DE19850299A1

DE19850299A1 - Process for a local point-by-point heat introduction used in spot welding comprises maintaining the laser beam spot on a prescribed point over a prescribed period

Info

Publication number: DE19850299A1
Application number: DE19850299A
Authority: DE
Inventors: Anett Klotzbach; Lothar Morgenthal; Dieter Pollack
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 1998-10-30
Filing date: 1998-10-30
Publication date: 2000-05-11

Abstract

Process for a local point-by-point heat introduction uses a laser beam on a surface of translatory and/or rotatory moved workpieces, in which the shifting movement of the workpiece is compensated by deviation of the laser beam (2) following the shifting movement. The beam spot is maintained on a prescribed point so that relative movement between the prescribed point on the workpiece (1) and the beam spot is prevented over a prescribed period. An Independent claim is also included for an apparatus for carrying out the process comprising a workpiece arranged on a translatory moving workpiece holder or rotating plate and a laser beam (2) of a laser source (9) directed onto the surface of the workpiece via a mirror (4). The mirror can be tilted about an axis corresponding to the shifting speed of the workpiece either uniformly or in angular steps.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vor richtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Dabei kann die erfindungsgemäße Lösung für die ver schiedensten Werkstücke, nahezu unabhängig von den entsprechenden Materialien, deren Größe und besonders deren Oberflächengestaltung, eingesetzt werden. Es wird eine sogenannte Hybridlösung verwendet, bei der ein zu bearbeitendes Werkstück und gleichzeitig mind estens ein für die Bearbeitung eines solchen Werks tückes benutzter Laserstrahl bewegt werden. Dadurch kann die Bearbeitungszeit und demzufolge auch die Bearbeitungsgeschwindigkeit entsprechend erhöht wer den.The invention relates to a method and a direction according to the preamble of claim 1. The solution according to the invention for the ver various workpieces, almost independent of the appropriate materials, their size and special their surface design, are used. It a so-called hybrid solution is used, in which a workpiece to be machined and at the same time min at least one for the processing of such a work the used laser beam can be moved. Thereby can the processing time and consequently also the Processing speed increased accordingly the.

Solche Lösungen sind insbesondere aus der Verpac kungsindustrie bekannt.Such solutions are particularly from Verpac kungsindustrie known.

So wird in EP 0 357 841 B1 ein Verfahren zur Herstel lung von Einkerbungen in ein- oder mehrlagiges Ver packungsmaterial durch örtliche Verdampfung eines Teiles dieses Materials unter Verwendung eines Laser strahls beschrieben. Das mit den Einkerbungen zu ver sehende Verpackungsmaterial wird dabei von einer Rol le abgerollt und an mindestens einem, um zwei ortho gonal zueinander ausgerichtete Achsen, auslenkbaren Laserstrahl vorbei geführt, wobei die Verpackungsma terialbahn mit im wesentlichen gleicher, einstellba rer Geschwindigkeit transportiert wird. Die Auslen kung des Laserstrahls erfolgt durch musterabhängige Steuersignale, entsprechend der Anordnung der ge wünschten einzubringenden Einkerbungen. Der Laser strahl wird hierbei, wie bereits erwähnt, entspre chend ausgelenkt und die Brennweite des Laserstrahls so eingestellt, daß der Brennpunkt auf der Oberfläche der Verpackungsmaterialbahn gehalten wird, wobei le diglich der jeweilige Auslenkungswinkel des Laser strahls kompensiert wird. Für die Ausbildung der Ein kerbungen wird bei dieser bekannten Lösung zusätzlich nur noch die Laserstrahlintensität variiert.For example, EP 0 357 841 B1 describes a method for producing notches in single or multi-layer Ver packing material by local evaporation of a Part of this material using a laser described. To ver with the notches seeing packaging material is from a Rol le unrolled and at least one to two ortho axially aligned axes, deflectable Laser beam passed by, the packaging ma material web with essentially the same, adjustable speed is transported. The Auslen The laser beam is generated by pattern-dependent Control signals, according to the arrangement of the ge wanted notches to be made. The laser Here, as already mentioned, beam will correspond accordingly deflected and the focal length of the laser beam adjusted so that the focal point is on the surface the packaging material web is held, wherein le diglich the respective deflection angle of the laser beam is compensated. For training the one Notches are additional in this known solution only the laser beam intensity varies.

Daneben ist in WO 97/13611 A1 ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Schneiden, Perforieren oder Beschrif ten wiederkehrender Muster in kontinuierlich bewegtes Flachmaterial beschrieben. Das Schneiden, Perforieren oder Beschriften wird hier, wie auch bei der vorab genannten EP 0 357 841 B1 ausschließlich durch örtli che Verdampfung des Materials mit dem steuerbaren Laserstrahl erreicht.In addition, WO 97/13611 A1 describes a method and an Device for cutting, perforating or labeling recurring pattern in continuously moving Flat material described. The cutting, perforating or labeling is here, as in the previous mentioned EP 0 357 841 B1 exclusively by local evaporation of the material with the controllable Laser beam reached.

Bei beiden bekannten Lösungen wird auch die Geschwin digkeit, mit der das flache Material bewegt wird, detektiert und das gemessene Geschwindigkeitssignal für die Manipulierung des Laserstrahls benutzt. Nach der in WO 97/13611 A1 beschriebenen Lösung ist es außerdem erforderlich, Knick- oder Falzkanten zu de tektieren und auch diese Signale für die Ansteuerung des Strahlablenkystems zu benutzen. Es werden eben falls nur der Brennpunkt und die Laserintensität va riiert.In both known solutions, the speed is also with which the flat material is moved, detected and the measured speed signal used for manipulating the laser beam. To it is the solution described in WO 97/13611 A1 also required to de-crease or fold edges tect and these signals for control to use the beam deflection system. It will be if only the focal point and the laser intensity va ried.

Mit den bekannten Lösungen ist es jedoch nicht mög lich, beliebige Werkstücke, d. h. unter Verwendung verschiedenster Materialien, Materialstärken und Oberflächenstrukturen, auch in dreidimensionaler Form, zu bearbeiten. Weiterhin besteht keine Möglich keit, den Wärmeeintrag, der punktweise auf der Ober fläche auch von strukturierten Werkstückoberflächen, in definierter Höhe zu erreichen.However, it is not possible with the known solutions Lich, any workpieces, d. H. under use various materials, material thicknesses and Surface structures, also in three-dimensional Form to edit. There is still no possibility speed, the heat input, which is point by point on the upper surface of structured workpiece surfaces, to reach at a defined height.

Es können auch keine hochpräzisen Punktschweißverbin dungen an zwei miteinander zu verbindenden Werkstüc ken erreicht werden.Nor can high-precision spot welding on two workpieces to be joined together ken can be achieved.

Ein weiteres Problem, das mit den bekannten Lösungen nicht lösbar ist, besteht darin, daß bei bewegten Werkstücken nicht ohne weiteres Bohrungen oder Ein schnitte mit größerer Tiefe in das Werkstück einge bracht werden können, ohne daß eine kegelförmige Auf weitung einer solchen Bohrung oder eines solchen Ein schnittes in Richtung der Werkstückoberfläche vermie den werden kann. Mit den bekannten Verfahren ist es also nicht möglich, in bewegte Werkstücke mit einem Laserstrahl Bohrungen einzubringen, deren Innendurch messer über die gesamte Bohrungstiefe nahezu konstant ist und die gesamte Bohrung mit ihrer Längsachse or thogonal zur Bewegungsrichtung des Werkstückes ausge richtet ist.Another problem with the known solutions is not solvable, is that when moving Workpieces are not easily drilled or on cuts into the workpiece with greater depth can be brought without a conical up expansion of such a hole or such a cut in the direction of the workpiece surface that can be. With the known methods it is not possible in moving workpieces with one Laser beam drill holes, the inside of knife almost constant over the entire depth of the hole is and the entire bore with its longitudinal axis or thogonal to the direction of movement of the workpiece is aimed.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung vorzuschlagen, mit der ein definier ter Wärmeeintrag, lokal gezielt und punktweise auf die Oberfläche eines translatorisch und/oder rotato risch bewegten Werkstückes erreicht werden kann, wo bei solche Werkstücke an ihrer Oberfläche auch kon turiert ausgebildet sein können.It is therefore an object of the invention, a method and propose a device with which a defin heat input, locally targeted and point by point the surface of a translational and / or rotato rically moving workpiece can be achieved where with such workpieces also con can be trained.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestal tungsformen und Weiterbildungen der Erfindung, erge ben sich mit den in den untergeordneten Ansprüchen genannten Merkmalen.According to the invention, this object is achieved with the features of claim 1 solved. Advantageous design tion forms and developments of the invention, erge deal with those in the subordinate claims mentioned features.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird aufbauend auf den bekannten Lösungen ein Laserstrahl in minde stens einer Achse ausgelenkt, wobei bei der Auslen kung die translatorische und/oder rotatorische Bewe gung des entsprechenden Werkstückes berücksichtigt wird und die Auslenkung des Laserstrahls in der Form erfolgt, daß sie der Vorschubbewegung des bzw. mehre rer Werkstücke nachfolgt. Mit dieser Kompensation der Vorschubbewegung kann der Strahlfleck des Laser strahls auf einem vorgegebenen Punkt gehalten werden, so daß eine Relativbewegung zwischen diesem Punkt und dem bzw. den Werkstücken und dem Strahlfleck des La serstrahls über einen vorgegebenen Zeitraum verhin dert wird. Dadurch kann ein definierter Wärmeeintrag durch die entsprechende Zeit punktförmig in das Werk stück erfolgen.In the method according to the invention, it builds up a laser beam in mind on the known solutions least one axis deflected, with the deflection the translational and / or rotary movement the corresponding workpiece and the deflection of the laser beam in the form takes place that they increase the feed movement of the or workpieces. With this compensation the The beam spot of the laser can advance movement be held at a predetermined point so that a relative movement between this point and the workpiece (s) and the beam spot of the La over a specified period of time is changed. This allows a defined heat input by punctual time into the work piece.

Ein solcher Punkt ist bei den verschiedenen Werk stücken und durch möglichen Materialabtrag, infolge des Wärmeeintrages nicht nur durch zwei Koordinaten x, y eines kartesischen Koordinatensystems definiert, sondern seine Lage kann auch entlang einer dritten, orthogonal zu den beiden anderen Achsen ausgerichte ten z-Achse variieren. Für einen Ausgleich der Lage eines solchen Punktes entlang dieser z-Achse kann eine Strahlformungseinheit verwendet werden, mit der die Fokussierung des Laserstrahls entsprechend vari iert werden kann, so daß der Strahlfleck mit gleicher Größe während des vorgegebenen Zeitraumes, bei dem die Vorschubbewegung durch Auslenkung des Laser strahls kompensiert wird, konstant gehalten werden kann.Such a point is with the different work pieces and by possible material removal, as a result of the heat input not only by two coordinates defines x, y of a Cartesian coordinate system, but its location can also be along a third, aligned orthogonally to the other two axes ten axis vary. To compensate for the situation of such a point along this z axis a beam shaping unit can be used with which the focusing of the laser beam accordingly vari can be so that the beam spot with the same Size during the given period at which the feed movement by deflecting the laser beam is compensated, kept constant can.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung kann in sehr einfa cher Form und sehr exakt ein ganz bestimmter Wärme eintrag über einen Punkt auf der Oberfläche eines Werkstückes in reproduzierbarer Form erfolgen, wie dies z. B. bei einer Wärmebehandlung (lokal definier tes Härten bzw. Weichglühen), beim Punktschweißen oder bei der Ausbildung von tieferen Einschnitten und Bohrungen in ein bewegtes Werkstück erforderlich sein kann.With the solution according to the invention can in very simple shape and very precise a very specific warmth entry over a point on the surface of a Work done in reproducible form, such as this z. B. in a heat treatment (locally defined hardening or soft annealing), during spot welding or in the formation of deeper cuts and Drilling in a moving workpiece may be necessary can.

Soll ein solcher Wärmeeintrag an verschiedenen Orten eines entsprechenden Werkstücks erfolgen, oder es wird ein gepulster Laserstrahl verwendet, kann die oben beschriebene Kompensierung der Vorschubbewegung des/der Werkstücke(s) in vorgebbaren Zeit-Intervallen durchgeführt werden.Such heat input should be in different places a corresponding workpiece, or it if a pulsed laser beam is used, the compensation of the feed movement described above of the workpiece (s) at predefinable time intervals be performed.

Die Auslenkung des Laserstrahls erfolgt dabei jedoch generell unter vollständiger Berücksichtigung der Vorschubbewegung, d. h., es wird sowohl die Bewegungs richtung, wie auch die Geschwindigkeit der Vorschub bewegung berücksichtigt, so daß der Strahlfleck des ausgelenkten Laserstrahls für die gewählte Zeit dem jeweilig ausgewählten Punkt folgt.However, the laser beam is deflected generally taking full account of the Feed motion, d. that is, it will both the moving direction, as well as the speed of the feed movement is taken into account so that the beam spot of the deflected laser beam for the selected time selected point follows.

Nachdem der definierte Wärmeeintrag an einem Punkt erfolgt ist, kann der Laserstrahl in eine Ausgangs lage zurückgeführt oder auf einen neuen Punkt auf der Oberfläche des entsprechenden Werkzeuges gerichtet werden und an dem entsprechend neuen Punkt die Kom pensation und ein Wärmeeintrag, wie beschrieben, wie derholt werden. After the defined heat input at one point done, the laser beam can exit into an location or to a new point on the Surface of the corresponding tool and at the corresponding new point the com pensation and heat input, as described, how be repeated.

Da die verschiedenen Werkstücke nicht nur geradlinig bewegt werden, bzw. die mit einem Wärmeeintrag zu beaufschlagenden Punkte nicht auf einer Linie paral lel zur Vorschubbewegungsrichtung liegen, ist es er forderlich, den Laserstrahl in mindestens zwei Ach sen, die orthogonal zueinander ausgerichtet sind, auszulenken.Because the various workpieces are not just straightforward be moved, or with a heat input not parallel points on a line lel to the direction of feed movement, it is required the laser beam in at least two ach which are aligned orthogonally to each other, deflect.

Vorteilhaft ist es außerdem, den auf die Werkstück oberfläche gerichteten Laserstrahl mittels einer Strahlformungseinheit dem jeweiligen Abstand des vor gegebenen Punktes entsprechend zu fokussieren, so daß die Größe des Strahlfleckes konstant gehalten werden kann. Dies ist einmal erforderlich, wenn durch eine entsprechende Gestaltung der Werkstückoberfläche un terschiedliche Abstände ausgeglichen werden müssen und zum anderen, wenn die Lage des Punktes durch ei nen entsprechenden Materialabtrag, wie er bei der Ausbildung einer Bohrung auftritt, ausgeglichen wer den muß. Im letztgenannten Fall wird der Laserstrahl gleichzeitig ausgelenkt und neu fokussiert. Es ist jedoch nicht in jedem Fall erforderlich, den Brenn punkt so zu beeinflussen, daß er mit dem Strahlfleck auf der Werkstückoberfläche übereinstimmt.It is also advantageous that the on the workpiece surface directed laser beam by means of a Beam shaping unit the respective distance from the focus given point so that the size of the beam spot can be kept constant can. This is necessary once when through a appropriate design of the workpiece surface un different distances must be compensated and on the other hand if the position of the point by ei NEN appropriate material removal, as in the Formation of a hole occurs, who compensated that must. In the latter case, the laser beam deflected and refocused at the same time. It is however, not necessarily the burning to influence point so that it with the beam spot on the workpiece surface.

Günstigerweise wird der Abstand mit einem entspre chenden Abstandssensor für jeden einzelnen Punkt be stimmt und das gemessene Abstandssignal beeinflußt eine Steuerung, die wiederum die Strahlformungsein heit entsprechend beeinflußt, um die Fokussierung in der gewünschten Form einzustellen.Conveniently, the distance will correspond to one appropriate distance sensor for each individual point is correct and affects the measured distance signal a controller that in turn is beam shaping is influenced accordingly to focus in the desired shape.

Für die Auslenkung des Laserstrahls kann mindestens ein Umlenkspiegel, bevorzugt jedoch zwei solcher Um lenkspiegel (auch Scannerspiegel genannt) verwendet werden, die mit einem galvanometrischen Antrieb, je weils um eine Achse verschwenkt werden können, wobei die Antriebe für die Umlenkspiegel ebenfalls von der Steuerung, die auch die Strahlformungseinheit beein flußt, aktiviert werden können. Wird bei dem erfin dungsgemäßen Verfahren ein gepulster Laserstrahl ver wendet, ist es vorteilhaft den bzw. die Umlenkspiegel in bestimmten Winkeln stufenweise zu verschwenken, wobei die Schwenkbewegung entsprechend der Pulsfre quenz des Laserstrahls unter Berücksichtigung der Vorschubbewegungsgeschwindigkeit synchronisiert wird.At least for the deflection of the laser beam a deflecting mirror, but preferably two such order steering mirror (also called scanner mirror) used be with a galvanometric drive, each Weil can be pivoted about an axis, wherein the drives for the deflecting mirror also from the Control that also affects the beam shaping unit flows, can be activated. Will be invented method according to the invention a pulsed laser beam turns, it is advantageous to the deflecting mirror or mirrors to gradually pivot at certain angles, the pivoting movement corresponding to the pulse fre frequency of the laser beam taking into account the Feed movement speed is synchronized.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren besteht die Mög lichkeit, in einem Werkzeug, das aus den verschieden sten Materialien bestehen und das auch die verschie densten Formen aufweisen kann, mindestens eine Boh rung auszubilden, die als Durchgangsbohrung oder als sogenanntes Sackloch ausgebildet sein kann, wobei trotz der Vorschubbewegung eine Bohrung hergestellt werden kann, die über ihre gesamte Tiefe einen nahezu konstanten Innendurchmesser aufweist und nur eine äußerst geringe kelchförmige Aufweitung in Richtung Werkstückoberfläche zu verzeichnen ist. Außerdem kann eine solche Bohrung mit ihrer Längsachse orthogonal zur Werkstückoberfläche ausgerichtet, ausgebildet werden.With the method according to the invention, the possibility exists in a tool that is different from the other most materials and that also various may have the most shapes, at least one Boh training that as a through hole or as so-called blind hole can be formed, wherein despite the feed movement, a hole was made can be an almost over its entire depth has constant inner diameter and only one extremely small goblet-shaped widening in the direction Workpiece surface is recorded. Besides, can such a bore with its longitudinal axis orthogonal aligned to the workpiece surface, trained become.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung können auch mehrere Bohrungen achsparallel zueinander ausgerichtet in einem solchen Werkstück ausgebildet werden. Dadurch ist die Möglichkeit gegeben, in den verschiedensten Konturen eine Sollbruchstelle vorzugeben, so daß ein bestimmter Teil des Werkstückes entsprechend der Kon tur, bei Überschreiten einer definiert vorgebbaren Kraft, aus dem Werkstück herausgebrochen werden kann. With the solution according to the invention, several can Bores aligned parallel to each other in such a workpiece. Thereby the possibility is given in the most varied Specify contours a predetermined breaking point, so that a certain part of the workpiece according to the con tur, when exceeding a defined predeterminable Force that can be broken out of the workpiece.

