DE19710695A1 - Exposure technique for formation of photo-resist layer in construction of CRT - Google Patents
Exposure technique for formation of photo-resist layer in construction of CRTInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung befaßt sich mit einer Belichtungsvorrichtung zum Ausbilden eines Leuchtstoffilms einer Farbkathodenstrahlröh re und betrifft insbesondere eine Belichtungsvorrichtung zum Ausbilden eines fluoreszenzfreien Absorptionsfilmes auf der Innenfläche der Frontplatte einer derartigen Kathodenstrahlröh re.The invention is concerned with an exposure device for forming a color cathode ray tube fluorescent film re and relates in particular to an exposure device for Form a fluorescence-free absorption film on the Inner surface of the front panel of such a cathode ray tube re.
In einer Farbkathodenstrahlröhre besteht der Leuchtstoffilm zur Ausbildung eines farbigen Bildes aus einer roten, einer blauen und einer grünen Leuchtstoffschicht, die in Form von Punkten oder Streifen auf der Innenfläche der Frontplatte der Kathodenstrahlröhre ausgebildet sind. Jede Leuchtstoffschicht sendet selektiv Licht aus, wenn ein Elektronenstrahl aufproji ziert wird, wodurch das Bild erzeugt wird. Wenn jedoch der Elek tronenstrahl die gewünschte Leuchtstoffschicht nicht genau trifft und auf eine benachbarte Leuchtstoffschicht fällt, wird diese angeregt, so daß sie Licht aussendet, was zur Folge hat, daß eine Farbstörung zwischen den Bildpunkten erzeugt wird und der Bildkontrast abnimmt.The phosphor film is in a color cathode ray tube to form a colored image from a red one blue and a green phosphor layer in the form of Dots or stripes on the inner surface of the front panel of the Cathode ray tube are formed. Every fluorescent layer selectively emits light when an electron beam is projected is decorated, which creates the image. However, if the elec electron beam does not exactly match the desired phosphor layer hits and falls on an adjacent layer of fluorescent material stimulates it so that it emits light, which results in that a color disturbance is generated between the pixels and the image contrast decreases.
Um dieses Problem zu beseitigen, ist bereits ein Verfahren vorgeschlagen worden, bei dem die Lichtemission einer benach barten Leuchtstoffschicht aufgrund eines Elektronenstrahls, der von der gewünschten Leuchtstoffschicht abweicht, dadurch verhin dert wird, daß ein fluoreszenzfreier Absorptionsfilm d. h. eine Schwarzmatrix, zwischen den Leuchtstoffschichten vorgesehen wird.A method is already in place to eliminate this problem have been proposed in which the light emission of a neighboring beard phosphor layer due to an electron beam which deviates from the desired phosphor layer, thereby preventing is changed that a fluorescence-free absorption film d. H. a Black matrix, provided between the phosphor layers becomes.
Um einen Leuchtstoffilm mit fluoreszenzfreien Absorptions filmen auf der Innenfläche der Frontplatte einer Farbkathoden strahlröhre auszubilden, werden die fluoreszenzfreien Absorp tionsfilme in einem bestimmten Muster auf der Innenfläche der Frontplatte ausgebildet und werden dann die rote, die blaue und die grüne Leuchtstoffschicht innerhalb der fluoreszenzfreien Absorptionsfilme vorgesehen. Zum Zweck der Ausbildung der fluo reszenzfreien Absorptionsfilme auf der Innenfläche der Front platte wird die Innenfläche der Frontplatte gereinigt und ge trocknet. Dann wird ein Fotolackfilm auf die getrocknete Innen fläche der Frontplatte geschichtet und belichtet. Die Belichtung erfolgt derart, daß die Teile des Fotolackfilmes zur Ausbildung der roten, der blauen und der grünen Leuchtstoffschicht während des anschließenden Entwicklungsvorganges nicht entfernt werden. Das für die Belichtung benutzte Licht sollte darüber hinaus über denselben Projektionsweg wie der auf jede Leuchtstoffschicht projizierte Elektronenstrahl gehen.To a fluorescent film with fluorescence-free absorption film on the inner surface of the front panel of a color cathode the fluorescent-free absorber tion films in a specific pattern on the inner surface of the Front panel and then become the red, the blue and the green phosphor layer inside the fluorescence-free Absorption films provided. For the purpose of training the fluo Absorption-free absorption films on the inner surface of the front plate, the inner surface of the front plate is cleaned and ge dries. Then a photoresist film is applied to the dried inside surface of the front panel layered and exposed. The exposure takes place in such a way that the parts of the photoresist film for training the red, blue and green fluorescent layers during the subsequent development process cannot be removed. The light used for the exposure should also exceed the same projection path as that on each fluorescent layer projected electron beam go.
Wenn die Belichtung abgeschlossen ist, wird der Fotolack film entwickelt. Es wird ein Graphitfilm auf die Oberfläche des Fotolackfilmes geschichtet und getrocknet. Der getrocknete Gra phitfilm wird geätzt, wodurch die fluoreszenzfreien Absorptions filme in dem bestimmten Muster ausgebildet werden.When exposure is complete, the photoresist film developed. A graphite film is placed on the surface of the Layered photo film and dried. The dried gra phit film is etched, which makes the fluorescence-free absorption films are formed in the specific pattern.
Fig. 1 der zugehörigen Zeichnung zeigt ein Beispiel einer Belichtungsvorrichtung zum Belichten eines Fotolackfilmes auf der Innenfläche der Frontplatte einer Kathodenstrahlröhre zur Ausbildung von fluoreszenzfreien Absorptionsfilmen. Diese Be lichtungsvorrichtung weist ein Gehäuse 11 am oberen Teil auf, das mit einer Öffnung 11a versehen ist, die der Innenfläche der Frontplatte 100 entspricht. Es sind ein Filter 13 und eine Kor rekturlinse 14 vorgesehen, die der Reihe nach im Gehäuse 11 angeordnet sind. Ein Verschluß 15 und eine Lampeneinheit 16, die über einen nicht dargestellten Antriebsteil nach rechts und nach links bewegt wird, sind unter der Korrekturlinse 14 vorgesehen. Um einen nicht dargestellten Fotolackfilm zu belichten und da durch die fluoreszenzfreien Absorptionsfilme auf der Innenfläche der Frontplatte unter Verwendung der herkömmlichen Belichtungs vorrichtung mit dem oben beschriebenen Aufbau auszubilden, wird die Frontplatte 100, die eine Lochmaskenrahmenanordnung 110 aufweist, oben auf dem Gehäuse 11 so angeordnet, daß ihre Innen fläche der Öffnung 11a zugewandt ist. Dann wird der Weg des Lichtes, das von der Lampeneinheit 16 ausgesandt wird, so einge stellt, daß er identisch mit dem Weg des Elektronenstrahls zum Bestrahlen der roten Leuchtstoffschicht ist, was unter Verwen dung des Antriebsteils erfolgt, woraufhin der Fotolackfilm be lichtet wird, während die Lampeneinheit 16 in Richtung der Y-Achse hin und her bewegt wird. Nach dem Ersetzen der Korrektur linse 14 wird die Lampeneinheit 16 um eine bestimmte Strecke in Richtung der X-Achse unter Verwendung des Antriebsteils bewegt. Dann wird der Weg des Lichtes, das von der Lampeneinheit 16 ausgeht, so eingestellt, daß er identisch mit dem Weg des Elek tronenstrahls zum Bestrahlen der grünen Leuchtstoffschicht ist, und wird der Fotolackfilm belichtet, während die Lampeneinheit 16 in Richtung der Y-Achse bewegt wird. Nach dem Ersetzen der Korrekturlinse werden die Teile des Fotolackfilmes zur Ausbil dung der blauen Leuchtstoffschicht in der gleichen Weise belich tet, wie es oben beschrieben wurde. Fig. 1 of the accompanying drawing shows an example of an exposure device for exposing a photoresist film on the inner surface of the front plate of a cathode ray tube to form fluorescence-free absorption films. This Be lighting device has a housing 11 on the upper part, which is provided with an opening 11 a, which corresponds to the inner surface of the front panel 100 . A filter 13 and a correction lens 14 are provided, which are arranged in order in the housing 11 . A shutter 15 and a lamp unit 16 , which is moved to the right and to the left via a drive part, not shown, are provided under the correction lens 14 . In order to expose a photoresist film, not shown, and since by means of the fluorescence-free absorption films on the inner surface of the front panel using the conventional exposure apparatus having the structure described above, the front panel 100 , which has a shadow mask frame arrangement 110 , is arranged on top of the housing 11 so that its inner surface facing the opening 11 a. Then, the path of the light emitted from the lamp unit 16 is set to be identical to the path of the electron beam for irradiating the red phosphor layer, which is done using the driving part, whereupon the photoresist film is exposed while the lamp unit 16 is moved back and forth in the direction of the Y axis. After replacing the correction lens 14 , the lamp unit 16 is moved a certain distance in the direction of the X axis using the drive member. Then, the path of the light emanating from the lamp unit 16 is set to be identical to the path of the electron beam for irradiating the green phosphor layer, and the photoresist film is exposed while the lamp unit 16 is moving in the Y-axis direction becomes. After replacing the correction lens, the parts of the photoresist film for forming the blue phosphor layer are exposed in the same manner as described above.
