DE19744643A1 - Semiconductor component adhesive-pressing method - Google Patents

Semiconductor component adhesive-pressing method

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DE19744643A1
DE19744643A1 DE1997144643 DE19744643A DE19744643A1 DE 19744643 A1 DE19744643 A1 DE 19744643A1 DE 1997144643 DE1997144643 DE 1997144643 DE 19744643 A DE19744643 A DE 19744643A DE 19744643 A1 DE19744643 A1 DE 19744643A1
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Abstract

A method for pressing flat components, in which a pressure- bell (1) which has a seal (11) extending around its edge and a gas supply-line (12) through its wall, is supported by a displaceable device (2) exerting an adjustable force (F2) on to the pressure-bell, which is then moved in such a way that it is seated with its seal on a component (3) being pressed. After placing the seal on the component being pressed, an inter-space (4) arises between the pressure-bell and the component, and an excess pressure (p1) is formed in the inter-space via the gas supply line (12), and the force is completely or partially transferred by the excess pressure (p1) on to the part being pressed, the latter then being pressed on to an adhesive (5) located on a carrier (6). More specifically the excess pressure in the inter-space is reduced, as a result of a gap formed between the seal and the component being pressed.

Description

In der Halbleitertechnik müssen mit Bauelementen besetzte Keramiksubstrate auf Trägerplatten aufgeklebt werden.In semiconductor technology, components must be used Ceramic substrates are glued to carrier plates.

Die Andrückkraft wird bisher mittels eines Kunststoffstempels auf das Keramiksubstrat aufgebracht. Da auf der Substratflä­ che empfindliche, z. T. gebondete Bauelemente sitzen, kann einerseits die Kraft nur zwischen den Bauelementen aufge­ bracht werden, andererseits sollte die Kraft möglichst gleichmäßig über die Gesamtfläche verteilt werden. Dazu müs­ sen Freiflächen vorhanden sein, die nicht strukturiert sind und auf die die Stempel aufsetzen können.The pressing force has so far been achieved using a plastic stamp applied to the ceramic substrate. Because on the substrate surface che sensitive, e.g. T. bonded components can sit on the one hand, the force only between the components be brought, on the other hand, the strength should be as possible be evenly distributed over the entire area. To do this There are open spaces that are not structured and on which the stamp can be placed.

Für die Freiflächen des Keramiksubstrats, auf die die Kraft aufgebracht werden kann, müssen zahlreiche Bedingungen beach­ tet werden, beispielsweise
For the open areas of the ceramic substrate to which the force can be applied, numerous conditions must be observed, for example

  • - ein maximaler Abstand der Freiflächen zueinander,- a maximum distance between the open spaces,
  • - eine Mindestgröße und Mindestbreite der einzelnen Andrück­ flächen und- a minimum size and minimum width of each pressure areas and
  • - ein Mindestabstand der Andrückflächen zu Bauelementen und Dünndrahtbondpads.- a minimum distance of the contact surfaces to components and Thin wire bond pads.

Die gesamte Andrückkraft darf zudem nicht beliebig hoch ge­ wählt werden, damit keine Beschädigung des Keramiksubstrats in Form von Mikrorissen, die einen Funktionsausfall des Bau­ teils bewirken können, auftritt.The total pressing force must also not be as high as desired should be chosen so that no damage to the ceramic substrate in the form of microcracks, causing a construction failure can sometimes cause occurs.

Somit besitzt die Kraftaufbringung mittels Stempeln die Nach­ teile eines relativ großen Freiflächenanteils (ca. 25% der Oberfläche des Keramiksubstrats), der nicht für mikroelektro­ nische Anwendungen genutzt werden kann. Weiterhin besteht bei der mechanischen Kraftübertragung die Gefahr von Verbiegungen des Keramiksubstrats und der Einbringung von Rissen in das Bauteil durch Spannungsüberhöhungen. Thus, the application of force by stamping has the after parts of a relatively large open space share (approx. 25% of the Surface of the ceramic substrate), which is not for microelectro African applications can be used. There is also at mechanical power transmission the risk of bending of the ceramic substrate and the introduction of cracks in the Component due to excessive voltage.  

