DE202007007786U1

DE202007007786U1 - Coordinate measuring device`s e.g. sensor, measurement inaccuracy testing body, has shaped units arranged on flat side, where units are provided in two different types and in two parallel rows

Info

Publication number: DE202007007786U1
Application number: DE200720007786
Authority: DE
Original assignee: Carl Mahr Holding GmbH
Current assignee: Leica Geosystems AG
Priority date: 2007-06-01
Filing date: 2007-06-01
Publication date: 2007-08-16
Anticipated expiration: 2017-06-02

Abstract

The testing body has shaped units (10-12) arranged on a flat side, where the units are provided in two different types and in two parallel rows. The size of the shaped units of one type differs from the size of the shaped units of other types to provide optical scanning with different enlargements. A fluorescent coating and a reflective coating are provided at the respective sides of the testing body.

Description

Die Erfindung betrifft einen Prüfkörper zur Prüfung der Messunsicherheit von Koordinatenmessgeräten oder anderen optischen Messeinrichtungen, wie Sensoren, Messmikroskopen oder Messprojektoren.The The invention relates to a test specimen for testing the Measurement uncertainty of coordinate measuring machines or other optical Measuring equipment, such as sensors, measuring microscopes or measuring projectors.

Für Koordinatenmessmaschinen und ähnliche Messeinrichtungen ist es erforderlich, die Messunsicherheit nachzuweisen. Dies erfolgt nach der Norm VDI/VDE 2617. Zum Nachweis der Messunsicherheit werden Glasnormale mit speziellen Mustern zur Längenmessung verwendet. Werden unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe genutzt, reicht ein Glasnormal nicht aus.For coordinate measuring machines and similar Measuring equipment it is necessary to prove the measurement uncertainty. This is done according to the standard VDI / VDE 2617. To prove the measurement uncertainty Glass standards with special patterns for length measurement are used. Become different image scales used, a glass standard is not enough.

Davon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, eine Möglichkeit zu schaffen, die den Nachweis der Messunsicherheit bei optischen Koordinatenmessmaschinen erleichtert.From that It is an object of the invention to provide a way that the proof of measurement uncertainty in optical coordinate measuring machines facilitated.

Diese Aufgabe wird mit dem Prüfkörper nach Anspruch 1 gelöst:
Der erfindungsgemäße Prüfkörper vereint verschiedene Prüfmuster, die durch Formelemente realisiert werden, die an dem Prüfkörper vorgesehen sind. Die verschiedenen Form elemente sind in zumindest zwei nebeneinander liegenden Reihen angeordnet und unterschiedlich gestaltet. Insbesondere sind die verschiedenen Formelemente an die verschiedenen Abbildungsmaßstäbe des optischen Koordinatenmessgeräts angepasst. An dem Prüfkörper sind verschieden große Antastelemente vorgesehen, so dass entsprechend einer gewählten Vergrößerung des optischen Sensors mit ein und demselben Prüfkörper gearbeitet werden kann, wobei auf diesem vorzugsweise für jede vorhandene Vergrößerung die entsprechenden Formelemente zu finden sind. Beispielsweise können auf dem Prüfkörper eine Reihe Striche, Rechtecke, Quadrate Vollkreise, Kreisringe, Kreislinien Kreisabschnitte, Sektoren usw. oder andere Formelemente angeordnet werden. Der Hersteller einer Messmaschine oder einer breiten Palette von Messgeräten mit verschiedenen Vergrößerungsvarianten der optischen Sensoren kann nun auf einen einzigen Prüfkörper zurückgreifen, der für alle oder zumindest viele Messgeräte und alle oder zumindest viele Vergrößerungseinstellungen eines optischen Koordinatenmessgerätes passt. Dies gilt auch für Anwender von Zoomobjektiven.This object is achieved with the test specimen according to claim 1:
The test specimen according to the invention combines different test specimens which are realized by form elements which are provided on the specimen. The various form elements are arranged in at least two adjacent rows and designed differently. In particular, the various form elements are adapted to the different imaging scales of the optical coordinate measuring machine. On the test specimen differently sized probing elements are provided so that it is possible to work according to a selected magnification of the optical sensor with one and the same specimen, on which preferably for each existing magnification the corresponding form elements can be found. For example, a series of dashes, rectangles, squares full circles, circles, circles circular sections, sectors, etc. or other form elements can be arranged on the test specimen. The manufacturer of a measuring machine or a wide range of measuring devices with different magnification variants of the optical sensors can now resort to a single test body, which fits all or at least many measuring devices and all or at least many magnification settings of an optical coordinate measuring machine. This also applies to users of zoom lenses.

Die Formelemente werden optisch angetastet, um daraus die Messunsicherheit der optischen Messeinrichtung zu bestimmen. Die Formelemente liefern einen Helligkeitskontrast an der entsprechenden vorzugsweise ebenen Fläche des Prüfkörpers, an der sie vorgesehen sind. Beispielsweise sind die Formelemente undurchsichtig oder nicht reflektierend, zum Beispiel als dunkle Flächen ausgebildet. Der Prüfkörper kann hingegen eine helle Trägerfläche für die Formelemente aufweisen und dabei undurchsichtig oder auch durchsichtig ausgebildet sein. Die Formelemente können linienhaft als eindimensionale Elemente oder flächenhaft als zweidimensionale Elemente ausgebildet sein. Sie können dabei im letzteren Fall als geschlossene dunkle Flächen oder auch lediglich als Linien ausgebildet sein, die solche Flä chen branden. Außerdem ist es möglich, die Formelemente als helle Flächen oder durchsichtige Flächen auf dunklen oder nicht durchsichtigen Hintergrund auszubilden.The Form elements are optically touched in order to derive the measurement uncertainty to determine the optical measuring device. Deliver the form elements a brightness contrast at the corresponding preferably flat area of the test specimen they are intended. For example, the form elements are opaque or non-reflective, for example, formed as dark areas. Of the Test specimen can however, a bright support surface for the form elements have and thereby formed opaque or transparent be. The form elements can linear as one-dimensional elements or planar as two-dimensional Be formed elements. You can in the latter case as closed dark areas or also only be designed as lines that burn such WING chen. Furthermore Is it possible, the form elements as bright surfaces or transparent surfaces to train on dark or not transparent background.

Die 2D-Formelemente können wie erwähnt, kreisförmig, rautenförmig, rechteckig, quadratisch, ringförmig oder anderweitig ausgebildet sein. Mehrere Formelemente können konzentrisch zueinander angeordnet sein, um an ein und derselben Stelle des Prüfkörpers den Nachweis der Messunsicherheit mit mehreren Abbildungsmaßstäben führen zu können. Vorzugsweise sind die Formelemente lichtundurchlässig. Der Prüfkörper kann hingegen lichtdurchlässig, z.B. durchscheinend oder durchsichtig ausgebildet sein. Vorzugsweise ist er lichtstreuend ausgebildet oder mit lichtstreuenden Flächen, Mitteln oder Elementen versehen, so dass er für die Formelemente aus Sicht des optischen Messsystems einen diffus leuchtenden Hintergrund bildet. Das lichtstreuende Mittel wird beispielsweise durch mattierte Flächen des Körpers gebildet. Es kann auch durch in den ansonsten durchsichtigen Körper eingelagerte streuende Partikel gebildet sein.The 2D shape elements can as mentioned, circular, diamond-shaped, rectangular, square, ring-shaped or otherwise formed. Several features can be concentric be arranged to each other to at one and the same point of the specimen the Verification of the measurement uncertainty with several imaging scales lead to can. Preferably the shaped elements are opaque. The test specimen can while translucent, e.g. be made translucent or transparent. Preferably it is light-scattering or with light-scattering surfaces, means or elements provided so that it is out of sight for the form elements of the optical measuring system forms a diffused luminous background. The light-diffusing agent is, for example, by matt surfaces of the body educated. It can also be embedded in the otherwise transparent body be formed scattering particles.

Außerdem kann der Körper mit einem fluoreszierenden Mittel versehen sein. Ein solches fluoreszierendes Mittel wird beispielsweise durch fluoreszierende Beschichtung einer oder mehrerer Flächen oder Stellen des Körpers oder Einlagerung von fluoreszierenden Partikeln in diesem gebildet. Die fluoreszierenden Partikel können beispielsweise durch kurzwelliges Licht dazu angeregt werden, sichtbares Licht auszusenden, um eine diffuse Beleuchtung des ansonsten durchsichtigen Körpers zu bilden. Zum Anregen des fluoreszierenden Mittels können UV-Lichtquellen beispielsweise in Form von UV-emittierenden Leuchtdioden, Schwarzlichtlampen oder dergleichen vorgesehen sein. Die können an dem Prüfkörper angebracht sein oder unabhängig von diesem z.B. in einiger Entfernung gelagert sein.In addition, can the body be provided with a fluorescent agent. Such a fluorescent Means, for example, by fluorescent coating a or more surfaces or body parts or incorporation of fluorescent particles formed in this. The fluorescent particles can For example, be excited by short-wave light, visible light send out a diffused lighting of the otherwise transparent body to build. To excite the fluorescent agent can UV light sources for example in the form of UV-emitting LEDs, black light lamps or the like may be provided. They can be attached to the test specimen be or independent from this e.g. be stored at a distance.

Außerdem kann der Körper an einer oder mehreren Seiten oder Stellen eine reflektierende Beschichtung tragen. Damit lässt sich der Bildkontrast für die optische Messmaschine erhöhen.In addition, can the body a reflective coating on one or more sides or spots wear. Leave it the picture contrast for increase the optical measuring machine.

Es ist auch möglich, fluoreszierenden Mittel zu nutzen, die einen Speichereffekt aufweisen, so dass sie nach ihrer Anregung einige Zeit phosphoreszieren. Ein solcher mit nachleuchtend fluoreszierenden, d.h. phosphoreszierenden Mitteln versehener Prüfkörper kann beispielsweise an einer geeigneten Stelle außerhalb der Messmaschine zum Leuchten angeregt und dann in die Messmaschine verbracht werden, um dort ohne äußere Energiezufuhr Licht zur Verbesserung des Bildkontrasts zwischen den Formelementen und ihrem Hintergrund zu erzeugen. Der Leuchteffekt über bei geeigneter Materialwahl über Minuten oder Stunden anhalten. Vorteilhaft ist der fehlende Energieeintrag und somit der Wegfall einer thermischen Beeinflussung der präzisen Dimensionen des Prüfkörpers.It is also possible to use fluorescent agents that have a memory effect, so that they phosphoresce for some time after their excitation. Such with nachleuchtend fluorescent, ie phosphorescent versehener For example, the test specimen can be made to glow at a suitable location outside the measuring machine and then be brought into the measuring machine in order to generate light there without external energy supply for improving the image contrast between the shaped elements and their background. The luminous effect should be stopped for over minutes or hours if the choice of material is suitable. Advantageous is the lack of energy input and thus the elimination of a thermal influence on the precise dimensions of the specimen.

Außerdem ist der Prüfkörper vorzugsweise aus einem Material mit geringem oder ohne Temperaturgang gefertigt, beispielsweise einem entsprechenden Glas.Besides that is the test specimen preferably a material with low or no temperature response, for example, a corresponding glass.

Den Formelementen kann eine maschinenlesbare Codierung zugeordnet sein. Diese kann auch durch die Formelemente selbst gebildet sein. Die maschinenlesbare Codierung ist vorzugsweise eine geometrische Codierung, beispielsweise in Form eines Strichcodes oder auch eine zweidimensionale Codierung, beispielsweise in Form eines 2D-Strichcodes, eines Matrixcodes, eines Maxicodes, eines Aztec-Codes oder dergleichen.The Form elements may be associated with a machine-readable encoding. This can also be formed by the form elements themselves. The machine-readable coding is preferably a geometric coding, For example, in the form of a bar code or a two-dimensional Coding, for example in the form of a 2D bar code, a matrix code, a Maxicode, an Aztec code or the like.

Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung, der Zeichnung oder Ansprüchen. Die Beschreibung beschränkt sich dabei auf wesentliche Aspekte der Erfindung oder sonstiger Gegebenheiten. Die Zeichnung zeigt weitere Details und ergänzt die Beschreibung.Further Details of advantageous embodiments of Invention will become apparent from the description, the drawings or Claims. The description is limited thereby to essential aspects of the invention or other Conditions. The drawing shows more details and complements the Description.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:In the drawing are embodiments of Invention illustrated. Show it:

1 einen erfindungsgemäßen Prüfkörper mit verschiedenen Formelementen unter dem Objektiv einer optischen Messmaschine. 1 a test body according to the invention with different form elements under the lens of an optical measuring machine.

2 den Prüfkörper nach 1 in einer Draufsicht zur Veranschaulichung seiner Formelemente. 2 after the test specimen 1 in a plan view to illustrate its form elements.

3 eine abgewandelte Ausführungsform des Prüfkörpers in einer Draufsicht zur Veranschaulichung seiner Formelemente. 3 a modified embodiment of the specimen in a plan view to illustrate its form elements.

4 eine Ausführungsform eines Prüfkörpers mit Diffusbeleuchtung in Stirnansicht und 4 an embodiment of a test body with diffuse illumination in front view and

5 eine weitere Ausführungsform eines Prüfkörpers mit Reflektoren in einer Stirnansicht. 5 a further embodiment of a specimen with reflectors in an end view.

In 1 ist ein Prüfkörper 1 veranschaulicht, der unter einem Objektiv 2 einer ansonsten nicht weiter veranschaulichten Messmaschine angeordnet ist. Die Messmaschine ist beispielsweise ein Koordinatenmessgerät.In 1 is a test piece 1 Illustrated under a lens 2 an otherwise not further illustrated measuring machine is arranged. The measuring machine is for example a coordinate measuring machine.

Der Prüfkörper 1 wird durch einen länglichen, vorzugsweise etwa quaderförmigen Körper 3 gebildet, der zum Beispiel aus einem Glas mit geringem Temperaturausdehnungskoeffizienten besteht. Er weist eine flache obere Seite 4 auf, die dem Objektiv 2 zugewandt ist. Außerdem weist er eine dazu parallele Unterseite 5 und Seitenflächen 6, 7, 8, 9 auf. An zumindest einer Seite im vorliegenden Ausführungsbeispiel der Oberseite 4 sind verschiedene Formelemente 10, 11, 12 unterschiedlicher Ausführungen bzw. Typen angeordnet. Die Formelemente 10, 11, 12 sind beispielsweise auf die Oberseite 4 in Form einer Metallisierung oder anderen Beschichtung aufgetragen oder in die Oberseite 4 beispielsweise durch mechanische Prozesse oder Ätzprozesse graviert. Sie weisen andere optische Eigenschaften auf, als die Oberseite 4, um einen optischen Kontrast zu erzeugen. Beispielsweise sind die Formelemente 10, 11, 12 undurchsichtig, während die Oberseite 4 und der Körper 3 ansonsten durchsichtig ist. Alternativ ist der Körper 3 undurchsichtig, wobei seine Oberseite 4 hell ist. Die von den Formelementen 10, 11, 12 gebildeten Muster sind dann in Auflicht sichtbar.The test piece 1 is by an elongated, preferably approximately cuboid body 3 formed, for example, consists of a glass with a low coefficient of thermal expansion. He has a flat upper side 4 on that the lens 2 is facing. He also has a parallel underside 5 and side surfaces 6 . 7 . 8th . 9 on. On at least one side in the present embodiment of the top 4 are different form elements 10 . 11 . 12 arranged different versions or types. The form elements 10 . 11 . 12 are on the top, for example 4 applied in the form of a metallization or other coating or in the top 4 engraved for example by mechanical processes or etching processes. They have different optical properties than the top 4 to create an optical contrast. For example, the form elements 10 . 11 . 12 opaque while the top 4 and the body 3 otherwise transparent. Alternatively, the body is 3 opaque, with its top 4 bright. The of the form elements 10 . 11 . 12 formed patterns are then visible in incident light.

Die Formelemente 10, 11, 12 sind, wie 1 zeigt, in drei zueinander parallelen Reihen 13, 14, 15 angeordnet, die in 1 anhand Bedachter strichpunktierter Linien angedeutet sind. 2 veranschaulicht die Formelemente 10, 11, 12 und die Reihen 13, 14, 15 in einem anderen Maßstab. Die Reihenfolge der Reihen 13, 14, 15 ist dabei vertauschbar.The form elements 10 . 11 . 12 are like 1 shows, in three parallel rows 13 . 14 . 15 arranged in 1 indicated by careful dash-dotted lines. 2 illustrates the features 10 . 11 . 12 and the rows 13 . 14 . 15 on a different scale. The order of the rows 13 . 14 . 15 is interchangeable.

Die Formelemente 10 sind beispielsweise durch undurchsichtige Quadrate gebildet, deren Kantenlänge ein ganzzahliges Vielfaches des Mittenabstands der Formelemente 11 bzw. 12 voneinander ist. Somit legen die Formelemente 11, 12 eine Teilung fest, die ein ganzzahliger Bruchteil der von den Formelementen 10 festgelegten Teilung ist. Die Teilung der Formelemente 10 wird beispielsweise durch die Abstände ihrer vorderen und hinteren Kanten 10a, 10b voneinander sowie durch die Abstände der Kanten 10b, 10a benachbarter Formelemente 10 festgelegt. Die Teilung der Formelemente 11, die durch einfache Striche gebildet sind, wird beispielsweise durch ihren Abstand festgelegt. Die Formelemente 12 sind z.B. Kreisringe. Sie enthalten konzentrisch zu ihrem Mittelpunkt 12a angeordnete kreisförmige Kanten 12b, 12c, die selbst Formelemente z.B. für unterschiedliche Vergrößerungsmaßstäbe der Messmaschine darstellen. Die Teilung wird hier durch die Mittenabstände der Kreisringe festgelegt. Vorzugsweise fluchtet die Kante 10a mit einem Mittelpunkt eines Formelements 12 sowie mit dem strichförmigen Formelement 11. Entsprechendes gilt für die Kante 10b.The form elements 10 are formed for example by opaque squares whose edge length is an integer multiple of the center distance of the form elements 11 respectively. 12 from each other. Thus lay the form elements 11 . 12 a division fixed, which is an integer fraction of that of the features 10 specified division is. The division of the form elements 10 for example, by the distances of their front and rear edges 10a . 10b from each other as well as by the distances of the edges 10b . 10a adjacent form elements 10 established. The division of the form elements 11 , which are formed by simple lines, for example, determined by their distance. The form elements 12 are eg circular rings. They contain concentric to their center 12a arranged circular edges 12b . 12c , which themselves represent form elements eg for different magnification scales of the measuring machine. The division is defined here by the center distances of the circular rings. Preferably, the edge is aligned 10a with a center of a formula element 12 as well as with the line-shaped form element 11 , The same applies to the edge 10b ,

Die Formelemente 11 gestatten die Bestimmung der Messunsicherheit der optischen Messeinrichtung bei großer und mittlerer Vergrößerung. Die Formelemente 10 dienen der Bestimmung der Messunsicherheit bei niedriger Vergrößerung bzw. Auflösung.The form elements 11 allow the bestim Measurement uncertainty of the optical measuring device at large and medium magnification. The form elements 10 serve to determine the measurement uncertainty at low magnification or resolution.

3 veranschaulicht eine weiter abgewandelte Ausführungsform in einem anderen Maßstab. Zu den Formelementen 10, 11 und 12 treten nun noch Formelemente 16 in Form matrixcodierter geometrischer Elemente hinzu. Diese sind in übereinstimmender Teilung mit den Formelementen 10, 11, 12 angeordnet, wie insbesondere aus 3 anhand der Kante 10a, des Mittelpunkts 12a und des strichförmigen Formelements 11 ersichtlich ist. Diese fluchten miteinander. Auf der gleichen gedachten Linie liegt eine Kante 16a des Formelements 16. 3 illustrates a further modified embodiment on a different scale. To the form elements 10 . 11 and 12 now form elements occur 16 in the form of matrix-coded geometric elements. These are in matching division with the form elements 10 . 11 . 12 arranged, in particular from 3 by the edge 10a , the center 12a and the line shaped element 11 is apparent. These are aligned with each other. There is an edge on the same imaginary line 16a of the formula element 16 ,

Das Formelement 16 kodiert die Absolutposition der Formelemente 16 auf der gebildeten Skala in maschinenlesbarer Form. Entsprechende 2D-Strichcodes sind von dem in der Messmaschine vorhandenen Bildverarbeitungsprogramm ohne weiteres zu erfassen.The form element 16 encodes the absolute position of the form elements 16 on the formed scale in machine readable form. Corresponding 2D barcodes are readily detectable by the image processing program present in the measuring machine.

Optional können außerdem alphanumerische Kennzeichnungen 17 vorgesehen sein, wie es ebenfalls aus 3 hervorgeht. Diese können als Skalenbeschriftung genutzt und optisch erfasst werden. Dazu kann z.B. Bildverarbeitungssoftware der Messmaschine dienen.Optionally, alphanumeric identifiers can also be provided 17 be provided, as it is also made 3 evident. These can be used as scale labels and optically recorded. For example, image processing software of the measuring machine can serve this purpose.

Der Prüfkörper kann wie bereits erwähnt, zur Erlangung eines ausreichenden Bildkontrasts beleuchtet sein. Dazu sind bei der Ausführungsform nach 1 eine Anzahl von Leuchtdioden 18 oder sonstige Lichtquellen vorgesehen, die beispielsweise die Unterseite 5 des Körpers 3 beleuchten. Dazu sind, wie 4 zeigt, Alternativen möglich. Beispielsweise kann der Körper 3 an einer oder mehreren Seiten beispielsweise an zwei Seitenflächen 6, 8 mit Lichtquellen z.B. in Form von Elektroluminiszenzfolien 19, 20 versehen sein, die die gesamte Seitenfläche 6, 8 oder Teile derselben einnehmen. Die Elektroluminiszenzfolien 19, 20 erzeugen diffuses Licht. Vorzugsweise ist der Körper 3 lichtstreuend, jedoch lichtdurchlässig ausgebildet, wodurch er mit dem von den Elektroluminiszenzfolien 19, 20 abgegebenem Licht eine diffuse Hintergrundbeleuchtung für die Formelemente 10, 11, 12 bildet. Es ist auch möglich, den Körper 3 vollkommen durchsichtig zu gestalten und lediglich die Oberseite 4 und gegebenenfalls die Unterseite 5 zu mattieren, um einen diffus leuchtenden Hintergrund für die Formelemente 10, 11, 12 zu bilden. Alternativ ist es möglich, den Körper 3 vollkommen transparent auszubilden und die Formelemente 10, 11, 12 durch mattierte Flächen der Oberseite 4 zu bilden. Die Unterseite 5 kann abgedunkelt, beispielsweise geschwärzt werden. Der Betrachter sieht dann die Formelemente 10, 11, 12 leuchtend vor dunklem Hintergrund.The specimen may, as already mentioned, be illuminated to obtain a sufficient image contrast. These are in the embodiment according to 1 a number of light-emitting diodes 18 or other light sources provided, for example, the bottom 5 of the body 3 illuminate. These are how 4 shows, alternatives possible. For example, the body can 3 on one or more sides, for example on two side surfaces 6 . 8th with light sources, for example in the form of electroluminescent films 19 . 20 Be provided with the entire side surface 6 . 8th or parts of it. The electroluminescent films 19 . 20 produce diffused light. Preferably, the body is 3 light-diffusing, but translucent, whereby it with that of the Elektroluminiszenzfolien 19 . 20 emitted light a diffuse backlight for the form elements 10 . 11 . 12 forms. It is also possible the body 3 completely transparent and only the top 4 and optionally the bottom 5 to frost to create a diffused glowing background for the features 10 . 11 . 12 to build. Alternatively, it is possible the body 3 form completely transparent and the form elements 10 . 11 . 12 through frosted surfaces of the top 4 to build. The bottom 5 can be darkened, for example blackened. The viewer then sees the form elements 10 . 11 . 12 shining in front of a dark background.

Es sind zahlreiche Varianten möglich. Eine solche zeigt beispielsweise 5. Dort ist der glasklare Körper 3 an zumindest einer Seitenfläche 8 und zum Beispiel seiner Unterseite 5 mit einer reflektierenden Beschichtung 21, 22 versehen, während eine andere Fläche, beispielsweise die Seitenfläche 6 frei bleibt. Hier kann Licht von einer nahen oder auch fernen Lichtquelle 23 beispielsweise einer Leuchtstofflampe eingestrahlt werden. Die Oberseite 4 kann wiederum mattiert sein. Auf ihr können die undurchsichtigen Formelemente 10, 11, 12 beispielsweise in Form einer Metallbedampfung angeordnet werden.There are many variants possible. Such shows, for example 5 , There is the crystal clear body 3 on at least one side surface 8th and, for example, its bottom 5 with a reflective coating 21 . 22 provided while another surface, for example, the side surface 6 remains free. Here can light from a near or distant light source 23 For example, a fluorescent lamp are irradiated. The top 4 again can be frosted. On it the opaque form elements can 10 . 11 . 12 be arranged for example in the form of a metal vapor deposition.

Erfindungsgemäß ist ein Prüfkörper 1 geschaffen, der mehrere vorzugsweise verschieden ausgebildete, jeweils in Reihen 13, 14, 15 angeordnete Formelemente 10, 11, 12 enthält, die auf unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe abgestimmt sind. Vorzugsweise sind diese Formelemente 10, 11, 12 in korrespondierender Teilung und Ausrichtung angeordnet. Sie befinden sich erfindungsgemäß räumlich dicht beieinander oder sogar auf gleicher Position, beispielsweise in Form konzentrischer Kreise 12b, 12c um einen gemeinsamen Mittelpunkt 12a. Die Kreise 12b, 12c können Kanten eines kreisringförmigen Formelements sein. Die verschiedenen Formelemente gestatten das Einmessen von Koordinatenmessgeräten mit variabler oder umschaltbarer Vergrößerung. Es wird noch darauf hingewiesen, dass der Begriff „Formelement" in der vorstehenden Beschreibung sowohl die Elemente 10, 11, 12 als auch deren Bestandteile, wie beispielsweise die Kanten 10a, 10b oder kreisförmigen Kanten oder Linien 12b, 12c umfasst. Insoweit ist die Erfindung in ihrem allgemeinsten von dem Wortlaut des Anspruchs 1 umfassten Sinn zu verstehen.According to the invention is a test specimen 1 created, the several preferably differently formed, each in rows 13 . 14 . 15 arranged form elements 10 . 11 . 12 contains, which are tuned to different image scales. Preferably, these form elements 10 . 11 . 12 arranged in corresponding division and orientation. They are according to the invention spatially close to each other or even in the same position, for example in the form of concentric circles 12b . 12c around a common center 12a , The circles 12b . 12c may be edges of a circular shaped element. The various form elements allow the calibration of coordinate measuring machines with variable or switchable magnification. It should also be noted that the term "form element" in the above description both the elements 10 . 11 . 12 as well as their components, such as the edges 10a . 10b or circular edges or lines 12b . 12c includes. In that regard, the invention is to be understood in its most general sense encompassed by the wording of claim 1.

11: Prüfkörperspecimen
22: Objektivlens
33: Körperbody
44: Oberseitetop
55: Unterseitebottom

6, 7, 8, 96 7, 8, 9: Seitenflächenfaces
10, 11, 1210 11, 12: Formelementeform elements
10a, 10b10a, 10b: Kantenedge
12a12a: MittelpunktFocus

12b, 12c12b, 12c: kreisförmige Kanten oder Liniencircular edges or lines
13, 14, 15 13 14, 15: Reihenstring
1616: Formelementeform elements
1717: alphanumerische Elementealphanumeric elements
1818: LeuchtdiodenLEDs
19, 2019 20: Elektrolumineszenzfolienelectroluminescent
21, 2221 22: Verspiegelungsilvering
2323: Lichtquellelight source

Claims

Test specimen ( 1 ) for testing the measurement uncertainty of coordinate measuring machines with optical sensor, measuring microscopes or measuring projectors, with a body ( 3 ), which has a flat side ( 4 ), on the form elements ( 10 . 11 . 12 ) in at least two different embodiments in at least two adjacent rows ( 13 . 14 . 15 ) are arranged.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the rows ( 13 . 14 . 15 ) are aligned parallel to each other.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the different form elements ( 10 . 11 . 12 ) in the at least two rows ( 13 . 14 . 15 ) are arranged in the same division or in an integer division ratio.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the different form elements ( 10 . 11 . 12 ) in the at least two rows ( 13 . 14 . 15 ) are aligned with each other.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the shaped elements ( 10 ) of an embodiment in its size of the form elements ( 11 ) of the other embodiment to allow the optical probing at different magnifications.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the shaped elements ( 10 ) an embodiment in its shape of the form elements ( 11 ) of the other embodiment.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the shaped elements ( 10 . 11 . 12 ) are line-shaped, circular rectangular or square.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the body ( 3 ) translucent translucent or transparent.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the body ( 3 ) is formed light-scattering.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the body ( 3 ) is provided with a fluorescent agent.

Test specimen according to claim 10, characterized in that the body ( 3 ) in one or more places or pages ( 6 . 8th ) carries a fluorescent coating.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the body ( 3 ) in one or more places or pages ( 6 . 8th ) a reflective coating ( 21 . 22 ) wearing.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the body ( 3 ) with a lighting device ( 19 . 20 ; 21 ) is provided.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the illumination device ( 19 . 20 ) with the body ( 3 ) connected is.

Test specimen according to claim 14, characterized in that the illumination device ( 19 . 20 ; 21 ) on at least two sides of the body ( 3 ) arranged lighting elements ( 19 . 20 ; 21 ) having.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the illumination device ( 21 ) of the body ( 3 ) is disconnected.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the molded elements ( 10 . 11 . 12 ) a machine-readable encoding ( 16 . 17 ) assigned.

Test specimen according to claim 1, characterized in that the shaped elements ( 16 ) in at least one embodiment carry or are a machine-readable pattern.