Die herkömmliche Belichtungsvorrichtung macht viele Ar beitsgänge erforderlich, um die jeweiligen Teile des Fotolack films zur Ausbildung jeder Leuchtstoffschicht zu belichten, da die Korrekturlinse 14 ersetzt und der Weg des Lichtes, das von der Lampeneinheit 16 ausgesandt wird, so eingestellt werden muß, daß er identisch mit dem der Elektronenstrahlen zum Anregen jeder Leuchtstoffschicht ist, was über eine Bewegung der Lampen einheit 16 erreicht wird. Die zum Belichten der fluoreszenzfrei en Absorptionsfilme erforderliche Zeit ist daher sehr lang, was die Produktivität bei der Herstellung der Kathodenstrahlröhren herabsetzt.The conventional exposure device requires many operations to expose the respective parts of the photoresist film to form each phosphor layer since the correction lens 14 is replaced and the path of the light emitted from the lamp unit 16 must be adjusted to be identical with which the electron beams are used to excite each phosphor layer, which is achieved by moving the lamp unit 16 . The time required to expose the fluorescence-free absorption films is therefore very long, which reduces the productivity in the production of the cathode ray tubes.
Durch die Erfindung soll daher eine Vorrichtung zum Belich ten eines Fotolackfilmes zur Ausbildung eines fluoreszenzfreien Absorptionsfilmes auf der Frontplatte einer Farbkathodenstrahl röhre geschaffen werden, mit der es möglich ist, die Anzahl der Arbeitsgänge und die Arbeitszeit herabzusetzen.The invention is therefore intended to provide a device for exposure ten of a photoresist film to form a fluorescence-free Absorption film on the front panel of a color cathode ray tubes are created with which it is possible to increase the number of Reduce operations and working hours.
Dazu weist die erfindungsgemäße Belichtungsvorrichtung einen Unterbau und einen Drehteller auf, der so angebracht ist, daß er sich bezüglich des Unterbaus dreht.For this purpose, the exposure device according to the invention a base and a turntable, which is attached so that it rotates with respect to the substructure.
Der Drehteller, der durch einen Antriebsteil gedreht wird, der auf dem Unterbau angebracht ist, weist mehrere Öffnungen auf, die in bestimmten Abständen in Umfangsrichtung angeordnet sind, und es sind Lichtprojektionseinrichtungen auf dem Unterbau den jeweiligen Öffnungen entsprechend angebracht. Die Lichtpro jektionseinrichtungen projizieren jeweils Licht über den selben Weg, über den der Elektronenstrahl zum Anregen der roten, der grünen und der blauen Leuchtstoffschicht jeweils geht.The turntable, which is rotated by a drive part, which is attached to the base has several openings on, which are arranged at certain intervals in the circumferential direction and there are light projection devices on the substructure attached to the respective openings. The Lichtpro projection devices each project light over the same Path over which the electron beam is used to excite the red one green and blue fluorescent layers each.
Gemäß der Erfindung werden die Frontplatten, die auf den Öffnungen des Drehtellers angeordnet sind, der Reihe nach durch die Lichtprojektionseinrichtungen belichtet, während der Dreh teller schrittweise durch den Antriebsteil gedreht wird. Die Teile des Fotolackfilmes zur Ausbildung der roten, der grünen und der blauen Leuchtstoffschicht können daher gleichzeitig belichtet werden, wodurch die Anzahl der Arbeitsgänge herabge setzt wird und die Produktivität bei der Herstellung einer Ka thodenstrahlröhre erhöht wird.According to the invention, the front panels on the Openings of the turntable are arranged in order the light projectors exposed during the shoot plate is gradually rotated by the drive part. The Parts of the photoresist film to form the red, the green and the blue phosphor layer can therefore be used simultaneously be exposed, which reduces the number of operations is set and productivity in the manufacture of a Ka test tube is increased.
Im folgenden wird anhand der zugehörigen Zeichnung ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung näher beschrieben.The following is based on the associated drawing preferred embodiment of the invention described in more detail.
Es zeigenShow it
Fig. 1 eine Schnittansicht einer herkömmlichen Belichtungs vorrichtung zur Ausbildung eines fluoreszenzfreien Absorptions filmes auf der Frontplatte einer Kathodenstrahlröhre, Fig. 1 is a sectional view of a conventional exposure apparatus for forming a fluorescence-free absorption film on the panel of a cathode ray tube,
Fig. 2 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht des Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Belichten einer Fotolackschicht zur Ausbildung eines fluores zenzfreien Absorptionsfilmes auf der Frontplatte einer Kathoden strahlröhre, Fig. 2 of the device according to the invention for exposing a photoresist layer to form a fluores zenzfreien absorption film-ray tube is a partially sectioned perspective view of the embodiment on the front panel of a cathode,
Fig. 3 eine Schnittansicht der in Fig. 2 dargestellten Belichtungsvorrichtung und Fig. 3 is a sectional view of the exposure device shown in Fig. 2 and
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht eines Stellteils, der in Fig. 2 dargestellt ist. Fig. 4 is a perspective view of an actuator which is shown in Fig. 2.
Die in den Fig. 2 und 3 dargestellte Vorrichtung zum Be lichten einer Fotolackschicht zur Ausbildung eines fluoreszenz freien Absorptionsfilmes umfaßt einen Unterbau 20, einen An triebsteil 30, der in der Mitte des Unterbaus 20 angebracht ist, einen Drehteller 40 mit einer Vielzahl von Öffnungen 41, die in bestimmten Abständen in Umfangsrichtung angeordnet sind, der um eine bestimmte Anzahl von Grad, d. h. um einen bestimmten Winkel durch den Antriebsteil 30 gedreht wird, sowie eine erste, eine zweite und eine dritte Lichtprojektionseinrichtung 50, 60 und 70, die auf der oberen Außenfläche des Unterbaus 20 den jeweili gen Öffnungen 41 entsprechend angebracht sind und Licht über denselben Weg projizieren, über den der Elektronenstrahl zum Anregen der roten, der blauen und der grünen Leuchtstoffschicht jeweils geht.The device shown in FIGS. 2 and 3 for exposing a photoresist layer to form a fluorescence-free absorption film comprises a base 20 , a drive part 30 , which is attached to the center of the base 20 , a turntable 40 with a plurality of openings 41st , which are arranged at certain intervals in the circumferential direction, which is rotated by a certain number of degrees, ie by a certain angle by the drive part 30 , and a first, a second and a third light projection means 50 , 60 and 70 , which are on the upper Outer surface of the substructure 20 are attached correspondingly to the respective openings 41 and project light via the same path through which the electron beam for exciting the red, the blue and the green phosphor layer is in each case.
Der Unterbau 20 ist scheibenförmig und so ausgebildet, daß er sich um eine Haltewelle 21 dreht. Der Unterbau 20 ist mit einer Vielzahl von Rädern 22 unter dem Unterbau 21 entlang sei nes Außenbereiches versehen. Der Antriebsteil 30, der in der Mitte des Unterbaus 20 angebracht ist, enthält einen Schritt inotor 31.The substructure 20 is disk-shaped and designed so that it rotates around a holding shaft 21 . The substructure 20 is provided with a plurality of wheels 22 under the substructure 21 along its outer area. The drive part 30 , which is attached in the middle of the substructure 20 , contains a step inotor 31 .
