DE19601741A1 - Durchflußmesser mit kapazitivem Differenzdrucksensor - Google Patents

Durchflußmesser mit kapazitivem Differenzdrucksensor

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    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
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Description

Durchflußmesser für Flüssigkeiten, die über den Differenzdruck an einer Querschnittsverengung (z. B. Düse oder Blende) mit einem kapazitiven Diffe­ renzdrucksensor den Durchfluß der Flüssigkeit bestimmen, sind bekannt. Stand der Technik sind kapazitive Differenzdrucksensoren die den Differenzdruck über Membranen auf ein Ölvolumen wirken lassen, daß dann wiederum die Drücke auf eine Kondensatorplatte des Differenzdrucksensors transportiert, die durch Verformung infolge des Differenzdruckes die elektrische Kapazität der Kondensatoranordnung des Differenzdrucksensors verändert. Diese Änderung der Kapazität ist ein indirektes Maß für den Durchfluß der zu messenden Flüssig­ keit. Die Maßnahme, die Drücke zunächst auf Membranen ausüben zu lassen, ist bei aggressiven und/oder elektrisch leitenden Flüssigkeiten begründet. Kapazitive Differenzdrucksensoren mit Membranen für kleine Differenzdrücke lassen sich technologisch nur schwierig und kostenintensiv realisieren. Erfindungsgemäß werden die Platten (1), (2), (3) der Kondensatoranordnung des Differenzdrucksensors (4) mit einer elastischen, elektrisch nicht leitenden Schicht (5) überzogen, die zudem resistent gegen die zu messende Flüssigkeit sein kann. Die zu messende Flüssigkeit kann so als Dielektrikum der Konden­ satorplattenanordnung (1), (2), (3) des kapazitiven Differenzdrucksensors (4) verwendet werden und direkt die Drücke auf die auslenkbare Kondensatorplatte (2) ausüben. Damit lassen sich bei geeigneter Dimensionierung des Differenz­ drucksensors (4) Differenzdrücke unter 0,1 mbar erfassen.

Claims (6)

1. Durchflußmesser, bestehend aus einem Strömungskanal (7) mit Querschnitts­ verengung, einem kapazitiven Differenzdrucksensor (4) und einer Auswertung (6), dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorplatten (1), (2), (3) des Diffe­ renzdrucksensors (4) mit einer, elektrisch nicht leitenden, Schicht (5) über­ zogen sind.
2. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten (1), (2), (3) des Differenzdrucksensors (4) mit einer elektrisch nicht leiten­ den Schicht (5) überzogen sind, die gegen aggressive Medien resistent ist.
3. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (5) aus Kunststoff besteht.
4. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (5) aus Glas besteht.
5. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten (1), (2), (3) des Differenzdrucksensors (4) aus federnden Metallblechen ge­ ätzt sind.
6. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nur die Platte (2) aus einem federnden Metallblech geätzt ist.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4599906A (en) * 1984-10-31 1986-07-15 General Signal Corporation Remote probe differential pressure transducer
EP0254160A1 (de) * 1986-07-23 1988-01-27 Siemens Aktiengesellschaft Einrichtung zum Messen des Massenstromes in einem Rohr
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EP0650048A1 (de) * 1993-09-17 1995-04-26 Penberthy, Inc. Kapazitive, hermetisch dichte, eigensichere Hochdruck-Messsonde

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