Aufgabe der Erfindung ist das schonende, gleichmäßige An­ drücken von flächigen Bauteilen bei gleichzeitiger Verringe­ rung der zum Andruck notwendigen Freiflächen.The object of the invention is the gentle, uniform pressing flat components with simultaneous reduction of the free space required for printing.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1 oder 9 gelöst.This object is achieved by the features of claims 1 or 9 solved.

Das Grundprinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens und der er­ findungsgemäßen Vorrichtung ist die Nutzung von Gasdruck zur großflächigen und gleichmäßigen Übertragung der Andrückkraft auf ein anzudrückendes Bauteil.The basic principle of the method according to the invention and he device according to the invention is the use of gas pressure large and even transmission of the pressing force on a component to be pressed.

Eine Druckglocke mit einer umlaufenden Dichtung ist dazu mit einer verschiebbaren Vorrichtung verbunden. Die verschiebbare Vorrichtung übt eine voreinstellbare Kraft F2 auf die Druckglocke aus, so daß sich die Druckglocke auf das anzu­ drückende Bauteil zubewegt.For this purpose, a pressure bell with a circumferential seal is connected to a displaceable device. The displaceable device exerts a presettable force F 2 on the pressure bell, so that the pressure bell moves towards the component to be pressed.

Nach der flächigen Auflage der Dichtung auf das anzudrückende Bauteil existiert ein Zwischenraum zwischen Druckglocke und anzudrückendem Bauteil. Dieser Zwischenraum kann durch eine Zuleitung durch die Druckglocke mit einem Überdruck p1 beauf­ schlagt werden.After the gasket has been placed flat on the component to be pressed, there is a space between the pressure bell and the component to be pressed. This intermediate space can be subjected to an excess pressure p 1 by a supply line through the pressure bell.

Durch den Überdruck p1 baut sich über die abgedichtete Grund­ fläche der Druckglocke eine Kraft F2' auf, die der Kraft F2 entgegengerichtet ist. Für die Stärke von F2' gilt
Due to the overpressure p 1 , a force F 2 'builds up over the sealed base area of the pressure bell, which force is opposite to the force F 2 . For the strength of F 2 'applies

F2' = p1A1,
F 2 '= p 1 A 1 ,

wobei A1 die in eine Ebene senkrecht zur Bewegungsrichtung projizierte abgedichtete Grundfläche der Druckglocke ist. A1 entspricht also der Größe einer in Bewegungsrichtung durch den Gasdruck p1 effektiv belasteten Fläche. F2' wirkt der von der verschiebbaren Vorrichtung ausgeübten Kraft F2 entgegen und behindert so die Bewegung der Druckglocke. where A 1 is the sealed base of the pressure bell projected into a plane perpendicular to the direction of movement. A 1 thus corresponds to the size of an area effectively loaded in the direction of movement by gas pressure p 1 . F 2 'counteracts the force F 2 exerted by the displaceable device and thus impedes the movement of the pressure bell.

Gleichzeitig wird durch p1 eine flächig wirkende Andrückkraft F1 auf das anzudrückende Bauteil aufgegeben. F1 ist betrags­ mäßig mit F2' identisch, es gilt also
At the same time, p 1 exerts an areal pressing force F 1 on the component to be pressed. In terms of amount, F 1 is identical to F 2 ', so it applies

F1 = p1 A1.F 1 = p 1 A 1 .