Der Drehteller 40 ist auf einer Drehwelle 32 des Schritt motors 31 angebracht, und die Größe der Öffnungen 41, die in Umfangsrichtung um den Drehteller 40 herum angeordnet sind, entspricht der Größe der Innenfläche einer Frontplatte 100. Im vorliegenden Fall haben wenigstens drei benachbarte Öffnungen 41 die gleiche Größe. Alternativ können mehrere Öffnungsgruppen jeweils mit drei Öffnungen gleicher Größe, die unter den Gruppen verschieden ist, der Reihe nach angeordnet sein, um Frontplatten verschiedener Größe gleichzeitig belichten zu können.The turntable 40 is mounted on a rotary shaft 32 of the stepping motor 31 , and the size of the openings 41 which are arranged in the circumferential direction around the turntable 40 corresponds to the size of the inner surface of a front plate 100 . In the present case, at least three adjacent openings 41 have the same size. Alternatively, several opening groups, each with three openings of the same size, which differs among the groups, can be arranged in order in order to be able to expose front plates of different sizes at the same time.
Die Lichtprojektionseinrichtung 50 ist auf der oberen Au ßenfläche des Unterbaus 20 einer Öffnung 41 entsprechend ange bracht und weist ein Gehäuse 51 auf, das an seiner Oberseite offen ist. Ein Filter 52, eine Korrekturlinse 53 und ein Ver schluß 54 sind der Reihe nach von oben nach unten im Gehäuse 51 angebracht. Ein Lampengehäuse 55 befindet sich unter dem Ver schluß 54. Ein Stellteil 56 dient dazu, das Lampengehäuse 55 hin und her zu bewegen.The light projection device 50 is on the upper outer surface of the substructure 20 an opening 41 is accordingly introduced and has a housing 51 which is open at its top. A filter 52 , a correction lens 53 and a circuit 54 are attached in order from top to bottom in the housing 51 . A lamp housing 55 is located under the United circuit 54th An actuator 56 serves to move the lamp housing 55 back and forth.
Der Stellteil 56 zum Bewegen des Lampengehäuses 55 ist mit einem Rahmen 56a, der vom Gehäuse 51 gehalten ist, und mit Füh rungsschienen 56b versehen, die auf der oberen Außenfläche des Rahmens 56a angebracht sind, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. Ein Übertragungselement 56c, auf dem das Lampengehäuse 55 an geordnet ist, ist so angebracht, daß es entlang der Führungs schienen 56b gleitet, und weist eine Zahnleiste 56d parallel zur Führungsschiene 56b auf. In diese Zahnleiste 56d greift ein Ritzel 56e ein, das auf einer Drehwelle 56g eines Motors 56f sitzt, der am Rahmen 56a befestigt ist. Eine Lampe 55a zum Be lichten des Fotolackfilms ist im Lampengehäuse 55 angebracht.The actuator 56 for moving the lamp housing 55 is provided with a frame 56 a, which is held by the housing 51 , and with guide rails 56 b, which are attached to the upper outer surface of the frame 56 a, as shown in Fig. 4 . A transmission member 56 c, on which the lamp housing 55 to be arranged, is mounted so that it along the guide rails 56 b slide, and has a rack 56 d parallel to the guide rail 56 b on. In this rack 56 d engages a pinion 56 e, which sits on a rotary shaft 56 g of a motor 56 f, which is fixed to the frame 56 a. A lamp 55 a to expose the photoresist film is mounted in the lamp housing 55 .
Die zweite und die dritte Lichtprojektionseinrichtung 60 und 70 sind in der Nähe der ersten Lichtprojektionseinrichtung 50 den Öffnungen 41 entsprechend angeordnet. Der Aufbau der zweiten und der dritten Lichtprojektionseinrichtung 60 und 70 ist der gleiche wie der der ersten Lichtprojektionseinrichtung 50 allerdings mit der Ausnahme, daß die Position des nicht dar gestellten Lampengehäuses so gewählt ist, daß das Licht über den Weg des Elektronenstrahls zum Anregen der roten, blauen und grünen Leuchtstoffschicht jeweils projiziert wird. Die Reihen folge der Anordnung der ersten bis dritten Lichtprojektionsein richtung 50, 60 und 70 kann je nach den Erfordernissen geändert werden.The second and third light projection devices 60 and 70 are arranged in the vicinity of the first light projection device 50 corresponding to the openings 41 . The construction of the second and third light projection devices 60 and 70 is the same as that of the first light projection device 50, however, with the exception that the position of the lamp housing (not shown) is selected such that the light is excited via the path of the electron beam to excite the red, blue and green phosphor layer is projected respectively. The order of the arrangement of the first to third light projecting devices 50 , 60 and 70 can be changed as necessary.
Im folgenden wird anhand der Fig. 2, 3 und 4 die Arbeits weise der Vorrichtung zum Belichten eines Fotolackfilms zur Ausbildung eines fluoreszenzfreien Filmes mit dem oben beschrie benen Aufbau näher erläutert.In the following, the working of the device for exposing a photoresist film to form a fluorescence-free film with the structure described above will be explained in more detail with reference to FIGS . 2, 3 and 4.
Um einen nicht dargestellten Fotolackfilm zu belichten, der auf der Innenfläche der Frontplatte 100 ausgebildet ist, wird die Frontplatte 100 mit der Lochmaskenrahmenanordnung 110 gemäß Fig. 1 auf der oberen Außenfläche des Drehtellers 40 so angeord net, daß ihre Innenfläche oder Öffnung 41 zugewandt ist. Dann wird die Öffnung 41 des Drehtellers 40 mit der darauf befindli chen Frontplatte 40 über der ersten Lichtprojektionseinrichtung 50 dadurch angeordnet, daß der Schrittmotor 31 betrieben wird, der auf dem Unterbau 20 angebracht ist. Anschließend wird der Fotolackfilm belichtet, während das Lampengehäuse 55 durch den Stellteil 56 hin und her bewegt wird. Die Hin- und Herbewegung des Lampengehäuses 55 durch den Stellteil 56 erfolgt dadurch, daß das Ritzel 56e durch den Antrieb des Motors 56f gedreht wird und das Übertragungselement 56c hin und her bewegt wird, dessen Zahnleiste 56d mit dem Ritzel 56e längs der Führungsschiene 56b in Eingriff steht. Das von der ersten Lichtprojektionseinrich tung 50 ausgesandte Licht geht dabei über denselben Weg, über den der Elektronenstrahl zum Anregen der roten Leuchtstoff schicht geht. In order to expose a photoresist film, not shown, which is formed on the inner surface of the front plate 100 , the front plate 100 is arranged with the shadow mask frame arrangement 110 according to FIG. 1 on the upper outer surface of the turntable 40 so that its inner surface or opening 41 faces. Then, the opening 41 of the turntable 40 is arranged with the front plate 40 thereon above the first light projecting device 50 by operating the stepping motor 31 mounted on the base 20 . The photoresist film is then exposed while the lamp housing 55 is moved back and forth by the adjusting part 56 . The reciprocating movement of the lamp housing 55 carried by the actuator part 56 characterized in that the pinion is 56 s rotated by the driving of the motor 56 f and the transmitting member 56 c to and is reciprocated, the toothed rack 56 d with the pinion 56 e along the guide rail 56 b is engaged. The light emitted by the first light projection device 50 goes through the same path through which the electron beam goes to excite the red phosphor layer.
