DE19800403C2

DE19800403C2 - Displacement sensor

Info

Publication number: DE19800403C2
Application number: DE1998100403
Authority: DE
Inventors: Peter Wiese
Original assignee: Mannesmann VDO AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1998-01-08
Filing date: 1998-01-08
Publication date: 2000-12-28
Anticipated expiration: 2018-01-09
Also published as: DE19800403A1

Description

Die Erfindung betrifft einen Verschiebungssensor.The invention relates to a displacement sensor.

Ein gattungsgemäßer Verschiebungssensor ist aus der DE 41 03 561 A1 bekannt. Der Verschiebungssensor arbeitet auf der Basis eines magnetischen Impulsgene rators. Solche Sensoren sind vielfältig einsetzbar, z. B. als Rückmeldeorgan für Positionseinrichtungen oder Regelungen. Bei herkömmlichen magnetischen Ver schiebungssensoren wird ein Permanentmagnet abgetastet, welcher entlang der Bewegungsrichtung in viele Pole unterteilt ist.A generic displacement sensor is known from DE 41 03 561 A1. The displacement sensor works on the basis of a magnetic pulse gene rators. Such sensors are versatile, z. B. as a feedback device for Positioning devices or regulations. With conventional magnetic ver a permanent magnet is scanned along the Direction of movement is divided into many poles.

Die mit den verfügbaren Magneten erreichbaren Auflösungen sind jedoch für viele Zwecke zu klein, da die Auflösung von der Breite der Einzelpole abhängt. Pole, die schmäler als 3 mm sind, können aber einerseits aus Ferrit oder ähnlichen ma gnetischen Werkstoffen nicht billig hergestellt und andererseits nicht stark genug magnetisiert werden, da der dazu notwendige apparative Aufwand zu hoch ist. Für eine befriedigende Auflösung bei beschränktem Bauvolumen bedarf es aber kei nerlei Polbreiten. Außerdem ist die Reluktanz einer Anordnung mit vielfach ge poltem Permanentmagneten und einer eisernen Geberstruktur oft zu hoch: Für Anwendungen, bei denen ein Getriebe zur Erhöhung der Auflösung eingeschaltet ist oder bei denen sehr kleine Kräfte wirken, kann die Reluktanz des Gebers dazu führen, daß der Geber auf die abzutastenden Einrichtungen in unzulässigem Ma ße rückwirkt und deren Bewegung erschwert oder unmöglich macht. However, the resolutions that can be achieved with the available magnets are for many Purposes too small, since the resolution depends on the width of the individual poles. Pole, which are narrower than 3 mm, but can be made of ferrite or similar materials gnetic materials not cheaply manufactured and on the other hand not strong enough be magnetized because the necessary equipment is too high. For a satisfactory resolution with limited construction volume is not required different pole widths. In addition, the reluctance of an arrangement with multiple ge polar permanent magnet and an iron encoder structure often too high: For Applications where a transmission is turned on to increase resolution the reluctance of the encoder can do so cause the encoder to the devices to be scanned to an unacceptable extent eats retroactively and makes their movement difficult or impossible.

Als Meßwandler werden Hall-Wandler, magneto-resistive Wandler, Feldplatten oder andere magnetfeld-empfindliche Bauelemente eingesetzt. Besonders ko stengünstige Lösungen sind mit Hall-Wandlern möglich, da sie zusammen mit der weiterverarbeitenden Elektronik auf einem Chip integriert werden können. In der Regel wird die Hallspannung auf dem Chip einem Komparator zugeführt, der das analoge Signal in einem digitalen Logikpegel umsetzt.Hall transducers, magneto-resistive transducers and field plates are used as measuring transducers or other components sensitive to magnetic fields. Especially ko Cost-effective solutions are possible with Hall converters, because they work together with the processing electronics can be integrated on a chip. In the As a rule, the Hall voltage on the chip is fed to a comparator which does the converts analog signal into a digital logic level.

Für viele Auswertungen ist es zusätzlich auch notwendig, die Bewegungsrichtung des Rotors detektieren zu können.The direction of movement is also necessary for many evaluations of the rotor.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Verschiebungssensor anzugeben, der ein fach, robust und preiswert in der erforderlichen Genauigkeit und mit einer hohen Auflösung herstellbar ist, wobei gleichzeitig die Bewegungsrichtung des Rotors detektierbar ist.The object of the invention is to provide a displacement sensor that a fold, robust and inexpensive in the required accuracy and with a high Resolution can be produced, while the direction of movement of the rotor is detectable.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Um die Bewegungsrichtung detektieren zu können, braucht man zwei Wandler, von denen jeder ein eigenes Signal erzeugt. So kann über den Phasen versatz zwischen den beiden Wandlerkanälen die Verschieberichtung bestimmt werden.According to the invention, the object is achieved by the features of patent claim 1 solved. In order to be able to detect the direction of movement, two are required Converters, each of which generates its own signal. So over the phases offset between the two converter channels determines the direction of displacement become.

Bei richtiger Wahl der Abstände der Statorbleche und der Zahnteilung weist eine solche Anordnung nur eine geringe Reluktanz auf, weil der gesamte magnetische Fluß, der die Anordnung durchsetzt, annähernd konstant ist.If the distances between the stator laminations and the tooth pitch are selected correctly, one has such an arrangement has only a low reluctance because of the entire magnetic River that passes through the arrangement is approximately constant.

Den besten Effekt ergibt ein Phasenversatz von einem Viertel einer Periode. Au ßerdem ergibt sich durch eine logische XOR-Verknüpfung der beiden Signale ein Signal der doppelten Frequenz. Damit wird die doppelte Auflösung erreicht. Die ses Verfahren ist unter der Bezeichnung Quadratur-Decodierung bekannt. The best effect is a phase shift of a quarter of a period. Au Furthermore, a logical XOR combination of the two signals results Double frequency signal. This achieves twice the resolution. The This method is known as quadrature decoding.

Im Sinne einer magnetischen Verschaltung bilden die vier Abschnitte der Stator bleche und die beiden Kreisscheiben eine magnetische Brückenschaltung darge stellt, daß zwei magnetische Reihenschaltungen parallel geschaltet sind.The four sections of the stator form a magnetic connection sheets and the two circular disks a magnetic bridge circuit Darge represents that two magnetic series connections are connected in parallel.

Die erste davon besteht aus einem ersten Spalt zwischen dem einen Abschnitt des einen Statorbleches und der einen Kreisscheibe aus einem ersten Abstand zwischen dem einen Abschnitt des einen Statorbleches und dem einen Abschnitt des anderen Statorbleches und einem zweiten Spalt zwischen dem einen Ab schnitt des anderen Statorbleches und der anderen Kreisscheibe. Die zweite Rei henschaltung besteht aus einem dritten Spalt zwischen dem anderen Abschnitt des einen Statorbleches und der einen Kreisscheibe, einem zweiten Abstand zwi schen dem anderen Abschnitt des einen Statorbleches und dem anderen Ab schnitt des anderen Statorbleches und einem vierten Spalt zwischen dem anderen Abschnitt des anderen Statorbleches und der anderen Kreisscheibe.The first of these consists of a first gap between the one section of the one stator plate and the one circular disk from a first distance between the one section of the one stator plate and the one section of the other stator plate and a second gap between the one Ab cut the other stator sheet and the other circular disk. The second row The circuit consists of a third gap between the other section one stator plate and one circular disk, a second distance between between the other section of one stator plate and the other cut the other stator sheet and a fourth gap between the other Section of the other stator plate and the other circular disk.

Desweiteren gibt es zwei Querverbindungen zwischen den beiden Reihenschal tungen. Eine Querverbindung besteht zwischen der Verbindung des ersten Spalts und des ersten Abstands und der Verbindung des dritten Spalts und des zweiten Abstands. Sie ist durch die Lücke im einen Statorblech hergestellt. Die andere Querverbindung besteht zwischen der Verbindung des ersten Abstands und des zweiten Spalts und der Verbindung des zweiten Abstands und des vierten Spalts. Sie ist durch die Lücke in dem anderen Statorblech hergestellt. An die beiden En den der Parallelschaltung ist schließlich der Permanentmagnet angeschlossen.There are also two cross connections between the two row scarves exercises. A cross connection exists between the connection of the first gap and the first distance and the connection of the third gap and the second Distance. It is made through the gap in a stator plate. The other Cross connection exists between the connection of the first distance and the second gap and the connection of the second distance and the fourth gap. It is produced by the gap in the other stator plate. To the two En The parallel magnet is finally connected to the permanent magnet.

