DE19806446A1 - Measuring distance between boundary surfaces of transparent media - Google Patents

Measuring distance between boundary surfaces of transparent media

Info

Publication number
DE19806446A1
DE19806446A1 DE1998106446 DE19806446A DE19806446A1 DE 19806446 A1 DE19806446 A1 DE 19806446A1 DE 1998106446 DE1998106446 DE 1998106446 DE 19806446 A DE19806446 A DE 19806446A DE 19806446 A1 DE19806446 A1 DE 19806446A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
interfaces
distance
holding element
radiation
focusing optics
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE1998106446
Other languages
German (de)
Inventor
Juergen Groser
Horst Mischo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GROSSER, JUERGEN, 52385 NIDEGGEN, DE
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority to DE1998106446 priority Critical patent/DE19806446A1/en
Publication of DE19806446A1 publication Critical patent/DE19806446A1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

Abstract

The method involves focusing radiation to a focal point (8), which is moved perpendicularly through the boundary surfaces (9-11), by moving the source and a lens carrier (2) relative to a reference point. A reflected portion of the radiation is detected, to determine the diameter of the smallest reflection spot, and the lens carrier position is determined. The distance between positions gives a measure of the distance between boundary surfaces. An Independent claim is also included for a device for measuring the distance between boundary surfaces of transparent media.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung des Abstandes von Grenzflächen transparenter Medien.The invention relates to a method and a device for measuring the distance from Interfaces of transparent media.

Derartige Grenzflächen treten sowohl bei speziellen optischen Schichtsystemen, wie sie insbe­ sondere in Sehhilfen, Kameras oder Projektoren Anwendung finden, als auch bei Systemen mit größeren Schichtdicken, z. B. in Fenstern, auf. Dabei kann der absolute Wert der Schichtdicke oder deren Konstanz für den jeweiligen Anwendungsfall entscheidend für die Qualität sein.Such interfaces occur both in the case of special optical layer systems, in particular especially in visual aids, cameras or projectors, as well as in systems with larger layer thicknesses, e.g. B. in windows. The absolute value of the layer thickness can be used or their constancy for the respective application can be decisive for the quality.

Es ist bekannt, mit Hilfe eines Fokussensors das Profil einer reflektierenden Oberfläche zu be­ stimmen. Ein solcher Fokussensor umfaßt in einem Gehäuse eine Laserstrahlungsquelle, eine die Laserstrahlung fokussierende Fokussieroptik und einen Photodetektor mit einer Auswerteeinheit. Die Laserstrahlung wird in Richtung auf die zu bestimmende Oberfläche fokussiert. Der sich auf der Oberfläche bildende Reflexionsfleck wird auf den Photodetektor abgebildet, dessen Photo­ strom von der Größe des Reflexionsfleckes abhängig ist. Die Profilmessung kann nun dadurch erfolgen, daß durch eine Positionsveränderung der Fokussieroptik relativ zum Fokussensorge­ häuse der Fokuspunkt exakt auf die Oberfläche gebracht wird und eine Profiländerung aus der Änderung der Fokussieroptikposition ermittelt wird (Autofokussensor). Eine Profilmessung kann jedoch auch ohne Änderung der Fokussieroptikposition unmittelbar über den Photostrom erfol­ gen (Fehlerfokussensor). Autofokussensoren und Fehlerfokussensoren der beschriebenen Art sind derzeit z. B. von den Firmen WEGU, UBM, Rodenstock und Sensor 95 zu beziehen.It is known to be the profile of a reflective surface with the help of a focus sensor voices. Such a focus sensor comprises a laser radiation source in a housing, the Laser focusing optics and a photodetector with an evaluation unit. The laser radiation is focused in the direction of the surface to be determined. The on the reflection spot forming the surface is imaged on the photodetector whose photo current depends on the size of the reflection spot. The profile measurement can now take place that by changing the position of the focusing optics relative to the focus care the focus point is brought exactly to the surface and a profile change from the Change the focusing optics position is determined (auto focus sensor). A profile measurement can however, also without changing the focusing optics position directly via the photocurrent gene (error focus sensor). Auto focus sensors and error focus sensors of the type described are currently z. B. from the companies WEGU, UBM, Rodenstock and Sensor 95.

Der Meßbereich der Autofokussensoren sowie der Fehlerfokussensoren ist aus physikalischen Gründen auf ca. 1 mm begrenzt. Deshalb werden Fokussensoren bislang üblicherweise zur Ver­ messung von Oberflächenprofilen von Mikrostrukturen eingesetzt.The measuring range of the auto focus sensors and the error focus sensors is physical Reasons limited to approx. 1 mm. For this reason, focus sensors have so far usually been used for ver measurement of surface profiles of microstructures.

Es ist nun Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung der ein­ gangs genannten Art unter Einsatz eines Fokussensors bereitzustellen.It is an object of the present invention, a method and an apparatus of the to provide the type mentioned using a focus sensor.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art gelöst, bei dem
This object is achieved in a method of the type mentioned at the outset, in which

  • a) Strahlung einer Strahlungsquelle mittels einer Fokussieroptik fokussiert wird, a) radiation of a radiation source is focused by means of focusing optics,  
  • b) der Fokuspunkt im wesentlichen senkrecht zu den Grenzflächen durch die Grenzflächen hindurch bewegt wird, indem ein die Strahlungsquelle und die Fokussieroptik tragendes Halteelement relativ zu einem bestimmten Bezugspunkt kontrolliert verfahren wird,b) the focal point essentially perpendicular to the interfaces through the interfaces is moved through by carrying the radiation source and the focusing optics Holding element is moved in a controlled manner relative to a specific reference point,
  • c) dabei ein von den Grenzflächen reflektierter, auf der jeweiligen Grenzfläche einen Refle­ xionsfleck bildender Teil der Strahlung einem Detektor zugeführt wird,c) a reflection from the interfaces, a reflection at the respective interface part of the radiation forming the xion spot is fed to a detector,
  • d) mittels des Detektors der Durchmesser des kleinsten Reflexionsflecks laufend überwacht wird,d) the diameter of the smallest reflection spot is continuously monitored by means of the detector becomes,
  • e) zu jeder Grenzfläche die Position des Halteelements bestimmt wird, bei der der Reflexions­ fleck der jeweiligen Grenzfläche minimal ist, unde) the position of the holding element at which the reflection is determined for each interface spot of the respective interface is minimal, and
  • f) der Abstand zwischen gemäß Merkmal e) bestimmten, unmittelbar zueinander benachbarten Grenzflächen zuzuordnenden Positionen des Halteelements ermittelt und als Maß für den Abstand dieser Grenzflächen verwendet wird.f) the distance between immediately adjacent to each other determined according to feature e) Interfaces to be assigned positions of the holding element determined and as a measure of the Distance of these interfaces is used.

Mittels des sich durch die Grenzflächen bewegenden Fokuspunktes werden die einzelnen Grenz­ flächen angetastet. Durch die Bewegung des Fokuspunktes verändert sich auf jeder Grenzfläche ständig die Größe des Reflexionsflecks. Das Minimum des Reflexionsflecks einer jeden Grenz­ fläche zeigt an, wann der Fokuspunkt genau innerhalb dieser Grenzfläche liegt. Die Strecke, die der Fokuspunkt bei konstanter Bewegungsrichtung zwischen zwei Reflexionsminima zurückge­ legt hat, entspricht folglich dem zu bestimmenden Abstand der zugehörigen beiden unmittelbar benachbarten Grenzflächen. Die Veränderung der Position des Halteelements zwischen zwei aufeinanderfolgenden Reflexionsminima gibt nun vor, um welche Strecke sich der Fokuspunkt in einem bestimmten Medium, z. B. Luft, verändert hätte. Dieses Maß kann als Maß für den Ab­ stand der Grenzflächen dienen. Für diverse Anwendungen des erfindungsgemäßen Verfahrens, z. B. für die Bestimmung der von der Zeit oder vom Meßort abhängigen Konstanz oder relativen Änderung eines Grenzflächenabstandes, reicht die Feststellung dieses Maßes aus. Für die Mes­ sung ist ein senkrechter Strahlungseinfall zu bevorzugen, da hierdurch ein intensives Signal am Detektor gewährleistet werden kann.By means of the focal point moving through the interfaces, the individual borders become touched surfaces. The movement of the focal point changes on every interface constantly the size of the reflection spot. The minimum of the reflection spot of each boundary area shows when the focal point is exactly within this interface. The route that the focus point with a constant direction of motion between two reflection minima has consequently corresponds directly to the distance to be determined between the associated two neighboring interfaces. The change in the position of the holding element between two successive reflection minima now specifies the distance by which the focus point in a certain medium, e.g. B. air, would have changed. This measure can be used as a measure of the Ab serve the interfaces. For various applications of the method according to the invention, e.g. B. for the determination of time or location dependent constancy or relative A change in an interface distance, the determination of this dimension is sufficient. For the Mes vertical incidence of radiation is to be preferred, as this produces an intense signal at the Detector can be guaranteed.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch so ausgeführt werden, daß zum Verfahren des Fo­ kuspunktes zusätzlich eine von der Bewegung des Halteelements unabhängige Relativbewegung der Fokussieroptik eingesetzt wird, die Positionsveränderung der Fokussieroptik relativ zum Halteelement zu dem gemäß Merkmal f) in Anspruch 1 ermittelten Abstand zwischen den Hal­ teelementpositionen addiert wird und die Summe als Maß für den Abstand der Grenzflächen verwendet wird.The method according to the invention can also be carried out in such a way that the method of Fo kuspunktes also a relative movement independent of the movement of the holding element the focusing optics is used, the position change of the focusing optics relative to Holding element to the distance between the hal determined according to feature f) in claim 1  teelementpositionen is added and the sum as a measure of the distance between the interfaces is used.

Hierdurch kann der durch das verfahrbare Halteelement gewährleistete große Meßbereich mit der hohen Meßgenauigkeit eines Autofokussensors kombiniert werden.As a result, the large measuring range guaranteed by the movable holding element can also be used the high measurement accuracy of an auto focus sensor can be combined.

Schließlich kann das erfindungsgemäße Verfahren auch so ausgeführt werden, daß der absolute Abstand von Grenzflächen unter Einbeziehung des Brechungsindex des von den Grenzflächen begrenzten transparenten Mediums berechnet wird.Finally, the inventive method can also be carried out so that the absolute Distance from interfaces, including the refractive index of the interfaces limited transparent medium is calculated.

Weiterhin wird die oben erwähnte Aufgabe durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art mit einem Fokussensor, umfassend eine Strahlungsquelle, eine die Strahlung der Strahlungs­ quelle fokussierende Fokussieroptik und ein Detektorelement zur Auswertung der von den Grenzflächen reflektierten Strahlung, gelöst durch ein den Fokussensor haltendes, parallel zur optischen Achse des Fokussensors verfahrbares Halteelement.Furthermore, the above-mentioned object is achieved by a device of the type mentioned with a focus sensor, comprising a radiation source, the radiation of the radiation source focusing optics and a detector element for evaluating the Interfaces of reflected radiation, solved by a holding the focus sensor, parallel to the Retaining element movable optical axis of the focus sensor.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch so ausgebildet sein, daß durch eine von der Be­ wegung des Halteelements unabhängige Relativbewegung der Fokussieroptik der Fokuspunkt verfahrbar ist.The device according to the invention can also be designed so that by one of the loading movement of the holding element independent relative movement of the focusing optics the focus point is movable.

Im folgenden werden eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens so­ wie eine bevorzugte Ausbildungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung anhand von Figuren vorgestellt.In the following a preferred embodiment of the method according to the invention as a preferred embodiment of the device according to the invention with reference to figures presented.

Es zeigtIt shows

Fig. 1 in schematischer Darstellung eine Seitenansicht eines an einem verfahrbaren Hal­ teelements befestigten Fokussensors während der Abstandsmessung und Fig. 1 shows a schematic representation of a side view of a focus sensor attached to a movable Hal teelements during the distance measurement and

Fig. 2 schematisch den Verlauf des Strahlungsbündels zwischen zwei Grenzflächen. Fig. 2 shows schematically the course of the radiation beam between two interfaces.

Fig. 1 zeigt einen Fokussensor 1, der an einem verfahrbaren Halteelement 2 fixiert ist. Das Halteelement 2 kann mittels einer Verfahrmechanik 3 kontrolliert parallel zur optischen Achse des Fokussensors 1 verfahren werden. Das aus einer nicht dargestellten Laserdiode stammende Laserlicht 4 wird über eine ebenfalls nicht dargestellte Fokussieroptik in Richtung auf ein Schichtsystem 5 fokussiert. Das Schichtsystem 5 besteht aus zwei Lagen 6 und 7 transparenter Medien. Um den Abstand der Grenzflächen 9,10 und 11 und damit die Dicke der einzelnen La­ gen 6 und 7 zu bestimmen, wird der Fokuspunkt 8 von einer Position oberhalb der obersten Grenzfläche 9 durch die Grenzflächen 9, 10 und 11 hindurchgeführt, indem der Fokussensor 1 mittels der Verfahrmechanik 3 langsam abgesenkt wird. Fig. 1 shows a focus sensor 1, which is fixed on a movable holding member 2. The holding element 2 can be moved in a controlled manner parallel to the optical axis of the focus sensor 1 by means of a moving mechanism 3 . The laser light 4 originating from a laser diode (not shown) is focused in the direction of a layer system 5 by means of a focusing optics (also not shown). The layer system 5 consists of two layers 6 and 7 of transparent media. In order to determine the distance between the interfaces 9 , 10 and 11 and thus the thickness of the individual layers 6 and 7 , the focus point 8 is passed from a position above the uppermost interface 9 through the interfaces 9 , 10 and 11 by the focus sensor 1 is slowly lowered by means of the travel mechanism 3 .

Das Laserlicht 4 bildet auf den Grenzflächen 9, 10 und 11 jeweils einen Reflexionsfleck, dessen Größe durch den Abstand der Grenzfläche 9, 10 bzw. 11 vom Fokuspunkt 8 bestimmt ist. Das von den Grenzflächen 9, 10 bzw. 11 reflektierte Licht wird über einen hier nicht dargestellten Strahlteiler einem ebenfalls nicht dargestellten Photodetektor zugeführt und dort ausgewertet. Bei einer Abwärtsbewegung des Fokussensors 1 passiert der Fokuspunkt 8 zunächst die oberste Grenzfläche 9, wobei erstmals der Durchmesser eines der Reflexionsflecken, nämlich der der obersten Grenzfläche 9, minimal wird, was durch den Photodetektor feststellbar ist. Die Position des Halteelements 2 bei minimalem Reflexionsfleckdurchmesser wird festgestellt und dieser Wert einer Auswerteeinheit 12 zugeführt. Beim weiteren Absenken des Fokussensors 1 passiert der Fokussensor 8 anschließend die Grenzfläche 10. Die Position des Halteelements 2 beim Mi­ nimum des Durchmessers des Reflexionsflecks der Grenzfläche 10 wird ebenfalls festgestellt und der Auswerteeinheit 12 zugeführt. Ist der Brechungsindex der Lage 6 des obersten transpa­ renten Mediums bekannt, kann aus den beiden ermittelten Positionswerten des Halteelements 2 der Abstand der Grenzflächen 9 und 10 ermittelt werden. In entsprechender Weise wird an­ schließend der Abstand zwischen den Grenzflächen 10 und 11 bestimmt.The laser light 4 forms a reflection spot on the interfaces 9 , 10 and 11 , the size of which is determined by the distance of the interface 9 , 10 and 11 from the focal point 8 . The light reflected by the interfaces 9 , 10 and 11 is fed via a beam splitter, not shown here, to a photodetector, also not shown, and evaluated there. When the focus sensor 1 moves downward, the focus point 8 first passes the uppermost boundary surface 9 , the diameter of one of the reflection spots, namely that of the uppermost boundary surface 9 , becoming minimal for the first time, which can be determined by the photodetector. The position of the holding element 2 with a minimum reflection spot diameter is determined and this value is fed to an evaluation unit 12 . When the focus sensor 1 is lowered further, the focus sensor 8 then passes the interface 10 . The position of the holding element 2 at the minimum of the diameter of the reflection spot of the interface 10 is also determined and fed to the evaluation unit 12 . If the refractive index of the layer 6 of the uppermost transparent medium is known, the distance between the interfaces 9 and 10 can be determined from the two determined position values of the holding element 2 . In a corresponding manner, the distance between the interfaces 10 and 11 is determined at closing.

Fig. 2 zeigt schematisch den Strahlungsverlauf oberhalb und innerhalb der Lage 6 des oberen transparenten Mediums in dem Moment, in dem der Fokuspunkt 8 die Grenzfläche 10 abtastet. Das Laserlicht 4 fällt in einem fokussierten Bündel auf die Grenzfläche 9. Der Strahlungsverlauf bildet mit der Senkrechten der Grenzfläche 9 einen Winkel α. Bei Eintritt in die Lage 6 tritt Lichtbrechung ein, so daß innerhalb der Lage 6 das Lichtbündel zu der Senkrechten den Winkel β bildet. Aufgrund der Lichtbrechung ist also der Fokuspunkt um den Abstand d1 der Grenzflä­ chen 9 und 10 gewandert, während der Fokussensor 1 lediglich um die Strecke d0 abgesenkt wurde. Der zu messende Abstand bemißt sich somit nach der Formel
 Fig. 2 shows schematically the radiation path above and within the base 6 of the upper transparent medium in the moment in which the focal point 8 scans the boundary surface 10. The laser light 4 falls on the interface 9 in a focused bundle. The course of the radiation forms an angle α with the perpendicular to the interface 9 . When entering position 6 , light refraction occurs, so that within position 6 the light beam forms the angle β to the vertical. Because of the refraction of light, the focus point has thus moved by the distance d 1 of the boundary surfaces 9 and 10 , while the focus sensor 1 has only been lowered by the distance d 0 . The distance to be measured is therefore measured according to the formula

d1 = d0.n.(cosβ/cosα),
d 1 = d 0 .n. (cosβ / cosα),

wobei n der Brechungsindex des transparenten Mediums 6 ist und für den Raum oberhalb des transparenten Mediums 6 der Brechungsindex 1 angenommen wurde. Kleine Eintrittswinkel α sind vorteilhaft, da dann (cosβ/cosα) ≅ 1 gesetzt werden kann. In Fig. 2 ist der Eintrittswin­ kel α zur Verdeutlichung der geometrischen Verhältnisse jedoch besonders groß dargestellt. Zur Berechnung des Abstandes zwischen den Grenzflächen 10 und 11 kann die obige Formel ent­ sprechend eingesetzt werden, wobei dann der Brechungsindex des transparenten Mediums in der Lage 7 zu verwenden ist. where n is the refractive index of the transparent medium 6 and the refractive index 1 has been assumed for the space above the transparent medium 6 . Small entry angles α are advantageous because (cosβ / cosα) ≅ 1 can then be set. In Fig. 2, the entry angle α is particularly large to illustrate the geometric relationships. To calculate the distance between the interfaces 10 and 11 , the above formula can be used accordingly, in which case the refractive index of the transparent medium in position 7 can be used.

BezugszeichenlisteReference list

11

Fokussensor
Focus sensor

22nd

Haltevorrichtung
Holding device

33rd

Verfahrmechanik
Traversing mechanism

44th

Laserlicht
Laser light

55

Schichtsystem
Layer system

66

Lage eines transparentes Mediums
Location of a transparent medium

77

Lage eines transparentes Mediums
Location of a transparent medium

88th

Fokuspunkt
Focus point

99

Grenzfläche
Interface

1010th

Grenzfläche
Interface

1111

Grenzfläche
Interface

1212th

Auswerteeinheit
Evaluation unit

Claims (5)

1. Verfahren zur Messung des Abstandes von Grenzflächen (9, 10, 11) transparenter Medien (6, 7), bei dem
  • a) Strahlung (4) einer Strahlungsquelle mittels einer Fokussieroptik fokussiert wird,
  • b) der Fokuspunkt (8) im wesentlichen senkrecht zu den Grenzflächen (9, 10, 11) durch die Grenzflächen (9, 10, 11) hindurch bewegt wird, indem ein die Strahlungsquelle und die Fo­ kussieroptik tragendes Halteelement (2) relativ zu einem bestimmten Bezugspunkt kontrol­ liert verfahren wird,
  • c) dabei ein von den Grenzflächen (9, 10, 11) reflektierter, auf der jeweiligen Grenzfläche (9, 10, 11) einen Reflexionsfleck bildender Teil der Strahlung einem Detektor zugeführt wird,
  • d) mittels des Detektors der Durchmesser des kleinsten Reflexionsflecks laufend überwacht wird,
  • e) zu jeder Grenzfläche (9, 10, 11) die Position des Halteelements (2) bestimmt wird, bei der der Reflexionsfleck der jeweiligen Grenzfläche (9, 10, 11) minimal ist, und
  • f) der Abstand zwischen gemäß Merkmal e) bestimmten, unmittelbar zueinander benachbarten Grenzflächen (9, 10, 11) zuzuordnenden Positionen des Halteelements (2) ermittelt und als Maß für den Abstand dieser Grenzflächen (9, 10, 11) verwendet wird.
1. A method for measuring the distance between interfaces ( 9 , 10 , 11 ) of transparent media ( 6 , 7 ), in which
  • a) radiation ( 4 ) of a radiation source is focused by means of focusing optics,
  • b) the focus point ( 8 ) is moved substantially perpendicular to the interfaces ( 9 , 10 , 11 ) through the interfaces ( 9 , 10 , 11 ) by a holding element ( 2 ) carrying the radiation source and the focusing optics relative to one certain reference point is moved in a controlled manner,
  • c) a part of the radiation which is reflected by the interfaces ( 9 , 10 , 11 ) and forms a reflection spot on the respective interface ( 9 , 10 , 11 ) is fed to a detector,
  • d) the diameter of the smallest reflection spot is continuously monitored by means of the detector,
  • e) the position of the holding element ( 2 ) is determined for each interface ( 9 , 10 , 11 ) at which the reflection spot of the respective interface ( 9 , 10 , 11 ) is minimal, and
  • f) the distance between positions of the holding element ( 2 ) which are determined according to feature e) and which are directly adjacent interfaces ( 9 , 10 , 11 ) is determined and used as a measure of the distance between these interfaces ( 9 , 10 , 11 ).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Verfahren des Fokuspunktes (8) zusätzlich eine von der Bewegung des Halteelements (2) unabhängige Relativ­ bewegung der Fokussieroptik eingesetzt wird, die Positionsveränderung der Fokussieroptik rela­ tiv zum Halteelement (2) zu dem gemäß Merkmal f) in Anspruch 1 ermittelten Abstand zwi­ schen den Halteelementpositionen addiert wird und die Summe als Maß für den Abstand der Grenzflächen (9, 10, 11) verwendet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that in addition to the movement of the holding element ( 2 ) independent movement of the focusing optics is used to move the focus point ( 8 ), the change in position of the focusing optics rela tively to the holding element ( 2 ) according to Feature f) determined in claim 1 distance between the holding element positions is added and the sum is used as a measure of the distance between the interfaces ( 9 , 10 , 11 ). 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der absolute Abstand von Grenzflächen (9, 10, 11) unter Einbeziehung des Brechungsindex des von den Grenzflächen (9, 10, 11) begrenzten transparenten Mediums (6, 7) berechnet wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the absolute distance from interfaces ( 9 , 10 , 11 ) is calculated taking into account the refractive index of the transparent medium ( 6 , 7 ) bounded by the interfaces ( 9 , 10 , 11 ) . 4. Vorrichtung zur Messung des Abstandes von Grenzflächen (9, 10, 11) transparenter Medien (6, 7) mit bekannten Brechungsindizes, mit einem Fokussensor, umfassend eine Strah­ lungsquelle, eine die Strahlung (4) der Strahlungsquelle fokussierende Fokussieroptik und ein Detektorelement zur Auswertung der von den Grenzflächen (9, 10, 11) reflektierten Strahlung, gekennzeichnet durch ein den Fokussensor haltendes, parallel zur optischen Achse des Fokus­ sensors verfahrbares Halteelement (2).4. Device for measuring the distance from interfaces ( 9 , 10 , 11 ) transparent media ( 6 , 7 ) with known refractive indices, with a focus sensor, comprising a radiation source, a radiation ( 4 ) of the radiation source focusing focusing optics and a detector element for Evaluation of the radiation reflected from the interfaces ( 9 , 10 , 11 ), characterized by a holding element ( 2 ) holding the focus sensor and movable parallel to the optical axis of the focus sensor. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine von der Bewegung des Halteelements (2) unabhängige Relativbewegung der Fokussieroptik der Fokus­ punkt (8) verfahrbar ist.5. The device according to claim 4, characterized in that by a movement of the holding element ( 2 ) independent relative movement of the focusing optics, the focus point ( 8 ) is movable.
DE1998106446 1998-02-17 1998-02-17 Measuring distance between boundary surfaces of transparent media Ceased DE19806446A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1998106446 DE19806446A1 (en) 1998-02-17 1998-02-17 Measuring distance between boundary surfaces of transparent media

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1998106446 DE19806446A1 (en) 1998-02-17 1998-02-17 Measuring distance between boundary surfaces of transparent media

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19806446A1 true DE19806446A1 (en) 1999-08-19

Family

ID=7857953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1998106446 Ceased DE19806446A1 (en) 1998-02-17 1998-02-17 Measuring distance between boundary surfaces of transparent media

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19806446A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10120730A1 (en) * 2001-04-27 2002-11-07 Schott Glas Method and device for measuring the phase boundary
WO2012075013A1 (en) 2010-11-30 2012-06-07 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Laser confocal sensor metrology system
US8810784B2 (en) 2012-02-10 2014-08-19 Johnson & Johnson Vision Care Inc. Method and apparatus for determining a thickness profile of an ophthalmic lens using a single point thickness and refractive index measurements

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10120730A1 (en) * 2001-04-27 2002-11-07 Schott Glas Method and device for measuring the phase boundary
US6932864B2 (en) 2001-04-27 2005-08-23 Schott Glas Method and apparatus for measuring the position of a phase interface during crystal growth
DE10120730B4 (en) * 2001-04-27 2006-08-24 Schott Ag Method and device for measuring the phase boundary
WO2012075013A1 (en) 2010-11-30 2012-06-07 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Laser confocal sensor metrology system
CN103229035A (en) * 2010-11-30 2013-07-31 庄臣及庄臣视力保护公司 Laser confocal sensor metrology system
US8953176B2 (en) 2010-11-30 2015-02-10 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Laser confocal sensor metrology system
AU2011336778B2 (en) * 2010-11-30 2015-07-09 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Laser confocal sensor metrology system
CN103229035B (en) * 2010-11-30 2016-09-07 庄臣及庄臣视力保护公司 Laser confocal sensor metrology system
US8810784B2 (en) 2012-02-10 2014-08-19 Johnson & Johnson Vision Care Inc. Method and apparatus for determining a thickness profile of an ophthalmic lens using a single point thickness and refractive index measurements

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016124169A1 (en) Apparatus and method for beam diagnosis on laser machining lens systems
DE4131737C2 (en) Autofocus arrangement for a stereo microscope
DE2620091A1 (en) MEASURING SYSTEM FOR DETERMINING THE CONTOUR OF THE SURFACE OF AN OBJECT
EP0271646B1 (en) Device for the contactless measurement of a distance from a surface, especially for the palpation of a contour of a surface of a worked article along a measuring path
DE3045319A1 (en) DEVICE FOR MEASURING CERTAIN SELECTED PROPERTIES OF A MOVING TRAIN
EP0075032B1 (en) Method for interferometric surface topography
EP3583390A2 (en) Method and device for detecting a focal position of a laser beam
EP0242436A2 (en) Device for measuring small lengths
DE10100246A1 (en) Confocal or double confocal microscope especially for imaging biomedical objects has a reference object integral with an object supporting carrier that can be used for rapid alignment and refocusing of the microscope
DE19712837A1 (en) Compact apparatus for measuring properties of lens in two dimensions
DE3706271C2 (en)
DE102008048266A1 (en) Method for determining portions of surface and volume absorption of light beam for manufacturing of optical elements or lenses, involves detecting deflection of measuring radiation by two-dimensional sensor
DE10056329B4 (en) Optical distance measuring method and distance sensor
DE19806446A1 (en) Measuring distance between boundary surfaces of transparent media
DE19816271C1 (en) Method and device for determining the profile of a material surface
DE3939877A1 (en) Foil thickness-thermal property contactless measurer - has deflector ensuring opposite directions of heating radiation from measurement object
EP1710608A1 (en) Device and method for determining the focal position
EP0258588B1 (en) Optical surface-measuring device
EP1543369B1 (en) Device and method for optical object examination and/or detection and/or examination of layers
DE3003333C2 (en) Device for measuring inhomogeneities in the refractive index
WO2020079208A1 (en) Method and microscope for determining the thickness of a cover slip or slide
EP0199312A2 (en) Method and apparatus for determining skin fricton or viscosity of a liquid on a model or other object in contact with the flowing liquid
DE102018211832A1 (en) Method and a device for measuring and regulating an energy absorption potential in the interaction zone of an illumination beam with a powder gas jet
DE3130747C1 (en) Method and device for determining the coordinates of the imaginary point of incidence of unbroken light beams
EP1238244B1 (en) Automatic contrast focussing with three optical paths

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: GROSSER, JUERGEN, 52385 NIDEGGEN, DE

8131 Rejection