DE20019096U1

DE20019096U1 - Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektronischer Bauteile mit einem Schwenkspiegel

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Publication number: DE20019096U1
Application number: DE20019096U
Authority: DE
Original assignee: DUAL M TECH AG
Current assignee: IEF Werner GmbH
Priority date: 2000-11-10
Filing date: 2000-11-10
Publication date: 2001-01-18
Anticipated expiration: 2010-11-11
Also published as: AU2002215833A1; EP1412139A2; DE10194885D2; EP1412139B1; ATE383229T1; WO2002039801A2; DE50113484D1; WO2002039801A3

Description

Beschreibung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen mit den im Oberbegriff des Schutzanspruchs 1 angegebenen Merkmalen.

Eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist beispielsweise in sogenannten "Chip-Handlern" erforderlich, in denen elektronische Bauteile auf einem Tablett angeliefert, von dort mittels einer Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen aufgenommen und von dieser Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen an einen Kontaktsockel herangeführt werden.

Hinter dem Kontaktsockel befindet sich dort eine Prüfeinrichtung, welche während der Kontaktzeit zwischen dem elektronischen Bauteil und dem Kontaktsockel die elektrisehe Funktionsfähigkeit des zu prüfenden elektronischen Bauteils prüft.

Aus dem Stand der Technik geht nun eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen her-5 vor, bei welcher vor der Herstellung des Kontaktes zwischen dem zu prüfenden elektronischen Bauteil und dem Kontaktsockel zumindest die korrekte Ausrichtung des elektronischen Bauteiles über eine separate Betrachtungsvorrichtung überprüft werden kann.

Diese aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen weist insbesondere den Nachteil auf, daß sie die automatische Betrachtung der Lage, der Ausrichtung sowie der Beschaffenheit der Kontakte des Kontaktsockels nicht ermöglicht.

Für die automatische Betrachtung der Lage, der Ausrichtung sowie der Beschaffenheit der Kontakte des Kontaktsockels wäre dort vielmehr die aufwendige und teure Installation eines weiteren, auf den Kontaktsockel gerichteten Betrachtungssystems erforderlich.

Die Möglichkeit zur Betrachtung der Lage, der Ausrichtung sowie der Beschaffenheit der Kontakte des Kontaktsockels ist insbesondere unter dem Aspekt einer Optimierung der Kontaktierungsqualität zwischen dem zu prüfenden elektronischen Bauteil und dem Kontaktsockel wünschenswert.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Bereitstellung einer Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen, welche mit einem einzigen, besonders einfach und kostengünstig herzustellenden und keine exakte Justage erfordernden Betrachtungssystem sowohl die Betrachtung der Kontaktseite der zu prüfenden elektronischen Bauteile als auch die Betrachtung der Kontakteinrichtung erlaubt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Schutzanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Besonders bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Einige Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Figuren näher beschrieben. Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektronischer Bauteile mit einer in die optische Achse zwischen Handhabungseinrichtung und Kontakteinrichtung um eine kontakteinrichtungsseitige und eine bauteilseitige Drehachse

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einschwenkbaren Vorrichtung zur Reflexion, wobei hier die Vorrichtung zur Reflexion um die kontakteinrichtungsseitige Drehachse in die optische Achse zwischen der Handhabungseinrichtung und der Kontakteinrichtung eingeschwenkt ist;

Figur 2 eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektronischer Bauteile mit einer in die optische Achse zwischen Handhabungseinrichtung und Kontakteinrichtung um eine kontakteinrichtungsseitige und eine bauteilseitige Drehachse einschwenkbaren Vorrichtung zur Reflexion, wobei hier die Vorrichtung zur Reflexion um die bauteilseitige Drehachse in die optische Achse zwischen der Handhabungseinrichtung und der Kontakteinrichtung eingeschwenkt ist;

Figur 3 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen, wobei auf der Vorrichtung zur Reflexion Kalibrierungsmarkierungen dargestellt sind und die um zwei Drehachsen drehbare Aufhängung der Vorrichtung zur Reflexion aus Übersichtlichkeitsgründen nicht dargestellt ist.

Figur 4 eine schematische Seitenansicht einer um ihre mittige Drehachse drehbaren Vorrichtung zur Reflexion, wobei die mittige Drehachse in Richtung der optischen Achse zwischen der Handhabungseinrichtung und der Kontakteinrichtung verschiebbar ist.

Wie bereits aus Figur 1 hervorgeht, umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen zunächst mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschie-

ben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x-Achse und/oder y-Achse und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3).

Weiterhin umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen mindestens eine der Handhabungseinrichtung (2) gegenüberliegende elektrische Kontakteinrichtung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen mindestens einem auf seine Güte zu prüfenden elektronischen Bauteil (3) und einer der Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung.

Zwischen der Handhabungseinrichtung (3) und der Kontakteinrichtung (8) kann sich eine optische Achse (11) horizontal, vertikal oder schräg erstrecken.

Ein wesentliches Merkmal der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist darin zu sehen, daß sie eine, zwei, drei oder mehrere Vorrichtungen (12) zur Reflexion von Schall- oder Lichtwellen umfaßt.

Diese mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion kann in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) translatorisch und/oder rotatorisch vollständig oder teilweise einschiebbar sein.