Es ist günstig, wenn die magnetfeld-empfindlichen Wandler Hall-Wandler sind, da solche Wandler sehr preiswert und genau herstellbar sind. Außerdem lassen sich solche Wandler einfach auf einer integrierten Schaltung unterbringen. It is advantageous if the transducers sensitive to magnetic fields are Hall transducers such converters are very inexpensive and can be manufactured precisely. In addition, simply accommodate such converters on an integrated circuit.

Damit der Verschiebungssensor unempfindlich ist gegen seitliche Bewegungen oder Versatz des Läufers gegenüber dem Stator durch ungenaue Führung oder Fertigung der Läuferteile oder des Stators, ist es vorteilhaft, wenn die Dicke der Statorbleche sich von der Dicke der Kreisscheibe unterscheidet.So that the displacement sensor is insensitive to lateral movements or offset of the rotor relative to the stator due to inaccurate guidance or Manufacturing the rotor parts or the stator, it is advantageous if the thickness of the Stator plates differ from the thickness of the circular disk.

Bei einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die zu den Lücken der Statorbleche weisenden Enden der beiden Abschnitte jedes Stator bleches abgewinkelt sind. Damit sind größere Fertigungstoleranzen bei der Her stellung und beim Einbau der Wandler möglich, ohne daß das Nutzsignal wesentlich schwächer wird. In a further embodiment of the invention it is provided that the to Gaps in the stator plate-facing ends of the two sections of each stator sheets are angled. This means greater manufacturing tolerances at the manufacturer position and when installing the converter possible without the useful signal becomes much weaker.

Weiterhin ist es bei einer Weiterbildung der Erfindung vorteilhaft, wenn die zu den Lücken der Statorbleche weisenden Enden der beiden Abschnitte eines Statorbleches abgewinkelt sind. Damit können die Wandler auch um einen Winkel von beispielsweise 90 Grad verdreht eingebaut werden. In manchen Einbausituationen kann dies vorteilhaft sein.It is also a further development of the invention advantageous if the to the gaps of the stator plates pointing ends of the two sections of a stator plate are angled. This means that the converters can also add one Angles of, for example, 90 degrees can be installed twisted. This can be advantageous in some installation situations.

Eine weitere Möglichkeit, den Abstand zwischen den Wandlern zu ändern, besteht darin, daß die zu den Lücken der Statorbleche weisenden Enden der beiden Abschnitte eines oder beider Statorbleche gekröpft sind. Wandler verschiedener Hersteller oder verschiedener Bauserien weisen meist unterschiedliche Abstände zueinander auf. Mit dieser Maßnahme kann das berücksichtigt werden.Another way to measure the distance between the transducers to change is to address the gaps in the Stator plates facing ends of the two sections of a or both stator plates are cranked. Converter from different manufacturers or different series usually different distances from each other. With this Measure can be taken into account.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung anhand mehrerer Figuren dargestellt. Sie sind in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:Embodiments of the invention are in the drawing represented with several figures. they are in the following description explained in more detail. It shows:

Fig. 1 eine Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Winkelgebers in perspektivischer Ansicht, Fig. 1 is an illustration of a first embodiment of an angle sensor according to the invention in perspective view;

Fig. 2 eine Darstellung eines zweiten erfindungsgemäßen Winkelgebers mit verdreht und in einem gemeinsamen Gehäuse eingebauten Wandlern und abgewinkelten Statorblech-Enden, Fig. 2 is an illustration of a second angle encoder according to the invention with and rotated in a common housing built-in converters, and angled stator lamination ends,

Fig. 3 eine Schaltskizze der magnetischen Schaltung der Komponenten des Verschiebungssensors und Fig. 3 is a circuit diagram of the magnetic circuit of the components of the displacement sensor and

Fig. 4 ein Diagramm der Signale, die an den beiden Wandlern anliegen. Es ist der magnetische Fluß Φ in Abhängigkeit von einem Winkel aufgetragen. Ein Verdrehen des Winkelgebers um eine Zahnteilung entspricht im Diagramm einer Periode. Fig. 4 is a diagram of the signals that are applied to the two converters. The magnetic flux Φ is plotted as a function of an angle. Turning the angle encoder by one tooth pitch corresponds to a period in the diagram.

Gleiche Teile sind in allen Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen. In Fig. 3 wurden, der besseren Übersicht wegen, alle Schaltsymbole mit den Bezugszeichen derjenigen Teile des Winkelgebers versehen, die sie repräsentieren sollen.Identical parts are provided with the same reference symbols in all figures. In Fig. 3, for the sake of clarity, all switching symbols have been provided with the reference numerals of those parts of the angle encoder which they are intended to represent.

Die in den Fig. 1 und 2 dargestellten Winkelgeber bestehen aus den vier Abschnitten 1 bis 4 der beiden Statorbleche 1, 2; 3, 4, dem Läufer aus den beiden Läuferblechen 5; 6, dem Permanentmagneten 7 und der Läuferachse 8 sowie zwei Hall-Wandlern 9; 10. Die Hall-Wandler 9; 10 enthalten bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel die gesamte Codierelektronik und geben beispielsweise ein digitales Signal aus. Die Abschnitte 1 bis 4 und die Läuferbleche 5; 6 sind mit Verzahnungen 11 bis 16 versehen. . The angle sensor illustrated in Figures 1 and 2 consist of the four sections 1 to 4 of the two stator plates 1, 2; 3 , 4 , the rotor from the two rotor plates 5 ; 6 , the permanent magnet 7 and the rotor axis 8 and two Hall converters 9 ; 10th The Hall converter 9 ; 10 contain the entire coding electronics in the exemplary embodiment shown and, for example, output a digital signal. Sections 1 to 4 and the rotor plates 5 ; 6 are provided with teeth 11 to 16 .

Die Fig. 1 und 2 zeigen die Luftspalte 21 bis 24 zwischen den Abschnitten 1 bis 4 des Stators und die beiden Abstände 25; 26 zwischen den Abschnitten 2; 3 sowie 1; 4. Weiterhin sind die Lücken 27; 28 in den Statorblechen 1, 2; 3, 4 dargestellt, in die die beiden Hall-Wandler 9; 10 eingesetzt sind. Figs. 1 and 2 show, the air gaps 21 to 24 between the sections 1 to 4 of the stator and the two distances 25; 26 between sections 2 ; 3 and 1 ; 4th Furthermore, the gaps 27 ; 28 in the stator plates 1 , 2 ; 3 , 4 , into which the two Hall transducers 9 ; 10 are used.

Die beiden Enden 30; 31 des einen Statorbleches 3, 4 sind in Fig. 2 abgewinkelt, damit die beiden Hall-Wandler 9 und 10 übereinander statt nebeneinander eingebaut werden können. Bei dieser Art Statorblech ist der Abstand zwischen den Statorblechen 25; 26 unabhängig vom Abstand der beiden Wandler 9; 10 zueinander wählbar. Die Hall-Wandler, die hier in einem gemeinsamen Gehäuse 32 eingebaut sind, sind aus der Lücke herausgerückt dargestellt. The two ends 30 ; 31 of the one stator plate 3 , 4 are angled in FIG. 2, so that the two Hall converters 9 and 10 can be installed one above the other instead of side by side. In this type of stator plate, the distance between the stator plates 25 ; 26 regardless of the distance between the two transducers 9 ; 10 selectable to each other. The Hall converters, which are installed here in a common housing 32 , are shown moved out of the gap.

Fig. 3 zeigt die magnetische Schaltung der magnetischen Widerstände der Winkelgeber nach den Fig. 1 und 2. Die Schaltung ist eine Brückenschaltung und besteht aus den beiden parallelen Reihenschaltungen der magnetischen Widerstände der Spalte 21, 26, 24 sowie 22, 25, 23 und aus dem Permanentmagneten 7. Die beiden Reihenschaltungen sind über die magnetischen Widerstände der Lücken 27; 28 in den Statorblechen und der darin montierten Hall-Wandler 9; 10 miteinander verbunden. Fig. 3 shows the magnetic circuit of the magnetic resistors of the angle encoder according to FIGS. 1 and 2. The circuit is a bridge circuit and consists of the two parallel series connections of the magnetic resistors of columns 21 , 26 , 24 and 22 , 25 , 23 and from the permanent magnet 7 . The two series connections are via the magnetic resistances of the gaps 27 ; 28 in the stator laminations and the Hall converter 9 ; 10 connected together.

Beim Verdrehen des Läufers 5 bis 8 verändert sich der magnetische Widerstand der Spalte und die Brückenschaltung wird verstimmt. Durch den mit 42 angedeuteten Phasenversatz um eine halbe Periode zwischen den Verzahnungen jeweils der beiden Abschnitte eines Statorbleches 1, 2; 3, 4 verändern sich die magnetischen Widerstände der Spalte 21, 22; 23, 24 jeweils gegenläufig.When rotor 5 to 8 is rotated, the magnetic resistance of the column changes and the bridge circuit is detuned. Due to the phase shift indicated by 42 by half a period between the teeth of each of the two sections of a stator plate 1 , 2 ; 3 , 4 the magnetic resistances of the columns 21 , 22 change ; 23 , 24 in opposite directions.

Aus einem Versatz 41 der Verzahnungen 15; 16 der beiden Läuferscheiben 5; 6 um eine viertel Periode ergibt sich damit idealerweise eine Verschiebung der Widerstandsänderung zwischen den beiden Statorblechen 1, 2; 3, 4 um eine viertel Periode. Da die beiden Statorbleche 1, 2; 3, 4 magnetisch nicht vollständig entkoppelt sind, ist diese Phasenverschiebung jedoch in der Realität kleiner als eine viertel Periode. Durch eine Korrektur der Verschiebung zwischen den Verzahnungen der beiden Läuferbleche läßt sich dieser Effekt jedoch leicht umgehen.From an offset 41 of the toothings 15 ; 16 of the two rotor disks 5 ; 6 ideally results in a shift of the change in resistance between the two stator laminations 1 , 2 ; 3 , 4 for a quarter period. Since the two stator plates 1 , 2 ; 3 , 4 are not completely magnetically decoupled, this phase shift is in reality smaller than a quarter period. However, this effect can easily be avoided by correcting the displacement between the teeth of the two rotor plates.

Die beiden Hall-Wandler 9; 10 registrieren die Verstimmung der Brückenschaltung und wandeln sie in ein elektrisches Signal um. Die magnetischen Eingangssignale 43; 44, die die Hall-Wandler registrieren, sind in Fig. 4 dargestellt. Es handelt sich jeweils um den magnetischen Fluß Φ in den Lücken 27; 28 der Statorbleche 1, 2; 3, 4, in die die Wandler eingesetzt sind. Eine Periode entspricht dabei der Bewegung des Läufers um einen Zahn und eine Zahnlücke. Die beiden Signale sind aufgrund des Zahnversatzes zwischen den Läuferblechen 5; 6 um annähernd eine Viertelperiode phasenverschoben. Durch Digitalisieren und Exklusiv-Oder-Verknüpfen der beiden Signale 43; 44 erhält man ein Signal der doppelten Frequenz der Ausgangssignale. Der Verdrehwinkel ist dadurch mit der doppelten Auflösung ermittelbar.The two Hall converters 9 ; 10 register the detuning of the bridge circuit and convert it into an electrical signal. The magnetic input signals 43 ; 44 , which register the Hall converters, are shown in FIG. 4. It is in each case the magnetic flux Φ in the gaps 27 ; 28 of the stator plates 1 , 2 ; 3 , 4 , in which the transducers are inserted. One period corresponds to the movement of the rotor around one tooth and one tooth gap. The two signals are due to the tooth offset between the rotor plates 5 ; 6 out of phase by approximately a quarter period. By digitizing and exclusive-ORing the two signals 43 ; 44 a signal of twice the frequency of the output signals is obtained. The twist angle can thus be determined with twice the resolution.

Durch Vergleichen des Vorzeichens der Steigung eines der beiden Signale 43; 44 und des Vorzeichens des jeweils anderen Signals läßt sich die Drehrichtung des Läufers 5 bis 8 ermitteln.By comparing the sign of the slope of one of the two signals 43 ; 44 and the sign of the other signal, the direction of rotation of the rotor 5 to 8 can be determined.

