DE19719834A1 - Quantitative removal of fluorinated compound from gas by sorption at moderate temperature - Google Patents

Quantitative removal of fluorinated compound from gas by sorption at moderate temperature

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Abstract

In the removal of fluorinated compound (I) causing ozone depletion and/or climate change by passing a gas stream over a solid sorbent, psi -alumina is used as sorbent and both the gas stream and the sorbent are dry, so that the fluorine (F) in (I) is bound quantitatively to the sorbent.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Reinigung von Gasen, die fluorierte Verbindungen als Verunreinigung enthalten.The invention relates to a method for cleaning of gases, the fluorinated compounds as an impurity contain.

Fluorkohlenwasserstoffe, und zwar sowohl perflorierte (FKW) wie teilfluorierte (H-FKW) und Fluorchlorkohlenwasserstoffe (FCKW und H-FCKW) werden seit Jahrzehnten als Treibmittel, Kältemittel, Bläh- und Trennmittel, Löse- und Reinigungsmittel und anderes mehr in großem Umfang eingesetzt. Ferner werden in der Industrie Schwefelhexafluorid und Stickstofftrifluorid in großen Mengen eingesetzt. Auch tragen natürliche Quellen zur Entstehung dieser Gase bei. Da sie zudem eine extrem lange atmosphärische Lebensdauer besitzen, sind diese Gase in der Luft in Spuren als Verunreinigungen enthalten. So weist die Luft beispielsweise einen Gehalt an CF4 von 80 ppt auf.Fluorocarbons, both perfluorinated (HFC) and partially fluorinated (HFC) and chlorofluorocarbons (CFC and HCFC) have been used for decades as propellants, refrigerants, blowing and release agents, solvents and cleaning agents and others more widely. Furthermore, sulfur hexafluoride and nitrogen trifluoride are used in large quantities in industry. Natural sources also contribute to the generation of these gases. Since they also have an extremely long atmospheric life, these gases are present in the air in traces as impurities. For example, the air has a CF 4 content of 80 ppt.

Bei Gasen, die kryotechnisch, also durch Luftverflüssigung und anschließende fraktionierte Destillation der verflüssigten Luft gewonnen werden, sammeln sich diese Spurenverunreinigungen in dem jeweiligen Gas mehr oder weniger stark an. Besonders hohe Verunreinigungen an diesen fluorierten Verbindungen treten naturgemäß in solchen kryotechnisch gewonnenen Gasen auf, die einerseits in der Luft nur in sehr geringer Menge vorkommen und damit entsprechend angereichert werden müssen und die andererseits durch fraktionierte Destillation nicht oder nur schwer von solchen fluorierten Verbindungen getrennt werden können, die in der Luft in besonders hoher Konzentration enthalten sind. Dies gilt insbesondere für Edelgase, und zwar vor allem für Krypton und Xenon, die in der Luft nur in einer Menge von ca. 1 × 10-4 bzw. 8 × 10-6 Vol.% vorkommen und sich andererseits beispielsweise von CF4 und SF6, die in der Luft in einer nicht unerheblichen Menge enthalten sind, durch fraktionierte Destillation nur schwer abtrennen lassen.In the case of gases which are obtained cryotechnically, i.e. by air liquefaction and subsequent fractional distillation of the liquefied air, these trace impurities accumulate to a greater or lesser extent in the respective gas. Particularly high impurities in these fluorinated compounds naturally occur in such cryogenically obtained gases which, on the one hand, only occur in very small quantities in the air and therefore have to be enriched accordingly and which, on the other hand, cannot be separated from such fluorinated compounds, or only with difficulty, by fractional distillation contained in the air in a particularly high concentration. This applies in particular to noble gases, in particular to krypton and xenon, which only occur in the air in an amount of approx. 1 × 10 -4 or 8 × 10 -6 vol.% And on the other hand, for example, from CF 4 and SF 6 , which is contained in the air in a not inconsiderable amount, is difficult to remove by fractional distillation.

