DE19615809A1 - Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors - Google Patents

Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors

Info

Publication number
DE19615809A1
DE19615809A1 DE1996115809 DE19615809A DE19615809A1 DE 19615809 A1 DE19615809 A1 DE 19615809A1 DE 1996115809 DE1996115809 DE 1996115809 DE 19615809 A DE19615809 A DE 19615809A DE 19615809 A1 DE19615809 A1 DE 19615809A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
variably
membrane mirror
mirror according
chamber
mouldable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE1996115809
Other languages
German (de)
Inventor
Jochen Dr Taubert
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV
Original Assignee
Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV filed Critical Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV
Priority to DE1996115809 priority Critical patent/DE19615809A1/en
Publication of DE19615809A1 publication Critical patent/DE19615809A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

The mirror has a flexible foil (1). On at least one side the foil is formed as a reflective layer (11) for a predetermined spectral range. The flexible foil (1) is stretched across a chamber (20) to seal the chamber. The chamber is filled with a magnetisable fluid (3). At least one recess (4) is provided in the region of the chamber base (21). The recess serves to receive a magnet system (50). The flexible foil (1) may be attached to the edges of the chamber (22) in a defined orientation by means of a tensioning ring (6). Preferably the chamber contains such a quantity of fluid that the chamber is filled up to the flexible foil.

Description

Die Erfindung betrifft einen variabel formbaren Membranspiegel für vorgebbare Spektralbereiche, welcher insbesondere der statischen oder interaktiven Korrektur von Abbildungsfehlern dient. Je nach Wahl des Spiegelmaterials kann der Membranspiegel in allen Bereichen der Optik vom fernen UV bis in den kurzwelligen Radarbereich Anwendung finden.The invention relates to a variably formable membrane mirror for Specifiable spectral ranges, which in particular the static or interactive correction of aberrations. Depending on the choice of The membrane mirror can be used in all areas of optics from the far UV to the shortwave radar range.

Grundsätzlich sind verformbare Spiegel bekannt. So beschreibt DE 42 36 355 A1 einen anpaßbaren Membranspiegel, bei dem zwei zueinander konzentrische Ringschneiden unterschiedlichen Durchmessers einen Membranspiegel beidseitig erfassen. Durch Abstandsvariation der Ringschneiden zueinander läßt sich die Krümmung des Membranspiegels in vorgebbaren Grenzen beliebig verändern. Mit diesem Vorschlag sind jedoch nur konvexe oder konkave sphärische Spiegelwölbungen einstellbar, wobei eine relativ aufwendige mechanische Anordnung erforderlich ist und die eingesetzten Ringschneiden nicht ohne weiteres austauschbar sind.Deformable mirrors are generally known. So describes DE 42 36 355 A1 a customizable membrane mirror, in which two mutually concentric ring cutters of different diameters capture a membrane mirror on both sides. By varying the distance The curvature of the membrane mirror can be cut to each other change as desired within predefinable limits. Are with this suggestion however only convex or concave spherical mirror arches adjustable, with a relatively complex mechanical arrangement is necessary and the ring blades used are not easily are interchangeable.

Auch ist die Verwendung von elastischen Spiegelfolien zur Herstellung von großen Teleskopspiegeln bereits beschrieben. Nach DE 38 36 949 A1 wird eine solche Spiegelfolie in ein vorgegebenes Drahtgitter durch Aufblasen eingebracht und in der erreichten Lage fixiert.The use of elastic mirror films is also used in the manufacture already described by large telescopic mirrors. According to DE 38 36 949 A1 is such a mirror film in a given wire mesh Inflation introduced and fixed in the position reached.

Allgemein bekannt ist eine Spiegelverstellung zur Korrektur bestimmter Abbildungsfehler durch Einbringung auf die Spiegelrückseite angreifender und recht genau und schnell einstellbarer Piezostellelemente.A mirror adjustment for correcting certain ones is generally known Image errors due to insertion on the back of the mirror and quite precise and quickly adjustable piezo actuators.