Alternativ oder zusätzlich hierzu kann die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und/oder eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) translatorisch und/oder

rotatorisch vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) einschwenkbar gelagert sein.

In der Regel bildet die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion in einer Endstellung die Kontaktseite (4) des zu testenden elektronischen Bauteils (3) und in einer anderen Endstellung die Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrichtungen (5) ab.

Alternativ oder zusätzlich hierzu bildet die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion vollständig oder teilweise auch die der Kontakteinrichtung (8) zugewandte Seite der Handhabungseinrichtung (2) in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrichtungen (5) ab.

Das Meßfeid der mindestens einen Meßvorrichtung (5) erfaßt die Vorrichtung (12) zur P.eflexion vollständig oder vorzugsweise teilweise.

In der Regel ist die mindestens eine Meßvorrichtung (5) von der aus der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) herausgenommenen Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 5 mm bis 50 cm starr oder veränderlich entfernt vorgesehen.

Vorzugsweise schneidet die optische Achse (23) der mindesten einen Meßvorrichtung (5) die optische Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion gegebenenfalls etwa in

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Höhe der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) starr oder veränderlich unter einem Winkel &agr;. Dieser Winkel &agr; liegt beispielsweise im Bereich von -30° bis +30°. 5

Alternativ oder zusätzlich hierzu kann die optische Achse (23) der mindestens einen Meßvorrichtung (5) starr oder veränderlich im wesentlichen parallel zu der optischen Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion verlaufen oder mit dieser im wesentlichen deckungsgleich sein.

In besonders bevorzugten Ausführungsformen ist die mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen im wesentlichen in Form eines Spiegels (20) ausgebildet.

Wie aus den Figuren 1 bis 3 hervorgeht, kann dieser Spiegel (20) beispielsweise um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und um eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) teilweise oder vollständig schwenkbar oder einschiebbar gelagert sein.

Von besonderem Vorteil ist in diesem Falle, daß mit einem einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) in Richtung der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bauelementes (3) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abbildbar ist.

Bei einer Drehung des Spiegels (20) um die gegebenenfalls handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) in Richtung der optischen Achse (11) kann die bauelementwärtige Kon-

taktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abgebildet werden.

Die Figuren 1 und 2 zeigen, daß in bevorzugten Ausführungsformen der Spiegel (20) derart um die kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und die handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (IC) jeweils nach unten oder oben drehbar gelagert sein kann, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist.

In seiner im wesentlichen horizontalen Ausgangslage ist der Spiegel (20) vorzugsweise außerhalb der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) vorgesehen und kann hierbei beispielsweise im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) ausgerichtet sein. In der Regel ragt der Spiegel (20) zumindest in seinen jeweiligen 45°-Endpositionen in die optische Achse (11) vollständig oder teilweise hinein.

Aus Figur 4 geht hervor, daß die beispielsweise in Form eines Spiegels (20) ausgebildete Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen beispielsweise lediglich um eine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert sein kann.

Vorzugsweise ist diese mittige Drehachse (24) dann so weit in Richtung der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8). verstellbar gelagert, daß sich die Vorrichtung (12) zur Reflexion zumindest in ihren geschwenkten Endstellungen vollständig oder teilweise in der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) befindet.

Auch in diesem Falle kann mit einem einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in einer ersten, beispielsweise 45°-Schwenkendstellung die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bauelementes (3) und bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in eine entgegengesetzte beispielsweise 45°-Schwenkendstellung die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abgebildet werden.

In einer bevorzugten derartigen Ausführungsform ist der Spiegel (20) derart um seine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist. Hierbei kann der Spiegel (20) in seiner im wesentlichen horizontalen Ausgangslage außerhalb der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) und gegebenenfalls im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) vorgesehen sein. Aufgrund einer Verschiebung seiner mittleren Drehachse (24) in Richtung der optischen Achse (11) sowie aufgrund einer zumindest teilweisen Rotation um die mittlere Drehachse (24) kann die Vorrichtung (12) zur Reflexion zumindest in ihren jeweiligen 45°-Endpositionen vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) hineinragen.

Die drehbare Anbringung der Vorrichtung (12) zur Reflexion an einer mittigen und in Richtung der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verfahrbaren Drehachse (24) führt insbesondere zu dem Vorteil, daß die Länge L einer derartigen Vorrichtung (12) zur Reflexion im Vergleich zur Länge L einer um eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse

(10) und eine bauteilseitige Drehachse (9) drehbaren Vorrichtung (12) zur Reflexion deutlich kürzer gewählt werden kann, beispielsweise um etwa 30 %.

Der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) derselben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion liegt hier beispielsweise im Bereich von nur 25 mm bis 170 mm, vorzugsweise im Bereich von 27 mm bis 150 mm, insbesondere im Bereich von 30 mm bis 140 mm.

Diese Verkürzung der Vorrichtung (12) zur Reflexion führt insbesondere zu dem Vorteil einer deutlichen Verbesserung der Bewegungsdynamik aufgrund erheblich geringerer zu bewegender Massen.