Während zur Entfernung anderer Spurenverunreinigungen, wie Kohlendioxid, Kohlenmonoxid, Kohlenwasserstoffe, Wasserdampf, Sauerstoff, Stickstoff und dgl. aus einem zu reinigendem Gas wirksame Maßnahmen, wie Molekularsiebe, sogenannte Metall-Getter und dgl. zur Verfügung stehen, ist die Entfernung dieser fluorierten Verbindungen aus einem zu reinigenden Gas mit erheblichen Schwierigkeiten verbunden, da diese in der Atmosphäre sich ansammelnden Verbindungen naturgemäß extrem inert sind. Dies gilt gleichermaßen für die Nachreinigung anderer, nicht kryotechnisch hergestellte Reinstgase.While removing other trace contaminants, such as Carbon dioxide, carbon monoxide, hydrocarbons, Water vapor, oxygen, nitrogen and the like all in one cleaning gas effective measures, such as molecular sieves, so-called metal getters and the like are available the removal of these fluorinated compounds from one cleaning gas associated with considerable difficulties because these compounds accumulating in the atmosphere are naturally extremely inert. This applies equally to the subsequent cleaning of other, not cryotechnically manufactured Ultrapure gases.

Zur Entsorgung von fluorierten Kohlenwasserstoffen wird die Hochtemperaturzersetzung in der Knallgasflamme durchgeführt. Weiterhin ist es aus DE 44 04 329 A1 bekannt, fluorierte Kohlenwasserstoffe an Phyllosilikaten zu adsorbieren. Nach EP 0 412 456 A2 können Fluorkohlenwasserstoffe unter Verwendung von Wasserdampf bei einer Temperatur von etwa 600°C mit Aluminiumoxid katalytisch zu Fluor- und Chlorwasserstoff sowie CO2 und CO zersetzt werden.The high-temperature decomposition is carried out in the oxyhydrogen flame to dispose of fluorinated hydrocarbons. It is also known from DE 44 04 329 A1 to adsorb fluorinated hydrocarbons onto phyllosilicates. According to EP 0 412 456 A2, fluorocarbons can be catalytically decomposed using aluminum vapor at a temperature of about 600 ° C. with aluminum oxide to give hydrogen fluoride and hydrogen chloride as well as CO 2 and CO.

Aufgabe der Erfindung ist es, Gase, die fluorierte Verbindungen als Spurenverunreinigungen enthalten, wirksam zu reinigen. Dies wird erfindungsgemäß durch das im Anspruch 1 angegebene Verfahren erreicht. In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens wiedergegeben. The object of the invention is gases which are fluorinated Contain compounds as trace impurities, effective to clean. This is according to the invention by the Claim 1 specified method achieved. In the Advantageous embodiments of the reproduced method according to the invention.  

Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erfolgt die Reinigung von Gasen, die fluorierte Verbindungen als Spurenverunreinigungen enthalten, dadurch daß das zu reinigende Gas durch einen Sorbens aus γ-Aluminiumoxid geleitet wird.Cleaning is carried out by the process according to the invention of gases that are called fluorinated compounds Contain trace contaminants, because that too cleaning gas through a sorbent made of γ-aluminum oxide is directed.

Damit können alle in der Atmosphäre enthaltenen fluorierten Verbindungen aus dem zu reinigenden Gas entfernt werden.This means that all fluorinated in the atmosphere Connections are removed from the gas to be cleaned.