Ragazzoni, R.; Marchetti, E. beschreiben in Astron. Astrophys. 283, L17-L19, 1994 einen formbaren Flüssigspiegel, bei dem eine in Rotation zu versetzende und damit schwer handhabbare Quecksilberoberfläche als Spiegeloberfläche dient, welche durch eine Anzahl stromdurchflossener Spulen am Boden des Quecksilberreservoirs eine Oberflächenveränderung erfährt. Die Nachteile einer offenen Flüssigkeitsoberfläche, insbesondere einer Quecksilberoberfläche sind offensichtlich.Ragazzoni, R .; Marchetti, E. describe in Astron. Astrophys. 283, L17-L19, 1994 a malleable liquid level, one in rotation moving and therefore difficult to handle mercury surface as Mirror surface is used by a number of current flows Coils on the bottom of the mercury reservoir cause a surface change experiences. The disadvantages of an open liquid surface, in particular a mercury surface are obvious.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen variabel formbaren Membranspiegel zu schaffen, der in relativ weiten Grenzen eine defi­ nierte Oberflächendeformierung erfahren kann, wobei auch komplizier­ tere Strukturen als sphärische Flächen auf leichte Weise erzeugbar sein sollen, und der die Nachteile des Standes der Technik behebt.The invention has for its object a variably formable To create membrane mirror, the defi within relatively wide limits niert surface deformation can be, but also more complicated tere structures than spherical surfaces can be easily generated and which overcomes the disadvantages of the prior art.

Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Patent­ anspruchs l gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand von nachgeordneten Ansprüchen. Das Wesen der Erfindung besteht darin, daß eine kleine Menge einer magnetisierbaren Flüssigkeit einseitig von einer flexiblen Spiegelfolie überdeckt ist, wobei die magnetisierbare Flüssigkeit in einer Kammer eingeschlossen ist, welche von einem Kaminerbodenbereich mit wenigstens einem geeigneten Magnetsystem in definierter Weise mit einem Magnetfeld beaufschlagbar ist.The task is characterized by the characteristic features of the patent demanding l solved. Advantageous refinements are the subject of subordinate claims. The essence of the invention is that a small amount of a magnetizable liquid unilaterally from a flexible mirror film is covered, the magnetizable Liquid is enclosed in a chamber, which from a Chimney floor area with at least one suitable magnet system in can be acted upon in a defined manner with a magnetic field.

Die Erfindung soll nachstehend anhand schematischer Ausführungs­ beispiele näher erläutert werden. Es zeigen:The invention is based on a schematic embodiment examples will be explained in more detail. Show it:

Fig. 1 eine erste Ausführungsform eines variabel formbaren Membranspiegels im seitlichen Schnitt, Fig. 1 shows a first embodiment of a variable moldable membrane mirror in lateral section,

Fig. 1a eine Membranspiegelausbildung bei anliegendem Magnet­ feld nach Fig. 1, FIG. 1a is a membrane mirror formation with applied magnetic field according to Fig. 1,

Fig. 2 eine zweite Ausführungsform eines variabel formbaren Membranspiegels im seitlichen Schnitt, Fig. 2 shows a second embodiment of a variable moldable membrane mirror in lateral section,

Fig. 2a eine Membranspiegelausbildung bei anliegendem Magnet­ feld nach Fig. 2, Fig. 2a shows a membrane mirror formation with applied magnetic field according to Fig. 2,

Fig. 3 eine Membranspiegelausformung bei einer Kombination der Ausführung nach Fig. 1 und Fig. 2 unterschiedlichen Magnetsystemgestaltungen und Fig. 3 shows a membrane mirror formation in a combination of the embodiment according to Fig. 1 and Fig. 2 different magnet system designs and

Fig. 4 eine dritte Ausführungsform eines variabel formbaren Membranspiegels im seitlichen Schnitt, Fig. 4 shows a third embodiment of a variable moldable membrane mirror in lateral section,

