DE19616248A1 - Contactless thickness measurement device for sheet material - Google Patents

Contactless thickness measurement device for sheet material

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Abstract

The device employs an induction or eddy current sensor activated by a coil wound on a cylindrical ferromagnetic sensor head (4). The head (4) is positioned at one end of a pivoted (3) arm (2) counterbalanced by a receptacle (weight (8) within a housing (1) which is vertically located with respect to a guide roller (17) for the sheet (18) by a pneumatic cylinder (13,14). A small air cushion (16) of sensibly constant size is maintained between the head (4) and sheet (18) by a filtered airstream conveyed from the inlet (10) by the flexible conduit (9) to a bore (5) of 0.2 to 0.6 mm. A terminal (12) connected signals form the head (4) for external evaluation (not shown).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Dickenmessung eines flachen Meßgutes, wie einer Bahn, eines Bandes oder einer Schicht, mit einem nach dem magnetinduktiven Verfahren oder dem Wirbelstromverfahren arbeitenden Sensor mit einem Sensor­ körper mit ringförmigem Spulensystem.The invention relates to a device for contactless Thickness measurement of a flat material to be measured, such as a web or a tape or a layer with one by the magnetic induction method or the eddy current process sensor with a sensor body with ring-shaped coil system.

Es sind Rollsonden mit nach den genannten Verfahren arbeiten­ den Meßsensoren bekannt, bei denen ein rotationssymmetrischer Rollkörper direkt auf dem Flachmaterial abrollt. Bei dieser Sonde ist es nachteilig, daß der berührende Teil der Sonde auf dem Flachmaterial eine Spur hinterlassen kann, insbesondere, wenn das Flach­ material verformbar oder klebrig ist, die Sonde an der Berührungsstelle in das Flachmaterial einsinkt und die entstandene Verformung nicht wiedervollständig zurückgeht. In vielen Fällen sind diese Sonden auch nicht traversierfähig. Sie können zwar in Umfangsrichtung der Meßwalze abrollen; in Querrichtung kann sich der Rollkörper jedoch nur schleifend bewegen, wodurch wiederum die Oberfläche des Meßgutes beschädigt werden kann oder die Sonde Spuren auf der Bahn verursacht. Außerdem kann dabei die Meßgenauigkeit durch Ver­ kippen des Sensors beeinträchtigt werden.There are roller probes to work with according to the above-mentioned methods the measuring sensors known, in which a rotationally symmetrical Rollers roll directly on the flat material. With this probe it is disadvantageous that the touching part of the probe on the Flat material can leave a mark, especially if the flat material is deformable or sticky, the probe at the point of contact sinks into the flat material and the resulting deformation does not goes back completely. In many cases, these are probes also not traversable. You can circumferentially though unroll the measuring roller; in the transverse direction, the rolling body however only move by sanding, which in turn causes the surface of the sample can be damaged or the probe traces on the Web caused. In addition, the accuracy of measurement by Ver tilting the sensor.

Aus DE 34 35 908 A ist eine Vorrichtung zum berührungslosen, kontinuierlichen Messen der Dicke einer Materialbahn aus polymerem Werkstoff bekannt, bei der der Meßsensor eine Luftdüse hat, durch die ein auf das Meßgut gerichteter Luftstrom erzeugt wird, durch den zwischen Düse und Meßgut ein konstanter Abstand eingehalten werden soll. Der Meßpol ist hierbei in einer ringförmigen Düse angeordnet, die zwangsläufig eine beträchtliche Dimension haben muß. Die Messung ist daher nicht punktuell, weil sich die Luft­ schicht über eine größere Fläche des Meßgutes erstreckt und Dickenänderungen auf dieser Fläche statistisch erfaßt werden.DE 34 35 908 A describes a device for contactless, continuous measurement of the thickness of a web of polymer Known material in which the measuring sensor has an air nozzle through which generates an air flow directed towards the material to be measured by maintain a constant distance between the nozzle and the material to be measured shall be. The measuring pole is in an annular nozzle  arranged, which necessarily have a considerable dimension got to. The measurement is therefore not selective because the air layer extends over a larger area of the measured material and Changes in thickness on this surface can be recorded statistically.

Der Sensor muß auf die Trommelkrümmung abgestimmt sein. Trotzdem ist die Luftströmung im Spalt zwischen Düse und Meßgut infolge der richtungsabhängigen Spaltkrümmung asymmetrisch. Dies und die Aufhängung des Sensors mittels Feder hat zur Folge, daß die Vor­ richtung leicht zu Schwingungen neigt. Schließlich ist die mecha­ nische Konstruktion der Düse mit zwei separaten, senkrecht zuein­ ander wirkenden Luftpolstern kompliziert.The sensor must be matched to the curvature of the drum. Nevertheless is the result of the air flow in the gap between the nozzle and the material to be measured the directional gap curvature asymmetrical. This and that Suspension of the sensor by means of a spring means that the front direction tends to vibrate slightly. After all, the mecha African construction of the nozzle with two separate, perpendicular to each other other air cushions complicated.

Aus US 4,742,299 ist eine luftgelagerte Wirbelstromsonde be­ kannt, die im wesentlichen die gleichem Mängel wie die zuvor be­ schriebene Sonde hat. Das Gerät dient zur Dickenmessung eines stationären Meßgutes in senkrechter Ebene.From US 4,742,299 an air-bearing eddy current probe is be knows that be essentially the same shortcomings as those previously has written probe. The device is used to measure the thickness of a stationary measured material in a vertical plane.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur berührungslosen Dickenmessung eines flachen oder profilierten Meß­ gutes, z. B. einer Bahn, eines. Bandes oder einer Schicht, zu schaffen, bei der die zur Messung erfaßte Fläche möglich klein bzw. punktu­ ell ist. Ferner soll die Vorrichtung eine stabile und konstante Luftpolsterschicht zwischen Sonde und Meßgut erzeugen, die gegen­ über äußeren Einflußfaktoren unempfindlich ist. Weiterhin soll die Meßvorrichtung von einfacher und robuster Konstruktion sein, so daß sie auch dem rauhen Betrieb einer Dickenmessung an laufen­ der Materialbahn gewachsen ist. Weitere Vorteile der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung.The invention has for its object a device for non-contact thickness measurement of a flat or profiled measurement good, e.g. B. a train, one. Tape, or a layer, to create in which the area recorded for measurement is as small or punctual as possible ell is. Furthermore, the device is said to be stable and constant Generate air cushion layer between the probe and the material to be measured, which against is insensitive to external factors. Furthermore should the measuring device be of simple and robust construction, so that they also run the rough operation of a thickness measurement the material web has grown. Other advantages of the invention device according to the following description.

Diese Aufgabe wird bei der eingangs genannten Vorrichtung zur berührungslosen Dickenmessung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Sensorkörper einen zum Spulensystem zentrisch mündenden, senkrecht auf das Meßgut gerichteten Luftkanal aufweist und an dem einen Ende eines schwenkbar gelagerten Waagebalkens angebracht ist. Es hat sich gezeigt, daß der durch den zentralen Luftkanal abgestrahlte Luftstrom eine relativ kleine Luftschicht aufbaut, die eine genaue Dickenmessung ermöglicht. Die Luftpolsterschicht ist gegenüber äußeren Einflüssen relativ unempfindlich und in ihrer Dicke zeitlich konstant. Die Anbringung an einem als Waage­ balken bezeichneten, zweiarmigen Hebel erlaubt die einfache Aus­ tarierung und ist weniger schwingungsempfindlich als die Aufhän­ gung oder Lagerung mittels einer Feder. Die erfindungsgemäße Vor­ richtung kann auch im Traversierbetrieb arbeiten, ohne daß es dabei zu einer Verkippung des Sensors oder zu einer Änderung der Luft­ schichtdicke kommt. Vorzugsweise steht der Luftkanal über die Unterseite des Sensorkörpers rohrförmig über. Der Überstand liegt in dem Bereich von 0,2 bis 0,7 mm, vorzugsweise in dem Bereich von 0,4 bis 0,5 mm.This object is achieved with the device mentioned at the beginning for contactless thickness measurement according to the invention, that the sensor body opens out centrally to the coil system, has air duct directed perpendicular to the material to be measured and on attached to one end of a pivoted balance beam  is. It has been shown that through the central air duct radiated air flow builds up a relatively small layer of air, which enables an accurate thickness measurement. The air cushion layer is relatively insensitive to external influences and in their thickness constant over time. Attachment to a as a scale bar-marked, two-armed lever allows easy off taring and is less sensitive to vibrations than the hangers spring or storage. The invention before direction can also work in traversing mode without it to tilt the sensor or to change the air layer thickness comes. The air duct is preferably above the Underside of the sensor body tubular. The supernatant lies in the range of 0.2 to 0.7 mm, preferably in the range of 0.4 to 0.5 mm.

