DE19722870C2 - Gas-lubricated mechanical seal - Google Patents

Gas-lubricated mechanical seal

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DE19722870C2 DE1997122870 DE19722870A DE19722870C2 DE 19722870 C2 DE19722870 C2 DE 19722870C2 DE 1997122870 DE1997122870 DE 1997122870 DE 19722870 A DE19722870 A DE 19722870A DE 19722870 C2 DE19722870 C2 DE 19722870C2
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Description

Die Erfindung betrifft eine gasgeschmierte Gleitringdichtung mit einem Gasfluidfilm zur Abdichtung eines Fluids in einem Raum zwischen einem stationären und einem sich drehenden Element, insbesondere zwischen einem Maschinengehäuse und einer in diesem sich drehenden Welle, bestehend aus einem stationärem Ringkörper, der die rotierende Welle koaxial umschließt und der gegen die rotierende Welle axial beweglich gehaltert ist, sowie einem mitbewegten Ringkörper, der die rotierende Welle koaxial umschließt und der starr mit dieser verbunden ist, wobei beide Ringkörper jeweils eine Dichtfläche aufweisen und diese Dichtflächen eine Dichtung bilden, und wobei eine der Dichtflächen mit spiralförmig sich vom äußeren Rand in das Innere der Dichtfläche erstreckenden Mikronuten versehen ist, die jeweils von einer Vorderkante, einer Hinterkante und einer konzentrisch zur rotierenden Welle verlaufenden Innenkante begrenzt werden, wobei die Vorderkante jeder Mikronut jeweils einen Schnittpunkt mit der Innenkante aufweist, dessen zwei Tangenten zusammen einen Winkel von mehr als 90 Grad bilden, während die Hinterkante jeweils einen Schnittpunkt mit der Innenkante aufweist, dessen zwei Tangenten zusammen einen Winkel von weniger als 90 Grad bilden, und wobei den Mikronuten ein aus Strömungskanälen für das Gasfluid bestehendes Gasführungssystem zugeordnet ist.The invention relates to a gas-lubricated Mechanical seal with a gas fluid film for sealing of a fluid in a space between a stationary and a rotating element, especially between one Machine housing and one rotating in it Shaft consisting of a stationary ring body, the encloses the rotating shaft coaxially and the against the rotating shaft is axially movable, and a moving ring body, the rotating shaft coaxially encloses and rigidly connected to this is, both ring bodies each have a sealing surface have and these sealing surfaces form a seal, and wherein one of the sealing surfaces with a spiral from outer edge extending into the interior of the sealing surface Micro grooves is provided, each by one Leading edge, a trailing edge and one concentric to the rotating shaft extending inner edge limited with the leading edge of each micro groove each has an intersection with the inner edge, the  two tangents together an angle of more than 90 degrees form while the rear edge each one Has intersection with the inner edge, the two Tangents together form an angle of less than 90 degrees form, and wherein the micro grooves one of flow channels assigned to the gas fluid existing gas routing system is.

Rotierende Gasdichtungen dieser Art, allgemein als gasgeschmierte Gleitringdichtung bezeichnet, sind aus der US PS 5.556.111 bekannt und werden häufig für die Abdichtung von Antriebswellen verwendet. Bei diesen bekannten Dichtungen bewirkt die Verdichtung eines gasförmigen zu dichtenden Prozeßfluids den Aufbau eines hydrostatischen bzw. hydrodynamischen Gasfluidfilms zwischen zwei Dichtflächen und erzeugt so einen stabilen Mikrodichtspalt, der einen berührungsfreien und verschleißfreien Lauf der Dichtflächen ermöglicht und der zugleich eine zuverlässige Abdichtung des Prozeßfluids bewirkt. Infolge des Druckes einer oder mehrerer Federn sowie des Druckes des Prozeßfluids werden die Dichtfläche eines Gleitringes und die Dichtfläche eines mit diesem zusammenwirkenden Gegenringes so weit gegeneinander gepreßt, bis sich diese nahezu berühren. Eine kritische Berührung, die zum Entstehen von Reibungshitze und zu Verschleiß führen würde, wird dabei jedoch durch das Vorhandensein spiralförmiger Mikronuten in der Dichtfläche eines der beiden Ringkörper vermieden. Diese Mikronuten verlaufen vom äußeren Durchmesser der Dichtfläche dieses Ringkörpers zu einem inneren Durchmesser, der größer ist als der innere Durchmesser des Ringkörpers selbst.Rotating gas seals of this type, commonly called gas-lubricated mechanical seal, are from the US PS 5,556,111 known and are often used for Sealing of drive shafts used. With these known seals causes the compression of a gaseous process fluid to be sealed the structure of a hydrostatic or hydrodynamic gas fluid film between two sealing surfaces and thus creates a stable Micro sealing gap, which is a non-contact and allows wear-free running of the sealing surfaces and the at the same time a reliable sealing of the process fluid causes. Due to the pressure of one or more springs and the pressure of the process fluid become the sealing surface of a slide ring and the sealing surface of one with this cooperating counter ring so far against each other pressed until they almost touch. A critical one Touch that causes frictional heat and too Wear would result, however, by Presence of spiral micro grooves in the Avoided sealing surface of one of the two ring bodies. This Micro grooves run from the outer diameter of the Sealing surface of this ring body to an inner one Diameter that is larger than the inner diameter of the ring body itself.

Die spiralförmigen Mikronuten bewirken mit Hilfe des zu dichtenden Prozeßfluids den Aufbau eines Gasfluidfilms sobald sich die Dichtflächen nahezu berühren. Wird dieser Punkt erreicht, so entsteht durch den Gasfluidfilm eine hydrodynamische Kraft, die dem Druck der Feder und des Druckfluids entgegengerichtet ist und die die Dichtflächen auseinanderdrückt und dadurch voneinander separiert. Die Dichtflächen befinden sich in einem Gleichgewichtszustand, wenn der Feder- und Fluiddruck gleich der vom Fluidfilm erzeugten hydrodynamschischen Kraft sind, was einer Breite des Dichtspaltes von etwa 5 bis 10 µm entspricht. Dabei entweicht zwar eine geringe Menge des Gasfluids, andererseits wird aber auf diese Weise eine Berührung vermieden, die ansonsten zu Verschleiß und Reibungshitze führen würde.The spiral micro grooves use the to sealing process fluid the construction of a gas fluid film as soon as the sealing surfaces almost touch. Will this When the point is reached, the gas fluid film creates one hydrodynamic force, the pressure of the spring and the  Pressure fluid is opposite and the Sealing surfaces pressed apart and thereby apart separated. The sealing surfaces are in one Equilibrium state when the spring and fluid pressure equal to the hydrodynamic generated by the fluid film Force are what a width of the sealing gap of about 5 corresponds to 10 µm. A small one escapes Amount of gas fluid, on the other hand, is based on this Way avoided a touch that would otherwise Wear and friction heat would result.

Ein derartiges berührungs- und verschleißfrei arbeitendes Dichtungssystem kann bei sehr hohen Wellendrehzahlen und sehr hohen Kompressionsdrücken eingesetzt werden, die weit über dem Anwendungsbereich herkömmlicher Gleitringdichtungen liegen können. Weitere berührungsfreie und verschleißfreie Spiralnutendichtungen dieser Art sind aus den US PSen 3.499.653, 3.704.019 und 4.212.475 sowie der DE 43 03 050 A1 bekannt geworden.Such a non-contact and wear-free working Sealing system can operate at very high shaft speeds and very high compression pressures are used far beyond the scope of conventional Mechanical seals can lie. Further non-contact and wear-free spiral groove seals of this type are known from US Pat. Nos. 3,499,653, 3,704,019 and 4.212.475 and DE 43 03 050 A1 have become known.

Voraussetzung für das zuverlässige Funktionieren eines solchen berührungs- und verschleißfrei arbeitenden Dichtungssystems ist der hydrodynamische Aufbau eines stabilen Mikrodichtspalts. Allerdings verursacht, wie erwähnt, der kontaktfreie, ohne Berührung und Verschleiß der Dichtflächen erfolgende Lauf aber stets eine geringfügige Emission des zu dichtenden Gasfluids. Eine Minimierung dieser Emission kann zwar durch Reduzierung der Spaltbreite erreicht werden, andererseits erhöht sich dabei aber das Risiko einer Berührung der beiden Dichtflächen.Prerequisite for the reliable functioning of a such non-contact and wear-free working Sealing system is the hydrodynamic structure of a stable micro sealing gap. However, how mentions the non-contact, without touch and wear but the sealing surfaces always run one slight emission of the gas fluid to be sealed. A This emission can be minimized by reducing it the gap width can be reached, on the other hand increases but the risk of touching the two Sealing surfaces.

Die Definition der Weite dieses Dichtspaltes, bei der eine Berührung zuverlässig vermieden wird, erfordert die Berücksichtigung mehrerer Faktoren, wie Fertigungspräzision, Stabilität des Gasfluidfilms, Steifigkeit der Ringkörper, Geometrie der Mikronuten, Druck des Gasfluids, Rotationsgeschwindigkeit und Dimensionierung der einzelnen Dichtungskomponenten. Nur wenn die Summe all dieser Faktoren unter Berücksichtigung identischer Bedingungen hinsichtlich Druck, Umfangsgeschwindigkeit und Dimensionierung zu einem möglichst geringen aber stabilen Dichtspalt führt, der einen berührungsfreien Lauf gewährleistet, wird eine zuverlässige Gasdichtung bei zugleich minimaler Emission erreicht.The definition of the width of this sealing gap at which a contact is reliably avoided, requires Taking into account several factors such as Manufacturing precision, stability of the gas fluid film, Rigidity of the ring body, geometry of the micro grooves, Pressure of the gas fluid, rotational speed and  Dimensioning of the individual sealing components. Just when considering the sum of all these factors identical conditions regarding pressure, Circumferential speed and dimensioning in one leads to the smallest possible but stable sealing gap that ensures a contact-free run reliable gas seal with minimal emission reached.

Eine besondere Schwierigkeit in dem Bemühen, eine minimale Emission bei gleichzeitiger Vermeidung der Berührung der Dichtflächen zu erreichen, resultiert aus der Tatsache, daß jede spiralförmige Mikronut selbst eine spezifische Druckdifferenz erzeugt, die zu einer Verformung der Dichtflächen führt. Dieser Effekt hat unterschiedliche Dichtspaltbreiten zur Folge, die, wenn eine Berührung vermieden werden soll, zwangsläufig höhere Emissionswerte des Prozeßfluids verursachen. Diese asymmetrischen Druckverläufe entstehen dadurch, daß sich unter gewissen Umständen in jeder einzelnen Mikronut das Druckprofil während der Rotation verändert. Zum einen ist die Anzahl möglicher Mikronuten auf einer Dichtfläche begrenzt, zum anderen ist der Druck an den Hinterkanten der Mikronuten höher als an deren Vorderkanten. Dadurch entstehen gleich viele Bereiche hohen wie niedrigen Gasfluiddrucks, wobei die Bereiche mit höherem Druck zu einem breiteren Dichtspalt und die Bereiche niedrigen Drucks zu einem schmaleren Dichtspalt führen. Das Ergebnis dieser Druckdifferenzen ist eine Deformation der Dichtflächen und der Ringkörper.A particular difficulty in trying to get one minimal emission while avoiding the Reaching touching the sealing surfaces results from the fact that each spiral micro groove is itself a specific pressure difference that leads to a Deformation of the sealing surfaces leads. This has an effect different sealing gap widths, which if a touch should be avoided, necessarily higher Cause emission values of the process fluid. This asymmetrical pressure profiles arise from the fact that under certain circumstances in every single micro groove Pressure profile changed during rotation. For one thing the number of possible micro grooves on a sealing surface the pressure on the rear edges is limited of the micro grooves are higher than at the front edges. Thereby there are as many areas as high as low Gas fluid pressure, the areas with higher pressure too a wider sealing gap and the areas low Pressure lead to a narrower sealing gap. The The result of these pressure differences is a deformation of the Sealing surfaces and the ring body.

Andererseits erhöht eine Minimierung der Dichtspaltbreite das Risiko einer Berührung der Dichtflächen. Während der außerhalb der Dichtflächen, d. h. am Außendurchmesser sowie am Innendurchmesser der Ringkörper, herrschende Gasfluiddruck nahezu identisch ist und kaum Druckunterschiede aufweist, steigt der Druck zur Mitte der Dichtflächen hin an und erreicht den höchsten Wert im Mittelteil der Dichtfläche.On the other hand, minimizing the sealing gap width increases the risk of touching the sealing surfaces. During the outside the sealing surfaces, d. H. on the outside diameter as well as on the inner diameter of the ring body Gas fluid pressure is almost identical and hardly If there are pressure differences, the pressure rises to the center  of the sealing surfaces and reaches the highest value in Middle part of the sealing surface.

Eine Lösung dieses Problems könnte theoretisch durch eine Erhöhung der Anzahl der Mikronuten erreicht werden, wobei diese wesentlich dichter aneinandergereiht werden müßten, um damit die Druckdifferenz zwischen der Vorder- und Hinterkante der Mikronuten zu verringern. Eine solche Lösung hätte aber zur Folge, daß das Vorhandensein zu vieler Mikronuten auf einer Dichtfläche deren wirksamen Bereich stark reduzieren würde, so daß eine Stabilisierung zwischen den Dichtflächen während der Rotation nicht mehr möglich wäre und damit ein unerwünschter Kompressionseffekt entstünde. Dieser Effekt entsteht bei hohen Drehzahlen eines rotierenden Ringkörpers, der auf einer sich drehenden Welle angebracht ist und der aus Gründen der Fertigungstoleranz nicht exakt rechtwinklig zur Rotationsachse dieser Welle verläuft. Derartige Abweichungen bewirken eine axiale Oszillation des Ringkörpers.Theoretically, a solution to this problem could be provided by a Increase in the number of micro-grooves can be achieved, whereby these should be lined up much closer together, so that the pressure difference between the front and Reduce the trailing edge of the micro grooves. Such The solution would have the consequence that the existence many micro grooves on a sealing surface their effective Would greatly reduce the area so that a Stabilization between the sealing surfaces during the Rotation would no longer be possible and thus one undesirable compression effect would arise. This effect arises at high speeds of a rotating Annular body on a rotating shaft is attached and for reasons of manufacturing tolerance not exactly at right angles to the axis of rotation of this shaft runs. Such deviations cause an axial Oscillation of the ring body.

Wegen der hohen Frequenz dieser Oszillationsbewegungen kann kein vollständiger Ausgleich des Druckfluids innerhalb des Dichtspalts mehr erfolgen, da das Gasfluid in diesen Bereich kontinuierlich ein- bzw. ausgepumpt werden muß, um einen stabilen Gasfluidfilm aufrecht zu erhalten. Statt dessen wird aufgrund des Kompressionseffektes bei hohen Oszillationsfrequenzen dieselbe Gasfluidmenge ständig komprimiert und wieder entspannt, da wegen der kurzen Intervalle der Veränderungen des Dichtspalts nicht genügend Zeit für ein Entweichen des Gasfluids verbleibt. Dieser Kompressionseffekt entsteht auf den mikronutfreien Dammbereichen einer Dichtfläche sowie in den Verbindungsbereichen zwischen den einzelnen Mikronuten. Wenn sich die Breite des Dichtspalts halbiert, muß sich der Gegendruck verdoppeln, um eine Berührung der Dichtflächen zu verhindern, was voraussetzt, daß die Dichtfläche breit genug dimensioniert sein muß, um ein Entweichen des Gasfluids und damit eine Emission weitgehend zu minimieren.Because of the high frequency of these oscillations cannot fully balance the pressure fluid within the sealing gap more because the gas fluid pumped in and out of this area continuously must be maintained to maintain a stable gas fluid film receive. Instead, due to the Compression effect at high oscillation frequencies the same amount of gas fluid constantly compressed and again relaxed because of the short intervals of the Changes in the sealing gap are not enough time for one Escape of the gas fluid remains. This Compression effect occurs on the micro groove free Dam areas of a sealing surface and in the Connection areas between the individual micro grooves. If the width of the sealing gap halves, must double the back pressure to touch the To prevent sealing surfaces, which presupposes that the  Sealing surface must be dimensioned wide enough to accommodate a Escape of the gas fluid and thus an emission to minimize as much as possible.

Eine zu große Anzahl von Mikronuten bewirkt jedoch zugleich eine Reduzierung der Verbindungsflächen zwischen den Nutabständen, was ein Entweichen des Gasfluides in die Spiralnuten zur Folge hat und auf diese Weise zu einer Berührung der Dichtflächen führt. Infolgedessen dürfen sowohl eine gewisse Weitendimensionierung sowie die Abstände und Anzahl der Mikronuten nicht unterschritten bzw. nicht überschritten werden.Too large a number of micro-grooves, however, causes at the same time a reduction in the connecting areas between the groove spacing, resulting in gas gas leakage which results in spiral grooves and in this way touching the sealing surfaces. Consequently may both have a certain size and the distances and number of micro grooves are not fall below or not be exceeded.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Dichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß sie auf der gesamten Dichtfläche eine gleichbleibend optimale Druckverteilung gewährleistet und so ein extrem geringes Maß an Reibung und Verschleiß mit minimalen Emissionswerten vereint.The object of the invention is to provide a seal of the beginning mentioned type so that they are on the whole Sealing surface a consistently optimal pressure distribution guaranteed and so an extremely low level of friction and wear combined with minimal emissions.

Die Erfindung löst diese Aufgabe indem sie vorsieht, daß bei einer gasgeschmierten Gleitringdichtung gemäß dem Oberbegriff die Strömungskanäle, die das Gasführungssystem für das Gasfluid bilden, eine größere Tiefe als die Mikronuten aufweisen. In gleicher Weise wird diese Aufgabe durch eine gasgeschmierte Gleitringdichtung gemäß dem Oberbegriff gelöst, bei der die Strömungskanäle von ringförmigen fingerartigen Verlängerungen der Mikronuten gebildet werden, die jeweils am Innenwinkel der Hinterkante beginnen und die in Verlängerung der Innenkante verlaufen.The invention solves this problem by providing that with a gas lubricated mechanical seal according to Generic term the flow channels that the Form gas routing system for the gas fluid, a larger one Depth than the micro grooves. In the same way this task is gas-lubricated Mechanical seal solved according to the preamble in which the flow channels of annular finger-like Extensions of the micro grooves are formed start at the inside angle of the rear edge and the extend in the inner edge.

Die erfindungsgemäße Ausbildung des Gasführungssystems bewirkt, daß Bereiche niedrigen Drucks, die sich bei der Rotation infolge aerodynamisch bedingter Aktivitäten der spiralförmigen Mikronuten bilden, kontinuierlich mit hinreichenden Mengen des Gasfluids versorgt werden. Die das Gasführungssystem bildenden Strömungspassagen stellen aufgrund ihrer erfindungsgemäßen Ausbildung während des Betriebs zwischen den Zonen niedrigen Drucks und solchen hohen Drucks einen symmetrischen Ausgleich her, der eine Teilberührung der Dichtflächen ausschließt und damit das Entstehen von Reibungswärme und Verschleiß verhindert. Das hierfür benötigte Gasfluid mit höherem Druck stammt dabei aus dem Prozeßbereich und kann sowohl der Peripherie der Dichtung entnommen werden als auch von den Mikronuten im Dichtspalt selbst erzeugt werden.The inventive design of the gas routing system causes low pressure areas that are at the Rotation due to aerodynamic activities of the Form spiral micro-grooves, continuously with sufficient quantities of the gas fluid are supplied. The the flow passages forming the gas routing system due to their inventive training during the  Operation between the zones of low pressure and those high pressure a symmetrical compensation, the one Excludes partial contact of the sealing surfaces and thus that Prevents the generation of frictional heat and wear. The gas fluid required for this comes at a higher pressure thereby from the process area and can both Periphery of the seal can be taken as well from the Micro grooves can be created in the sealing gap itself.

Die Strömungskanäle nehmen aufgrund ihrer erfindungsgemäßen Ausbildung das Ausdehnunsvolumen des Gasfluids auf, bevor es über den Dammbereich entweicht. Dabei kann Mithilfe der Bemessung der Tiefe der Strömungskanäle der beschriebene Temperaturmechanismus so gesteuert werden, daß das Gasfluid wesentlich länger im Bereich des Dichtspaltes verbleibt.The flow channels take on account of their training according to the invention the expansion volume of Gas fluids before it escapes over the perineal area. You can do this by measuring the depth of the Flow channels the temperature mechanism described so can be controlled that the gas fluid much longer in The area of the sealing gap remains.

Zwar ist auch bereits aus der US PS 3.804.424 eine flüssigkeitsgedichtete Gleitringdichtung mit spiralförmigen Nuten in der Dichtfläche bekannt geworden, bei der Passagekanäle für das Druckfluid vorgesehen sind, die tiefer als die Spiralnuten eingebracht sind, jedoch handelt es sich bei dieser bekannten Dichtung insofern um eine andere Gattung, als sich bei dieser Anordnung die Spiralnuten nicht bis zum äußeren Rand des Dichtringes erstrecken, sondern jeweils durch einen Damm von diesem getrennt sind.One is already from the US PS 3,804,424 liquid-sealed mechanical seal with spiral grooves in the sealing surface have become known, in which passenger channels are provided for the pressure fluid, which are deeper than the spiral grooves, however this known seal is so far a different genus than in this arrangement Spiral grooves not to the outer edge of the sealing ring extend, but each through a dam from this are separated.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Es zeigen:The invention is based on the in Drawing illustrated embodiments closer are explained. Show it:

Fig. 1a in einer Axial- Seitenansicht eine gasgeschmierte Gleitringdichtung mit Gasfluidfilm in einem Tandemaufbau, Fig. 1a in an axial side view of a gas-lubricated mechanical seal with gas fluid film in a tandem configuration,

Fig. 1b eine Teilansicht der Anordnung gemäß Fig. 1a, FIG. 1b is a partial view of the arrangement according to Fig. 1a,

Fig. 2 eine Draufsicht entlang der Schnittlinie 2-2 in Fig. 1a auf die Dichtfläche eines Ringkörpers im Antriebsbuchsensitz mit spiralförmigen Mikronuten und isobarem Druckverlauf, Fig. 2 is a plan view taken along section line 2-2 in Fig. 1a onto the sealing surface of an annular body in the drive bushing seat with helical microgrooves and isobaric pressure curve,

Fig. 3 eine Dichtfläche mit spiralförmigen Mikronuten und Strömungspassagen in Draufsicht, Fig. 3 is a sealing face with spiral micro-grooves and flow passages in plan view,

Fig. 4 eine Teilansicht entlang der Schittlinie 4-4 in Fig. 3, Fig. 4 is a partial view taken along the Schittlinie 4-4 in Fig. 3,

Fig. 5 eine Dichtfläche mit spiralförmigen Mikronuten und verlängerten Strömungspassagen in Draufsicht, Fig. 5 shows a sealing surface having helical microgrooves and elongated flow passages in plan view,

Fig. 6 eine Dichtfläche mit spiralförmigen Mikronuten und umlaufendem Stömungskanal in Draufsicht, Fig. 6 shows a sealing surface having helical microgrooves and circulating Stömungskanal in plan view,

Fig. 7 eine Dichtfläche mit spiralförmigen Mikronuten mit radialen Strömungspassagen in Draufsicht, Fig. 7 shows a sealing surface having helical microgrooves with radial flow passages in plan view,

Fig. 8 eine Teilansicht entlang der Schnittlinie 8-8 in Fig. 7, Fig. 8 is a partial view taken along section line 8-8 in Fig. 7,

Fig. 9 eine Dichtfläche mit spiralförmigen Mikronuten und Strömungskanal in Draufsicht, Fig. 9 is a sealing surface with helical microgrooves and flow channel in a plan view,

Fig. 10 eine Dichtfläche mit verlängerten spiralförmigen Mikronuten in Draufsicht. Fig. 10 shows a sealing surface with elongated spiral micro-grooves in plan view.

Die Fig. 1a und 1b zeigen den Aufbau und die Konstruktion einer gasgeschmierten Gleitringdichtung gemäß der Erfindung in einem Tandemaufbau, bei dem zwei identisch aufgebaute Dichtungen hintereinander liegend angeordnet sind und alle Dichtelemente zweifach vorhanden sind. Die Dichtung ist an einer rotierenden Welle 12 angebracht, die durch ein Maschinengehäuse 10 verläuft. Sie dichtet den Hochdruckbereich 14 hermetisch ab und verhindert dadurch eine Emission eines zu dichtenden Prozeßfluids in den atmosphärischen Druckbereich 16. Die Hauptkomponenten der Anordnung umfassen einen stationären Ringkörper 20 mit radial verlaufender Dichtfläche 22, die zusammen mit einer radial verlaufenden Dichtfläche 24 eines zweiten rotierenden Ringkörpers 26 eine Dichtung bilden. Der stationäre Ringkörper 20 stützt sich in einem Dichtungsgehäuse 31 verdrehsicher gegen eine Schulter 32 des Maschinengehäuses 10 und ist mit einem Verschlußdeckel 18 gegen axiale Bewegung gesichert. Eine O-Ringdichtung 28 am äußeren Umfang des Dichtungsgehäuses 31 dichtet die Trennfläche zwischen dem Dichtungsgehäuse 31 und dem Hauptgehäuse 10 ab. Zwischen dem Dichtungsgehäuse 31 und dem stationärem Ringkörper 20 ist eine Anzahl umfangsseitig gleichmäßig verteilter Spiralfedern 34 angebracht, die eine zylindrische Scheibe 36 gegen den stationären Ringkörper 20 drücken und diesen in Richtung auf den rotierenden Ringkörper 26 beaufschlagen. Die O-Ringdichtung 38 dichtet den Bereich zwischen dem stationären Ringkörper 20 und dem Dichtungsgehäuse 31 ab. Der rotierende Ringkörper 26 sitzt in einer Antriebsbuchse 40 und wird axial durch eine Klemmbuchse 42 positioniert. Beide Komponenten sind konzentrisch zur rotierenden Welle 12 ausgerichtet und sind durch ein Gewinde an der Welle 12 mit einer Überwurfmutter 46 fest gegen eine Wellenstufe 44 verschraubt. Zwei O-Ringdichtungen 48 und 50 verhindern die Emission von Gasfluid zwischen dem rotierenden Ringkörper 26 und der Antriebsbuchse 40 sowie der rotierenden Welle 12. FIGS. 1a and 1b show the construction and the construction of a gas-lubricated mechanical seal according to the invention in a tandem structure in which two identical seals are arranged one behind the other and all the sealing elements are present in duplicate. The seal is attached to a rotating shaft 12 that passes through a machine housing 10 . It hermetically seals the high-pressure region 14 and thereby prevents an emission of a process fluid to be sealed into the atmospheric pressure region 16 . The main components of the arrangement comprise a stationary ring body 20 with a radially running sealing surface 22 , which together with a radially running sealing surface 24 of a second rotating ring body 26 form a seal. The stationary ring body 20 is supported in a seal housing 31 against rotation against a shoulder 32 of the machine housing 10 and is secured with a closing cover 18 against axial movement. An O-ring seal 28 on the outer circumference of the seal housing 31 seals the separating surface between the seal housing 31 and the main housing 10 . Between the seal housing 31 and the stationary ring body 20 , a number of spiral springs 34 are uniformly distributed on the circumferential side, which press a cylindrical disk 36 against the stationary ring body 20 and press it in the direction of the rotating ring body 26 . The O-ring seal 38 seals the area between the stationary ring body 20 and the seal housing 31 . The rotating ring body 26 is seated in a drive bush 40 and is positioned axially by a clamping bush 42 . Both components are aligned concentrically to the rotating shaft 12 and are screwed tightly against a shaft step 44 by means of a thread on the shaft 12 with a union nut 46 . Two O-ring seals 48 and 50 prevent the emission of gas fluid between the rotating ring body 26 and the drive bush 40 and the rotating shaft 12 .

Während der Rotation der Welle 12 bilden die beiden radial verlaufenden Dichtflächen 22 und 24 zusammen mit den spiralförmigen Mikronuten 30 des Ringkörpers 26 einen hydrodynamischen Mikrodichtspalt 60. Die spiralförmigen Mikronuten können dabei selbstverständlich auch im stationären Ringkörper 20 angebracht sein. Mit Hilfe dieses Mikrodichtspalts 60 wird eine Reibung und somit das Entstehen von Wärme und Abriebverschleiß bei hohen Drehzahlen und Drücken verhindert, wie dies ausführlich in den US-PSen 3.499.653, 3.704.019 und 4.212.475 beschrieben ist.During the rotation of the shaft 12 , the two radially running sealing surfaces 22 and 24 together with the spiral micro-grooves 30 of the ring body 26 form a hydrodynamic micro-sealing gap 60 . The spiral micro-grooves can of course also be arranged in the stationary ring body 20 . With the aid of this micro sealing gap 60 , friction and thus the generation of heat and abrasion wear at high speeds and pressures is prevented, as is described in detail in US Pat. Nos. 3,499,653, 3,704,019 and 4,212,475.

Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die Dichtfläche 24 des rotierenden Ringkörpers 26, der in der Antriebsbuchse 40 mit einem Antriebsmechanismus 41 und 42 angeordnet ist und der mit spiralförmigen Mikronuten 30 versehen ist. Zugleich zeigt diese Figur in Form von Linien gleichen Drucks oder Isobaren den Druckverlauf zwischen den Dichtflächen im Dichtspalt 60. Vergleichbare Druckverläufe wie der in Fig. 2 dargestellte entstehen, wenn die unbemusterte Dichtfläche 22 entgegen den Uhrzeigersinn über die mit spiralförmigen Mikronuten 30 versehene Dichtfläche 24 hinweggleitet. Bei dieser Bewegung überquert ein Punkt auf der rotierenden Oberfläche bei seiner Bewegung über die Mikronuten 30 zunächst die Vorderkante 35; danach erreicht dieser Punkt, sich entgegen dem Uhrzeigersinn drehend und entsprechend der in Fig. 2 gezeigten Situation, die Hinterkante 33 der Mikronute 30. Die Mikronute 30 ist dabei durch die Vorderkante 35, die Hinterkante 33 sowie durch eine ringförmig verlaufende Innenkante 37 begrenzt. FIG. 2 shows a top view of the sealing surface 24 of the rotating ring body 26 , which is arranged in the drive bush 40 with a drive mechanism 41 and 42 and which is provided with spiral micro-grooves 30 . At the same time, this figure shows the pressure curve between the sealing surfaces in the sealing gap 60 in the form of lines of the same pressure or isobars. Comparable pressure profiles such as that shown in FIG. 2 arise when the unpatterned sealing surface 22 slides counterclockwise over the sealing surface 24 provided with spiral micro-grooves 30 . During this movement, a point on the rotating surface first crosses the front edge 35 as it moves over the micro-grooves 30 ; thereafter this point, rotating counterclockwise and corresponding to the situation shown in FIG. 2, reaches the rear edge 33 of the micro groove 30 . The micro groove 30 is delimited by the front edge 35 , the rear edge 33 and an annular inner edge 37 .

Die Isobarenlinien auf der Dichtfläche veranschaulichen die Charakteristik des Druckverlaufs, der durch den Kompressionseffekt des Gasfluids entsteht. Die Trennlinie zwischen Bereichen niedrigeren und höheren Dichtdrucks ist durch die Isobare 58 gekennzeichnet. Diese umgibt die Isobare 54 und verläuft zu beiden Seiten der Hinterkante 33 der Mikronute 30, wobei die Drücke beider Isobaren über dem umgebenden Dichtdruck liegen. Die Isobare 56 hingegen, deren Druck unterhalb des umgebenden Dichtdrucks liegt, verläuft von der Vorderkante 35 der Mikronute 30 kommend über den Dammbereich zwischen zwei der Mikronuten 30. Die in dieser Figur dargestellte Druckverteilung entsteht aufgrund der vektoriellen Fließdynamik des Gasfluids.The isobaric lines on the sealing surface illustrate the characteristic of the pressure curve, which is created by the compression effect of the gas fluid. The dividing line between areas of lower and higher sealing pressure is marked by the Isobare 58 . This surrounds the isobar 54 and runs on both sides of the rear edge 33 of the micro groove 30 , the pressures of both isobars being above the surrounding sealing pressure. The isobar 56, on the other hand, the pressure of which lies below the surrounding sealing pressure, runs from the front edge 35 of the micro groove 30 over the perineal area between two of the micro grooves 30 . The pressure distribution shown in this figure arises due to the vectorial flow dynamics of the gas fluid.

Im Gegensatz zur Hinterkante 33 der Mikronute 30 entweicht das Gasfluid an der Vorderkante 35 der Mikronute 30 über zwei Routen: Zum einen über die Innenkante 37 der Mikronute 30, wo der Druck geringer ist, zum anderen, nach außen gerichtet, über die Hinterkante 33 der Mikronute 30, während neues Gasfluid nur aus dem einen Zufluß von außen her peripheral einströmen kann.In contrast to the rear edge 33 of the micro groove 30, the gas fluid escapes at the front edge 35 of the micro groove 30 via two routes: firstly via the inner edge 37 of the micro groove 30 , where the pressure is lower, and secondly, directed outwards, via the rear edge 33 of the Micro groove 30 , while new gas fluid can only flow in from the outside in a peripheral manner.

An der Hinterkante 33 der Mikronute 30 fließt das Gasfluid dagegen nur in Richtung auf die Innenkante 37 in den Bereich mit höherem Fuiddruck, während der Zufluß des Gasfluids einmal von der Vorderkante 35 und einmal von der Peripherie des Außendurchmessers der Mikronute 30 erfolgt. Dadurch weist die Führungskante 35 der Mikronute 30, die jeweils einem Zuflußstrom und zwei Abflußströme hat, einen wesentlich niedrigeren Druck auf als die Hinterkante 33, bei der zwei Zuflußströme nur einem Abflußstrom gegenüberstehen, was zu einem erheblich höheren Druckaufbau führt.At the rear edge 33 of the micro-groove 30 , on the other hand, the gas fluid flows only in the direction of the inner edge 37 into the region with a higher fluid pressure, while the inflow of the gas fluid takes place once from the front edge 35 and once from the periphery of the outer diameter of the micro-groove 30 . As a result, the leading edge 35 of the micro groove 30 , which each has one inflow stream and two outflow streams, has a substantially lower pressure than the trailing edge 33 , in which two inflow streams face only one outflow stream, which leads to a considerably higher pressure build-up.

Gemäß der Erfindung sind Im Bereich der Mikronuten als Gasführungssystem dienende Kanalsysteme vorgesehen, durch die die beschriebenen Druckdifferenzen so gering wie möglich gehalten werden. Diese sollen nachfolgend näher erläutert werden.According to the invention are in the field of micro grooves as Duct systems serving gas guidance system provided by the pressure differences described are as low as be kept possible. These are described below are explained.

Fig. 3 zeigt die Dichtfläche 24 eines rotierenden Ringkörpers 26 mit spiralförmigen Mikronuten 30, die durch eine Vorderkante 35, eine Hinterkante 33 sowie eine Innenkante 37 definiert sind. Der Innenkante 37 jeder Mikronute 30 gegenüberliegend verläuft ein Druckausgleichskanal 39, der eine größere Tiefe als die Mikronute 30 aufweist und der die Funktion hat, einen Druckausgleich zwischen den beiden Innenwinkeln herzustellen. FIG. 3 shows the sealing surface 24 of a rotating ring body 26 with spiral micro-grooves 30 , which are defined by a front edge 35 , a rear edge 33 and an inner edge 37 . Opposite the inner edge 37 of each micro groove 30 there is a pressure equalization channel 39 which has a greater depth than the micro groove 30 and which has the function of equalizing the pressure between the two inner angles.

Fig. 4 stellt die Schnittlinie 4-4 durch den Ringkörper 26 in den Fig. 3, 5 und Fig. 6 dar und veranschaulicht die Tiefenerstreckung der Mikronuten 30, die Begrenzung der Innenkante 37 der Mikronuten 30 sowie die Kontur des Druckausgleichskanals 39 in Relation zur Dichtfläche 24 des rotierenden Ringkörpers 26. Fig. 4 represents the section line 4-4 through the annular body 26 in FIGS. 3, 5 and Fig. 6 shows and illustrates the depth extension of the microgrooves 30, the limitation of the inner edge 37 of the microgrooves 30 and the contour of the pressure equalizing channel 39 in relation to the Sealing surface 24 of the rotating ring body 26 .

Fig. 5 zeigt in einem zweiten Ausführungsbeispiel einen verlängerten Druckausgleichskanal 39', der in Richtung der Hinterkante 33 auf die Mikronute 30 verläuft, wo ein höherer Druck herrscht. Der Druckausgleichskanal 39' erstreckt sich entlang der Innenkante 37 der Mikronute 30 über deren Hinterkante 33 hinaus und hilft, die Druckdifferenzen abzubauen. Fig. 5 shows in a second embodiment of an elongated pressure equalizing passage 39 'that extends in the direction of the trailing edge 33 to the Mikronute 30 where a higher pressure prevails. The pressure equalization channel 39 ′ extends along the inner edge 37 of the micro groove 30 beyond its rear edge 33 and helps to reduce the pressure differences.

Fig. 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel mit einem ringförmigen Druckausgleichskanal 39", der konzentrisch zur Innenkante 37 der Mikronute 30 verläuft. FIG. 6 shows an exemplary embodiment with an annular pressure compensation channel 39 ″, which runs concentrically to the inner edge 37 of the micro groove 30 .

Fig. 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel mit einem Versorgungskanal 64, durch den die Entstehung von Zonen niedrigen Drucks entlang der Vorderkante 35 und der Innenkante 37 der Mikronute 30 verhindert wird. Das zuströmende Gasfluid wird dabei von der Peripherie der Dichtfläche her kommend über den Versorgungskanal 64 zum Innenwinkel der Vorderkante 35 in die Niedrigdruckbereiche der Mikronuten 30 geleitet. FIG. 7 shows a further exemplary embodiment with a supply channel 64 , by means of which the formation of zones of low pressure along the front edge 35 and the inner edge 37 of the micro groove 30 is prevented. The inflowing gas fluid is directed from the periphery of the sealing surface via the supply channel 64 to the inside angle of the front edge 35 into the low-pressure areas of the micro-grooves 30 .

Fig. 8 zeigt eine Teilansicht entlang der Schnittlinie 8-8 gemäß Fig. 7 mit spiralförmig angeordneten Mikronuten 30, der Kontour des Versorgungskanals 64, der Vorderkante 35 und der Hinterkante 33 der Mikronuten 30. FIG. 8 shows a partial view along the section line 8-8 according to FIG. 7 with helically arranged micro grooves 30 , the contour of the supply channel 64 , the front edge 35 and the rear edge 33 of the micro grooves 30 .

Fig. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem die Bereiche niedrigeren Drucks am Innenwinkel der Vorderkante 35 der Mikronuten 30 durch einen Versorgungskanal 62 angeströmt werden. Dieser verläuft im Innern des Ringkörpers 26 in axialer Richtung, wie dies insbesondere in den Fig. 1a und 1b dargestellt ist. FIG. 9 shows a further exemplary embodiment of the invention, in which the areas of lower pressure at the inner angle of the front edge 35 of the micro grooves 30 are flowed through by a supply channel 62 . This extends in the interior of the ring body 26 in the axial direction, as is shown in particular in FIGS. 1a and 1b.

Fig. 10 zeigt in einem weiteren Ausführungsbeispiel Verlängerungen 66 jeweils am Innenwinkel der Hinterkanten 33 der Mikronuten 30. Die Anordnung ist dabei ähnlich wie in Fig. 5 gezeigt, allerdings mit dem Unterschied, daß die Tiefe dieser Verlängerungen 66 der Tiefe der Mikronuten 30 entspricht. Fig. 10 shows in a further embodiment, extensions 66, respectively on the inner angles of the rear edges 33 of the microgrooves 30th The arrangement is similar to that shown in FIG. 5, but with the difference that the depth of these extensions 66 corresponds to the depth of the micro-grooves 30 .

Claims (9)

1. Gasgeschmierte Gleitringdichtung mit einem Gasfluidfilm zur Abdichtung eines Fluids in einem Raum zwischen einem stationären und einem sich drehenden Element, insbesondere zwischen einem Maschinengehäuse und einer in diesem sich drehenden Welle, bestehend aus einem stationärem Ringkörper, der die rotierende Welle koaxial umschließt und der gegen die rotierende Welle axial beweglich gehaltert ist, sowie einem mitbewegten Ringkörper, der die rotierende Welle koaxial umschließt und der starr mit dieser verbunden ist, wobei beide Ringkörper jeweils eine Dichtfläche aufweisen und diese Dichtflächen eine Dichtung bilden, und wobei eine der Dichtflächen mit spiralförmig sich vom äußeren Rand in das Innere der Dichtfläche erstreckenden Mikronuten versehen ist, die jeweils von einer Vorderkante, einer Hinterkante und einer konzentrisch zur rotierenden Welle verlaufenden Innenkante begrenzt werden, wobei die Vorderkante jeder Mikronut jeweils einen Schnittpunkt mit der Innenkante aufweist, dessen zwei Tangenten zusammen einen Winkel von mehr als 90 Grad bilden, während die Hinterkante jeweils einen Schnittpunkt mit der Innenkante aufweist, dessen zwei Tangenten zusammen einen Winkel von weniger als 90 Grad bilden, und wobei den Mikronuten ein aus Strömungskanälen für das Gasfluid bestehendes Gasführungssystem zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle (39, 39', 39", 62, 64,) eine größere Tiefe als die Mikronuten (30) aufweisen.1.Gas-lubricated mechanical seal with a gas fluid film for sealing a fluid in a space between a stationary and a rotating element, in particular between a machine housing and a shaft rotating therein, consisting of a stationary ring body which coaxially encloses the rotating shaft and against the rotating shaft is axially movably supported, and a co-moving ring body which coaxially surrounds the rotating shaft and which is rigidly connected to it, both ring bodies each having a sealing surface and these sealing surfaces forming a seal, and one of the sealing surfaces having a spiral shape from outer edge is provided in the interior of the sealing surface extending micro-grooves, which are each delimited by a leading edge, a trailing edge and an inner edge running concentrically to the rotating shaft, the leading edge of each micro-groove each having an intersection with the inner channel te, whose two tangents together form an angle of more than 90 degrees, while the trailing edge each has an intersection with the inner edge, the two tangents together form an angle of less than 90 degrees, and wherein the micro-grooves one of flow channels for the gas fluid existing gas routing system is assigned, characterized in that the flow channels ( 39 , 39 ', 39 ", 62 , 64 ,) have a greater depth than the micro-grooves ( 30 ). 2. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von einzelnen Passagen (64) gebildet werden, die entlang der Vorderkanten (35) der Mikronuten (30) angeordnet sind.2. Gas-lubricated mechanical seal according to claim 1, characterized in that the flow channels are formed by individual passages ( 64 ) which are arranged along the front edges ( 35 ) of the micro-grooves ( 30 ). 3. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von Versorgungskanälen (62) gebildet werden, die im Innenwinkel der Vorderkanten (35) der Mikronuten (30) austreten und die mit dem Gasfluid in Verbindung stehen.3. Gas-lubricated mechanical seal according to claim 1, characterized in that the flow channels are formed by supply channels ( 62 ) which emerge in the inner angle of the front edges ( 35 ) of the micro-grooves ( 30 ) and which are connected to the gas fluid. 4. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von kreisförmigen Kanalsegmenten (39) gebildet werden, die sich über die Breite der Mikronuten (30) erstrecken und die konzentrisch zur rotierenden Welle (12) entlang der Innenkante (37) der Mikronuten (30) von deren Vorderkante (35) zur Hinterkante (33) verlaufen.4. Gas-lubricated mechanical seal according to one of claims 1 to 3, characterized in that the flow channels are formed by circular channel segments ( 39 ) which extend over the width of the micro-grooves ( 30 ) and which are concentric to the rotating shaft ( 12 ) along the inner edge ( 37 ) of the micro grooves ( 30 ) run from their front edge ( 35 ) to the rear edge ( 33 ). 5. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von kreisförmigen Kanalsegmenten (39') gebildet werden, die sich über die Breite der Mikronuten (30) erstrecken und die konzentrisch zur rotierenden Welle (12) entlang der Innenkante (37) der Mikronuten (30) von deren Vorderkante (35) über deren Hinterkante (33) hinaus verlaufen. 5. Gas-lubricated mechanical seal according to one of claims 1 to 3, characterized in that the flow channels are formed by circular channel segments ( 39 ') which extend over the width of the micro-grooves ( 30 ) and which are concentric to the rotating shaft ( 12 ) along the The inner edge ( 37 ) of the micro grooves ( 30 ) extend from their front edge ( 35 ) beyond their rear edge ( 33 ). 6. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von einem umlaufenden Ringkanal (39") gebildet werden, der entlang der Innenkante (37) angeordnet ist und der konzentrisch zur rotierenden Welle (12) verläuft.6. Gas-lubricated mechanical seal according to one of claims 1 to 3, characterized in that the flow channels are formed by a circumferential ring channel ( 39 ") which is arranged along the inner edge ( 37 ) and which is concentric with the rotating shaft ( 12 ). 7. Gasgeschmierte Gleitringdichtung mit einem Gasfluidfilm zur Abdichtung eines Fluids in einem Raum zwischen einem stationären und einem sich drehenden Element, insbesondere zwischen einem Maschinengehäuse und einer in diesem sich drehenden Welle, bestehend aus einem stationärem Ringkörper, der die rotierende Welle koaxial umschließt und der gegen die rotierende Welle axial beweglich gehaltert ist, sowie einem mitbewegten Ringkörper, der die rotierende Welle koaxial umschließt und der starr mit dieser verbunden ist, wobei beide Ringkörper jeweils eine Dichtfläche aufweisen und diese Dichtflächen eine Dichtung bilden, und wobei eine der Dichtflächen mit spiralförmig sich vom äußeren Rand in das Innere der Dichtfläche erstreckenden Mikronuten versehen ist, die jeweils von einer Vorderkante, einer Hinterkante und einer konzentrisch zur rotierenden Welle verlaufenden Innenkante begrenzt werden, wobei die Vorderkante jeder Mikronut jeweils einen Schnittpunkt mit der Innenkante aufweist, dessen zwei Tangenten zusammen einen Winkel von mehr als 90 Grad bilden, während die Hinterkante jeweils einen Schnittpunkt mit der Innenkante aufweist, dessen zwei Tangenten zusammen einen Winkel von weniger als 90 Grad bilden, und wobei den Mikronuten ein aus Strömungskanälen für das Gasfluid bestehendes Gasführungssystem zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von ringförmigen fingerartigen Verlängerungen (66) der Mikronuten (30) gebildet werden, die jeweils am Innenwinkel der Hinterkante (33) beginnen und die in Verlängerung der Innenkante (37) verlaufen.7. Gas-lubricated mechanical seal with a gas fluid film for sealing a fluid in a space between a stationary and a rotating element, in particular between a machine housing and a shaft rotating therein, consisting of a stationary ring body, which coaxially surrounds the rotating shaft and against the rotating shaft is axially movably supported, and a co-moving ring body which coaxially surrounds the rotating shaft and which is rigidly connected to it, both ring bodies each having a sealing surface and these sealing surfaces forming a seal, and one of the sealing surfaces having a spiral shape from outer edge is provided in the interior of the sealing surface extending micro-grooves, which are each delimited by a leading edge, a trailing edge and an inner edge running concentrically to the rotating shaft, the leading edge of each micro-groove each having an intersection with the inner channel te, whose two tangents together form an angle of more than 90 degrees, while the trailing edge each has an intersection with the inner edge, the two tangents together form an angle of less than 90 degrees, and wherein the micro-grooves one of flow channels for the gas fluid existing gas routing system is assigned, characterized in that the flow channels are formed by annular finger-like extensions ( 66 ) of the micro-grooves ( 30 ) which each begin at the inside angle of the rear edge ( 33 ) and extend in extension of the inside edge ( 37 ). 8. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von einzelnen Passagen (64) gebildet werden, die entlang der Vorderkanten (35) der Mikronuten (30) angeordnet sind.8. Gas-lubricated mechanical seal according to claim 7, characterized in that the flow channels are formed by individual passages ( 64 ) which are arranged along the front edges ( 35 ) of the micro-grooves ( 30 ). 9. Gasgeschmierte Gleitringdichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungskanäle von Versorgungskanälen (62) gebildet werden, die im Innenwinkel der Vorderkanten (35) der Mikronuten (30) austreten und die mit dem Gasfluid in Verbindung stehen.9. Gas-lubricated mechanical seal according to claim 7, characterized in that the flow channels are formed by supply channels ( 62 ) which emerge in the inner angle of the front edges ( 35 ) of the micro-grooves ( 30 ) and which are connected to the gas fluid.
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