DE19834805A1 - Procedure for making symmetrical laser beams of array of laser diodes with laser beams inside lens system of two lens groups influenced so beams in x-/y-direction are collimated by first/second group - Google Patents

Procedure for making symmetrical laser beams of array of laser diodes with laser beams inside lens system of two lens groups influenced so beams in x-/y-direction are collimated by first/second group

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Abstract

A procedure for making symmetrical the laser beams of an array of laser diodes in which the laser beams of a diode laser inside a lens system consisting of at least two lens groups influenced in the two coordinate directions x and y so that the laser beams in the x-direction are collimated at least by the first lens group and those in the y-direction by at least the second lens group. The laser beams of a diode laser inside a lens system consisting of three lens groups are influenced in the three coordinate directions so that the laser beams in the x-direction are collimated by the first and third lens groups and those in the y-direction by the second and third lens group.

Description

Die Materialbearbeitung mit Laserstrahlen hat in den letzten 10 Jahren einen enormen Aufschwung erlebt. Insbe­ sondere die Entwicklung der Diodenlaser bzw. Hochlei­ stungs-Diodenlaser (HLDL) eröffnen neue Einsatzmöglich­ keiten. Hochleistungs-Diodenlaser weisen bei einer äu­ ßerst kompakten Bauform exzellente elektrische Wirkungs­ grade auf und sind einfach integrierbar in konventionelle Werkzeugmaschinen und Produktionsanlagen. Aufgrund ihrer Leistungsstärke (bis zu 2000 Watt) sind sie in der Mate­ rialbearbeitung nicht wegzudenken. Gekennzeichnet sind Diodenlaser durch viele einzelne Laser, die in einer Li­ nie angeordnet sind. Die einfache Fokussierung dieses La­ serstrahles auf eine Bearbeitungsfläche ergibt daher eine Linie.The material processing with laser beams has in the experienced an enormous upswing in the past 10 years. In particular in particular the development of diode lasers and high-performance cables Stungs diode lasers (HLDL) open up new application possibilities keiten. High-power diode lasers have a extremely compact design excellent electrical efficiency straight up and are easy to integrate into conventional Machine tools and production facilities. Because of your They are powerful (up to 2000 watts) in the Mate unthinkable. Marked are Diode laser by many individual lasers, which are in a Li are never arranged. The simple focus of this La Serstrahlles on a processing surface therefore results in a Line.

Hochleistungs-Diodenlaser zur Materialbearbeitung werden zur Zeit ausschließlich mit direkter Strahlübertragung bei der Laser-Materialbearbeitung eingesetzt, d. h. ein optisches System befindet sich direkt vor dem Laserkopf. Die direkte Strahlführung ist jedoch mit Nachteilen be­ haftet:
High-performance diode lasers for material processing are currently only used with direct beam transmission in laser material processing, ie an optical system is located directly in front of the laser head. However, direct beam guidance has disadvantages:

  • - An der Führungsmaschine, z. B. einem Roboter oder ei­ ner Portalmaschine, ist eine Komponente von sehr ho­ hem Wert, nämlich der Laserkopf befestigt. Im Falle einer Fehlprogrammierung oder eines Crashes des La­ serkopfes mit dem Bauteil oder einem anderen Teil der Laseranlage kann ein Schaden in nicht unbe­ trächtlicher Höhe entstehen.- On the leading machine, e.g. B. a robot or egg ner portal machine, is a component of very high  hem value, namely the laser head attached. In the event of a programming error or a crash of the La serkopfes with the component or another part the laser system can cause damage in not unbe pregnant height arise.
  • - Die Dimensionen und das Gewicht des Laserkopfes zur Direktbearbeitung beschränken die Zugänglichkeit zum zu bearbeitenden Werkstück und darüber hinaus wird die Dynamik der Führungsmaschine ebenfalls be­ schränkt.- The dimensions and the weight of the laser head for Direct processing restrict access to to be machined workpiece and beyond the dynamics of the leading machine also be limits.
  • - Das Strahlprofil des Laserstrahls auf dem Werkstück ist weder homogen noch rotationssymmetrisch, weswe­ gen es bei vielen Bearbeitungsprozessen zu schlech­ ten Ergebnissen oder einer geringen Effizienz kommt.- The beam profile of the laser beam on the workpiece is neither homogeneous nor rotationally symmetrical, weswe it is too bad for many machining processes results or low efficiency.