Dazu gehören insbesondere perfluorierte (FKW) oder teilfluorierte (H-FKW) gesättigte oder ungesättigte Kohlenwasserstoffe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen/Molekül, aber auch solche fluorierten Kohlenwasserstoffe, die außer mit Fluor mit anderen Halogenatomen, insbesondere mit Chlor halogeniert sind, also FCKW und zwar perhalogenierte wie teilhalogenierte, gesättigte wie ungesättigte FCKW mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen pro Molekül, Trichlorfluormethan, Dichlordifluormethan, Bromchlordifluormethan, Dibromdifluormethan, Chlortrifluormethan, Bromtrifluormethan, Tetrafluormethan, Dichlorfluormethan, Chlordifluormethan, Trifluormethan (Fluoroform), Difluormetahn (Methylenfluorid), 1,1,2,2-Tetrachlordi-fluorethan, 1,1,2-Trichlortrifluorethan, 1,2-Dichlortetrafluorethan, 1,2-Dibromtetrafluorethan, Chlorpentafluorethan, Hexafluorethan, 1,2-Dibrom-1,1- difluorethan, 2-Chlor-1,1,1-trifluorethan, 2-Chlor-1,1,1- trifluorethan, 1-Chlor-1,1-difluorethan, 1,1,1-Trifluorethan, 1,1-Difluorethan, Octafluorpropan, Octrafluorcyclobutan, Decafluorbutan, 1,1-Dichlordifluorethylen, Chlortrifluorethylen (Trifluorvinylchlorid), 1-Chlor-2,2- difluorethylen, 1,1-Difluorethylen (Vinylidenfluorid).These include in particular perfluorinated (HFC) or partially fluorinated (HFC) saturated or unsaturated Hydrocarbons with 1 to 4 carbon atoms / molecule, but also those fluorinated hydrocarbons which, besides with fluorine with other halogen atoms, especially with chlorine are halogenated, i.e. CFCs and perhalogenated like partially halogenated, saturated and unsaturated CFCs with 1 to 4 carbon atoms per molecule, trichlorofluoromethane, Dichlorodifluoromethane, bromochlorodifluoromethane, Dibromodifluoromethane, chlorotrifluoromethane, bromotrifluoromethane, Tetrafluoromethane, dichlorofluoromethane, chlorodifluoromethane, Trifluoromethane (fluoroform), difluoromethane (methylene fluoride), 1,1,2,2-tetrachlorodi-fluoroethane, 1,1,2-trichlorotrifluoroethane, 1,2-dichlorotetrafluoroethane, 1,2-dibromotetrafluoroethane, Chloropentafluoroethane, hexafluoroethane, 1,2-dibromo-1,1- difluoroethane, 2-chloro-1,1,1-trifluoroethane, 2-chloro-1,1,1- trifluoroethane, 1-chloro-1,1-difluoroethane, 1,1,1-trifluoroethane, 1,1-difluoroethane, octafluoropropane, octrafluorocyclobutane, Decafluorobutane, 1,1-dichlorodifluoroethylene, Chlorotrifluoroethylene (trifluorovinyl chloride), 1-chloro-2,2- difluoroethylene, 1,1-difluoroethylene (vinylidene fluoride).

Zur Nomenklatur sei bemerkt, daß perfluorierte Kohlenwasserstoffe mitunter auch als "FK" (Fluorkohlenstoffe) und teilfluorierte als "FKW" (Fluorkohlenwasserstoffe) bezeichnet werden. Regarding the nomenclature, it should be noted that perfluorinated Hydrocarbons sometimes as "FK" (Fluorocarbons) and partially fluorinated as "HFC" (Fluorocarbons).  

Auch können trotz ihrer Reaktionsträgheit, die sich in ihrer langen atmosphärischen Lebensdauer niederschlägt, nach dem erfindungsgemäßen Verfahren auch Tetrafluormethan (CF4) und Hexafluorethan (C2F6) aus dem zu reinigenden Gas wirksam entfernt werden. Gleiches gilt für Stickstofftrifluorid (NF3) und Schwefelhexafluorid (SF6).Despite their inertia, which is reflected in their long atmospheric life, tetrafluoromethane (CF 4 ) and hexafluoroethane (C 2 F 6 ) can also be effectively removed from the gas to be purified by the process according to the invention. The same applies to nitrogen trifluoride (NF 3 ) and sulfur hexafluoride (SF 6 ).

Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere zur Reinigung von Gasen geeignet, die aus der Luft kryotechnisch gewonnen werden, also durch Luftverflüssigung und fraktionierte Destillation der verflüssigten Luft. Dazu gehören insbesondere die Edelgase, also Helium, Neon, Argon, Krypton und Xenon, aber auch Sauerstoff und Stickstoff.The method according to the invention is in particular for Purification of gases suitable from the air can be obtained cryotechnically, i.e. by air liquefaction and fractional distillation of the liquefied air. To belong in particular to the noble gases, i.e. helium, neon, Argon, krypton and xenon, but also oxygen and Nitrogen.

Damit lassen sich diese Gase erfindungsgemäß als Reinstgase gewinnen, bei denen der Gehalt der fluorierten Verbindungen weniger als 10 ppm, vorzugsweise weniger als 1 ppm oder gar weniger als 0,1 ppm beträgt.According to the invention, these gases can thus be used as high-purity gases win where the content of fluorinated compounds less than 10 ppm, preferably less than 1 ppm or even is less than 0.1 ppm.

Der Gehalt der fluorierten Verbindung in dem zu reinigenden Gas kann dabei 100 ppm oder weniger betragen. Wie Versuche gezeigt haben, wird der Gehalt der fluorierten Verbindungen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren beim Durchtritt durch das γ-Aluminiumoxidsorbens um mindestens 99,9% reduziert und zwar selbst der des besonders reaktionsträgen CF4.The content of the fluorinated compound in the gas to be purified can be 100 ppm or less. As experiments have shown, the content of the fluorinated compounds is reduced by at least 99.9% by the process according to the invention when it passes through the γ-aluminum oxide sorbent, even that of the particularly inert CF 4 .

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können Reinstgase nachgereinigt werden, die ein Reinheit von mindestens 99,9% (= Qualitätsklasse 3.0) aufweisen. Damit ist zugleich eine Erhöhung der Qualitätsklassen möglich. So sind im Handel derzeit beispielsweise Argon und Helium nur in der maximalen Qualitätsklasse 7,0 erhältlich, Krypton mit maximal etwa 4,5 und Neon mit maximal etwa 4,0. Durch das erfindungsgemäße Verfahren kann die maximal erhältliche Qualitätsklasse der Edelgase wesentlich erhöht werden. With the method according to the invention, ultrapure gases can be cleaned, which have a purity of at least 99.9% (= Quality class 3.0). That is at the same time an increase in quality classes possible. So are in For example, currently only trade in argon and helium in the maximum quality class 7.0 available, Krypton with a maximum of about 4.5 and neon with a maximum of about 4.0. By the The method according to the invention can be the maximum available Quality class of noble gases can be increased significantly.  

Gleiches gilt für die Nachreinigung anderer Reinstgase, wie Sauerstoff oder Stickstoff, sowie für solche Reinstgase, die nicht durch Luftzerlegung erhalten werden, aber dennoch geringe Mengen fluorierter Verbindungen als Fremdgasanteil enthalten.The same applies to the after-cleaning of other high-purity gases, such as Oxygen or nitrogen, and for such high-purity gases, that are not obtained by air separation, but still small amounts of fluorinated compounds as foreign gas contain.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann z. B. zur Gewinnung von Krypton und Xenon in einer Tieftemperaturluft­ zerlegungsanlage zum Einsatz kommen, wobei Krypton und Xenon zu einem Krypton und Xenon aus dem Krypton-Xenon- Konzentrat gewonnen werden. Das Krypton-Xenon-Konzentrat oder das Krypton oder das Xenon werden dann in einem festen Sorbens aus γ-Aluminiumoxid gereinigt, wobei aus dem Krypton-Xenon-Konzentrat oder dem Krypton bzw. Xenon die fluorhaltigen Verunreinigungen, insbesondere Fluorkohlenwasserstoffe, CF4 und/oder SF6, entfernt werden.The inventive method can, for. B. for the extraction of krypton and xenon in a cryogenic air separation plant are used, krypton and xenon being obtained from the krypton-xenon concentrate. The krypton-xenon concentrate or the krypton or the xenon are then cleaned in a solid sorbent made from γ-aluminum oxide, the fluorine-containing impurities, in particular fluorocarbons, CF 4 and / or from the krypton-xenon concentrate or the krypton or xenon SF 6 , can be removed.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die fluorierte Verbindung mit dem Aluminiumoxid umgesetzt, wobei das Fluor quantitativ am Sorbens gebunden wird. Mit Tetrafluorethan als fluorierter Verbindung erfolgt die Umsetzung beispielsweise nach folgender Reaktionsgleichung:
In the process according to the invention, the fluorinated compound is reacted with the aluminum oxide, the fluorine being bound quantitatively to the sorbent. With tetrafluoroethane as the fluorinated compound, the reaction takes place, for example, according to the following reaction equation:

3CF4 + 2 Al2O3 → 4 AlF3 + 3 CO2 (1)
3CF 4 + 2 Al 2 O 3 → 4 AlF 3 + 3 CO 2 (1)

d. h., wenn die fluorierten Verbindungen, die aus dem Reinstgas entfernt werden sollen, aus der fluorierten oder teilfluorierten Kohlenwasserstoffen bestehen, entsteht bei der Sorbtion der per- oder teilfluorierten Kohlenwasserstoffe an dem γ-Aluminiumoxid-Sorbens als gasförmiges Zersetzungsprodukt CO2. Das so gebildete CO2 kann durch ein nachgeschaltetes CO2-Sorbens aus dem zu reinigenden Gas entfernt werden, beispielsweise durch ein Molekularsieb, insbesondere einen Zeolith, z. B. perfluorierter Verbindung mit mehr als einem C-Atom kann auch CO entstehen, und bei SF6 z. B. SO2. ie, if the fluorinated compounds to be removed from the ultrapure gas consist of the fluorinated or partially fluorinated hydrocarbons, the per- or partially fluorinated hydrocarbons are sorbed on the γ-alumina sorbent as a gaseous decomposition product CO 2 . The CO 2 formed in this way can be removed from the gas to be purified by a downstream CO 2 sorbent, for example by means of a molecular sieve, in particular a zeolite, e.g. B. perfluorinated compound with more than one carbon atom can also form CO, and at SF 6 z. B. SO 2 .

Entsprechend der vorstehenden Gleichung (1) wird aber in jedem Falle Fluor der fluorierten Verbindung durch Umsetzung zu Aluminiumfluorid quantitiv gebunden. Demgemäß muß das γ-Aluminiumoxid in einem stöchiometrischen, in der Praxis einem vielfachen stöchiometrischen Überschuß, bezogen auf den Fluorgehalt der fluorierten Verbindung, die durch das Sorbens geleitet wird, vorliegen.According to equation (1) above, however, in fluorine of the fluorinated compound Conversion to aluminum fluoride quantitatively bound. Accordingly the γ-alumina must be in a stoichiometric, in the Practice a multiple stoichiometric excess, based on the fluorine content of the fluorinated compound, the passed through the sorbent.

Ferner ist bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wichtig, daß das Gas, das mit dem γ-Aluminiumoxid-Sorbens gereinigt werden soll und das γ-Aluminiumoxid-Sorbens kein Wasser enthalten, da sich andernfalls neben Co2Fluorwasserstoff und andere gasförmige Zersetzungsprodukte bilden können. Falls das zu reinigende Gas Wasserspuren enthält, müssen diese deshalb mit einem Molekularsieb oder dgl. entfernt werden, bevor das Gas dem γ-Aluminiumoxid-Sorbens zugeführt wird.It is also important in the process according to the invention that the gas which is to be purified with the γ-alumina sorbent and the γ-alumina sorbent contain no water, since otherwise hydrogen fluoride and other gaseous decomposition products can form in addition to Co 2 . If the gas to be cleaned contains traces of water, these must therefore be removed with a molecular sieve or the like before the gas is fed to the γ-alumina sorbent.

Da die fluorierten Verbindungen allein durch das γ- Aluminiumoxid nach dem erfindungsgemäßen Verfahren aus dem zu reinigenden Gas entfernt werden, besteht das Sorbens im wesentlichen aus γ-Aluminiumoxid, vorzugsweise 100% γ- Aluminiumoxid. Freilich kann ein geringer Teil des γ- Aluminiumoxids, beispielsweise 5 oder 10 Gew.-% auch durch ein anderes Material, z. B. ein inertes Material ersetzt sein, ohne die Wirksamkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens wesentlich zu beeinträchtigen. Das γ-Aluminiumoxid besitzt vorzugsweise eine Reinheit von mehr als 99,0%. Vorzugsweise wird ein γ-Aluminiumoxid mit einer BET-Oberfläche von mehr als 50 m2/g und einem Porenvolumen von mehr als 0,2 m3/g verwendet. Der mittlere Porendurchmesser kann z. B. 2 bis 50 nm betragen, insbesondere 5 bis 15 nm. Da die vorstehende Reaktion (1) in erster Linie an der Oberfläche des γ- Aluminiumoxids stattfindet, ist eine große Oberfläche wesentlich.Since the fluorinated compounds are only removed from the gas to be purified by the γ-aluminum oxide by the process according to the invention, the sorbent consists essentially of γ-aluminum oxide, preferably 100% γ-aluminum oxide. Of course, a small part of the γ-aluminum oxide, for example 5 or 10% by weight, can also be produced by another material, e.g. B. an inert material can be replaced without significantly affecting the effectiveness of the method according to the invention. The γ-alumina preferably has a purity of more than 99.0%. A γ-aluminum oxide with a BET surface area of more than 50 m 2 / g and a pore volume of more than 0.2 m 3 / g is preferably used. The average pore diameter can e.g. B. 2 to 50 nm, in particular 5 to 15 nm. Since the above reaction (1) takes place primarily on the surface of the γ-aluminum oxide, a large surface is essential.

