DE202004021181U1 - Handling device for positioning test head in e.g. device holder, has horizontal slide adjusted in horizontal transverse direction, and swivel arm arranged at slide, where holder is arranged at arm and guiding rail is arranged at girder - Google Patents
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- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient. Die Handhabungsvorrichtung ist mit Positionierungsmitteln versehen, durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist. Zudem ist die Handhabungsvorrichtung mit einer Halterung versehen, die mit den Positionierungsmitteln verbunden ist und an welcher der Testkopf befestigbar ist.The The invention relates to a handling device, in particular for positioning a test head on a tester. The handling device is provided with positioning means through which a test head is positionable in space. In addition, the handling device with a bracket which is connected to the positioning means is and to which the test head can be fastened.
Eine Handhabungsvorrichtung oder Manipulator zum Positionieren eines Testkopfs verfügt üblicherweise über mehrere Translations- und Rotationsfreiheitsgrade und ist insofern geeignet, den Testkopf exakt im Raum zu positionieren. Anwendung findet eine solche Handhabungsvorrichtung daher in der Regel bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer. Um die Funktionsfähigkeit der elektronischen Bauelemente testen zu können, ist es erforderlich, den verhältnismässig schweren Testkopf präzise an eine Prüfeinrichtung heranzufahren. Die Prüfeinrichtung, beispielsweise ein Devicehandler oder Waferprober, stellt die durch den Testkopf zu prüfenden elektronischen Bauelemente bereit. Ein unverfälschtes Messergebnis bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente setzt ein genaues Andocken des Testkopfs an der Prüfeinrichtung voraus. Aus diesem Grund ist eine präzise und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung unerlässlich.A Handling device or manipulator for positioning a Test head usually has several Translational and rotational degrees of freedom and is therefore suitable position the test head exactly in the room. Application finds one Such handling device therefore usually in the examination of electronic components, such as integrated circuits (IC) or wafers. To the functionality electronic components, it is necessary to the relatively heavy one Test head accurate to a test facility : approaching. The testing device, For example, a Devicehandler or Waferprober, by to test the test head electronic components ready. An undistorted measurement result in the exam The electronic components requires an accurate docking of the test head at the test facility ahead. For this reason, a precise and smooth adjustment the handling device positioning the test head is essential.
Die
Weiterhin
beschreibt die
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Handhabungsvorrichtung zu schaffen, mittels der sich eine vielfältige und zugleich reproduzierbare Verstellung erzielen lässt.Of the Invention is the object of a handling device to create, by means of a diverse and at the same time reproducible adjustment achieve.
Zur Lösung dieser Aufgabe weist eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art in Übereinstimmung mit Anspruch 1 erfindungsgemäss Positionierungsmittel auf, die eine Säule, die sich in vertikaler Richtung erstreckt und in einer horizontalen Längsrichtung verstellbar an einem Untergestell angeordnet ist, einen Horizontalschlitten, der in der vertikalen Richtung verstellbar an der Säule angeordnet und in einer horizontalen Querrichtung, die sich orthogonal zu der horizontalen Längsrichtung erstreckt, verschiebbar ist, und einen Schwenkarm, der an dem Horizontalschlitten angeordnet und um eine sich in der vertikalen Richtung erstreckende Achse schwenkbar ist, umfassen. Die Halterung ist an dem Schwenkarm angeordnet.to solution This object has a handling device of the aforementioned Sort in accordance with claim 1 according to the invention positioning on, the one pillar, which extends in the vertical direction and in a horizontal longitudinal direction is adjustably arranged on a subframe, a horizontal slide, which is arranged in the vertical direction adjustable on the column and in a horizontal transverse direction orthogonal to the horizontal longitudinal direction extends, is slidable, and a pivot arm, which is on the horizontal slide arranged and extending one in the vertical direction Axis is pivotally include. The bracket is on the swivel arm arranged.
