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Die
Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung gemäß dem Obergriff
des Anspruchs 1.
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Bei
der Untersuchung von Objekten, welche polykristallines Material
aufweisen, insbesondere aus solchem bestehen, mit Licht haben sich
unterschiedliche Reflexionsverhalten und Absorptionsverhalten verschiedener
Körner
des polykristallinen Materials als problematisch erwiesen. Unter
Licht ist dabei elektromagnetische Strahlung von grundsätzlich beliebiger
Frequenz zu verstehen. Insbesondere kann es sich um elektromagnetische
Strahlung mit einer Frequenz aus einem Frequenzbereich handeln, der
sich vom nahen Ultraviolett- bis zum fernen Infrarotbereich erstreckt.
Das Licht kann aus elektromagnetischer Strahlung verschiedener Frequenzen
zusammengesetzt oder monochromatisch ausgeführt sein.
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Das
unterschiedliche Reflexionsverhalten verschiedener Körner beruht
großteils
darauf, dass die verschiedenen Körner
unterschiedlich orientiert sind. Infolgedessen erscheinen beispielsweise
bei Betrachtung polykristallinen Materials mit bloßem Auge
unter gewöhnlichen
Umgebungsbedingungen je nach Blickwinkel einzelne Körner heller,
andere hingegen dunkler. Bei der Untersuchung bzw. Inspektion von
Objekten, welche polykristallines Material aufweisen, hat dies zur
Folge, dass von der Kornstruktur herrührende Signale die zu detektierenden Signale überlagern.
Beispielsweise erschwert dies die automatische oder teilautomatisierte
Erkennung von Brüchen
oder anderen Materialdefekten in solchen Objekten. Hierunter sind
auch Verschmutzungen, Ablagerungen oder ähnliches zu verstehen, deren
Erkennung ebenfalls durch das unterschiedliche Re flexionsverhalten
einzelner Körner
der Kornstruktur erschwert wird.
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Zudem
kann durch das unterschiedliche Reflexionsverhalten die Untersuchung
nicht-polykristalliner Materialien erschwert sein, sofern diese
auf einem polykristallinen Material angeordnet sind. Beispielsweise
kann die optische Dickenbestimmung von an sich homogenen und nicht
polykristallinen Schichten behindert werden, wenn sich diese auf
beispielsweise einem polykristallinen Substrat befinden, da Reflexionen
an dem polykristallinen Material und somit das unterschiedliche
Reflexionsverhalten verschiedener Körner Einfluss nehmen.
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Vor
diesem Hintergrund liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe
zugrunde, eine kompakte Beleuchtungsvorrichtung zur Verfügung zu
stellen, die es ermöglicht,
ein Objekt, welches polykristallines Material aufweist, bei verringerter
Beeinträchtigung der
Untersuchung durch unterschiedliche Reflexionsverhaltensweisen einzelner
Körner
des polykristallinen Materials zu untersuchen.
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Diese
Aufgabe wird gelöst
durch eine Beleuchtungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs
1.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen sind Gegenstand abhängiger Unteransprüche.
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Es
hat sich gezeigt, dass bei Beleuchtung einer zu untersuchenden Oberfläche eines
Objekts, welches polykristallines Material aufweist, mit weitgehend
isotropem Licht die Kornstruktur des polykristallinen Materials
weitgehend ausgeblendet werden kann, d. h. die unterschiedlichen
Reflexions- und Absorptionsverhalten unterschiedlicher Körner treten nicht
mehr oder zumindest deutlich verringert in Erscheinung. Die Unter suchung
bzw. Inspektion des Objekts wird somit durch die Kornstruktur zumindest weniger
stark beeinträchtigt.
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Wird
die zu untersuchende Oberfläche
des Objekts nicht nur mit weitgehend isotropem, sondern zugleich
weitgehend homogenem Licht beleuchtet, so erscheinen die Oberflächen bei
einer idealerweise vollständigen
Ausblendung der Kornstruktur – anderweitige
Beeinträchtigungen
wie beispielsweise Materialdefekte vernachlässigend – in einer in der Bildverarbeitung
an sich bekannten Grauwertdarstellung gleichmäßig grau. Andere Eigenschaften
des Objekts können
vor diesem gleichmäßigen Hintergrund leichter
erkannt werden, da keine Intensitätsschwankungen aufgrund von
Inhomogenitäten
in der Beleuchtung vorliegen.
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In
welchem Umfang die Kornstruktur wie beschrieben durch den Einsatz
weitgehend isotropen Lichts ausgeblendet wird, hängt davon ab, in welchem Umfang
isotropes Licht verwendet wird. Mit fortschreitender Abnahme der
Isotropie wird die Kornstruktur weniger stark ausgeblendet, bis
schließlich
bei komplett anisotroper Beleuchtung die Kornstruktur besonders
deutlich hervortritt. Beispielsweise zeigen einige Körner eine
vollständige
Absorption, andere hingegen eine Totalreflexion.
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Der
durch die Verwendung homogenen Lichts bewirkte Vorteil hängt in ähnlicher
Weise vom Grad der Homogenität
ab. Bei vollständig
homogener Beleuchtung kann eine Beeinträchtigung der Untersuchung durch
lokal unterschiedliche Beleuchtungsintensitäten vollständig eliminiert, bei zunehmend
inhomogener Beleuchtung hingegen weniger stark verringert werden.
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Die
erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
weist einen Hohlkörper
auf, welcher auf seiner Innenseite mit einer lichtreflektierenden
Schicht versehen ist. Der Hohlkörper
weist seinerseits zwei Kugelkappen auf, welche über eine Röhre mitein ander verbunden sind.
Mit einer solchen Beleuchtungsvorrichtung kann eine zu beleuchtende
Oberfläche
mit weitgehend isotropem Licht beleuchtet werden. Das isotrope Licht
kommt dabei dadurch zustande, dass von einer oder mehreren Lichtquellen
ausgehende Lichtstrahlen an der reflektierenden Schicht mehrfach
reflektiert werden, ehe sie auf die zu beleuchtende Oberfläche treffen.
Der Anteil des isotropen Lichts ist dabei umso größer, je
kugelförmiger
der Hohlkörper
ausgestaltet und je größer er ausgeführt wird.
Im Idealfall wäre
der Hohlkörper
demzufolge eine Ulbrichkugel mit möglichst großem Durchmesser.
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Es
hat sich gezeigt, dass in der Praxis eine hinreichende Ausblendung
der Kornstruktur auch bereits bei nicht vollständig isotropem Licht realisierbar ist.
Diese Erkenntnis nutzt die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung,
indem statt eines kugelförmigen
Hohlkörpers
größtmöglichen
Durchmessers ein Hohlkörper
vorgesehen ist, welcher zwei Kugelkappen aufweist, die über eine
Röhre miteinander
verbunden sind. Es hat sich gezeigt, dass auf diese Weise die zu
beleuchtende Oberfläche
mit hinreichend isotropem Licht beleuchtet werden kann.
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Dementsprechend
sind die geometrischen Formen Kugelkappen und Röhre weit auszulegen. Abweichungen
von der idealen Kugelkappen- oder Röhrenform, beispielsweise auf
Grund von Öffnungen,
Ein- oder Ausformungen, bringen zwar eine weitere Verringerung der
Isotropie des Lichts mit sich, doch kann der verbleibende Anteil
isotropen Lichts für
den jeweiligen Anwendungsfall ausreichend sein, um die Kornstruktur
hinreichend auszublenden. Entsprechend weit ist der Begriff Röhre zu verstehen. Hierbei
kann es sich einerseits um einen idealen Hohlzylinder handeln, andererseits
aber auch beispielsweise um einen Hohlkonus dessen Mantelfläche Nichtidealitäten wie
Dellen oder andere Ein- oder Ausformungen
aufweist. Grundsätzlich
kann als Röhre
gar ein länglicher
Hohlkörper
Verwendung finden, der eine beliebi ge, in Richtung seiner Öffnungen
gestreckte Geometrie aufweist. Inwieweit eine derart unregelmäßig gestaltete
Röhre hinreichend
isotropes Licht zur Verfügung
zu stellen vermag, ist anhand der Anforderungen des jeweiligen Anwendungsfalles
zu prüfen. Ähnlich weit
ist der Begriff Kugelkappen zu verstehen. Beispielsweise kann eine
solche eine Öffnung
am Pol aufweisen, sodass es sich im streng geometrischen Sinne nicht
mehr um eine Kugelkappe, sondern um einen Kugelzone handelt. Im
Sinne der vorliegenden Erfindung stellt diese Kugelzone jedoch eine
Kugelkappe dar, nämlich
eine solche mit einer Öffnung
am Pol der Kugelkappe.
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Im
Gegensatz zu einer Ulbrichtkugel möglichst großen Durchmessers kann die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
flächensparend
und somit kompakt ausgeführt
werden. Durch das Vorsehen der Röhre
zwischen den zwei Kugelkappen kann eingestrahltes Licht öfter reflektiert
werden, ehe es auf eine zu beleuchtende Oberfläche trifft, als wenn eine Ulbrichtkugel
verwendet würde,
deren Durchmesser etwa der kleinsten räumlichen Ausdehnung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung entspricht.
Eine solche Ulbrichtkugel besäße in keiner
Raumrichtung eine größere Ausdehnung
als die kleinste räumliche
Ausdehnung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung.
In Folge der beschriebenen vermehrten Zahl an Reflexionen kann mit
der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
Licht mit höherem
Isotropiegrad zur Verfügung
gestellt werden als mit einer Ulbrichtkugel, welche eine vergleichbare
Fläche
einnimmt.
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Trotz
der beschriebenen Möglichkeit
der Flächeneinsparung
ermöglicht
die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
es, ausreichend Platz für eine
komfortable Bedienung bzw. die komfortable Durchführung von
Wartungsarbeiten sowie Raum für die
Anbringung weiterer Einrichtungen im Innern des Hohlkörpers zur Verfügung zu
stellen. Dies ergibt sich aus der Streckung des Hohlkörpers in
Längsrichtung
der Röhre,
welche aus der Tatsache folgt, dass zwischen die Kugelkappen die
Röhre eingefügt ist. Die
Ausdehnung der Röhre
in ihrer Längserstreckungsrichtung
kann in der Praxis so groß gewählt werden,
dass die im einzelnen Anwendungsfall erforderlichen Wartungs- oder
Bedienungstätigkeiten komfortabel
ausgeführt
werden können
und genügend
Platz für
benötigte
Einrichtungen, insbesondere Messeinrichtungen, zur Verfügung steht.
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Mit
anderen Worten ermöglicht
die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
es, hinreichend isotropes Licht zur Verfügung zu stellen bei verringertem
Flächenbedarf
in einer Ebene, welche sich in etwa senkrecht zur längsten Ausdehnungsrichtung
des Beleuchtungskörpers
erstreckt. Die Beleuchtungsvorrichtung gemäß der Erfindung kann also in
einer Ebene flächensparend
ausgeführt
werden, sofern in einer etwa senkrecht zu dieser Ebene verlaufenden
Richtung genügend
Platz zur Verfügung
steht. Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
ist daher flächensparend
in Fertigungslinien integrierbar.
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Es
hat sich gezeigt, dass die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
bei der Untersuchung von Solarzellensubstraten vorteilhaft eingesetzt
werden kann. Insbesondere bei polykristallinen Siliziumsolarzellensubstraten
kann die Kornstruktur effizient ausgeblendet werden, sodass die
Solarzellensubstrate ohne oder mit allenfalls geringer Beeinträchtigung
durch die Kornstruktur untersucht werden können.
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Wie
sich herausgestellt hat, können
Materialdefekte mit Hilfe der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
vorteilhaft detektiert werden, da aufgrund der zumindest teilweise
ausgeblendeten Kornstruktur die Materialdefekte besser erkennbar sind.
Unter Materialdefekten sind beispielsweise Brüche, ins besondere Muschelausbrüche, Absplitterungen
aber auch Verschmutzungen oder Ablagerungen zu verstehen.
