DE19840523A1 - Deadpath compensating interferometer for displacement measurements - Google Patents
Deadpath compensating interferometer for displacement measurementsInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung bezieht sich auf die Interferometrie. Insbe sondere bezieht sich diese Erfindung auf ein verbessertes Laserinterferometer, das eine Korrektur eines Totpfadfehlers liefert, der Verschiebungsmessungen zugeordnet ist.The invention relates to interferometry. In particular particular, this invention relates to an improved Laser interferometer that corrects a dead path error returns to which displacement measurements are assigned.
Laserinterferometersysteme haben in vielen Herstellungstech nologien große Vorteile. Da sie bei der Messung von Abstän den ausgefeilt und genau sind, führten Laserinterferometer zu der Herstellung von integrierten Schaltungen mit höherer Dichte und zu mechanischen Präzisionskomponenten zur Her stellung von optischen Platten mit Magnetspeicherung und zur Maschinenwerkzeugkalibration. Da der Bedarf nach immer größerer Genauigkeit ansteigt, wird das Reduzieren von Feh lern in dem Lasersystem immer wichtiger.Laser interferometer systems have many manufacturing technologies technologies great advantages. Since they are in the measurement of distances which are sophisticated and accurate, led by laser interferometers for the production of integrated circuits with higher Dense and too mechanical precision components position of optical disks with magnetic storage and for Machine tool calibration. Because the need for always increases with greater accuracy, reducing error learn more and more important in the laser system.
Da Interferometer eine optische Weglänge messen, können Feh ler durch Faktoren eingeführt werden, die Variationen in der Umgebungsluft sowie weitere Fehlerquellen umfassen. Ein Totpfadfehler wird durch eine nicht-kompensierte Länge eines Laserstrahls zwischen dem Interferometer und dem Meßreflek tor oder Spiegel bewirkt, wenn die Interferometerstufe an einer Neueinstellungsposition ist. Die Neueinstellungsposi tion ist allgemein als der Nullpunkt oder Verriegelungspunkt ("Lockup Point") bekannt. Der Totpfadabstand ist die Diffe renz zwischen der optischen Länge der Referenz- und der Meß komponente des Laserstrahls an der Null-Position. Diese un gleichen Komponenten erzeugen einen Meßfehler.Since interferometers measure an optical path length, Feh be introduced by factors that vary in the Ambient air and other sources of error include. A Dead path error is caused by an uncompensated length of one Laser beam between the interferometer and the measurement reflector Tor or mirror causes when the interferometer level on a recruitment position. The hiring posi tion is commonly referred to as the zero point or locking point ("Lockup Point") known. The dead path distance is the Diffe limit between the optical length of the reference and the measurement component of the laser beam at the zero position. This un same components produce a measurement error.
Fig. 1 stellt die ungleichen Weglängen für ein herkömmliches Interferometer dar. Die Totpfadlänge ist mit "Dz" bezeich net, die Referenzkomponente ist mit fv bezeichnet, und die Meßkomponente ist mit fh bezeichnet. Fig. 1 shows the unequal path lengths for a conventional interferometer. The dead path length is denoted by "D z ", the reference component is denoted by f v , and the measurement component is denoted by f h .
Die Komponente fh hat eine längere optische Weglänge als die Komponente fv, und zwar um einen Abstand "Dz". Beim Durch führen einer Interferometriemessung kann der Meßreflektor um einen Abstand "L" (wie es in Fig. 1B gezeigt ist) zu einer neuen Position bewegt werden und derselbe kommt dort zur Ruhe. Da ein Laserinterferometer nur "Wellenlängen einer Bewegung" mißt, was nur den Abstand "L" betrifft, wird das System keine Wellenlängenänderung über "Dz" korrigieren. Dies wird in einer offensichtlichen Verschiebung der Null- Position des Meßgeräts resultieren. Diese Null-Verschiebung ist ein Totpfadfehler, wobei solch ein Fehler immer auf tritt, wenn sich die Umgebungsbedingungen während einer Mes sung ändern.The component f h has a longer optical path length than the component f v , namely by a distance "D z ". When carrying out an interferometric measurement, the measuring reflector can be moved by a distance "L" (as shown in FIG. 1B) to a new position and the same comes to rest there. Since a laser interferometer only measures "wavelengths of a movement", which only affects the distance "L", the system will not correct any change in wavelengths via "D z ". This will result in an obvious shift in the zero position of the measuring device. This zero shift is a dead path error, and such an error always occurs when the ambient conditions change during a measurement.
Bei sehr herausfordernden Anwendungen, die eine größere Ge nauigkeit erfordern, ist es wünschenswert, so viele Fehler quellen als möglich zu eliminieren, wobei sich der Totpfad fehler unter denselben befindet. Ferner ist es sehr wün schenswert, die Einmischung eines Betreibers bei der Fehler korrektur zu beseitigen. In anderen Worten ist die automati sche Elimination einer Fehlerquelle, derart, daß sie für den Maschinenbetreiber transparent ist, wünschenswert, derart, daß auch eine zusätzliche Fehlerquelle (der Betreiberfehler beim Überwinden des Totpfadfehlers beispielsweise) vermieden wird.For very challenging applications that require a larger Ge require accuracy, it is desirable to have so many errors sources to eliminate as possible, leaving the dead path error is among them. It is also very nice worth it, the interference of an operator in the error eliminate correction. In other words, it is automatic cal elimination of a source of error, such that it for the Machine operator is transparent, desirable, such, that also an additional source of error (the operator error avoided when overcoming the dead path error) becomes.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Interferometer zu schaffen, bei dem möglichst viele Fehler quellen beseitigt sind.The object of the present invention is a To create an interferometer with as many errors as possible sources are eliminated.
Diese Aufgabe wird durch ein Interferometer nach Anspruch 1 gelöst.This object is achieved by an interferometer according to claim 1 solved.
Die vorliegende Erfindung liefert eine automatische Kompen sation des Totpfadfehlers in einem Heterodynlaser-Verschie bungsmeßgerät. Eine solche Kompensation wird durch eine Ver besserung gegenüber einem herkömmlichen Heterodynlasermeß gerät geliefert. Die Verbesserung betrifft eine Viertelwel lenplatte (QWB; QWB = Quarter Wave Plate) oder eine andere transmittierende optische Verzögerungseinrichtung, die eine Verzögerung von im wesentlichen einer Viertelwelle liefert, die in den Referenzstrahl eingeführt ist, derart, daß ein Abschnitt des Referenzstrahls nicht durch die QWP läuft. Die Verbesserung betrifft ferner eine zweite QWP oder eine ande re transmittierende optische Verzögerungseinrichtung mit ei ner Verzögerung von im wesentlichen einer Viertelwelle, die teilweise in den Meßstrahl eingeführt ist, und ein reflek tierendes Element (einen Spiegel), der in den Abschnitt des Meßstrahls eingeführt ist, der nicht durch die QWP unterbro chen ist. Ein Meßempfänger ist vorgesehen, der die Interfe renz zwischen den Abschnitten des Referenz- und des Meß strahls erfaßt, in die die QWPs eingeführt wurden. Ferner ist ein Referenzempfänger vorgesehen, der die Interferenz zwischen dem Abschnitt des Meßstrahls und des Referenz strahls erfaßt, die nicht durch die QWP oder eine andere transmittierende optische Verzögerungseinrichtung gelaufen sind.The present invention provides automatic compensation Dead path error in a heterodyne laser diff exercise meter. Such compensation is through a Ver improvement over a conventional heterodyne laser measurement device delivered. The improvement affects a quarter of a world len wave plate (QWB; QWB = Quarter Wave Plate) or another transmitting optical delay device, the one Delays essentially a quarter wave, which is introduced into the reference beam such that a Section of the reference beam does not run through the QWP. The Improvement also affects a second QWP or another re transmitting optical delay device with egg a delay of essentially a quarter wave, the is partially inserted into the measuring beam, and a reflector animal element (a mirror) that is in the section of the Measuring beam is introduced, which is not interrupted by the QWP Chen is. A measuring receiver is provided which interfe limit between the sections of the reference and the measurement beam in which the QWPs were introduced. Further a reference receiver is provided which measures the interference between the section of the measuring beam and the reference rays captured that are not by the QWP or any other Transmitting optical delay device is running are.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen detaillierter erläutert. Es zeigen:Preferred embodiments of the present invention are referred to below with reference to the attached drawing nations explained in more detail. Show it:
Fig. 1A-D die Totpfadlänge; FIG. 1A-D the Totpfadlänge;
Fig. 2 ein herkömmliches Heterodynlaserinterferometer; Fig. 2 shows a conventional Heterodynlaserinterferometer;
Fig. 3 ein erfindungsgemäßes Gerät. Fig. 3 shows an inventive device.
Bei einem herkömmlichen Heterodynlaser, wie er in Fig. 2 dargestellt ist, emittiert eine Heterodynlaserquelle 20 zwei orthogonal polarisierte Strahlen bei gering unterschiedli chen optischen Frequenzen ωr und ωm. Ein Referenzempfänger 22 tastet die anfängliche Schwebungsfrequenz an der Quelle ab, nachdem die abgetasteten Abschnitte durch einen ersten Polarisationsanalysierer 21 kombiniert worden sind. Ein Meß empfänger 24 erfaßt die Doppler-verschobene Schwebungsfre quenz, nachdem der Referenzstrahl ωr und der Meßstrahl ωm durch jeweils den feststehenden Referenzspiegel 26 und dem bewegbaren Meßspiegel 28 0,1 reflektiert und durch einen zweiten Polarisationsanalysator 23 kombiniert worden sind. Die zurückkehrenden Strahlen werden von den hinlaufenden Strahlen durch den Polarisationsstrahlteiler 30 getrennt, nachdem Viertelwellenplatten 32 die Polarisationszustände der Reflexionen von dem Referenzspiegel 26 und dem Meßspie gel 28 gedreht haben. Eine Integration der Augenblicksfre quenzdifferenz zwischen dem Referenz- und dem Meßempfänger während der Bewegung des Meßspiegels 28 0,1 ergibt eine Net tophase, die die Totalverschiebung anzeigt.In a conventional heterodyne laser, as shown in FIG. 2, a heterodyne laser source 20 emits two orthogonally polarized beams at slightly different optical frequencies ωr and ωm. A reference receiver 22 samples the initial beat frequency at the source after the sampled sections have been combined by a first polarization analyzer 21 . A measuring receiver 24 detects the Doppler-shifted frequency Schwebungsfre after the reference beam ωr and the measuring beam ωm reflected by the fixed reference mirror 26 and the movable measuring mirror 28 0.1 and have been combined by a second polarization analyzer 23 . The returning beams are separated from the departing rays by the polarization beam splitter 30 after quarter-wave plates have rotated 32, the polarization states of the reflections from the reference mirror 26 and the Meßspie gel 28th An integration of the instantaneous frequency difference between the reference and the measuring receiver during the movement of the measuring mirror 28 0.1 results in a net tophase, which indicates the total shift.
Das erfindungsgemäße Gerät ist in Fig. 3 dargestellt. Die Verbesserung bezüglich des herkömmlichen Heterodynlaserin terferometers betrifft eine transmittierende optische Verzö gerungseinrichtung, die eine Verzögerung von im wesentlichen einer Viertelwelle hat, wie z. B. eine Viertelwellenplatte (QWP) in dem Referenzarm, die teilweise in den Referenz strahl 31 eingeführt ist. Ferner wird eine zweite transmit tierende optische Verzögerungseinrichtung mit einer Verzöge rung von im wesentlichen einer Viertelwelle vorgesehen, wie z. B. eine Viertelwellenplatte, die an einem bestimmten Ab schnitt ihrer Oberfläche 33 gespiegelt ist, und die an der Meßspiegel- "Neueinstellungs"-Position D positioniert ist.The device according to the invention is shown in FIG. 3. The improvement over the conventional heterodyne laser interferometer relates to a transmitting optical delay device that has a delay of substantially a quarter wave, such as. B. a quarter-wave plate (QWP) in the reference arm, which is partially inserted into the reference beam 31 . Furthermore, a second transmitting optical delay device with a delay of substantially a quarter wave is provided, such as. B. a quarter-wave plate, which is mirrored at a certain section from its surface 33 , and which is positioned at the measuring mirror "new adjustment" position D.