Fig. 1 zeigt einen starren, nichtmagnetischen Grundkörper 2, der eine Kammer 20 umfaßt, die einseitig von einer flexiblen Folie 1, die zumin­ dest einseitig als Reflexionsschicht 11 ausgebildet ist, dichtend über­ spannt ist. Die Dichtung und Verspannung der Folie 1 wird im Beispiel mittels eines Spannrings 6 und dessen Verbindung mit Bereichen der Kammerwand 22 gewährleistet. Der gebildete Kammerbereich 20 ist vollständig mit einer magnetisierbaren Flüssigkeit 3 verfüllt. In Fig. 1 ist der Grundkörper 2 mit einer Ausnehmung 4 derart versehen, daß ein möglichst dünnwandiger, biegesteifer Kammerboden 21 der Dicke a ver­ bleibt. In einem praktischen Anwendungsfall nach Fig. 1 hat dabei der kreisrunde Kammerbodenbereich 21 eine Dicke von 1 mm, die bevor­ zugte Dicke der magnetisierbaren Flüssigkeit in Richtung der Achse X-X beträgt wenige Millimeter. In die Ausnehmung 4 ist ein eingepaßtes Magnetsystem 50, welches in der vorliegenden Ausführungsform aus einem ferromagnetischen Polschuhzylinder 51 und einem aufgesetzten Permanentmagneten 52 besteht, in Richtung des dargestellten Pfeils einsetzbar. Mögliche Mittel zur mechanischen Tiefenjustierung der Magnetsystemeinschublänge sind nicht dargestellt. Als Einführhilfe dient eine nichtmagnetische Führungshülse 8. Fig. 1 shows a rigid, non-magnetic base body 2 , which comprises a chamber 20 , the one side of a flexible film 1 , which is formed at least on one side as a reflective layer 11 , sealingly spanned. The sealing and bracing of the film 1 is ensured in the example by means of a clamping ring 6 and its connection to areas of the chamber wall 22 . The chamber region 20 formed is completely filled with a magnetizable liquid 3 . In Fig. 1, the base body 2 is provided with a recess 4 such that a thin-walled, flexurally rigid chamber floor 21 of thickness a remains a ver. In a practical application according to FIG. 1, the circular chamber bottom region 21 has a thickness of 1 mm, the preferred thickness of the magnetizable liquid in the direction of the axis XX is a few millimeters. A fitted magnet system 50 , which in the present embodiment consists of a ferromagnetic pole shoe cylinder 51 and an attached permanent magnet 52 , can be inserted into the recess 4 in the direction of the arrow shown. Possible means for mechanical depth adjustment of the magnet system insertion length are not shown. A non-magnetic guide sleeve 8 serves as an insertion aid.

Ist die magnetisierbare Flüssigkeit 3 ein Ferrofluid, neigt sie dazu bei anliegenden inhomogenen Magnetfeldern in Richtung der größten Feld­ stärke zu wandern, wodurch sich bei Erhalt des allseits umschlossenen Fluidvolumens eine Verformung der flexiblen Folie 1 ergibt, wie sie stark überzeichnet in Fig. 1a angedeutet ist. Weist die Kammer 20 im Beispiel eine Grundfläche von ca. 78 cm² auf, sind mit einem Polschuhdurch­ messer von 8 mm und einer magnetischen Feldstärke von 48 kA/m am Ort des Feldangriffs auf die magnetisierbare Flüssigkeit, die im Beispiel aus einem Ferrofluid mit einer Sättigungsmagnetisierung von 72 kA/m besteht, Auslenkungen der Folie 1, die im Beispiel durch eine 50 µm dicke Polyesterfolie gebildet ist, von der in Fig. 1 dargestellten Aus­ gangslage in der Größenordnung von 0,6 mm erreichbar. Unter der Wirkung des magnetostatischen Drucks, der Gravitation und der Folien­ spannung stellt sich eine Gleichgewichtslage der magnetisierbaren Flüssigkeit und damit der Membranspiegeloberfläche ein.If the magnetizable liquid 3 is a ferrofluid, it tends to migrate in the direction of the greatest field strength in the case of adjacent inhomogeneous magnetic fields, which results in a deformation of the flexible film 1 when the fluid volume enclosed on all sides is obtained, as is strongly exaggerated in FIG . In the example, the chamber 20 has a base area of approx. 78 cm², with a pole shoe diameter of 8 mm and a magnetic field strength of 48 kA / m at the site of the field attack on the magnetizable liquid, which in the example consists of a ferrofluid with a saturation magnetization of 72 kA / m, deflections of the film 1 , which in the example is formed by a 50 μm thick polyester film, can be reached from the starting position shown in FIG. 1 in the order of magnitude of 0.6 mm. Under the effect of the magnetostatic pressure, the gravitation and the film tension, an equilibrium position of the magnetizable liquid and thus the surface of the membrane mirror is established.

Im Rahmen der Erfindung ist weiterhin ein mit der Kammer 20 in Ver­ bindung stehendes, mit Über- oder Unterdruck beaufschlagbares Flüssig­ keitsreservoir 7 vorgesehen, mit Hilfe dessen grobere zusätzliche Folien­ vorzugsauslenkungen in konvexer oder konkaver Richtung vorgebbar sind, so daß der Membranspiegelverstellungsbereich erweiterbar ist. In the context of the invention with the chamber 20 in Ver standing connection, can be acted upon with pressure or vacuum liquid is further provided keitsreservoir 7, by means of which coarser additional slides vorzugsauslenkungen in convex or concave direction can be predetermined, such that the membrane mirror adjustment range can be expanded.

In Fig. 2 wird vom grundsätzlich gleichen Aufbau, wie nach Fig. 1 ausgegangen, wobei in die Ausnehmung 41 ein ringförmig gestalteter Polschuh am Rand der Kammer 20 vorgesehen ist, dadurch ergibt sich eine konkave Ausbildung der Membranspiegeloberfläche, wie in Fig. 2b schematisch dargestellt. Ebenso sind Kombinationen aus Fig. 1 und Fig. 2 denkbar, wodurch sich bspw. Membranspiegeloberflächenausbildungen, wie in Fig. 3a angedeutet ergeben. Eine solche Ausbildung kann bspw. vorteilhaft zur Korrektur sphärischer Abberationen in abbildenden Systemen oder zur Wellenfrontgestaltung zur Interferometrie asphäri­ scher Bauelemente eingesetzt werden.In Fig. 2 the construction is basically the same as that in Fig. 1, with an annular pole piece being provided in the recess 41 at the edge of the chamber 20 , which results in a concave design of the membrane mirror surface, as shown schematically in Fig. 2b . Similarly, combinations of Figs. 1 and FIG. 2 conceivable, whereby for example. Diaphragm mirror surface formations, as in Fig. 3a yield indicated. Such a training can be used, for example, advantageously for the correction of spherical aberrations in imaging systems or for the wavefront design for the interferometry of aspherical components.

Es ist weiterhin zweckmäßig, die vorgesehenen Magnetsysteme 51; 53 direkt in den Kammerboden derart einzubringen, daß sie mit dem Kammerboden plan abschließend einseitig die magnetisierbare Flüssig­ keit (3) kontaktieren, wodurch die erzielbaren Spiegelverformungen erhöht werden.It is also expedient to provide the magnet systems 51 ; 53 to be brought directly into the chamber bottom in such a way that they finally contact the magnetizable liquid speed ( 3 ) with the chamber bottom, thereby increasing the achievable mirror deformations.

Die Erfindung ist jedoch nicht auf rotationssymmetrische Gestaltungen von Spiegelfolie, Kammer- und Magnetsystemausbildungen, wie zu den Fig. 1 und 2 beschrieben, beschränkt. Ebenso liegt es im Rahmen der Erfindung, Zylinderspiegelflächen oder willkurliche Geometrien auszu­ bilden. Vorteilhaft bezüglich einer definierten Magnetfeldausbildung ist der Einsatz von variabel ansteuerbaren elektrischen Feldspulen 53 mit oder ohne Kern, wie in Fig. 4 schematisch angedeutet, da hierbei Geome­ triewechsel ohne Polschuhwechsel, eine interaktive Abbildungskorrektur und sehr feinfühlige Verstellungen durch sehr kleine Änderungen des Spulenerregerstroms ermöglicht werden. Eine solche Ausbildung der Erfindung ist dann problemlos mittels eines Computers steuerbar.However, the invention is not limited to rotationally symmetrical designs of mirror film, chamber and magnet system configurations, as described for FIGS. 1 and 2. It is also within the scope of the invention to form cylindrical mirror surfaces or arbitrary geometries. The use of variably controllable electrical field coils 53 with or without a core, as indicated schematically in FIG. 4, is advantageous with regard to a defined magnetic field formation, since this enables geometry to be changed without changing the pole shoe, an interactive image correction and very sensitive adjustments by very small changes in the coil excitation current. Such an embodiment of the invention can then be easily controlled by means of a computer.

Die erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung bietet in einer Reihe von Anwendungsmöglichkeiten Vorteile. So z. B. bei der Korrektur von Abbildungsfehlern in nichtstatischen Systemen, wie Zoom-Optiken oder bei der Abbildung in Wellenlängenbereichen, wo nur wenige Materialien als refraktive Medien in Frage kommen und so die konventionellen Möglichkeiten der Abberationskorrektur beschränkt sind. Hier bietet der vorliegende Vorschlag größere und universellere Eingriffsmöglichkeiten als bisher bekannte einstellbare Spiegelelemente. The solution proposed according to the invention offers a number of Applications Advantages. So z. B. in the correction of Imaging errors in non-static systems, such as zoom optics or when imaging in wavelength ranges where only a few materials come into question as refractive media and so the conventional ones Abberation correction options are limited. Here the present proposal larger and more universal intervention options than previously known adjustable mirror elements.  

Nichtsystematische statische oder dynamische Abbildungsfehler ent­ stehen z. B. beim Durchgang elektromagnetischer Strahlung durch unde­ finiert optisch inhomogene Medien und Grenzflächen. In diesem Fall ist eine interaktive und dynamische Korrektur der Abbildungsfehler not­ wendig. Ein solcher Fall tritt z. B. ein, beim mikroskopischen Beobachten der Netzhaut am astigmatischen Auge oder beim Laserkoagulieren einer Netzhaut durch eine astigmatische Augenlinse hindurch. Hier den die Fehler zu einer unscharfen Abbildung der Netzhaut oder einem nicht­ punktförmigen Brennfleck des Lasers.Non-systematic static or dynamic aberrations stand z. B. when electromagnetic radiation passes through unde finishes optically inhomogeneous media and interfaces. In this case an interactive and dynamic correction of aberrations agile. Such a case occurs e.g. B. a, microscopic observation the retina on the astigmatic eye or when laser coagulating Retina through an astigmatic eye lens. Here the Failure to blur the retina or not punctiform focal spot of the laser.

Auch führen astronomische Beobachtungen durch die thermisch inhomo­ gene Atmosphäre zu unscharfen Bildern ebenso, wie mikroskopische Abbildungen durch unregelmäßige Oberflächen, wie gewachsene Kristalloberflächen oder Ampullenwandungen hindurch. Beim Betrieb eines Lasers entstehen im Lasermedium sogenannte thermische Linsen, die das optische System des Lasers vom kalten zum warmen Zustand hin verändern und die u. U. kompensiert werden müssen. Auch bei der Korrektur dieser nichtsystematischen Fehler kann die Erfindung vorteil­ haft benutzt werden.Astronomical observations also lead through the thermally inhomo atmosphere to blurred images as well as microscopic Images through irregular surfaces, such as grown ones Through crystal surfaces or ampoule walls. During operation a laser, so-called thermal lenses are created in the laser medium, the optical system of the laser from cold to warm change and the u. U. must be compensated. Even with the The invention can advantageously correct these non-systematic errors be used in custody.

Die Anwendung der Erfindung ist weiterhin von Vorteil, wenn einstell­ bare abbildende Optiken dort benötigt werden, wo die Natur wenig in Frage kommende refraktive Medien bereitstellt. Hier sind z. B. schwenk­ bare Radarspiegel, Zoom-Optiken im UV-Bereich oder Laserstrahlformer in unüblichen Wellenlängenbereichen zu nennen.The application of the invention is also advantageous when setting bare imaging optics are needed where nature is little in Provides upcoming refractive media. Here are e.g. B. swivel bare radar mirrors, zoom optics in the UV range or laser beam formers to be mentioned in unusual wavelength ranges.

Eine weitere vorteilhafte Nutzung der Erfindung besteht bei der Bereit­ stellung geeigneter Referenzflächen für die Interferometrie nicht­ sphärischer Flächen.A further advantageous use of the invention is the ready provision of suitable reference surfaces for interferometry spherical surfaces.

BezugszeichenlisteReference list

1 flexible Folie
11 Reflexionsschicht
2 Grundkörper
20 Kammer
21 Kammerboden
22 Kammerberandung
3 magnetisierbare Flüssigkeit (Ferrofluid)
4, 41 Ausnehmung
50 Magnetsystem
51 Polschuh
52 Permanentmagnet
53 Feldspulen mit oder ohne Kern
6 Spannring
7 druckbeaufschlagbares Reservoir
8 nichtmagnetische Führungshülse 1 flexible film
11 reflective layer
2 basic bodies
20 chamber
21 chamber floor
22 Chamber boundary
3 magnetizable liquid (ferrofluid)
4 , 41 recess
50 magnet system
51 pole piece
52 permanent magnet
53 field coils with or without core
6 tension ring
7 pressurizable reservoir
8 non-magnetic guide sleeve

Claims (15)

1. Variabel formbarer Membranspiegel, der eine flexible Folie (1) bein­ haltet, die zumindest einseitig als Reflexionsschicht (11) für einen vorgebbaren Spektralbereich ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß
  • - die flexible Folie (1) dichtend eine Kammer (20) überspannt,
  • - die mit einer magnetisierbaren Flüssigkeit (3) verfüllt ist und
  • - im einem Bereich des Kammerbodens (21) wenigstens eine Aus­ nehmung (4) vorgesehen ist, die
  • - der Aufnahme eines Magnetsystems (50) dient.
1. variably mouldable membrane mirror, which holds a flexible film ( 1 ) leg, which is formed at least on one side as a reflection layer ( 11 ) for a predetermined spectral range, characterized in that
  • - The flexible film ( 1 ) sealingly spans a chamber ( 20 ),
  • - Which is filled with a magnetizable liquid ( 3 ) and
  • - In an area of the chamber bottom ( 21 ) at least one recess ( 4 ) is provided, which
  • - The recording of a magnet system ( 50 ) is used.
2. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die flexible Folie (1) vermittels eines Spannrings (6) mit der Kammerberandung (22) in eine definiert vorgespannte Lage gebracht ist.2. Variably mouldable membrane mirror according to claim 1, characterized in that the flexible film ( 1 ) by means of a clamping ring ( 6 ) with the chamber edge ( 22 ) is brought into a defined biased position. 3. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetisierbare Flüssigkeit (3) in einer solchen Menge in die Kammer (20) eingebracht ist, daß sie die Kammer (20) bis hin zur Folie (1) vollständig ausfüllt.3. A variably formable membrane mirror according to claim 1, characterized in that the magnetizable liquid ( 3 ) is introduced into the chamber ( 20 ) in such an amount that it completely fills the chamber ( 20 ) up to the film ( 1 ). 4. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß das die Kammer (20) mit einem mit definierten Drucken beaufschlagbaren Flüssigkeitsreservoir (7) in Verbindung steht.4. variably mouldable membrane mirror according to claim 1 and 3, characterized in that the chamber ( 20 ) with a pressurizable with defined pressure liquid reservoir ( 7 ) is in communication. 5. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerbodenausnehmung (4, 41) rotations­ symmetrisch zur Spiegelfolienfläche angeordnet ist.5. variably mouldable membrane mirror according to claim 1, characterized in that the chamber bottom recess ( 4 , 41 ) is arranged rotationally symmetrical to the mirror film surface. 6. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere zueinander konzentrisch angeordnete Kammerbodenausnehmungen (41) vorgesehen sind. 6. variably mouldable membrane mirror according to claim 1 and 5, characterized in that a plurality of concentrically arranged chamber bottom recesses ( 41 ) are provided. 7. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1, 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß dem Kammerboden im Bereich der Kammerbodenausnehmung (4, 41) eine Dicke a gegeben ist, die eine Biegesteifheit gewährleistet, jedoch möglichst dünn ausgeführt ist.7. variably mouldable membrane mirror according to claim 1, 5 and 6, characterized in that the chamber bottom in the region of the chamber bottom recess ( 4 , 41 ) is given a thickness a, which ensures bending rigidity, but is made as thin as possible. 8. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetsystem (50) so ausgebildet ist, daß seine Feldwirkung auf die magnetisierbare Flüssigkeit (3) definiert einstellbar ist.8. variably mouldable membrane mirror according to claim 1, characterized in that the magnet system ( 50 ) is designed so that its field effect on the magnetizable liquid ( 3 ) is adjustable adjustable. 9. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetsystem (50) durch variabel vorgebbare Polschuhe (51), die mit einem Permanentmagneten (52) vorgebbarer Feldstärke verbindbar sind, gebildet ist.9. A variably formable membrane mirror according to claim 8, characterized in that the magnet system ( 50 ) is formed by variably predeterminable pole shoes ( 51 ) which can be connected to a permanent magnet ( 52 ) having a predeterminable field strength. 10. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetsystem (50) durch variabel anorden­ bare und variabel ansteuerbare elektrische Feldspulen (53) gebildet ist.10. A variably formable membrane mirror according to claim 8, characterized in that the magnet system ( 50 ) is formed by variably arrangeable and variably controllable electrical field coils ( 53 ). 11. Variabel formbarer Membranspiegel nach Anspruch 1 und 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetsystem (50) bezüglich seiner geometrischen Ausbildung und/oder seiner Ansteuerung unterschied­ lichen, zu korrigierenden optischen Abbildungsfehlern anpaßbar ist.11. Variably mouldable membrane mirror according to claim 1 and 8 to 10, characterized in that the magnet system ( 50 ) with respect to its geometric design and / or its control union union, can be adapted to correct optical aberrations. 12. Variabel formbarer Membranspiegel nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das(die) Magnetsystem(e) (51; 53) in den Kammerboden (21) eingebracht sind und plan abschließend einseitig die magnetisierbare Flüssigkeit (3) kontaktieren.12. A variably formable membrane mirror according to one of claims 8 to 11, characterized in that the (the) magnet system (s) ( 51 ; 53 ) are introduced into the chamber bottom ( 21 ) and finally contact the magnetizable liquid ( 3 ) on one side. 13. Variabel formbarer Membranspiegel nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das(die) Magnetsystem(e) (51, 52; 53) wahlweise auswechselbar in die jeweiligen Kammerbodenaus­ nehmungen (4, 41) einbringbar sind. 13. A variably mouldable membrane mirror according to one of claims 8 to 11, characterized in that the (the) magnet system (s) ( 51 , 52 ; 53 ) are optionally replaceable in the respective chamber bottom recesses ( 4 , 41 ) can be introduced. 14. Variabel formbarer Membranspiegel nach einem der Ansprüche 1, 3, 8 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetisierbare Flüssigkeit durch ein Ferrofluid gebildet ist.14. Variably formable membrane mirror according to one of claims 1, 3, 8 or 12, characterized in that the magnetizable liquid is formed by a ferrofluid. 15. Variabel formbarer Membranspiegel nach einem der Ansprüche 1, 3, 8 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetisierbare Flüssigkeit durch eine diamagnetische Flüssigkeit gebildet ist.15. A variably formable membrane mirror according to one of claims 1, 3, 8 or 12, characterized in that the magnetizable liquid is formed by a diamagnetic liquid.
DE1996115809 1996-04-20 1996-04-20 Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors Withdrawn DE19615809A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1996115809 DE19615809A1 (en) 1996-04-20 1996-04-20 Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1996115809 DE19615809A1 (en) 1996-04-20 1996-04-20 Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19615809A1 true DE19615809A1 (en) 1997-10-23

Family

ID=7791959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1996115809 Withdrawn DE19615809A1 (en) 1996-04-20 1996-04-20 Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19615809A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10244867A1 (en) * 2002-09-23 2004-04-08 Technische Universität Berlin Device for positioning body, has arrangement for moving and positioning body containing magnetic liquid that interacts with at least one magnetic element
CN112596198A (en) * 2020-12-28 2021-04-02 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Curvature error adjusting device and method for large-diameter spliced reflector
WO2021221780A1 (en) * 2020-04-30 2021-11-04 Raytheon Company Ferrofluid sealed deformable mirror

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10244867A1 (en) * 2002-09-23 2004-04-08 Technische Universität Berlin Device for positioning body, has arrangement for moving and positioning body containing magnetic liquid that interacts with at least one magnetic element
DE10244867B4 (en) * 2002-09-23 2004-12-30 Technische Universität Berlin Body positioning device
WO2021221780A1 (en) * 2020-04-30 2021-11-04 Raytheon Company Ferrofluid sealed deformable mirror
US11536958B2 (en) 2020-04-30 2022-12-27 Raytheon Company Ferrofluid sealed deformable mirror
CN112596198A (en) * 2020-12-28 2021-04-02 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Curvature error adjusting device and method for large-diameter spliced reflector
CN112596198B (en) * 2020-12-28 2022-06-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Curvature error adjusting device and method for large-caliber spliced reflector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0890118B1 (en) Opto-electronic imaging system for industrial applications
DE2916192C2 (en)
DE2817525C2 (en) Optical system with adjustable focal length
EP3069188B1 (en) Optical transmission system and microscope with such a transmission system
EP0299393A2 (en) Optical lens or lens system with variable servo control focusing
DE102007038872A1 (en) Imaging device for influencing incident light
EP1667612B1 (en) Focusable artificial lens for an eye
WO2017029372A1 (en) Multi-aperture imaging device with optical substrate
DE19825716A1 (en) Optical element and socket assembly
DE102014118383B4 (en) Lens for a photographic or film camera and method for targeted attenuation of certain spatial frequency ranges of the modulation-transfer function of such a lens
DE102013223933A1 (en) Micromirror array
EP1846782A1 (en) Variable lens
DE102014110961A1 (en) data glasses
DE102013214989A1 (en) Mirror assembly for projection exposure system, for microlithography, has body magnets and counter magnets that are attached with poles such that part of magnets is aligned opposite to alignment of another part of magnets
WO2016113251A1 (en) Mems actuator, system having a plurality of mems actuators, and method for producing a mems actuator
DE3812745A1 (en) MICROSCOPE LENS FOR ADJUSTMENT TO DIFFERENT COVER GLASS THICKNESSES
DE3615842A1 (en) INTERMEDIATE ASSEMBLY FOR A STEREOSCOPIC OPERATING MICROSCOPE FOR EYE SURGERY
DE19615809A1 (en) Variably shaped membrane mirror for predetermined spectral range e.g. for correcting imaging errors
DE102017216172A1 (en) MULTI-PAPER IMAGING DEVICE WITH LOW HEIGHT AND SWITCHING VISIBILITY, PICTURE SYSTEM AND PROCESS FOR PROVIDING A MULTI-PAPER IMAGING DEVICE
DE102011113980A1 (en) Lens system with variable refraction strength
EP1395859B1 (en) Laser adjustable actuator, optical component and adjustment method
DE102021102096A1 (en) Adaptive mirror with different radii of curvature in two orthogonal axes
DE4212779A1 (en) Laser with e.g. Nd-YAG rod - has liquid crystal cells with control electrodes for applying electric field to regulate laser beam
EP1445640B1 (en) Device to increase the depth of focus of an optical system
DE60004868T2 (en) APPARATUS FOR IMPROVING THE OPTICAL PROPERTIES OF OPTICAL MICROSCOPES

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee