DE19781928T1 - Bistabiler Mikroaktuator mit gekoppelten Membranen - Google Patents

Bistabiler Mikroaktuator mit gekoppelten Membranen

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DE19781928T1
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microactuator
bistable
coupled membranes
membranes
coupled
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DE19781928T
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Hans Joachim Quenzer
Bernd Wagner
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Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
DE19781928T 1996-02-10 1997-02-10 Bistabiler Mikroaktuator mit gekoppelten Membranen Withdrawn DE19781928T1 (de)

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EP96101948 1996-02-10
DE19604818 1996-02-10
DE19637928A DE19637928C2 (de) 1996-02-10 1996-09-17 Bistabile Membran-Aktivierungseinrichtung und Membran
PCT/EP1997/000575 WO1997029538A1 (en) 1996-02-10 1997-02-10 Bistable microactuator with coupled membranes
DE19781928 1997-02-10

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DE19781928T1 true DE19781928T1 (de) 1999-09-23

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