Das Sorbens, das einen Festbett oder ein Fließbett sein kann, weist eine Temperatur vorzugsweise zwischen Raumtemperatur und 600°C auf. Die Temperatur des Sorbens hängt dabei wesentlich von den fluorierten Verbindungen ab, die als Verunreinigung in dem zu reinigenden Gas vorliegen. So wird beispielsweise Tetrafluormethan bereits ab etwa 150°C absorbiert und Hexafluorethan ab etwa 180°C. Im allgemeinen liegt daher die Temperatur des Sorbens zwischen 150 und 500°C.The sorbent, which can be a fixed bed or a fluid bed, has a temperature preferably between room temperature and 600 ° C. The temperature of the sorbent depends on it significantly different from the fluorinated compounds, which as There is contamination in the gas to be cleaned. So will for example, tetrafluoromethane from about 150 ° C absorbed and hexafluoroethane from about 180 ° C. In general the temperature of the sorbent is therefore between 150 and 500 ° C.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird vorzugsweise bei Atmosphärendruck durchgeführt. Es kann jedoch auch mit Unterdruck oder mit einem Druck von beispielsweise bis zu 20 bar durchgeführt werden. Die Raumgeschwindigkeit kann beispielsweise 10 bis 1000 h Gesamtvolumenstrom (l/h/Katalysatorvolumen l) betragen, was einer Verweilzeit von 0,1 bis 0,001 h entspricht. Vorzugsweise liegt die Raumgeschwindigkeit zwischen 50 und 500 h-1 bzw. die Verweilzeit zwischen 0,02 und 0,002 h.The process according to the invention is preferably carried out at atmospheric pressure. However, it can also be carried out with negative pressure or with a pressure of, for example, up to 20 bar. The space velocity can be, for example, 10 to 1000 h total volume flow (l / h / catalyst volume l), which corresponds to a residence time of 0.1 to 0.001 h. The space velocity is preferably between 50 and 500 h -1 and the residence time is between 0.02 and 0.002 h.

Claims (10)

1. Verfahren zur Reinigung von Gasen, die fluorierte Verbindungen als Verunreinigungen enthalten, dadurch gekennzeichnet, daß das zu reinigende Gas durch ein Sorbens aus γ-Aluminiumoxid geleitet wird.1. A method for cleaning gases containing fluorinated compounds as impurities, characterized in that the gas to be cleaned is passed through a sorbent made of γ-aluminum oxide. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zu reinigende Gas ein aus Luft kryotechnisch gewonnenes Gas ist.2. The method according to claim 1, characterized in that the gas to be cleaned is cryotechnically made of air recovered gas is. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das zu reinigende Gas ein Reinstgas mit einer Reinheit von mindestens 99,9 Gew.-% ist.3. The method according to claim 1 or 2, characterized characterized in that the gas to be cleaned is an ultrapure gas with a purity of at least 99.9% by weight. 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zu reinigende Gas ein Edelgas oder Edelgasgemisch, Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff, Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid ist.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the gas to be cleaned is a Noble gas or noble gas mixture, oxygen, nitrogen, Is hydrogen, carbon monoxide or carbon dioxide. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehalt der fluorierten Verbindung in dem zu reinigenden Gas weniger als 100 ppm beträgt.5. The method according to claim 4, characterized in that the content of the fluorinated compound in the to cleaning gas is less than 100 ppm. 6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die fluorierten Verbindungen teilweise aus perfluorierten oder teilfluorierten Kohlenwasserstoffen bestehen und das bei der Sorption der per- oder teilfluorierten Kohlenwasserstoffe an dem γ-Aluminiumoxid-Sorbens entstehende Kohlendioxid durch ein nachgeschaltetes Kohlendioxid-Sorbens aus dem zu reinigenden Gas entfernt wird.6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the fluorinated Compounds partially made of perfluorinated or partially fluorinated hydrocarbons exist and that in the sorption of the per- or partially fluorinated Hydrocarbons on the γ-alumina sorbent carbon dioxide generated by a downstream Carbon dioxide sorbent from the gas to be cleaned  Will get removed. 7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zu reinigende Gas vor dem Eintritt in das γ-Aluminiumoxid-Sorbens von Wasserspuren befreit wird.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the gas to be cleaned before entry into the γ-alumina sorbent from Traces of water is freed. 8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Aluminiumoxid eine Reinheit von mindestens 99,0 Gew.-% aufweist.8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the aluminum oxide Purity of at least 99.0 wt .-%. 9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Sorbens zumindest zu 90 Gew.-% aus γ-Aluminiumoxid besteht.9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the sorbent is at least 90 % By weight consists of γ-aluminum oxide. 10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Sorbens auf eine Temperatur von bis zu 600°C erwärmt wird.10. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the sorbent on a Temperature of up to 600 ° C is heated.
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