DE1963776B2

DE1963776B2 - PROCEDURE FOR FINE ADJUSTMENT OF THE VIBRATION FREQUENCY PIEZOELECTRIC BODY

Info

Publication number: DE1963776B2
Application number: DE19691963776
Authority: DE
Inventors: Heinrich Arnold
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1969-12-19
Filing date: 1969-12-19
Publication date: 1971-06-16
Also published as: DE1963776A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Feinabgleich der Schwingfrequenz piezoelektrischer Körper, insbesondere von Schwingquarzen, mittels einer im Vakuum erfolgenden, die Schwingfrequenz absenkenden Bedampfung eines solchen Körpers mit Elektrodenschichten entsprechender Stärke, wobei der Körper während des Bedampfungsvorganges ständig im Schwingzustand gehalten wird und wenigstens ein eine Heizvorrichtung aufweisender, mit dem Elektrodenmaterial beaufschlagbarer Verdampfer vorgesehen ist. The invention relates to a method for fine-tuning the oscillation frequency Piezoelectric bodies, in particular quartz crystals, by means of a vacuum taking place, the vibration frequency lowering vaporization of such a body with Electrode layers of appropriate thickness, with the body during the vapor deposition process is kept constantly in the oscillating state and at least one heating device having, provided with the electrode material can be charged evaporator is.

Für frequenzgenaue Oszillatorschaltungen und hochwertige Filter werden bezüglich ihrer Resonanzfrequenz präzise abgeglichene Schwingquarze benötigt. Zum Feinabgleich der Resonanzfrequenz eines solchen Schwingquarzes werden.entsprechende Oberflächen des Quarzes mit Elektrodenschichten bedampft, die ohnehin zum elektrischen Anschluß des Quarzes benötigt werden. Beim Bedampfen des Quarzes wird in Abhängigkeit von der jeweiligen Stärke der Elektrodenschicht bzw. der Elektrodenschichten die Resonanzfrequenz des Quarzes abgesenkt. Steuert man den Herstellungsprozeß der nackten Quarze so, daß deren Resonanzfrequenz zunächst innerhalb bestimmter Toleranzgrenzen oberhalb der Sollfrequenz liegt, so kann durch entsprechend gesteuerte Bedampfung des Quarzes die gewünschte Resonanzfrequenz erhalten werden. For frequency-accurate oscillator circuits and high-quality filters quartz oscillators that are precisely adjusted with regard to their resonance frequency are required. To the Fine adjustment of the resonance frequency of such a quartz crystal will be appropriate Surfaces of the quartz are vapor-coated with electrode layers, which are anyway used for electrical Connection of the quartz are required. When the quartz is vaporized, there is a dependency on the respective thickness of the electrode layer or the electrode layers Resonance frequency of the quartz lowered. One controls the manufacturing process of the naked Crystals so that their resonance frequency is initially within certain tolerance limits is above the target frequency, it can be controlled by appropriately controlled steaming of the quartz the desired resonance frequency can be obtained.