Aus dekorativen Gründen kann es erforderlich sein, daß solche Bohrungen nicht durch das gesamte Werk stück, in der gesamten Dicke geführt sind, sondern ein bestimmter Materialanteil unbeeinflußt bleibt, so daß die Bohrungen, wie die sogenannten Sacklöcher ausgebildet sind. In diesem Fall ist es günstig, daß gleichzeitig die Tiefe der jeweiligen Bohrung gemes sen wird, so daß eine bestimmte Bohrtiefe eingehalten werden kann.For decorative reasons it may be necessary that such bores do not go through the entire plant pieces, are guided in the entire thickness, but a certain proportion of material remains unaffected, so that the holes, like the so-called blind holes are trained. In this case it is favorable that simultaneously measured the depth of the respective hole sen, so that a certain drilling depth is maintained can be.

Für Werkstücke, die in Abtragsrichtung eine unter schiedliche Dicke aufweisen, ist es zweckmäßig, auch die Dicke eines solchen Werkstückes ortsaufgelöst an dem jeweilig vorgegebenen Punkt bzw. Bohrung zu be stimmen, so daß die Restmaterialdicke durch unter schiedliche Bohrungstiefen mehrerer Bohrungen kon stant gehalten werden kann, was sich insbesondere für den Fall der Ausbildung einer gezielten Sollbruch stelle an einem Werkstück vorteilhaft auswirken kann.For workpieces that are one under in the direction of removal have different thickness, it is useful, too the thickness of such a workpiece in a spatially resolved manner the respective specified point or bore agree, so that the residual material thickness by under different drilling depths of several holes con can be kept constant, which is particularly true for the case of training a targeted breaking point place on a workpiece can have an advantageous effect.

Ein entsprechender Anwendungsfall besteht darin, daß in einer Instrumententafel eines Kraftfahrzeuges ein Airbagöffnungsbereich ausgebildet werden soll. Hier bei werden der Kontur des Airbagöffnungsbereiches entsprechend in gleichmäßigen Abständen parallele Bohrungen in eine solche Instrumententafel einge bracht, wobei es aus Sicherheitsgründen erforderlich ist, daß die Abstände, die Innendurchmesser und die verbleibende Restmaterialdicke an jeder Bohrung kon stant gehalten ist. Dies bedeutet, daß die Bohrungs tiefe in Abhängigkeit der lokal zu verzeichnenden Werkstückdicken einer solchen Instrumententafel zu berücksichtigen ist, so daß bei Auslösen eines Air bags der Airbagöffnungsbereich ohne weiteres aus der Instrumententafel durch Bruch der mit den Bohrungen vorgegebenen Sollbruchstelle erfolgen kann. Bei die sem Anwendungsfall kann die verbleibende Restmateri aldicke an einer Kante des Airbagöffnungsbereiches geringfügig, durch Variation der Bohrtiefen in diesem Kantenbereich größer sein, als an den anderen Kanten bereichen, so daß diese Kante Scharnierfunktion über nehmen kann.A corresponding application is that in an instrument panel of a motor vehicle Airbag opening area is to be formed. Here at the contour of the airbag opening area accordingly parallel at regular intervals Drilled holes in such an instrument panel brings, it is required for security reasons is that the distances, the inner diameter and the remaining residual material thickness at each hole con is kept constant. This means that the bore depth depending on the locally recorded Workpiece thicknesses of such an instrument panel is taken into account so that when triggering an Air bags the airbag opening area easily from the Instrument panel due to breakage with the holes predetermined breaking point can take place. At the The remaining material can be used in this application aldicke at an edge of the airbag opening area slightly, by varying the drilling depths in this Edge area be larger than at the other edges areas so that this edge hinge function over can take.

Vorteilhaft können für jedes bearbeitete Werkstück die Positionskoordinaten der entsprechenden einzelnen Punkte und zumindest die gemessene Tiefe der einzel nen Bohrungen in digitalisierter Form in ein elektro nisches Speichermedium eingegeben werden, so daß ein entsprechender Nachweis nachträglich für jedes bear beitete Werkstück erbracht werden kann.Can be advantageous for each machined workpiece the position coordinates of the corresponding individual Points and at least the measured depth of each holes in digitized form in an electro African storage medium can be entered, so that a appropriate proof retrospectively for each bear machined workpiece can be provided.

Mit der Erfindung kann ein Wärtmeeintrag in Werk stücke mit hoher Präzision und Reproduzierbarkeit erfolgen, so daß eine gezielte Bearbeitung bzw. Be einflussung eines Werkstückes oder des Werkstoffes ortsaufgelöst erreichbar ist.With the invention, heat input in the plant pieces with high precision and reproducibility take place so that a targeted processing or loading influence of a workpiece or the material is reachable in a locally resolved manner.

Nachfolgend soll die Erfindung an Beispielen näher beschrieben werden.In the following, the invention will be illustrated in more detail by examples to be discribed.

Dabei zeigen:Show:

Fig. 1 ein einfaches Beispiel einer Vorrichtung zur Ausbildung von achsparallelen Bohrungen in einem geradlinig bewegten Werkstück; Fig. 1 shows a simple example of a device for the formation of axis-parallel bores in a linearly moving workpiece;

Fig. 2 in drei Bewegungsschritten, die Ausbildung einer Bohrung in einem geradlinig bewegten Werkstück; Figure 2 in three movement steps, the formation of a hole in a straight moving workpiece.

Fig. 3 schematisch den Querschnitt einer Bohrung, die mit drei Laserpulsen ohne Vorschubbewe gungskompensation in einem Werkstück ausge bildet wird; Fig. 3 shows schematically the cross section of a bore which is formed with three laser pulses without feed movement compensation in a workpiece;

Fig. 4 eine schematische Darstellung für die Aus bildung einer Bohrung, mit ebenfalls drei Laserpulsen, jedoch mit Vorschubbewegungs kompensation; Fig. 4 is a schematic representation for the formation of a hole, also with three laser pulses, but with feed motion compensation;

Fig. 5 den schematischen Aufbau einer Vorrichtung, mit der in ein geradlinig bewegtes, eine gewölbte Oberfläche aufweisendes Werkstück einer vorgegebenen Kontur folgend, Bohrun gen ausgebildet werden können. Fig. 5 shows the schematic structure of a device with which holes can be formed in a rectilinearly moving workpiece having a curved surface following a predetermined contour.