Die Kürze einer derartigen um ihre mittige Drehachse (24) drehbaren Vorrichtung (12) zur Reflexion erlaubt ferner einen um beispielsweise 50 mm kürzeren Abstand zwischen der Aufnahmeposition der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8). Das aufgenommene elektronische Bauteil (3) muß dann lediglich um eine etwa ein Drittel kürzere Strecke verfahren werden, bevor es mit der Kontakteinrichtung (8) in elektrisch leitenden Kontakt gebracht wird.

Diese markante Verkürzung der Verfahrstrecke des aufgenommenen elektronischen Bauteils (3) -beziehungsweise des Kontaktierhubes- macht sich insbesondere hinsichtlich der Genauigkeit der Anlieferungsausrichtung und Anlieferungspositionierung des elektronischen Bauteils (3) und damit hinsichtlich der Kontaktierungsqualität sehr vorteilhaft bemerkbar.

Die Kürze einer derartigen um ihre mittige Drehachse (24) drehbaren Vorrichtung (12) zur Reflexion ist schließlich auch deshalb vorteilhaft, weil der kleinere und günstiger

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verlaufende Schwenkbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion die Anbringung einer deutlich dickeren Schicht von Wärmeisolierungsmaterial insbesondere in dem Bereich um die Kontakteinrichtung (3) herum erlaubt. Dieser Umstand macht sich im Hinblick auf eine erhebliche Verbesserung der Temperaturführung bemerkbar, welche insbesondere bei Ausführungsformen mit einer Temperaturkammer von Bedeutung ist.

Aufgrund einer günstigeren Aufhängung der Vorrichtung (12) zur Reflexion in ihrem Masseschwerpunkt kann ferner der Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion kleiner dimensioniert und energiesparender ausgelegt werden.

Vorzugsweise erfaßt die mindestens eine Meßvorrichtung (5) in diesem Falle die gesamte abbildende Fläche der um ihre inittige Drehachse (24) drehbaren Vorrichtung (12) zu Reflexion.

In besonders bevorzugten Au:-; führungs formen kc-mn die Vorrichtung (12) zur Reflexion eine, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, elf, zwölf oder mehr-eire über die mindestens eine Meßvorrichtung (5) vollständig oder zumindest teilweise wahrnehmbare Markierungen (13) aufweisen (siehe Figur 3).

Diese Markierungen (13) können zur Kalibrierung sowie zur Bestimmung der Lage und/oder der Ausrichtung der Handhabungseinrichtung (2), der von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen elektronischen Bauteile (3) sowie der Kontakteinrichtung (8) in Bezug auf ein vorrichtungsspezifisches Koordinatensystem dienen, wobei diese Markierungen (13) dem Koordinatensystem der erfindungsgemäßen Vorrich-

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tung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen eindeutig zugeordnet sind.

Zumal die tatsächlichen Abstände zwischen allen Markierungen (13) bekannt sind, kann insbesondere zu Kalibrierungszwecken einer einer bestimmten Pixelanzahl entsprechenden Länge auf dem von der Meßvorrichtung (5) gelieferten Bild ein eindeutiger Wert beispielsweise in Millimetern zugeordnet werden.

Ist beispielsweise die Fehlausrichtung eines von dem Bauteilhalter (1) aufgenommenen elektronischen Bauteils (3) in Millimeter-Werten errechnet, können in Inkremente unterteilte Stellgrößen von der Datenverarbeitungseinrichtung errechnet und gegebenenfalls an die Antriebseinrichtungen der Handhabungseinrichtung (2) und/ oder des Bauteilhalters (1) und/oder der Verstelleinrichtung geleitet werden.

Selbstverständlich können die an die abzugebenden Inkremente bei Kenntnis der exakten Markierungsabstände auch ohne vorherige Umwandlung in Millimeter-Werte unmittelbar aus der Pixelanzahl ermittelt werden.

Aus Figur 3 geht hervor, daß die Markierungen (13) der Vorrichtung (12) zur Reflexion beispielsweise zumindest in den Randbereichen und/oder in den Eckbereichen der Vorrichtung (12) zur Reflexion vorgesehen sein können.

Figur 3 zeigt, daß in einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung (12) zur Reflexion in Form eines Spiegels (20) beispielsweise ein erstes Paar (14) von Markierungen (13) auf der parallel und mittig zu den Drehachsen (9, 10) verlaufenden Mittenachse (15) liegen kann.

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Ein zweites Paar (16) von Markierungen (13) kann sich beispielsweise in dem kontakteinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion befinden, während ein drittes Paar (17) von Markierungen (13) gegebenenfalls im handhabungseinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion vorgesehen sein kann.

Der Abstand zwischen der Markierung (16) und der Markierung (1*7) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion kann beispielsweise die Länge L aufweisen. Der Abstand zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie zwischen den Markierungen (14) und (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion kann dann beispielsweise jeweils L/2 betragen.

Aus Figur 3 geht ferner hervor, daß eine erfindungsgemäße Vorrichtung (12) zur Reflexion in Form eines Spiegels (20) weiterhin ein viertes Paar (18) von gegenüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie ein fünftes Paar (19) von gegenüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (14) und (17) aufweisen kann.

Vorzugsweise beträgt der Abstand zwischen den Markierungen (18) und (16) sowie zwischen den Markierungen (18) und (14) einerseits und zwischen den Markierungen (19) und (14) sowie zwischen den Markierungen (19) und (17) andererseits jeweils L/4.