Bei einem von Hand gesteuerten derartigen Frequenzfeinabgleich eines Schwingquarzes muß die jeweilige Schwingfrequenz des Quarzes ständig mit Hilfe eines Frequenzmessers kontrolliert werden, und es muß, um die gewünschte Sollresonanzfrequenz des Quarzes zu erhalten, die Bedampfungseinrichtung schon vor dem Erreichen der Sollfrequenz abgeschaltet werden, so daß eine der gewünschten Sollfrequenz entsprechende Elektrodendicke durch das infolge der Wärmeträgheit der Bedampfungseinrichtung noch auftretende sogenannte Nachdampfen erhalten wird. Dies erfordert eine hohe Konzentration und Geschicklichkeit bei der Bedienung einer solchen Bedampfungsanlage. Dennoch ist der Streubereich der erzielten Quarzendfrequenzen infolge des schwer abzuschätzenden Nachdampfeffektes relativ groß. With such a manually controlled fine frequency adjustment one Oscillating quartz must keep the respective oscillation frequency of the quartz constant with the help of a Frequency meter to be controlled, and it must to the desired target resonance frequency To get the quartz, the vaporization device before reaching the Setpoint frequency are switched off, so that one of the desired setpoint frequency corresponding Electrode thickness due to the thermal inertia of the vaporization device occurring so-called post-evaporation is obtained. This requires a high level of concentration and skill in operating such a vapor deposition system. Yet is the spread of the achieved crystal end frequencies due to the difficult to estimate Nachdampfeffektes relatively large.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Feinabgleich der Schwingfrequenz piezoelektrischer Körper zu schaffen, mit dessen Hilfe es möglich ist, einen automatischen Schwingfrequenzabgleich durchzuführen und mit dem zugleich eine hoheZielgenauigkeit bezüglich der angestrebten Sollfrequenz erreicht werden kann. The object of the invention is therefore to provide a method for fine adjustment to create the oscillation frequency of piezoelectric bodies, with the help of which it is possible is to carry out an automatic vibration frequency adjustment and at the same time A high level of target accuracy with regard to the desired target frequency can be achieved can.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist das Verfahren der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung derart ausgebildet, daß eine durch Vergleich der jeweiligen Schwingfrequenz des Körpers mit einer Sollfrequenz einstellbarer Größe erhaltene Differenzfrequenz mehreren Frequenzbewertungsstufen zugeführt wird, daß jede Bewertungsstufe beim Vorhandensein einer der jeweiligen B ewertungsstufe zugeordneten Differenzfrequenz (Ansprechfrequenz) kurzzeitig ein Ausgangssignal abgibt, das eine Abschaltung der Heizvorrichtung für eine bestimmte Zeitspanne (Pausenzeit) bewirkt, daß die Abstände der einzelnen Ansprechfrequenzen voneinander mit abnehmender Differenzfrequenz progressiv geringer werdend gewählt sind und daß die der niedrigsten Ansprechfrequenz zugeordnete Frequenzbewertungsstufe ein Ausgangs- signal abgibt, das eine Endabschaltung der Heizvorrichtung bewirkt. To solve this problem, the method is that mentioned at the beginning Kind according to the invention designed such that one by comparing the respective Oscillation frequency of the body obtained with a setpoint frequency of adjustable size Difference frequency is fed to several frequency evaluation stages that each evaluation stage in the presence of a differential frequency assigned to the respective evaluation level (Response frequency) briefly emits an output signal that switches off the Heating device for a certain period of time (pause time) causes the intervals of the individual response frequencies from each other progressively with decreasing difference frequency are chosen to be decreasing and that those associated with the lowest response frequency Frequency evaluation level on output emits signal that a limit switch-off of the Heating device causes.

