DE19735747C1

DE19735747C1 - Rotary X=ray tube

Info

Publication number: DE19735747C1
Application number: DE1997135747
Authority: DE
Inventors: Heinrich Dr Behner; Peter Rother; Peter Dr Schardt
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1997-08-18
Filing date: 1997-08-18
Publication date: 1999-04-01
Anticipated expiration: 2017-08-19

Abstract

The X-ray tube includes a getter arrangement arranged in a vacuum casing, which is heated by an electron ray (5) emitted by an electron emitter (3) arranged in the casing (2). The electron ray is diverted (6), and is alternatively directed on an anode (4) arranged in the casing for generating X-rays, or on the getter arrangement for its heating. Two separately operable electron emitters may be provided in the casing, whereby the electron ray of the one emitter is directed on the anode for generating X-rays, and the electron ray of the other emitter is directed on the getter arrangement. The getter arrangement is arranged in the area of the anode, or on the anode itself.

Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhre mit einer in einem evakuierten Gehäuse angeordneten Gettereinrichtung.The invention relates to an X-ray tube with one in one evacuated housing arranged getter device.

Röntgenröhren werden mit Gettereinrichtungen ausgerüstet, um ein ausreichendes Vakuum sicherzustellen, welches für einen ordnungsgemäßen Betrieb der Röntgenröhre erforderlich ist. Die Gettereinrichtung ist in der Lage, in dem abgeschlosse nen, evakuierten Gehäuse eventuell vorhandene oder im Betrieb auftretende Restgase, die für eine Verschlechterung des Vaku ums verantwortlich sind, zu absorbieren und so das erforder liche Vakuum aufrecht zu halten. Bei bekannten Röntgenröhren ist die Gettereinrichtung im Bereich des kathodenseitigen Elektronenemitters, beispielsweise der Wolframwendel oder dergleichen angeordnet. Um die Gettereinrichtung zum Pumpen anzuregen, ist es erforderlich, diese auf eine Mindestbe triebstemperatur zu erwärmen. Zu diesem Zweck sind bei be kannten Röntgenröhren entsprechende Versorgungsleitungen parallel zu den den Elektronenemitter versorgenden Leitungen nach außen geführt. Vor der eigentlichen Installation der Röntgenröhre wird nun das Gehäuse abgepumpt, wonach die Get tereinrichtung aktiv durch Stromdurchgang geheizt und erwärmt wird. Bei Installation der Röntgenröhre wird die Stromzufüh rung auf der Kathodenseite gekappt, das heißt, die Getterein richtung ist insoweit aktiv nicht mehr erwärmbar. Die Min destbetriebstemperatur wird im Betrieb der Röntgenröhre je weils erreicht, das heißt, die Pumpwirkung kann während des Röntgenbetriebs aufrechterhalten werden. Nun besteht aber das Problem, daß mit zunehmender Pumpzeit eine Oberflächensätti gung auftritt, das heißt, die absorbierende Getteroberfläche ist mit absorbierten Gasmolekülen belegt, so daß die Pumpwir kung nur noch minderwertig oder nicht mehr vorhanden ist. Zwar ist es bekannt, daß die Gettereinrichtung durch eine starke Erwärmung über die Mindestbetriebstemperatur hinaus wieder reaktiviert werden kann, was dazu führt, daß die ab sorbierten Gasmoleküle ins Innere der Gettereinrichtung be ziehungsweise des Gettermaterials wandern. Bei bekannten Röntgenröhren, bei denen eine aktive Gettererwärmung bedingt durch das Unterbrechen der Stromzuführung nicht mehr möglich ist, sind hierzu aufwendige Umbaumaßnahmen erforderlich, da die Röntgenröhre entsprechend ausgebaut werden muß, wonach die Getterstromzuführung erneut installiert und nach Beendi gung die Röntgenröhre wieder eingebaut werden muß.X-ray tubes are equipped with getter devices ensure a sufficient vacuum, which for a proper operation of the x-ray tube is required. The getter device is able to in the locked Any evacuated housing that may be present or in operation residual gases that occur, leading to a deterioration in the vacuum to be responsible, to absorb and so the required maintain vacuum. With known X-ray tubes is the getter device in the area of the cathode Electron emitters, for example the tungsten filament or the like arranged. Around the getter device for pumping to stimulate, it is necessary to minimize this to warm the operating temperature. For this purpose, be knew X-ray tubes of corresponding supply lines parallel to the lines supplying the electron emitter led to the outside. Before actually installing the X-ray tube is now pumped out of the housing, after which the Get Tereinrichtung actively heated and heated by passage of electricity becomes. When the X-ray tube is installed, the power supply Capped on the cathode side, that is, the getterein To this extent, the direction can no longer be heated. The min The minimum operating temperature is dependent on the operation of the X-ray tube Weil reached, that is, the pumping action can be during the X-ray operation can be maintained. But now there is Problem that with increasing pumping time a surface saturation tion occurs, that is, the absorbent getter surface is covered with absorbed gas molecules, so that the pumpwir is inferior or no longer exists. It is known that the getter device is replaced by a strong warming beyond the minimum operating temperature can be reactivated, which leads to the ab sorbed gas molecules inside the getter device migrate to the getter material. At acquaintances X-ray tubes that require active getter heating no longer possible by interrupting the power supply elaborate conversion measures are necessary because the X-ray tube must be expanded accordingly, after which the getter power supply is reinstalled and after completion the X-ray tube must be installed again.

Aus der JP 01-32 07 47 A ist eine Drehanoden-Röntgenröhre be kannt, welche eine innerhalb des Vakuumgehäuses angeordnete, mit einem Heizstrom direkt beheizbare Gettereinrichtung auf weist und somit im wesentlichen dem oben beschriebenen Stand der Technik entspricht.From JP 01-32 07 47 A is a rotating anode X-ray tube knows which one arranged inside the vacuum housing, getter device which can be directly heated with a heating current points and thus essentially the state described above corresponds to the technology.

Auch die JP 03-26 10 55 A betrifft eine Röntgenröh re mit einer elektrisch beheizbaren Gettereinrichtung.JP 03-26 10 55 A also relates to an X-ray tube re with an electrically heated getter device.

Aus der JP 09-21 32 49 A ist eine Drehanoden-Röntgenröhre be kannt, deren Gettereinrichtung durch die Strahlungswärme der Anode auf ihre Arbeitstemperatur gebracht werden soll.From JP 09-21 32 49 A is a rotating anode X-ray tube knows whose getter by the radiant heat of Anode should be brought to its working temperature.

Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, eine Röntgen röhre anzugeben, die eine einfache reaktivierbare Getterein richtung aufweist.The invention is therefore based on the problem of an x-ray Specify tube that is a simple reactivable getter has direction.

Zur Lösung dieses Problems ist bei einer Röntgeneinrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Gettereinrichtung mittels eines Elektronenstrahls, der von einem im Gehäuse angeordneten Elektronenemitter emittiert wird, erwärmbar ist.To solve this problem is with an x-ray device of the type mentioned in the invention provided that the getter device by means of an electron beam, the emitted by an electron emitter arranged in the housing becomes heatable.

Die erfindungsgemäße Röntgenröhre ermöglicht es, aktiv die Gettereinrichtung mittels eines im Gehäuse angeordneten Elek tronenemitters zu erwärmen, wobei dies zu jedem beliebigen Zeitpunkt erfolgen kann, so daß eine stetige Reaktivierbar keit der Gettereinrichtung gegeben ist.The X-ray tube according to the invention makes it possible to actively Getter device by means of an electronics arranged in the housing to heat tronenemitters, doing this to any Time can be done so that a continuous reactivability speed of the getter device is given.

Abhängig von dem jeweiligen Röhrentyp ergeben sich unter schiedliche Modifikationen. Gemäß einer ersten Ausführungs form der Erfindung kann erfindungsgemäß vorgesehen sein, daß der Elektronenstrahl ablenkbar und wahlweise zum Erzeugen von Röntgenstrahlen auf eine im Gehäuse angeordnete Anode oder zum Erwärmen der Gettereinrichtung auf diese richtbar ist. Bei dieser Röntgenröhre, beispielsweise einer Drehkolben röhre, ist also ein entsprechendes Strahlablenksystem vorhan den, welches es ermöglicht, den Elektronenstrahl innerhalb der um die Drehachse rotierenden Röntgenröhre entsprechend zu führen und abzulenken, so daß es möglich ist, ihn wahlweise auf die Anode zur Erzeugung der Röntgenstrahlen oder aber auf die Gettereinrichtung zu richten, um diese zu reaktivieren. Bei dieser Ausführungsform kommt also lediglich ein Elektro nenemitter, also die Kathode, zum Einsatz, welche multifunk tional sowohl zum Erzeugen der Röntgenstrahlen wie auch zum Reaktivieren der Gettereinrichtung dient.Depending on the respective tube type, the result under different modifications. According to a first embodiment form of the invention can be provided according to the invention that the electron beam can be deflected and optionally to generate X-rays on an anode arranged in the housing or for heating the getter device can be aimed at this. In this X-ray tube, for example a rotary lobe tube, there is a corresponding beam deflection system in place the one that allows the electron beam inside corresponding to the X-ray tube rotating around the axis of rotation lead and distract so that it is possible to choose it on the anode for generating the X-rays or else direct the getter device in order to reactivate it. In this embodiment, only one electric comes nenemitter, i.e. the cathode, which multifunk tional both for generating the X-rays and for Reactivating the getter device is used.