Claims

1. displacement sensor having a movable rotor and a fixed stator, the rotor having two juxtaposed, circumferentially toothed circular disks ( 5 ) and ( 6 ) and an intermediate, axially polarized permanent magnet ( 7 ) as a flux source, which is arranged so is that the one circular disk ( 5 ) assumes one polarization of the magnet ( 7 ) and the other circular disk ( 6 ) the other polarization,
The stator consists of two soft magnetic stator laminations ( 1 , 2 ; 3 , 4 ), each of which partially comprises a circular disk on the circumference as circular segments, each of the two stator laminations ( 1 , 2 ; 3 , 4 ) being separated by a gap ( 27 ; 28 ), each of which has a transducer ( 9 ; 10 ) sensitive to magnetic fields, is divided into two sections ( 1 to 4 ),
wherein each section ( 1 to 4 ) of each stator lamination is provided with a toothing ( 11 to 14 ) of constant pitch on a side facing the rotor, the toothing ( 11 to 14 ) of the two sections of each stator lamination being displaced relative to one another,
the two circular disks ( 5 , 6 ) being provided with a toothing ( 15 ; 16 ) whose division corresponds to that of the stator sections ( 1 to 4 ),
wherein the toothing ( 11 , 12 ; 13 , 14 ) each of a stator plate of the toothing ( 15 ; 16 ) opposite a circular disc ( 5 , 6 ) and
wherein either the toothing ( 15 ; 16 ) of the two circular disks ( 5 ; 6 ) or the toothing ( 11 to 14 ) of the two stator plates ( 1 , 2 ; 3 , 4 ) against each other in the direction of movement of the rotor by an amount less than half a period are out of phase.

2. Displacement sensor according to claim 1, characterized in that the four sections ( 1 to 4 ) of the stator plates and the two circular disks ( 5 ; 6 ) form a magnetic bridge circuit in such a way that two magnetic series circuits are connected in parallel, a first of which a first gap ( 21 ) between the one section ( 1 ) of the one stator plate and the one circular disk ( 5 ), from a first distance ( 26 ) between the one section ( 1 ) of the one stator plate and the one section ( 4 ) of the other Statorble ches and a fourth gap ( 24 ) between one section ( 4 ) of the other stator and the other circular disc ( 6 ) and of which the second series magnetic circuit consists of a second gap ( 22 ) between the other section ( 2 ) of the a stator plate and the one circular disk ( 5 ), a second distance ( 25 ) between the other section ( 2 ) of the one stator plate and the other section ( 3 ) the other stator plate and a third gap ( 23 ) between the other section ( 3 ) of the other stator plate and the other circular disk ( 6 ),
that there are also two cross-connections ( 9 ) and ( 27 ) and ( 10 ) and ( 28 ) between the two series connections, of which a cross-connection ( 9 ) and ( 27 ) between the connection of the first gap ( 21 ) and the first Ab stands ( 26 ) and the connection of the second gap ( 22 ) and the second Ab stand ( 25 ) through the gap ( 27 ) in a stator and the one electromechanical transducer ( 9 ) and the other cross-connection ( 10 ) and ( 28 ) between the connection of the first distance ( 26 ) and the fourth gap ( 24 ) and the connection of the second distance ( 25 ) and the third gap ( 23 ) through the gap ( 28 ) in the other stator plate and the other electromechanical converter ( 10 ) is manufactured and
that at the two ends of the parallel connection of the permanent magnet ( 7 ) is connected.

3. Displacement sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic field sensitive transducers are Hall transducers ( 9 , 10 ).

4. Displacement sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the thickness of the stator plates ( 1 , 2 ; 3 , 4 ) differs from the thickness of the circular disc ( 5 ; 6 ).

5. Displacement sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the gaps ( 27 ; 28 ) of the stator plates facing ends of the two sections of each stator plate are angled.

6. Displacement sensor according to one of claims 1 to 4, characterized in that the gaps ( 27 ; 28 ) of the stator plates ( 1 , 2 ; 3 , 4 ) facing ends ( 30 ; 31 ) of the two sections ( 3 ; 4th ) of a stator plate are angled.

7. Displacement sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the gaps ( 27 ; 28 ) of the stator plates facing ends of the two sections of each stator plate are cranked.

8. Displacement sensor according to one of claims 1-6, characterized in that the gaps ( 27 ; 28 ) of the stator plates facing ends of the two sections of a stator plate are cranked.