DE19813371C2 - Kolbenstangenloser Linearantrieb - Google Patents

Kolbenstangenloser Linearantrieb

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Description

Die Erfindung betrifft einen kolbenstangenlosen Linearan­ trieb, mit einem einen Gehäuse-Innenraum begrenzenden Gehäu­ se, das einen in den Gehäuse-Innenraum mündenden Längsschlitz aufweist, mit einem Antriebsteil, das eine im Gehäuse- Innenraum längsbewegbar angeordnete Antriebspartie und eine durch den Längsschlitz hindurch nach außen ragende Mitnehmer­ partie aufweist, wobei der Längsschlitz zumindest an den dem Antriebsteil beiderseits in Längsrichtung benachbarten Län­ genabschnitten innen mittels eines Dichtbandes verschlossen ist, und mit einer Positionsbestimmungseinrichtung zur Be­ stimmung der Relativposition von Antriebsteil und Gehäuse, die an dem Dichtband vorgesehen gehäuseseitige Erfassungsmit­ tel, mit diesen zusammenarbeitende, am Antriebsteil vorgese­ hene antriebsteilseitige Erfassungsmittel sowie eine Auswer­ teeinheit enthält.
Aus der DE 85 03 341 U1 geht ein kolbenstangenloser Linearan­ trieb hervor, der ein mit einem Längsschlitz versehenes Ge­ häuse aufweist, in dem eine von einem Kolben gebildete An­ triebspartie eines Antriebsteils untergebracht ist, wobei ei­ ne mit dem Kolben verbundene Mitnehmerpartie des Antriebs­ teils durch den Längsschlitz nach außen ragt. Zur Abdichtung des Längsschlitzes ist eine Dichtungseinrichtung vorgesehen, die sich aus einem inneren Dichtband und einem äußeren Dicht­ band zusammensetzt. Die Dichtbänder liegen dichtend an den Schlitzflanken des Längsschlitzes an, von denen sie im Be­ reich der Mitnehmerpartie abgehoben werden.
Der Linearantrieb ist mit einer Positionsbestimmungseinrich­ tung ausgestattet, die über an der Antriebspartie vorgesehene antriebsteilseitige Erfassungsmittel sowie über an der Dich­ tungseinrichtung vorgesehene gehäuseseitige Erfassungsmittel verfügt und die eine Auswerteeinheit enthält, die über eine elektrische Leitung mit den antriebsteilseitigen Erfassungs­ mitteln in Verbindung steht. Die Auswerteeinheit kann anhand der erhaltenen Signale die Relativposition zwischen dem An­ triebsteil und dem Gehäuse bestimmen. Allerdings besteht die Gefahr, dass die sich ständig im unmittelbaren Nahbereich des Antriebsteil befindliche elektrische Leitung versehentlich abgerissen oder zumindest beschädigt wird. Auch kann die Ab­ lesegenauigkeit der von einem Signalkopf gebildeten an­ triebsteilseitigen Erfassungsmittel durch Verschmutzungen der Dichtungseinrichtung beeinträchtigt werden.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Linearantrieb der eingangs genannten Art zu schaffen, der bei kompakten Abmessungen eine präzise und störungsfreie Bestim­ mung der Relativposition von Antriebsteil und Gehäuse ermög­ licht.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist in Verbindung mit den Oberbe­ griffsmerkmalen des Patentanspruches 1 vorgesehen, dass die Auswerteeinrichtung lediglich mit den gehäuseseitigen Erfas­ sungsmitteln verbunden ist, und dass die gehäuseseitigen Er­ fassungsmittel bei der Relativbewegung von Gehäuse und An­ triebsmittel ein sich im Bereich der antriebsteilseitigen Er­ fassungsmittel änderndes Magnetfeld hervorrufen, wobei die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel ein magnetfeldabhängi­ ges Erfassungssignal erzeugen, das der Auswerteeinheit zur Bestimmung der Relativposition zugeführt wird.
Auf diese Weise kann auf eine Kabelverbindung zwischen der Auswerteeinheit und den antriebsteilseitigen Erfassungsmit­ teln verzichtet werden und man vermeidet dadurch die Existenz von sich ständig mit dem Antriebsteil mitbewegenden Kabeln, die mit zu betätigenden Bauteilen in Konflikt geraten und be­ schädigt werden könnten. Zwar könnte man erwägen, mitzufüh­ rende Kabel durch besondere Abdeckmaßnahmen vor unmittelbarem Kontakt mit anderen Bauteilen zu schützen. Dies würde aller­ dings den Aufbau des Linearantriebes beträchtlich verteuern und auch zu einer Vergrößerung der äußeren Abmessungen füh­ ren. Hinsichtlich kompakter Abmessungen wirkt sich auch die Anordnung der am Dichtband vorgesehenen gehäuseseitigen Er­ fassungsmittel positiv aus, da die mit diesen gehäuseseitigen Erfassungsmitteln zusammenarbeitenden antriebsteilseitigen Erfassungsmittel bei Bedarf zumindest teilweise an Stellen des Antriebsteils vorgesehen werden können, die sich im In­ nern des Gehäuses befinden und die Außenabmessungen nicht vergrößern. Schließlich wird durch die auf magnetischem Funk­ tionsprinzip basierende Ausgestaltung der Erfassungsmittel auch bei einer Verschmutzung der Dichtungseinrichtung eine zuverlässige Funktionsweise gewährleistet.
Zwar geht aus der DE 295 08 517 U1 bereits ein kolbenstangen­ loser Linearantrieb hervor, dessen Positionsbestimmungsein­ richtung eine lediglich mit gehäuseseitigen Erfassungsmitteln verbundene Auswerteeinheit aufweist. Zur Positionserfassung dienen allerdings zwei Wiederstandsdrähte, die mit Schleif­ kontakten zusammenarbeiten, so dass die Präzision der Positi­ onserfassung stark verschmutzungsabhängig ist.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Un­ teransprüchen hervor.
Bei den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln kann es sich um mehrere elektrisch leitfähige und/oder magnetisierbare oder permanentmagnetische Erfassungselemente handeln, die in Rich­ tung der Relativbewegung von Antriebsteil und Gehäuse, insbe­ sondere regelmäßig, beabstandet zueinander angeordnet sind.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform verfügen die gehäuseseitigen Erfassungsmittel über eine sich in Längsrich­ tung des Dichtbandes erstreckende Leiteranordnung, so dass eine sehr einfache Übertragung des Meßsignals bzw. der Sig­ nalantwort möglich ist. Dabei kann vorgesehen sein, dass die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel eine Unstetigkeitsstel­ le in der Leiteranordnung hervorrufen, wobei das Meßsignal an der Unstetigkeitsstelle eine zur Auswerteeinheit zurücklau­ fende Signalantwort zulässt. Die Unstetigkeitsstelle definiert somit die Relativposition von Antriebsteil und Gehäuse. Die Signalantwort kann insbesondere von einer Reflexion des Meßsignals an der Unstetigkeitsstelle gebildet sein. Eine Re­ flexion kann von den antriebsteilseitigen Erfassungsmitteln auf besonders einfache Weise hervorgerufen werden.
Insbesondere können die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel eine Magneteinrichtung enthalten, deren Magnetfeld auf die Leiteranordnung einwirkt und die Unstetigkeitsstelle hervor­ ruft. Zweckmäßigerweise weist hierbei wenigstens einer der Leiter der Leiteranordnung magnetostriktive Eigenschaften auf.
Im folgenden wird der erfindungsgemäße kolbenstangenlose Li­ nearantrieb anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 einen mit einer Positionsbestimmungseinrichtung ausgestatteten fluidbetätigten kolbenstangenlosen Linearantrieb im Längsschnitt,
Fig. 2 den Linearantrieb aus Fig. 1 in einem Querschnitt gemäß Schnittlinie II-II,
Fig. 3 den prinzipiellen Aufbau eines ersten Ausführungs­ beispiels einer Positionsbestimmungseinrichtung, wobei die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel ei­ ne Spulenanordnung und die gehäuseseitigen Erfas­ sungsmittel mehrere magnetisierbare Erfassungselemente aufweisen, in einer schematischen Darstellung,
Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Positions­ bestimmungseinrichtung in der Darstellung wie Fig. 3, wobei die antriebsteilseitigen Erfas­ sungsmittel einen magnetfeldabhängigen Sensor und die gehäuseseitigen Erfassungsmittel mehrere permanentmagnetische Erfassungselemente aufweisen,
Fig. 5 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Positions­ bestimmungseinrichtung in der Darstellung wie Fig. 3, wobei die gehäuseseitigen Erfassungs­ mittel von außen zugängliche elektrische Leiter und die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel einen Leiterabgriff aufweisen, und
Fig. 6 weitere Ausführungsformen der Positions­ bestimmungseinrichtung in der Darstellung gemäß Fig. 3, wobei die gehäuseseitigen Erfassungs­ mittel einen magnetostriktiven Leiter und die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel eine Magneteinrichtung aufweisen.
In Fig. 1 ist ein kolbenstangenloser Linearantrieb 1 dar­ gestellt, der über ein einen Gehäuse-Innenraum 2 be­ grenzendes Gehäuse 3 verfügt. Das Gehäuse 3 enthält einen sich in Längsrichtung 4 erstreckenden, rohrförmigen Gehäusekörper 5, der an seinen beiden stirnseitigen End­ bereichen 6, 7 mittels jeweils eines Gehäusedeckels 8, 9 verschlossen ist. Am Gehäusekörper 5 ist ein dessen Wand an einer Umfangsstelle radial durchsetzender Längsschlitz 12 vorgesehen, der in den Gehäuse-Innenraum 2 einmündet und sich in Längsrichtung beispielsgemäß über die gesamte Länge des Gehäusekörpers 5 erstreckt.
Am Gehäuse 3 ist längsbeweglich ein Antriebsteil 13 vorge­ sehen, das eine im Gehäuse-Innenraum 2 längsbewegbar angeordnete Antriebspartie 14 und eine durch den Längs­ schlitz 12 hindurch nach außen ragende Mitnehmerpartie 15 aufweist. Die Antriebspartie stellt somit den kraftauf­ nehmenden, angetriebenen Teil des Antriebsteiles 13 dar, an dem die Mitnehmerpartie 15 vorgesehen ist. Diese dient beispielsweise dazu, nicht näher dargestellte Gegenstände wie Greifer, Werkzeuge, Werkstücke oder Sensoren zu tragen, die mittels des Linearantriebs 1 in eine ge­ wünschte Position gebracht werden sollen.
Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 handelt es sich um einen fluidbetätigten, insbesondere pneumatischen Linearantrieb 1, dessen Antriebspartie 14 von einem Kolben 18 gebildet ist. Alternativ hierzu besteht auch die Möglichkeit, den kolbenstangenlosen Linear­ antrieb 1 zum Beispiel elektrisch angetrieben auszubilden, wobei die Antriebspartie 14 über eine Längsspindel, einen Zahn- oder Keilriemen oder ähnliches bewegt werden kann.
Beispielsgemäß weist der Gehäuse-Innenraum 2 einen in etwa kreiszylindrischen Querschnitt auf. Der Kolben 18 ist im Gehäuse-Innenraum 2 längsbewegbar geführt angeordnet. Er verfügt über einen länglichen, rohrähnlichen Kolbenkörper 22, der an seinen beiden Längsendbereichen 23, 24 von jeweils einem im wesentlichen zylindrischen Kolbenendstück 25, 26 verschlossen ist. Innerhalb des Kolbenkörpers 22 ist zwischen den beiden Kolbenendstücken 25, 26 somit ein Kolben-Innenraum 27 begrenzt.
Im Bereich der Kolbenendstücke 25, 26 liegt der Kolben 18 dichtend an der dem Gehäuse-Innenraum 2 zugewandten Innen­ wand 30 des Gehäusekörpers 5 an. Hierfür verfügt der Kolben an den beiden Kolbenendstücken 25, 26 über jeweils eine ringsumlaufende Dichtungsanordnung 31, 32, die bei­ spielsgemäß von einem Dichtring gebildet ist. Zur besseren Führung des Kolbens 18 im Gehäuse-Innenraum 2 des Gehäuses 3 ist zusätzlich an jedem Kolbenendstück 25, 26 ein Führungsring 33, 34 vorgesehen.
In Längsrichtung 4 sind beiderseits des Kolbens 18 im Gehäuse-Innenraum 2 Fluidkammern 37, 38 gebildet, die einerseits vom zugeordneten Gehäusedeckel 8, 9 und andererseits durch das betreffende Kolbenendstück 25, 26 begrenzt sind. Zur Zufuhr bzw. Abfuhr von Fluid in die bzw. aus der Fluidkammer 37, 38 ist diese fluidisch mit einem den jeweils zugeordneten Gehäusedeckel 8, 9 durch­ setzenden zentralen Fluidkanal 39, 40 verbunden. An diesen kann außen wiederum eine entsprechende Fluidleitung ange­ schlossen werden, die mit einer Fluidquelle bzw. Fluid­ senke verbunden ist.
Die beiden Fluidkammern 37, 38 sind im Bereich des Längs­ schlitzes 12 mittels eines Dichtbandes 43 verschlossen, das von innen her an den Schlitzflanken 44, 45 der sich entlang der Fluidkammern 37, 38 erstreckenden Längen­ abschnitte 46, 47 des Längsschlitzes 12 anliegt.
Das Dichtband 43 ist im Querschnitt gesehen vorzugsweise trapezförmig ausgebildet, wobei die beiden entgegen­ gesetzten, schräg zueinander verlaufenden Seitenflächen 48, 49 des Dichtbandes an ebenfalls schräg verlaufen­ den, nach radial außen hin aufeinander zulaufenden Schlitzflanken des Längsschlitzes 12 flächig anliegen.
Um der Mitnehmerpartie 15 des Antriebsteiles 13 das Durchsetzen des Längsschlitzes im Verbindungsbereich 52 mit der Antriebspartie 14 zu ermöglichen, ist das Dichtband 43 dort nach innen vom Längsschlitz 12 abgehoben und verläuft in einer im Verbindungsbereich 52 vorgesehenen, das Antriebs­ teil 13 durchsetzenden Durchführungsöffnung 53.
Das Dichtband 43 ist mit seinen beiden Enden im Bereich der Gehäusedeckel 8, 9 am Gehäuse 3 festgelegt. Zwischen diesen beiden Befestigungsstellen 54, 55 ist das Dichtband 43 in seiner Verlaufsrichtung gespannt. Da es in der Regel aus dehnbarem Dichtmaterial besteht, sind zur Erhöhung der Zugfestigkeit gemäß Fig. 2 beim Ausführungsbeispiel zwei im Dichtband 43 durchgehend in Erstreckungsrichtung des Dichtbandes 43 verlaufende Verstärkungsstränge 56, 57 angeordnet. Diese können aus einem festen Kunststoff gefertigt sein oder auch aus Metall bestehen. Es versteht sich, daß in Abwandlung zum Ausführungsbeispiel auch lediglich ein oder mehr als zwei Verstärkungsstränge vorgesehen sein könnten, die auch außen am Dichtband 43 angeordnet sein könnten.
Bei einem nicht näher dargestellten, nicht-fluidisch betätigten Linearantrieb erfüllt das Dichtband 43 zwar keine Dichtfunktion, jedoch schützt es diesen vor Verun­ reinigungen, die in das Gehäuse 3 eindringen könnten.
Zur Bestimmung der Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 verfügt der Linearantrieb 1 über eine Positi­ onsbestimmungseinrichtung 58, die in Fig. 1 strichpunktiert angedeutet ist. Über die Vorgabe und Erfassung der Relativpo­ sition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 kann die Position des an der Mitnehmerpartie 15 vorgesehenen, zu positionieren­ den Gegenstandes bedarfsgemäß eingestellt werden.
Zu diesem Zweck weist die Positionsbestimmungseinrichtung 58 beispielsgemäß am Dichtband 43 vorgesehene gehäuseseitige Er­ fassungsmittel 59 und mit diesen zusammenarbeitende, am An­ triebsteil 13 vorgesehene antriebsteilseitige Erfassungsmit­ tel 60 auf.
Sowohl die gehäuseseitigen als auch die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 59, 60 sind in Fig. 1 lediglich strichpunk­ tiert schematisch dargestellt. Die antriebsteilseitigen Er­ fassungsmittel 60 sind vorzugsweise an der Antriebspartie 14 oder im Verbindungsbereich 52 zwischen Antriebspartie 14 und Mitnehmerpartie 15 angeordnet. Die gehäuseseitigen Erfas­ sungsmittel 59 erstrecken sich entlang des Dichtbandes 43 im wesentliche über dessen gesamte Länge. Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 arbeiten mit der ihnen jeweils in Abhängigkeit von der momen­ tanen Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 zugeordneten Stelle der gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 zusammen, die als Erfassungsstelle 61 bezeichnet sei. Diese Erfassungsstelle 61 befindet sich beim Ausführungsbeispiel an dem Abschnitt der gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 bzw. des Dichtbandes 43, der innerhalb der Durchführungsöffnung 53 verläuft.
Die Durchführungsöffnung 53 kann zum Kolben-Innenraum 27 hin offen sein, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Dadurch ergibt sich besonders viel Raum für das Anordnen der antriebsteil­ seitigen Erfassungsmittel 60 im Bereich der Zuordnungsstelle 61. Auch die Montage der antriebsteilseitigen Erfassungsmit­ tel 60 kann somit problemlos durchgeführt werden.
Mit den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 ist über elekt­ rische Verbindungsleiter 66 eine Auswerteeinheit 64 der Posi­ tionsbestimmungseinrichtung 58 verbunden, die Signale von den zugeordneten gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 empfangen bzw. Signale an diese Erfassungsmittel senden kann. Durch die Auswertung dieser Signale kann die Auswerteeinheit 61 die mo­ mentane Relativposition zwischen dem Antriebsteil 13 und dem Gehäuse 3 ermitteln.
Verschiedene Ausführungen der Positionsbestimmungseinrichtung 58 sind in den Fig. 3 bis 6 in Form von Prinzipdarstellun­ gen schematisch gezeigt. Anhand dieser Figuren wird die Funk­ tionsweise der verschiedenen Ausführungsbeispiele der Positi­ onsbestimmungseinrichtung 58 nachfolgend im einzelnen erläu­ tert.
Bei den beiden Ausführungsformen gemäß den Fig. 3 und 4 arbeiten die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 und an­ triebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 kontaktlos zusammen, so dass während der Relativbewegung des Antriebsteils 13 und des Gehäuses 3 keine zusätzliche Reibung bzw. kein zusätzli­ cher Verschleiß auftritt.
Das Grundprinzip der Funktionsweise der Positionsbestimmungs­ einrichtung 58 beruht hierbei darauf, dass die gehäuseseiti­ gen Erfassungsmittel 59 bei der Relativbewegung von Gehäuse 3 und Antriebsteil 13 bzw. von Dichtband 43 und Antriebsteil 13 ein sich im Bereich der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 änderndes Magnet­ feld hervorrufen, wobei die antriebsteilseitigen Erfas­ sungsmittel 60 ein magnetfeldabhängiges Erfassungssignal erzeugen, das der Auswerteeinheit 64 zur Bestimmung der Relativposition zugeführt wird.
Zur Erfassung des sich ändernden Magnetfeldes weisen die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 zumindest einen magnetfeldabhängigen Sensor 67 auf, der beim Ausführungs­ beispiel gemäß Fig. 3 von einer Spule 68 gebildet ist. Diese Spule ist über die Auswerteeinheit 64 an eine Span­ nung angelegt, so daß sie das Magnetfeld selbst hervorruft.
Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 sind von im Dicht­ band entlang dessen Verlaufsrichtung beabstandet zuein­ ander angeordneten, magnetisierbaren und/oder elektrisch leitfähigen Erfassungselementen 69 gebildet. Die Erfas­ sungselemente können beispielsweise von beabstandeten einzelnen Metallkugeln gebildet sein. Es ist jedoch ebenfalls möglich, die einzelnen Erfassungselemente miteinander zu verbinden, wodurch das Einbringen der Erfassungselemente 69 in das Dichtband 43 bei der Her­ stellung wesentlich erleichtert ist. Beispielsweise können die Erfassungselemente 69 zu einer ketten- oder band­ ähnlichen Struktur verbunden sein. Die äußere Form der Erfassungselemente 69 ist grundsätzlich frei wählbar.
Die Spule 68 umgibt das Dichtband 43 im Bereich der Er­ fassungsstelle 61. Bei einer Relativbewegung von Antriebs­ teil 13 und Gehäuse 3 bewegt sich die Spule 68 entlang des Dichtbandes 43, wobei sich der magnetische Fluß in der Spule durch die durch die Spule 68 hindurchbewegten Er­ fassungselemente 69 ändert, was zu einer sich ebenfalls ändernden Spannung an der Spule 68 führt, die von der Aus­ werteeinheit 64 gemessen werden kann. Das Spannungssignal an der Spule 68 dient als Maß für den Weg, der während der Relativbewegung zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 zu­ rückgelegt wurde. Ausgehend von einer bekannten, definier­ ten Ausgangslage kann über den zurückgelegten Weg die momentane Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 in der Auswerteeinheit 64 bestimmt werden.
Über die Anordnung der Erfassungselemente 69 am Dichtband 43 kann gleichzeitig zur Bestimmung der zurückgelegten Wegstrecke auch die Bewegungsrichtung der Relativbewegung ermittelt werden. Hierfür können die Erfassungselemente 69 unregelmäßige Abstände aufweisen, so daß das während der Relativbewegung durch die Auswerteeinheit 64 aufgenommene, von der Spannung an der Spule 68 gebildete Erfassungs­ signal bestimmte, periodisch wiederkehrende Spannungsverläufe aufweist, wobei die Spannungsverläufe je nach Bewegungs­ richtung unterschiedlich sind. Die periodisch wieder­ kehrenden, sozusagen den Richtungscode enthaltenden Spannungsverläufe können auch durch in einem Abschnitt des Dichtbandes 43 unterschiedliche Erfassungselemente 69 her­ vorgerufen werden, wobei die unterschiedlichen Erfassungs­ elemente 69 verschieden starke Spannungsänderungen der Spulenspannung bewirken.
Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel der Positionsbestimmungseinrichtung 58 verfügen die antriebs­ teilseitigen Erfassungsmittel 60 lediglich über eine ein­ zige Spule 68. In Abwandlung hierzu könnten diese auch eine Spulenanordnung enthalten, wobei eine mit der Aus­ werteeinheit 64 verbundene Meßspule vorgesehen ist, die das Erfassungssignal hervorruft. Wenigstens eine weitere Spule der Spulenanordnung könnte dann als Erregerspule ausgebildet sein, die das im Bereich der Meßspule vor­ handene Magnetfeld hervorruft. Bei der bevorzugten Aus­ führungsform nach Fig. 3 sind sozusagen die Erregerspule und die Meßspule gleichzeitig von der einzigen Spule 68 gebildet.
Die Spule 68 kann auch Bestandteil eines Schwingkreises 73 sein, wobei beispielsgemäß ein Reihenschwingkreis reali­ siert ist, bei dem der Kondensator 74 und der Ohmsche Widerstand 75 in der Auswerteeinheit 64 vorgesehen sind, so daß die Verbindung zur Spule 68 über die Verbindungs­ leiter 66 erfolgt. Es versteht sich, daß der Kondensator 74 und der Widerstand 75 zusammen mit der Spule 68 auch am Antriebsteil 13 angeordnet sein könnten. Falls der Ohmsche Widerstand der Spule 68 zusammen mit dem der Verbindungs­ leiter 66 bereits ausreichend groß ist, kann der separate Ohmsche Widerstand 75 auch entfallen.