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Weiterhin
kann die Beleuchtungsvorrichtung gemäß der Erfindung vorteilhaft
Verwendung finden, um Materialien oder Materialsysteme zu untersuchen,
welche mit polykristallinem Material verbunden sind, insbesondere
auf ein solches aufgebracht sind. Beispielsweise können dielektrische
Schichten, welche auf ein polykristallines Material aufgebracht
wurden, untersucht werden. Insbesondere kann die Dicke der aufgebrachten
Schichten zuverlässiger
bestimmt werden, da störende
Einflüsse
der Kornstruktur zumindest großteils
bei der Beleuchtung mit weitgehend isotropem Licht eliminiert werden
können.
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltungsvariante werden daher
Antireflexionsbeschichtungen untersucht, vorzugsweise deren Dicke
bestimmt, die auf einem Objekt angeordnet sind, welches polykristallines
Material aufweist. Beispielsweise sind die Antireflexionsbeschichtungen
auf einem polykristallinen Siliziumsubstrat angeordnet. Offensichtlich
können
dabei nicht nur einzelne Beschichtungen, sondern auch ganze Beschichtungssysteme
untersucht werden, beispielsweise Antireflexionsbeschichtungssysteme mit
mehreren Schichten aus verschiedenen Materialien wie Titanoxid und
Magnesiumdifluorid. Einschichtsysteme aus Siliziumnitrit oder Silizumdioxid sind
offensichtlich ebenfalls vorteilhaft untersuchbar.
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Mit
Hilfe der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
kann eine Antireflexionsbeschichtung oder ein Antireflexionsbeschichtungssystem vorteilhaft
untersucht werden, indem von der zu untersuchenden Oberfläche reflektiertes
Licht unterschiedlicher Wellenlängen
detektiert und ausgewertet wird. Auf diese Weise können die
Reflexionseigenschaften der zu untersuchenden Oberfläche bei verschiedenen
Wellenlängen
ermittelt werden, was insbesondere für die Bestimmung der Dicke
einzelner Schichten von Beschichtungssystemen von Vorteil sein kann.
Bevorzugt wird hierzu das zu untersuchende Objekt zeitlich versetzt
mit Licht verschiedener Wellenlängen
beleuchtet und die Intensität
des reflektierten Lichts mittels eines Detektors bestimmt, beispielsweise
mittels einer monochromatischen Kamera. Auf diese Weise kann ein
aufwandsgünstiger monochromatischer
Detektor Verwendung finden. Offensichtlich ist jedoch ebenso eine
gleichzeitige Beleuchtung mit Licht unterschiedlicher Frequenz in Verbindung
mit dem Einsatz eines Detektors mit entsprechender spektraler Auflösung möglich.
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Es
hat sich gezeigt, dass die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
nicht nur bei Beschichtungen, sondern ebenso bei anderen Oberflächenbehandlungen
vorteilhaft einsetzbar ist. Beispielsweise kann eine Oberflächentexturierung,
wie sie z. B. bei Solarzellensubstraten zur Erhöhung der Lichteinkopplung in
das Solarzellensubstrat Verwendung findet, komfortabel untersucht
werden. Insbesondere können
die Güte
und die Homogenität
der Oberflächentexturierung,
welche häufig
durch nasschemisches Ätzen
aufgebracht wird, inspiziert werden.
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Wie
bereits oben dargelegt wurde, ermöglicht die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung die
Ausblendung einer Kornstruktur, wobei diese umso effizienter ausgeblendet
wird, je besser die Isotropie des zur Beleuchtung von der Beleuchtungsvorrichtung
zur Verfügung
gestellten Lichts ist. Je nachdem, welche Eigenschaften eines Objekts
untersucht werden sollen, kann eine mehr oder weniger starke Ausblendung
der Kornstruktur erforderlich sein. Der Grad der Isotropie ist daher
auf den jeweiligen Anwendungsfall abzustimmen.
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Die
Kugelkappen oder die Röhre
können, wie
bereits oben ausgeführt
wurde, je nach einzelnem Anwendungsfall mehr oder weniger stark
von idealen Kugelkappen- bzw. Röhrenformen
abwei chen. Eine Kornstruktur wird nichtsdestotrotz umso effizienter
ausgeblendet, je größer der
Anteil isotropen Lichts ist. Vor diesem Hintergrund sieht eine vorteilhafte
Ausgestaltungsvariante der Erfindung vor, dass den Kugelkappen Kugeln
mit gleichem Radius zugrunde gelegt sind. Vorzugsweise weisen die
Kugelkappen zudem eine gleiche Höhe
auf, wodurch der Anteil isotropen Lichts weiter erhöht werden kann.
Zudem können
Kugelkappen mit gleichen Radien und gleichen Höhen einfach mittels eines Hohlzylinders
miteinander verbunden werden.
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Zum
Zwecke der weiteren Erhöhung
des isotropen Lichtanteils sind die Kugelkappen bei einer vorteilhaften
Ausgestaltungsvariante der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
als Halbkugelschalen ausgeführt.
Besonders bevorzugt handelt es sich dabei um Halbkugelschalen von
Kugeln mit gleichem Radius, sodass die beiden als Halbkugelschalen
ausgeführten
Kugelkappen zusammen eine vollständige
Kugel bilden. Dies ermöglicht
wiederum eine einfache Verbindung der Halbkugelschalen mittels eines
Hohlzylinders, dessen Radius mit dem Radius der Halbkugelschalen
zweckmäßigerweise übereinstimmt.
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Bei
Halbkugelschalen unterschiedlichen Radien, oder bei entsprechender
anderweitiger Ausbildung der beiden Kugelkappen, ermöglicht die
Ausgestaltung der Röhre
in Form eines Hohlkonus eine einfache und somit vorteilhafte Verbindung
der Kugelkappen.
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Um
einen einfachen Zugang für
die Bedienung bzw. für
Wartungsarbeiten zu ermöglichen
sieht eine vorteilhafte Ausgestaltungsvariante der erfindungsgemäßen Vorrichtung
eine schließbare
Bedienöffnung
vor, mit welcher der Höhlkörper versehen
ist. Diese ist der Einfachheit halber bevorzugt im Bereich der Röhre angeordnet.
Die Schließbarkeit kann
dabei durch das Vorsehen einer Türe
realisiert sein.
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In
einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist
die reflektierende Schicht zumindest teilweise als Lambertscher
Strahler ausgeführt,
d. h. die reflektierende Schicht wirkt zumindest für eine Wellenlänge der
eingesetzten elektromagnetischen Strahlung als Lambertscher Strahler.
Unter einem Lambertschen Strahler wird dabei ein Material verstanden,
welches einfallendes Licht derart reflektiert, dass die Leuchtdichte
des reflektierten Lichts vom Betrachtungswinkel unabhängig ist.
Mittels einer solchen reflektierenden Schicht kann weitgehend isotropes
und homogenes Licht infolge mehrfacher Reflexion an dieser Schicht
erzeugt werden. Bei Verwendung von Licht im für Menschen sichtbaren Spektralbereich,
teilweise aber auch bei Verwendung von Licht anderer Wellenlängen, kann
als reflektierende Schicht beispielsweise Bariumsulfat Verwendung
finden.
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Bei
einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung sind
Leuchtmittel vorgesehen, welche derart angeordnet sind, dass eine
zu beleuchtende Oberfläche ausschließlich indirekt
beleuchtbar ist. Auf diese Weise können anisotrope Lichtanteile
weiter verringert werden. Vorzugsweise sind dabei verschiedene Leuchtmittel
vorgesehen, welche zumindest teilweise Licht unterschiedlicher Frequenz
emittieren. Beispielsweise emittiert eine erst Art Leuchtmittel
rotes Licht, während
eine zweite Art Leuchtmittel blaues Licht aussendet. Indem jeweils
nur eine Art Leuchtmittel gleichzeitig betrieben wird, können in
zeitlicher Abfolge Untersuchungen mit Licht unterschiedlicher Frequenz
durchgeführt
werden. Beispielsweise kann auf diese Art das Reflexionsverhalten
einer zu bestrahlenden Oberfläche
bei Licht verschiedener Frequenz untersucht werden. Als Leuchtmittel
kommen grundsätzlich
alle an sich bekannten Leuchtmittel in Frage, insbesondere lichtemittierende
Dioden, welche kurz als LEDs bezeichnet werden. Zum einen sind für eine Vielzahl
von Licht frequenzen LEDs erhältlich,
zum anderen kann mit diesen verhältnismäßig stark
gerichtetes Licht emittiert werden, ohne dass aufwendige Zusatzoptiken
erforderlich sind, was eine Gewährleistung
einer indirekten Beleuchtung erleichtert.
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Eine
Weiterbildung der Erfindung sieht wenigstens ein weiteres Leuchtmittel
vor, welches zur zumindest teilweise direkten Beleuchtung der zu
beleuchtenden Oberfläche
geeignet ist. Auf diese Weise kann bei Bedarf gezielt anisotropes
Licht eingesetzt werden. Dieses wenigstens eine weitere Leuchtmittel
ist bevorzugt in der Röhre,
besonders bevorzugt in einer Bohrung, mit welcher die Röhre versehen
ist, angeordnet. Grundsätzlich
kann es jedoch an einer beliebigen Stelle des Hohlkörpers vorgesehen
werden, sofern diese Anordnung eine direkte Beleuchtung der zu beleuchtenden
Oberfläche
ermöglicht.
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Bei
einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante der Beleuchtungsvorrichtung
ist die zu beleuchtende Oberfläche
in einer der Kugelkappen anordenbar. Die zu beleuchtende Oberfläche ist
dabei bevorzugt derart in der Kugelkappe anordenbar, dass sie der Röhre zugewandt
ist. Eine Weiterbildung sieht zudem vor, dass eine der Kugelkappen
eine Behelfsöffnung
aufweist, durch welche hindurch eine zu beleuchtende Oberfläche eines
Objekts in den Hohlkörper
einbringbar ist. Auf diese Weise kann die zu beleuchtende Oberfläche komfortabel
in Beleuchtungsvorrichtung angeordnet werden. Zudem ist eine automatisierte
oder teilautomatisierte Beladung der Beleuchtungsvorrichtung mit
zu untersuchenden Oberflächenmöglich, was
im Hinblick auf die Integration der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
in automatisierte oder teilautomatisierte Fertigungslinien von Vorteil
ist.
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Bei
einer alternativen Ausgestaltungsvariante der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung weist
eine der Kugelkappen ei ne Behelfsöffnung auf, durch welche hindurch
eine außerhalb
des Hohlkörpers
angeordnete, zu beleuchtende Oberfläche eines Objekts beleuchtbar
ist. Auf diese Weise kann die zu untersuchende Oberfläche während der
Untersuchung außerhalb
des Hohlkörpers
verbleiben. Verglichen mit einer Anordnung im Inneren des Hohlkörpers mag
dies zwar mit einer Verringerung des Anteils an isotropem Licht
einhergehen, doch hat sich gezeigt, dass der Isotropieanteil des
Lichts für
eine hinreichende Ausblendung der Kornstruktur ausreichend sein
kann, wobei dies jedoch vom einzelnen Anwendungsfall abhängt. Ist
der Isotropieanteil ausreichend, so vereinfacht die beschriebene
Ausgestaltungsvariante die Integration der Beleuchtungsvorrichtung
in eine automatisierte oder teilautomatisierte Fertigungslinie.
Zudem entfallen Beladezeiten für das
Einbringen der Oberfläche
in den Hohlkörper.
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Die
Behelfsöffnung
ist in allen Ausgestaltungsvarianten vorteilhafter Weise im Kappenbereich der
jeweiligen Kugelkappe angeordnet.
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Eine
vorteilhafte Ausführungsvariante
der Erfindung sieht vor, dass in einer der Kugelkappen Leuchtmittel
angeordnet sind. Vorzugsweise sind diese in Bohrungen angeordnet,
mit welchen die Kugelkappe versehen ist. Insbesondere kann auf diese Weise
eine Wartung der Leuchtmittel oder auch deren Ansteuerung komfortabel
von der Außenseite des
Hohlkörpers
aus erfolgen. Besonders bevorzugt sind die Leuchtmittel, unabhängig davon
ob sie in Bohrungen angeordnet sind oder nicht, in derjenigen Kugelkappe
angeordnet, welche eine Behelfsöffnung aufweist
oder in welcher die zu beleuchtende Oberfläche anordenbar ist. Ist die
zu beleuchtende Oberfläche
in der Kugelkappe angeordnet, so sind die Leuchtmittel vorzugsweise
derart angeordnet, dass eine direkte, von den den Leuchtmitteln
ausgehende Lichteinstrahlung auf die zu beleuchtende Oberfläche ausgeschlossen ist.
Hierdurch kann die Gefahr einer direkten Beleuchtung der zu beleuchtenden Oberfläche und
damit ein vermehrter anisotroper Lichtanteil verringert werden.
Um ein möglichst
homogenes Licht zu erzielen, sind die Leuchtmittel vorteilhafterweise
ringförmig
angeordnet.
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Bei
einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante der Erfindung ist in
einer der Kugelkappen eine Detektoröffnung angeordnet. Auf diese
Weise kann ein eingesetzter Detektor teilweise außerhalb
des Hohlkörpers
angeordnet werden, was insbesondere bei raumgreifenden Detektoren
von Vorteil sein kann, da dieser sodann die Lichtreflexionen innerhalb
des Hohlkörpers
weniger stark beeinträchtigt.
Als Detektor kann insbesondere eine Kamera, beispielsweise eine
monochromatische Kamera, Verwendung finden. Die Detektoröffnung ist
dabei vorzugsweise in derjenigen Kugelkappe angeordnet, in welcher
weder die Behelfsöffnung
noch die zu beleuchtende Oberfläche
angeordnet sind.
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Im
Folgenden wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläutert. Soweit
zweckmäßig, sind gleich
wirkende Elemente darin mit gleichen Bezugszeichen versehen. Es
zeigen:
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1 Aufsicht
auf einen polykristallinen Siliziumwafer gemäß dem Stand der Technik in
schematischer Darstellung
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2 Schematische
Illustration des Prinzips zur Erzeugung isotropen Lichts – im dargestellten Fall
erzeugt unter Verwendung einer an sich bekannten Ulbrichtkugel
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3 Schnitt
durch ein polykristallines Solarzellensubstrat mit einer Oberflächentexturierung gemäß dem Stand
der Technik in schematischer Darstellung
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4 Schematische
Schnittdarstellung eines polykristallinen Solarzellensubstrats mit
einer Antireflexionsbeschichtung gemäß dem Stand der Technik
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5 Vorderansicht
eines ersten Ausführungsbeispiels
einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
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6 Seitenansicht
des Ausführungsbeispiels
aus 5
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7 Schnitt
durch das Ausführungsbeispiel der 5 entlang
A-A
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8 Schnitt
durch das Ausführungsbeispiel der 5 bis 7 entlang
B-B mit Blickrichtung nach unten
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9 Schnitt
durch das Ausführungsbeispiel der 5 bis 7 entlang
B-B mit Blickrichtung nach oben
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10 Projektionsdarstellung
der Beleuchtungsvorrichtung aus den 5 bis 9 bei
fehlender Türe
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11 Schematische
Darstellung der Seitenansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
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12 Seitenansicht
eines dritten Ausführungsbeispiels
einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
in schematischer Darstellung
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1 zeigt
als Beispiel für
ein polykristallines Material 50 einen polykristallinen
Siliziumwafer 62 gemäß dem Stand
der Technik. Einzelne Körner, beispielsweise
die Körner 51, 52, 53 des
polykristallinen Materials 50 sind hierin deutlich erkenn bar.
Weiterhin sind schematisch Materialdefekte dargestellt, die bei
einer Untersuchung des Siliziumwafers 62 detektiert werden
sollen, insbesondere mittels einer optischen Detektion. Als Beispiele
sind schematisch ein Muschelausbruch 54, ein Bruch 56 sowie
eine Verschmutzung, beispielsweise ein Fingerabdruck, 55 dargestellt.
Die Detektion der Defekte 54, 55, 56 erweist
sich jedoch aufgrund der unterschiedlichen Reflexions- und Absorptionsverhalten
der verschiedenen Körner 51, 52, 53 als
problematisch. Aus diesem Grund besteht ein Interesse daran, die
aus unterschiedlichen Reflexions- bzw. Absorptionsverhalten herrührende und
bei unter gewöhnlichen
Umgebungsbedingungen üblicherweise
deutlich erkennbare Kornstruktur weitgehend auszublenden.
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2 illustriert
in schematischer Darstellung das Prinzip zur Erzeugung isotropen
Lichts. Als Beispiel für
ein Objekt aufweisend polykristallines Material ist hier der Siliziumwafer 62 dargestellt,
dessen Oberfläche 64 untersucht
werden soll. Zu diesem Zweck wird die Oberfläche 64 des Siliziumwafers 62 mit
weitgehend isotropem Licht beleuchtet 67. Die Isotropie
des Lichts ergibt sich daraus, dass von Leuchtmitteln 66 ausgehende
Lichtstrahlen an einer möglichst
ideal reflektierenden Innenoberfläche der schematisch gestrichelt
dargestellten Ulbrichtkugel 60 mehrfach reflektiert werden
ehe sie auf die zu beleuchtende Oberfläche 64 des Siliziumwafers 62 treffen,
wie dies der schematisch für
einen Lichtstrahl wiedergegebene Strahlenverlauf andeutet. Das weitgehend
isotrope Licht ergibt sich letztlich aus der Zusammenschau der Vielzahl
ausgesandter Lichtstrahlen, welche jeweils mehrfach reflektiert
werden, sodass in der Summe weitgehend isotropes Licht auf die Oberfläche 64 des
Siliziumwafers 62 auftrifft. Von dieser reflektiert gelangt
es in einen Detektor 68, welcher das reflektierte Licht
detektiert 68 und damit die Untersuchung des Objekts ermöglicht.
Eine Weiterverarbeitung der De tektorsignale kann dem jeweiligen
Anwendungsfall entsprechend erfolgen.
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Wie
bereits oben dargelegt wurde, ist die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
vorteilhaft bei der Detektion von Materialdefekten einsetzbar. Daneben
bestehen jedoch zahlreiche weitere Anwendungsmöglichkeiten, beispielsweise
die Möglichkeit
der Untersuchung einer Oberflächentexturierung,
insbesondere auf Güte
und Homogenität. Oberflächentexturierungen
werden beispielsweise bei der Solarzellenfertigung zur Erhöhung der
Lichteinkoppelung in das Solarzellensubstrat verwendet.
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3 zeigt
in schematischer Darstellung wiederum einen Siliziumwafer 62 aus
polykristallinem Material, die einzelnen Körner 51, 52, 53 sind entsprechend
erkennbar. Dieser Siliziumwafer 62 ist an einer Seite mit
einer Oberflächentexturierung 70 versehen.
Soll diese Oberflächentexturierung 70 untersucht
werden, so hat sich gezeigt, dass durch Verwendung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
die störende
Kornstruktur vorteilhaft ausgeblendet werden kann. Unter Untersuchung
im Sinne der vorliegenden Anmeldung ist dabei letztlich jede Untersuchungsmethode
zu verstehen, bei welcher von dem zu untersuchenden Objekt reflektierte
elektromagnetische Strahlung verwendet wird.
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Die
erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung
hat sich weiterhin als vorteilhaft bei der Untersuchung von Schichten
oder Schichtsystemen erwiesen, welche auf polykristallines Material
aufgebracht sind.
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4 zeigt
beispielhaft einen mit einer Antireflexionsbeschichtung 72 versehenen
polykristallinen Siliziumwafer 62. Zur Untersuchung dieser
Antireflexionsbeschichtung, oder auch anderer Schichten oder Schichtsysteme,
kann mit der erfin dungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung
die aus den unterschiedlichen Reflexions- und Absorptionsverhalten der
unterschiedlichen Körner 51, 52, 53 resultierende Kornstruktur
hinreichend ausgeblendet werden.
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5 zeigt
schematisch eine Vorderansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung 1.
Diese weist einen Hohlkörper
auf, welcher aus zwei Halbkugelschalen 3, 5 und
einem Hohlzylinder 7 gebildet ist. In seiner Innenseite 8 ist
der Hohlkörper,
wie in der Schnittdarstellung der 7 erkennbar
ist, mit einer reflektierenden Schicht 13 versehen, welche
vorzugsweise derart gewählt
ist, dass ein Lambertscher Strahler vorliegt.
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Im
Bereich des Hohlzylinders 7 ist die Beleuchtungsvorrichtung 1 mit
einer Bedienöffnung 9 versehen,
welche in der Darstellung der 5 mittels einer
Türe 11 geschlossen
ist, die mit einem Türgriff 12 bedient
werden kann.
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In
dem Ausführungsbeispiel
der 5 ist das Solarzellensubstrat 20 als
Beispiel für
ein zu untersuchendes Objekt innerhalb des Hohlkörpers 3, 5, 7 angeordnet,
wie dies in der Darstellung der 5 gestrichelt
angedeutet ist. Die Oberseite dieses Solarzellensubstrats 20 stellt
im vorliegenden Ausführungsbeispiel
die zu beleuchtende Oberfläche 22 dar, welche
vorliegend dem Hohlzylinder zugewandt ist. Zur Lichterzeugung sind
im Ausführungsbeispiel
der 5 LEDs 15 zur indirekten Beleuchtung
der zu beleuchtenden Oberfläche 22 vorgesehen.
Diese LEDs 15 sind ringförmig am unteren Ende derjenigen
Halbkugelschale 5 angeordnet, in welcher auch das Solarzellensubstrat 20 angeordnet
ist. Wie 5 zeigt, sind dabei die LEDs 15 unterhalb
der zu beleuchtenden Oberfläche 22 des
Solarzellensubstrats 20 vorgesehen. Hierdurch kann weitgehend vermieden werden,
dass von den LEDs 15 ausgesandtes Licht direkt auf die
zu beleuchtende Oberfläche 22 gelangt.
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Die
LEDs 15 sind, wie in 5 angedeutet, vorzugsweise
derart ausgerichtet, dass sie von unten nach oben in den Hohlkörper hinein
Licht abstrahlen, sodass dieses möglichst oft an der reflektierenden Schicht 13 reflektiert
wird, bevor es auf die zu beleuchtende Oberfläche 22 des in der
Kugelkappe 5 anordenbaren Objekts bzw. eines Solarzellensubstrats 20 trifft.
Auf diese Weise kann ein weitgehend isotropes Licht zur Verfügung gestellt
werden. Die Isotropie dieses Lichts kann dadurch verbessert werden,
dass das zu beleuchtende Objekt, im vorliegenden Ausführungsbeispiel
das Solarzellensubstrat 20, möglichst nahe an der Kappenseite
der Halbkugelschale 5 angeordnet wird, in der Darstellung
der 5 also möglichst
weit unten. Sofern bei der betroffenen Halbkugelschale 5 eine
Behelfsöffnung 24 zum
Einbringen der zu beleuchtenden Oberfläche 22 in den Hohlkörper 3, 5, 7 vorgesehen
ist, wie dies im dargestellten Ausführungsbeispiel der Fall ist,
ist hingegen die zu beleuchtende Oberfläche 22 möglichst nahe
an dieser Behelfsöffnung 24 anzuordnen
um die Isotropie des Lichts zu vermehren. Dabei ist jedoch zu beachten,
dass eine direkte Beleuchtung durch die LEDs 15 nach wie
vor weitgehend zu vermeiden ist. Andernfalls kann der Zugewinn an
Isotropie durch eine Anordnung der zu beleuchtenden Oberfläche 22 sehr
nahe an der Behelfsöffnung 24, bzw.
der Kappe einer geschlossenen Halbkugelschale 5, durch
direkte Beleuchtungseffekte kompensiert oder gar überkompensiert
werden.
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In
dem Ausführungsbeispiel
der 5 bis 10 sind die LEDs 15 ringförmig an
der unteren Halbkugelschale 5 angeordnet, sodass sich ein
möglichst
homogenes Licht ergibt. Zudem sind sie in Bohrungen 16 platziert,
was einerseits eine komfortable Zugänglichkeit für Wartungsarbeiten
von der Außenseite
des Hohl körpers
ermöglicht,
andererseits eine geringe Beeinträchtigung der Oberflächenstruktur der
Innenseite 8 des Hohlkörpers
mit sich bringt.