Die erfindungsgemässe Handhabungsvorrichtung beruht auf der Erkenntnis, einen Horizontalschlitten vorzusehen, der in der horizontalen Querrichtung verschiebbar ist und auf diese Weise eine sogenannte "Side to side"-Bewegung ermöglicht. Das Untergestell stellt eine ausreichende Standfestigkeit der Handhabungsvorrichtung sicher. Die verstellbare Anordnung der Säule an dem Untergestell ermöglicht eine sogenannte „In and out"-Bewegung in der horizontalen Längsrichtung. Der eine Translationsbewegung ausführende Horizontalschlitten lässt sich präzise und reproduzierbar in horizontaler Richtung verstellen. Darüber hinaus lässt sich die Translationsbewegung des Horizontalschlittens mit der Rotationsbewegung des an dem Horizontalschlitten angeordneten Schwenkarms überlagern. Der um eine sich in der vertikalen Richtung erstreckende Achse schwenkbare Schwenkarm ermöglicht eine sogenannte „Swing"-Bewegung, so dass sich eine vielfältige Verstellung in horizontaler Richtung ergibt.The invention Handling device based on the knowledge, a horizontal slide to provide, which is displaceable in the horizontal transverse direction and in this way a so-called "side to side" movement allows. The Underframe provides sufficient stability of the handling device for sure. The adjustable arrangement of the column on the base allows a so-called "In and out "movement in the horizontal Longitudinal direction. The one translational movement exporting horizontal carriage let yourself precise and reproducibly adjust in horizontal direction. Furthermore let yourself the translational movement of the horizontal carriage with the rotational movement superimpose the arranged on the horizontal slide pivot arm. The pivotable about an axis extending in the vertical direction Swing arm allows a so-called "swing" movement, so that a diverse one Adjustment in the horizontal direction results.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Ansprüche 2 bis 12 dar.advantageous Embodiments of the inventive handling device put the objects the claims 2 to 12 dar.
Zweckmässigerweise weist das Untergestell wenigstens einen sich in der Längsrichtung erstreckenden Tragbalken auf, an dem eine Führungsschiene, auf der die Säule bewegbar ist, angeordnet ist. Die Führungsschiene gewährleistet eine zuverlässige und reproduzierbare Verstellung der Säule an dem Untergestell. Um eine ausreichende Standfestigkeit der Säule zu erreichen, ist es ferner zweckmässig, die Säule mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Untergestell zu arretieren.Expediently, the underframe has at least one supporting beam extending in the longitudinal direction, on which a guide rail on which the column can be moved is arranged. The guide rail ensures a reliable casual and reproducible adjustment of the column on the base. In order to achieve a sufficient stability of the column, it is also expedient to lock the column by means of locking means in a predetermined position on the base frame.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ist die Säule mit wenigstens einer Führungsschiene versehen, auf der ein Vertikalschlitten in der vertikalen Richtung bewegbar ist. Der Vertikalschlitten, an dem vorzugsweise der Horizontalschlitten befestigt ist und der als Linearmotor ausgestaltet sein kann, ermöglicht eine sogenannte „Vertical"-Bewegung. Zu einer zuverlässigen Positionierung trägt bei, wenn der Vertikalschlitten vorteilhafterweise mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an der Säule arretierbar ist.In a preferred embodiment of the inventive handling device is the pillar with at least one guide rail provided on which a vertical slide in the vertical direction is movable. The vertical slide, on which preferably the horizontal slide is attached and can be configured as a linear motor, allows a so-called "Vertical" movement. For a reliable positioning contributes, when the vertical slide advantageously by means of locking means can be locked in a predetermined position on the column.
Bevorzugt weist der Horizontalschlitten ein an dem Vertikalschlitten angeordnetes Führungsteil und ein in der Querrichtung bewegbar an dem Führungsteil angeordnetes Laufteil auf. Das Führungsteil und das Laufteil können Bestandteil eines eine elektrische Verstellung ermöglichenden Linearmotors sein. Um eine zuverlässige Positionierung zu gewährleisten, ist vorteilhafterweise das Laufteil mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung an dem Führungsteil arretierbar.Prefers the horizontal slide has a arranged on the vertical slide Leadership part and a traveling part arranged movably in the transverse direction on the guide part on. The leadership part and the running part can Part of an electrical adjustment enabling Be a linear motor. To ensure reliable positioning, is advantageously the running part by means of locking can be locked in a predetermined position on the guide part.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ist der Schwenkarm um einen vorgegebenen Winkel, der vorzugsweise 90° beträgt, schwenkbar und mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbar. In diesen Zusammenhang hat es sich als zweckmässig erwiesen, eine Führungsplatte an dem Horizontalschlitten anzuordnen, an welcher der Schwenkarm arretierbar ist. Die Führungsplatte kann mit Anschlagflächen versehen sein, durch welche die Schwenkbewegung des Schwenkarms begrenzt wird. Alternativ oder zusätzlich kann der Horizontalschlitten mit wenigstens einer Anschlagfläche versehen sein, welche die Schwenkbewegung des Schwenkarms begrenzt.In a preferred embodiment of the inventive handling device is the swing arm by a predetermined angle, preferably 90 °, swiveling and lockable by means of locking means in a predetermined position. In this context, it has proved to be useful, a guide plate to arrange on the horizontal slide, on which the swivel arm lockable. The guide plate can with stop surfaces Be provided by which the pivotal movement of the swing arm is limited. Alternatively or additionally, the horizontal slide with at least one stop surface be provided, which limits the pivotal movement of the swing arm.
Bevorzugt ist die Halterung mit zwei Seitenarmen versehen, zwischen denen der Testkopf eingespannt werden kann. Die den Testkopf einspannenden Seitenarme gewährleisten eine sichere Befestigung des Testkopfs, und zwar auch dann, wenn dieser verhältnismässig schwer ist.Prefers the bracket is provided with two side arms, between which the test head can be clamped. The spanning the test head Ensure side arms a secure attachment of the test head, even if this relatively heavy is.
Vorteilhafterweise lässt sich der Testkopf um eine erste Rotationsachse drehbar an den Seitenarmen anordnen und mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretieren. Die sich vorzugsweise in horizontaler Richtung erstreckende erste Rotationsachse ermöglicht eine sogenannte „Tumble"-Bewegung des Testkopfs. Werden beispielsweise die Drehpunkte des Testkopfs für die erste Rotationsachse linear verschiebbar angeordnet, so lässt sich zudem eine sogenannte „Theta"-Bewegung des Testkopfs realisieren.advantageously, let yourself the test head rotatable about a first axis of rotation on the side arms arrange and by means of locking in a predetermined position lock. The preferably extending in the horizontal direction first axis of rotation allows a so-called "tumble" movement of the test head. For example, the pivot points of the test head for the first Rotary axis arranged linearly displaceable, so can be also a so-called "theta" movement of the test head realize.
Ausserdem ist es von Vorteil, die Halterung mit einer Drehführung zu versehen, durch die der Testkopf um eine zweite Rotationsachse, die sich vorzugsweise orthogonal zu der ersten Rotationsachse erstreckt, drehbar ist. Die mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbare Drehführung ermöglicht eine sogenannte „Twist"-Bewegung des Testkopfs.Moreover it is advantageous to use the bracket with a rotary guide too provided by the test head about a second axis of rotation, which preferably extends orthogonal to the first axis of rotation, is rotatable. The means of locking means in a predetermined Position lockable rotary guide allows a so-called "twist" movement of the test head.
Einzelheiten und weitere Vorteile der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. In den das Ausführungsbeispiel lediglich schematisch darstellenden Zeichnungen veranschaulichen im einzelnen:details and further advantages of the inventive handling device will be apparent from the following description of a preferred Embodiment. In the the embodiment illustrate only schematically representing drawings in detail:
Die
in
Die
sich in vertikaler Richtung z erstreckende Säule
Wie
An
dem Vertikalschlitten
Wie
insbesondere die
Die
an dem Schwenkarm
Die
zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung zeichnet sich durch eine
vielfältige
und zugleich reproduzierbare Verstellung des Testkopfs
Weiterhin
trägt zu
einer mannigfaltigen Verstellung des Testkopfs
- 1010
- Untergestellundercarriage
- 1111
- Tragbalkenstringers
- 1212
- Führungsschieneguide rail
- 1313
- Traversetraverse
- 1414
- Tellerfussplate base
- 1515
- Abdeckplattecover
- 2020
- Säulepillar
- 2121
- Führungsschieneguide rail
- 2222
- Vertikalschlittenvertical slide
- 3030
- Horizontalschlittenhorizontal slide
- 3131
- Führungsteilguide part
- 3232
- Laufteilrunning part
- 3333
- FeststellhebelLocking lever
- 4040
- Schwenkarmswivel arm
- 4141
- Führungsplatteguide plate
- 4242
- FeststellhebelLocking lever
- 5050
- Halterungbracket
- 5151
- Seitenarmsidearm
- 5252
- FeststellhebelLocking lever
- 5353
- Grundplattebaseplate
- 6060
- Testkopftest head
- xx
- horizontale Längsrichtunghorizontal longitudinal direction
- yy
- horizontale Querrichtunghorizontal transversely
- zz
- vertikale Richtungvertical direction
- αα
- Winkelangle
Claims (12)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE202004021181U DE202004021181U1 (en) | 2004-02-20 | 2004-02-20 | Handling device for positioning test head in e.g. device holder, has horizontal slide adjusted in horizontal transverse direction, and swivel arm arranged at slide, where holder is arranged at arm and guiding rail is arranged at girder |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE202004021181U DE202004021181U1 (en) | 2004-02-20 | 2004-02-20 | Handling device for positioning test head in e.g. device holder, has horizontal slide adjusted in horizontal transverse direction, and swivel arm arranged at slide, where holder is arranged at arm and guiding rail is arranged at girder |
DE200410008403 DE102004008403A1 (en) | 2004-02-20 | 2004-02-20 | Handling device for positioning a test head on a testing device comprises a column, a horizontal carriage, a pivoting arm arranged on the horizontal carriage, and a holder arranged on the pivoting arm |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE202004021181U1 true DE202004021181U1 (en) | 2007-02-01 |
Family
ID=37735823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE202004021181U Expired - Lifetime DE202004021181U1 (en) | 2004-02-20 | 2004-02-20 | Handling device for positioning test head in e.g. device holder, has horizontal slide adjusted in horizontal transverse direction, and swivel arm arranged at slide, where holder is arranged at arm and guiding rail is arranged at girder |
Country Status (1)
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DE (1) | DE202004021181U1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101383313B (en) * | 2008-10-24 | 2010-06-16 | 陈百捷 | Manipulator for fetching and delivering silicon chip |
CN106965157A (en) * | 2017-04-06 | 2017-07-21 | 苏州金逸康自动化设备有限公司 | A kind of manipulator for carrying plurality of specifications anchor ear skin |
CN107627289A (en) * | 2017-10-11 | 2018-01-26 | 佛山市新鹏机器人技术有限公司 | A kind of truss flexibility loading and unloading robot system |
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2004
- 2004-02-20 DE DE202004021181U patent/DE202004021181U1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101383313B (en) * | 2008-10-24 | 2010-06-16 | 陈百捷 | Manipulator for fetching and delivering silicon chip |
CN106965157A (en) * | 2017-04-06 | 2017-07-21 | 苏州金逸康自动化设备有限公司 | A kind of manipulator for carrying plurality of specifications anchor ear skin |
CN106965157B (en) * | 2017-04-06 | 2023-10-24 | 建华建材(中国)有限公司 | Manipulator capable of carrying hoop skins of various specifications |
CN107627289A (en) * | 2017-10-11 | 2018-01-26 | 佛山市新鹏机器人技术有限公司 | A kind of truss flexibility loading and unloading robot system |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R207 | Utility model specification |
Effective date: 20070308 |
|
R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 20070316 |
|
R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20100315 |
|
R158 | Lapse of ip right after 8 years |
Effective date: 20120901 |