Wenn die Belichtung abgeschlossen ist, wird die Frontplatte 100, die durch die erste Lichtprojektionseinrichtung 50 belich tet worden ist, nochmals belichtet, indem sie der Reihe nach zur zweiten und dritten Lichtprojektionseinrichtung 60 und 70 da durch bewegt wird, daß der Drehteller 40 durch den Antriebsteil 30 gedreht wird. Die zweite und die dritte Lichtprojektionsein richtung 60 und 70 sind dabei so angeordnet, daß sie Licht über denselben Weg projizieren, über den die Elektronenstrahlen zum Anregen der grünen und der blauen Leuchtstoffschicht jeweils gehen.When the exposure is completed, the front panel 100 , which has been exposed by the first light projector 50 , is exposed again by moving it sequentially to the second and third light projectors 60 and 70 by rotating the turntable 40 by the drive member 30 is rotated. The second and third Lichtprojektionsein direction 60 and 70 are arranged so that they project light through the same path through which the electron beams to excite the green and blue phosphor layers go.
Da in der oben beschriebenen Weise bei der Vorrichtung zum Belichten eines Fotolackfilms die Teile des Fotolackfilms zur Ausbildung der roten, der blauen und der grünen Leuchtstoff schicht der Reihe nach durch die erste, die zweite und die drit te Lichtprojektionseinrichtung jeweils belichtet werden, dann die Anzahl der Arbeitsgänge verglichen mit der herkömmlichen Einzelbelichtungsvorrichtung merklich herabgesetzt werden. Es kann darüber hinaus auch die Arbeitszeit merklich verringert werden, was die Produktivität bei der Ausbildung des fluores zenzfreien Absorptionsfilmes erhöht.Since in the manner described above in the device for Expose a part of the photoresist film to a photoresist film Education of red, blue and green fluorescent shift through the first, second and third in order te light projection device are then exposed, then the number of operations compared to the conventional one Single exposure device can be significantly reduced. It can also significantly reduce working hours be what productivity in training the fluores zenzfrei absorption film increased.
Die obige Beschreibung bezog sich auf ein Ausführungsbei spiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei der ein fluores zenzfreier Absorptionsfilm einer Leuchtstoffschicht dadurch gebildet wird, daß die Teile des Fotolackfilmes zur Ausbildung der roten, der grünen und der blauen Leuchtstoffschicht der Reihe nach dadurch belichtet werden, daß ein Drehteller gedreht wird.The above description was of an embodiment game of the device according to the invention, in which a fluores zenzfrei absorption film of a phosphor layer is formed that the parts of the photoresist film for training the red, green and blue fluorescent layers of the Be exposed in turn by rotating a turntable becomes.
Claims (3)
einen Unterbau (20),
einen Antriebsteil (30), der in der Mitte des Unterbaus (20) angebracht ist,
einen Drehteller (40) mit einer Anzahl von Öffnungen (41), die in bestimmten Abständen in Umfangsrichtung angeordnet sind, der durch den Antriebsteil (30) gedreht wird, und
Lichtprojektionseinrichtungen (50, 60, 70), die auf dem Unterbau (20) den jeweiligen Öffnungen (41) entsprechend ange bracht sind und Licht über denselben Weg projizieren, über den ein Elektronenstrahl zum Anregen der roten, der grünen und der blauen Leuchtstoffschicht jeweils geht.1. Device for exposing a photoresist film to form a fluorescence-free absorption film on the front plate of a cathode ray tube, characterized by
a substructure ( 20 ),
a drive part ( 30 ) which is attached in the middle of the substructure ( 20 ),
a turntable ( 40 ) having a number of openings ( 41 ) arranged at certain intervals in the circumferential direction, which is rotated by the drive part ( 30 ), and
Light projection devices ( 50 , 60 , 70 ), which are placed on the base ( 20 ) of the respective openings ( 41 ) accordingly and project light via the same path, through which an electron beam for exciting the red, green and blue phosphor layers is in each case .
ein Gehäuse (51), das an seiner Oberseite offen ist,
ein Filter (52), eine Korrekturlinse (53) und einen Ver schluß (54), die der Reihe nach von oben nach unten im Gehäuse (51) angeordnet sind,
ein Lampengehäuse (55), das unter dem Verschluß (54) ange bracht ist, und
eine Stelleinrichtung (56) zum Hin- und Herbewegen des Lampengehäuses (55) umfassen.2. Device after opening 1, characterized in that the light projection devices ( 50 , 60 , 70 ) each
a housing ( 51 ) which is open at the top,
a filter ( 52 ), a correction lens ( 53 ) and a closure ( 54 ), which are arranged in order from top to bottom in the housing ( 51 ),
a lamp housing ( 55 ) which is placed under the closure ( 54 ), and
comprise an adjusting device ( 56 ) for moving the lamp housing ( 55 ) back and forth.