Der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) derselben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion kann beispielsweise im Bereich von 50 mm bis 200 mm liegen.

Der Abstand H zwischen den Markierungen (13) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion und den gegenüberliegenden Markierungen (13) der anderen, gegenüberliegenden

Seite der Vorrichtung (12) ist in der Regel größer als der Abstand L/2 und liegt beispielsweise im Bereich von 51 mm bis 500 mm.

Aus den Figuren 1 und 2 geht hervor, daß die Handhabungseinrichtung (2) beispielsweise mindestens einen Bauteilhalter (1) gegebenenfalls in Form mindestens eines Greifers oder Saugers umfassen kann. Dieser Bauteilhalter (1) ist vorzugsweise um mindestens 90 oder 180° um eine beispielsweise parallel zur Kontaktierungsebene verlaufende Drehachse (21) schwenkbar gelagert, so daß die Bauteilaufnahmefläche des Bauteilhalters (1) im wesentlichen parallel zur Kontaktseite (6) der elektrischen Kontakteinrichtung (8) ausrichtbar ist.

Vorzugsweise ist die mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) über eine hier nicht dargestellte Verstelleinrichtung entlang und/oder um die x- und/oder y- und/oder &zgr;-Achse verstellbar.

In bevorzugten Ausführungsformen umfaßt die mindestens eine Verstelleinrichtung zur Verstellung der Handhabungseinrichtung (2) im wesentlichen zwei zueinander parallele und voneinander zumindest etwas beabstandete Führungsschienen. Diese Verstelleinrichtung kann ferner einen rechtwinklig zu den Führungsschienen sich erstreckenden Querträger umfassen, welcher längsverschiebbar auf den Führungsschienen gelagert ist. Stirnseitig und in Richtung der elektronischen Kontakteinrichtung (8) weisend, kann auf dem Querträger eine Vielzahl von Handhabungseinrichtungen (2) entlang der x-Achse und/oder der y- Achse und/oder der z-Achse verschiebbar und/oder schwenkbar angebracht sein.

Die Verschiebungen oder Verschwenkungen der Handhabungseinrichtungen (2) um gleiche oder unterschiedliche Achsen können abhängig oder unabhängig voneinander vornehmbar sein.
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In besonders bevorzugten Ausführungsformen kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen (3) eine Temperaturkammer umfassen.

Innerhalb dieser Temperaturkammer können zumindest ein Abschnitt eines Fördermittels (22), eine elektronische Kontakteinrichtung (8) sowie mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) und eine Vorrichtung (12) zur Reflexion vorgesehen sein.
In der Regel sind die Antriebsmittel zur Bewegung des mindestens einen Fördermittels und/oder der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung und die mindestens eine Meßvorrichtung (5) außerhalb der Temperaturkammer vorgesehen.

Vorzugsweise umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen (3) mindestens ein Fördermittel (22) zur Anlieferung und/oder zum Abtransport elektronischer Bauteile in die oder aus der Temperaturkammer.

Dieses Fördermittel (22) kann beispielsweise bandförmig ausgestaltet sein. In besonders bevorzugten Ausführungsformen transportiert ein weiteres -gegebenenfalls bandförmiges- Fördermittel die nach Güteklassen sortiert auf ihm abgelegten, geprüften elektronischen Bauteile (3) aus der Temperaturkammer heraus.

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In der Regel umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen (3) beispielsweise eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung.

Diese zentrale Datenverarbeitungseinrichtung kann gegebenenfalls mindestens mit einer Meßvorrichtung (5) sowie mit einer der elektronischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung einerseits und den Antriebselementen zum Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion und/oder der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung und/oder des mindestens einen Fördermittels (22) andererseits in Verbindung stehen.

Ein wesentliches Merkmal der Datenverarbeitungseinrichtung kann beispielsweise darin bestehen, daß sie gegebenenfalls derart ausgestaltet ist, daß sie den in Pixel von der Meßvorrichtung (5) mitgeteilten Pixel-Abstand zwischen den Markierungen (13) auf der Vorrichtung (12) zur Reflexion einerseits und beispielsweise dem äußeren Umfang eines von dem Bauteiihalter (1) aufgenommenen elektronischen Bauteils (3) andererseits mittelbar oder unmittelbar in gegebenenfalls mit einem Korrekturwert beaufschlagte Inkremente für die diversen Antriebsformen umrechnet.

Die mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung kann beispielsweise mindestens einen programmierbaren Mikroprozessor enthalten, welcher derart ausgebildet ist, daß er aus den von der Meßvorrichtung (5) eingehenden Meßsignalen die Lage und/oder den Drehwinkel sowie den geometrischen Flächenschwerpunkt des zu bewegenden elektronischen Bauteils (3) ermittelt, die Abweichungen des Aufsetzortes der Aufnahmefläche des Bauteilhalters (1) auf dem

elektronischen Bauelement (3) von dessen Fläschenschwefpunkt bestimmt und ein diese Abweichungen kompensierendes Korrektursignal ermittelt und an die Antriebsmittel der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstelleinrichtung Stellgrößen übermittelt, welche zur Feinabstimmung mit den Korrektursignalen beaufschlagt sind. Die Stellgrößen sind vorzugsweise durch den Ort und die Lage des aufzunehmenden oder bereits aufgenommenen elektronischen Bauteils (3), den Ort und die Lage der elektrischen Kontakteinrichtung (8) sowie die Position und Lage des der jeweiligen Güteklasse entsprechenden Absetzortes bestimmt.

Außerdem kann der Mikroprozessor derart ausgestaltet sein, daß er beispielsweise in Abhängigkeit von der Position des Bauteilhalters (1) und/oder der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Handhabungseinrichtungs-Verstellvorrichtung Stellgrößen an den Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion abgibt. Die Ansteuerung des Antriebs der Vorrichtung (12) zur Reflexion erfolgt insbesondere derart, daß eine mechanische Beschädigung der Vorrichtung (12) zur Reflexion durch den in Richtung der Kontakteinrichtung (8) verfahrenden Bauteilhalter (1) mit Sicherheit ausgeschlossen ist.

In der Regel gibt der mindestens eine Mikroprozessor diese Stellgrößen derart an die Antriebsmittel der Handhabungseinrichtung (2) und der Verstelleinrichtung ab, daß das über den Bauteilhalter (1) aufgenommene elektronische Bauteil (3) zunächst mit einem für die Messung ausreichenden Anpreßdruck paßgenau mit der elektrischen Kontakteinrichtung (8) in Eingriff kommt und der mit dem elektronischen Bauteil (3) beladene Bauteilhalter (1), im Anschluß an die Messung, aus der horizontalen oder vertikal nach oben weisenden Meßstellung nach unten schwenkt und das elektronisehe Bauteil (3) in Abhängigkeit von dem Prüfergebnis sor-

tiert nach Güteklassen auf dem mindestens einen abtransportierenden Fördermittel (22) ablegt.

Bei der mindestens einen Meßvorrichtung (5) kann es sich beispielsweise um eine mechanische oder mindestens eine berührungslose optische, elektrische, kapazitive oder induktive Meßvorrichtung handeln.

Sofern die Meßvorrichtung (5) in Form einer optischen Meß-Vorrichtung ausgebildet ist, umfaßt diese vorzugsweise ein besonders kostengünstiges, leichtes und einfach herzustellenden entozentrisches Objektiv.

Selbstverständlich ist es jedoch möglich, anstelle eines entozentrischen Objektives ein sehr viel teureres telezentrisches Objektiv zu verwenden.

Das Blickfeld dieser Meßvorrichtung (5) ist im wesentlichen vollständig oder teilweise auf die Vorrichtung (12) zur Reflexion gerichtet. In der Regel steht die mindestens eine Meßvorrichtung (5) mit der Datenverarbeitungseinrichtung und über diese mit den Antriebselementen des Fördermittels (22) und/oder der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstelleinrichtung in Verbindung.

Zusammenfassend ist nun festzustellen, daß die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen bereitstellt, welche mit einem einzigen, besonders einfach und kostengünstig herzustellenden und keine exakte Justage erfordernden Betrachtungssystem sowohl die Betrachtung der Kontaktseite (4) der zu prüfenden elektronischen Bauteile als auch die Betrachtung der Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung erlaubt. Dies ist beispielsweise aufgrund der beidseitig schwenkbaren Aufhängung der Vorrichtung (12) zur Reflexion um eine

handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) sowie um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) möglich.

Bei der aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist eine hochpräzise Ausrichtung der optischen Achse der Meßvorrichtung mit der optischen Mittenachse der Vorrichtung zur Reflexion erforderlich. Außerdem ist dort die exakte Einhaltung eines vorgegebenen Abstandes der Meßvorrichtung von der Refiexionsvorrichtung notwendig.

Im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen ist im scharfen Gegensatz hierzu eine exakte Ausrichtung der optischen Achse (23) der Meßvorrichtung (5) mit der optischen Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion gerade nicht notwendig. Auch der Abstand der Meßvorrichtung (5) von der Vorrichtung (12) zur Reflexion ist im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur zielgerichteten Bewegung von elektronischen Bauteilen in einem sehr weiten Bereich variabel.

Denn dieser Abstand wird im wesentlichen nur dadurch bestimmt, daß die entsprechenden Markierungen bei geschwenktem Spiegelstand scharf erkennbar sein sollten. Der einzuhaltende Abstand ist somit größtenteils nur von dem jeweils verwendeten Objektiv abhängig. Im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen elektronischer Bauteile ist also die Bereitstellung eines schweren und teuren Stativs zur exakt ortstreuen Fixierung der Meßvorrichtung (5) nicht erforderlich. Vielmehr reicht hier das einfache Scharfstellen des Objektivs der Meßvorrichtung aus. Gegebenenfalls kann das Objektiv nach Scharfstellung durch einen Tropfen Klebstoff hinsichtlich der vorgenommenen Schärfeeinstellung fixiert werden.