Wird nun auf Grund der relativ zur Spule 68 bewegten Er­ fassungselemente 69 der magnetische Fluß im Innern der Spule 68 verändert, so ändert sich ebenfalls die Resonanzfrequenz und dadurch auch die Verstimmung des Schwing­ kreises 73. Hierbei dient die sich ändernde Verstimmung des Schwingkreises 73 als Erfassungssignal, über das die Auswerteeinheit 64 die zurückgelegte Wegstrecke und somit auch die momentane Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 ermitteln kann.
Im Unterschied zum Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist der magnetfeldabhängige Sensor 67 der antriebsteilseitigen Er­ fassungsmittel 60 beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 beispielsweise von einem magnetoresistiven Sensor oder einem Hall-Sensor gebildet, wobei auch ein anderer beliebiger magnetfeldabhängiger Sensor zum Einsatz kommen kann. Das im Bereich des Sensors 67 vorhandene, sich ändernde Magnetfeld wird beispielsgemäß von den gehäuse­ seitigen Erfassungsmitteln 59 erzeugt. Bei diesen am Dichtband 43 vorgesehenen Erfassungsmitteln 59 handelt es sich wie beim vorangegangenen Ausführungsbeispiel um voneinander beabstandet in Erstreckungsrichtung des Dichtbandes 43 angeordnete Erfassungselemente 69, wobei diese im vorliegenden Fall in Form von Permanentmagneten ausgeführt sind. Die Erfassungselemente 69 sind vorzugs­ weise miteinander verbunden, so daß eine Art Magnetband 78 entsteht. Das Magnetband 78 kann bereits bei der Herstellung des Dichtbandes 43 in dieses eingebracht werden oder auch außen am Dichtband 43 angeordnet sein.
Die die einzelnen Erfassungselemente 69 verbindenden Längs­ stränge 79, 80 können gleichzeitig die Funktion der Verstär­ kungsstränge 56, 57 im Dichtband 43 übernehmen, um eine aus­ reichende Stabilität des Dichtbandes 43 in dessen Erstre­ ckungsrichtung gesehen zu gewährleisten.
Jedes der permanentmagnetischen Erfassungselemente 69 erzeugt ein lokales Magnetfeld 81, das in Fig. 4 schematisch ange­ deutet ist. Während der Relativbewegung von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bewegt sich der Sensor 67 entlang des Dichtban­ des 43, wobei er durch die aufeinanderfolgenden lokalen Mag­ netfelder 81 der Erfassungselemente 69 beaufschlagt wird. Das dadurch im Sensor 67 hervorgerufene Erfassungssignal wird an die Auswerteeinheit 64 weitergeleitet und dort zur Bestimmung der Relativposition ausgewertet. Wie schon beim vorangegange­ nen Ausführungsbeispiel beschrieben, kann auch hier eine Co­ dierung durch die Anordnung bzw. Ausgestaltung der Erfas­ sungselemente 69 erfolgen, so dass sich aus dem Erfassungs­ signal die zurückgelegte Wegstrecke und die Bewegungsrichtung der Relativbewegung bestimmen lassen, wodurch die Ermittlung der momentanen Relativposition möglich ist.
Es besteht ferner die Möglichkeit, am Dichtband 43 mehrere beabstandete magnetfeldabhängige Sensoren 67 vorzusehen, bei­ spielsweise mehrere Spulen 68, die die zweiten, gehäuseseiti­ gen Erfassungsmittel 60 darstellen. Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 59 könnten dann von einem permanentmagneti­ schen oder magnetisierbaren und im Fall eines von einer Spule 68 gebildeten magnetfeldabhängigen Sensors 67 von einem elektrisch leitfähigen Erfassungselement 69 gebildet sein. In Abhängigkeit von der Relativposition von Gehäuse 3 und An­ triebsteil 13 wirkt das am Antriebsteil 13 angeordnete Erfas­ sungselement 69 hauptsächlich auf den oder die magnetfeldab­ hängigen Sensoren 67 ein, die an der Zuordnungsstelle 61 am Dichtband 43 vorhanden sind. Auf Grund des an der Zuordnungs­ stelle 61 wirkenden Magnetfeldes kann die Auswerteeinheit bestimmen, welcher der magnetfeldabhängigen Sensoren 67 am Dichtband 43 beaufschlagt ist, und somit die Relativposition von Gehäuse 3 und Antriebsteil 13 ermitteln.
Die Anordnung der antriebsteilseitigen und gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59, 60 wird daher gegenüber den Ausführungs­ bespielen gemäß den Fig. 3 und 4 sozusagen umgekehrt, wobei nunmehr die magnetfeldabhängigen Sensoren am Dichtband 43 und ein oder mehrere Erfassungselemente 59 am Antriebsteil 13 vorgesehen sind. Der Vorteil liegt bei dieser Abwandlung darin, dass die aktuelle Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 nicht über die zuletzt ermittelte Relativposi­ tion und die anschließend erfolgte Relativbewegung bestimmt wird, sondern unmittelbar daraus hervorgeht, welcher der mag­ netfeldabhängigen Sensoren 67 am Dichtband 43 durch das an­ triebsteilseitige Erfassungselement 59 beaufschlagt wird. Je mehr Sensoren 67 am Dichtband 43 vorgesehen sind und je ge­ ringer deren Abstand zueinander gewählt ist, desto exakter kann die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bestimmt werden.
Auch bei den nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen der Positionsbestimmungseinrichtung 58 ist die Auswerteeinheit 64 lediglich mit den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 ver­ bunden. Dadurch entfällt das Mitbewegen der Verbindungsleiter 66 mit dem Antriebsteil 13. Die Verbindung zwischen den ge­ häuseseitigen Erfassungsmitteln 59 und der Auswerteeinheit 64 ist beispielsgemäß im Bereich einer der Befestigungsstellen 54, 55 zwischen Dichtband 43 und Gehäuse 3 vorgesehen.
Die Verbindung erfolgt wie schon bei den vorangegangenen Aus­ führungsformen über eine oder mehrere elektrische Verbin­ dungsleiter 66, wobei alternativ hierzu auch eine Verbindung mit galvanischer Trennung realisiert werden könnte. Bei­ spielsweise könnten die Auswerteeinheit 64 und die gehäuse­ seitigen Erfassungsmittel 59 induktiv miteinander gekoppelt sein.
Das Grundprinzip der Ausführungsvarianten der Positionsbe­ stimmungseinrichtung 58 nach den Fig. 5 und 6 beruht dar­ auf, dass die Auswerteeinheit 64 ein Meßsignal über die ge­ häuseseitigen Erfassungsmittel 59 überträgt, das durch Zusam­ menwirken zwischen den gehäuseseitigen und den antriebsteil­ seitigen Erfassungsmitteln 59, 60 zur Ermittlung der Relativ­ position dient.
Die Signalform des Meßsignals kann prinzipiell beliebig sein, wobei beispielsweise Impulse, Impulsfolgen oder Wellen, ins­ besondere Hochfrequenzwellen, in Frage kommen.
Bei den bevorzugten Ausführungsformen wird die Relativpositi­ on in der Auswerteeinheit 64 dadurch ermittelt, dass die Zeitspanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Eintreffen einer vom Meßsignal und den antriebsteilseitigen Erfassungs­ mitteln 60 über die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 zur Auswerteeinheit 64 zurücklaufenden Signalantwort bestimmt wird. Über die Zeitspanne und die bekannte Übertragungsgeschwindigkeit von Meßsignal und Signalantwort kann unmittelbar die Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 ermittelt werden.
Bei der Positionsbestimmung durch Aussenden eines Meß­ signals ist es möglich, die Relativposition direkt in der Auswerteeinheit 64 zu bestimmen. Eine bestimmte, der Aus­ werteeinheit 64 bekannte, definierte Ausgangsposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 muß nicht festge­ legt werden, da die momentane Relativposition nicht über die zurückgelegte Wegstrecke, sondern direkt durch die Auswertung des Meßsignals bzw. der Signalantwort erfolgt.
Sowohl das Meßsignal als auch die Signalantwort werden über eine Leiteranordnung 84 übertragen, die die gehäuse­ seitigen Erfassungsmittel 59 bildet. Die antriebsteil­ seitigen Erfassungsmittel 60 arbeiten hierbei derart mit der Leiteranordnung 84 zusammen, daß sie in dieser an der Erfassungsstelle 61 eine Unstetigkeitsstelle 85 hervor­ rufen, an der das von der Auswerteeinheit 64 ausgesendete Meßsignal die zur Auswerteeinheit zurücklaufende Signal­ antwort auslöst.
Wenigstens einer der Leiter der Leiteranordnung 84 kann dabei den zur Erhöhung der Zugfestigkeit des Dichtbandes 43 dienenden Verstärkungsstrang 56, 57 bilden.
Die Leiteranordnung 84 verfügt beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 über wenigstens einen und vorzugsweise über zwei von außen zugängliche elektrische Leiter 88, 89, so daß Meßsignal und Signalantwort in Form von elektrischen Signalen vorliegen. Die elektrischen Leiter 88, 89 sind zweckmäßigerweise an einer der Außenflächen des Dicht­ bandes 43 vorgesehen, die keine Dichtfunktion aufweist. Beispielsgemäß sind die elektrischen Leiter 88, 89 an der dem Gehäuse-Innenraum 2 zugewandten rückwärtigen Fläche 90 des Dichtbandes 43 angeordnet.
Die Unstetigkeitsstelle 85 wird bei dieser Ausführung da­ durch hervorgerufen, daß ein Leiterabgriff 91 der an­ triebsteilseitigen Erfassungsmittel mit dem oder den elektrischen Leitern 88, 89 in Kontakt steht, wobei die Kontaktstelle der Unstetigkeitsstelle 85 entspricht.
Bei einer Abwandlung der Ausführung gemäß Fig. 5 könnte lediglich ein elektrischer Leiter 88 oder 89 vorhanden sein, der mit der Auswerteeinheit 64 verbunden ist. Der Leiterabgriff 91 der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 wäre dann derart ausgebildet, daß er den Widerstand des elektrischen Leiters 88, 89 an der Unstetigkeitsstelle 85 verändert, so daß das einlaufende Meßsignal reflektiert und unter Umständen gebrochen wird. Die Reflexion stellt dabei die zur Auswerteeinheit 64 zurücklaufende Signal­ antwort dar. Wie bereits beschrieben, kann dann über die Zeitspanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Ein­ treffen der Signalantwort die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bestimmt werden.
Falls an der Unstetigkeitsstelle 85 neben der Reflexion auch eine Brechung erfolgen sollte, kann das der Auswerte­ einheit 64 entgegengesetzte Ende des zugeordneten elek­ trischen Leiters 88, 89 mittels eines entsprechenden Widerstands angepaßt sein, um eine Reflexion des von der Unstetigkeitsstelle aus in Ausbreitungsrichtung des Meß­ signals weiterlaufenden Brechungssignals am Leiterende zu vermeiden.
Bei einer derartigen Ausgestaltung ist es zweckmäßig, wenn das Meßsignal von einem elektrischen Impuls gebildet ist.
Wie bereits geschildert, sind beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 zwei von außen zugängliche elektrische Leiter 88, 89 vorhanden, die gemeinsam eine Zweidrahtleitung bilden. Der Leiterabgriff 91 der antriebsteilseitigen Erfassungs­ mittel 60 ist hierbei als Kurzschlußbügel ausgebildet, der die beiden elektrischen Leiter 88, 89 der Zweidrahtleitung an der Unstetigkeitsstelle 85 elektrisch kurzschließt.
Die Zweidrahtleitung bildet im vorliegenden Fall eine so­ genannte "Lecher-Leitung", wobei das Meßsignal insbesonde­ re von einer Hochfrequenzwelle gebildet ist. Hier wird das Meßsignal an der Unstetigkeitsstelle 85 vollständig re­ flektiert, wobei die Reflexion die Signalantwort bildet, die bezüglich des Meßsignals um 180 phasenverschoben ist. In der Zweitdrahtleitung bildet sich somit eine stehende Welle aus. Wie bei den vorhergehenden Fällen wird über die Laufzeitmessung die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 in der Auswerteeinheit 64 ermittelt.
Bei dem im folgenden erläuterten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 der Positionsbestimmungseinrichtung 58 wirken die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 kontaktlos auf die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 ein. Diese sind von der Leiteranordnung 84 gebildet, die im Gegensatz zu den vorangegangenen Ausführungsbeispielen wenigstens einen magnetostriktiven, elektrisch leitfähigen Leiter 96 enthält.
Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 umfassen eine Magneteinrichtung 94, die im vorliegenden Fall von einem Permanentmagneten gebildet ist, dessen Magnetfeld auf den magnetostriktiven Leiter 96 der Leiteranordnung 84 ein­ wirkt und die Unstetigkeitsstelle 85 hervorruft.
Bei dem magnetostriktiven Leiter 96 handelt es sich bei­ spielsweise um einen amorphen oder nanokristallinen, ferromagnetischen Leiter. Durch den Einfluß eines Magnetfeldes wird dieser ferromagnetisch gesättigt, wodurch eine Verformung (Magnetostriktion) des magneto­ striktiven Leiters 96 hervorgerufen wird. Diese Verformungsstelle bildet die Unstetigkeitsstelle 85, an der das von der Auswerteeinheit 64 ausgesendete Meßsignal reflektiert und gebrochen wird.
Eine erste Möglichkeit besteht nun darin, daß die Reflexion die Signalantwort bildet. Das sich ausgehend von der Unstetigkeitsstelle 85 in Ausbreitungsrichtung des Meßsignals entlang des magnetostriktiven Leiters 96 weiter ausbreitende Brechungssignal würde an dessen der Auswerte­ einheit 64 entgegengesetztem Ende ein weiteres Mal reflek­ tiert werden. Dies könnte zu Fehlern in der Berechnung der Relativposition führen. Deshalb ist der magnetostriktive Leiter 96 an seinem der Auswerteeinheit 64 entgegenge­ setzten Ende mittels eines Widerstandes 97 derart abge­ schlossen, daß der Reflexionsfaktor Null ist und somit Anpassung vorliegt.
Die zweite Möglichkeit zur Bildung der Signalantwort er­ gibt sich durch die amorphe oder nanokristalline Aus­ bildung des magnetostriktiven Leiters 96. An der Unstetigkeitsstelle 85 entsteht gleichzeitig eine sich in beide Richtungen ausbreitende mechanische Welle, insbesondere Torsionswelle. Die in Richtung der Auswerteeinheit 64 zu­ rücklaufende mechanische Welle stellt dabei die Signal­ antwort dar und kann somit auf Grund ihrer bekannten Aus­ breitungsgeschwindigkeit über die Laufzeitmessung zur Bestimmung der Relativposition von Gehäuse 3 und Antriebs­ teil 13 dienen. Die sich von der Unstetigkeitsstelle 85 zusammen mit dem Brechungssignal zu dem der Auswerte­ einheit entgegengesetzten Ende des Leiters 96 weiter aus­ breitende mechanische Welle wird vorzugsweise an diesem Leiterende derart gedämpft, daß keine nennenswerte Re­ flexion erfolgt, um Fehler bei der Bestimmung der Relativ­ position in der Auswerteeinheit 64 zu vermeiden.
Auch bei diesen Ausführungsmöglichkeiten führt die Aus­ werteeinheit 64 eine Laufzeitmessung von Meßsignal und Signalantwort durch, woraus sie die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bestimmt.
In Fig. 6 ist eine weitere Variante zur Ausführung der Positionsbestimmungseinrichtung 58 dargestellt. Hierbei ist der magnetostriktive Leiter in Form eines rohrähn­ lichen Schallwellenleiters 100 ausgebildet, der in Fig. 6 strichpunktiert dargestellt ist. Koaxial innerhalb des Schallwellenleiters 100 ist ein elektrischer Meßleiter 101 angeordnet, über den das Meßsignal ausgehend von der Aus­ werteeinheit 64 übertragen wird. An der Unstetigkeits­ stelle 85 löst das eintreffende Meßsignal eine über den Schallwellenleiter 100 zur Auswerteeinheit 64 zurück­ laufende erste und eine sich entgegengesetzt hierzu weiter ausbreitende zweite mechanische Welle aus, wobei es sich im vorliegenden Fall jeweils um eine Torsionswelle handelt. Die erste mechanische Welle stellt hierbei die Signalantwort dar, und die zweite mechanische Welle wird am Leiterende zur Vermeidung von Reflexionen gedämpft. Im Unterschied zu der zuvor erläuterten Variante breitet sich die Signalantwort nicht auf dem das Meßsignal übertragen­ den Leiter 101, sondern auf einem separaten weiteren Leiter 100 aus. Auch hier erfolgt die Positionsbestimmung in der Auswerteeinheit 64 über die Messung der Laufzeit des Meßsignals bzw. der Signalantwort. Das bei dieser Ausführungsvariante ausgenutzte Prinzip wird als "Wiedemann-Effekt" bezeichnet.

Claims (19)

1. Kolbenstangenloser Linearantrieb, mit einem einen Gehäu­ se-Innenraum (2) begrenzenden Gehäuse (3), das einen in den Gehäuse-Innenraum (2) mündenden Längsschlitz (12) aufweist, mit einem Antriebsteil (13), das eine im Gehäuse-Innenraum (2) längsbewegbar angeordnete Antriebspartie (14) und eine durch den Längsschlitz (12) hindurch nach außen ragende Mit­ nehmerpartie (15) aufweist, wobei der Längsschlitz (12) zu­ mindest an den dem Antriebsteil (13) beiderseits in Längs­ richtung (4) benachbarten Längenabschnitten (46, 47) innen mittels eines Dichtbandes (43) verschlossen ist, und mit ei­ ner Positionsbestimmungseinrichtung (58) zur Bestimmung der Relativposition von Antriebsteil (13) und Gehäuse (3), die an dem Dichtband (43) vorgesehene gehäuseseitige Erfassungsmit­ tel (59), mit diesen zusammenarbeitende, am Antriebsteil (13) vorgesehene antriebsteilseitige Erfassungsmittel (60) sowie eine Auswerteeinheit (64) enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (64) lediglich mit den gehäuseseiti­ gen Erfassungsmitteln (59) verbunden ist, und dass die gehäu­ seseitigen Erfassungsmittel (59) bei der Relativbewegung von Gehäuse (3) und Antriebsmittel (13) ein sich im Bereich der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel (60) änderndes Magnet­ feld hervorrufen, wobei die antriebsteilseitigen Erfassungs­ mittel (60) ein magnetfeldabhängiges Erfassungssignal erzeugen, das der Auswerteeinheit (64) zur Bestimmung der Relativ­ position zugeführt wird.
2. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, dass das Dichtband (43) wenigstens ei­ nen in seiner Erstreckungsrichtung am oder im Dichtband (43) verlaufenden Verstärkungsstrang (56, 57) aufweist, der einen elektrischen Leiter der gehäuseseitigen Erfassungsmittel (59) bildet.
3. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln (59) um mehrere elektrisch leitfähige und/oder magnetisierbare oder permanentmagnetische Erfas­ sungselemente (69) handelt, die in Richtung der Relativbewe­ gung von Antriebsteil (13) und Gehäuse (3) aufeinanderfolgend angeordnet sind.
4. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprü­ che 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die gehäuseseitigen Erfassungsmittel (60) zumindest einen magnetfeldabhängigen Sensor (67) aufweisen.
5. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprü­ che 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die gehäuseseitigen Erfassungsmittel (60) eine Spulenanordnung (68) enthalten.
6. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 5, da­ durch gekennzeichnet, dass die Spulenanordnung (68) Teil eines Schwingkreises (73) ist, wobei die Auswerteeinheit (64) die Relativposition insbesondere mittels der Verstimmung des Schwingkreises (73) bestimmt.
7. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprü­ che 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (64) über die gehäuseseitigen Erfassungsmittel (59) ein Meß­ signal aussendet, das durch Zusammenwirken mit den an­ triebsteilseitigen Erfassungsmitteln (60) zur Ermittlung der Relativposition dient.
8. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 7, da­ durch gekennzeichnet, dass die Relativposition über die Zeit­ spanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Eintreffen einer vom Meßsignal und den antriebsteilseitigen Erfassungsmitteln (60) ausgelösten Signalantwort in der Auswerteeinheit (64) ermittelt wird.
9. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die gehäuseseitigen Erfassungs­ mittel (59) eine sich in Längsrichtung des Dichtbandes (43) erstreckende Leiteranordnung (84) aufweisen.
10. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 9, da­ durch gekennzeichnet, dass die antriebsteilseitigen Erfas­ sungsmittel (60) in der Leiteranordnung (84) eine Unstetig­ keitsstelle (85) hervorrufen, wobei das Meßsignal an der Un­ stetigkeitsstelle (85) eine zur Auswerteeinheit (64) zurück­ laufende Signalantwort auslöst.
11. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 10, da­ durch gekennzeichnet, dass die Signalantwort von einer Refle­ xion des Meßsignals an der Unstetigkeitsstelle (85) gebildet ist.
12. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die antriebsteilseitigen Er­ fassungsmittel (60) eine Magneteinrichtung (94) enthalten, deren Magnetfeld auf die Leiteranordnung (84) einwirkt und die Unstetigkeitsstelle (85) hervorruft.
13. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 12, da­ durch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Leiter (96 bzw. 100) der Leiteranordnung (84) magnetostriktive Eigen­ schaften aufweist.
14. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 13, da­ durch gekennzeichnet, dass der magnetostriktive Leiter (96) elektrisch leitfähig ist, wobei das Meßsignal über diesen Leiter (96) übertragen wird und an der Unstetigkeitsstelle (85) eine auf diesem Leiter (96) zur Auswerteeinheit (64) zu­ rücklaufende mechanische Welle hervorruft, die die Signalant­ wort darstellt.
15. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 14, da­ durch gekennzeichnet, dass der magnetostriktive Leiter von einem rohrähnlichen Schallwellenleiter (100) gebildet ist, der koaxial zu einem zur Meßsignalübertragung dienenden elektrischen Meßleiter (101) angeordnet ist, wobei an der Un­ stetigkeitsstelle (85) durch das eintreffende Maßsignal eine zur Auswerteeinheit (64) zurücklaufende mechanische Welle hervorgerufen wird.
16. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprü­ che 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die am Dichtband (43) vorgesehene Leiteranordnung (84) mindestens einen von außen zugänglichen elektrischer Leiter (88, 89) aufweist und die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel (60) einen mit die­ sem elektrischen Leiter (88, 89) in Kontakt stehenden Leiter­ abgriff (91) enthalten, wobei die Kontaktstelle zwischen Lei­ terabgriff (91) und elektrischem Leiter (88, 89) die Unste­ tigkeitsstelle (85) darstellt.
17. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 16, da­ durch gekennzeichnet, dass der Leiterabgriff (91) mehrere e­ lektrische Leiter (88, 89) der Leiteranordnung (84) an der Unstetigkeitsstelle (85) elektrisch verbindet.
18. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprü­ che 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung zwischen den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln (59) und der Auswerteeinheit (64) im Bereich einer Befestigungsstelle (54, 55) vorgesehen ist, an der das Dichtband (43) am Gehäuse (3) befestigt ist.
19. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprü­ che 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass es sich um einen fluidbetätigten Linearantrieb (1) handelt, wobei die An­ triebspartie (14) von einem Kolben (18) gebildet ist.
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