einen Rahmen (56a), der am Gehäuse (51) befestigt ist,
Führungsschienen (56b), die am Rahmen (56a) angebracht sind,
ein Übertragungselement (56c), an dem das Lampengehäuse (55) befestigt ist und das eine Zahnleiste (56d) aufweist, die parallel zu den Führungsschienen (56b) ausgebildet ist, um das Übertragungselement (56c) längs der Führungsschienen (56b) hin und her zu bewegen, und
einen Motor (56f) umfaßt, der am Rahmen (56a) angebracht ist und ein Ritzel (56e) aufweist, das an seiner Welle (56g) befestigt ist und mit der Zahnleiste (56d) in Eingriff steht.3. Device according to claim 2, characterized in that the adjusting device ( 56 )
a frame ( 56 a) which is attached to the housing ( 51 ),
Guide rails ( 56 b) which are attached to the frame ( 56 a),
a transmission element ( 56 c) to which the lamp housing ( 55 ) is fastened and which has a toothed strip ( 56 d) which is formed parallel to the guide rails ( 56 b) in order to transmit the transmission element ( 56 c) along the guide rails ( 56 b) move back and forth, and
a motor ( 56 f), which is attached to the frame ( 56 a) and has a pinion ( 56 e) which is fixed to its shaft ( 56 g) and is in engagement with the rack ( 56 d).
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960007367A KR100369067B1 (en) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Exposure apparatus for non-luminant absorbing layer of color cathode ray tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19710695A1 true DE19710695A1 (en) | 1997-10-30 |
Family
ID=19453409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19710695A Withdrawn DE19710695A1 (en) | 1996-03-19 | 1997-03-14 | Exposure technique for formation of photo-resist layer in construction of CRT |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1012144A (en) |
| KR (1) | KR100369067B1 (en) |
| CN (1) | CN1074580C (en) |
| BR (1) | BR9701329A (en) |
| DE (1) | DE19710695A1 (en) |
| FR (1) | FR2746520A1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003091805A1 (en) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Obducat Ab | Method, device and computer program product for lithography |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6145530A (en) * | 1984-08-08 | 1986-03-05 | Hitachi Ltd | Manufacture of phosphor screen of color cathode-ray tube |
| JPS62232834A (en) * | 1986-03-31 | 1987-10-13 | Nec Corp | Automatic optical exposing equipment |
| DE69032477T2 (en) * | 1989-05-31 | 1998-12-17 | Toshiba Kawasaki Kk | Device for producing a color cathode ray tube |
| US5117962A (en) * | 1990-07-25 | 1992-06-02 | Contraves U.S.A., Inc. | Screening machine system |
| KR920007032A (en) * | 1990-09-22 | 1992-04-28 | 김정배 | Color Brown Tube Exposure Equipment |
| KR100312698B1 (en) * | 1994-12-26 | 2001-12-28 | 김순택 | Exposure device for cathode ray tube |
-
1996
- 1996-03-19 KR KR1019960007367A patent/KR100369067B1/en not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-03-14 DE DE19710695A patent/DE19710695A1/en not_active Withdrawn
- 1997-03-18 JP JP9064373A patent/JPH1012144A/en active Pending
- 1997-03-18 FR FR9703279A patent/FR2746520A1/en active Pending
- 1997-03-18 BR BR9701329A patent/BR9701329A/en not_active IP Right Cessation
- 1997-03-19 CN CN97109657A patent/CN1074580C/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1074580C (en) | 2001-11-07 |
| JPH1012144A (en) | 1998-01-16 |
| MX9702084A (en) | 1998-03-31 |
| KR970067460A (en) | 1997-10-13 |
| BR9701329A (en) | 1998-09-08 |
| KR100369067B1 (en) | 2003-04-03 |
| CN1166688A (en) | 1997-12-03 |
| FR2746520A1 (en) | 1997-09-26 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |