DE19829513A1 - Optical device for measuring dimensions and distances in difficult to access positions, using triangulation - Google Patents

Optical device for measuring dimensions and distances in difficult to access positions, using triangulation

Info

Publication number
DE19829513A1
DE19829513A1 DE19829513A DE19829513A DE19829513A1 DE 19829513 A1 DE19829513 A1 DE 19829513A1 DE 19829513 A DE19829513 A DE 19829513A DE 19829513 A DE19829513 A DE 19829513A DE 19829513 A1 DE19829513 A1 DE 19829513A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
extension
measuring extension
mirror area
flat mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19829513A
Other languages
German (de)
Other versions
DE19829513C2 (en
Inventor
Wolfram Kleuver
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AICOSS GmbH
Original Assignee
AICOSS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AICOSS GmbH filed Critical AICOSS GmbH
Priority to DE19829513A priority Critical patent/DE19829513C2/en
Publication of DE19829513A1 publication Critical patent/DE19829513A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE19829513C2 publication Critical patent/DE19829513C2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2425—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures of screw-threads
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
    • G01B11/12—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters internal diameters

Abstract

The device has a tube-like measurement extension (2) with a narrow cross section, for insertion (7) into a hollow space (1) to be measured. A mirror arrangement with three mirror regions is arranged at the front of the tube. A second mirror arrangement reflects the triangulation light beam at right angles to the insertion axis.

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsbestimmung in Hohlräumen und an schwer zugänglichen Stellen nach dem Triangulationsprinzip. Derartige Vorrichtungen sind aus unterschiedlichen Veröffentlichungen bekannt (US 4 465 374, US 4 861 984, etc.). Diese Vorrichtungen sind jedoch aus unterschiedlichen Gründen für die Bewertung nicht relevant. US 4 861 984 besteht aus eine Vielzahl von optischen Elementen, die selbst bei absoluter Miniaturisierung nicht in einen hier beschriebenen Meßkopf integriert werden können. Des weiteren fallen z. B. bei US 4 465 374 aufgrund der Anordnung die Bohrlochendbereiche aus dem Inspektionsbereich heraus. The invention relates to an optical device for contactless distance determination in Cavities and in hard-to-reach places according to the triangulation principle. Such Devices are known from various publications (US 4,465,374, US 4,861,984, Etc.). However, these devices are for different reasons Rating not relevant. US 4,861,984 consists of a large number of optical elements, which, even with absolute miniaturization, is not integrated in a measuring head described here can be. Furthermore, z. B. at US 4,465,374 due to the arrangement Borehole end areas out of the inspection area.  

Die in DE 44 15 582 C2 beschriebene Vorrichtung kann als Basis der hier beschriebenen Vorrichtungen dienen. Durch die Bearbeitung der Meßprobleme die mit dieser Anordnung möglich waren entstehen neue Vorrichtungen, die fürbestimmte spezifische Aufgabenstellungen notwendig sind. Da wäre z. B. die Abstandsmessungen schwer zugänglichen Stellen, wie z. B. in Rohren (1), oder Bohrungen, die durch rotationssymmetrische Querschnittsveränderungen Hinterschneidungsbereiche für eine entlang der Symmetrieachse der Meßobjekte geführte Anordnung nach DE 44 15 582 C2 aufweist.The device described in DE 44 15 582 C2 can serve as the basis for the devices described here. By processing the measurement problems that were possible with this arrangement, new devices are created that are necessary for certain specific tasks. There would be z. B. the distance measurements difficult to access places such. B. in tubes ( 1 ), or bores which have undercut areas for a configuration guided along the axis of symmetry of the test objects by rotationally symmetrical changes in cross-section arrangement according to DE 44 15 582 C2.

Desweiteren sind die Stirnflächen von z. B. Bohrungen oder Führungen nach dem Triangulationsverfahren mit der Anordnung nach DE 44 15 582 C2 nicht auf ihre Geometrie messbar. Andere Verfahren wie z. B. 38 40 820 C2 arbeiten mit unterschiedlichen Meßkopfaufsätzen auf Basis anderer Meßprinzipien (z. B. Autofokus oder Reflexion).Furthermore, the end faces of z. B. holes or guides after Triangulation method with the arrangement according to DE 44 15 582 C2 not on its geometry measurable. Other methods such as B. 38 40 820 C2 work with different Measuring head attachments based on other measuring principles (e.g. auto focus or reflection).