Bei der bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der Luftkanal in dem Sensorkörper durch eine axiale geradlinige Bohrung gebildet, in die ein Kapillarrohr ein­ gesetzt ist. Die Bohrung liegt axial zu dem Spulensystem und hat in dem ferromagnetischen Material des Sensorkörpers einen größeren Durchmesser als der eigentliche Luftkanal, wodurch das Einbringen der Bohrung erleichtert wird. In diese Bohrung wird dann das Ka­ pillarrohr mit der gewünschten lichten Weite eingesetzt, beispiels­ weise eingeklebt. Das Kapillarrohr besteht aus einem anderen Mate­ rial als der Sensorkörper, z. B. aus Edelstahl, und ist in verschie­ denen Weiten im Handel erhältlich.In the preferred embodiment of the invention The air channel in the sensor body is through a device axial straight bore formed into which a capillary tube is set. The bore lies axially to the coil system and has a larger one in the ferromagnetic material of the sensor body Diameter than the actual air duct, thereby introducing it the bore is facilitated. The Ka pillar tube used with the desired clear width, for example glued in wisely. The capillary tube is made of a different mate rial as the sensor body, e.g. B. made of stainless steel, and is in various which widths are commercially available.

Vorzugsweise ist der Sensorkörper ein rotationssymmetrischer Körper von E-förmigem Axialschnitt mit in der Symmetrieachse liegen­ dem Luftkanal. Die ringförmige Ausnehmung des Sensorkörpers dient zur Aufnahme des Spulensystems und ist vorzugsweise zum Meßgut hin offen. Dieser Sensorkörper ist besonders für das magnetinduk­ tive Meßverfahren geeignet. Der Sensorkörper besteht dann aus einem ferromagnetischen Metall. Die dem Meßgut zugewandte Unterseite des Sensorkörpers in der Umgebung der Luftkanalmündung ist zweck­ mäßigerweise ballig ausgebildet. Diese von der Ausnehmung für das Spulensystem umgebene Bodenfläche kann beispielsweise als Kugel­ segmentfläche ausgebildet sein.The sensor body is preferably a rotationally symmetrical one Body of E-shaped axial section lying in the axis of symmetry the air duct. The annular recess of the sensor body serves to accommodate the coil system and is preferably to be measured open towards. This sensor body is especially for the magnetinduk tive measuring method suitable. The sensor body then consists of a ferromagnetic metal. The underside facing the material to be measured of the sensor body in the vicinity of the air duct opening is appropriate moderately spherical. This from the recess for that Ground surface surrounded by the coil system can be, for example, a ball  be segmented.

Nach der bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der Waagebalken in einem Gehäuse mit bodenseitiger Öffnung so gelagert, daß der Meßsensor durch die Öffnung aus dem Gehäuse ragt. Die Vorrichtung wird zur Dickenmessung einer hori­ zontal laufenden Bahn auf deren Oberseite so angeordnet, daß der durch die bodenseitige Öffnung vorstehende Sensor durch den Luft­ strahl die Luftschicht zum Meßgut hin ausbildet. Zweckmäßigerweise enthält die Wand des Gehäuses einen Luftanschlußstutzen, der durch eine Luftleitung mit dem Luftkanal des Sensorkörpers verbunden ist, und enthält die Luftleitung eine hochflexible Biegung, deren Krüm­ mungsmittelpunkt in oder nahe der durch die Schwenkachse des Waage­ balkens gehenden Vertikalebene liegt. Die für die Dickenmessung er­ forderliche Empfindlichkeit der Waagebalkenbewegung wird durch die Luftleitung praktisch nicht beeinträchtigt, da Leitungsverformun­ gen infolge von Waagebalkenausschlägen minimiert sind. Zweckmäßiger­ weise ist der Luftanschlußstutzen auf der Oberseite des Gehäuses angeordnet. Das Gehäuse ist durch eine pneumatische Kolben/Zylin­ der-Einheit vertikal verfahrbar. Die Vorrichtung kann so zwischen der Meßstellung nahe am Meßgut und einer zurückgezogenen Stellung verfahren werden, in der z. B. die das Meßgut darstellende Bahn in die Maschine eingezogen werden kann. Die Steuerung der pneumatischen Kolben/Zylinder-Einheit kann mit einer automatischen Abschaltung der Luftzufuhr zu dem Luftkanal gekoppelt sein.According to the preferred embodiment of the invention The device is the balance beam in a housing with a bottom Opening so that the measuring sensor through the opening from the Housing protrudes. The device is used to measure the thickness of a hori zonally running track arranged on the top so that the sensor protruding through the opening at the bottom through the air beam forms the air layer towards the material to be measured. Conveniently contains the wall of the housing an air connector that through an air line is connected to the air duct of the sensor body, and contains the air duct a highly flexible bend, the bend center in or near that through the pivot axis of the balance vertical vertical plane. He for the thickness measurement required sensitivity of the balance beam movement is determined by the Air line practically not impaired because of line deformation conditions due to balance beam deflections are minimized. More appropriate the air connection piece on the top of the housing is wise arranged. The housing is through a pneumatic piston / cylin the unit can be moved vertically. The device can be between the measuring position close to the material to be measured and a retracted position be operated in the z. B. the web representing the material to be measured in the machine can be drawn in. The control of the pneumatic Piston / cylinder unit can be switched off automatically the air supply to the air duct can be coupled.

Der Luftkanal in dem Sensorkörper hat im allgemeinen einen Durchmesser in dem Bereich von 0,2 und 0,6 mm, vorzugsweise zwischen 0,3 und 0,4 mm. In einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel liegt der Durchmesser bei 0,35 mm.The air channel in the sensor body generally has one Diameters in the range of 0.2 and 0.6 mm, preferably between 0.3 and 0.4 mm. In a particularly preferred embodiment the diameter is 0.35 mm.

Eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung wird nachfolgend an Hand der Zeichnung näher beschrieben.An embodiment of the measuring device according to the invention is described below with reference to the drawing.

Ein stufenförmiges Gehäuse 1 hat in seinem Boden 1a eine Öff­ nung 1 b. In dem Gehäuse ist in Bodennähe ein hier als Waagebalken bezeichneter zweiarmiger Hebel 2 um eine Achse 3 schwenkbar gela­ gert. Das eine Ende des Waagebalkens 2 trägt unterseitig einen rotationssymmetrischen, im Axialschnitt E-förmig ausgebildeten Sensorkörper 4 mit einem axialen Luftkanal 5. In der ringförmigen, nach unten offenen Ausnehmung 6 des Sensorkörpers ist das Spulen­ system 7 untergebracht, das hier nur schematisch dargestellt ist. Auf dem anderen Ende des Balkens 2 befindet sich ein Behälter 8 zur Aufnahme von Tariergut (nicht dargestellt).A step-shaped housing 1 has a opening 1 b in its bottom 1 a. In the housing near the ground, a two-armed lever 2, referred to here as a balance beam, can be pivoted about an axis 3 . One end of the balance beam 2 carries on the underside a rotationally symmetrical sensor body 4 with an axial air channel 5 and of an E-shaped axial section. In the annular, downwardly open recess 6 of the sensor body, the coil system 7 is housed, which is shown only schematically here. On the other end of the bar 2 there is a container 8 for receiving buoyancy goods (not shown).

Der zentrale Luftkanal 5 ist über eine Luftleitung 9 mit einem Luftanschlußstutzen 10 verbunden, der in der Decke 1 c des Gehäuses angebracht ist. Die Leitung 9 enthält einen um 180° etwa kreisför­ mig gekrümmten, flexiblen Teil 9a, dessen Krümmungsmittelpunkt 11 in der Nähe der durch die Achse 3 gehenden Vertikalebene liegt.The central air duct 5 is connected via an air line 9 to an air connection piece 10 , which is attached in the ceiling 1 c of the housing. The line 9 contains a 180 ° approximately circularly curved, flexible part 9 a, the center of curvature 11 of which is close to the vertical plane passing through the axis 3 .

In der Stufenwand 1 d des Gehäuses 1 ist eine Klemme 12 für den elektrischen Anschluß des Spulensystems 7 angebracht, wobei die von der Klemme 12 zu dem Spulensystem 7 führenden hochflexiblen Litzen nicht dargestellt sind. An der Stufe 1 d greift ferner die Kolbenstange 13 einer Kolben/Zylinder-Einheit 14 an, die in der Zeichnung nur schematisch und teilweise angedeutet ist.A clamp 12 for the electrical connection of the coil system 7 is attached in the step wall 1 d of the housing 1 , the highly flexible strands leading from the clamp 12 to the coil system 7 not being shown. At stage 1 d , the piston rod 13 also acts on a piston / cylinder unit 14 , which is only schematically and partially indicated in the drawing.

Der Meßsensor 4 hat unterseitig in der Umgebung der Mündung des Luftkanals 5 eine axialsymmetrische Kugelsegmentfläche 15. Der Luft­ spalt 16 ist zwischen der Kugelsegmentfläche 15 und der Oberseite des über die Walze 17 laufenden Bandes 18 gebildet.The measuring sensor 4 has an axially symmetrical spherical segment surface 15 in the vicinity of the mouth of the air duct 5 . The air gap 16 is formed between the spherical segment surface 15 and the top of the belt 18 running over the roller 17 .

Die Abbildung zeigt nur die eigentliche Meßvorrichtung, die durch weitere, an sich bekannte Geräte, wie Traversiervorrichtung und Auswerteeinheit, komplettiert wird. Der Waagebalken 2 kann mit einer Schwingungsdämpfung bestückt sein, um extern verursachte Schwingungen schnell zu eliminieren. Die dem Stutzen 10 zugeführte Luft passiert vorzugsweise einen Präzisionsdruckregler in Verbin­ dung mit einem Feinstluftfilter, um zu gewährleisten, daß ein konstanter sauberer Luftstrom auf das Meßgut trifft. Die Luft kann vor Eintritt in die Vorrichtung auch vorgewärmt werden, wenn beispielsweise die Dicke einer Folie zu messen ist, die von der Herstellung her noch eine erhöhte Temperatur hat. Schließlich kann auch das ganze Gerät schwingungsisoliert aufgehängt sein, um Schwingungsursachen, z. B. bei der Traversierung, auszu­ schalten.The figure shows only the actual measuring device, which is complemented by other devices known per se, such as traversing device and evaluation unit. The balance beam 2 can be equipped with vibration damping in order to quickly eliminate vibrations caused externally. The air supplied to the nozzle 10 preferably passes through a precision pressure regulator in conjunction with a fine air filter in order to ensure that a constant clean air flow hits the material to be measured. The air can also be preheated before entering the device if, for example, the thickness of a film is to be measured, which is still at an elevated temperature during manufacture. Finally, the entire device can be hung in a vibration-isolated manner in order to cause vibration, e.g. B. switch off during traversing.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann zur Dickenmessung sowohl nach dem magnetinduktiven Verfahren (DIN 50981) als auch nach dem Wirbelstromverfahren (DIN 50984) eingesetzt werden. Die Unterschiede beschränken sich dabei im wesentlichen auf das Spu­ lensystem 7.The device according to the invention can be used for thickness measurement both by the magnetic induction method (DIN 50981) and by the eddy current method (DIN 50984). The differences are essentially limited to the coil system 7 .

Claims (9)

1. Vorrichtung zur berührungslosen Dickenmessung eines flachen Meßgutes, insbesondere einer Bahn, eines Bandes oder einer Schicht, mit einem nach dem magnetinduktiven Verfahren oder dem Wirbelstromverfahren arbeitenden Sensor mit einem Sensor­ körper mit ringförmigem Spulensystem, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensorkörper (4) einen zu dem Spulensystem (7) zentrisch mün­ denden, senkrecht auf das Meßgut (18) gerichteten Luftkanal (5) aufweist und an dem einen Ende eines schwenkbar gelagerten Waage­ balkens (2) angebracht ist.1. Device for non-contact thickness measurement of a flat material to be measured, in particular a web, a strip or a layer, with a sensor working according to the magnetic induction method or the eddy current method with a sensor body with an annular coil system, characterized in that the sensor body ( 4 ) one the coil system ( 7 ) ends centrally, perpendicular to the measured material ( 18 ) directed air channel ( 5 ) and at one end of a pivotally mounted balance beam ( 2 ) is attached. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftkanal (5) in dem Sensorkörper (4) durch eine axiale, geradlinige Bohrung gebildet ist, in die ein Kapillarrohr einge­ setzt ist.2. Device according to claim 1, characterized in that the air channel ( 5 ) in the sensor body ( 4 ) is formed by an axial, rectilinear bore into which a capillary tube is inserted. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensorkörper (4) ein rotationssymmetrischer Körper von E-förmigem Axialschnitt mit in der Symmetrieachse liegendem Luft­ kanal (5) ist.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the sensor body ( 4 ) is a rotationally symmetrical body of E-shaped axial section with lying in the axis of symmetry air channel ( 5 ). 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Meßgut (18) zugewandte Unterseite (15) des Sensorkörpers (4) in der Umgebung der Luftkanalmündung ballig ausgebildet ist.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the bottom ( 15 ) of the sensor body ( 4 ) facing the measured material ( 18 ) is spherical in the vicinity of the air duct mouth. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Waagebalken (2) in einem Gehäuse (1) mit bodenseitiger Öffnung (1 b) so gelagert ist, daß der Meßsensor (4-7) durch die Öffnung (1 b) aus dem Gehäuse (1) ragt. 5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the balance beam ( 2 ) in a housing ( 1 ) with bottom opening ( 1 b ) is mounted so that the measuring sensor ( 4-7 ) through the opening ( 1 b ) protrudes from the housing ( 1 ). 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Wand des Gehäuses (1) einen Luftanschlußstutzen (10) ent­ hält, der durch eine Luftleitung (9) mit dem Luftkanal (5) des Sensorkörpers (4) verbunden ist, und die Luftleitung (9) eine hochflexible Biegung (9a) in oder nahe der durch die Schwenkachse (3) des Waagebalkens (29 gehenden Vertikalebene aufweist.6. The device according to claim 5, characterized in that the wall of the housing ( 1 ) holds an air connection piece ( 10 ) ent, which is connected by an air line ( 9 ) to the air duct ( 5 ) of the sensor body ( 4 ), and the air line ( 9 ) has a highly flexible bend ( 9 a) in or near the vertical plane passing through the pivot axis ( 3 ) of the balance beam ( 29 ). 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (1) durch eine pneumatische Kolben/Zylinder-Einheit (14) vertikal verfahrbar ist.7. Device according to one of claims 5 or 6, characterized in that the housing ( 1 ) by a pneumatic piston / cylinder unit ( 14 ) is vertically movable. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftkanal (5) einen Durchmesser in dem Bereich zwischen 0,2 und 0,6 mm hat.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the air duct ( 5 ) has a diameter in the range between 0.2 and 0.6 mm. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Luftkanal (5) über die Unterseite (15) des Sensorkörpers (4) übersteht.9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the air channel ( 5 ) on the underside ( 15 ) of the sensor body ( 4 ) protrudes.
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