Zur Beseitigung dieser Probleme ist bislang vorgeschlagen worden, Laserstrahlen von Diodenlasern durch eine Linse zu symmetrisieren. Hierbei wird jedoch lediglich der La­ serstrahl zu einem zweidimensionalen Strahl fokussiert, also eben einer Linie (vgl. Heinemann/Leininger, "Fiber coupled diode lasers and beam-shaped high-power stacks" Photonics West 1998, SPIE-Paper, 3267-13).So far, it has been proposed to eliminate these problems been laser beams from diode lasers through a lens to symmetrize. However, only the La focused into a two-dimensional beam, just one line (cf. Heinemann / Leininger, "Fiber coupled diode lasers and beam-shaped high-power stacks " Photonics West 1998, SPIE-Paper, 3267-13).

Auch aus der US-PS 4,762,395 ist ein Linsensystem zum Einkoppeln von Laserlicht aus einem Diodenlaser bekannt, welches jedoch ebenfalls nur zu einer zweidimensionalen Fokussierung des Laserlichtes führt.A lens system is also known from US Pat. No. 4,762,395 Coupling of laser light from a diode laser known which, however, is also only a two-dimensional one Focusing the laser light leads.

Das grundlegende und bislang nicht gelöste Problem beim Aufbau von Systemen zur Strahlübertragung von Laserlicht aus Diodenlasern besteht darin, die unsymmetrischen Strahlparameter des Diodenlasers, die in x- und y- Richtung stark voneinander abweichen, derart zu symmetri­ sieren, daß der Laserstrahl mit minimalen Verlusten durch ein rotationssymmetrisches optisches Element (z. B. ein Bearbeitungsobjektiv) geführt werden kann.The basic problem that has not yet been solved with Development of systems for beam transmission of laser light consists of diode lasers, the asymmetrical  Beam parameters of the diode laser, which are in x and y Direction strongly deviate from each other, so too symmetrical that the laser beam passes through with minimal losses a rotationally symmetrical optical element (e.g. a Processing lens) can be performed.

Das normale Strahlungsfeld von Hochleistungslaserdioden­ arrays bildet ein langgezogenen Rechteck mit einem typi­ schen Seitenverhältnis von 5 : 1 (dx:dy), bei Verwendung einer Strahlkompaktierung beträgt das Seitenverhältnis ca. 10 : 1. Die zugehörigen Divergenzwinkel haben ein Ver­ hältnis von ca. 1 : 10 (wx:wy).The normal radiation field of high-power laser diodes arrays forms an elongated rectangle with a typi aspect ratio of 5: 1 (dx: dy), when used the beam ratio is the aspect ratio approx. 10: 1. The associated divergence angles have a ver Ratio of about 1:10 (wx: wy).

Bislang wird das Strahlungsfeld entweder direkt mit "ge­ wöhnlichen" d. h. sphärischen Optiken auf das Werkstück fokussiert. Dabei ergibt sich ein langgezogener, strich­ förmiger Fokus, welcher nur für Spezialanwendungen ver­ wendbar ist. Alternativ wird noch eine einzelne Zylinder­ linse zwischen Strahlungsquelle (Laserdiodenarray) und Bearbeitungsoptik angeordnet. Um damit einen symmetri­ schen Fokus zu erzielen, müssen jedoch Zylinderlinse und Bearbeitungsoptik immer individuell aneinander angepaßt werden, so daß keine universelle Schnittstelle erhältlich ist.So far, the radiation field is either directly with "ge ordinary "i.e. spherical optics on the workpiece focused. The result is an elongated, dash shaped focus, which is only used for special applications is reversible. Alternatively, a single cylinder lens between radiation source (laser diode array) and Machining optics arranged. To get a symmetri To achieve that focus, however, cylindrical lens and Machining optics always individually adapted to each other so that no universal interface is available is.

Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zur effektiven Materialbearbeitung mit aus Diodenla­ ser stammenden Laserlicht zu schaffen, wobei das Laser­ licht durch ein rotationssymmetrisches optisches Element geführt wird. Based on this state of the art, it is the task of present invention, a method and a device device for effective material processing with diode diode to create this originating laser light, the laser light through a rotationally symmetrical optical element to be led.  

Gelöst wird diese Aufgabe durch die Schaffung eines Ver­ fahrens, mit dessen Hilfe der unsymmetrische Strahl des Diodenlasers symmetrisch kollimiert wird, nämlich da­ durch, daß die Laserstrahlen eines Diodenlasers innerhalb eines aus mindestens zwei Linsengruppen (x, y) bestehen­ den Linsensystems in den beiden Raumrichtungen x und y derart beeinflußt werden, daß wenigstens durch die erste Linsengruppe (x) die Laserstrahlen in x-Richtung kolli­ miert werden und wenigstens durch die zweite Linsengruppe (y) die Laserstrahlen in y-Richtung kollimiert werden. Bevorzugt ist ein Verfahren, bei dem die Laserstrahlen eines Diodenlasers innerhalb eines aus drei Linsengruppen bestehenden Linsensystems in den drei Raumrichtungen x, y und z derart beeinflußt werden, daß durch die erste und dritte Linsengruppe die Laserstrahlen in x-Richtung kol­ limiert werden und durch die zweite und dritte Linsen­ gruppe die Laserstrahlen in y-Richtung kollimiert werden. Damit wird eine Schnittstelle geschaffen, die es ermög­ licht, weitere Module für die verschiedensten Applikatio­ nen an den Diodenlaser anzuschließen. Als Beispiel sei hier ein Einkopplungsmodul in ein Lichtleitkabel und ein Objektiv zur Direktbearbeitung von Werkstücken genannt.This task is solved by creating a ver driving, with the help of which the asymmetrical beam of the Diode laser is collimated symmetrically, namely there through that the laser beams of a diode laser within one consist of at least two lens groups (x, y) the lens system in the two spatial directions x and y so influenced that at least by the first Lens group (x) collides the laser beams in the x direction be lubricated and at least by the second lens group (y) the laser beams are collimated in the y direction. A method is preferred in which the laser beams a diode laser within one of three lens groups existing lens system in the three spatial directions x, y and z are influenced such that the first and third lens group kol the laser beams in the x direction be limited and by the second and third lenses the laser beams are collimated in the y direction. This creates an interface that makes it possible light, further modules for various applications connected to the diode laser. As an example here a coupling module in a fiber optic cable and a Objective for direct machining of workpieces.

Durch die erfindungsgemäße Lösung werden die bekannten Nachteile der Direktbearbeitung mit einem Diodenlaser vermieden. Der Vorteil der Erfindung liegt darin, daß der Laserstrahl eines Diodenlasers flexibel mittels eines Lichtleitkabels an die jeweilige Bearbeitungsstelle am Werkstück geführt werden kann. Bislang war dies nicht möglich, da selbst kleine Diodenlaserköpfe in industriel­ ler Ausführung noch ca. 10 kg wiegen und daher unhandlich sind und die Zugänglichkeit zum Werkstück behindern. With the solution according to the invention, the known Disadvantages of direct processing with a diode laser avoided. The advantage of the invention is that Laser beam of a diode laser flexible using a Light guide cable to the respective processing point on Workpiece can be guided. So far this has not been the case possible because even small diode laser heads in industrial Weigh the approx. 10 kg version and therefore unwieldy are and hinder access to the workpiece.  

Durch die Lichtübertragung mittels eines Lichtleitkabels kann der empfindliche Diodenlaser von der Bearbeitungs­ station selbst ferngehalten werden und in einer Umgebung aufgestellt werden, die den sicheren Betrieb und die üb­ liche Wartung des Systems erlaubt. Das erfindungsgemäß vorgesehene Schnittstellenoptikmodul (SOM) ist ein opti­ sches System, welches ein asymmetrisches und divergentes Strahlungsfeld in ein symmetrisches und kollimiertes Strahlungsfeld überführt. Die Vorrichtung ist gekenn­ zeichnet durch ein Linsensystem aus drei Linsengruppen mit variablen Brennweiten und zueinander variablen Ab­ ständen, wobei die ersten beiden Linsengruppen aus Zylin­ derlinsen und die letzte Linsengruppe aus sphärischen Linsen bestehen, und wobei die ersten beiden Linsengrup­ pen zusammen mit der letzten Linsengruppe einen Kolli­ mator mit angeschlossenem Teleskop für zwei zueinander senkrechte Richtungen des Strahlungsquerschnittes bilden (x und y, wenn z die Ausbreitungsrichtung ist). Durch die ineinander verschachtelte Bauweise werden zum einen Lin­ sen eingespart, zum anderen können Abbildungsfehler des optischen Systems korrigiert werden. Mit den Brennweiten f der drei Linsengruppen und deren Abstand zueinander sind ausreichend Freiheitsgrade vorhanden, um ein asymme­ trisches Strahlungsfeld mit den Halbmessern dx und dy und den Divergenzwinkeln wx und wy (jeweils verschieden für die Richtungen x und y) in ein symmetrisches und kolli­ miertes Srahlungsfeld mit dem Halbmesser dz (gleich für x- und y-Richtung) zu überführen.By light transmission using a light guide cable can the sensitive diode laser from machining station itself and be kept in an environment be set up, the safe operation and the usual system maintenance allowed. The invention The proposed interface optics module (SOM) is an opti system, which is an asymmetrical and divergent Radiation field in a symmetrical and collimated Radiation field transferred. The device is known characterized by a lens system consisting of three lens groups with variable focal lengths and mutually variable Ab stand, the first two lens groups from Zylin derlinsen and the last lens group from spherical Lenses exist, and being the first two lens groups together with the last group of lenses mator with connected telescope for two to each other form perpendicular directions of the radiation cross section (x and y if z is the direction of propagation). Through the nested construction becomes Lin saved, on the other hand, aberrations of the optical system can be corrected. With the focal lengths f of the three lens groups and their distance from each other there are sufficient degrees of freedom to make an asymmetry trical radiation field with the half-diameters dx and dy and the divergence angles wx and wy (each different for the directions x and y) in a symmetrical and colli emitted radiation field with the radius dz (same for x and y direction).

Die Vorteile der vorliegenden Erfindung lassen sich wie folgt darstellen:
The advantages of the present invention can be illustrated as follows:

  • - Durch die exakte Kollimation des Laserstrahls kann an das Schnittstellenoptikmodul eine breite Palette von Bearbeitungsobjektiven angeschlossen werden, oh­ ne daß der "Arbeitsabstand", d. h. der Abstand der Optik zum Werkstück für eine optimale Fokuslage je­ weils neu eingestellt werden muß. Dies ermöglicht die Verwendung von Objektivwechselsystemen.- The exact collimation of the laser beam can to the interface optics module a wide range of editing lenses, oh ne that the "working distance", d. H. the distance of the Optics to the workpiece for an optimal focus position each because must be reset. this makes possible the use of lens change systems.
  • - Durch die Symmetrisierung des Strahlungsfeldes wird der freie Durchmesser der angeschlossenen Optiken optimal genutzt, was zu höherem Arbeitsabstand, kleinerem Fokusdurchmesser oder höherer Lei­ stungstransmission führt.- By symmetrizing the radiation field the free diameter of the connected optics optimally used, which leads to a higher working distance, smaller focus diameter or higher lei leads transmission.
  • - Mit der Symmetrisierung sowohl der Divergenz als auch des Fokusdurchmessers wird der Verlust an Lei­ stung und/oder Strahlqualität bei der Einkopplung in ein Lichtleitkabel auf ein absolutes Minimum redu­ ziert.- With the symmetrization of both the divergence and also the focus diameter becomes the loss of lei performance and / or beam quality when coupling in a fiber optic cable to an absolute minimum graces.

Die Korrektion des Öffnungsfehlers gewährleistet minimale mögliche Fokusdurchmesser hinter dem Bearbeitungsobjek­ tiv, wodurch die Bearbeitungsgeschwindigkeit maximiert werden kann.Correcting the opening error ensures minimal possible focus diameter behind the processing object tiv, which maximizes the processing speed can be.

Weitere vorteilhafte Maßnahmen sind in den übrigen Un­ teransprüchen enthalten. Die Erfindung ist in den anlie­ genden Zeichnungen dargestellt und wird nachfolgend näher beschrieben. Es zeigt:Further advantageous measures are in the remaining Un claims included. The invention is in the anlie illustrated drawings and will be described in more detail below described. It shows:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des gesamten Systems mit Lichtleit­ kabel und Bearbeitungsoptik; Figure 1 is a schematic representation of the entire system with optical fiber cable and processing optics.

Fig. 2 schematische Darstellung der Strahlführung des Laserlichts eines Diodenlasers innerhalb des Schnitt­ stellenoptikmoduls in x-Richtung; Figure 2 is schematic representation of the beam guidance of the laser light of a diode laser within the interface optics module in the x direction.

Fig. 3 schematische Darstellung der Strahlführung des Laserlichts eines Diodenlasers innerhalb des Schnitt­ stellenoptikmoduls in y-Richtung; Fig. 3 is schematic representation of the beam guidance of the laser light of a diode laser within the interface optics module in y-direction;

Fig. 4 schematische Darstellung im Querschnitt durch ein erfindungsge­ mäßes Schnittstellenoptikmodul. Fig. 4 is a schematic representation in cross section through an interface optics module according to the invention.

Die in der Fig. 1 dargestellte Versuchsanordung 10 zur Einkopplung von Laserlicht aus einem Diodenlaser zur Ma­ terialbearbeitung zeigt in schematischer Darstellung eine Versorgungseinheit 13 für einen Diodenstack 12 eines Diodenlaser, dessen Laserlicht mittels eines sogenannten Schnittstellenoptikmoduls 11 und eines - im wesentlichen bekannten - nachgeschalteten Fasereinkopplungsmoduls 14 in eine Glasfaserkabel 16 eingekoppelt wird. Durch die Glasfaser 15 wird das Laserlicht zu einem mit einer Füh­ rungsmaschine 18 verbundenen Bearbeitungsoptikkopf 16 ge­ führt, wo es zu einer Bearbeitung eines Werkstückes 17 verwendet werden kann. . The test arrangement shown in Figure 1 10 for coupling laser light from a diode laser to Ma terialbearbeitung shows a schematic representation of a supply unit 13 for a diode stack 12 of a diode laser whose laser light by means of a so-called interface optics module 11 and a - substantially known - downstream Fasereinkopplungsmoduls 14 is coupled into a fiber optic cable 16 . Through the glass fiber 15 , the laser light leads to a machining optics head 16 connected to a guide machine 18 , where it can be used for machining a workpiece 17 .

Die Fig. 2 zeigt in schematischer Darstellung die Strahlführung des Laserlichts 19 eines Diodenlasers 12 innerhalb des Schnittstellenoptikmoduls 11 in einer An­ sicht in X-Richtung; die Fig. 3 dagegen in Y-Richtung. Fig. 2 shows a schematic representation of the beam guidance of the laser light 19 of a diode laser 12 within the interface optics module 11 in a view in the X direction; FIGS. 3, however, in the Y direction.

Das in den Fig. 2, 3 und 4 dargestellte Schnittstel­ lenoptikmodul 11 (SOM) besteht aus 3 Linsengruppen x, y und z. Wird von einem Diodenstack 12 eines Diodenlasers Laserlicht 19 ausgestrahlt, so führt dies zu einem zwei­ dimensionalen Strahlungsfeld mit den Ausmaßen dx in x- Richtung und dy in y-Richtung. Durch die erste und dritte Linsengruppe x und z wird das Laserlicht 19 in x- Richtung, durch die zweite und dritte Linsengruppe y und z hingegen in y-Richtung kollimiert. Die Definition von x-Richtung und y-Richtung ist dabei natürlich austausch­ bar.The interface optics module 11 (SOM) shown in FIGS . 2, 3 and 4 consists of 3 lens groups x, y and z. If laser light 19 is emitted from a diode stack 12 of a diode laser, this leads to a two-dimensional radiation field with the dimensions dx in the x direction and dy in the y direction. The laser light 19 is collimated in the x direction by the first and third lens groups x and z, and in the y direction by the second and third lens groups y and z. The definition of x-direction and y-direction is of course interchangeable.

Die Brennweiten fx, fy und fz und Abstände Sx, Sy und Sz der Lin­ sen der einzelnen Linsengruppen x, y und z sind durch folgende Gleichungen erfindungsgemäß verbunden, wie auch in der Fig. 4 in zweidimensionaler Darstellung veran­ schaulicht ist:
The focal lengths fx, fy and fz and distances Sx, Sy and Sz of the lenses of the individual lens groups x, y and z are connected according to the invention by the following equations, as is also illustrated in FIG. 4 in a two-dimensional representation:

worin bedeutet:
Sx der Abstand der in x-Richtung wirksamen Gruppe zur letzten Gruppe;
Sy der Abstand der in y-Richtung wirksamen Gruppe zur letzten Gruppe;
Sz der Abstand der Strahlungsquelle (Laserdiodenarray) zur letzten Gruppe;
fx die effektive Brennweite der in x-Richtung wirksamen (zylindrischen) Linsengruppe;
fy die effektive Brennweite der in y-Richtung wirksamen (zylindrischen) Linsengruppe;
fz die effektive Brennweite der letzten (sphärischen) Linsengruppe;
dx der Halbmesser der Strahlungsquelle in x-Richtung;
dy der Halbmesser der Strahlungsquelle in y-Richtung;
dz der Halbmesser des kollimierten Strahlungsfeldes nach dem Schnittstellenoptikmodul;
wx der Divergenzwinkel der Strahlungsquelle in x- Richtung;
wy der Divergenzwinkel der Strahlungsquelle in y- Richtung.
in which means:
Sx the distance of the group active in the x direction to the last group;
Sy the distance of the group effective in the y direction to the last group;
Sz the distance of the radiation source (laser diode array) to the last group;
fx the effective focal length of the (cylindrical) lens group effective in the x direction;
fy the effective focal length of the (cylindrical) lens group effective in the y direction;
fz the effective focal length of the last (spherical) lens group;
dx the radius of the radiation source in the x direction;
dy the radius of the radiation source in the y direction;
dz the radius of the collimated radiation field after the interface optics module;
wx the divergence angle of the radiation source in the x direction;
wy the divergence angle of the radiation source in the y direction.

Durch die erfindungsgemäßen Beziehungen wird der Laser­ strahl des Diodenlasers symmetrisiert.Through the relationships according to the invention, the laser beam of the diode laser symmetrized.

AusführungsbeispielEmbodiment

Das Strahlungsfeld eines kompaktierten Diodenlaserarrays hat folgende Abmessungen:
The radiation field of a compact diode laser array has the following dimensions:

dx = 2 mm
dy = 20 mm
wx = 0,1 rad
wy = 0,01 rad
dx = 2 mm
dy = 20 mm
wx = 0.1 rad
wy = 0.01 rad

Dabei können folgende Parameter gewählt werden:
The following parameters can be selected:

dz = 12 mm
sz = 140 mm
fz = -94 mm
dz = 12 mm
sz = 140 mm
fz = -94 mm

Unter Verwendung der erfindungsgemäßen Beziehungen findet man daraus die Abstände und Brennweiten der Linsengrup­ pen:
Using the relationships according to the invention, the distances and focal lengths of the lens groups can be found:

sx = 18 mm
sy = 68 mm
fx = 62 mm
fy = 151 mm
sx = 18 mm
sy = 68 mm
fx = 62 mm
fy = 151 mm

