DE19618320A1 - Device for "ball" bonding - Google Patents

Device for "ball" bonding

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum "Ball"-Bonden mit einem Bond-Werkzeug (Wedge-Kapillare) durch die ein Bonddraht, insbesondere Aluminium-Draht, hindurchgeführt und die auf- bzw. von den Bondstellen zu- bzw. wegbewegbar ist, und mit einer Ein­ richtung zur Ausbildung eines "Balls" am freien Ende des Bond­ drahtes vor Aufschweißen desselben auf eine zugeordnete Bond­ stelle.The invention relates to a device for "ball" bonding a bond tool (wedge capillary) through which a bond wire, in particular aluminum wire, and the up or can be moved towards or away from the bond points, and with an on Direction to form a "ball" at the free end of the bond wire before welding it onto an associated bond Job.

Eine derartige Vorrichtung ist allgemein bekannt und z. B. in der EP-B 0 299 987 oder US-A-4 586 642 beschrieben. Beim Stand der Technik nach der EP-B 0 299 987 umfaßt die Ein­ richtung zur Ausbildung eines "Balls" am freien Ende des Bond­ drahtes eine sogenannte Abflammlanze. Diese ist mittels eines Motors auf- und abbewegbar sowie mittels eines weiteren Motors auf die Bonddrahtspitze zu- bzw. von dieser wieder wegbewegbar. Beiden Motoren ist jeweils ein Zählwerk zugeordnet, die über eine Recheneinheit miteinander gekoppelt sind, so daß die ge­ wünschte Zuordnung der Abflammlanze zur freien Drahtspitze selbsttätig bzw. vollautomatisch herstellbar ist. Der Aufwand für eine präzise Zuordnung der Abflammlanze zur freien Draht­ spitze ist bei der bekannten Konstruktion relativ groß.Such a device is generally known and e.g. B. in EP-B 0 299 987 or US-A-4 586 642. In the prior art according to EP-B 0 299 987, the one Direction to form a "ball" at the free end of the bond wire a so-called flame lance. This is by means of a Motor can be moved up and down and by means of another motor can be moved towards or away from the bond wire tip. A counter is assigned to both motors a computing unit are coupled together so that the ge Desired assignment of the flame lance to the free wire tip  can be produced automatically or fully automatically. The effort for a precise assignment of the flame lance to the free wire tip is relatively large in the known construction.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, den vorgenannten Aufwand für die Bewegung der Abflammlanze zu reduzieren, und insbesondere eine Bondvorrichtung zu erhalten, mit der auch an Stellen nahe einer Gehäusewand problemlos gebondet werden kann.The present invention is therefore based on the object the aforementioned expenditure for the movement of the flame lance reduce, and in particular to get a bonding device with the problem also in places near a housing wall can be bonded.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Der Kern der vorliegenden Erfindung liegt also darin, daß die Einrichtung der Ausbildung eines "Balls" mit dem Bond-Werkzeug bzw. einem diese tragenden Bondkopf derart mechanisch gekoppelt ist, daß sie beim Absenken des Bond-Werkzeugs bzw. des zugeordneten Bondkopfes in eine Bondstellung aus ihrer "Ball"-Bildungs-Position herausschwenk­ bar ist. Damit wird sicher eine Kollision zwischen Abflamm-Ein­ richtung und Bondwerkzeug verhindert. Auf diese Weise wird ohne gesonderte Motoren oder dergleichen Antriebe erreicht, daß das Bond-Werkzeug ungehindert auf eine auch nahe einer Gehäuse- oder dergleichen Wandung angeordneten Bondstelle zubewegbar ist. Diese Bewegung wird durch die Einrichtung zur Ausbildung des "Balls" an der Bonddrahtspitze nicht behindert. Aufgrund der mechanischen Koppelung zwischen der vorgenannten Einrich­ tung und dem Bond-Werkzeug bzw. dem dieses tragenden Bondkopf ist der Aufwand für das Herausbewegen der Einrichtung zur Ausbildung des "Balls" an der Bonddrahtspitze vergleichsweise minimal. Gesonderte Antriebe dafür sind nicht erforderlich. Die Schwenkbewegung der Einrichtungsausbildung des "Balls" bzw. der dieser Einrichtung zugeordneten Abflammlanze erfolgt zwangsge­ steuert durch die Auf- und Abbewegung des Bondkopfes. Vorzugs­ weise erfolgt das Herausschwenken der Einrichtungsausbildung eines "Balls" bzw. der dieser Einrichtung zugeordneten Abflamm­ lanze aus der "Ball"-Bildungs-Position entgegen der Wirkung eines elastischen Rückstellelements, insbesondere entgegen der Wirkung einer Torsionsfeder. Damit ist ein gesonderter Antrieb für eine Rückbewegung der vorgenannten Einrichtung in die "Ball"-Bildungs-Position entbehrlich. Diese Maßnahme fördert die Reduzierung des Gesamtaufwandes erheblich. Eine besonders einfache konstruktive Ausbildung der Erfindung besteht darin, daß am zusammen mit dem Bond-Werkzeug auf- bzw. abbewegbaren Bondkopf ein sich parallel zur Bewegungsrichtung erstreckender Steuerarm mit an einem Ende, insbesondere dem der Bondstelle zugewandten unteren Ende, ausgebildeter Steuerfläche angeordnet ist, die mit einem um eine sich ebenfalls parallel zur Bewe­ gungsrichtung erstreckende Achse verschwenkbaren Haltearm zu­ sammenwirkt, an dessen freiem Ende die Einrichtung zur Ausbil­ dung eines "Balls" bzw. die Abflammlanze angeordnet ist. Mit vorgenannter Maßnahme wird die Auf- und Abbewegung des Bond­ kopfes in eine horizontale Schwenkbewegung des Haltearmes für die Abflammlanze umgesetzt.This object is achieved by the characterizing Features of claim 1 solved. The essence of the present The invention therefore lies in the fact that the establishment of training of a "ball" with the bond tool or one carrying it Bond head is mechanically coupled so that when lowering of the bond tool or the associated bond head into one Swing the bond position out of its "ball" formation position is cash. This is sure to be a collision between flame-on direction and bonding tool prevented. This way, without separate motors or the like drives achieved that Bond tool unhindered even on a housing or the like wall arranged to move bond point is. This movement is through the training facility of the "ball" at the tip of the bond wire. Because of the mechanical coupling between the aforementioned device device and the bonding tool or the bonding head carrying this is the effort for moving the facility out Formation of the "ball" on the bond wire tip comparatively minimal. Separate drives for this are not necessary. The Swiveling movement of the interior design of the "ball" or the this device is associated with the flame lance controls by moving the bondhead up and down. Preferential the furnishing training is swung out a "ball" or the flame associated with this device lance out of the "ball" formation position against the effect an elastic return element, especially against Effect of a torsion spring. This is a separate drive for a return movement of the aforementioned device in the "Ball" education position unnecessary. This measure promotes  the reduction of the total effort considerably. A special one simple construction of the invention consists in that can be moved up and down together with the bond tool Bond head a extending parallel to the direction of movement Control arm with at one end, especially that of the bond point facing lower end, trained control surface arranged is that with one by one is also parallel to the movement direction extending axis to pivotable bracket interacts, at its free end the training facility extension of a "ball" or the flame lance is arranged. With The aforementioned measure is the up and down movement of the bond head in a horizontal pivoting movement of the holding arm for the flame lance implemented.

Zur Einstellung des relativen Bewegungsablaufes ist der Steuer­ arm in Bewegungsrichtung bzw. in Richtung parallel zu seiner Längserstreckung verstellbar am Bondkopf angeordnet.The control is used to set the relative motion sequence arm in the direction of movement or in the direction parallel to it Longitudinally adjustable on the bond head.

