DE20016467U1 - Drucksensor - Google Patents

Drucksensor

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DE20016467U1
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    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G—PHYSICS
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    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation

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Description

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Claims (9)

1. Drucksensor (10) mit einem einstückigen Sensorkörper (11) aus Kera­ mik, welcher Sensorkörper (11) eine im Zentrum angeordnete dünne Membran (12) und einen die Membran (12) umschliessenden Ringteil (22) grösserer Dicke umfasst, wobei auf der Oberseite der Membran elektrische Mittel (23) zur Auf­ nahme der druckbedingten Dehnung der Membran (12) angebracht sind, und auf dem Sensorkörper (11) eine elektronische Schaltung (15; 17; R0, R10, . ., R13; C1, C2; N1, N2) zur Versorgung der elektrischen Mittel (23) sowie Aufbereitung und Auswertung der von den elektrischen Mitteln (23) abgegebenen Signale vorgese­ hen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Schaltung (15; 17; R0, R10, . ., R13; C1, C2; N1, N2) auf der Oberseite des Ringteils (22) um die Membran (12) herum verteilt angeordnet ist.
2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die elek­ trischen Mittel eine aus mehreren Widerständen (R1. . ., R4) gebildete Dehnungs­ messbrücke (23) umfassen, und dass die Widerstände (R1, . ., R4) auf die Membran (12) aufgedruckt und durch aufgedruckte erste Leiterbahnen (14) untereinander und mit der elektronischen Schaltung (15; 17; R0, R10,. ., R13; C1, C2; N1, N2) elektrisch verbunden sind.
3. Drucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die elek­ tronische Schaltung eine Mehrzahl von Schaltungselementen (15; 17; R0, R10, . ., R13; C1, C2; N1, N2) umfasst, welche durch auf den Ringteil (22) aufgedruckte zweite Leiterbahnen (15) miteinander elektrisch verbunden sind.
4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Leiterbahnen (14) als elektrisch leitenden Zusatzstoff Gold enthalten, dass die zweiten Leiterbahnen (15) als elektrisch leitende Zusatzstoffe Silber und Palladium enthalten, und dass der Uebergang von den ersten Leiterbahnen (14) zu den zweiten Leiterbahnen (15) an vorgegebenen, ausserhalb der Membran (12) ange­ ordneten Verbindungspunkten (16) erfolgt.
5. Drucksensor nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeich­ net, dass zum Abgleich der Dehnungsmessbrücke (23) auf dem Ringteil (22) ab­ gleichbare, insbesondere mittels Laser abgleichbare, Widerstände (R5, . ., R9) auf­ gedruckt sind.
6. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeich­ net, dass auf dem Ringteil (22) zusätzlich ein Temperaturaufnehmer (17), insbe­ sondere in Form eines NTC-Widerstandes, angeordnet ist.
7. Drucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Tem­ peraturaufnehmer (17) unabhängig von der elektronischen Schaltung (15; 17; R0, R10, . ., R13; C1, C2; N1, N2) von aussen abfragbar ist.
8. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeich­ net, dass die elektronische Schaltung einen Operationsverstärker in Form einer Integrierten Schaltung (N1) umfasst.
9. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeich­ net, dass die elektronische Schaltung eine Konstantspannungsquelle in Form ei­ ner Integrierten Schaltung (N2) umfasst.
DE20016467U 2000-09-22 2000-09-22 Drucksensor Expired - Lifetime DE20016467U1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008051400A1 (de) * 2008-10-11 2010-06-17 Metallux Ag Drucksensor

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102008051400A1 (de) * 2008-10-11 2010-06-17 Metallux Ag Drucksensor

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