DE20101545U1 - Vorrichtung zum Antrieb eines eine Hubbewegung und eine Schwenkbewegung ausführenden Organs - Google Patents

Description

Anmelder: SPN Schwabenpräzision
Fritz Hopf GmbH
Glashütter Strasse 2
86720 Nördlingen

Vorrichtung zum Antrieb eines eine Hubbewegung und eine Schwenkbewegung ausführenden Organs

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Antrieb eines eine translatorisch hin- und hergehende Hubbewegung und eine rotative Schwenkbewegung ausführenden Organs, insbesondere eines einer Produktionseinrichtung für unter Vakuum zu bearbeitende Werkstücke zugeordneten Werkstücktransportorgans, mit einer das Organ aufnehmenden Welle, die auf einem aus einem Vorrichtungsgehäuse ausfahrbaren Lagerkörper drehbar gelagert und mit einem den Lagerkörper hintergreifenden Antriebsrad versehen ist, das mit einem im Vorrichtungsgehäuse gelagerten, mittels eines Motors antreibbaren Langritzel im Eingriff ist, wobei vom Lagerkörper mehrere, im Vorrichtungsgehäuse verschiebbar gelagerte Führungsstangen abstehen, die gegenüber einer Mitnehmerplatte abgestützt sind, die mittels einer einen weiteren Motor und eine hiervon antreibbare Spindeltriebanordnung enthaltenden Vorschubeinrichtung verschiebbar ist.

• ·

Eine Vorrichtung dieser Art ist aus der DE-U 298 20 787 bekannt. Bei dieser bekannten Anordnung enthält die Vorschubeinrichtung lediglich eine Gewindespindel, die mit einer auf der Mitnehmerplatte angeordneten Gewindebüchse zusammenwirkt. Diese

Spindelanordnung ist gegenüber der Achse der Welle seitlich versetzt. Es ergibt sich daher eine außermittige Einleitung der Vorschubkraft in die Mitnehmerplatte und damit in die ganze, eine Hubbewegung ausführende Baugruppe. Es kann daher zu Kippbewegungen dieser Baugruppe und damit insbesondere auch des auf der Welle aufnehmbaren Organs kommen. Sofern das auf der Welle aufnehmbare Organ dichtend an eine Wand angestellt werden muss, was der Fall ist, wenn Werkstücke unter Vakuum bearbeitet werden müssen, führt die Kippgefahr zur Gefahr von Undichtheiten, was unerwünscht ist. Dieser Nachteil wird dabei dadurch noch verschärft, dass sich in Folge eines einseitig wirkenden Vakuums sehr hohe Anstellkräfte ergeben. Ein weiterer Nachteil der bekannten Anordnung ist darin zu sehen, dass die hier vorhandene, eine Spindelanordnung die notwendigen Vorschub- und Anstellkräfte allein aufnehmen muss. Es ergibt sich daher auch eine sehr voluminöse und sperrige Anordnung. Die bekannte Anordnung erweist sich demnach für Fälle vorstehend genannter Art als nicht zuverlässig genug.

Hiervon ausgehend ist es daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung eingangs erwähnter Art unter Beibehaltung ihrer Vorteile und Vermeidung ihrer Nachteile mit einfachen und kostengünstigen Mitteln so zu verbessern, dass auch beim Auftreten hoher, von der Vorschubeinrichtung aufzubringender Kräfte eine Kippgefahr weitestgehend ausgeschlossen ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Vorschubeinrichtung mehrere, achsparallel zur Welle und bezüglich dieser mit gleichmäßiger Umfangsverteilung angeordnete, im Gehäuse gelagerte Gewindespindeln aufweist, die mit zugeordneten, auf der Mitnehmerplatte aufgenommenen Gewindebüchsen im Eingriff und über ein Verteilergetriebe antriebsmäßig mit dem zugeordneten Motor verbunden sind.

Die erfindungsgemäße Ausbildung der Spindeltriebanordnung als Mehrspindelanordnung ergibt in vorteilhafter Weise eine Verteilung der aufzubringenden Vorschub- und Anstellkräfte auf mehrere Spindeln. Diese können daher vergleichsweise leicht ausgeführt sein, was eine vergleichsweise schlanke Bauweise und einfache und genaue Herstellung ermöglicht. Das die Mehrspindelanordnung antriebsmäßig mit dem zugeordneten Motor verbindende Verteilergetriebe stellt in vorteilhafter Weise sicher, dass trotz der Ausbildung der Spindeltriebanordnung als Mehrspindelanordnung ein zugeordneter Antriebsmotor ausreicht, was im Hinblick auf die Erzielung einer platzsparenden Bauweise ebenfalls erwünscht ist. Außerdem ermöglicht das Verteilergetriebe auf einfache Weise eine Anpassung der gewünschten Übersetzung an die Verhältnisse des Einzelfalls.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und zweckmäßige Fortbildungen der übergeordneten Maßnahmen sind in den Unteransprüchen angegeben. So kann das Verteilergetriebe zweckmäßig als Stirnradgetriebe ausgebildet sein. Dies ergibt in vorteilhafter Weise eine sehr schlanke Bauweise. Außerdem ergibt sich hierbei in vorteilhafter Weise automatisch ein seitlicher Versatz des Getriebeeingangs gegenüber dem Getriebeausgang und damit automatisch ein seitlicher Versatz des Motors gegenüber den Spindeln. Der Motor kann daher in vorteilhafter

Weise achsparallel zum dem Schwenkantrieb zugeordneten Motors achsparalleler Anordnung neben dem Vorrichtungsgehäuse plaziert sein, was eine sehr kurze, kompakte Bauweise ergibt.

Vorteilhaft kann das Verteilergetriebe in einen an das Vorrichtungsgehäuse ansetzbaren, das Getriebegehäuse bildenden Deckel integriert sein, der einen seitlich über das Vorrichtungsgehäuse hinausragenden Vorsprung aufweist, auf dem der zugeordnete Motor aufnehmbar ist. Dies ermöglicht eine komplette Vormontage der Motor-Getriebe-Baugruppe.

Eine weitere vorteilhafte Maßnahme kann darin bestehen, dass der der Hubbewegung zugeordnete Motor zumindest in der letzten Phase der Hubbewegung drehmomentgesteuert ist. Hierdurch wird erreicht, dass eine zwischen dem auf der Welle aufgenommenen Organ und einer diesem zugeordneten Wand vorhandene Dichtung stets unabhängig von der vorhandenen Dicke der Dichtung mit einer vorgegebenen Kraft an die zugeordneten Dichtflächen angepresst wird. Es wird daher auch noch im Falle einer Ermüdung des Dichtungsmaterials eine zuverlässige Abdichtung erreicht, was lange Wartungs- und Instandhaltungsintervalle gewährleistet.

Bei einer einer Produktionseinrichtung für unter Vakuum zu bearbeitende Werkstücke zugeordneten Vorrichtung erfindungsgemäßer Art kann in weiterer Fortbildung der übergeordneten Maßnahmen vorgesehen sein, dass das Vakuumgehäuse im Bereich einer dem aus dem Vorrichtungsgehäuse ausfahrbaren Lagerkörper zugeordneten Öffnung vakuumdicht abgedichtet ist. Hierzu können zwischen dem Lagerkörper und dem Vakuumgehäuse ein Balg vorgesehen und gleichzeitig die Welle gegenüber dem Lagerkörper durch eine

Dichtringanordnung abgedichtet sein. Durch diese Maßnahmen wird sichergestellt, dass über die dem Lagerkörper bzw. der Welle zugeordnete Eingriffsöffnung des mit Vakuum beaufschlagbaren Gehäuses keine Schwächung des Vakuums erfolgen kann.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und zweckmäßige Fortbildungen der übergeordneten Maßnahmen sind in den restlichen Unteransprüchen angegeben und aus der nachstehenden Beispielsbeschreibung an Hand der Zeichnung näher entnehmbar.

In der nachstehend beschriebenen Zeichnung zeigen:

Figur 1 eine Teilansicht einer disk-Produktionseinrichtung mit einem Werkstücktransportorgan mit zugeordneter Antriebseinrichtung teilweise im Schnitt,

Figur 2 eine vergrößerte Darstellung der in Figur lvorgesehenen Antriebseinrichtung,

Figur 3 einen Vertikalschnitt entlang der Linie III/III in Figur 2,

Figur 4 einen Horizontalschnitt entlang der Linie IV/IV in Figur 2 und

Figur 5 einen Horizontalschnitt entlang der Linie V/V in Figur 2.