Alternativ dazu kann die Erfindung auch bei Röntgenröhren ohne entsprechendem Ablenksystem eingesetzt werden. In diesem Fall kann erfindungsgemäß vorgesehen sein, daß im Gehäuse zwei separat betreibbare Elektronenemitter vorgesehen sind, wobei der Elektronenstrahl des einen Emitters zum Erzeugen von Röntgenstrahlen auf eine im Gehäuse angeordnete Anode und der Elektronenstrahl des anderen Emitters zum Erwärmen der Gettereinrichtung auf diese gerichtet ist. Bei diesem Röhren typ, beispielsweise einer Drehanodenröhre, ist der von dem ersten kathodenseitigen Elektronenemitter emittierte Elektro nenstrahl nicht ablenkbar, sondern trifft lediglich unter entsprechender Fokussierung auf die beispielsweise teller artige Drehanode. Das heißt, er selbst kann nicht zur Get tereinrichtungserwärmung verwendet werden. Zu diesem Zweck ist ein zweiter Elektronenemitter vorgesehen, der ausschließ lich zur Gettererwärmung dient und separat zum ersten Elek tronenemitter betreibbar ist. Gespeist können beide Emitter selbstverständlich über die gleiche Leistungsversorgung wer den, so daß hier keinerlei aufwendige Versorgungsmaßnahmen zu treffen sind. Alternatively, the invention can also be used with X-ray tubes can be used without an appropriate deflection system. In this Case can be provided according to the invention that in the housing two separately operable electron emitters are provided, wherein the electron beam of the one emitter for generation of X-rays onto an anode arranged in the housing and the electron beam from the other emitter to heat the Getter device is aimed at this. With this tube type, for example a rotating anode tube, is that of the first electron emitter emitted on the cathode side the beam is not deflectable, but only hits under appropriate focus on, for example, plates like rotating anode. That is, he himself cannot get to it device heating can be used. To this end a second electron emitter is provided, which excludes is used for getter heating and separately for the first elec tronenemitter is operable. Both emitters can be fed of course about the same power supply who the, so that here no expensive supply measures are meeting.

Die Gettereinrichtung selbst kann erfindungsgemäß im Bereich der oder an der Anode selbst angeordnet sein, also entweder in einem anodennahen Bereich oder direkt an der Anode. Dies ist zweckmäßig, da der emittierte Elektronenstrahl feldbe dingt in Richtung der Anode gerichtet ist. Zweckmäßigerweise kann die Gettereinrichtung in einer Ausnehmung oder Durchbre chung der Anode angeordnet sein.According to the invention, the getter device itself can be in the range the or on the anode itself, so either in an area close to the anode or directly on the anode. This is useful because the emitted electron beam feldbe things are directed towards the anode. Conveniently can the getter device in a recess or breakthrough Chung the anode.

Je nach Röhrentyp bestehen nun unterschiedliche Möglichkeiten der lokalen Anordnung der Gettereinrichtung. Erfindungsgemäß kann die Gettereinrichtung oder die diese aufnehmende Ausneh mung oder Durchbrechung zentral in oder bezüglich der Mitte oder außerhalb der Mitte der tellerartigen Anode angeordnet sein. Vor allem bei Röntgenröhren mit einer Ablenkmöglichkeit des Elektronenstrahls, also beispielsweise bei Drehkolbenröh ren, wird die Gettereinrichtung zweckmäßigerweise anodenmit tig angeordnet, da der Elektronenstrahl bei abgeschaltetem Ablenksystem geradlinig auf die Anode in deren Mitte auf trifft. Das heißt, daß mit besonderem Vorteil bei dieser Röh renart ein wahlweises Erwärmen der Gettereinrichtung allein durch Abschalten des Ablenksystems erreicht werden kann. Natürlich kann die Gettereinrichtung auch außermittig ange ordnet sein, da bedingt durch die Ablenkbarkeit der Elektro nenstrahl entsprechend ausrichtbar ist. Im Falle von anderen Röhrentypen, beispielsweise von Drehanodenröhren, ist die An ordnung der Gettereinrichtung letztlich abhängig vom konkre ten Röhrenaufbau. Da in der Regel der erste Elektronenemitter benachbart zum Randbereich des Anodentellers angeordnet ist, kann die Gettereinrichtung und der zugehörige zweite Elektro nenemitter wahlweise anodenmittig oder dezentral dazu ange ordnet sein. Bei dezentraler Anordnung der Gettereinrichtung beziehungsweise der Ausnehmung oder der Durchbrechung können auch mehrere Gettereinrichtungen oder Ausnehmungen bezie hungsweise Durchbrechungen vorgesehen sein. In diesem Fall werden beispielsweise bei Drehanodenröhren die Gettereinrich tungen während der Anodenrotation am feststehenden Elektro nenstrahl vorbeigeführt, wobei es sich bei Drehkolbenröhren mit einer oder mehreren dezentralen Gettereinrichtungen ähn lich verhält. Alternativ zur Anordnung mehrerer Getterein richtungen kann erfindungsgemäß die Gettereinrichtung auch im wesentlichen ringförmig um die Mitte der Anode verlaufend an geordnet sein, wodurch sich eine große Getterfläche erzielen läßt.There are different options depending on the tube type the local arrangement of the getter device. According to the invention the getter device or the receptacle receiving it Central or opening in or with respect to the center or arranged outside the center of the plate-like anode be. Especially with X-ray tubes with a deflection option of the electron beam, for example in rotary piston tubes ren, the getter device is expediently anode arranged because the electron beam is switched off Deflection system straight on the anode in the middle meets. This means that this Röh is particularly advantageous renart an optional heating of the getter alone can be achieved by switching off the deflection system. Of course, the getter device can also be off-center be orderly because of the distractibility of the electrical system can be aligned accordingly. In the case of others Tube types, for example of rotating anode tubes, is the An order of the getter ultimately depends on the specific tube structure. As a rule, the first electron emitter is arranged adjacent to the edge area of the anode plate, can the getter device and the associated second electro Nenemitter optionally attached to the anode or decentrally to be in order. With a decentralized arrangement of the getter device or the recess or the opening also refer to several getter devices or recesses breakthroughs may be provided. In this case become the getter device for example with rotating anode tubes during the anode rotation on the fixed electro guided by, where it is with rotary lobe tubes with one or more decentralized getter devices Lich behaves. As an alternative to arranging multiple getters According to the invention, the getter device can also move in essentially ring-shaped around the center of the anode be ordered, which results in a large getter area leaves.

Als besonders zweckmäßig hat es sich erwiesen, wenn erfin dungsgemäß die Lage der Gettereinrichtung an oder bezüglich der Anode derart gewählt ist, daß die Gettereinrichtung durch die im Betrieb der Röntgenröhre warme Anode auf eine Mindest betriebstemperatur erwärmbar ist. Diese Lagebestimmung ist problemlos möglich, da das Temperaturprofil der Anode im Be trieb bestimmbar ist, so daß die Lage so gewählt werden kann, daß die im Betrieb warme Anode die Gettereinrichtung stets auf der für eine hinreichende Pumpwirkung erforderlichen Min destbetriebstemperatur hält. Dies gilt sowohl bei unmittelba rer Anordnung der Gettereinrichtung an der Anode wie auch bei einer gegebenenfalls etwas beabstandeten Anordnung zur Anode, wobei in diesem Fall die Erwärmung indirekt durch Wärmestrah lung erfolgt.It has proven particularly useful if inventions in accordance with the location of the getter device on or with respect the anode is chosen such that the getter device through the warm anode during operation of the X-ray tube to a minimum operating temperature is heated. This orientation is possible without any problems, since the temperature profile of the anode in the Be drive can be determined so that the location can be selected that the anode, which is warm during operation, is always the getter device on the min. required for a sufficient pumping effect operating temperature. This applies to both immediately rer arrangement of the getter on the anode as well a possibly somewhat spaced arrangement to the anode, in which case the heating is indirect through heat radiation development takes place.

In weiterer Erfindungsausgestaltung kann vorgesehen sein, daß die Gettereinrichtung eine mit dem Elektronenstrahl beschieß bare Getterplatte und ein Gettermaterial umfaßt, welches durch die sich während des Elektronenbeschusses erwärmende Getterplatte erwärmbar ist, wobei zweckmäßigerweise das Get termaterial direkt an der der beschießbaren Plattenseite gegenüberliegenden Plattenseite angeordnet ist. Die Getter platte dient hier mit besonderem Vorteil zum Schutz des eigentlichen Gettermaterials, da dieses bei unmittelbarem Elektronenbeschuß abgetragen beziehungsweise verdampfen würde. Neben einer direkten Anordnung des Gettermaterials kann dieses auch beabstandet zur Getterplatte selbst angeord net sein, solange gewährleistet ist, daß ein hinreichender Wärmefluß von der durch den Beschuß erwärmten Getterplatte zum Gettermaterial sichergestellt ist. Als Gettermaterial kann zweckmäßigerweise eine Zirkonium-Legierung verwendet werden, wobei aber auch andere Gettermaterialien, z. B. auf der Basis von Thorium, Tantal, Niob oder Titan eingesetzt werden können.In a further embodiment of the invention it can be provided that the getter device bombarded one with the electron beam bare getter plate and a getter material, which due to the heating up during the electron bombardment Getter plate is heated, the Get expediently Term material directly on the bombardable plate side opposite plate side is arranged. The getters plate is used here to protect the actual getter material, since this with immediate Electron bombardment removed or evaporate would. In addition to a direct arrangement of the getter material this can also be arranged at a distance from the getter plate itself be as long as it is guaranteed that a sufficient Heat flow from the getter plate heated by the bombardment to getter material is ensured. As getter material can conveniently use a zirconium alloy are, but other getter materials, e.g. B. on based on thorium, tantalum, niobium or titanium can be.

Gemäß einer zweckmäßigen weiteren Ausgestaltung des Erfin dungsgedankens kann vorgesehen sein, daß an der Getterplatte Befestigungseinrichtungen, insbesondere in Form von mit die ser gegebenenfalls einstückigen Vorsprüngen oder dergleichen vorgesehen sind, mittels welcher die Getterplatte an der Anode befestigbar ist. Diese Ausgestaltung ist insbesondere bei Drehkolbenröhren mit zentral am Anodenteller angebrachter Gettereinrichtung von Vorteil, da in Verlängerung der Get tereinrichtung das Pumpkapillar angeordnet ist, über welches die Röntgenröhre erstmalig evakuiert wird. Durch die Anord nung der Befestigungseinrichtungen, beispielsweise in Form der Vorsprünge, wird ein Luftdurchtritt durch die Zentralboh rung des Anodentellers trotz eingesetzter Gettereinrichtung ermöglicht, so daß ein Abpumpen nach wie vor möglich ist. Da bei können erfindungsgemäß die Befestigungseinrichtungen in ihrer Größe und/oder Material in Abhängigkeit des zur Erwär mung der Gettereinrichtung auf die Mindesttemperatur erfor derlichen Wärmeflusses von der Anode zur Getterplatte gewählt sein. Die Getterplatte, gegebenenfalls auch die Befestigungs einrichtungen können zweckmäßigerweise aus Edelstahl beste hen. According to an expedient further embodiment of the Erfin thought can be provided that on the getter plate Fastening devices, in particular in the form of with the water optionally integral protrusions or the like are provided, by means of which the getter plate on the Anode is attachable. This configuration is special in the case of rotary lobe tubes with a centrally attached one on the anode plate Getter device is an advantage because it extends the Get the pump capillary is arranged, via which the X-ray tube is evacuated for the first time. By the arrangement tion of the fastening devices, for example in the form the protrusions, an air passage through the Zentralboh tion of the anode plate despite the getter device used enables so that pumping is still possible. There at the fastening devices according to the invention in their size and / or material depending on the heating the getter device to the minimum temperature heat flow from the anode to the getter plate be. The getter plate, if necessary also the fastening furnishings can best be made of stainless steel hen.

Erfindungsgemäß kann der auf die Gettereinrichtung gerichtete Elektronenstrom in Abhängigkeit von der gewünschten Erwär mungstemperatur und/oder der Erwärmungszeit der Getterein richtung gewählt oder wählbar sein.According to the invention, the one directed towards the getter device Electron current depending on the desired heating temperature and / or the warming time of the getter direction selected or selectable.

Da für das Reaktivieren die Höhe der im Rahmen des Elektro nenbeschusses erzielten Erwärmungstemperatur der Getterein richtung ausschlaggebend ist, sieht eine zweckmäßige Weiter bildung des Erfindungsgedankens vor, daß eine Einrichtung zum Messen der Erwärmungstemperatur der Gettereinrichtung vor gesehen ist, wozu zweckmäßigerweise ein Strahlungspyrometer verwendet werden kann.As for reactivating the amount of the electrical bombardment achieved the heating temperature of the getter direction is decisive, sees an appropriate continuation education of the inventive concept that a device for Measure the heating temperature of the getter device is seen, for what purpose a radiation pyrometer can be used.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung er geben sich aus den im folgenden beschriebenen Ausführungsbei spielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:Further advantages, features and details of the invention he result from the implementation described below play as well as based on the drawings. Show:

Fig. 1 eine Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Rönt genröhre in Form einer Drehkolbenröhre, Fig. 1 is a sectional view of a Rönt genröhre invention in the form of a rotary tube,

Fig 2 eine Teilaufsicht auf den Anodenteller mit daran angebrachter Gettereinrichtung, und 2 shows a partial view of the anode plate with the getter device attached thereto, and

Fig. 3 eine Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Rönt genröhre in Form einer Drehanodenröhre. Fig. 3 is a sectional view of an X-ray tube according to the invention in the form of a rotating anode tube.

Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Röntgenröhre 1, bestehend aus einem Gehäuse 2 mit darin angeordneter Kathode mit einem Elektronenemitter 3 und einer tellerartigen Anode 4. Die Röntgenröhre 1 ist um die Drehachse D drehbar. Mittels des Elektronenemitters ist ein Elektronenstrahl 5 emittierbar, der feldbedingt auf die Anode 4 gerichtet ist. Zum Ablenken des Elektronenstrahls 5 längs einer gekrümmten Bahn 6 ist ein Ablenksystem 7 vorgesehen. Fig. 1 shows an X-ray tube 1 according to the invention, consisting of a housing 2 having disposed therein a cathode with an electron emitter 3 and a plate-like anode 4. The x-ray tube 1 can be rotated about the axis of rotation D. An electron beam 5 can be emitted by means of the electron emitter and is directed onto the anode 4 due to the field. A deflection system 7 is provided for deflecting the electron beam 5 along a curved path 6 .

In einer zentralen Ausnehmung 8 der tellerartigen Anode 4 ist eine Gettereinrichtung 9 angeordnet, bestehend aus einer Get terplatte 10 und einem an dieser direkt angebrachten Getter material 11. Die Gettereinrichtung 9 dient zum Absorbieren etwaiger nach dem Evakuieren der Röntgenröhre 1 vorhandener oder im Betrieb entstehender Restgase. Während des Betriebs der Röntgenröhre 1, das heißt, wenn also Röntgenstrahlen er zeugt werden, wozu der Elektronenstrahl 5 auf den Anodentel ler trifft, wird die Gettereinrichtung 9 beziehungsweise das Gettermaterial 11 über die sich während der Röntgenstrah lenerzeugung erwärmende Anode 4 auf eine Mindestbetriebstem peratur erwärmt. Mit zunehmender Pumpzeit tritt aber eine Sättigung des Gettermaterials ein, das heißt, etwaige weitere entstehende Restgase können nicht oder nur minderwertig ab sorbiert werden. Um die Gettereinrichtung 9 reaktivieren zu können, das heißt, ihr das ursprüngliche Pumpvermögen wieder zu verleihen, wird der vom Elektronenemitter 3 emittierte Elektronenstrahl 5 gemäß der geradlinigen Bahn 12 auf die Getterplatte 10 gerichtet, was dazu führt, daß sich diese be dingt durch den Elektronenbeschuß erwärmt. Die Erwärmungstem peratur ist höher als die Mindestbetriebstemperatur, das heißt, auch das Gettermaterial 11 erwärmt sich deutlich stär ker. Dies führt dazu, daß die oberflächlich absorbierten Gas moleküle in das Innere wandern und die Oberfläche erneut Restgase absorbieren kann. Um dem Elektronenstrahl 5 längs der Bahn 12 zu führen, ist es bei der erfindungsgemäßen Röhre nur erforderlich, das Ablenksystem auszuschalten. Nach er folgter Reaktivierung kann dann der normale Röhrenbetrieb wieder beginnen. Die Reaktivierung ist wahlweise und reversi bel, das heißt, die Gettereinrichtung 9 kann jederzeit reak tiviert werden.In a central recess 8 of the plate-like anode 4 , a getter device 9 is arranged, consisting of a get terplatte 10 and a getter material 11 directly attached thereto. The getter device 9 is used to absorb any residual gases that are present after evacuation of the X-ray tube 1 or that arise during operation. During the operation of the X-ray tube 1 , that is, if X-rays are generated, for which the electron beam 5 strikes the anode plate, the getter device 9 or the getter material 11 is heated to a minimum operating temperature via the anode 4 which heats up during the X-ray generation . As the pumping time increases, however, the getter material becomes saturated, which means that any other residual gases that are formed cannot be absorbed, or can only be absorbed inferiorly. In order to be able to reactivate the getter device 9 , that is to give it the original pumping capacity again, the electron beam 5 emitted by the electron emitter 3 is directed onto the getter plate 10 in accordance with the linear path 12 , which leads to this being caused by the electron bombardment warmed up. The heating temperature is higher than the minimum operating temperature, that is, the getter material 11 also heats up significantly more strongly. This leads to the fact that the superficially absorbed gas molecules migrate into the interior and the surface can again absorb residual gases. In order to guide the electron beam 5 along the path 12 , it is only necessary for the tube according to the invention to switch off the deflection system. After reactivation, the normal tube operation can then begin again. The reactivation is optional and reversible, that is, the getter device 9 can be reactivated at any time.

Wie Fig. 2 zeigt, ist die Getterplatte 10 mittig in der Durchbrechung 8 der Anode 4 angeordnet. Da unmittelbar in Verlängerung der Durchbrechung 8 das Pumpkapillar 13 angeord net ist, über welches die Röntgenröhre 1 evakuiert wird, ist es erforderlich, eine Möglichkeit des Gasdurchtritts vom Ge häuseinneren zum Pumpkapillar 13 zu realisieren. Zu diesem Zweck sind an der Getterplatte 10 Befestigungseinrichtungen 14 in Form der Vorsprünge vorgesehen, mittels welcher die Getterplatte 10 an der Anode 4 befestigt, beispielsweise festgeschweißt wird.As shown in FIG. 2, the getter 10 is arranged centrally in the aperture 8 of the anode 4. Since the pump capillary 13 is arranged directly in the extension of the opening 8 , via which the X-ray tube 1 is evacuated, it is necessary to realize a possibility of gas passage from the interior of the housing to the pump capillary 13 . For this purpose, fastening devices 14 in the form of the projections are provided on the getter plate 10 , by means of which the getter plate 10 is fastened, for example welded, to the anode 4 .

Schließlich zeigt Fig. 3 eine weitere erfindungsgemäße Rönt genröhre 15. Auch diese weist eine Kathode 16 mit einem Elek tronenemitter 17 und eine Anode 18 auf, wobei der Elektro nenemitter 17 einen Elektronenstrahl 27 zum Erzeugen der Röntgenstrahlung emittiert. Bei dieser in Fig. 3 gezeigten Röhrenform handelt es sich um eine Drehanodenröhre, das heißt, das Gehäuse 19 der Röntgenröhre 15 ist feststehend, wohingegen die Anode 18 durch entsprechende Lagerungsmittel 20 drehbar gelagert ist. An der Anode 18 ist auch hier eine Gettereinrichtung 21 vorgesehen, die auch hier aus einer Get terplatte 23 und dem direkt an dieser angebrachten Getter material 24 besteht. Die Gettereinrichtung 21 ist in einer Ausnehmung 25 der Anode 18 angeordnet. Ferner ist im Gehäuse ein zweiter Elektronenemitter 22 im Bereich der Kathode 16 angeordnet, welcher beispielsweise ebenfalls über die ent sprechende Leistungsversorgung des ersten Elektronenemitters 17 betreibbar und entsprechend schaltbar ist. Dieser zweite Elektronenemitter 22 emittiert ebenfalls einen Elektronen strahl 26, welcher zum Erwärmen der Gettereinrichtung 21, die während des Rotationsbetriebs der Anode 18 kontinuierlich an dem Elektronenemitter 22 vorbeirotiert, dient. Auf diese Weise ist es möglich, die Gettereinrichtung 21 auf die erfor derliche Reaktivierungstemperatur zu erwärmen. Neben der Anordnung nur einer Gettereinrichtung 21 können selbstver ständlich auch mehrere solcher Gettereinrichtungen anodensei tig vorgesehen sein.Finally, FIG. 3 shows another X-ray tube 15 according to the invention. This also has a cathode 16 with an electron emitter 17 and an anode 18 , the electron nenemitter 17 emitting an electron beam 27 for generating the X-rays. With this in Fig. 3 shown tubular shape is a rotating anode tube, that is, the housing 19 of the X-ray tube 15 is fixed, whereas the anode 18 by corresponding support means 20 is rotatably mounted. At the anode 18 , a getter device 21 is also provided here, which also consists of a get terplatte 23 and the getter material 24 directly attached to it. The getter device 21 is arranged in a recess 25 of the anode 18 . Furthermore, a second electron emitter 22 is arranged in the region of the cathode 16 , which can also be operated, for example, via the corresponding power supply of the first electron emitter 17 and can be switched accordingly. This second electron emitter 22 also emits an electron beam 26, which serves for heating the getter device 21, which continuously rotates past the electron emitter 22 during the rotational operation of the anode 18th In this way, it is possible to heat the getter device 21 to the required reactivation temperature. In addition to the arrangement of only one getter device 21 , of course, several such getter devices can be provided on the anode side.

Claims

1. X-ray tube, with a getter device arranged in an evacuated housing, characterized in that the getter device ( 9 , 21 ) by means of an electron beam ( 5 , 26 ) which is arranged by an electron emitter ( 3 , 19 ) arranged in the housing ( 2 , 19 ) 22 ) is emitted, is heatable.

2. X-ray tube according to claim 1, characterized in that the electron beam ( 5 ) from steerable ( 6 , 12 ) and optionally for generating X-rays to an arranged in the housing ( 2 ) anode ( 4 ) or for heating the getter device ( 9 ) can be aimed at this.

3. X-ray tube according to claim 1, characterized in that two separately operable electron emitters ( 17 , 22 ) are provided in the housing ( 19 ), the electron beam ( 27 ) of an emitter ( 17 ) for generating X-rays on one in the housing ( 19 ) arranged anode ( 18 ) and the electron beam ( 26 ) of the other emitter ( 22 ) for heating the getter device ( 21 ) is directed to this ge.

4. X-ray tube according to one of the preceding claims, characterized in that the get tereinrichtung ( 9 , 21 ) in the region of or on the anode ( 4 , 18 ) itself is arranged.

5. X-ray tube according to claim 4, characterized in that the getter device ( 9 , 21 ) in a recess ( 8 , 25 ) or opening of the anode ( 4 , 18 ) is arranged.

6. X-ray tube according to claim 4 or 5, characterized in that the getter device ( 9 , 21 ) or this receiving recess ( 8 , 25 ) or by refraction centrally in or with respect to the center or outside the center of the plate-like anode ( 4 , 18th ) is arranged.

7. X-ray tube according to claim 6, characterized ge indicates that several decentrally arranged Getter devices or recesses or openings are provided.

8. X-ray tube according to claim 4 or 5, characterized in that the getter device is arranged substantially annularly around the center of the anode ( 18 ).

9. X-ray tube according to one of claims 4 to 8, characterized in that the position of the getter device ( 9 , 21 ) on or with respect to the anode ( 4 , 18 ) is selected such that the getter device ( 9 , 21 ) by the warm anode ( 4 , 18 ) can be heated to a minimum operating temperature during operation of the X-ray tube.

10. X-ray tube according to one of the preceding claims, characterized in that the get tereinrichtung ( 9 , 21 ) with the electron beam ( 5 , 26 ) bombardable getter plate ( 10 , 23 ) and a getter material ( 11 , 24 ), which by the getter plate ( 10 , 23 ) which can be heated during the electron bombardment.

11. X-ray tube according to claim 10, characterized in that the getter material ( 11 , 24 ) is arranged directly on the bombardable plate side opposite the plate side.

12. X-ray tube according to claim 10 or 11, characterized in that on the getter plate ( 10 ) fasteners ( 14 ), in particular in the form of protrusions or the like which may be integral therewith are provided by means of which the getter plate ( 10 ) on the Can be attached to ode ( 4 ).

13. X-ray tube according to claim 12, characterized in that the fastening devices ( 14 ) in size and / or material depending on the temperature required for heating the getter device ( 9 ) to the minimum operating temperature heat flow from the anode ( 4 ) to the getter plate ( 10 ) are selected.

14. X-ray tube according to one of claims 10 to 13, characterized in that the getter plate ( 10 , 23 ) and optionally also the fastening devices ( 14 ) are made of stainless steel.

15. X-ray tube according to any one of the preceding claims, characterized in that which is on the getter (9, 21) directed electron current in dependence on the desired heating temperature and / or the heating time of the getter (9, 21) is selected or selectable.

16. X-ray tube according to one of the preceding claims, characterized in that an on Direction for measuring the heating temperature of the getter direction is provided.

17. X-ray tube according to claim 16, characterized ge indicates that the device is a beam is a pyrometer.