Dieses Verfahren hat unter anderem den Vorteil, daß durch die stets gleichen Heizpausenzeiten und die entsprechend dem fortschreitenden Abgleichzustand kürzer werdenden Heizzeiten, die sich infolge der immer geringer werdenden Frequenzabstände zwischen den Bewertungsstufen ergeben, die mittlere Temperatur der Verdampfungseinrichtung automatisch so eingestellt wird, daß bei Annäherung an die Sollfrequenz die Bedampfungsintensität und damit die Frequenzänderung der Schwingfrequenz des zu bedampfenden Körpers immer geringer wird. Die mittlere Temperatur der Bedampfungseinrichtung kann dabei jedoch niemals so weit absinken, daß die Bedampfungseinrichtung nicht mehr arbeitet, da der Heizstrom jeweils so lange eingeschaltet bleibt, bis wieder eine Bewertungsstufe anspricht. Die Bedampfung wird also stets so lange fortgesetzt, bis die geforderte Endfrequenz des piezoelektrischen Körpers (Schwingquarzes) erreicht ist. This method has the advantage, among other things, that by always the same heating pause times and those corresponding to the progressive adjustment status shorter heating times, which are due to the ever decreasing frequency differences result between the evaluation levels, the mean temperature of the evaporation device is automatically set so that when the target frequency is approached, the steaming intensity and thus the frequency change of the oscillation frequency of the body to be steamed always becomes less. The mean temperature of the steaming device can, however never sink so far that the steaming device no longer works because the heating current remains switched on until an evaluation level is reached again appeals to. The steaming is therefore always continued until the required The final frequency of the piezoelectric body (quartz crystal) has been reached.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß wenigstens eine in zwei Heizstufen betreibbare Heizvorrichtung vorgesehen ist, derart, daß ein während eines Bedampfungsvorganges erstmalig von einer Bewertungsstufe abgegebenes Ausgangssignal die Einschaltung der nächst niedrigen Heizstufe nach Ablauf der ersten Pausenzeit zur Folge hat. In a further embodiment of the invention it is provided that at least a heating device which can be operated in two heating stages is provided, such that one issued for the first time by an evaluation level during a vapor deposition process Output signal that the next lower heating level is switched on after the first has elapsed Pause time.

Verwendet man also eine in zwei Heizstufen betreibbare Heizvorrichtung, so wird z. B. der zunächst nackte Quarz unter Einschaltung der Heizstufe 1 (starkes Heizen) sehr rasch so weit bedampft, daß eine erste Bewertungsstufe anspricht. Nach dem Ansprechen einer ersten Bewertungsstufe und nach Ablauf der Pausenzeit wird dann die Heizvorrichtung nur noch mit Heizstufe 2 (relativ schwache Heizung) zum Feinabgleich betrieben. So if you use a heating device that can be operated in two heating stages, so z. B. the initially bare quartz with switching on heating level 1 (strong Heating) steamed very quickly so that a first evaluation level responds. To the response to a first evaluation level and after the pause time has elapsed then the heating device only with heating level 2 (relatively weak heating) for Fine adjustment operated.

Weiter kann eine bei der Endabschaltung zwischen Verdampfer und Körper einfallende Blende vorgesehen sein. There can also be a switch-off between the evaporator and the body incident aperture be provided.

Auf diese Weise wird der sogenannte Nachdampfeffekt weiter verringert. In this way the so-called post-steaming effect is further reduced.

Ferner können vorgesehen sein: Eine besondere Zeitstufe, die durch ein eine Endabschaltung bewirkendes Signal wirksam geschaltet und nach Ablauf einer vorbestimmbaren Zeitspanne automatisch eine atmosphärische Flutung der Bedampfungsanlage und die Abgabe eines die Beendigung eines Abgleichvorganges anzeigenden Signals bewirkt, außerdem eine fehlerhafte Körper ausscheidende Zusatzvorrichtung, die ein einen fehlerhaften Körper anzeigendes Signal erzeugt, wenn a) die Schwingfrequenz des unbedampften Körpers größer ist als ein bestimmter vorgebbarer Frequenzwert, b) die Schwingfrequenz des Körpers kleiner ist als die Sollfrequenz, c) der Körper nicht oder mit zu kleiner Amplitude schwingt oder die Schwingung während des Abgleichvorganges aussetzt. Furthermore, the following can be provided: A special time stage, which by a signal causing a limit switch is activated and after a a predeterminable period of time automatically an atmospheric flooding of the steaming system and the output of a signal indicating the completion of a calibration process also causes a defective body eliminating attachment that a A signal indicative of a defective body is generated when a) the oscillation frequency of the non-vaporized body is greater than a certain predeterminable frequency value, b) the oscillation frequency of the body is lower than the target frequency, c) the body does not oscillate or oscillates with an amplitude that is too small, or the oscillation during the calibration process suspends.

Schließlich ist vorgesehen, daß ein Öffnen und nachfolgendes Schließen eines den zu bedampfenden Körper umgebenden Gehäuses (Rezipient) eine Rückstellung der Zusatzvorrichtung in ihre Ausgangsstellung und die Inbetriebnahme der Heizvorrichtung bewirkt. Finally, it is provided that an opening and subsequent closing a housing (recipient) surrounding the body to be vaporized is reset the additional device in its starting position and the commissioning of the heating device causes.

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus nachfolgender Beschreibung. Further details of the invention emerge from the following Description.

Zur Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist ein gegenüber der atmosphärischen Umgebung abschließbares Gehäuse (Rezipient) vorgesehen, das mit einer verschließbaren Öffnung versehen ist und mit Hilfe einer Pumpe evakuiert werden kann. Im Rezipienten sind eine oder mehrere Heizvorrichtungen zur Verdampfung des auf den piezoelektrischen Körper aufzubringenden Elektrodenmaterials sowie eine Halterung für den im Rezipienten zu bedampfenden Körper angeordnet. To use the method according to the invention, there is an opposite the atmospheric environment lockable housing (recipient) provided, the is provided with a closable opening and evacuated with the aid of a pump can be. In the recipient there are one or more heating devices for evaporation of the electrode material to be applied to the piezoelectric body and a Arranged holder for the body to be steamed in the recipient.

In vorteilhafter Weise können zwei Rezipienten oder im Bedarfsfall auch mehrere zu einer baulichen Einheit vereinigt vorgesehen werden, so daß, während z. B. in einem Rezipienten ein Bedampfungsvorgang vor sich geht, der andere oder die weiteren Rezipienten mit zu bedampfenden Körpern beschickt oder fertig bedampfte, also frequenzmäßig abgeglichene Körper aus denselben entnommen werden können.Advantageously, two recipients or if necessary also several united to a structural unit are provided so that while z. B. a steaming process is going on in one recipient, or the other the other recipients are charged with bodies to be steamed or steamed ready, thus frequency-adjusted bodies can be removed from them.

Es kann auch ein Rezipient mit einer Öffnung, aber zwei Verschlußdeckeln vorgesehen werden. An den Verschlußdeckeln ist dann je eine Halterung für den zu bedampfenden Quarz angebracht. Die Deckel werden abwechselnd bestückt bzw. zum Bedampfen geschlossen.It can also be a recipient with one opening but two sealing lids are provided. There is then a holder for the to each of the sealing caps fuming quartz attached. The lids are alternately equipped or for steaming closed.

Die in den Rezipienten vorgesehene Halterung für die piezoelektrischen Körper ist so ausgebildet, daß der Körper während seines Aufenthaltes im Rezipienten, also auch während des Bedampfungsvorganges, Bestandteil einer Oszillatorschaltung ist. The holder provided in the recipient for the piezoelectric The body is designed in such a way that the body during its stay in the recipient, thus also during the vaporization process, part of an oscillator circuit is.

Koppelt man in vorteilhafter Weise den Verschluß des Rezipienten mit einem Schalter, der beim Schließen des Rezipienten das Einschalten der Heizvorrichtung und die Ingangsetzung der Oszillatorschaltung bewirkt, so können bei der Bedienung des Rezipienten an sich erforderliche Handgriffe eingespart werden.The closure of the recipient is also coupled in an advantageous manner a switch that switches on the heating device when the recipient is closed and causes the oscillator circuit to start, so can when operating the recipient can save on the necessary hand movements.

Die von der Oszillatorschaltung und damit die von dem zu bedampfenden Körper abgegebene Schwingfrequenz wird nun mit einer Vergleichsfrequenz gemischt. Als Vergleichsfrequenz wird zweckmäßigerweise die Sollfrequenz gewählt, d. h. die Frequenz, die als Resonanzfrequenz des abgeglichenen piezoelektrischen Körpers (Schwingquarzes) erwünscht ist. That of the oscillator circuit and thus that of the one to be steamed The vibration frequency given off by the body is now mixed with a comparison frequency. The setpoint frequency is expediently chosen as the comparison frequency, i. H. the Frequency that is used as the resonance frequency of the balanced piezoelectric body (quartz crystal) is desired.

Eine durch Vergleich der Schwingfrequenz des Körpers mit der Sollfrequenz erhaltene Differenzfrequenz wird ständig mehreren Frequenzbewertungsstufen zugeführt. Die Frequenzbewertungsstufen sind so ausgebildet, daß sie jeweils dann kurzzeitig ein Ausgangssignal abgeben, wenn die ihrem Eingang anliegende Differenzfrequenz einen bestimmten Wert hat. Bezeichnet man diejenige Differenzfrequenz, die eine Frequenzbewertungsstufe zur Abgabe eines Ausgangssignals beeinflußt, als Ansprechfrequenz so sind die Werte der Ansprechfrequenzen der einzelnen Frequenzbewertungsstufen so gewählt, daß ihre Abstände voneinander mit zunehmender Annäherung der Schwingfrequenz an die Sollfrequenz, also bei abnehmenden Werten der Differenzfrequenz (Differenzfrequenz geht gegen Null), progressiv geringer werden.One by comparing the vibration frequency of the body with the target frequency The difference frequency obtained is continuously fed to several frequency evaluation stages. The frequency evaluation stages are designed so that they each then briefly emit an output signal if the difference frequency applied to its input has a certain value. One denotes that difference frequency, the one Frequency evaluation stage for the delivery of an output signal influenced as response frequency so are the values of the response frequencies of the individual frequency weighting levels chosen so that their distances from one another as the oscillation frequency approaches to the setpoint frequency, i.e. with decreasing values of the difference frequency (difference frequency goes towards zero), progressively decrease.

Zum Beispiel können 6 Frequenzbewertungsstufen vorgesehen werden mit folgenden Ansprechfrequenzen 1200 Hz, 450 Hz, 150 Hz, 60 Hz, 32 dz und 20Hz. Diese Werte erwiesen sich z.B. vorteilhaft beim Abgleich von Quarzen mit einem Frequenzbereich zwischen 0,5 bis etwa 10 MHz. Die Endfre- quenz eines auf diese Weise abgeglichenen Quarzes bewegt sich dann z. B. in einem Streubereich von + 12 Hz um die Sollfrequenz. For example, 6 frequency weighting levels can be provided with the following response frequencies 1200 Hz, 450 Hz, 150 Hz, 60 Hz, 32 dz and 20 Hz. These values have proven to be advantageous, for example, when aligning crystals with a frequency range between 0.5 to about 10 MHz. The final sequence of a balanced in this way Quartz then moves z. B. in a scatter range of + 12 Hz around the target frequency.

Die Ausgangssignale der einzelnen Frequenzbewertungsstufen sind einander äquivalent. Dies bedeutet, daß jedes Ausgangssignal die Abschaltung des Heizstromes der Heizvorrichtung im Rezipienten für eine bestimmte Zeitspanne bewirkt. Durch diese fest programmierten Zeiten der Heizpausen und die entsprechend dem fortschreitenden Abgleichzustand kürzer werdenden Heizzeiten (infolge der immer geringer werdenden Frequenzabstände zwischen den Frequenzbewertungsstufen bei abnehmender Differenzfrequenz) wird die Temperatur der Heizvonichtung so eingestellt, daß bei Annäherung der Schwingfrequenz des zu bedampfenden Körpers an die Sollfrequenz die Frequenzänderung (Absenkung der Schwingfrequenz) immer langsamer vor sich geht. The output signals of the individual frequency evaluation levels are mutually exclusive equivalent to. This means that every output signal switches off the heating current the heating device in the recipient for a certain period of time. By these permanently programmed times of the heating breaks and those corresponding to the progressive one Adjustment status of shorter heating times (as a result of the ever decreasing Frequency differences between the frequency evaluation levels with decreasing difference frequency) the temperature of the Heizvorichtung is set so that when approaching the oscillation frequency of the body to be vaporized to the target frequency the frequency change (lowering the oscillation frequency) is progressing more and more slowly.

Um dieses langsame Ansteuern der Sollfrequenz noch zielsicherer zu gestalten, kann das Verfahren in vorteilhafter Weise so abgeändert werden, daß ein bei einem Bedampfungsvorgang erstmalig auftretendes Ausgangssignal einer Frequenzbewertungsstufe eine Umschaltung der Heizvorrichtung in der Weise bewirkt, daß die Heizvorrichtung von einer Heizstufe 1 (Anheizstufe oder Grobabgleichstufe) auf eine Heizstufe 2 (Feinabgleichstufe) umgeschaltet wird. Die Heizleistung der Heizstufe 2 (Feinabgleich) ist gegenüber der Heizstufe 1 um etwa 30 bis 60 °/o reduziert (nach Bedarf einstellbar). Auf diese Weise wird erreicht, daß ein unbedampfter, soeben in den Rezipienten eingesetzter Körper, dessen mit der Sollfrequenz verglichene Schwingfrequenz eine Differenzfrequenz liefert, die oberhalb der Ansprechfrequenz einer Frequenzbewertungsstufe liegt (als maximale Differenzfrequenz kann z. B. eine Frequenz von 50 kIIz noch zugelassen werden) relativ rasch mit einer solchen Elektrodenschicht bedampft wird, daß seine ständig mit der Sollfrequenz verglichene Schwingfrequenz schließlich eine Differenzfrequenz liefert, die diese Frequenzbewertungsstufe zum Ansprechen bringt, was eine Umschaltung der Heizvorrichtung von der Heizstufe 1 (Grobabgleich) auf die Heizstufe 2 (Feinabgleich) nach Ablauf der fest programmierten Heizpausenzeit zur Folge hat. Die Ansprechfrequenz der letzten Frequenzbewertungsstufe ist so gewählt, daß ein beim Ansprechen dieser Bewertungsstufe auftretendes Ausgangssignal eine Endabschaltung der Heizvorrichtung und damit das Ende des Bedampfungsvorganges verursacht.In order to make this slow control of the target frequency even more targeted design, the method can be modified in an advantageous manner so that a Output signal of a frequency evaluation stage that occurs for the first time during a vapor deposition process switching the heating device in such a way that the heating device from a heating level 1 (heating level or coarse adjustment level) to a heating level 2 (Fine adjustment level) is switched. The heating output of heating level 2 (fine adjustment) is reduced by around 30 to 60% compared to heating level 1 (adjustable as required). In this way it is achieved that an unsteamed one has just been inserted into the recipient Body whose oscillation frequency compared with the setpoint frequency has a difference frequency that is above the response frequency of a frequency weighting level (as maximum difference frequency can e.g. B. a frequency of 50 kIIz is still permitted are) is deposited relatively quickly with such an electrode layer that his oscillation frequency constantly compared with the setpoint frequency, finally a difference frequency supplies, which brings this frequency evaluation stage to respond, what a switch the heating device from heating level 1 (coarse adjustment) to heating level 2 (fine adjustment) after the programmed heating pause time has expired. The response frequency the last frequency evaluation level is chosen so that a response to this Evaluation level occurring output signal a final shutdown of the heating device and thus the end of the steaming process.

In dem Rezipienten befinden sich in vorteilhafter Weise zwei Verdampfer mit ihren zugehörigen Heizvorrichtungen. Auf die Heizvorrichtungen kann das zum Aufdampfen vorgesehene Material, z. B. Gold, aufgelegt werden. Durch in den Verdampfern vorgesehene Öffnungen tritt dann der Golddampf aus und schlägt sich auf den Flächen des abzugleichenden und zwischen den Verdampfern angeordneten Schwingquarzes nieder. Der Quarz wird dadurch belastet, und die Schwingfrequenz sinkt. Two evaporators are advantageously located in the recipient with their associated heating devices. This can be done on the heating devices Vapor deposition provided material, e.g. B. gold, are placed. Through in the evaporators The gold vapor then emerges from the openings provided and hits the surfaces of the quartz oscillator to be adjusted and arranged between the evaporators. The quartz is stressed and the oscillation frequency drops.

Durch das die Endabschaltung des Verdampfungsvorganges bewirkende Signal der letzten Frequenzbewertungsstufe wird eine Zeitstufe wirksam geschaltet, die nach einer bestimmten Verzögerungszeit, während der die Heizvorrichtung abkühlen kann, ein Flutventil des Rezipienten öffnet. Der Rezipient kann sodann geöffnet werden und der abgeglichene Schwingquarz entnommen werden. Die Zeitstufe gibt dazu nach Ablauf der Verzögerungszeit ein das Ende des Abgleichsvorganges anzeigendes Signal. By causing the final shutdown of the evaporation process Signal of the last frequency evaluation stage, a timer stage is activated, after a certain delay time during which the heater cools down can, a flood valve of the recipient opens. The recipient can then open it and the calibrated quartz crystal removed. The time stage there to after the delay time has elapsed, an indicating the end of the calibration process Signal.

Das Verfahren kann noch dadurch verbessert werden, daß eine Fehl ererkennungs automatik vorgesehen wird. Die Automatik bewirkt, daß ein in den Rezipienten eingesetzter Körper nach dem Verschließen des Rezipienten rasch als fehlerhaft erkannt werden kann. The method can still be improved by the fact that an error automatic detection is provided. The automatic causes one in the recipient inserted body quickly recognized as defective after closing the recipient can be.

Claims

Patent claims:

1. Procedure for fine adjustment of the oscillation frequency of piezoelectric Body, in particular of quartz oscillators, by means of a vacuum that takes place Vapor deposition of such a body with electrode layers, which lowers the oscillation frequency corresponding strength, with the body constantly during the steaming process is kept in the swell state and at least one having a heating device, an evaporator which can be charged with the electrode material is provided, characterized in that that one by comparing the respective oscillation frequency of the body with a target frequency Settable variable obtained difference frequency several frequency evaluation levels is supplied that each evaluation level in the presence of one of the respective Evaluation level assigned differential frequency (response frequency) briefly Output signal emits that a shutdown of the heating device for a certain Time span (pause time) causes the intervals between the individual response frequencies from each other with decreasing difference frequency chosen to become progressively smaller and that the frequency evaluation level assigned to the lowest response frequency emits an output signal which causes the heater to be switched off at its limit

2. Method according to claim 1, characterized in that in at least one in two Heating levels operable heating device during a vapor deposition process for the first time from An output signal emitted by an evaluation stage activates the next lower one Heating stage after the first pause time has elapsed.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that at the limit switch-off between the evaporator and the body, a diaphragm falls into place.

4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in, that a special time stage is effective through a signal causing a final switch-off switched and after a predeterminable period of time automatically an atmospheric one Flooding of the vapor deposition system and the delivery of a termination of a calibration process indicating signal causes

5. Method according to one of the preceding claims, characterized in that a defective body eliminating accessory device generates a defective body signal when a) the oscillation frequency of the non-vaporized body is greater than a certain predeterminable frequency value, b) the oscillation frequency of the body is less than the nominalf? equepz, e) the body does not oscillate or oscillates with an amplitude that is too small, or the oscillation during the balancing process suspends.

6. The method according to claim S, characterized in that an opening and subsequent closing of a housing surrounding the body to be vaporized (Recipient) a reset of the additional device in its starting position and the commissioning of the Hen device causes.