Das Referenzsignal wird durch Interferenz der Nicht-Polari sations-gedrehten Abschnitte des Referenzstrahls ωr und der Reflexion von dem gespiegelten Abschnitt des Meßarms QWP 33 erzeugt. Das Meßsignal wird durch die Interferenz der Ab schnitte des Referenz- und des Meßstrahls erzeugt, die durch ihre jeweiligen QWPs 31, 33 laufen.The reference signal is generated by interference of the non-polarized portions of the reference beam ωr and the reflection from the mirrored portion of the measuring arm QWP 33 . The measurement signal is generated by the interference from the sections of the reference and the measurement beam, which pass through their respective QWPs 31 , 33 .
Die Ebene O ist die Ebene, an der der Meß- und der Referenz strahl wieder kombiniert werden. Die Ebene R ist die Posi tion der Referenzspiegeloberflächenebene. Der Punkt D stellt die Ebene des Meßspiegels bei einer Neueinstellung oder einem Rücksetzen dar. Die Ebene B ist die Position des Meß spiegels an der Endposition für eine Verschiebungsmessung.The level O is the level at which the measurement and the reference beam can be combined again. The level R is the posi tion of the reference mirror surface level. The point D represents the level of the measuring mirror with a new adjustment or a reset. Level B is the position of the measurement mirror at the end position for a displacement measurement.
An dem Punkt O, wo der Referenz- und der Meßstrahl aufge
teilt sind und wieder kombiniert werden, ist die Amplitude
der zurückkehrenden Referenzwelle bzw. des zurückkehrenden
Referenzstrahls durch folgende Gleichung gegeben:
At the point O, where the reference and measuring beams are split up and combined again, the amplitude of the returning reference wave or returning reference beam is given by the following equation:
Die von der Meßspiegelposition X reflektierte Welle ist
folgendermaßen gegeben:
The wave reflected from the measuring mirror position X is given as follows:
Der Meßempfängerphotostrom ist JM(t). Derselbe ist zu
(ER+EM)2 proportional. Somit gilt folgende Gleichung:
The measuring receiver photocurrent is J M (t). It is proportional to (E R + E M ) 2 . The following equation therefore applies:
+ Basisbandausdrücke + Optikfrequenzausdrücke.+ Baseband expressions + optical frequency expressions.
Dabei gilt:
The following applies:
Dieser Ausdruck drückt die physische Länge des Referenzwegs aus.This expression expresses the physical length of the reference path.
Dieser Ausdruck drückt den Brechungsindex gemittelt über dem Referenzweg aus.This expression expresses the refractive index averaged over the Reference path.
Dieser Ausdruck drückt die physische Länge des Meßwegs aus.This expression expresses the physical length of the measuring path.
Dieser Ausdruck drückt den Brechungsindex gemittelt über dem Meßweg aus.This expression expresses the refractive index averaged over the Measuring path.
Eine interferometrische Phase ist jedem Punkt entlang des Meßarms zugeordnet.An interferometric phase is any point along the Assigned measuring arm.
Da die Phasendifferenz die gemessene Größe ist, ist es mög
lich, die Verschiebungen in der optischen Weglänge zu be
stimmen. Die optische Weglänge zwischen den Punkten A und B
ist beispielsweise durch folgende Gleichung gegeben:
Since the phase difference is the measured variable, it is possible to determine the shifts in the optical path length. The optical path length between points A and B is given, for example, by the following equation:
Die optische Weglänge ist eine Funktion zweier unabhängiger Zeitvariablen ta und tb, die die Meßzeitpunkte an jedem End punkt des optischen Weges darstellen. Selbst wenn der Meß spiegel in Ruhe ist, kann die Weglänge aufgrund von Fluktua tionen des Brechungsindex der Umgebungsluft variieren.The optical path length is a function of two independent time variables t a and t b , which represent the measuring times at each end point of the optical path. Even when the measuring mirror is at rest, the path length can vary due to fluctuations in the refractive index of the ambient air.
(ΦB(tb)-ΦA(ta)) (10)
(Φ B (t b ) -Φ A (t a )) (10)
Gleichung 10 stellt die Größe dar, die durch Zählen von Ringen in der Meßempfängerausgabe erhalten wird, wenn der Meßspiegel von dem Punkt A zu dem Punkt B gebracht wird. Dieselbe kann Fehler aufgrund von Umgebungsschwankungen wäh rend des Meßintervalls umfassen.Equation 10 represents the quantity obtained by counting Wrestling in the receiver output is obtained when the Measuring mirror is brought from point A to point B. It can choose errors due to environmental fluctuations rend the measurement interval.
ΦD(tb)-ΦD(ta)) (11)
Φ D (t b ) -Φ D (t a )) (11)
Gleichung 11 stellt eine Änderung der optischen Phase über dem Totpfad dar. Das herkömmliche Interferometer (Fig. 2) hat keine Mittel, durch die diese Größe gemessen werden kann, und dasselbe ist dadurch gegenüber einem Totpfadfehler anfällig. Die in Fig. 3 gezeichnete Erfindung liefert die Änderung der optischen Phase über dem Totpfad direkt von dem Referenzempfängerausgangssignal. Somit liefert die Erfindung eine automatische Kompensation des Totpfadfehlers.Equation 11 represents a change in the optical phase over the dead path. The conventional interferometer ( FIG. 2) has no means by which this quantity can be measured and is therefore susceptible to a dead path error. The invention drawn in Fig. 3 provides the change in optical phase over the dead path directly from the reference receiver output signal. The invention thus provides automatic compensation of the dead path error.
Claims (8)
einer Heterodynlaserquelle (20), die einen vertikal po larisierten Strahl und einen horizontal polarisierten Strahl erzeugt;
einer Einrichtung zum Aufteilen des Lichtstrahls in ei nen Referenzstrahl und in einen Meßstrahl;
einer Konfiguration, die für die optische Transmission des Referenzstrahls durch einen Referenzpfad sorgt, wo bei der Referenzpfad eine Transmission durch einen Pola risationsstrahlteiler (30), eine Reflexion an einem Re ferenzspiegel (26) und eine Transmission durch einen Po larisationsanalysator (21) und ein Auftreffen auf einen Referenzempfänger (22) umfaßt, und wobei die Konfigura tion ferner für die optische Transmission des Meßstrahls durch einen Meßpfad sorgt, wobei der Meßpfad eine Trans mission durch einen Polarisationsstrahlteiler (30), eine erste transmittierende optische Verzögerungseinrichtung (33) mit einer Verzögerung von im wesentlichen einer Viertelwelle, einen Meßspiegel (28 0,1), einen Polarisa tionsanalysator (23) und ein Auftreffen auf einen Meß empfänger (24) umfaßt;
einer zweiten transmittierenden optischen Verzögerungs einrichtung (31) mit einer Verzögerung von im wesentli chen einer Viertelwelle, die teilweise in den optischen Pfad zwischen dem Polarisationsstrahlteiler (30) und dem Referenzspiegel (26) eingebracht ist; und
einem Totpfadspiegel (33), der einen Abschnitt des Meß strahls in der Eintrittsebene der ersten transmittieren den optischen Verzögerungseinrichtung (33) abfängt, und der positioniert ist, um den Meßstrahl an einem Punkt abzufangen, der dem Neueinstellungspunkt D des Meßspie gels (28 0,1) entspricht.1. Interferometer for compensating for a dead path error, with the following features:
a heterodyne laser source ( 20 ) that generates a vertically polarized beam and a horizontally polarized beam;
means for splitting the light beam into a reference beam and a measuring beam;
a configuration which ensures the optical transmission of the reference beam through a reference path, where in the reference path a transmission through a polarization beam splitter ( 30 ), a reflection at a reference mirror ( 26 ) and a transmission through a polarization analyzer ( 21 ) and a Impingement on a reference receiver ( 22 ), and wherein the configuration further ensures the optical transmission of the measuring beam through a measuring path, the measuring path being a trans mission through a polarization beam splitter ( 30 ), a first transmitting optical delay device ( 33 ) with a delay of essentially a quarter wave, a measuring mirror ( 28 0.1 ), a polarization analyzer ( 23 ) and an impact on a measuring receiver ( 24 ) comprises;
a second transmitting optical delay device ( 31 ) with a delay of substantially a quarter wave, which is partially introduced into the optical path between the polarization beam splitter ( 30 ) and the reference mirror ( 26 ); and
a dead path mirror ( 33 ) which intercepts a section of the measuring beam in the entry plane of the first transmit the optical delay device ( 33 ) and which is positioned to intercept the measuring beam at a point which corresponds to the re-setting point D of the measuring mirror ( 28 0, 1 ) corresponds.
einer Lichtquelle (20);
einer Einrichtung zum Aufteilen des Lichtstrahls in ei nen Referenzstrahl und in einen Meßstrahl;
einer optischen Anordnung, bei der ein Polarisations strahlteiler (30) zwischen einem Referenzspiegel (26) und einem Meßspiegel (28 0,1) optisch angeordnet ist, und bei der ein Polarisationsanalysator (23) zwischen einem nicht-polarisierenden Strahlteiler und einem Referenz empfänger (22) optisch angeordnet ist, und bei der ein Polarisationsanalysator (23) zwischen dem Polarisations strahlteiler (30) und dem Meßempfänger (24) optisch an geordnet ist; und
einer zweiten transmittierenden optischen Verzögerungs einrichtung (31) mit einer Verzögerung von im wesent lichen einer Viertelwelle, die teilweise zwischen dem Polarisationsstrahlteiler (30) und dem Referenzspiegel (26) optisch angeordnet ist, derart, daß ein Abschnitt des Referenzstrahls durch die transmittierende optische Verzögerungseinrichtung (31) mit einer Verzögerung von im wesentlichen einer Viertelwelle läuft.2. Interferometer for distance measurement, paint with the following characteristics:
a light source ( 20 );
means for splitting the light beam into a reference beam and a measuring beam;
an optical arrangement in which a polarization beam splitter ( 30 ) is optically arranged between a reference mirror ( 26 ) and a measuring mirror ( 28 0.1 ), and in which a polarization analyzer ( 23 ) between a non-polarizing beam splitter and a reference receiver ( 22 ) is arranged optically, and in which a polarization analyzer ( 23 ) between the polarization beam splitter ( 30 ) and the measuring receiver ( 24 ) is arranged optically; and
a second transmitting optical delay device ( 31 ) with a delay of essentially a quarter wave, which is partially arranged optically between the polarizing beam splitter ( 30 ) and the reference mirror ( 26 ), such that a portion of the reference beam through the transmitting optical delay device ( 31 ) runs with a delay of essentially a quarter wave.
eine erste transmittierende optische Verzögerungsein richtung (33) mit einer Verzögerung von im wesentlichen einer Viertelwelle, die zwischen dem Polarisations strahlteiler (30) und dem Meßspiegel (28 0,1) optisch angeordnet ist und die es ermöglicht, daß ein Abschnitt des Meßstrahls durch das Polarisations-drehende trans missive Element (33) läuft.3. The interferometer of claim 2, further comprising:
a first transmitting optical delay device ( 33 ) with a delay of substantially a quarter wave, which is optically arranged between the polarization beam splitter ( 30 ) and the measuring mirror ( 28 0.1 ) and which allows a portion of the measuring beam through the Polarization-rotating trans missive element ( 33 ) is running.
einen Totpfadspiegel (33), der optisch zwischen dem Po larisationsstrahlteiler und dem Meßspiegel (28 0,1) ein gebracht ist, derart, daß ein Abschnitt des Meßstrahls durch den Totpfadspiegel (33) reflektiert wird, während der Rest des Strahls durch die erste transmittierende optische Verzögerungseinrichtung (33) mit einer Verzöge rung von im wesentlichen einer Viertelwelle laufen kann.5. Interferometer according to claim 3 or 4, further comprising the fol lowing feature:
a dead path mirror ( 33 ), which is brought optically between the polarization beam splitter and the measuring mirror ( 28, 0.1 ) such that a portion of the measuring beam is reflected by the dead path mirror ( 33 ), while the rest of the beam is transmitted by the first optical delay device ( 33 ) with a delay of substantially a quarter wave can run.
einen optischen Empfänger (22, 24), der wirksam ist, um eine Interferenz zwischen einem Abschnitt des Strahls, der von dem Referenzspiegel (26) reflektiert wird, und einem Abschnitt des Strahls, der von dem Totpfadspiegel (33) reflektiert wird, zu erfassen, wenn der Totpfad spiegel (33) an der Neueinstellungsposition (D) ist.8. Interferometer according to one of claims 5 to 7, further comprising:
an optical receiver ( 22 , 24 ) operative to detect interference between a portion of the beam reflected from the reference mirror ( 26 ) and a portion of the beam reflected from the dead path mirror ( 33 ) when the dead path mirror ( 33 ) is at the new setting position (D).
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELA |
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| 8130 | Withdrawal |