Weitere konstruktive Details, die die oben gestellte Aufgabe fördern, sind in den Ansprüchen 5 bis 7 beschrieben, auf die hier Bezug genommen wird.Other constructive details that the above task promote are described in claims 5 to 7, to the is referred to here.

Im übrigen wird hinsichtlich weiterer Merkmale auch auf die nachstehende Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung hingewiesen, die in den anliegenden Zeichnungen schematisch dargestellt ist. Diese zeigen inMoreover, with regard to further features, the a description of a preferred embodiment of the Invention pointed out in the accompanying drawings is shown schematically. These show in

Fig. 1 eine erfindungsgemäß ausgebildete Bondvorrichtung in Vorderansicht; . Figure 1 is a bonding apparatus according to the invention formed in front view;

Fig. 2 die Bondvorrichtung gemäß Fig. 1 in Draufsicht; FIG. 2 the bonding device according to FIG. 1 in plan view;

Fig. 3 die Abflammlanze in Zuordnung zum Bond-Werkzeug in Vertikalschnitt und vergrößertem Maßstab und Fig. 3 shows the flame lance in association with the bond tool in vertical section and on an enlarged scale and

Fig. 4 die Abflammlanze gemäß Fig. 3 im Schnitt längs Linie IV-IV in Fig. 3. FIG. 4 shows the flame lance according to FIG. 3 in section along line IV-IV in FIG. 3.

In den Fig. 1 und 2 ist ein in Richtung des Doppelpfeiles 10 auf- und abbewegbarer Bondkopf 11 in Vorder- und Draufsicht dargestellt. Dieser Bondkopf 11 umfaßt ein Bond-Werkzeug 12, das auch als "Wedge-Kapillare" bezeichnet wird. Durch dieses Bond-Werkzeug 12 erstreckt sich ein nicht näher dargestellter Bonddraht, insbesondere Aluminiumdraht 13 hindurch. Das Bond- Werkzeug 12 ist am freien Ende eines Ultraschallerregers bzw. "Transducers" 14 angeordnet. Dem Transducer ist in Bonddraht- Vorschubrichtung eine Draht-Abreißklammer 15 vorgeordnet. Da es sich bei den vorgenannten Bauteilen um allgemein bekannte Kon­ struktionselemente handelt, wird hier auf eine nähere Beschrei­ bung derselben verzichtet.In Figs. 1 and 2, a bonding head up in the direction of the double arrow 10 and abbewegbarer is illustrated in front and plan view. 11 This bonding head 11 comprises a bonding tool 12 , which is also referred to as a "wedge capillary". A bonding wire (not shown in detail), in particular aluminum wire 13 , extends through this bonding tool 12 . The bond tool 12 is arranged at the free end of an ultrasound exciter or “transducer” 14 . A wire tear-off clip 15 is arranged upstream of the transducer in the bond wire feed direction. Since it is in the aforementioned components to well-known con struction elements, a detailed description of the same is omitted here.

Dem unteren freien Ende des nicht näher dargestellten Bond­ drahtes 13 bzw. der Bonddrahtspitze ist eine Einrichtung 16 zur Ausbildung eines "Balls" 17 (siehe Fig. 3 und 4) am freien Ende des Bonddrahtes 13 zugeordnet. Die Ausbildung des "Balls" an der Bonddrahtspitze erfolgt unmittelbar vor Aufschweißen der­ selben auf eine zugeordnete und hier nicht näher dargestellte Bondstelle. Die erwähnte Einrichtung zur Ausbildung eines "Balls" umfaßt eine sogenannte Abflammlanze 18, die am freien Ende eines in horizontaler Ebene verschwenkbar gelagerten Mal­ tearmes 19 befestigt ist. Der Maltearm 19 samt Abflammlanze 18 ist an einem gesonderten ortsfesten Maschinenteil 20 um eine dich parallel zur Bewegungsrichtung 10 des Bond-Werkzeugs 12 bzw. des Bondkopfes 11 erstreckende Achse 21 verschwenkbar gelagert. Am Bondkopf 11 ist ein sich ebenfalls parallel zur Bewegungsrichtung 10 desselben erstreckender Steuerarm 22 befe­ stigt, und zwar in Richtung parallel zur Bewegungsrichtung 10 einstellbar. Zu diesem Zweck weist der Steuerarm 22 am Bond­ kopf-Befestigungsabschnitt ein Langloch 23 auf, durch das sich eine Befestigungsschraube 24 hindurcherstreckt. Das der Bond­ stelle zugekehrte untere Ende des Steuerarms 22 ist keilförmig ausgebildet unter Darstellung einer sich schräg zur Bewegungs­ richtung 10 des Bondkopfes 11 erstreckenden Steuerfläche 25. beim Absenken des Bondkopfes 11 unter entsprechender Mitnahme des Bond-Werkzeugs 12 kommt die Steuerfläche 25 des Steuerarms 22 mit einer Rolle 27 in Kontakt, die auf einem horizontal ver­ schieblich gelagerten Schlitten 26 drehbar gelagert ist, wobei die Rollenachse sich senkrecht zur Bewegungsrichtung 10 des Bondkopfes sowie parallel zur Steuerfläche 25 des Steuerarms 22 erstreckt. Die Steuerfläche 25 drängt durch den erwähnten Kon­ takt mit der Rolle 27 den Schlitten 26 zur Seite, und zwar in den Fig. 1 und 2 nach links unter gleichzeitiger Mitnahme einer weiteren Rolle 29, die auf dem Schlitten 26 um eine Vertikal­ achse drehbar gelagert ist und an einem Mitnehmer 30 anliegt, der fest mit dem Haltearm 19 und dann mit diesem verschwenkbar verbunden ist. Durch die Rolle 29 und deren Kontakt mit dem Mitnehmer 30 wird beim Absenken des Bondkopfes 11 der Haltearm 19 sowie die damit verbundene Abflammlanze 18 aus der "Ball"- Bildungs-Position herausgeschwenkt, so wie dies in Fig. 2 durch die gestrichelte Lage des Haltearmes 19 dargestellt ist. In dieser Position des Haltearmes 19 und damit auch der Abflamm­ lanze 18 kann der Bondkopf samt Bond-Werkzeug 12 ungehindert weiter nach unten abgesenkt werden, bis das Bond-Werkzeug 12 in Anlage an die zugeordnete Bondstelle gelangt unter Aufschweißen des "Balls" 17 an der Bondstelle. Zum Absenken des Bond- Werkzeugs 12 wird die Abflammlanze 19 nicht behindert mit der Folge, daß das Bond-Werkzeug 12 auch an Bondstellen heranbewegt werden kann, die nahe einer aufrechten Gehäusewand oder der­ gleichen liegt. Damit sind Bondstellen auch innerhalb eines topfförmigen Gehäuses zugänglich, selbst dann, wenn diese sich nahe der Gehäusewand befinden. Die beschriebene Zwangssteuerung zwischen Bondkopf 11 und Abflammlanze 18 bzw. deren Haltearm 19 ermöglicht eine besonders einfache Konstruktion. Die Rückbewe­ gung des Haltearmes 19 samt Abflammlanze 18 erfolgt durch eine Torsionsfeder, die hier nicht näher dargestellt ist. Diese Tor­ sionsfeder ist um die Schwenkachse 21 des Haltearmes 19 wirk­ sam. Alternativ kann auch eine Schraubendruck- oder Schrauben­ zugfeder als Rückstellelement dienen.A device 16 for forming a "ball" 17 (see FIGS. 3 and 4) at the free end of the bonding wire 13 is assigned to the lower free end of the bonding wire 13 or the bonding wire tip, which is not shown. The "ball" is formed on the bond wire tip immediately before it is welded onto an associated bond site, which is not shown here. The aforementioned device for forming a "ball" comprises a so-called flame lance 18 which is attached to the free end of a tear tear 19 which is pivotally mounted in the horizontal plane. The painting arm 19 including the flame lance 18 is mounted on a separate stationary machine part 20 so as to be pivotable about an axis 21 extending parallel to the direction of movement 10 of the bonding tool 12 or the bonding head 11 . On the bond head 11 is also a parallel to the direction of movement 10 extending the same control arm 22 BEFE Stigt, namely in the direction parallel to the direction of movement 10 adjustable. For this purpose, the control arm 22 on the bond head fastening section has an elongated hole 23 through which a fastening screw 24 extends. The lower end of the control arm 22 facing the bond is wedge-shaped, with a control surface 25 extending obliquely to the direction of movement 10 of the bond head 11 . when lowering the bondhead 11 with appropriate entrainment of the bonding tool 12 , the control surface 25 of the control arm 22 comes into contact with a roller 27 which is rotatably mounted on a horizontally displaceably mounted slide 26 , the roller axis being perpendicular to the direction of movement 10 of the bondhead and extends parallel to the control surface 25 of the control arm 22 . The control surface 25 pushes through the mentioned con tact with the roller 27, the carriage 26 to the side, in FIGS. 1 and 2 to the left while simultaneously taking along another roller 29 which is rotatably mounted on the carriage 26 about a vertical axis and bears against a driver 30 which is fixedly connected to the holding arm 19 and then pivotably connected to it. Due to the roller 29 and its contact with the driver 30 , the holding arm 19 and the associated flame lance 18 are pivoted out of the “ball” formation position when the bonding head 11 is lowered, as is shown in FIG. 2 by the broken line position of the holding arm 19 is shown. In this position of the holding arm 19 and thus also the flame lance 18 , the bond head together with the bond tool 12 can be lowered further unhindered until the bond tool 12 comes into contact with the associated bond point while welding the "ball" 17 onto it Bond office. To lower the bond tool 12 , the flame lance 19 is not hindered, with the result that the bond tool 12 can also be moved to bond points that are close to an upright housing wall or the like. Bond points are thus also accessible within a pot-shaped housing, even if they are close to the housing wall. The described positive control between the bonding head 11 and the flame lance 18 or their holding arm 19 enables a particularly simple construction. The return movement of the holding arm 19 together with the flame lance 18 is carried out by a torsion spring, which is not shown here. This gate spring is around the pivot axis 21 of the holding arm 19 effective sam. Alternatively, a helical compression spring or tension spring can also serve as a restoring element.

Die Schwenkbewegung des Mitnehmers 30 bedingt durch die Hin- und Herbewegung der Rolle 29 ist durch den Doppelpfeil 31 ange­ deutet. Dieser Schwenkbewegung folgt der Haltearm 19 gleicher­ maßen aufgrund der starren Verbindung zwischen Mitnehmer 30 und Haltearm 19, wobei sich der Mitnehmer 30 bei der dargestellten Ausführungsform senkrecht zum Haltearm 19 erstreckt, und zwar auf Höhe der Schwenkachse 21 des Haltearmes 19. Die erwähnte Hin- und Herbewegung der mit dem Mitnehmer 30 zusammenwirkenden Rolle 29 ist in Fig. 2 mit dem Doppelpfeil 32 angedeutet. Der Doppelpfeil 32 entspricht natürlich auch der Hin- und Herbewe­ gung des Schlittens 26 bedingt durch die Auf- und Abbewegung des Steuerarms 22, der der Auf- und Abbewegung 10 des Bond­ kopfes 11 folgt.The pivoting movement of the driver 30 due to the back and forth movement of the roller 29 is indicated by the double arrow 31 . This pivoting movement is followed by the holding arm 19 to the same extent due to the rigid connection between the driver 30 and the holding arm 19 , the driver 30 in the illustrated embodiment extending perpendicular to the holding arm 19 , namely at the level of the pivot axis 21 of the holding arm 19 The mentioned back and forth movement of the roller 29 cooperating with the driver 30 is indicated in FIG. 2 by the double arrow 32 . The double arrow 32 of course corresponds to the back and forth movement of the carriage 26 due to the up and down movement of the control arm 22 , which follows the up and down movement 10 of the bond head 11 .

In den Fig. 3 und 4 ist die Abflammlanze 18 in vergrößertem Maßstab in Längs- sowie Querschnitt dargestellt. Dementspre­ chend umfaßt die Abflammlanze einen im Querschnitt (Fig. 4) L-förmigen Abschnitt. In den durch die beiden Schenkel des L-förmigen Abschnitts begrenzten Raum 33 taucht zum Zwecke der Ausbildung eines "Balls" an der Bonddrahtspitze diese ein, so wie dies in den Fig. 3 und 4 dargestellt ist. An der Oberseite des Horizontalschenkels der Abflammlanze ist eine Flachelektro­ de 34 angeordnet, die über eine Klemm- und Kontaktschraube 35 mit einer elektrischen Leitung 36 verbunden ist. Die elektri­ sche Leitung 36 führt zu einer nicht näher dargestellten Strom­ quelle. Die Klemm- und Kontaktschraube 35 dient auch zur Fixie­ rung der Flachelektrode 34 an der Oberseite des Horizontal­ schenkels der Abflammlanze 18, so wie dies in Fig. 3 angedeutet ist.In FIGS. 3 and 4, the flame-scarfing lance is shown in an enlarged scale in longitudinal and transverse cut 18. Dement spreader accordingly, the flame lance includes a cross-section ( Fig. 4) L-shaped section. In the space 33 delimited by the two legs of the L-shaped section, for the purpose of forming a "ball" at the bond wire tip, the latter is immersed, as is shown in FIGS. 3 and 4. At the top of the horizontal leg of the flame lance, a flat electrode 34 is arranged, which is connected via a clamping and contact screw 35 to an electrical line 36 . The electrical cal 36 leads to a power source, not shown. The clamping and contact screw 35 also serves for Fixie tion of the flat electrode 34 on the top of the horizontal leg of the flame lance 18 , as indicated in Fig. 3.

Oberhalb der Flachelektrode 34 mündet stirnseitig in den durch die beiden Schenkel der Abflammlanze begrenzten Raum 33 eine Öffnung 37, durch die hindurch in den Raum 33 Inertgas, insbe­ sondere Argon, eingeblasen wird (Pfeil 38).Above the flat electrode 34 , an opening 37 ends at the end in the space 33 delimited by the two legs of the flame lance, through which inert gas, in particular argon, is blown into the space 33 (arrow 38 ).

Der Horizontalschenkel der Abflammlanze 18 ist in den Fig. 3 und 4 mit der Bezugsziffer 39 gekennzeichnet, während der Ver­ tikalschenkel die Bezugsziffer 40 aufweist. An der dem Verti­ kalschenkel 40 gegenüberliegenden Seite ist die Abflammlanze 18 offen. Dementsprechend kann die Abflammlanze 18 ungehindert die anhand der Fig. 1 und 2 beschriebene Horizontal-Schwenkbewegung durchführen, ohne daß die Abflammlanze zu diesem Zweck vorher abgesenkt oder die Drahtspitze mit "Ball" 17 angehoben werden muß. The horizontal leg of the flame lance 18 is identified in FIGS . 3 and 4 by the reference number 39 , while the United tical leg has the reference number 40 . On the Verti kalschenkel 40 opposite the flame lance 18 is open. Accordingly, the flame lance 18 can freely carry out the horizontal pivoting movement described with reference to FIGS . 1 and 2, without the flame lance having to be lowered beforehand for this purpose or the wire tip having to be raised with a "ball" 17 .

Die beschriebene Vorrichtung eignet sich insbesondere für das "Ball"-Bonden von Aluminium-Dickdraht. Dabei ist zu bedenken, daß man bisher ein "Ball"-Bonden mit Aluminiumdraht im normalen Fertigungsbetrieb nicht für möglich gehalten hat. Durch
schnelle Oxidation der Drahtspitze bei der Ausbildung eines "Balls" neigt dieser zur Abtrennung, bevor er auf eine Bond­ stelle gepreßt werden kann. Die Drahtspitze brennt also regel­ recht ab. Da erfindungsgemäß die Ausbildung des "Balls" 17 in einer Inertgas-Umgebung erfolgt, ist der Aluminiumdraht jedoch beherrschbar geworden. Dies gilt insbesondere für Aluminium- Dickdraht, aber natürlich auch für Aluminium-Dünndraht.The device described is particularly suitable for the "ball" bonding of thick aluminum wire. It should be borne in mind that a "ball" bonding with aluminum wire has not previously been considered possible in normal manufacturing operations. By
Rapid oxidation of the wire tip during the formation of a "ball" tends to separate it before it can be pressed onto a bond. The wire tip burns down really. Since, according to the invention, the formation of the "ball" 17 takes place in an inert gas environment, the aluminum wire has become manageable. This applies in particular to thick aluminum wire, but of course also to thin aluminum wire.

Sämtliche in den Anmeldungsunterlagen offenbarten Merkmale wer­ den als erfindungswesentlich beansprucht, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.All features disclosed in the registration documents claimed as essential to the invention, insofar as they are individually or are new in combination with the prior art.

BezugszeichenlisteReference list

10 Doppelpfeil
11 Bondkopf
12 Bondkapillare (Wedge-Kapillare)
13 Bonddraht
14 Transducer
15 Abreißklammer
16 Einrichtung zur Ausbildung eines "balls"
17 "ball"
18 Abflammlanze
19 Haltearm
20 Maschinenteil
21 Schwenkachse
22 Steuerarm
23 Langloch
24 Befestigungsschraube
25 Steuerfläche
26 Schlitten
27 Rolle
28 Rollenachse
29 Rolle
30 Mitnehmer
31 Doppelpfeil
32 Doppelpfeil
33 Raum
34 Flachelektrode
35 Klemm- und Kontaktschraube
36 elektrische Leitung
37 Öffnung
38 Pfeil
39 Horizontalschenkel
40 Vertikalschenkel 10 double arrow
11 bond head
12 bond capillaries (wedge capillaries)
13 bond wire
14 transducers
15 tear-off clip
16 device for forming a "ball"
17 "ball"
18 flame lance
19 holding arm
20 machine part
21 swivel axis
22 control arm
23 slot
24 fastening screw
25 control surface
26 sledges
27 roll
28 roller axis
29 roll
30 drivers
31 double arrow
32 double arrow
33 room
34 flat electrode
35 clamping and contact screw
36 electrical wire
37 opening
38 arrow
39 horizontal legs
40 vertical legs

Claims (7)

1. Vorrichtung zum "Ball"-Bonden mit einer Bond-Werkzeug (Wedge-Kapillare 12), durch die ein Bonddraht (13), insbesondere Aluminiumdraht, hindurchgeführt und die auf bzw. von Bondstellen zu- bzw. wegbewegbar ist, und mit einer Einrichtung (16) zur Ausbildung eines "Balls" (17) am freien Ende des Bonddrahtes (13) vor Aufschweißen desselben auf eine zugeordnete Bondstelle, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (16) zur Ausbildung eines "Balls" (17) mit der Bondkapillare (12) bzw. einem diese tragenden Bondkopf (11) derart mechanisch gekoppelt ist, daß sie beim Absen­ ken der Bondkapillare (12) bzw. des zugeordneten Bond­ kopfes (11) in eine Bondstellung aus ihrer "Ball"-Bil­ dungs-Position herausschwenkbar ist. 1. Device for "ball" bonding with a bonding tool (wedge capillary 12 ), through which a bonding wire ( 13 ), in particular aluminum wire, is guided and which can be moved towards or away from bonding sites, and with a Device ( 16 ) for forming a "ball" ( 17 ) at the free end of the bonding wire ( 13 ) before welding it onto an associated bond point, characterized in that the device ( 16 ) for forming a "ball" ( 17 ) with the bond capillary ( 12 ) or a bond head ( 11 ) carrying this is mechanically coupled in such a way that when it lowers the bond capillary ( 12 ) or the associated bond head ( 11 ) it can be pivoted out of its "ball" formation position into a bond position is. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Herausschwenken der Einrichtung (16) zur Ausbildung eines "Balls" (17) aus der "Ball"-Bildungs-Position entge­ gen der Wirkung eines elastischen Rückstellelements, ins­ besondere einer Torsionsfeder, erfolgt.2. Device according to claim 1, characterized in that the pivoting out of the device ( 16 ) to form a "ball" ( 17 ) from the "ball" formation position against the effect of an elastic return element, in particular a torsion spring . 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß am zusammen mit der Bond-Werkzeug (12) auf- und abbeweg­ baren Bondkopf (11) ein sich parallel zur Bewegungsrich­ tung (10) erstreckender Steuerarm (22) mit an einem Ende, insbesondere dem der Bondstelle zugewandten unteren Ende, ausgebildeten Steuerfläche (25) angeordnet ist, die direkt oder indirekt mit einem um eine sich ebenfalls parallel zur Bewegungsrichtung (10) des Bondkopfes (11) er­ streckende Achse (21) verschwenkbaren Haltearm (19) zu­ sammenwirkt, an dessen freiem Ende die Einrichtung (16) zur Ausbildung eines "Balls" (17) angeordnet ist.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that on together with the bonding tool ( 12 ) up and down movable ble head ( 11 ) extending parallel to the direction of movement ( 10 ) extending control arm ( 22 ) with at one end , in particular the lower end facing the control surface, is arranged a control surface ( 25 ) which is directly or indirectly connected to a holding arm ( 19 ) which can be pivoted about an axis ( 21 ) which also extends parallel to the direction of movement ( 10 ) of the bonding head ( 11 ) interacts, at the free end of the device ( 16 ) for forming a "ball" ( 17 ) is arranged. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerarm (22) in Bewegungsrichtung (10) des Bond­ kopfes (11) bzw. in Richtung parallel zu seiner Längser­ streckung verstellbar ist.4. The device according to claim 3, characterized in that the control arm ( 22 ) in the direction of movement ( 10 ) of the bond head ( 11 ) or in the direction parallel to its longitudinal extension is adjustable. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerfläche (25) des Steuerarms (22) mit einem quer zu dessen Längserstreckung verschieblich gelagerten Schlitten (26) zusammenwirkt, welcher bei Verschiebung aus einer Ausgangsposition heraus die Schwenkbewegung des Haltearms (19) für die Einrichtung (16) zur Ausbildung eines "Balls" (17) veranlaßt. 5. Apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that the control surface ( 25 ) of the control arm ( 22 ) cooperates with a slidably mounted transversely to the longitudinal extent of the carriage ( 26 ) which, when displaced from an initial position, the pivoting movement of the holding arm ( 19th ) for the device ( 16 ) to form a "ball" ( 17 ). 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (16) zur Ausbildung eines "Balls" (17) eine im Querschnitt L-förmige Abflammlanze (18) umfaßt, die eine mit einer Stromquelle verbindbare Elektrode (34) aufweist.6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the device ( 16 ) for forming a "ball" ( 17 ) comprises a cross-sectionally L-shaped flame lance ( 18 ) which has an electrode ( 34 ) having. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß in den Bereich zwischen den beiden Schenkeln (39, 40) der Abflammlanze (18) eine Öffnung (37) zur Einleitung von In­ ertgas, insbesondere Argon, mündet.7. The device according to claim 6, characterized in that in the region between the two legs ( 39 , 40 ) of the flame lance ( 18 ) an opening ( 37 ) for introducing inert gas, in particular argon, opens out.
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