Die Erfindung betrifft optische Anordnungen, die alle auf der Basis der optischen Triangulation - durch geeignete Faltung der Strahlengänge - diese Bereiche für meßtechnische Aufgabenstellungen zugänglich machen.The invention relates to optical arrangements, all based on the optical Triangulation - by suitable folding of the beam paths - these areas for measurement Make tasks accessible.

Die Aufgabenstellung wird durch eine für die Meßaufgabe geeignete optische Anordnung mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst.The task is solved by an optical arrangement suitable for the measuring task solved the features of claim 1.

Das System erzeugt ein Signal, das in geeigneter Weise dem Bedienpersonal oder einer Produktionslinie zugänglich gemacht, beziehungsweise zur Verfügung gestellt wird.The system generates a signal that the operator or a suitable Production line made accessible or made available.

Die Erfindung ermöglicht mit ihrer Kombination aus Endoskopieelementen und Triangula­ tionssensorik, an unzugänglichen Stellen, eine Abstandsmessung von innen liegenden Oberflächen durchzuführen. Dabei besteht die Senderanordnung aus geeigneten opto-elektronischen Komponenten, wobei über eine Optik eine Strahlumlenkung vorzugsweise senkrecht zur oder in Einschubrichtung vorgesehen sein kann. Der Meßbereich befindet sich außerhalb des Meßfortsatzes. Die von einer Oberfläche reemittierte Intensität durchläuft den Empfängerstrahlengang eines normalen Triangulationssensors. Dieser Strahlengang wird ebenfalls umgelenkt, so daß er längs der Meßfortsatzachse verläuft. Gebündelt wird dieser Strahl u. a. über eine geeignete Optik auf ein optoelektronisches Empfängerbauteil, das eine positionsempfindliche Signalauswertung ermöglicht. Die vorhandene Elektronik erzeugt die notwendigen Signale zur Sendersteuerung ebenso, wie sie für die Auswertung der Empfängersignale zuständig ist.With its combination of endoscopic elements and triangula, the invention enables tion sensors, in inaccessible places, a distance measurement from the inside Surfaces. The transmitter arrangement consists of suitable ones opto-electronic components, with beam deflection preferably via optics can be provided perpendicular to or in the direction of insertion. The measuring range is outside the measuring process. The intensity re-emitted from a surface passes through the Receiver beam path of a normal triangulation sensor. This beam path will also deflected so that it runs along the measuring process axis. This is bundled Beam u. a. a suitable optics on an optoelectronic receiver component, the one position-sensitive signal evaluation enabled. The existing electronics generate the  necessary signals for transmitter control as well as for the evaluation of the Receiver signals is responsible.

Der angedachte Einsatz bezieht sich z. B. auf die Wandstärkenmessung von Rohren mit und ohne Profil oder Gewinden an den Objektenden, die Messung von Bohrungen, Löchern oder sonstigen Hohlräumen. Auch die Vollständigkeitskontrolle eines Profils oder Gewindes läßt sich mit dieser Messung durchführen. Ebenso können alle Werkstücke, die aufgrund ihres Innendurchmessers andere Meßverfahren ausschließen vermessen werden.The intended use relates z. B. on the wall thickness measurement of pipes with and without profile or thread on the object ends, the measurement of bores, holes or other cavities. The completeness check of a profile or thread also leaves carry out with this measurement. Likewise, all workpieces that are due to their Exclude other measuring methods to be measured.

In Kombination mit einem weiteren Abstandssensor vorzugsweise einem Triangulationssensor können auch direkt Wandstärken von Rohren oder Bohrungen oder ähnliche oben beschriebene Objekte in einem Differenzmeßverfahren gemessen werden.In combination with another distance sensor, preferably a triangulation sensor can also directly wall thicknesses of pipes or holes or similar above described objects can be measured in a differential measurement method.

Fig. 1a optische Anordnung zur Vermessung von schwer zugänglichen Oberflächen mit besonderen Vorteilen bei der Abstandsmessung an Hinterschneidungsbereichen, FIG. 1a optical arrangement for the measurement of hard to reach surfaces with particular advantages in the distance measurement of undercut regions,

Fig. 1b Spiegelkopf für Drehung des Triangulationsdreiecks (6) im Meßkopf (2) in drei Ansichten (Einfachanordnung), FIG. 1b mirror head for rotation of the triangulation triangle (6) in the measuring head (2) three views (single array)

Fig. 2 Faltung (18) des Basisabstandes eines gewöhnlichen Triangulationssensors (17) zur Reduktion des Flächenbedarfs eines Triangulationsdreiecks bei der Messung auf die Endflächen von schwer zugänglichen Oberflächen, Fig. 2 convolution (18) of the base distance of an ordinary triangulation sensor (17) for reducing the space requirements of an triangulation triangle in the measurement to the end faces of hard to reach surfaces,

Fig. 3 Spiegelvertauschte Anordnung zu DE 44 15 582 C2. Fig. 3 mirror-reversed arrangement to DE 44 15 582 C2.

Claims (8)

1. Optische Vorrichtungen (3, 27,) zur Abstandsmessung an schwer zugänglichen Stellen auf Basis des Triangulationssensorverfahrens in Hohlräumen, insbesondere zur Innendurchmesser-, Kontur-, oder Profilvermessung (8) in Rohren, Löchern oder Innengewinden mit Vorteilen gerade bei Hinterschneidungen (9) innerhalb der Hohlräume und zur Messung an der auch beweglichen Stirnfläche dieser Meßobjekte, mit Meßfortsätzen (2, 29) für unterschiedliche Anwendungen, gekennzeichnet durch,
  • - einem rohrförmigen Meßfortsatz (2) mit geringen Querschnittsabmessungen zum Einschieben (7) in den zu vermessenden Hohlraum (1),
  • - einem ersten, ebenen Spiegelbereich (11, 11a, 11b) im rohrförmigen, ganz am vorderen, in den Hohlraum einschiebbaren Ende des Meßfortsatzes (2) und begrenzt an dessen Rand, der den parallel zur Längsachse des Meßfortsatzes auf ihn fallenden im Meßfortsatz ansonsten gradlinig verlaufenden Sendestrahl rechtwinklig nach außerhalb des Meßfortsatzes umlenkt,
  • - einem zweiten, ebenen Spiegelbereich (10, 10a, 10b), der sich vom ersten Spiegelbereich in seiner Wirkstellung (12, 13) unterscheidet, und wahlweise einseitig oder beidseitig zum ersten ebenen Spiegelbereich (11) angeordnet wird und der die von einer Innenwand des zu vermessenen Hohlraums zurückgeworfene Sendestrahlung axial durch den Meßfortsatz zurücklenkt, mit der Besonderheit, daß das Triangulationsdreieck (6) dadurch senkrecht zur Einschubrichtung (7) gedreht wird und besondere Vorteile für die Messung gerade bei Hinterschneidungen (9) zeigt,
  • - oder einem rohrförmigen Meßfortsatz (29) mit geringen Querschnittsab­ messungen der von einem Sendestrahl geradlinig durchstrahlt wird und vorzugsweise parallel zur Symmetrieachse des rohrförmigen Meßfortsatzes austritt
  • - und einer Parallelspiegelanordnung (25) von zwei Planspiegeln, die die von der Oberfläche des zu vermessenden Hohlraums zurückgeworfene Sendestrahlung aus dem Meßbereich (28) axial durch den Meßfortsatz durch geeignet viele Reflexionen in den Meßkopf (27) überträgt, wobei die Parallelspiegelanordnung (25) aus einem Quader mit mindestens zwei verspiegelten Oberflächen oder mehreren separaten zueinander angeordneten Spiegeln bestehen kann,
  • - oder einem ersten ebenen Spiegelbereich (35) im rohrförmigen, ganz am vorderen, in den Hohlraum einschiebbaren Ende des Meßfortsatzes (32) und begrenzt an dessen Rand, der den parallel zur Längsachse des Meßfortsatzes auf ihn fallenden im Meßfortsatz ansonsten gradlinig verlaufenden Sendestrahl (33) rechtwinklig nach außerhalb des Meßfortsatzes umlenkt,
  • - und einen zweiten, ebenen Spiegelbereich (34), der sich vom ersten Spiegelbereich in seiner Winkelstellung unterscheidet, und hinter dem ersten ebenen Spiegelbereich angeordnet wird und der die von einer Innenwand des zu vermessenen Hohlraums zurückgeworfene Sendestrahlung axial durch den Meßfortsatz (32) zurücklenkt, mit der Besonderheit, daß die Streureflexion auf dem ersten ebenen Spiegelbereich von dem zweiten ebenen Spiegelbereich abgeschattet wird und so nicht über die optische Abbiidungsanordnung auf dem Empfänger abgebildet werden kann.
1. Optical devices ( 3 , 27 ,) for measuring distances in hard-to-reach places on the basis of the triangulation sensor method in cavities, in particular for measuring inner diameters, contours or profiles ( 8 ) in pipes, holes or internal threads, with advantages especially for undercuts ( 9 ) within the cavities and for measurement on the movable end face of these measurement objects, with measurement extensions ( 2 , 29 ) for different applications, characterized by
  • - a tubular measuring extension ( 2 ) with small cross-sectional dimensions for insertion ( 7 ) into the cavity ( 1 ) to be measured,
  • - A first, flat mirror area ( 11 , 11 a, 11 b) in the tubular, at the very front, insertable into the cavity end of the measuring extension ( 2 ) and bounded at its edge, which falls parallel to the longitudinal axis of the measuring extension on it in the measuring extension otherwise the rectilinear transmission beam is diverted at right angles to the outside of the measuring process,
  • - A second, flat mirror area ( 10 , 10 a, 10 b), which differs from the first mirror area in its operative position ( 12 , 13 ), and is optionally arranged on one or both sides of the first flat mirror area ( 11 ) and which is one The interior wall of the transmitted radiation reflected back deflects axially back through the measuring extension, with the special feature that the triangulation triangle ( 6 ) is thereby rotated perpendicular to the direction of insertion ( 7 ) and shows particular advantages for the measurement, particularly with undercuts ( 9 ),
  • - Or a tubular measuring extension ( 29 ) with small cross-sectional dimensions which is radiated by a transmitting beam in a straight line and preferably exits parallel to the axis of symmetry of the tubular measuring extension
  • - And a parallel mirror arrangement ( 25 ) of two plane mirrors, which transmits the reflected radiation from the surface of the cavity to be measured from the measuring area ( 28 ) axially through the measuring extension through a suitable number of reflections into the measuring head ( 27 ), the parallel mirror arrangement ( 25 ) can consist of a cuboid with at least two mirrored surfaces or several separate mirrors arranged to each other,
  • - or a first flat mirror region ( 35 ) in the tubular end of the measuring extension ( 32 ), which can be pushed in at the front end and can be inserted into the cavity, and delimits at its edge the transmitting beam ( 33 ) deflected at a right angle outside the measuring process,
  • - And a second, flat mirror area ( 34 ), which differs in its angular position from the first mirror area, and is arranged behind the first flat mirror area and which deflects the transmitted radiation reflected by an inner wall of the cavity to be measured back axially through the measuring extension ( 32 ), with the peculiarity that the scatter reflection on the first flat mirror area is shadowed by the second flat mirror area and thus cannot be imaged on the receiver via the optical imaging arrangement.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Emissionswellenlänge der Strahlungsquelle nicht festliegt und in geeigneter Weise für den Anwendungsfall gewählt werden kann.2. Device according to claim 1, characterized in that the emission wavelength of Radiation source is not fixed and selected in a suitable manner for the application can be. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Emissionswellenlänge der Strahlungsquelle und die Empfindlichkeitscharakteristik des Empfängers aufeinander angepaßt sind.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the Emission wavelength of the radiation source and the sensitivity characteristic of the Receiver are matched. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle ihre Leistung kontinuierlich oder moduliert oder gepulst emittiert.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the Radiation source emits its power continuously or modulated or pulsed. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle eine Lichtquelle, vorzugsweise ein Laser oder eine Leuchtdiode (LED) ist.5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the Radiation source a light source, preferably a laser or a light emitting diode (LED) is. 6. Vorrichtung nach der Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle außerhalb des Meßfortsatzes angeordnet ist, und ihre optische Leistung über Spiegel oder über Prismen oder über eine Glasfaser oder über ein Glasfaserbündel in dein Meßfortsatz geführt wird.6. The device according to claim 5, characterized in that the radiation source is arranged outside the measuring extension, and their optical power via mirror or  Via prisms or via a glass fiber or via a glass fiber bundle in your measuring extension to be led. 7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser oder die LED sich direkt im Meßfortsatz befindet7. The method according to claim 5, characterized in that the laser or the LED itself located directly in the measuring extension 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerte- und Anzeigeeinheit ein Signal zur Regelung eines Produktionsprozesses zur Verfügung stellt.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the Evaluation and display unit a signal for controlling a production process Provides.
DE19829513A 1998-07-06 1998-07-06 Optical devices for measuring distances in hard-to-reach places based on the triangulation sensor method Expired - Fee Related DE19829513C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19829513A DE19829513C2 (en) 1998-07-06 1998-07-06 Optical devices for measuring distances in hard-to-reach places based on the triangulation sensor method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19829513A DE19829513C2 (en) 1998-07-06 1998-07-06 Optical devices for measuring distances in hard-to-reach places based on the triangulation sensor method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19829513A1 true DE19829513A1 (en) 2000-01-20
DE19829513C2 DE19829513C2 (en) 2001-01-25