Durch die Andrückkraft F1 wird das anzudrückende Bauteil an andere Komponenten, beispielsweise einen Klebstoff, der auf einem Träger aufgebracht ist, gepreßt. F1 bewirkt also, daß die auf die Druckglocke aufgebrachte Kraft F2 vollständig oder teilweise durch Überdruck auf das anzudrückende Bauteil übertragen wird.Due to the pressing force F 1 , the component to be pressed is pressed onto other components, for example an adhesive which is applied to a carrier. F 1 thus causes the force F 2 applied to the pressure bell to be transmitted completely or partially by overpressure to the component to be pressed.

Falls F2 größer ist als F1, wird die Differenz dieser beiden Kräfte, also F2-F1, über die Dichtung auf das anzudrückende Bauteil übertragen.If F 2 is greater than F 1 , the difference between these two forces, that is, F 2 -F 1 , is transmitted to the component to be pressed via the seal.

Die Benutzung eines gleichmäßig wirkenden Überdrucks besitzt gegenüber einer mechanischen Kraftübertragung den Vorteil, daß die gesamte abgedichtete Fläche des anzudrückenden Bau­ teils die Andrückkraft F1 aufnimmt, ohne daß darauf aufge­ brachte Strukturen zerstört werden. Somit kann der Anteil der Freiflächen an der Gesamtoberfläche des anzudrückenden Bau­ teil stark reduziert werden, da nur noch die Randzonen, auf denen die Dichtung aufsetzt, mechanischen Belastungen ausge­ setzt sind. Dies hat beispielsweise bei mit Bauelementen be­ schichteten Keramiksubstraten zur Folge, daß teure Kera­ miksubstrat-Fläche gespart wird. Weiterhin kann die Packungs­ dichte der Bauelemente erhöht werden. Zusätzlich wird das Schaltungslayout von hinderlichen Einschränkungen befreit. Durch die gleichmäßig aufgegebene Flächenkraft werden zudem Spannungsüberhöhungen und somit mögliche Risse in dem anzu­ drückenden Bauteil stark verringert.The use of a uniformly acting overpressure has the advantage over a mechanical power transmission that the entire sealed surface of the construction to be pressed partially absorbs the pressing force F 1 without structures brought up to be destroyed. This means that the proportion of open spaces in the total surface of the part to be pressed can be greatly reduced, since only the edge zones on which the seal rests are subject to mechanical loads. This has the consequence, for example, in the case of ceramic substrates coated with components, that expensive ceramic substrate area is saved. Furthermore, the packing density of the components can be increased. In addition, the circuit layout is freed from obstacles. Due to the evenly applied surface force, excessive stresses and thus possible cracks in the component to be pressed are greatly reduced.

Während des Andrückvorgangs kann ein Spalt zwischen der Dich­ tung der Druckglocke und dem anzudrückenden Bauteil entste­ hen. Dadurch fällt der Überdruck ab und die von der ver­ schiebbaren Vorrichtung ausgeübte Kraft F2 wird in geringerem Maße oder gar nicht mehr durch Gegenkräfte ausgeglichen. So­ mit beginnt ein neuer Andrückzyklus mit Aufsetzen der Druckglocke auf dem anzudrückenden Bauteil, Druckaufbau im Zwischenraum und Verschiebung des anzudrückenden Bauteil. Dieser Andrückzyklus kann so lange wiederholt werden, bis sich das anzudrückende Bauteil nicht weiter verschieben läßt.During the pressing process, a gap between the device of the pressure bell and the component to be pressed can arise. As a result, the excess pressure drops and the force F 2 exerted by the displaceable device is compensated to a lesser extent or not at all by counterforces. A new pressing cycle begins with placing the pressure bell on the component to be pressed, pressure build-up in the gap and displacement of the component to be pressed. This pressing cycle can be repeated until the component to be pressed cannot be moved any further.

Es ist vorteilhaft, wenn die von der verschiebbaren Vorrich­ tung auf die Druckglocke ausgeübte Kraft F2 der durch den Überdruck im Zwischenraum auf die Druckglocke ausgeübten Kraft F2' betragsmäßig annähernd entspricht, d. h., daß
It is advantageous if the force F 2 exerted by the displaceable device on the pressure bell approximately corresponds to the amount of force F 2 'exerted on the pressure bell by the excess pressure in the intermediate space, ie that

F2 = F2'
F 2 = F 2 '

gilt. Dies ist gleichbedeutend mit der Bedingung
applies. This is equivalent to the condition

F2 = F1.F 2 = F 1 .

Dadurch wird erreicht, daß die über die Dichtung auf das an­ zudrückende Bauteil übertragene mechanische Kontaktkraft, nämlich F2-F1, minimiert wird.It is thereby achieved that the mechanical contact force transmitted to the component to be pressed, namely F 2 -F 1 , is minimized.

Es ist vorteilhaft, wenn die Dichtung der Druckglocke aus Kunststoff besteht, da hiermit erstens eine gute Dichtigkeit des Zwischenraums erreicht werden kann und zweitens durch den relativ weichen Kunststoff nur geringe Kräfte übertragen werden können. Der Kunststoff kann durch andere Materialien verstärkt sein.It is advantageous if the seal of the pressure bell is made Plastic is made, because firstly it provides good tightness of the gap can be reached and secondly through the relatively soft plastic transmit only small forces can be. The plastic can be made of other materials be reinforced.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die verschiebbare Vorrich­ tung ein mit Druck beaufschlagter Pneumatikzylinder ist, bei der die auf die Druckglocke übertragene Kraft F2 durch Anle­ gen eines Drucks p2, der auf eine effektive Kolbenfläche A2 des Zylinders wirkt, erzeugt wird. Für F2 gilt die Beziehung
Furthermore, it is advantageous if the displaceable device is a pressurized pneumatic cylinder, in which the force F 2 transmitted to the pressure bell is generated by applying a pressure p 2 , which acts on an effective piston area A 2 of the cylinder. The relationship applies to F 2

F2 = p2 A2,
F 2 = p 2 A 2 ,

wobei A2 die in eine Ebene senkrecht zur Bewegungsrichtung projizierte abgedichtete Grundfläche des Zylinderkolbens ist. A2 entspricht also der Größe einer in Bewegungsrichtung durch den Gasdruck p2 effektiv belasteten Kolbenfläche.where A 2 is the sealed base surface of the cylinder piston projected into a plane perpendicular to the direction of movement. A 2 thus corresponds to the size of a piston surface which is effectively loaded in the direction of movement by the gas pressure p 2 .

Diese Ausführung ist besonders einfach handhabbar, da die beiden benötigten Überdrücke p1 und p2 aus der gleichen Gas­ versorgung, z. B. mittels Druckreglern, gewonnen werden können.This version is particularly easy to handle, since the two required pressures p 1 and p 2 supply from the same gas, for. B. can be obtained by means of pressure regulators.

Die vorteilhafte Ausgestaltung nach F2 = F2' kann dabei da­ durch erreicht werden, daß
The advantageous embodiment according to F 2 = F 2 'can be achieved by that

gesetzt wird.is set.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Bewegungsrichtung der Druckglocke durch eine oder mehrere Führungen, beispielsweise eine lineare Führung, bestimmt ist, da so die Positionierge­ nauigkeit erhöht werden kann.It is also advantageous if the direction of movement of the Pressure bell through one or more guides, for example a linear guide, is determined, since so the positioning accuracy can be increased.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn zwischen verschiebbarer Vorrichtung und Druckglocke eine bewegliche Kupplung exi­ stiert, so daß eine mögliche Schrägstellung der verschiebba­ ren Vorrichtung keine signifikante Auswirkung auf den flächi­ gen Kontakt zwischen Dichtung und verschiebbarem Bauteil be­ sitzt.Furthermore, it is advantageous if between displaceable Device and pressure bell a movable clutch exi bulls, so that a possible inclination of the movable Ren device no significant impact on the area against contact between the seal and the displaceable component sits.

In den folgenden Figuren wird die Erfindung anhand von Aus­ führungsbeispielen dargestellt.In the following figures, the invention is based on Aus management examples shown.

Die Fig. 1a-1c zeigen schematisch die möglichen Phasen in einem Andrückzyklus, FIGS. 1a-1c show schematically the possible phases in a Andrückzyklus,

Fig. 2 zeigt eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung. Fig. 2 shows an advantageous embodiment of the device according to the Invention.

Fig. 1a zeigt eine Druckglocke (1) mit einer umlaufenden Dichtung (11) und einer Gaszuleitung (12). Die Druckglocke (1) ist mit einer als druckgesteuertem Pneumatikzylinder aus­ gebildeten verschiebbaren Vorrichtung (2) verbunden. Der Pneumatikzylinder ist mit einem Druck (p2) beaufschlagt, der über eine Kolbenfläche (A2) eine flächig wirkende Kraft (F2), die in ihrem Kräfteschwerpunkt dargestellt ist, auf die Druckglocke ausübt, so daß die Druckglocke (1) auf das aufzu­ drückende Bauteil (3), das hier als Keramiksubstrat ausgebil­ det ist, gepreßt wird. Fig. 1a shows a pressure bell ( 1 ) with a circumferential seal ( 11 ) and a gas supply line ( 12 ). The pressure bell ( 1 ) is connected to a displaceable device ( 2 ) formed as a pressure-controlled pneumatic cylinder. The pneumatic cylinder is subjected to a pressure (p 2 ) which, via a piston surface (A2), exerts a surface force (F2), which is shown in its center of gravity, on the pressure bell, so that the pressure bell ( 1 ) exerts pressure on the bell Component ( 3 ), which is ausgebil det here as a ceramic substrate, is pressed.

Durch die flächige Auflage der Dichtung (11), die beispiels­ weise aus Kunststoff besteht, wird über die Gaszuleitung (12) ein Überdruck (p1) im Zwischenraum (4) aufgebaut.Due to the flat support of the seal ( 11 ), which consists, for example, of plastic, an excess pressure (p1) is built up in the intermediate space ( 4 ) via the gas supply line ( 12 ).

Dabei soll die Gleichung
The equation is supposed to

erfüllt sein. Der Überdruck (p1) bewirkt, daß eine der vom Pneumatikzylinder ausgeübten Kraft (F2) entgegengesetzt wir­ kende Kraft (F2'), die in dieser Figur durch ihren Schwer­ punktsvektor dargestellt ist, aufgebaut wird, so daß sich diese beiden Kräfte gerade kompensieren.be fulfilled. The overpressure (p1) causes one of the Pneumatic cylinder force (F2) opposed to us kende Kraft (F2 '), which in this figure is due to its gravity point vector is shown, is built so that just compensate these two forces.

Gleichzeitig wird das Keramiksubstrat (3) durch eine Andrück­ kraft (F1), die in dieser Figur durch ihren Schwerpunktsvek­ tor dargestellt ist, an einen Klebstoff (5) gedrückt, der auf einem Träger (6) angebracht ist.At the same time, the ceramic substrate ( 3 ) is pressed by a pressing force (F1), which is represented in this figure by its center of gravity, against an adhesive ( 5 ) which is attached to a carrier ( 6 ).

Fig. 1b zeigt die Anordnung, nachdem das Keramiksubstrat (3) in den Klebstoff (5) gedrückt wurde. Zwischen Dichtung (11) und Keramiksubstrat hat sich ein Spalt gebildet, so daß der Überdruck (p1) auf einen kleineren Wert (p1') reduziert wird. Durch diese Druckreduzierung wird die vom Pneumatikzylinder (2) ausgeübte Kraft (F2) nicht mehr vollständig durch die entgegengesetzt wirkende Kraft (F2') kompensiert. FIG. 1b shows the assembly after the ceramic substrate (3) in the adhesive has been pressed (5). A gap has formed between the seal ( 11 ) and the ceramic substrate, so that the excess pressure (p1) is reduced to a smaller value (p1 '). As a result of this pressure reduction, the force (F2) exerted by the pneumatic cylinder ( 2 ) is no longer completely compensated for by the counteracting force (F2 ').

Fig. 1c zeigt die Anordnung, nachdem die vom Pneumatikzylin­ der (2) ausgeübte Kraft (F2) die Druckglocke (1) wieder auf das Keramiksubstrat (3) gedrückt hat, so daß die Bedingungen aus Fig. 1 gelten, allerdings mit einem stärker in den Kleb­ stoff (5) gedrückten Keramiksubstrat (3). Fig. 1c shows the arrangement after the force exerted by the pneumatic cylinder ( 2 ) (F2) has pressed the pressure bell ( 1 ) back onto the ceramic substrate ( 3 ), so that the conditions of Fig. 1 apply, but with a stronger in the adhesive ( 5 ) pressed ceramic substrate ( 3 ).

Fig. 2 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße Vorrichtung, mit einer Druckglocke (1), die an ihrem Rand eine Dichtung (11) besitzt. Die Druckglocke (1) wird durch eine lineare Führung (7) gehalten. Zwischen der Druckglocke (1) und der als Pneumatikzylinder ausgebildeten verschiebbaren Vorrich­ tung (2) ist eine bewegliche Kupplung (8) angebracht. Unter­ halb der Druckglocke (1) ist eine Werkstückhalterung (9) mon­ tiert, die dem Transport und der Fixierung des auf dem mit Klebstoff (5) behafteten Träger (6) befindlichen anzudrücken­ den Bauteils (3) dient. Fig. 2 shows schematically a device according to the invention, with a pressure bell ( 1 ) which has a seal ( 11 ) on its edge. The pressure bell ( 1 ) is held by a linear guide ( 7 ). Between the pressure bell ( 1 ) and the device designed as a pneumatic cylinder movable Vorrich device ( 2 ), a movable coupling ( 8 ) is attached. Below half of the pressure bell ( 1 ) a workpiece holder ( 9 ) is installed, which serves to transport and fix the component ( 3 ) on the carrier ( 6 ) which is afflicted with adhesive ( 5 ).

Claims (15)

1. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile, bei dem
  • - eine Druckglocke (1), die eine an ihrem Rand umlaufende Dichtung (11) und eine Gaszuleitung (12) durch ihre Wand be­ sitzt, durch eine verschiebbare Vorrichtung (2) abgestützt wird, wobei von der verschiebbaren Vorrichtung (2) eine ein­ stellbare Kraft (F2) auf die Druckglocke (1) ausgeübt wird,
  • - durch die Kraft (F2) die Druckglocke (1) so bewegt wird, daß sie mit ihrer Dichtung (11) auf ein anzudrückendes Bau­ teil (3) aufsetzt,
  • - nach dem Aufsetzen der Dichtung (11) auf das anzudrückende Bauteil (3) ein Zwischenraum (4) zwischen Druckglocke (1) und anzudrückendem Bauteil (3) entsteht,
  • - mit Hilfe der Gaszuleitung (12) ein Überdruck (p1) in dem Zwischenraum (4) hergestellt wird,
  • - die Kraft (F2) vollständig oder teilweise durch den Über­ druck (p1) auf das anzudrückende Bauteil (3) übertragen wird, und dieses auf einen Klebstoff (5) der sich auf einem Träger (6) befindet, gedrückt wird.
1. Method for pressing flat components, in which
  • - A pressure bell ( 1 ), which is a circumferential seal ( 11 ) and a gas supply line ( 12 ) through its wall, is supported by a displaceable device ( 2 ), with an adjustable from the displaceable device ( 2 ) Force (F2) is exerted on the pressure bell ( 1 ),
  • - By the force (F2), the pressure bell ( 1 ) is moved so that it sits with its seal ( 11 ) on a part to be pressed ( 3 ),
  • - After placing the seal ( 11 ) on the component ( 3 ) to be pressed, an intermediate space ( 4 ) is created between the pressure bell ( 1 ) and the component ( 3 ) to be pressed on,
  • - An overpressure (p1) is produced in the intermediate space ( 4 ) with the aid of the gas feed line ( 12 ),
  • - The force (F2) is transmitted completely or partially by the excess pressure (p1) to the component to be pressed ( 3 ), and this is pressed onto an adhesive ( 5 ) which is on a carrier ( 6 ).
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem
  • - ein Spalt zwischen der Dichtung (11) und dem anzudrückenden Bauteil (3) entstehen kann, so daß der Überdruck (p1) im Zwi­ schenraum (4) absinkt,
  • - nach Absinken des Überdrucks (p1) die Druckglocke (1) durch die Kraft (F2) wieder an das anzudrückende Bauteil (3) ge­ drückt wird, so daß der Spalt geschlossen wird und der Über­ druck (p1) wieder aufgebaut wird,
  • - der Vorgang der Spaltentstehung, des folgenden Druckabfalls im Zwischenraum (4) und des darauffolgenden Andrückens der Druckglocke (1) mit Druckaufbau solange wiederholt wird, bis das anzudrückende Bauteil (3) durch das Verfahren nicht wei­ ter angedrückt werden kann.
2. The method according to claim 1, wherein
  • - A gap between the seal ( 11 ) and the component to be pressed ( 3 ) can arise, so that the excess pressure (p1) in the inter mediate space ( 4 ) drops,
  • - After the overpressure (p1) has dropped, the pressure bell ( 1 ) is pressed against the component ( 3 ) to be pressed by the force (F2), so that the gap is closed and the overpressure (p1) is built up again.
  • - The process of gap formation, the following pressure drop in the intermediate space ( 4 ) and the subsequent pressing of the pressure bell ( 1 ) with pressure build-up is repeated until the component to be pressed ( 3 ) cannot be pressed further by the method.
3. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die Dichtung (11) aus Kunststoff besteht.3. A method for pressing flat components according to one of claims 1 or 2, wherein the seal ( 11 ) consists of plastic. 4. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 1-3, bei dem die Form der Dichtung (11) so gestaltet ist, daß sie auf den äußeren Rand des anzudrückenden Bauteils (3) abge­ stimmt ist.4. A method for pressing flat components according to any one of claims 1-3, wherein the shape of the seal ( 11 ) is designed so that it is on the outer edge of the component to be pressed ( 3 ) is true. 5. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 1-4,
  • - bei dem sich die Kraft (F2) und eine vom Überdruck (p1) auf die Druckglocke (1) maximal ausgeübte Kraft (F2') betrags­ mäßig annähernd entsprechen.
5. A method for pressing flat components according to one of claims 1-4,
  • - At which the force (F2) and a maximum force (F2 ') exerted by the excess pressure (p1) on the pressure bell ( 1 ) correspond approximately to each other.
6. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 1-5,
  • - bei dem die verschiebbare Vorrichtung (2) mit einem Gas­ druck (p2) beaufschlagt ist, der über eine Kolbenfläche (A2) eine Kraft (F2) auf auf die Druckglocke (1) ausübt.
6. A method for pressing flat components according to one of claims 1-5,
  • - In which the displaceable device ( 2 ) with a gas pressure (p2) is applied, which exerts a force (F2) on the pressure bell ( 1 ) via a piston surface (A2).
7. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 1-6, bei dem die Bewegungsrichtung der Druckglocke (1) durch eine oder mehrere Führungen (7) bestimmt ist.7. A method for pressing flat components according to one of claims 1-6, wherein the direction of movement of the pressure bell ( 1 ) is determined by one or more guides ( 7 ). 8. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 1-7, bei dem zwischen verschiebbarer Vorrichtung (2) und Druckglocke (1) eine bewegliche Kupplung (8) angebracht ist.8. A method for pressing flat components according to one of claims 1-7, in which a movable coupling ( 8 ) is attached between the displaceable device ( 2 ) and pressure bell ( 1 ). 9. Vorrichtung zum Andrücken flächiger Bauteile, bestehend aus
  • - einer Druckglocke (1), die an ihrem Rand eine umlaufende Dichtung (11) aufweist, so daß durch Aufsetzen der Dichtung (11) auf ein anzudrückendes Bauteil (3) ein Zwischenraum (4) herstellbar ist, und dieser mittels einer Gaszuleitung (12) durch die Druckglocke (1) mit einem Überdruck (p1) beauf­ schlagbar ist,
  • - einer verschiebbaren Vorrichtung (2), die die Druckglocke (1) abstützt, wobei von der verschiebbaren Vorrichtung (2) eine bestimmte Kraft (F2) auf die Druckglocke (1) ausübbar ist.
9. Device for pressing flat components, consisting of
  • - A pressure bell ( 1 ), which has a circumferential seal ( 11 ) at its edge, so that an intermediate space ( 4 ) can be produced by placing the seal ( 11 ) on a component ( 3 ) to be pressed, and this by means of a gas supply line ( 12 ) an overpressure (p1) can be applied through the pressure bell ( 1 ),
  • - A displaceable device ( 2 ) which supports the pressure bell ( 1 ), wherein a certain force (F2) can be exerted on the pressure bell ( 1 ) by the displaceable device ( 2 ).
10. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 9, bei dem die Dichtung (11) aus Kunststoff besteht.10. A method for pressing flat components according to one of claims 9, wherein the seal ( 11 ) consists of plastic. 11. Verfahren zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 9 oder 10, bei dem die Form der Dichtung (11) so gestaltet ist, daß sie auf den äußeren Rand des anzudrückenden Bauteils (3) abge­ stimmt ist.11. A method for pressing flat components according to one of claims 9 or 10, wherein the shape of the seal ( 11 ) is designed so that it is on the outer edge of the component to be pressed ( 3 ) is true. 12. Vorrichtung zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 9-11, bei dem sich die Kraft (F2) und eine vom Überdruck (p1) auf die Druckglocke (1) maximal ausgeübte Kraft (F2') betrags­ mäßig annähernd entsprechen.12. Device for pressing flat components according to one of claims 9-11, in which the force (F2) and a maximum force (F2 ') exerted by the excess pressure (p1) on the pressure bell ( 1 ) correspond approximately to the amount. 13. Vorrichtung zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 8-12, bei dem die verschiebbare Vorrichtung (2) mit einem Gasdruck (p2) beaufschlagbar ist, der über eine Kolbenfläche (A2) eine Kraft (F2) auf auf die Druckglocke (1) ausübt.13. Device for pressing flat components according to one of claims 8-12, in which the displaceable device ( 2 ) can be acted upon with a gas pressure (p2) which exerts a force (F2) on the pressure bell ( 1 ) exercises. 14. Vorrichtung zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 8-13,
  • - bei der die Bewegungsrichtung der Druckglocke (1) durch eine oder mehrere Führungen (7) bestimmt ist.
14. Device for pressing flat components according to one of claims 8-13,
  • - In which the direction of movement of the pressure bell ( 1 ) is determined by one or more guides ( 7 ).
15. Vorrichtung zum Andrücken flächiger Bauteile nach einem der Ansprüche 8-14,
  • - bei dem zwischen verschiebbarer Vorrichtung (2) und Druckglocke (1) eine bewegliche Kupplung (8) angebracht ist.
15. Device for pressing flat components according to one of claims 8-14,
  • - In which a movable coupling ( 8 ) is attached between the displaceable device ( 2 ) and pressure bell ( 1 ).
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DE10349167A1 (en) * 2003-10-22 2005-05-19 Marconi Communications Gmbh Method for bonding a circuit component to a circuit carrier

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