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Um die genaue Lage und Ausrichtung der Handhabungseinrichtung (2), des Bauteilhalters (1), des aufgenommenen elektronischen Bauteils (3) oder der Kontakteinrichtung (8) in Bezug auf das vorrichtungsspezifische Koordinatensystem eindeutig bestimmen zu können, ist im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung lediglich erforderlich, daß die Meßvorrichtung (5) zumindest einen Teil der auf der Vorrichtung (12) zur Reflexion angebrachten Markierungen (13) und die virtuellen Abstände des zu begutachtenden Teils (elektronisches Bauteil (3), Bauteilhalter (1) oder Kontakteinrichtung (8)) von diesen Markierungen erfassen kann. Die Blickrichtung der Meßvorrichtung (5) spielt hierbei eine völlig untergeordnete Rolle und ist deshalb in dem weiten ot-Winkelbereich von insgesamt etwa 60° variabel.

Vorzugsweise ist das Blickfeld der Meßvorrichtung zumindest jeweils auf die sechs Markierungen am jeweils freien Ende des Spiegels (20) und das dazwischenliegende Bild des zu begutachtenden Teils gerichtet.

Die ausgeprägte Unabhängigkeit von der Einhaltung einer exakten Montageposition der Meßvorrichtung (5) macht sich im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung insbesondere dann vorteilhaft bemerkbar, wenn die Vorrichtung Stößen von außen oder betriebsbedingten Vibrationen und Schwingungen ausgesetzt ist.

Hierzu kommt es beispielsweise, wenn sich das Bedienungspersonal an das Gehäuse lehnt oder wenn dynamische Bewegungen stattfinden, beispielsweise in Form von durch Beschleunigungskräfte hervorgerufene Bewegungen des Positionierungssystems. Aufgrund solcher Störungen erfährt dort die Spiegelhalterung eine störende Relativbewegung gegenüber der Kamerahalterung.

Auch eine durch unterschiedliche Wäremausdehungskoeffizienten bedingte Temperaturdrift zwischen der auf Raumtemperatur gehaltenen Kamerahalterung und der bei hohen Temperaturen innerhalb der Temperaturkammer vorgesehenen Spiegelaufhängung kann dort zu ungewollten und extrem störenden Änderung der Kameraposition führen.

Während die Vorrichtung des Standes der Technik bei der Einwirkung von äußerlichen Stößen, betriebsbedingten Vibrationen und Schwingungen oder bei dem Auftreten einer Temperaturdrift Fehlmessungen mit unnötig hohen Ausschußquoten erbringt und erhebliche Einbußen hinsichtlich der Beobachtungsgenauigkeit bis hin zum Verlust der Funktionsfähigkeit erfährt, haben diese Einflüsse aufgrund des sehr großen Bereichs erlaubter Positionen der Meßvorrichtung (5) keine störenden Auswirkungen auf die Meßgenauigkeit oder gar die Funktionstüchtigkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Daß im Falle der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf die im Stand der Technik gefürchtete hochpräzise Justage der Meßvorrichtung (5) verzichtet werden kann, verkörpert darüber hinaus einen erheblichen Vorteil hinsichtlich der Herstellungskosten, der Montage und des Wartungsaufwandes. So reicht bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sogar eine besonders kostengünstige instabile Aufhängung für die die Vorrichtung (12) zur Reflexion teilweise oder vollständig betrachtende Meßvorrichtung (5) völlig aus.

Claims

1. Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen, dadurch gekennzeichnet, daß sie umfaßt:

- mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3),

- mindestens eine elektrische Kontakteinrichtung (8) zur Herstellung mindestens einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen mindestens einem auf seine Güte zu prüfenden elektronischen Bauteil (3) und einer der Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung,

- eine optische Achse (11), welche sich zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) horizontal, vertikal oder schräg erstreckt,

- eine, zwei, drei oder mehrere Vorrichtungen (12) zur Reflexion von Schall- oder Lichtwellen, welche in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) translatorisch und/oder rotatorisch vollständig oder teilweise einschiebbar und/oder um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) oder um eine mittige Drehachse (24) translatorisch und/oder rotatorisch einschwenkbar sind, wobei diese mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion die Kontaktseite (4) des zu prüfenden elektronischen Bauteils (3) einerseits und die Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) andererseits und/oder die der Kontakteinrichtung (8) zugewandte Seite der Handhabungseinrichtung (2) vollständig oder teilweise in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrichtungen (5) abbildet,

wobei das Meßfeld der mindestens einen Meßvorrichtung (5) die Vorrichtung (12) zur Reflexion vollständig oder teilweise erfaßt und
wobei die mindestens eine Meßvorrichtung (5) von der aus der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) herausgeführten Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 5 mm bis 50 cm starr oder veränderlich entfernt vorgesehen ist und
wobei die optische Achse (23) der mindestens einen Meßvorrichtung (5) die optische Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion gegebenenfalls etwa in Höhe der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) starr oder veränderlich unter einem Winkel α schneidet, welcher im Bereich von -30° bis +30° liegt und/oder wobei die optische Achse (23) der mindestens einen Meßvorrichtung (5) starr oder veränderlich im wesentlichen parallel zu der optischen Mittenachse (7) der Vorrichtung (12) zur Reflexion verläuft und/oder mit dieser im wesentlichen deckungsgleich ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen im wesentlichen in Form eines Spiegels (20) ausgebildet ist, welcher um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und um eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) schwenkbar gelagert ist, wobei mit diesem einen einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) in Richtung der zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verlaufenden optischen Achse (11) die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bauelementes (3) und bei einer Drehung um die handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) in Richtung der optischen Achse (11) die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abgebildet wird.

3. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (20) derart um die kontakteinrichtungsseitige Drehachse(9) und die handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) jeweils nach unten oder oben drehbar gelagert ist, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist, wobei der Spiegel (20) in seiner im wesentlichen horizontalen Ausgangslage außerhalb der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) und gegebenenfalls im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) vorgesehen ist und zumindest in seinen jeweiligen 45°- Endpositionen vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) hineinragt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Reflexion von Licht- oder Schallwellen im wesentlichen in Form eines Spiegels (20) ausgebildet ist, welcher um seine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert ist, wobei diese mittige Drehachse (24) so weit in Richtung der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) verstellbar ist, daß sich die Vorrichtung (12) zur Reflexion zumindest in ihren geschwenkten Endstellungen vollständig oder teilweise in der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) befindet, wobei mit diesem einen einzigen Spiegel (20) bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in einer ersten Schwenkendstellung die Kontaktseite (4) des von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen Bauelementes (3) und bei einer Drehung um die mittige Drehachse (24) in eine entgegengesetzte Schwenkendstellung die bauelementwärtige Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) in Richtung der mindestens einen Meßvorrichtung (5) abbildbar ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (20) derart um seine mittige Drehachse (24) drehbar gelagert ist, daß eine Schwenkbarkeit des Spiegels (20) aus einer horizontalen Ausgangslage (0°) in die beiden Endpositionen von jeweils 45° gegeben ist, wobei der Spiegel (20) in seiner im wesentlichen horizontalen Ausgangslage außerhalb der optischen Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) und gegebenenfalls im wesentlichen parallel zu dieser optischen Achse (11) vorgesehen ist und aufgrund einer Verschiebung seiner mittleren Drehachse (24) in Richtung der optischen Achse (11) sowie aufgrund einer teilweisen Rotation um die mittlere Drehachse (24) zumindest in seinen jeweiligen 45°-Endpositionen vollständig oder teilweise in die optische Achse (11) hineinragt.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Reflexion eine, zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, elf, zwölf oder mehrere über die mindestens eine Meßvorrichtung (5) vollständig oder teilweise wahrnehmbare Markierungen (13) aufweist zur Kalibrierung sowie zur Bestimmung der Lage und/oder der Ausrichtung der Handhabungseinrichtung (2), der von der Handhabungseinrichtung (2) aufgenommenen elektronischen Bauteile (3) sowie der Kontakteinrichtung (8) in Bezug auf ein vorrichtungsspezifisches Koordinatensystem, wobei diese Markierungen (13) dem Koordinatensystem der Vorrichtung eindeutig zugeordnet sind.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungen (13) der Vorrichtung (12) zur Reflexion zumindest in den Randbereichen und/oder in den Eckbereichen der Vorrichtung (12) zur Reflexion vorgesehen sind.

8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein erstes Paar (14) von Markierungen (13) auf der parallel und mittig zu den Drehachsen (9, 10) verlaufenden Mittenachse (15, 24) liegt, daß ein zweites Paar (16) von Markierungen (13) im kontakteinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion liegt und daß ein drittes Paar (17) von Markierungen (13) im handhabungseinrichtungsseitigen Randbereich der Vorrichtung (12) zur Reflexion liegt, wobei der Abstand zwischen der Markierung (16) und der Markierung (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion die Länge L aufweist und der Abstand zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie zwischen den Markierungen (14) und (17) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion jeweils L/2 beträgt und daß ein viertes Paar (18) von gegenüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (16) und (14) sowie ein fünftes Paar (19) von gegenüberliegenden Markierungen zwischen den Markierungen (14) und (17) liegt, wobei der Abstand zwischen den Markierungen (18) und (16) sowie zwischen den Markierungen (18) und (14) einerseits und zwischen den Markierungen (19) und (14) sowie zwischen den Markierungen (19) und (17) andererseits jeweils L/4 beträgt.

9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) derselben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 50 mm bis 200 mm liegt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand L zwischen den Markierungen (17) und (16) derselben Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion im Bereich von 30 mm bis 150 mm liegt.

11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand H zwischen den Markierungen (13) einer Seite der Vorrichtung (12) zur Reflexion und den gegenüberliegenden Markierungen (13) der anderen, gegenüberliegenden Seite der Vorrichtung (12) größer als der Abstand L/2 ist und im Bereich von 51 mm bis 500 mm liegt.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Handhabungseinrichtung (2) mindestens einen Bauteilhalter (1) in Form mindestens eines Greifers oder Saugers aufweist, welcher um mindestens 90° oder 180° um eine parallel zur Kontaktierungsebene verlaufende Drehachse (21) schwenkbar ist, so daß die Bauteil-Aufnahmefläche des Bauteilhalters (1) im wesentlichen parallel zur Kontaktseite (6) der elektrischen Kontakteinrichtung (8) ausrichtbar ist.

13. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) über eine Verstelleinrichtung entlang und/oder um die x- und/oder y- und/oder z-Achse verstellbar ist.

14. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Verstelleinrichtung zur Verstellung der Handhabungseinrichtung (2) im wesentlichen umfaßt:

- zwei zueinander parallel und voneinander zumindest etwas beabstandete Führungsschienen,

- einen rechtwinklig zur Längsachse der Führungsschienen sich erstreckenden Querträger, welcher längsverschiebbar auf den Führungsschienen gelagert ist, wobei stirnseitig in Richtung der elektrischen Kontakteinrichtung (8) auf dem Querträger eine Vielzahl von Handhabungseinrichtungen (2) entlang der x-Achse und/ oder der y-Achse und/oder der z-Achse verschiebbar und/ oder schwenkbar angebracht sind, wobei diese Verschiebungen oder Verschwenkungen der Handhabungseinrichtungen (2) um gleiche oder unterschiedliche Achsen abhängig oder unabhängig voneinander vornehmbar sind.

15. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Temperaturkammer umfaßt, innerhalb welcher zumindest ein Abschnitt eines Fördermittels (22), eine elektrische Kontakteinrichtung (8), eine Vorrichtung (12) zur Reflexion sowie mindestens eine Handhabungseinrichtung (2) zur Aufnahme, zum Schwenken, zum Verschieben und/oder zum Drehen um und/oder entlang der x- und/oder y- und/oder z-Achse sowie zum Ablegen von mindestens einem elektronischen Bauteil (3) vorgesehen sind, wobei die mindestens eine Meßvorrichtung (5) und die Antriebsmittel zur Bewegung des mindestens einen Fördermittels und/oder der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung außerhalb der Temperaturkammer vorgesehen sind.

16. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie mindestens ein Fördermittel (22) zur Anlieferung elektronischer Bauteile (3) in die oder aus der Temperaturkammer umfaßt.

17. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung umfaßt, welche mindestens mit einer Meßvorrichtung (5) sowie mit einer der elektrischen Kontakteinrichtung (8) nachgeschalteten Prüfeinrichtung einerseits und den Antriebselementen zum Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion und/oder der mindestens einen Handhabungseinrichtung (2) und/oder der mindestens einen Verstelleinrichtung und/oder des mindestens einen Fördermittels (22) andererseits in Verbindung steht.

18. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung mindestens einen programmierbaren Mikroprozessor enthält, welcher derart ausgebildet ist, daß er den Antrieb der Vorrichtung (12) zur Reflexion nur dann in eine Einschwenkposition steuert, wenn die zumindest teilweise zurückgefahrene Handhabungseinrichtung (2) den für das Einschwenken erforderlichen Raum läßt, und welcher ferner derart ausgestaltet ist, daß er aus den von der Meßvorrichtung (5) eingehenden Meßsignalen die Lage und/oder den Drehwinkel sowie den geometrischen Flächenschwerpunkt des zu bewegenden elektronischen Bauteils (3) ermittelt, die Abweichungen des Aufsetzortes der Aufnahmefläche des Bauteilhalters (1) auf dem elektronischen Bauelement (3) von dessen Flächenschwerpunkt bestimmt und ein diese Abweichungen kompensierendes Korrektursignal ermittelt und an die Antriebsmittel der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstelleinrichtung Stellgrößen übermittelt, welche zur Feinabstimmung mit den Korrektursignalen beaufschlagt sind, wobei diese Stellgrößen grundsätzlich durch den Ort und die Lage des aufzunehmenden oder aufgenommenen elektronischen Bauteils (3), den Ort und die Lage der elektrischen Kontakteinrichtung (8) sowie die Position und Lage des der jeweiligen Güteklasse entsprechenden Absetzortes bestimmt sind und wobei der mindestens eine Mikroprozessor diese Stellgrößen derart an die Antriebsmittel der Handhabungseinrichtung (2) und der Verstelleinrichtung ausgibt, daß das über den Bauteilhalter (1) aufgenommene elektronische Bauteil (3) zunächst mit einem für die Messung ausreichenden Anpreßdruck paßgenau mit der elektrischen Kontakteinrichtung (8) in. Eingriff kommt und der mit dem elektronischen Bauteil (3) beladene Bauteilhalter (1), im Anschluß an die Messung, aus der horizontalen oder vertikal nach oben weisenden Meßstellung nach unten schwenkt und das elektronische Bauteil (3) in Abhängigkeit von dem Prüfergebnis sortiert nach Güteklassen auf dem mindestens einen abtransportierenden Fördermittel (22) ablegt.

19. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Meßvorrichtung (5) mindestens eine mechanische oder mindestens eine berührungslose optische, elektrische, kapazitive oder induktive Meßvorrichtung ist, deren Blickfeld im wesentlichen vollständig oder teilweise auf die Vorrichtung (12) zur Reflexion gerichtet ist, wobei die mindestens eine Meßvorrichtung (5) mit der Datenverarbeitungseinrichtung und über diese mit den Antriebselementen der Vorrichtung (12) zur Reflexion und/oder des mindestens einen Fördermittels (22) und/oder der Handhabungseinrichtung (2) und/oder der Verstelleinrichtung in Verbindung steht.

20. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrichtung (5) eine optische Meßvorrichtung mit einem entozentrischen Objektiv oder mit einem telezentrischen Objektiv ist.