Fig. 6 zwei durch Punktschweißung verbundene Werk stücke. Fig. 6 two pieces connected by spot welding.

In der Fig. 1 ist ein sehr einfaches Beispiel darge stellt, bei dem mit einer Vorrichtung in einem trans latorisch geradlinig bewegten Werkstück 1 Bohrungen 11 ausgebildet werden können. Ein aus einer Laser lichtquelle 9 über einen um eine Achse verschwenkba ren Umlenkspiegel 4 gerichteter Laserstrahl wird so auf die Oberfläche des Werkstückes 1 gerichtet. Die hier gepulst betriebene Laserlichtquelle 9 ist mit einer elektronischen Steuerung 10, z. B. einem her kömmlichen Personalcomputer verbunden, mit dem z. B. die Pulsfrequenz der Laserlichtquelle 9 entsprechend beeinflußt werden kann. Die elektronische Steuerung 10 ist außerdem mit dem Antrieb des Umlenkspiegels 4 verbunden, so daß dieser, bevorzugt bei gepulstem Betrieb der Laserlichtquelle 9, in bestimmten Winkel schritten verschwenkt werden kann. In Fig. 1 is a very simple example Darge presents, in which 1 holes 11 can be formed with a device in a translationally linearly moving workpiece. A laser beam from a laser light source 9 directed via a deflecting mirror 4 about an axis ren is thus directed onto the surface of the workpiece 1 . The pulsed laser light source 9 is equipped with an electronic control 10 , e.g. B. connected to a conventional personal computer, with the z. B. the pulse frequency of the laser light source 9 can be influenced accordingly. The electronic control 10 is also connected to the drive of the deflecting mirror 4 , so that it can be pivoted at certain angles, preferably in pulsed operation of the laser light source 9 .

Für die Ausbildung einer Bohrung, im translatorisch bewegten Werkstück 1, wobei der links eingezeichnete Pfeil die Vorschubbewegung erkennen läßt, wird ein Laserpuls des Laserstrahls 2 auf die Oberfläche ge richtet. Im Anschluß daran der Umlenkspiegel 4 um einen bestimmten Winkelbetrag verschwenkt, so daß der folgende Laserpuls wieder auf den gleichen Punkt der Werkstückoberfläche des Werkstückes 1 gerichtet wird, wie dies bei dem ersten Laserpuls der Fall der war. Dieser Vorgang kann so oft wiederholt werden, bis die Bohrung 11 in der gewünschten Tiefe ausgebildet ist. Zu diesem Zeitpunkt wird der Umlenkspiegel 4 wieder in die Ausgangsstellung zurückverschwenkt und der Vorgang kann für die Ausbildung einer nächstfolgenden Bohrung 11, die achsparallel zu den vorhergehenden Bohrungen 11 angeordnet ist, wiederholt werden.For the formation of a bore, in the translationally moved workpiece 1 , the arrow shown on the left showing the feed movement, a laser pulse of the laser beam 2 is directed to the surface. Subsequently, the deflecting mirror 4 is pivoted by a certain angle, so that the following laser pulse is again directed to the same point on the workpiece surface of the workpiece 1 as was the case with the first laser pulse. This process can be repeated until the bore 11 is formed at the desired depth. At this time, the deflecting mirror 4 is pivoted back into the starting position and the process can be repeated for the formation of a next hole 11 , which is arranged axially parallel to the previous holes 11 .

Dieses Vorgehen ist schematisch in drei Stufen, für drei Laserpulse zur Ausbildung einer Bohrung 11, bei fortschreitendem Werkstück 1 dargestellt.This procedure is shown schematically in three stages, for three laser pulses to form a bore 11 , with the workpiece 1 advancing.

Bei den in den Fig. 1 und 2 gezeigten einfachen Beispielen, wird auf eine Korrektur der Fokussierung des Laserstrahls entsprechend des veränderten Abstan des, infolge des Materialabtrages, nach jedem Laser puls verzichtet. Eine entsprechende Korrektur ist jedoch für viele Anwendungsfälle zweckmäßig, worauf nachfolgend noch zurückzukommen sein wird.In the simple examples shown in FIGS. 1 and 2, a correction of the focusing of the laser beam in accordance with the changed distance, due to the material removal, is dispensed with after each laser pulse. A corresponding correction is useful for many applications, however, which will be discussed below.

In der Fig. 3 ist schematisch dargestellt, wie die Form einer solchen Bohrung 11, ohne eine entsprechen de Kompensation der Vorschubbewegung des Werkstückes 1 ausgebildet wird. Dabei ist in der oberen Darstel lung erkennbar, wie der Innendurchmesser einer so hergestellten Bohrung sukzessive sich in Richtung auf die Oberfläche des Werkstückes, bei einem gepulsten Laserstrahl in Stufen kelchförmig erweitert, da jeder Laserpuls auch Material infolge der Vorschubbewegung des Werkstückes 1 abträgt. Dabei ist der obere Teil der Bohrung mit dem größten Innendurchmesser infolge des Einflusses der drei nacheinander auf die Oberflä che des Werkstückes 1 gerichteten Laserpulse, der mittlere Teil mit dem mittleren Innendurchmesser durch zwei Laserpulse und der Teil mit dem kleinsten Innendurchmesser durch einen und zwar den letzten Laserpuls, erhalten worden.In Fig. 3 is shown schematically how the shape of such a bore 11 is formed without a corresponding de compensation of the feed movement of the workpiece 1 . It can be seen in the upper presen- tation how the inner diameter of a hole produced in this way gradually widened in the direction of the surface of the workpiece with a pulsed laser beam in stages in a goblet shape, since each laser pulse also removes material as a result of the feed movement of the workpiece 1 . The upper part of the hole with the largest inner diameter is due to the influence of the three successive laser pulses directed to the surface of the workpiece 1 , the middle part with the mean inner diameter by two laser pulses and the part with the smallest inside diameter by one, namely the last Laser pulse.

Demgegenüber kann mit dem erfindungsgemäßen Verfahren der Wärmeeintrag auf einen Punkt des Werkstückes 1 so beeinflußt werden, daß eine Bohrung 11 erhalten wer den kann, wie sie schematisch in der Fig. 4 darge stellt ist. Insbesondere in der unteren Darstellung ist erkennbar, daß die Abweichung des Innendurchmes sers im unteren Teil vom Innendurchmesser an der Oberfläche des Werkstückes 1 sehr gering ist, so daß gegenüberliegende Seiten der Bohrung 11, nahezu parallel ausgerichtet sind und gleichzeitig die Längsachse der so hergestellten Bohrung 11 nahezu orthogonal zur Oberfläche des Werkstückes ausgerich tet werden kann.In contrast, with the method according to the invention, the heat input to a point on the workpiece 1 can be influenced in such a way that a bore 11 can be obtained, as is shown schematically in FIG. 4. In particular in the lower illustration it can be seen that the deviation of the inner diameter in the lower part from the inner diameter on the surface of the workpiece 1 is very small, so that opposite sides of the bore 11 are aligned almost parallel and at the same time the longitudinal axis of the bore 11 thus produced can be aligned almost orthogonally to the surface of the workpiece.

In der Fig. 5 ist ein Beispiel einer erfindungsgemä ßen Vorrichtung dargestellt, mit der ein komplexer geformtes Werkstück 1, hier eines mit gekrümmter Kon tur, bearbeitet werden kann.In FIG. 5, an example of an inventive apparatus SEN is shown with a complex shaped workpiece 1, one can be edited here curved Kon tur.

Das Werkstück 1 ist hier auf einer nicht dargestell ten Werkzeugaufnahme fixiert, die mittels einer eben falls nicht dargestellten CNC-Steuerung entlang einer Achse translatorisch bewegt werden kann. Es handelt sich in dieser Darstellung um die y-Achse, die mit einem Doppelpfeil dargestellt ist.The workpiece 1 is fixed here on a tool holder, not shown, which can be moved translationally along an axis by means of a CNC control, if not shown. This is the y-axis, which is shown with a double arrow.

Zur Verkürzung der Standzeiten einer solchen Vorrich tung können auch zwei solcher Werkzeugaufnahmen, wie dies in Fig. 5 mit dem gezeigten zweiten Werkstück 1 angedeutet ist, verkürzt werden, da der Austausch eines fertig bearbeiteten Werkstücke 1 gegen ein noch nicht bearbeitetes Werkstück an einer Werkzeugaufnah me erfolgen kann, während das andere Werkstück 1 auf der anderen Werkzeugaufnahme bearbeitet wird.To shorten the service life of such a Vorrich device, two such tool holders, as indicated in FIG. 5 with the second workpiece 1 shown, can be shortened, since the exchange of a finished workpiece 1 against a workpiece that has not yet been processed on a tool holder can take place while the other workpiece 1 is being processed on the other tool holder.

Der Laserstrahl 2, einer hier ebenfalls nicht darge stellten Laserlichtquelle, die bevorzugt ein gepuls ter CO₂-Laser sein kann, wird über einen starren Um lenkspiegel 13 auf einen Umlenkspiegel 4 gerichtet, der jedoch um eine Achse verschwenkt werden kann. Mit dem Umlenkspiegel 4 wird der Laserstrahl 2 auf einen zweiten Umlenkspiegel 5, der bei diesem Beispiel in einem Bearbeitungskopf 8 aufgenommen ist, gerichtet und mit dem Umlenkspiegel 5 auf die Oberfläche des Werkstückes 1 gerichtet.The laser beam 2 , a laser light source, also not shown here, which can preferably be a pulsed CO ₂ laser, is directed via a rigid deflecting mirror 13 to a deflecting mirror 4 , which, however, can be pivoted about an axis. With the deflecting mirror 4 , the laser beam 2 is directed onto a second deflecting mirror 5 , which is accommodated in a processing head 8 in this example, and is directed onto the surface of the workpiece 1 with the deflecting mirror 5 .

Eine Strahlformungseinheit 3 kann bei diesem Beispiel als Teleskop zwischen dem starren Umlenkspiegel 13 und dem schwenkbaren Umlenkspiegel 4 ausgebildet sein. Die Strahlformung kann aber auch durch entspre chende Bewegung des Bearbeitungskopfes 8, in der Fig. 5 in Richtung der x-Achse oder der z-Achse durch geführt werden.In this example, a beam shaping unit 3 can be designed as a telescope between the rigid deflecting mirror 13 and the pivotable deflecting mirror 4 . The beam shaping can also be performed by corresponding movement of the machining head 8 in FIG. 5 in the direction of the x-axis or the z-axis.

Da bei diesem Beispiel ein gekrümmtes Werkstück 1 bearbeitet werden soll, ist es zweckmäßig, den jewei ligen Abstand der Werkstückoberfläche mit einem Ab standssensor 6 ortsaufgelöst zu messen, so daß die Strahlformungseinheit 3 oder der Bearbeitungskopf 8 entsprechend manipuliert werden können, so daß die Größe des Strahlfleckes auf der Oberfläche des Werk stückes 1 unabhängig vom jeweiligen Abstand konstant gehalten werden kann.Since, in this example, a curved workpiece 1 is to be machined, it is expedient to measure the respective distance of the workpiece surface with a position-sensitive sensor 6 , so that the beam shaping unit 3 or the processing head 8 can be manipulated accordingly, so that the size of the Beam spot on the surface of the workpiece 1 can be kept constant regardless of the distance.

Am Bearbeitungskopf 8 ist außerdem ein Bohrtiefensen sor 12 angeordnet, mit dem die jeweilige Bohrtiefe einer Bohrung 11 gemessen und die Laserlichtquelle in Verbindung mit Umlenkspiegel 4 und Bearbeitungskopf 8 entsprechend gesteuert werden kann, so daß eine vor gegebene Bohrtiefe jeder einzelnen Bohrung 11 einge halten werden kann.On the machining head 8 , a Bohrtiefensen sensor 12 is also arranged, with which the respective drilling depth of a bore 11 is measured and the laser light source in conjunction with deflecting mirror 4 and processing head 8 can be controlled accordingly, so that a given drilling depth of each individual bore 11 can be maintained .

Der hier dargestellte Bearbeitungskopf 8 hat mehrere Freiheitsgrade, außer den bereits in x-Achsen und z- Achsen erwähnten. Er kann zusätzlich um die c-Achse und um die b-Achse verschwenkt werden, wobei das Ver schwenken um die b-Achse auch durch ein entsprechen des Verschwenken des Umlenkspiegels 5, der im Bear beitungskopf 8 aufgenommen ist, erfolgen kann.The machining head 8 shown here has several degrees of freedom, apart from those already mentioned in the x-axes and z-axes. It can also be pivoted about the c-axis and about the b-axis, the pivoting about the b-axis also being possible by correspondingly pivoting the deflecting mirror 5 , which is incorporated in the machining head 8 .

Die CNC-Steuerung kann nicht nur die Bewegung des Werkstückes 1 beeinflussen, sondern es ist zweckmä ßig, auch die Steuerung der Laserlichtquelle, der optischen Elemente für die Auslenkung und Formung des Laserstrahls 2 mittels der CNC-Steuerung zu realisie ren. Dadurch kann auf die Messung der Vorschubge schwindigkeit bzw. des Vorschubweges verzichtet wer den. Außerdem können die Meßsignale der Sensoren 6, 7 und 12 in der CNC-Steuerung verarbeitet und berück sichtigt werden.The CNC control can not only influence the movement of the workpiece 1 , but it is expedient to realize the control of the laser light source, the optical elements for the deflection and shaping of the laser beam 2 by means of the CNC control Measurement of the feed speed or the feed path is dispensed with. In addition, the measurement signals from sensors 6 , 7 and 12 can be processed and taken into account in the CNC control.

Bei dem in Fig. 5 gezeigten Beispiel ist ein zweiter Abstandssensor 7 erkennbar, der von der anderen Seite auf die entsprechende Oberfläche des Werkstückes 1 gerichtet ist. Mit diesem kann in Verbindung mit dem erstgenannten Abstandssensor 6, der hier am Bearbei tungskopf 8 angeordnet ist, die jeweilige Dicke des Werkstückes 1 ortsaufgelöst bestimmt werden. Dadurch können zum einen Werkstückdickenschwankungen, auch solche die infolge Werkstücktoleranzen oder infolge Werkstückgestaltung vorhanden sind, berücksichtigt werden. Dies wirkt sich, wie bereits im allgemeinen Teil der Beschreibung erwähnt, insbesondere dann vor teilhaft aus, wenn Bohrungen 11 in einem Werkstück 1 hergestellt werden sollen, die eine bestimmte Restma terialdicke bis zur unbearbeiteten Oberfläche eines solchen Werkstückes 1 sichern müssen.In the example shown in FIG. 5, a second distance sensor 7 can be seen , which is directed from the other side onto the corresponding surface of the workpiece 1 . With this, in conjunction with the first-mentioned distance sensor 6 , which is arranged here on the processing head 8 , the respective thickness of the workpiece 1 can be determined in a spatially resolved manner. As a result, fluctuations in workpiece thickness can be taken into account, including those that exist as a result of workpiece tolerances or as a result of workpiece design. This has an effect, as already mentioned in the general part of the description, particularly before if holes 11 are to be made in a workpiece 1 , which have to secure a certain residual material thickness up to the unworked surface of such a workpiece 1 .

Bei den in Fig. 5 gezeigten Werkstücken 1 sollen eine Vielzahl von Bohrungen, die einer bestimmten Kontur folgen sollen, hier in Form annähernd eines Rechteckes, ausgebildet werden. Dabei muß bei der Bearbeitung beachtet werden, daß sich die Vorschubge schwindigkeit des Werkstückes 1 immer dann stark än dert, wenn die Bohrungen nicht parallel zur Bewe gungsrichtung des Werkstückes 1 ausgebildet werden sollen, sondern deren Lage in z-Achsenrichtung abwei chen muß. Dabei sind insbesondere die Eckbereiche kritisch, da dort gleichzeitig eine Vorschubbewegung in y-Achse des Werkstückes und eine gezielte Auslen kung des Strahlflecks in z-Achsenrichtung erfolgt. In diesem Fall muß die elektronische Steuerung, insbe sondere die Laserpulsfrequenz entsprechend synchroni sieren.In the workpieces 1 shown in FIG. 5, a multiplicity of bores which are to follow a specific contour, here in the form of approximately a rectangle, are to be formed. It must be noted in the processing that the feed speed of the workpiece 1 always changes greatly when the holes are not to be formed parallel to the direction of movement of the workpiece 1 , but the position of which must be in the z-axis direction. The corner areas are particularly critical, since at the same time there is a feed movement in the y-axis of the workpiece and a targeted deflection of the beam spot in the z-axis direction. In this case, the electronic control, in particular the laser pulse frequency in particular must synchronize accordingly.

Um entstehende Gase oder Dämpfe aus dem Einflußbe reich des Laserstrahls 2 oberhalb der Oberfläche des Werkstückes 1 zu halten, kann vorteilhaft eine oder mehrere Düsen verwendet werden, mit denen Druckluft oder ein inertes Gas eingeblasen wird, so daß eine Absorption durch die Gase bzw. Dämpfe des Laser strahls 2 vermieden werden.In order to keep gases or vapors from the area of influence of the laser beam 2 above the surface of the workpiece 1 , one or more nozzles can advantageously be used with which compressed air or an inert gas is blown in, so that absorption by the gases or vapors the laser beam 2 can be avoided.

Erfolgt der Materialabtrag im Werkstück 1 nicht durch Verdampfen, sondern es wird, wie beim Laserschweißen, so verfahren, daß mit dem Laserstrahl 2 eine Schmelze erzeugt wird, kann diese mit einem entsprechenden Druckgasstrahl weggeblasen werden, wobei jedoch zu beachten ist, daß feste oder flüssige abgeblasene Materialpartikel die optischen Elemente nicht negativ beeinflussen können.If the removal of material in the workpiece 1 does not take place by evaporation, but instead, as in laser welding, the process is such that a melt is generated with the laser beam 2 , this can be blown away with a corresponding pressurized gas jet, although it should be noted that solid or liquid Blown-off material particles cannot negatively influence the optical elements.

Es besteht auch die Möglichkeit, die Führung des La serstrahles 2 mit Hilfe eines Armes eines Industrie roboters zumindest zu unterstützen. Dabei kann der Industrieroboterarm z. B. die Bewegung bei der Bear beitung eines großflächigen Werkstückes 1 unterstüt zen und die feinere Auslenkung in der beschriebenen Form mittels der Umlenkspiegel 4, 5 vorgenommen wer den.There is also the possibility to at least support the guidance of the laser beam 2 with the help of an arm of an industrial robot. The industrial robot arm z. B. the movement in the Bear processing a large workpiece 1 support zen and the finer deflection in the form described by means of the deflecting mirror 4 , 5 who made the.

In der Fig. 6 ist wiederum eine andere Möglichkeit dargestellt, wie die Erfindung günstigerweise einge setzt werden kann. Hierbei werden zwei Werkstücke 1 und 1' durch eine Punktschweißverbindung miteinander verbunden. Dabei kann wiederum durch die Überlagerung der Vorschubbewegung der Werkstücke 1 und 1' mit der Auslenkung des Laserstrahls 2 die Bearbeitungsge schwindigkeit beträchtlich erhöht werden. Durch das erfindungsgemäße Vorgehen ist es aber besonders vor teilhaft, daß der Wärmeeintrag für jeden einzelnen Schweißpunkt gleich gehalten werden kann, so daß im mer eine gleichbleibende und homogene Verbindung für jeden einzelnen Schweißpunkt erreicht werden kann und demzufolge die Festigkeit der einzelnen Schweißpunktverbindungen an den beiden Werkstücken 1 und 1' konstant zu halten ist.Can be in the Fig. 6 shows another possibility in turn is shown how the invention is conveniently inserted. Here, two workpieces 1 and 1 'are connected to one another by a spot weld connection. Here again, the machining speed can be increased considerably by superimposing the feed movement of the workpieces 1 and 1 'with the deflection of the laser beam 2 . By the procedure according to the invention it is particularly geous that the heat input can be kept the same for each individual welding spot, so that a constant and homogeneous connection can be achieved for each individual welding spot and consequently the strength of the individual welding spot connections on the two workpieces 1 and 1 'is to be kept constant.

Außerdem kann die Wärmebeeinflussung der beiden Werk stücke 1 und 1' lokal begrenzt, immer exakt um die einzelnen Schweißpunkte herum verteilt gehalten wer den, was sich für viele Einsatzzwecke als günstig erwiesen hat.In addition, the heat influence of the two workpieces 1 and 1 'locally limited, always kept exactly distributed around the individual welding points, which has proven to be advantageous for many purposes.

Claims

1. A method for locally targeted, point-by-point heat input with a laser beam onto the surface of translationally and / or rotationally moved workpieces, in which the feed movement of the workpiece (s) is compensated by a deflection of the laser beam ( 2 ) following this feed movement is characterized in that the beam spot is held at a predeterminable point, so that a relative movement between rule's predeterminable point on the workpiece (s) ( 1 , 1 ') and the beam spot over a predetermined period of time for a defined heat input , is prevented.

2. The method according to claim 1, characterized in that the compensation of the feed movement of the workpiece (s) ( 1 , 1 ') is carried out at predefinable time intervals.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the laser beam ( 2 ) after completion of the heat input at one point returned to a starting position or directed to a new point on the surface and the compensation is repeated at a new point .

4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the laser beam ( 2 ) is deflected in at least two axes.

5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the laser beam ( 2 ) by means of a beam shaping unit ( 3 ) is based on the respective distance of the point in focus.

6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the distance of the workpiece (s) ( 1 , 1 ') by means of at least one distance sensor ( 6 ) and measured with the measured distance via a controller ( 10 ) the beam shaping unit ( 3 ) is influenced.

7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that at least one deflecting mirror ( 4 , 5 ) is used for the deflection of the laser beam ( 2 ).

8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that for the deflection of a pulsed laser beam ( 2 ) the / the deflecting mirror ( 4 , 5 ) is pivoted at certain angles / are gradually.

9. The method according to claim 8, characterized in that the pulse frequency of the laser beam ( 2 ) is synchronized with the speed of the feed movement.

10. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that at least one bore ( 11 ) is formed in a workpiece ( 1 ).

11. The method according to any one of claims 1 to 10, characterized in that a plurality of bores ( 11 ) are formed axially parallel to one another.

12. The method according to claim 11, characterized in that the depth of the bore ( 11 ) is measured.

13. The method according to any one of claims 1 to 12, characterized in that the thickness of the workpiece (s) ( 1 , 1 ') is measured.

14. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that in one instrument Tentafel of a motor vehicle an airbagöff area is formed in which the contour following the airbag opening area in evenly bores parallel holes introduced become.

15. The method according to claim 14, characterized in that for each individual bore ( 11 ), the position coordinates and the measured depth of the bore ( 11 ) are entered in digitized form into an electronic storage medium.

16. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that two workpieces ( 1 , 1 ') are joined together by spot welding.

17. Device for performing a method according to one of claims 1 to 16, characterized in that at least one workpiece ( 1 ) is arranged on a translationally movable workpiece holder or a turntable and a laser beam ( 2 ) of a laser light source ( 9 ) via at least one Deflecting mirror ( 4 , 5 ) is directed onto the surface of the workpiece ( 1 ), the deflecting mirror ( 4 ) around an axis corresponding to the feed speed of the workpiece ( 1 ) being pivotable uniformly or in predeterminable angular steps.

18. The apparatus according to claim 17, characterized in that the laser beam ( 2 ) via a second deflection mirror ( 5 ), the pivot axis of which is oriented orthogonally to the pivot axis of the first deflecting mirror, is directed onto the workpiece ( 1 ).

19. The apparatus according to claim 18, characterized in that a, via an electronic control ( 10 ), a laser beam forming unit ( 3 ) influencing distance sensor ( 6 ) is present.

20. Device according to one of claims 17 to 19, characterized in that a second sensor ( 7 ) for determining the spatially resolved thickness of the workpiece ( 1 ) is present.

21. The device according to one of claims 17 to 20, characterized in that an approximately par allel to the laser beam ( 2 ) aligned sensor ( 12 ) for determining the depth of the hole is present.

22. The device according to one of claims 17 to 21, characterized in that workpiece holder or turntable connected to a CNC control they are.

23. The device according to claim 22, characterized in that drives for the / the deflecting mirror ( 4 , 5 ) and the beam shaping unit ( 3 ) are connected to the CNC control.

24. The device according to any one of claims 17 to 23, characterized in that a deflecting mirror ( 5 ) is received in a processing head ( 8 ) which moves translato rically in at least one axis or can be pivoted ver at least one axis.