrichtung, einem Laser, einer laserstrahlablenkenden Einrichtung für eine Positionsänderung des Laserstrahls und einer angetriebenen Spiegelvorrichtung mit wenigstens einem Spiegelabschnitt, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung eine verbindungsprogrammierte Steuerung mit einem hoch stabilen und genauen Taktgenerator für den Systemtakt der Steuereinrichtung ist und dass die angetriebene Spiegelvorrichtung eine in ihrer Lage frei bestimmbare Markierung für die Erzeugung eines Lagesignals als Indexpuls in der Steuereinrichtung aufweist, wobei – der geometrischen Länge der Spiegelvorrichtung für eine zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes eine ganzzahlige Zahl von Systemtakten zugeordnet wird, – der Indexpuls gleichzeitig der Trigger für eine Pixelausgabe zur Steuerung des Lasers zur Beaufschlagung des Gegenstandes mit Laserstrahlen ist, wobei die Pixel in ihrer Länge frei wählbar sind, und – die Steuereinrichtung die laserstrahlablenkende Einrichtung und damit den Laserstrahl nach Durchlauf der Spiegelvorrichtung als ganzzahlige Pulszahl des Systemtaktes mit dem darauffolgenden Takt für eine weitere zeilenförmige Bearbeitung des Gegenstandes auf eine nächste Zeile positioniert.
  2. Einrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die angetriebene Spiegelvorrichtung ein Polygonspiegel mit Segmenten als Spiegelabschnitte oder ein Resonanzspiegel mit einem Segment als Spiegelabschnitt jeweils für eine Zeile der Beaufschlagung mit Laserstrahlen ist und dass der Abstand zwischen der Markierung und dem Spiegelabschnitt und die Längen sowohl der Spiegelvorrichtung als auch des Spiegelabschnitts jeweils eine ganzzahlige Anzahl von Systemtakten sind.
  3. Einrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser entweder ein kontinuierlich strahlender Laser mit einem externen Schalter zur zeitlich freien Pulswahl ist, wobei der Laser entsprechend einem Pixel oder mehreren Pixeln geschalten und/oder in seiner Leistung jeweils über die Länge des Spiegelabschnitts gesteuert wird, oder dass der Laser ein gepulster Laser mit Einzelpulsen ist, wobei ein Pixel durch den Lasertakt bestimmt ist.
  4. Einrichtung nach Schutzanspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung einen Segmenttreiber für die Pixelausgabe aufweist, der sich n – 1 mal beim nächsten Spiegelsegment neu startet, wobei n die Anzahl der Spiegelsegmente pro Umdrehung des Polygonspiegels oder die Schwingungsperiode des Resonanzspiegels ist.
  5. Einrichtung nach Schutzanspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung einen durch den Segmenttreiber gestarteten Pixeltakt-Generator aufweist, der den Takt mit dem die Pixel ausgegeben werden generiert und deren Anzahl zählt, wobei dieser nach jeder Zeile stoppt und durch ein Signal des Segmenttreibers gestartet wird.
  6. Einrichtung nach Schutzanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung und die Steuerung des Lasers zur Konstanthaltung der Länge der Pixel trotz optischer Verzerrung innerhalb einer Zeile so miteinander verbunden sind, – dass die Zeitbasis für die Taktgenerierung bei cw-Lasern und bei gepulsten Lasern mit freier Pulswahl entweder der Systemtakt der Steuereinrichtung oder ein auf dem Systemtakt basierender Sweep eines Sweep-Generators als Bestandteil der Steuereinrichtung ist oder – dass die Zeitbasis für die Taktgenerierung bei gepulsten Lasern mit fester Frequenz wenigstens die einfache Pulsfrequenz des Lasers ist oder – dass die Zeitbasis für die Taktgenerierung bei cw-Lasern und bei gepulsten Lasern mit freier Pulswahl über eine Lookup-Tabelle oder eine mathematische Funktion angepasst wird.
  7. Einrichtung nach Schutzanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem Taktgenerator eine den Systemtakt erhöhende PLL-Schaltung als ein Bestandteil der Steuereinrichtung nachgeschaltet ist, wobei die Pixelausgabe in Verbindung mit einem gepulsten Laser und der wie ein PID-Regler gedämpft wirkenden Spiegelvorrichtung entsprechend der frei wählbaren Länge der Pixel erfolgt.
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