Family

ID=7872711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19829513A Expired - Fee Related DE19829513C2 (en) 1998-07-06 1998-07-06 Optical devices for measuring distances in hard-to-reach places based on the triangulation sensor method

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19829513C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8711334B2 (en) 2008-06-20 2014-04-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Light barrier and method for detecting objects

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10229818A1 (en) * 2002-06-28 2004-01-15 Carl Zeiss Smt Ag Focus detection method and imaging system with focus detection system
US7092069B2 (en) 2002-03-08 2006-08-15 Carl Zeiss Smt Ag Projection exposure method and projection exposure system

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4415582C2 (en) * 1994-05-04 1997-03-06 Autec Gmbh Optical distance measuring device for distance measurement in cavities

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4415582C2 (en) * 1994-05-04 1997-03-06 Autec Gmbh Optical distance measuring device for distance measurement in cavities

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8711334B2 (en) 2008-06-20 2014-04-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Light barrier and method for detecting objects

Also Published As

Publication number Publication date
DE19829513C2 (en) 2001-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10057539B4 (en) Interferometric measuring device
EP1647799B1 (en) Calibration of a surface measurement system
DE10242373B4 (en) Confocal distance sensor
CH654914A5 (en) OPTOELECTRONIC MEASURING METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE SURFACE QUALITY REFLECTIVELY REFLECTING OR TRANSPARENT SURFACES.
DE102017128158A9 (en) Distance measuring device and method for measuring distances
DE102016212432A1 (en) Chromatic range sensor incorporating a dynamic intensity compensation function
DE112013001142T5 (en) A method of identifying abnormal spectral profiles measured by a chromatic confocal range sensor
WO2017046254A1 (en) Operating a confocal white light sensor on a coordinate measuring device
DE4415582C2 (en) Optical distance measuring device for distance measurement in cavities
DE102017004475A1 (en) Measuring device for measuring surface profiles in cavities
DE19515365C2 (en) Fiber optic light barrier
DE19803679C2 (en) Device for optically scanning an object, in particular an endoscope
WO2010063521A2 (en) Optical measuring arrangement and optical measuring method
DE19829513A1 (en) Optical device for measuring dimensions and distances in difficult to access positions, using triangulation
DE102006017400B4 (en) Apparatus and method for non-contact measurement of at least one curved surface
EP1260848B1 (en) Arrangement for the determination of luminous power, microscope and microscopy method
DE2043290A1 (en) Method for speed measurement in flow fields by means of a self-adjusting laser Doppler probe used to receive backward scattered signals
DE102012017519A1 (en) Apparatus and method for checking the alignment of at least one optical surface of an optical system
EP2847543B1 (en) Measuring device and method for measuring a measuring object
DE102016013550B3 (en) Profile measuring system for roughness and contour measurement on a surface of a workpiece
DE102019002757A1 (en) OPTICAL MEASURING DEVICE, OPTICAL MEASURING SYSTEM AND OPTICAL MEASURING METHOD
DE102013219436B4 (en) Device and method for the optical analysis of a reflecting test object
DE2945229C2 (en) Device for non-contact vibration measurement using the laser Doppler effect
DE3337468C2 (en)
DE102004048048A1 (en) Contact-less arrangement for e.g. automotive area, has tubular sensor with deflection glass prisms, which are immersed in internal screw thread or bore hole, where laser light-section image is accomplished in measuring camera of prisms

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee