DE19804592C2

DE19804592C2 - Pressure system for a reactor room

Info

Publication number: DE19804592C2
Application number: DE19804592A
Authority: DE
Inventors: Gerhard Ott
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Infineon Technologies AG
Priority date: 1998-02-05
Filing date: 1998-02-05
Publication date: 2000-06-29
Anticipated expiration: 2018-02-06
Also published as: DE19804592A1

Description

Die Erfindung liegt auf dem Gebiet der Epitaxietechnologie und betrifft ein Drucksystem für einen Reaktorraum, der zu einem Außenraum hin verschließbar ist, mit einer Verbindungs leitung, die in Verbindung mit dem Reaktorraum steht und mit tels eines ersten Ventils sperrbar ist, mit einem druckemp findlichen Sensorsystem zum Vergleich des Drucks im Reaktor raum mit einem vorgegebenen Druck und zum Öffnen des ersten Ventils bei vorgegebener Druckdifferenz zwischen dem Druck im Reaktorraum und dem vorgegebenen Druck sowie ein Verfahren zum Betreiben des Drucksystems.The invention is in the field of epitaxy technology and relates to a pressure system for a reactor room, which too is closable to an outside space with a connection line that is in connection with the reactor space and with means of a first valve is lockable with a pressure temp sensitive sensor system to compare the pressure in the reactor room with a given pressure and to open the first one Valve at a given pressure difference between the pressure in Reactor space and the specified pressure and a process to operate the printing system.

Bei einem Epitaxieprozeß, zum Beispiel der Gasphasenepitaxie, werden die zu prozessierenden Substratmaterialien in einem gasdichten Reaktorraum einem definierten Temperatur- und Druckregime unterworfen. Dazu werden die Substratmaterialien in den Reaktorraum gebracht und dieser nachfolgend bis auf einen Arbeitsdruck evakuiert. Daran schließt sich der eigent liche Epitaxieprozeß an, bei dem sich Substanzen aus dem Re aktorraum unter Beibehaltung des Arbeitsdruckes zugeführten Reaktionsgasen auf der Oberfläche der Substratmaterialien ab scheiden. Prozeßrückstände und verbrauchte Reaktionsgase wer den über ein Absaugsystem kontinuierlich aus dem Reaktorraum entfernt. Zur Entnahme der Substratmaterialien muß der Reak torraum belüftet und der Innendruck im Reaktorraum an den Au ßendruck angepaßt werden. Ein den Druckausgleich überwachen des und mit dem Reaktorraum in Verbindung stehendes Drucksy stem mit einer empfindlichen Regelsensorik wird jedoch durch Ablagerungen während des Epitaxieprozesses verschmutzt, wo durch es zu einer fehlerhaften Regelung kommen kann. Die Re gelsensorik sowie durch Ablagerungen verschmutzte Baugruppen des Drucksystems müssen daher häufig gewartet bzw. ersetzt werden. In an epitaxial process, such as gas phase epitaxy, are the substrate materials to be processed in one gas-tight reactor space a defined temperature and Subject to pressure regimes. To do this, the substrate materials brought into the reactor room and this up to evacuated a working pressure. This is followed by the actual Liche epitaxial process in which substances from the Re Actuator room fed while maintaining the working pressure Reaction gases on the surface of the substrate materials divorce. Process residues and used reaction gases which is continuously extracted from the reactor chamber via a suction system away. The Reak vented and the internal pressure in the reactor space to the Au pressure can be adjusted. Monitor the pressure equalization pressure system connected to and with the reactor space stem with a sensitive control sensor system is however by Deposits polluted during the epitaxial process where it can lead to incorrect regulation. The Re gel sensors as well as assemblies soiled by deposits of the printing system must therefore be serviced or replaced frequently become.

Derartige Probleme zeigen sich beispielsweise bei einem in der JP 57-42329 (A) beschriebenen Drucksystem der eingangs genannten Art. Bei diesem ist ein Druckaufnehmer, der Teil eines druckempfindlichen Sensorsystems ist, ständig den Pro zeßgasen im Reaktorraum ausgesetzt und dadurch relativ schnell verschmutzt.Such problems can be seen, for example, in a JP 57-42329 (A) described printing system of the beginning mentioned type. In this is a pressure sensor, the part of a pressure sensitive sensor system is always the pro Zeßgasen exposed in the reactor room and therefore relative soiled quickly.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein konstruktiv einfaches und wartungsfreies Drucksystem für einen Reaktorraum zu schaffen.It is therefore an object of the invention to be structurally simple and maintenance-free pressure system for a reactor room too create.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Drucksystem der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß ein zweites Ventil zur Trennung des druckempfindlichen Sensorsystems und/oder des ersten Ventils vom Reaktorraum vorgesehen ist.This object is achieved by a printing system type mentioned solved in that a second valve to separate the pressure-sensitive sensor system and / or of the first valve from the reactor space is provided.

Durch das druckempfindliche Sensorsystem wird während des Be lüftungsvorganges, bei dem beispielsweise Spülgase in den Re aktorraum geleitet werden, der Innendruck im Reaktorraum kon tinuierlich mit einem vorgegebenen Druck bzw. Referenzdruck verglichen. Bei Erreichen einer vorgewählten Druckdifferenz zwischen dem Innendruck im Reaktorraum und dem Referenzdruck bewirkt das druckempfindliche Sensorsystem ein Öffnen des er sten Ventils, wodurch eine Verbindung zwischen dem Reaktor raum und beispielsweise einem Abluftraum über die durch das erste Ventil nunmehr geöffnete Verbindungsleitung hergestellt wird. Die Verbindungsleitung steht einerseits mit dem Reak torraum in Verbindung, andererseits führt sie zu dem Abluft raum. Hierdurch wird ein weiterer Druckanstieg im Reaktorraum durch die weiterhin zugeführten Spülgase verhindert, da diese durch die geöffnete Verbindungsleitung in den Abluftraum ge langen können. Der Druck im Reaktorraum verbleibt daher auf einem konstanten Wert, der vorzugsweise so gewählt ist, daß beim Öffnen des Reaktorraumes die vorherrschenden Druckver hältnisse zwischen Reaktorraum und Außenraum ein Aufwirbeln von Prozeßrückständen bzw. Schmutzpartikeln und damit eine Ablagerung dieser Partikel auf den Substratmaterialien ver hindern.The pressure-sensitive sensor system is used during loading ventilation process, in which, for example, purge gases in the Re Actuator room are directed, the internal pressure in the reactor room con continuously with a given pressure or reference pressure compared. When a preselected pressure difference is reached between the internal pressure in the reactor space and the reference pressure causes the pressure sensitive sensor system to open the Most valve, creating a connection between the reactor space and, for example, an exhaust air space via the through the first valve now opened connecting line becomes. The connecting line is on the one hand with the Reak gate space in connection, on the other hand it leads to the exhaust air room. This causes a further increase in pressure in the reactor space prevented by the purge gases continue to be supplied, as this through the open connection line into the exhaust air space can be long. The pressure in the reactor room therefore remains a constant value, which is preferably chosen so that the prevailing Druckver conditions between the reactor room and the outside of process residues or dirt particles and thus a Deposition of these particles on the substrate materials ver prevent.

Zum Schutz des druckempfindlichen Sensorsystems und/oder des ersten Ventils vor parasitären Ablagerungen während des Epi taxieprozesses können diese Bauteile durch ein zweites Ventil vom Reaktorraum getrennt werden. Gleichzeitig ist auch ein Schutz der Verbindungsleitung vor Ablagerungen gegeben, so daß auch englumige Leitungsquerschnitte verwendet werden kön nen. Vorzugsweise ist das zweite Ventil während des Epitaxie prozesses geschlossen und wird erst zur Belüftung des Reak torraumes geöffnet.To protect the pressure sensitive sensor system and / or the first valve against parasitic deposits during the epi These components can be checked by a second valve be separated from the reactor room. At the same time is also a Protection of the connecting line against deposits, see above that narrow-gauge wire cross sections can also be used nen. Preferably the second valve is during epitaxy process is closed and is only used to ventilate the reak goal area open.

Das druckempfindliche Sensorsystem ist bevorzugt ein Diffe renzdruckaufnehmer, der den Druck im Reaktorraum mit dem Re ferenzdruck vergleicht und bei Erreichen einer vorgegebenen Druckdifferenz das erste Ventil öffnet bzw. schließt. Der vorgegebene Referenzdruck kann beispielsweise gleich dem Druck im Abluftraum sein. Das druckempfindliche Sensorsystem kann aber auch aus einem Druckaufnehmer und einer Speicher einrichtung bestehen, in der ein Referenzdruck abgespeichert ist, und in der der Druckvergleich zwischen dem Druck im Reaktorraum und dem Referenzdruck erfolgt.The pressure-sensitive sensor system is preferably a dif renzdruckaufnehmer, the pressure in the reactor chamber with the Re compares the reference pressure and when a predetermined pressure is reached Pressure difference the first valve opens or closes. The predefined reference pressure can, for example, equal to that Exhaust air pressure. The pressure sensitive sensor system can also consist of a pressure sensor and a memory device exist in which a reference print is stored and in which the pressure comparison between the pressure in Reactor space and the reference pressure.

Es ist im Rahmen der Erfindung, daß der Abluftraum mit dem Außenraum in Verbindung stehen kann bzw. daß der Abluftraum gleichzeitig der Außenraum sein kann.It is within the scope of the invention that the exhaust air space with the External space can be connected or that the exhaust air space can be the outside at the same time.

Eine vorteilhafte Ausbildung der Erfindung ist dadurch ge kennzeichnet, daß das zweite Ventil bei Unterschreitung des Druckes im Reaktorraum unterhalb eines Grenzwertes geschlos sen ist.An advantageous embodiment of the invention is ge indicates that the second valve falls below the Pressure in the reactor room closed below a limit is.

Der Grenzwert ist vorzugsweise so gewählt, daß der für den Abscheidungsprozeß günstige Arbeitsdruckbereich unterhalb dieses Wertes liegt. Oberhalb dieses Grenzwertes ist die Abscheidungsrate sehr gering, so daß bei geöffnetem zweiten Ventil Abscheidungen im druckempfindlichen Sensorsystem, im ersten Ventil und in der Verbindungsleitung weitestgehend ausgeschlossen werden können. Insbesondere eine sehr empfind liche Druckmembran in einem als druckempfindliches Sensor system dienenden Differenzdruckaufnehmer wird vor einem Beladen mit Prozeßrückständen und Abscheidungen geschützt, und dadurch ein Verschieben der Schaltpunkte des Differenz druckaufnehmers verhindert. Durch den unter Verwendung des zweiten Ventils ermöglichten Schutz obiger Baugruppen weist das Drucksystem hohe Standzeiten auf.The limit value is preferably chosen so that that for the Deposition process favorable working pressure range below of this value. The is above this limit Deposition rate very low, so that when the second one is open Valve deposits in the pressure sensitive sensor system, in the first valve and in the connecting line as far as possible can be excluded. Especially a very sensitive one pressure membrane in one as a pressure-sensitive sensor system serving differential pressure transducer is in front of a Protected with process residues and deposits, and thereby shifting the switching points of the difference pressure transducer prevented. By using the second valve enables protection of the above assemblies the printing system has a long service life.

Eine weitere vorteilhafte Ausbildung der Erfindung ist da durch gekennzeichnet, daß das zweite Ventil durch einen den Druck im Reaktorraum registrierenden Druckaufnehmer ansteuer bar ist.Another advantageous embodiment of the invention is there characterized in that the second valve by a Activate the pressure transducer registering the pressure in the reactor space is cash.

Das zum Schutz des druckempfindlichen Sensorsystems und/oder des ersten Ventils in der Verbindungsleitung angeordnete zweite Ventil wird durch den Druckaufnehmer geöffnet bzw. geschlossen. Der Druckaufnehmer registriert den Druck im Reaktorraum bzw. in mit dem Reaktorraum kommunizierenden Druckleitungen und schließt bei der Evakuierung des Reaktor raumes vor Erreichen eines für die Abscheidungsprozesse günstigen Druckbereiches das zweite Ventil. Umgekehrt wird durch den Druckaufnehmer bei Druckanstieg im Reaktorraum nach Verlassen dieses Druckbereiches das zweite Ventil geöffnet und dadurch gleichzeitig eine Verbindung zwischen dem druck empfindlichen Sensorsystem und dem Reaktorraum hergestellt, so daß eine Registrierung des Druckes im Reaktorraum durch das druckempfindliche Sensorsystem möglich ist.To protect the pressure-sensitive sensor system and / or of the first valve arranged in the connecting line second valve is opened by the pressure sensor or closed. The pressure sensor registers the pressure in the Reactor room or in communicating with the reactor room Pressure lines and closes during the evacuation of the reactor room before reaching one for the deposition processes favorable pressure range the second valve. Conversely by the pressure sensor when the pressure in the reactor space rises Leaving this pressure range the second valve opened and at the same time a connection between the pressure sensitive sensor system and the reactor room, so that a registration of the pressure in the reactor room by the pressure-sensitive sensor system is possible.

Eine weitere vorteilhafte Ausbildung der Erfindung ist da durch gekennzeichnet, daß der vorgegebene Druck der Druck im Außenraum ist.Another advantageous embodiment of the invention is there characterized in that the predetermined pressure is the pressure in the Outside space is.

Zur Vermeidung von Verwirbelungen beim Öffnen des Reaktor raumes infolge von Druckunterschieden zwischen dem Innendruck im Reaktorraum und dem Druck im Außenraum wird der Druck im Reaktorraum mittels des druckempfindlichen Sensorsystems unmittelbar mit dem Druck im Außenraum verglichen. Sofern vorzugsweise Druckgleichheit zwischen dem Reaktorraum und dem Außenraum herrscht, wird das erste Ventil geöffnet und die Verbindung zum Abluftraum hergestellt. Gleichzeitig wird das Öffnen des Reaktorraumes zum Außenraum hin durch Entsperren eines Deckels ermöglicht. Solange die Druckgleichheit zwi schen Reaktorraum und Außenraum noch nicht hergestellt ist, bleibt der Deckel bis zum Druckausgleich durch einen Sperrmechanismus gesperrt. Damit läßt sich der Reaktorraum erst nach einem erfolgten Druckausgleich öffnen und damit ein Aufwirbeln von Prozeßrückständen durch noch bestehende Druck unterschiede zwischen Außenraum und Reaktorraum ausschließen.To avoid turbulence when opening the reactor space due to pressure differences between the internal pressure in the reactor space and the pressure in the outside space the pressure in the Reactor room using the pressure sensitive sensor system compared directly with the pressure in the outside. Provided preferably pressure equality between the reactor space and the Outside, the first valve is opened and the Connection to the exhaust air space established. At the same time it will Open the reactor room to the outside by unlocking it of a lid. As long as the pressure equality between the reactor room and outside space have not yet been manufactured, the lid remains in place until pressure equalization Locking mechanism locked. This allows the reactor room only open after a pressure equalization and thus on Whirling up process residues due to pressure still present Exclude differences between the outside and the reactor room.

Eine weitere vorteilhafte Ausbildung der Erfindung ist da durch gekennzeichnet, daß eine Steuereinrichtung zum Schlie ßen des ersten Ventils vorgesehen ist, wobei im Schließfall das Öffnen des ersten Ventils durch das druckempfindliche Sensorsystem verhindert ist.Another advantageous embodiment of the invention is there characterized in that a control device for closing essen of the first valve is provided, in the closing case the opening of the first valve by the pressure sensitive Sensor system is prevented.

Nach erfolgter Entnahme der prozessierten Substratmaterialien und Bestückung des Reaktorraumes mit neuen Substratmateria lien wird der Reaktorraum geschlossen und evakuiert. Um ein Absaugen von eventuell verunreinigten Abluftrückständen aus der Verbindungsleitung und ein Eindringen dieser Abluftrück stände in die Evakuierungspumpe bei der Evakuierung des Reaktorraumes zu unterbinden, wird das erste Ventil durch eine Steuereinrichtung gleichzeitig mit einsetzender Evaku ierung geschlossen. Weiterhin wird die Betätigung des ersten Ventils durch das druckempfindliche Sensorsystem verhindert, so daß ein verzögertes Schließen des ersten Ventils durch das druckempfindliche Sensorsystem infolge einer Meßhysterese desselben während des sich nun aufbauenden Druckunterschiedes zwischen Reaktorraum und Außenraum ausgeschlossen werden kann.After removal of the processed substrate materials and equipping the reactor room with new substrate materials The reactor room is closed and evacuated. To a Extract any contaminated exhaust air residues the connecting pipe and penetration of this exhaust air back stands in the evacuation pump when evacuating the To prevent the reactor chamber, the first valve a control device simultaneously with the onset of evacu ation closed. Furthermore, the operation of the first Valve prevented by the pressure-sensitive sensor system, so that a delayed closing of the first valve by the pressure sensitive sensor system due to a measurement hysteresis the same during the pressure difference that is now building up between the reactor room and the outside can.

Ein Verfahren zum Betrieb des erfindungsgemäßen Drucksystems ist durch folgende Verfahrensschritte gekennzeichnet:
A method for operating the printing system according to the invention is characterized by the following method steps:

- ventilation of the reactor space,
Opening the second valve,
- Measurement of the pressure in the reactor space using the pressure sensitive union sensor system and comparison with a given Pressure, and
- Opening the first valve when a predetermined one is reached Pressure difference between the reactor space and the given pressure.

Zunächst wird der Reaktorraum mit beispielsweise Spülgasen belüftet, wodurch ein Druckanstieg im Reaktorraum bewirkt wird. Bei Überschreiten des für die Abscheidungsprozesse günstigen Druckbereiches wird das zweite Ventil geöffnet. Dadurch steht das druckempfindliche Sensorsystem mit dem Reaktorraum in Verbindung und kann den Druck im Reaktorraum registrieren und mit dem vorgegebenen Druck bzw. Referenz druck vergleichen. Wird bei dem durch das Belüften und Spülen bewirkten Druckanstieg im Reaktorraum eine vorgegebene Druckdifferenz zwischen dem Druck im Reaktorraum und dem Referenzdruck erreicht, so wird das erste Ventil durch das druckempfindliche Sensorsystem geöffnet und die Verbindung zwischen dem Reaktorraum und dem Außenraum über die Verbin dungsleitung hergestellt. Selbstverständlich kann die vor gegebene Druckdifferenz auch Null sein. Die Spülgase können nun in den Abluftraum entweichen, wodurch ein weiterer Druck anstieg im Reaktorraum verhindert wird.First, the reactor room with, for example, purge gases vented, which causes an increase in pressure in the reactor chamber becomes. If the for the deposition processes is exceeded favorable pressure range, the second valve is opened. As a result, the pressure-sensitive sensor system stands with the Reactor room connected and can the pressure in the reactor room register and with the specified pressure or reference compare pressure. With the ventilation and Flushing caused a predetermined pressure increase in the reactor space Pressure difference between the pressure in the reactor space and the Reference pressure is reached, the first valve is replaced by the pressure sensitive sensor system opened and the connection between the reactor room and the outside via the connector cable. Of course you can given pressure difference can also be zero. The purge gases can now escape into the exhaust air space, causing further pressure rise in the reactor space is prevented.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbei spiels erläutert und in einer Figur dargestellt. Es zeigt:In the following, the invention is illustrated by means of an embodiment game explained and shown in a figure. It shows:

Fig. 1 ein erfindungsgemäßes Drucksystem. Fig. 1 shows a printing system according to the invention.

An einem Reaktorraum 2 ist ein Ansatzstutzen 4 angeflanscht, der über ein Absaugrohr 6 mit einer Vakuumpumpe 8 verbunden ist. Der Reaktorraum 2 läßt sich mittels eines Deckels 10 gegen einen Außenraum 12 verschließen. Der verschlossene und mit nicht näher dargestellten Substratmaterialien bestückte Reaktorraum 2 wird mittels Vakuumpumpe 8 evakuiert und durch eine nicht dargestellte Heizung temperiert. Bei Erreichen eines definierten Arbeitsdruckes innerhalb des Reaktorraumes 2 werden Reaktionsgase über ein Zuführungssystem 14 in den Reaktorraum 2 eingepumpt, aus denen sich Substanzen auf den Substratmaterialien abscheiden. Nach erfolgter Abscheidung wird die Zufuhr der Reaktionsgase unterbrochen, und der Reaktorraum 2 mit einem Spülgas, vorzugsweise Stickstoffgas, belüftet. Dabei ist die Evakuierung des Reaktorraumes durch die Vakuumpumpe 8 gedrosselt bzw. verhindert. Während der Belüftung des Reaktorraumes 2 wird der Druck im Reaktorraum 2 mit dem Druck im Außenraum 12 mittels eines als druckempfind liches Sensorsystem dienenden Differenzdruckschalters 18 ver glichen, wobei letzterer bei Erreichen einer vorgewählten Druckdifferenz zwischen Reaktorraum 2 und Außenraum 12 ein erstes Ventil 20 öffnet. Dadurch wird eine Druckausgleichs verbindung zwischen dem Reaktorraum 2 über eine Verbindungs leitung 22 und dem ersten Ventil 20 zu einem Abluftraum 24 hergestellt. Ein fortdauerndes Spülen des Reaktorraumes 2 mit dem Spülgas führt somit nicht zu einer weiteren Druckerhöhung im Reaktorraum 2, da das Spülgas über die Verbindungsleitung 22 in den Abluftraum 24 gelangen kann. Der Schaltpunkt des Differenzdruckschalters 18 ist dabei so gewählt, daß das erste Ventil 20 bei Druckgleichheit zwischen dem Reaktorraum 2 und dem Außenraum 12 geöffnet wird. Gleichzeitig wird der Deckel 10 entsperrt und der Reaktorraum 2 kann zum Außenraum 12 hin geöffnet werden. Durch die genaue Druckanpassung zwischen Reaktorraum 2 und Außenraum 12 werden Luftverwirbe lungen beim Öffnen des Reaktorraumes 2 vermieden und somit ein Aufwirbeln von am Deckel 10 bzw. an den Reaktorraumwänden abgeschiedenen Prozeßrückständen verhindert.A neck 4 is flanged to a reactor space 2 and is connected to a vacuum pump 8 via a suction pipe 6 . The reactor space 2 can be closed off from an external space 12 by means of a cover 10 . The sealed reactor space 2 , which is equipped with substrate materials, not shown, is evacuated by means of a vacuum pump 8 and temperature-controlled by a heater, not shown. When a defined working pressure within the reactor space 2 is reached , reaction gases are pumped into the reactor space 2 via a feed system 14 , from which substances separate on the substrate materials. After the separation has taken place, the supply of the reaction gases is interrupted and the reactor space 2 is aerated with a purge gas, preferably nitrogen gas. The evacuation of the reactor space by the vacuum pump 8 is throttled or prevented. During the ventilation of the reactor space 2 , the pressure in the reactor space 2 is compared with the pressure in the outer space 12 by means of a differential pressure switch 18 serving as a pressure-sensitive sensor system, the latter opening a first valve 20 when a preselected pressure difference between the reactor space 2 and the outer space 12 is reached . This creates a pressure compensation connection between the reactor chamber 2 via a connecting line 22 and the first valve 20 to an exhaust air chamber 24 . Continuous purging of the reactor space 2 with the purge gas thus does not lead to a further increase in pressure in the reactor space 2 , since the purge gas can reach the exhaust air space 24 via the connecting line 22 . The switching point of the differential pressure switch 18 is selected so that the first valve 20 is opened when the pressure between the reactor space 2 and the outer space 12 is equal. At the same time, the cover 10 is unlocked and the reactor space 2 can be opened to the outside space 12 . Due to the precise pressure adjustment between the reactor space 2 and the outer space 12 , air turbulence is avoided when the reactor space 2 is opened , thus preventing a swirling of process residues deposited on the cover 10 or on the reactor space walls.

Mittels eines als zweites Ventil dienenden Schutzventiles 26, das über einen Druckaufnehmer 28 gesteuert wird, lassen sich der Differenzdruckschalter 18, das erste Ventil 20 sowie die Verbindungsleitung 22 vom Reaktorraum 2 trennen. Bei Unter schreiten eines minimalen Druckwertes während der Evakuierung des Reaktorraumes 2 durch die Vakuumpumpe 8 wird das Schutz ventil 26 durch den Druckaufnehmer 28 geschlossen. Der mini male Druckwert liegt in einem Druckbereich oberhalb des eigentlichen Arbeitsdruckes. In diesem Druckbereich ist der Abscheidungsprozeß nahezu vollständig unterdrückt, so daß Abscheidungen ausgeschlossen sind. Vorzugsweise wird das Schutzventil 26 bei Unterschreiten eines Druckwertes im Bereich zwischen 1 und 10 Torr geschlossen. Die während der eigentlichen Prozessierung auftretenden Abscheidungen können sich aufgrund des geschlossenen Schutzventiles nicht im Differenzdruckschalter 18 bzw. dem ersten Ventil 20 sowie der Verbindungsleitung 22 niederschlagen. Dadurch werden die Sandzeiten dieser Baugruppen erheblich verlängert. Insbeson dere wird die empfindliche Druckmembran des Differenzdruck schalters 18 vor Beladung mit Prozeßrückständen geschützt und somit ein Driften der Schaltpunkte des Differenzdruckschal ters 18 vermieden. Dadurch ist gewährleistet, daß der Differenzdruckschalter 18 immer bei Druckgleichheit zwischen Reaktorraum und Außenraum das erste Ventil 20 öffnet sowie den Deckel 10 freigibt.The differential pressure switch 18 , the first valve 20 and the connecting line 22 can be separated from the reactor chamber 2 by means of a protective valve 26 which serves as a second valve and is controlled by a pressure sensor 28 . If a minimum pressure value is undershot during the evacuation of the reactor space 2 by the vacuum pump 8 , the protective valve 26 is closed by the pressure sensor 28 . The minimum pressure value lies in a pressure range above the actual working pressure. The deposition process is almost completely suppressed in this pressure range, so that depositions are excluded. The protective valve 26 is preferably closed when the pressure falls below a value in the range between 1 and 10 Torr. Due to the closed protective valve, the deposits occurring during the actual processing cannot be reflected in the differential pressure switch 18 or the first valve 20 and the connecting line 22 . This considerably extends the sand times of these assemblies. In particular the sensitive pressure membrane of the differential pressure switch 18 protected against loading of process residues and thus avoid drifting of the switching points of the differential pressure scarf ters 18th This ensures that the differential pressure switch 18 always opens the first valve 20 and releases the cover 10 when the pressure between the reactor space and the outside is equal.

Nach erfolgter Belüftung und erneuter Bestückung des Reaktor raumes 2 mit Substratmaterialien wird der Deckel 10 geschlos sen und der Reaktorraum 2 evakuiert. Beim Starten des Evaku ierungsvorganges wird zeitgleich das erste Ventil 20 durch eine Steuereinrichtung 30 geschlossen. Die Steuereinrichtung 30 trennt dabei eine Steuerleitung 32 zwischen dem Differenz druckschalter 18 und dem ersten Ventil 20, so daß durch Öffnen dieser Steuerleitung 32 das erste Ventil 20 geschlos sen wird. Das mit dem Evakuierungsvorgang zeitgleiche Schlie ßen des ersten Ventils 20 verhindert ein Absaugen von Pro zeßrückständen aus dem Abluftraum 24 bzw. aus der Verbin dungsleitung 22 in die Vakuumpumpe 8, wodurch deren Standzeit deutlich erhöht wird. Gleichzeitig wird durch das Auftrennen der Steuerleitung 32 ein Betätigen des ersten Ventils 20 durch den Differenzdruckschalter 18 verhindert, so daß sich eine eventuell auftretende Meß- bzw. Schalthysterese des Differenzdruckschalters infolge unterschiedlicher Schaltpunk te beim Druckanstieg bzw. Druckabfall nicht auf das Schließen des ersten Ventils 20 auswirken kann. Damit ist sicherge stellt, daß das erste Ventil 20 stets mit beginnender Evaku ierung geschlossen ist.After ventilation and re-equipping the reactor space 2 with substrate materials, the lid 10 is closed and the reactor space 2 is evacuated. When starting the Evaku ierungsvorganges the first valve 20 is closed by a control device 30 at the same time. The control device 30 separates a control line 32 between the differential pressure switch 18 and the first valve 20 , so that the first valve 20 is closed by opening this control line 32 . The simultaneous with the evacuation process closing the first valve 20 prevents suction of process residues from the exhaust air space 24 or from the connecting line 22 into the vacuum pump 8 , which significantly increases their service life. At the same time, by opening the control line 32 , actuation of the first valve 20 by the differential pressure switch 18 is prevented, so that any measurement or switching hysteresis of the differential pressure switch that occurs as a result of different switching points when the pressure rises or falls does not affect the closing of the first valve 20 can impact. This is sicherge ensures that the first valve 20 is always closed at the beginning of evacuation.

Claims

1. pressure system for a reactor space ( 2 ), which can be closed to an outer space ( 12 ),

with a connecting line ( 22 ) which is connected to the reactor space ( 2 ) and can be blocked by means of a first valve ( 20 ),
with a pressure-sensitive sensor system ( 18 ) for comparing the pressure in the reactor chamber ( 2 ) with a predetermined pressure and for opening the first valve ( 20 ) at a predetermined pressure difference between the pressure in the reactor chamber ( 2 ) and the predetermined pressure,

characterized in that a second valve ( 26 ) is provided for separating the pressure-sensitive sensor system ( 18 ) and / or the first valve ( 20 ) from the reactor chamber ( 2 ).

2. Pressure system according to claim 1, characterized in that the second valve ( 26 ) can be controlled by a pressure sensor ( 28 ) registering the pressure in the reactor chamber ( 2 ).

3. The printing system according to claim 1 or 2, characterized in that the pressure-sensitive sensor system (18) is a differential pressure switch (18) and that for comparing the pressure in the reactor chamber (2) with the predetermined pressure equal to the pressure in the outer space (12) is serves.

4. Pressure system according to one of the preceding claims, characterized in that a control device ( 30 ) for closing the first valve ( 20 ) is provided, the opening of the first valve ( 20 ) by the pressure-sensitive sensor system ( 18 ) being prevented in the closing case.

5. A method for operating a printing system according to claim 1, characterized by the following method steps:

- ventilation of the reactor space ( 2 ),
- opening the second valve ( 26 ),
- Measuring the pressure in the reactor chamber ( 2 ) by means of the pressure sensitive sensor system ( 18 ) and comparison with a predetermined pressure, and
- Opening of the first valve ( 20 ) when a predetermined pressure difference between the reactor space ( 2 ) and the predetermined pressure is reached.

6. The method according to claim 5, characterized in that the predetermined pressure is the pressure in an outer space ( 12 ).

7. The method according to claim 5 or 6, characterized in that the second valve ( 26 ) is only opened when a pressure range in the reactor chamber ( 2 ) is reached, within which a deposition process is largely suppressed.

8. The method according to any one of claims 5 to 7, characterized in that for evacuating the reactor chamber ( 2 ), the first valve ( 20 ) is closed and thereby actuating the first valve ( 20 ) is prevented by the pressure-sensitive sensor system ( 18 ).