-
Bei
den LEDs 15 zur indirekten Beleuchtung des Solarzellensubstrats
kann es sich um verschiedene LEDs 15 handeln, welche Licht
unterschiedlicher Frequenzen emittieren. Auf diese Weise können Untersuchungen,
wie oben beschrieben, bei verschiedenen Wellenlängen gleichzeitig oder zeitversetzt
durchgeführt
werden.
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Die
bereits erwähnte
Behelfsöffnung 24 zum Einbringen
der zu beleuchtenden Oberfläche 22 ermöglicht einen
freien Blick auf das zu untersuchende Objekt, was im einzelnen Anwendungsfall
vorteilhaft sein kann. Zudem kann die Beleuchtungsvorrichtung über diese
Behelfsöffnung 24 einfach
automatisiert oder teilautomatisiert beladen werden, was eine Integration
der Beleuchtungsvorrichtung in automatisierte bzw. teilautomatisierte
Fertigungslinien, welche teilweise als Inline-Fertigungslinien bezeichnet
werden, ermöglicht.
Auf der anderen Seite bringt die Behelfsöffnung 24 einen Isotropieverlust
mit sich, sodass im einzelnen Anwendungsfall zu prüfen ist,
ob eine Behelfsöffnung 24 möglich ist
oder nicht. Es hat sich jedoch gezeigt, dass bei ansonsten isotropiegünstiger
Ausgestaltung des Hohlkörpers 3, 5, 7 sich auch
bei Verwendung einer Behelfsöffnung 24 Kornstrukturen
in der Regel hinreichend ausblenden lassen.
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In
dem Ausführungsbeispiel
der 5 bis 10 sind ergänzend zu den LEDs 15 LEDs 17 zur teilweisen
direkten Beleuchtung der zu beleuchtenden Oberfläche 22 des Solarzellensubstrats 20,
bzw. eines Objekts allgemein, vorgesehen. Auf diese Weise kann komfortabel
auch eine Untersuchung unter Verwendung von anisotropem Licht durchgeführt werden,
was für
einzelne Untersu chungen vorteilhaft sein kann. Um die Oberfläche der
Innenseite 8 des Hohlkörpers 3, 5, 7 möglichst
wenig zu beeinträchtigen,
sind die LEDs 17 wiederum in Bohrungen 18 angeordnet.
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Die
Darstellung der 6 zeigt die Beleuchtungsvorrichtung
aus 5 in einer Seitenansicht, wobei das in dieser
Ansicht nicht sichtbare Solarzellensubstrat 20 wiederum
zur Verdeutlichung seiner Position gestrichelt wiedergegeben ist.
Im Gegensatz zur Darstellung der 5 ist in 6 die
Türe 11 geöffnet.
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7 zeigt
eine Schnittdarstellung durch die Beleuchtungsvorrichtung der 5 entlang
der Schnittfläche
A-A. Hierin ist die bereits angesprochene reflektierende Schicht 13 deutlich
erkennbar. Weiterhin wird die Polykristallinität des Solarzellensubstrats 20 ersichtlich.
In der Darstellung der 7 ist zum Zwecke der besseren
Erkennbarkeit der Bedienöffnung 9 die
Tür 11 nicht
dargestellt.
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8 zeigt
eine Schnittdarstellung durch die Beleuchtungsvorrichtung der 5 bis 10 entlang
der Schnittebene B-B aus 7. Dargestellt ist dabei die
Blickrichtung nach unten in die Halbkugelschale 5 hinein.
In dieser Darstellung ist neben der reflektierenden Schicht 13 die
Behelfsöffnung 24 deutlich
erkennbar.
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Die
Darstellung in 9 zeigt wiederum einen Schnitt
durch den Beleuchtungskörper
der 5 bis 10 entlang der in 7 durch
die Linie B-B angedeuteten Ebene, diesmal allerdings mit nach oben,
auf die Halbkugelschale 3 zugewandter Blickrichtung. Bei
dieser ist neben der an der Innenseite 8 des Hohlkörpers vorgesehenen
reflektierenden Schicht eine Detektoröffnung 26 erkennbar. Über, oder
teilweise in, dieser Öffnung
ist vorteilhafterweise ein Detektor 30 angeordnet, wie dies
beispielhaft in der Projektionsdarstellung der 10 schematisch angedeutet
ist. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel
handelt es sich bei dem Detektor um eine Kamera 30, grundsätzlich kann
jedoch jeder an sich bekannte und geeignete Detektor Verwendung
finden.
-
Wie
die Darstellung der 10 zeigt, ist die Detektoröffnung 26 in
einem Kappenbereich 28 der Halbkugelschale 3 angeordnet.
Zur Illustration der Bedienöffnung 9 ist
die Türe 11 in
der Darstellung der 10 wiederum nicht wiedergegeben.
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11 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung 41 in
einer Vorderansicht. Auf das Vorsehen einer Bedienöffnung wurde
in diesem Fall verzichtet. Der Hohlkörper ist bei dieser Ausführungsvariante gebildet
aus zwei Kugelkappen 43, 45, welche wiederum über einen
Hohlzylinder 47 verbunden sind. Ebenso wie die Halbkugelschalen 3 und 5 aus
den 5 und 10 einen einheitlichen Radius
R aufweisen, gehen im Beispiel der 11 die
Halbkugelschalen 43 und 45 auf Kugeln mit gleichen
Radien R1, R2 zurück.
Diese Radien R1, R2 der zugehörigen Kugeln
sind in der Darstellung der 11 gestrichelt wiedergegeben.
Zudem weisen die Kugelkappen 43 und 45 identische
Höhen H1
und H2 auf. Dies ermöglicht
bei Verwendung von Kugelkappen, welche keine Halbkugelschalen darstellen,
eine vergleichsweise hohe Symmetrie und damit eine vergleichsweise hohe
Isotropie des einsetzten Lichts. Zudem können die Kugelkappen 43, 45 wiederum
in einfacher Weise durch einen Hohlzylinder 47 miteinander
verbunden werden. Dies ist grundsätzlich jedoch auch bei der Verwendung
von verschiedenen Radien R1, R2 und verschiedenen Höhen H1,
H2 für
die Kugelkappen 43, 45 möglich, wenn diese Größen entsprechend aufeinander
abgestimmt werden.
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Der
besseren Übersichtlichkeit
halber sind in der Darstellung der 11 in
den Bohrungen 16 und 18 keine Leuchtmittel dargestellt.
Hier können
jedoch in analoger Weise wie im Ausführungsbeispiel der 5 bis 10 LEDs
Verwendung finden.
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Wie
das Ausführungsbeispiel
der 5 bis 10 ist auch das zweite Ausführungsbeispiel
der 11 mit einer Behelfsöffnung 24 sowie einer
Detektoröffnung 26 versehen.
-
12 zeigt
ein drittes Ausführungsbeispiel einer
erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung 81.
Dieses entspricht weitgehend dem in den 5 bis 10 dargestellten
ersten Ausführungsbeispiel. Der
Unterschied zu dem ersten Ausführungsbeispiel besteht
darin, dass im dritten Ausführungsbeispiel eine
solche Behelfsöffnung 84 vorgesehen
ist, durch welche hindurch eine außerhalb des Hohlkörpers 3, 5, 7 angeordnete,
zu beleuchtende Oberfläche 22 beleuchtbar
ist. Die Behelfsöffnung 84 ist
vorliegend also derart gestaltet, dass Licht, welches auf Grund mehrfacher
Reflexion an der Innenoberfläche
einen hohen Isotropiegrad aufweist, durch die Behelfsöffnung 84 auf
die zu beleuchtende Oberfläche 22 trifft. Aus
diesem Grund kann das Solarzellensubstrat 20 gänzliche
außerhalb
der Beleuchtungsvorrichtung 81 angeordnet werden, sodass
eine einfache Integration der Beleuchtungsvorrichtung 81 in
automatisierte oder teilautomatisierte Fertigungslinien möglich ist. Beispielsweise
können
Objekte mit zu beleuchtenden Oberflächen, insbesondere Solarzellensubstrate,
auf einer Transporteinrichtung wie einem Förderband unter die Behelfsöffnung verbracht
und dort untersucht werden, ohne dass ein aufwändiges, zumindest teilweises
Einbringen des Objekts in den Hohlkörper 3, 5, 7 erforderlich
wäre. Nach
erfolgter Untersuchung können
die Objekte mittels der Transporteinrichtung in der Fertigungslinie
weitertransportiert werden. Ein Entladevorgang kann demzufolge entfallen.
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Bei
dem dritten Ausführungsbeispiel
der 12 kann, wie weiter oben beschrieben, ein verringerter
Isotropiegrad des auf die zu beleuchtende Oberfläche 22 einfallenden
Lichts vorliegen. Es hat sich jedoch gezeigt, dass dieser dennoch
in der Regel ausreichend ist, um eine Kornstruktur hinreichend auszublenden.
Sämtliche
im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel beschriebene
Weiterbildungen, beispielsweise die Detektoröffnung 26, können auch
bei dem dritten Ausführungsbeispiel
der 12 vorgesehen werden, sodass diesbezüglich auf
die entsprechenden Ausführungen
zu dem ersten Ausführungsbeispiel
verwiesen wird.
-
Offensichtlich
kann auch das zweite Ausführungsbeispiel
der 11 in analoger Weise wie die Behelfsöffnung 84 aus
dem in 12 dargestellten dritten Ausführungsbeispiel
mit einer Behelfsöffnung versehen
werden, durch welche hindurch eine außerhalb des Hohlkörpers angeordnete
zu beleuchtende Oberfläche
beleuchtbar ist. Die Gestalt einer solchen Behelfsöffnung richtet
sich dabei, wie auch im Fall des dritten Ausführungsbeispiels, nach der Gestalt der
zu beleuchtenden Oberfläche.
-
Abschließend sei
nochmals darauf hingewiesen, dass die Begriffe Kugelkappe, Röhre, Hohlzylinder,
Halbkugelschale sowie ähnliche
Bezugnahmen auf geometrische Gebilde weit auszulegen sind. So wird
vorliegend unter Kugelkappe auch eine solche Kugelkappe verstanden,
bei welcher der Kappenbereich entfernt ist. Entsprechend können in
den Kugelkappen auch an anderen Stellen Öffnungen oder Abweichungen
von der idealen Kugelkappenform vorgesehen sein. Dies gilt in analoger
Weise für
die Halbkugelschalen, den Hohlzylinder oder die Röhre. Abweichungen
von der idealen Form gehen zwar stets zu Lasten der Isotropie des
Lichts, doch kann im einzelnen Anwendungsfall der verbleibende Isotropiegrad
ausreichend sein, um Kornstrukturen hinreichend auszublenden.
-
- 1
- Beleuchtungsvorrichtung
- 3
- Halbkugelschale
- 5
- Halbkugelschale
- 7
- Hohlzylinder
- 8
- Innenseite
- 9
- Bedienöffnung
- 11
- Türe
- 12
- Türgriff
- 13
- reflektierende
Schicht
- 15
- LEDs
zur indirekten Beleuchtung
- 16
- Bohrung
- 17
- LEDs
zur teilweisen direkten Beleuchtung
- 18
- Bohrung
- 20
- Solarzellensubstrat
- 22
- zu
beleuchtende Oberfläche
- 24
- Behelfsöffnung
- 26
- Detektoröffnung
- 28
- Kappenbereich
- 30
- Kamera
- 41
- Beleuchtungsvorrichtung
- 43
- Kugelkappe
- 45
- Kugelkappe
- 47
- Hohlzylinder
- 50
- polykristallines
Material
- 51
- Korn
- 52
- Korn
- 53
- Korn
- 54
- Muschelausbruch
- 55
- Verschmutzung
- 56
- Bruch
- 60
- Ulbrichtkugel
- 62
- Siliziumwafer
- 64
- Oberfläche Siliziumwafer
- 66
- Leuchtmittel
- 67
- Beleuchten
im isotropem Licht
- 68
- Detektor/Detektion
- 70
- Oberflächentexturierung
- 72
- Antireflexionsbeschichtung
- 81
- Beleuchtungsvorrichtung
- 84
- Behelfsöffnung
- R
- Radius
Halbkugelschalen
- R1
- Radius
Kugelkappe
- R2
- Radius
Kugelkappe
- H1
- Höhe Kugelkappe
- H2
- Höhe Kugelkappe