Bei der Herstellung sogenannter disks für CD-rom-Laufwerke oder CD-player etc. muss vielfach unter Vakuum gearbeitet werden. Die der Figur 1 zu Grunde liegende Produktionseinrichtung enthält daher ein mit Vakuum beaufschlagbares Gehäuse 1 (im Folgenden als

Vakuumgehäuse 1 bezeichnet), das eine Zwischenwand 2 mit &Idigr; aufeinander folgenden Arbeitsstationen zugeordneten Ausnehmungen 3 aufweist. Durch die Zwischenwand 2 werden zwei Kammern 4, 5 gebildet, wobei in der oberen Kammer 4 ein vergleichsweise starkes, bei der Herstellung benötigtes Vakuum erzeugt wird. Die untere Kammer 5 dient als Schleusenkammer, in der ein geringeres Vakuum herrscht.

Die Werkstücke werden mittels eines in der Kammer 4 sich befindenden Transportorgans 6 von einer Arbeitsstation zur nächsten weiter transportiert. Das Transportorgan 6 ist hier als auf einer in die Kammer 4 des Vakuumgehäuses 1 eingeführten Welle 7 aufgenommene Tragscheibe ausgebildet, die mit zur Aufnahme der Werkstücke geeigneten Aufnahmeeinrichtungen 8 versehen ist, deren Anordnungsbild dem Anordnungsbild der Arbeitsstationen entspricht.

Das Transportorgan 6 ist mit seinen Aufnahmeeinrichtungen 8 durch eine auf- und abgehende Hubbewegung an die Unterseite der Zwischenwand 2 anstellbar bzw. hiervon abstellbar, wie in Figur 1 durch unterbrochene Linien angedeutet ist. Im mit durchgezogenen Linien gezeichneten, abgestellten Zustand erfolgt eine Schwenkbewegung um die Scheibenachse, wobei der Schwenkwinkel dem Winkelabstand der aufeinander folgenden Arbeitsstationen entspricht. Im mit unterbrochenen Linien angedeuteten, angestellten Zustand werden die Ausnehmungen 3 der Zwischenwand 2 durch die Aufnahmeeinrichtungen 8 von unten verschlossen. Diese sind zur Erzielung einer hermetischen Abdichtung mit umlaufenden Dichtringen 9 versehen, die die jeweils zugeordnete Ausnehmung 3 umfassend an die Zwischenwand 2 angedrückt werden. Auf diese Weise ist sichergestellt, dass das zur Bearbeitung erforderliche, in der oberen Kammer 4 erzeugte Vakuum durch die Verhältnisse in der unteren

V ·<

Kammer 5 nicht gestört wird. Eine zuverlässige Abdichtung ist dabei f allerdings nur gewährleistet, wenn eine exakte, kippfreie Anlage der Dichtringe 9 sichergestellt ist.

Zur Bewerkstelligung der erwähnten Hub- und Schwenkbewegungen des Transportorgans 6 ist diesem eine die oben bereits erwähnte, das Transportorgan 6 aufnehmende Welle 7 enthaltende Antriebsvorrichtung 10 zugeordnet, die zwei der Hub- bzw. Schwenkbewegung zugeordnete Antriebsmotoren 11, 12 enthält. Die Antriebsvorrichtung 10 ist außerhalb des Vakuumgehäuses 1 angeordnet, dessen untere Wand eine der Welle 7 zugeordnete Einführöffnung 13 aufweist. Die Welle 7 ist, wie aus den Figuren 1 bis 3 erkennbar ist, auf einem Lagerkörper 14 drehbar gelagert, der in einem am Vakuumgehäuse 1 anbringbaren Gehäuse 15 der Antriebsvorrichtung (im folgenden als Vorrichtungsgehäuse 15 bezeichnet) in axialer Richtung verschiebbar angeordnet ist.

Der Lagerkörper 14 ist von der Welle 7 durchgriffen, die an ihrem unteren Ende mit einem unterhalb des Lagerkörpers 14 angeordneten, im dargestellten Beispiel einteilig angeformten, Antriebsrad 16 versehen ist, das mit einem benachbarten, im Vorrichtungsgehäuse 15 gelagerten Langritzel 17 im Eingriff ist, das direkt oder unter Zwischenschaltung eines vorzugsweise als Planetengetriebe ausgebildeten Untersetzungsgetriebes 18 durch den zugeordneten Motor 11 antreibbar ist. Die aus Motor 11 und Getriebe 18 bestehende Baueinheit kann dabei an einen das Langritzel 17 aufnehmenden, seitlichen Gehäusevorsprung des Vorrichtungsgehäuses 15 in zur Welle 7 achsparalleler Anordnung angeflanscht sein. Zur Bewerkstelligung einer guten Schmierung ist dem Langritzel 17 im dargestellten Beispiel ein Filzrad 19 zugeordnet. Das Langritzel 17 ist so lang, dass das

I Antriebsrad 16 auf seinem ganzen Hub nicht außer Eingriff mit dem I

Langritzel 17 kommt.

Der Lagerkörper 14 ist, wie aus Figuren 1 und 2 hervorgeht, mit nach unten abstehenden Führungsstangen 20 versehen, die in axialer Richtung verschiebbar im Vorrichtungsgehäuse 15 gelagert sind, wie durch die Lager 21 angedeutet ist. Die Führungsstangen 20 durchgreifen einen genauseseitigen Zwischenboden 22, der das Vorrichtungsgehäuse 20 in einen oberen, dem Lagerkörper 14 zugeordneten Bereich und einen unteren Bereich unterteilt und auch den oben erwähnten, dem Motor 11 zugeordneten Gehäusevorsprung enthält. Im dargestellten, besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel sind, wie am besten aus Figur 4 erkennbar ist, vier Führungsstangen 20 vorgesehen, die im Bereich der Ecken des hier einen etwa trapezförmigen Querschnitt aufweisenden, unteren Bereichs des Vorrichtungsgehäuses 15 angeordnet sind, durch dessen Zentrum die Achse der Welle 7 geht.

Die Führungsstangen 20 sind unterhalb des Zwischenbodens 22 durch eine Mitnehmerplatte 23 miteinander verbunden. Die von den Führungsstangen 20 durchgriffene Mitnehmerplatte 23 ist im dargestellten Beispiel durch Sprengringe 24 spielfrei an den Führungsstangen 20 abgestützt. An der Mitnehmerplatte 23 greift eine Vorschubeinrichtung an, durch die die Mitnehmerplatte 23 und mit dieser über die Führungsstangen 20 der Lagerkörper 14 samt hierauf gelagerter Welle 7 heb- und senkbar sind.

Die vorstehend erwähnte Vorschubeinrichtung enthält, wie am besten aus Figur 3 erkennbar ist, mehrere, achsparallel zur Welle 7 angeordnete, im Vorrichtungsgehäuse 15 drehbar gelagerte

Gewindespindeln 25, die mit zugeordneten, auf der Mitnehmerplatte 23 I aufgenommenen Gewindebüchsen 26 im Eingriff sind. Die Gewindespindeln 25 sind mit ihrem oberen Ende im gehäuseseitigen Zwischenboden 22 und mit ihrem unteren Ende in einem abnehmbaren Gehäusedeckel 27 gelagert. Die Gewindespindeln 25 sind zur Vermeidung von auf die aus dem Vorrichtungsgehäuse 15 ausfahrbare, die Welle 7 enthaltende Baugruppe wirkenden Kippkräften bezüglich der Achse der Welle 7 mit gleichmäßiger Umfangsverteilung, d.h. mit gleichem Winkelabstand, angeordnet. Dasselbe gilt natürlich für die den Gewindespindeln 25 zugeordneten Gewindebüchsen 26. Im dargestellten, bevorzugten Ausfuhrungsbeispiel sind, wie am besten aus Figur 4 erkennbar ist, zwei Gewindespindeln 25 vorgesehen, die bezüglich der Achse der Welle 7 um 180° gegeneinander versetzt sind. Selbstverständlich könnten auch mehr als zwei Gewindespindeln 25 vorgesehen sein. In jedem Fall ist dabei auf die erwähnte, gleichmäßige Umfangsverteilung bezüglich der Achse der Welle 7 zu achten.

Die Gewindespindeln 25 sind, wie am besten aus Figur 2 entnehmbar ist, mittels eines in den oben erwähnten Gehäusedeckel 27 integrierten Verteilergetriebes 28 antriebsmäßig mit dem zugeordneten, gemeinsamen Antriebsmotor 12 verbunden. Das Verteilergetriebe 28 ist hier als flaches Stirnradgetriebe ausgebildet, so dass sich automatisch ein Seitenversatz zwischen Getriebeeingang und Getriebeausgang ergibt. Der Motor 12 kann dementsprechend in bezüglich des Motors 11 und der Welle 7 achsparalleler Anordnung seitlich neben dem Gehäuse 15 plaziert sein. Der als dem Verteilergetriebe 28 zugeordnetes Getriebegehäuse fungierende Gehäusedeckel 27 kann dabei eine über die Außenwand des Vorrichtungsgehäuses 15 seitlich vorspringende Auskragung 29 aufweisen, auf die der Motor 12 aufgesetzt sein kann. Dieser befindet sich somit, wie der Motor 11, neben dem

<»·· et ·. i is &ngr;

Vorrichtungsgehäuse 15, so dass sich insgesamt eine vergleichsweise | kurze, kompakte Bauweise ergibt, wie die Figuren 1 und 2 erkennen lassen.

Das Verteilergetriebe 28 enthält, wie aus Figur 5 ersichtlich ist, ein eingangsseitiges, durch den Motor 12 antreibbares Ritzel 30 und mehrere, d.h. eine der Anzahl der Gewindespindeln 25 entsprechende Anzahl, also hier zwei Stirnräder 31, die über ein Zwisehenrad 32 mit dem Ritzel 30 antriebsmäßig verbunden sind. Im dargestellten Beispiel ist das Verteilergetriebe 28 als zweistufiges Getriebe ausgebildet. Das Zwischenrad 32 ist dementsprechend, wie die Figuren 2 und 5 weiter erkennen lassen, als Doppelrad ausgebildet, dessen großer Zahnkranz mit dem Ritzel 30 und dessen kleinerer Zahnkranz mit den Stirnrädern 31 kämmen. Das den Gehäusedeckel 27 bildende Getriebegehäuse des Verteilergetriebes 28 ist, wie Figur 2 weiter zeigt, zweiteilig ausgebildet, so dass die Getrieberäder einfach montierbar sind. Das Verteilergetriebe samt Antriebsmotor 12 bildet eine Baugruppe, die komplett vormontiert werden kann.

Der Motor 12 ist zweckmäßig als Servomotor ausgebildet, der in der letzten Phase der Aufwärtsbewegung drehmomentgesteuert ist. Ansonsten kann der Motor 12 weggesteuert sein. Auf diese Weise ist sichergestellt, dass die in Figur 1 gezeigten Dichtringe 9 unabhängig von ihrer Dicke zuverlässig an die Zwischenwand 12 angepresst und damit eine zuverlässige Dichtung erreicht werden. Um in den Endlagen der auf- und abbewegbaren Baugruppe harte Stöße zu vermeiden, sind, wie aus den Figuren 1 bis 3 hervorgeht, Dämpfungsfedern 33, 34 vorgesehen. Die oberen Dämpfungsfedern 33 sind dabei so auf der Mitnehmerplatte 23 angeordnet, dass sie an einem zugeordneten Stößel des Zwischenbodens 12 anlaufen können. Die unteren

Dämpfungsfedem sind auf dem Gehäusedeckel 27 aufgenommen und durch an der Mitnehmerplatte 23 abgestützte Distanzbüchsen 35 kontaktierbar. Zweckmäßig können die Dämpfungsfedern 33, 34 als die Gewindespindeln 25 umfassende, vorzugsweise durch Tellerfedern gebildete Federpakete ausgebildet sein.

Um ein Eindringen von Außenluft über die Einführöffnung 13 in das Vakuumgehäuse 1 und damit einen Vakuumverlust zu vermeiden, ist die Öffnung 13 des Vakuumgehäuses 1 vakuumdicht verschlossen. Hierzu ist, wie Figur 1 anschaulich zeigt, zum einen zwischen dem Vakuumgehäuse 1 und dem die Ausnehmung 13 durchgreifenden Lagerkörper 14 der Antriebsvorrichtung 10 ein Faltenbalg 36 vorgesehen. Dieser ist zweckmäßig als Metallbalg ausgebildet, der eine hohe Lastwechselzahl ermöglicht. Der Faltenbalg 36 ist mit seinem oberen Ende an einem Flanschring 37 befestigt, der die Ausnehmung 13 umfassend am Vakuumgehäuse 1 festlegbar ist. Das untere Ende des Faltenbalgs 36 ist an einem Außenflansch 38 des Lagerkörpers 14 befestigt. Außerdem ist die auf dem Lagerkörper 14 gelagerte Welle 7 mittels einer der Lagerung vorgeordneten Dichtringanordnung 39 gegenüber dem Lagerkörper 14 abgedichtet. Durch diese Dichtmaßnahmen ist sichergestellt, dass die an das Vakuumgehäuse 1 angebaute und mit beweglichen Organen in das Lagergehäuse 1 eingreifende Antriebsvorrichtung 10 keinen Vakuumverlust verursachen kann.

Claims (15)

1. Vorrichtung zum Antrieb eines eine translatorisch hin- und hergehende Hubbewegung und eine rotative Schwenkbewegung ausführenden Organs (6), insbesondere eines einer Produktionseinrichtung für unter Vakuum zu bearbeitende Werkstücke zugeordneten Werkstücktransportorgans, mit einer das Organ (6) aufnehmenden Welle (7), die auf einem aus einem Vorrichtungsgehäuse (15) ausfahrbaren Lagerkörper (14) drehbar gelagert und mit einem den Lagerkörper (14) hintergreifenden Antriebsrad (16) versehen ist, das mit einem im Vorrichtungsgehäuse (15) gelagerten, mittels eines Motors (11) antreibbaren Langritzel (17) im Eingriff ist, wobei vom Lagerkörper (14) mehrere, im Vorrichtungsgehäuse (15) verschiebbar gelagerte Führungsstangen (20) abstehen, die gegenüber einer Mitnehmerplatte (23) abgestützt sind, die mittels einer einen weiteren Motor (12) und eine hiervon antreibbare Spindeltriebanordnung enthaltenden Vorschubeinrichtung verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorschubeinrichtung mehrere, achsparallel zur Welle (7) und bezüglich dieser mit gleichmäßiger Umfangsverteilung angeordnete, im Vorrichtungsgehäuse (15) gelagerte Gewindespindeln (25) aufweist, die mit zugeordneten, auf der Mitnehmerplatte (23) aufgenommenen Gewindebüchsen (26) im Eingriff und über ein Verteilergetriebe (28) antriebsmäßig mit dem zugeordneten Motor (12) verbunden sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorschubeinrichtung (2) bezüglich der Achse der Welle (7) einander gegenüberliegende Gewindespindeln (25) und diesen zugeordnete Gewindebüchsen (26) aufweist.

3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verteilergetriebe (28) als Stirnradgetriebe ausgebildet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Verteilergetriebe (28) als zweistufiges Stirnradgetriebe mit einem als Doppelrad ausgebildeten Zwischenrad (32) ausgebildet ist.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein an das Getriebegehäuse (15) ansetzbarer Gehäusedeckel (27) als Getriebegehäuse des Verteilergetriebes (28) ausgebildet ist und einen seitlich über das Vorrichtungsgehäuse (15) hinausragenden Vorsprung (29) aufweist, auf dem der mit dem Eingang des Verteilergetriebes (23) zusammenwirkende Motor (12) aufnehmbar ist.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der der Hubbewegung zugeordnete Motor (12) zumindest in der letzten Phase der Anstellbewegung drehmomentgesteuert ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der der Hubbewegung zugeordnete Motor (12) bis zur drehmomentgesteuerten Phase weggesteuert ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mitnehmerplatte (23) starr an den Führungsstangen (20) abgestützt ist und dass der eine Hubbewegung ausführenden Baugruppe Endlagen- Dämpfungsfedern (33, 34) zugeordnet sind.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Endlagen-Dämpfungsfedern (33, 34) als Tellerfederpakete ausgebildet sind.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle (7) in ein Gehäuse (1) einer Produktionseinrichtung eintaucht und dass das Werkstücktransportorgan an eine Wand (2) des Gehäuses (1) anstellbar ist, die einen mit hohem Vakuum beaufschlagbaren Raum (4) von einem das Werkstücktransportorgan enthaltenden, mit geringerem Vakuum beaufschlagbaren Raum (5) trennt und mit Ausnehmungen (3) versehen ist, die bei angestelltem Werkstücktransportorgan durch umlaufende Dichtringe (9) abgedichtet sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Welle (7) zugeordnete Einführöffnung (13) des Vakuumgehäuses (1) vakuumdicht abgedichtet ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem aus dem Vorrichtungsgehäuse (15) ausfahrbaren Lagerkörper (14) und dem Vakuumgehäuse (1) ein Balg (36) angeordnet ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Lagerkörper (14) mit einem Umfangsflansch (38) versehen ist, an dem der Balg (36) befestigt ist, der mit seinem gegenüberliegenden Ende an einem Flanschring (37) befestigt ist, der am Vakuumgehäuse (1) anbringbar ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Balg (36) als Metallbalg ausgebildet ist.

15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle (7) gegenüber dem Lagerkörper (14) mittels einer Dichtringanordnung (39) abgedichtet ist.