Somit ergibt sich das folgende optische System, charakte­ risiert durch die Radien (der Linsen) und Abstände (der einzelnen Flächen zueinander) der Linsenscheitel:
This results in the following optical system, characterized by the radii (of the lenses) and distances (of the individual surfaces from each other) of the lens apex:

BezugszeichenlisteReference list

1010th

Versuchsanordnung
Experimental setup

1111

Schnittstellenoptikmodul
Interface optics module

1212th

Diodenstack mit Kompaktierung
Diode stack with compacting

1313

Versorgung für Diodenlaser
Supply for diode lasers

1414

Fasereinkopplungsmodul
Fiber coupling module

1515

Glasfaser
glass fiber

1616

Bearbeitungsoptikkopf
Machining optical head

1717th

Werkstück mit Bearbeitung
Workpiece with machining

1818th

Führungsmaschine
Lead machine

1919th

Laserlicht
X1. Linsengruppe, zylindrisch
Y2. Linsengruppe, zylindrisch
Z3. Linsengruppe, sphärisch
Laser light
X1. Lens group, cylindrical
Y2. Lens group, cylindrical
Z3. Lens group, spherical

Claims (7)

1. Verfahren zur Symmetrisierung von Laserstrahlen ei­ nes Laserdioden-Arrays, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserstrahlen eines Diodenlasers innerhalb eines aus mindestens zwei Linsengruppen (x, y) bestehenden Linsensystems in den beiden Raumrichtungen x und y derart beeinflußt werden, daß wenigstens durch die erste Linsengruppe (x) die Laserstrahlen in x- Richtung kollimiert werden und wenigstens durch die zweite Linsengruppe (y) die Laserstrahlen in y- Richtung kollimiert werden.1. A method for the symmetrization of laser beams egg nes laser diode array, characterized in that the laser beams of a diode laser within a lens system consisting of at least two lens groups (x, y) in the two spatial directions x and y are influenced such that at least by the first Lens group (x) the laser beams are collimated in the x direction and at least the second lens group (y) collimates the laser beams in the y direction. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserstrahlen eines Diodenlasers innerhalb eines aus drei Linsengruppen (x, y, z) bestehenden Linsensystems in den drei Raumrichtungen x, y und z derart beeinflußt werden, daß durch die erste und dritte Linsengruppe (x, z) die Laserstrahlen in x- Richtung kollimiert werden und durch die zweite und dritte Linsengruppe (y, z) die Laserstrahlen in y- Richtung kollimiert werden.2. The method according to claim 1, characterized in that that the laser beams of a diode laser within one consisting of three lens groups (x, y, z) Lens system in the three spatial directions x, y and z be influenced so that by the first and third lens group (x, z) the laser beams in x  Direction and be collimated by the second and third lens group (y, z) the laser beams in y- Direction to be collimated. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Linsen der einzelnen Linsengruppen (x, y, z) entsprechend den nachfolgenden Beziehungen hinsichtlich der Brennweiten fx,fy und fz und der Ab­ stände Sx, Sy und Sz derart ausgelegt werden, daß die Laserstrahlen symmetrisiert werden:
worin bedeutet:
Sx der Abstand der in x-Richtung wirksamen Gruppe zur letzten Gruppe;
Sy der Abstand der in y-Richtung wirksamen Gruppe zur letzten Gruppe;
Sz der Abstand der Strahlungsquelle (Laserdioden­ array) zur letzten Gruppe;
fx die effektive Brennweite der in x-Richtung wirksamen (zylindrischen) Linsengruppe;
fy die effektive Brennweite der in y-Richtung wirksamen (zylindrischen) Linsengruppe;
fz die effektive Brennweite der letzten (sphä­ rischen) Linsengruppe;
dx der Halbmesser der Strahlungsquelle in x- Richtung;
dy der Halbmesser der Strahlungsquelle in y- Richtung;
dz der Halbmesser des kollimierten Strahlungsfel­ des nach dem Schnittstellenoptikmodul;
wx der Divergenzwinkel der Strahlungsquelle in x- Richtung;
wy der Divergenzwinkel der Strahlungsquelle in y- Richtung.
3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the lenses of the individual lens groups (x, y, z) are designed in accordance with the following relationships with respect to the focal lengths fx, fy and fz and from Sx, Sy and Sz that the laser beams are symmetrized:
in which means:
Sx the distance of the group active in the x direction to the last group;
Sy the distance of the group effective in the y direction to the last group;
Sz the distance of the radiation source (laser diode array) to the last group;
fx the effective focal length of the (cylindrical) lens group effective in the x direction;
fy the effective focal length of the (cylindrical) lens group effective in the y direction;
fz the effective focal length of the last (spherical) lens group;
dx the radius of the radiation source in the x direction;
dy the radius of the radiation source in the y direction;
dz the radius of the collimated radiation field after the interface optics module;
wx the divergence angle of the radiation source in the x direction;
wy the divergence angle of the radiation source in the y direction.
4. Verfahren nach wenigstens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Laser­ strahlen auf ein Glasfaserkabel fokussiert und in dasselbe einfokussiert werden und zu einer Bearbei­ tung entfernt von dem Laserdioden-Array zur Verfügung stehen.4. The method according to at least one of the preceding Claims, characterized in that the laser radiate focused on a fiber optic cable and in the same to be focused and a machining device away from the laser diode array stand. 5. Vorrichtung zur Symmetrisierung von Laserstrahlen eines Laserdioden-Array ("Schnittstellenoptikmo­ dul"), bestehend aus einem Linsensystem zur Symme­ trisierung und Fokussierung von Laserstrahlen, da­ durch gekennzeichnet,
  • 1. daß das Linsensystem (11) aus drei Linsengruppen (x, y, z) mit variablen Brennweiten und zueinander va­ riablen Abständen besteht,
  • 2. wobei die ersten beiden Linsengruppen (x, y) aus Zy­ linderlinsen und die letzte Linsengruppe (z) aus sphärischen Linsen bestehen,
  • 3. und wobei die ersten beiden Linsengruppen (x, y) zu­ sammen mit der letzten Linsengruppe (z) einen Kolli­ mator mit angeschlossenem Teleskop bilden.
5. Device for the symmetrization of laser beams of a laser diode array ("interface optics module"), consisting of a lens system for symmetrizing and focusing laser beams, as characterized by
  • 1. that the lens system ( 11 ) consists of three lens groups (x, y, z) with variable focal lengths and mutually variable distances,
  • 2. the first two lens groups (x, y) made of cylindrical lenses and the last lens group (z) consisting of spherical lenses,
  • 3. and wherein the first two lens groups (x, y) together with the last lens group (z) form a collimator with a connected telescope.
6. Schnittstellenoptikmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Modul (11) ein Endstück (15) zur Werkstückbearbeitung verbunden ist.6. Interface optics module according to claim 5, characterized in that an end piece ( 15 ) for workpiece machining is connected to the module ( 11 ). 7. Schnittstellenoptikmodul nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Endstück ein Lichtleitkabel ist.7. Interface optics module according to claim 6, characterized characterized in that the end piece is a light guide cable is.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2917221C2 (en) * 1978-04-28 1991-10-31 Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp
DE4234342A1 (en) * 1992-10-12 1994-04-14 Fraunhofer Ges Forschung Working materials with laser beam - using high power laser diodes, for welding, drilling, cutting, soldering and heat treating various materials

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4762395A (en) * 1986-09-02 1988-08-09 Amp Incorporated Lens assembly for optical coupling with a semiconductor laser
DE19645150C2 (en) * 1996-10-28 2002-10-24 Fraunhofer Ges Forschung Optical arrangement for symmetrizing the radiation from laser diodes

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2917221C2 (en) * 1978-04-28 1991-10-31 Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp
DE4234342A1 (en) * 1992-10-12 1994-04-14 Fraunhofer Ges Forschung Working materials with laser beam - using high power laser diodes, for welding, drilling, cutting, soldering and heat treating various materials

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